KR102247043B1 - 대상물 이송 장치 및 그 제어 방법 - Google Patents

대상물 이송 장치 및 그 제어 방법 Download PDF

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Abstract

주행 레일을 따라 주행하면서 대상물을 이송하는 대상물 이송 장치는 대상물 이송 장치를 주행시키기 위한 서보 모터, 서보 모터의 동작을 제어하고, 부하 정도에 따라 서보 모터의 토크를 조절하는 서보 드라이버, 서보 드라이버의 과부하 정도를 확인하는 과부하 판단부 및 대상물 이송 장치의 동작을 제어하는 제어 유닛의 이송 명령에 따라 속도 신호 및 속도 프로파일을 생성하여 서보 드라이버로 전달하고, 서보 드라이버가 과부하 상태가 아닌 경우 정상 속도 프로파일을 생성하고, 서보 드라이버가 과부하 상태인 경우 보정 속도 프로파일을 생성하는 모션 제어부를 포함한다.

Description

대상물 이송 장치 및 그 제어 방법{Object transport device and method of controlling the same}
본 발명은 대상물 이송 장치 및 그 제어 방법에 관한 것으로, 보다 상세하게는 반도체 소자 제조 공정을 수행하기 위한 대상물을 이송하기 위한 대상물 이송 장치 및 그 제어 방법에 관한 것이다.
일반적으로 반도체 공정 설비들은 연속적으로 배치되어 반도체 소자를 제조하기 위한 다양한 공정을 수행한다. 상기 반도체 소자 제조 공정을 수행하기 위한 대상물은 대상물 이송 장치에 의해 이송된다.
상기 대상물 이송 장치는 상기 반도체 공정 설비들이 구비된 공간에 구비된 주행 레일을 따라 주행하며, 별도의 제어 유닛에 의해 제어될 수 있다.
상기 대상물 이송 장치에서 주행을 위한 서보 모터는 서보 드라이버에 의해 제어된다.
상기 서보 드라이버가 상기 서보 모터에 주행 명령을 내릴 경우 또는 전방 장애물이 해제 되는 경우, 상기 서보 모터가 구동하여 상기 대상물 이송 장치를 출발시킨다.
이때, 서보 드라이버는 정격값 이상으로 일정 시간 이하만 사용 가능하다. 즉, 서보 드라이버는 정격값으로 일정 시간을 초과하여 구동할 경, 상기 서보 드라이버에 과부하가 발생하여 상기 서보 드라이버가 비상 정지할 수 있다. 이를 고려하여 상기 서보 드라이버의 모션 설계시 충분히 마진을 확보하여 상기 서보 드라이버에 과부하가 발생하는 것을 억제할 수 있다.
이 경우, 상기 서보 드라이버의 최대 출력값을 이용하지 못하고 정격값 이하로만 구동함으로써, 상기 서보 드라이버가 상기 서보 모터를 최대값으로 구동하지 못하므로 상기 대상물 이송 장치의 이동 속도가 상대적으로 낮을 수 밖에 없다. 따라서, 상기 대상물 이송 장치의 이송 효율을 개선할 필요가 있다.
본 발명은 서보 드라이버의 과부하 정도에 따라 서보 모터를 제어하기 위한 정상 속도 프로파일을 보정하여 보정된 속도 프로파일을 생성할 수 있는 대상물 이송 장치 및 그 제어 방법을 제공한다.
본 발명의 실시예들에 따른 주행 레일을 따라 주행하면서 대상물을 이송하는 대상물 이송 장치는 상기 대상물 이송 장치를 주행시키기 위한 서보 모터, 상기 서보 모터의 동작을 제어하고, 부하 정도에 따라 서보 모터의 토크를 조절하는 서보 드라이버, 상기 서보 드라이버의 과부하 정도를 확인하는 과부하 판단부 및 상기 대상물 이송 장치의 동작을 제어하는 제어 유닛의 이송 명령에 따라 속도 신호 및 속도 프로파일을 생성하여 상기 서보 드라이버로 전달하고, 상기 서보 드라이버가 과부하 상태가 아닌 경우 정상 속도 프로파일을 생성하고, 상기 서보 드라이버가 과부하 상태인 경우 보정 속도 프로파일을 생성하는 모션 제어부를 포함한다.
본 발명의 일 실시예에 있어서, 상기 서보 드라이버가 과부하 상태인 경우, 상기 모션 제어부는 추가적으로 유지된 등속 구간 및 가속 구간을 갖는 보정 속도 프로 파일을 생성할 수 있다.
여기서, 상기 서보 드라이버가 과부하 상태인 경우, 상기 모션 제어부는 제1 가속 구간, 등속 구간 및 상기 제1 가속 구간보다 큰 가속도를 갖는 제2 가속 구간을 갖는 보정 속도 프로 파일을 생성할 수 있다.
본 발명의 일 실시예에 있어서, 상기 서보 드라이버가 과부하 상태인 경우, 상기 모션 제어부는 제1 가속 구간 및 상기 제1 가속 구간보다 큰 가속도를 갖는 제2 가속 구간을 순차적으로 갖는 보정 속도 프로 파일을 생성할 수 있다.
본 발명의 일 실시예에 있어서, 상기 과부하 판단부는 상기 서보 드라이버의 비가동 시간을 기준으로 판단할 수 있다.
본 발명의 실시예들에 따른 대상물 이송 장치의 제어 방법에 있어서, 대상물 이송 장치의 동작을 제어하는 상위 제어 유닛의 이송 명령에 따라 모션 제어부에서 서보 드라이버로 제공하기 위한 속도 신호를 생성하고, 상기 서보 드라이버가 과부하 상태 여부를 확인한다. 이후, 상기 서보 드라이버가 상기 과부하 상태가 아닌 경우 상기 모션 제어부에서 정상 속도 프로파일을 생성하고, 상기 서보 드라이버가 상기 과부하 상태인 경우 상기 모션 제어부에서 상기 과부하 상태에 대응하는 보정 속도 프로파일을 생성한다. 이어서, 상기 정상 속도 프로파일 또는 상기 보정 속도 프로파일에 따라 상기 서보 드라이버가 서보 모터를 구동시킬 수 있다.
본 발명의 일 실시예에 있어서, 상기 서보 드라이버가 과부하 상태인 경우, 상기 모션 제어부는 등속 구간을 일정시간 유지 후 가속 구간을 갖는 보정 속도 프로 파일을 생성할 수 있다.
여기서, 상기 서보 드라이버가 과부하 상태인 경우, 상기 모션 제어부는 제1 가속 구간, 등속 구간 및 상기 제1 가속 구간보다 큰 가속도를 갖는 제2 가속 구간을 갖는 보정 속도 프로 파일을 생성할 수 있다.
본 발명의 일 실시예에 있어서, 상기 서보 드라이버가 과부하 상태인 경우, 상기 모션 제어부는 제1 가속 구간 및 상기 제1 가속 구간보다 큰 가속도를 갖는 제2 가속 구간을 갖는 보정 속도 프로 파일을 생성할 수 있다.
본 발명의 일 실시예에 있어서, 상기 과부하 상태 여부는 상기 서보 드라이버의 비가동 시간을 기준으로 판단할 수 있다.
본 발명에 따른 대상물 이송 장치 및 그 제어 방법은 상기 서보 드라이버의부에 과부하 여부에 따라 상기 정상 속도 프로파일 또는 상기 보정 속도 프로파일을 생성할 수 있다. 상기 과부하 여부에 따라 속도 프로파일을 조절할 수 있으므로, 상기 대상물 이송 장치가 개선된 이송 효율을 가질 수 있다.
도 1은 본 발명의 일 실시예에 따른 대상물 이송 장치를 설명하기 위한 개략적인 블록도이다.
도 2 내지 도 4는 도 1의 모션 제어부에서 생성되는 정상 속도 프로파일과 보정 속도 프로파일을 설명하기 위한 그래프들이다.
도 5는 도 1에 도시된 대상물 이송 장치의 제어 방법을 설명하기 위한 순서도이다.
이하, 첨부한 도면을 참조하여 본 발명에 대해 상세히 설명한다. 본 발명은 다양한 변경을 가할 수 있고 여러 가지 형태를 가질 수 있는 바, 특정 실시 예들을 도면에 예시하고 본문에 상세하게 설명하고자 한다. 그러나, 이는 본 발명을 특정한 개시 형태에 대해 한정하려는 것이 아니며, 본 발명의 사상 및 기술 범위에 포함되는 모든 변경, 균등물 내지 대체물을 포함하는 것으로 이해되어야 한다. 각 도면을 설명하면서 유사한 참조부호를 유사한 구성요소에 대해 사용하였다. 첨부된 도면에 있어서, 구조물들의 치수는 본 발명의 명확성을 기하기 위하여 실제보다 확대하여 도시한 것이다.
제1, 제2 등의 용어는 다양한 구성요소들을 설명하는데 사용될 수 있지만, 상기 구성요소들은 상기 용어들에 의해 한정되어서는 안 된다. 상기 용어들은 하나의 구성요소를 다른 구성요소로부터 구별하는 목적으로만 사용된다. 예를 들어, 본 발명의 권리 범위를 벗어나지 않으면서 제1 구성요소는 제2 구성요소로 명명될 수 있고, 유사하게 제2 구성요소도 제1 구성요소로 명명될 수 있다.
본 출원에서 사용한 용어는 단지 특정한 실시 예를 설명하기 위해 사용된 것으로, 본 발명을 한정하려는 의도가 아니다. 단수의 표현은 문맥상 명백하게 다르게 뜻하지 않는 한, 복수의 표현을 포함한다. 본 출원에서, "포함하다" 또는 "가지다" 등의 용어는 명세서 상에 기재된 특징, 숫자, 단계, 동작, 구성요소, 부분품 또는 이들을 조합한 것이 존재함을 지정하려는 것이지, 하나 또는 그 이상의 다른 특징들이나 숫자, 단계, 동작, 구성요소, 부분품 또는 이들을 조합한 것들의 존재 또는 부가 가능성을 미리 배제하지 않는 것으로 이해되어야 한다.
다르게 정의되지 않는 한, 기술적이거나 과학적인 용어를 포함해서 여기서 사용되는 모든 용어들은 본 발명이 속하는 기술 분야에서 통상의 지식을 가진 자에 의해 일반적으로 이해되는 것과 동일한 의미를 가지고 있다. 일반적으로 사용되는 사전에 정의되어 있는 것과 같은 용어들은 관련 기술의 문맥 상 가지는 의미와 일치하는 의미를 가지는 것으로 해석되어야 하며, 본 출원에서 명백하게 정의하지 않는 한, 이상적이거나 과도하게 형식적인 의미로 해석되지 않는다.
도 1은 본 발명의 일 실시예에 따른 대상물 이송 장치를 설명하기 위한 개략적인 블록도이다. 도 2는 도 1의 모션 제어부에서 생성되는 정상 속도 프로파일과 보정 속도 프로파일을 설명하기 위한 그래프이다.
도 1 및 도 2를 참조하면, 대상물 이송 장치(100)는 주행 레일을 따라 주행하면서 대상물을 이송한다.
자세히 도시되지는 않았지만, 상기 대상물 이송 장치(110)는 주행부, 프레임부, 슬라이드부, 호이스트부 및 핸드부를 포함할 수 있다. 상기 대상물은 풉(FOUP), 포스비(FOSB), 매거진, 포드, 트레이 등일 수 있다.
상기 주행부는 상기 대상물 이송 장치(110)를 상기 주행 레일을 따라 이동시킨다. 상기 슬라이드부는 상기 호이스트부를 수평 방향으로 이동시킬 수 있다. 상기 호이스트부는 상기 핸드부를 고정하며 상기 핸드부를 상하 방향을 따라 이동시킬 수 있다. 상기 핸드부는 상기 대상물을 고정할 수 있다. 상기 대상물은 상기 슬라이드부에 의해 상기 수평 방향으로 이동하며, 상기 호이스트부에 의해 승강할 수 있다. 따라서, 상기 슬라이드부, 상기 호이스트부, 상기 핸드부는 상기 대상물을 이적재할 수 있다.
또한, 상기 대상물 이송 장치(100)는 서보 모터(110), 서보 드라이버(120), 과부하 판단부(130) 및 모션 제어부(140)를 포함할 수 있다.
상기 서보 모터(110), 상기 서보 드라이버(120), 상기 과부하 판단부(130) 및 상기 모션 제어부(140)는 상기 주행부에 구비될 수 있다.
상기 서보 모터(110)는 상기 주행부에 구동력을 제공하여 상기 주행부의 주행 휠을 회전시킴으로써 상기 대상물 이송 장치(100)를 주행시킬 수 있다.
상기 서보 드라이버(120)는 상기 서보 모터(110)와 연결되며, 상기 서보 모터(110)의 동작을 제어한다.
구체적으로, 상기 서보 드라이버(120)는 상기 모션 제어부(140)에서 생성되는 속도 프로파일에 따라 상기 서보 모터(110)를 제어할 수 있다.
한편, 상기 서보 드라이버(120)는 기설정된 정격값 이상을 갖는 최대값으로 상기 서보 모터(110)를 구동할 수 있다.
즉, 상기 서보 드라이버(120)는 서보 모터(110)의 정격값보다 10-20% 정도 큰 최대값으로 상기 서보 모터(110)을 구동할 수 있다. 왜냐하면, 상기 서보 드라이버(120)는 최대값보다 10-20% 정도 낮게 마진을 갖도록 정격값을 설정하여 상기 정격값으로 장시간 사용되더라도 상기 서보 드라이버(120)에 과부하가 발생하는 것을 억제할 수 있도록 설정되어 있다. 하지만 상기 10-20% 의 마진으로 인하여 상기 서보 드라이버(120)가 상기 서보 모터(110)를 최대값으로 구동하지 못하고 낭비되는 문제가 있다.
상기 과부하 판단부(130)는 상기 서보 드라이버(120)의 과부하 여부를 확인할 수 있다. 상기 과부하 판단부(130)은 서보 드라이버(120)의 비가동 시간을 기준으로 과부하 여부를 판단할 수 있다.
상기 모션 제어부(140)는 상기 대상물 이송 장치(100)의 동작을 제어하기 위한 제어 유닛(10)으로부터 상기 대상물 이송 장치(100)의 이송 명령을 전달받는다. 또한, 상기 모션 제어부(140)는 상기 이송 명령에 따라 상기 대상물 이송 장치(100)의 속도 신호 및 속도 프로파일을 생성하여 상기 서보 드라이버(120)로 전달할 수 있다.
상기 속도 신호는 상기 대상물 이송 장치(100)의 정속도, 가속도 및 감속도에 대한 정보를 포함할 수 있다. 상기 속도 프로파일은 상기 대상물 이송 장치(100)의 주행 시간에 따른 속도 정보를 포함할 수 있다.
상기 서보 드라이버(120)가 상기 과부하 상태가 아닌 경우, 상기 모션 제어부(140)는 정상 속도 프로파일을 생성한다.
상기 서보 드라이버(120)가 상기 과부하 상태인 경우, 상기 모션 제어부(140)는 보정 속도 프로파일을 생성한다.
즉, 상술한 서보 드라이버(120)의 가동 마진에 따른 낭비를 방지하기 위하여, 상기 서보 드라이버(120)가 기준값 이상의 비가동 시간 동안 정지할 경우 상기 대상물 이송 장치(100)는 등속 운동 또는 정지 상태를 유지할 수 있다. 이때 상기 서보 드라이버(120)가 충분히 냉각된 상태일 수 있다.
따라서, 상기 서보 드라이버(120)는 상기 정격값보다 큰 최대값으로 상기 서보 모터(110)를 구동할 수 있다. 이로써, 상기 서보 모터(110)는 구동부를 최대 가속도로 가동할 수 있다. 이때, 상기 최대 가속도를 갖도록 상기 모션 제어부(140)는 정상 속도 프로파일을 생성할 수 있다. 이로써, 상기 서보 드라이버(120)는 최대값으로 상기 서보 모터(110)를 구동함으로써 상기 서보 모터(110)의 출력 낭비를 억제하여 상기 대상물 이송 장치(110)의 이송 효율이 증대될 수 있다.
한편, 상기 서보 드라이버(120)가 기준값 미만의 비가동 시간(tcs) 동안 정지할 경우, 상기 서보 드라이버(120)는 여전히 과부하 상태에 있을 수 있다. 따라서, 상기 모션 제어부(140)는, 상기 서보 드라이버(120)가 추가적인 비가동 시간, 즉 추가적인 정속 시간(tcs1)을 갖도록 상기 정상 속도 프로파일을 보정한다. 상기 추가적인 비가동 시간이 경과함으로써 상기 서보 드라이버(120)가 기준값 이상의 비가동 시간을 가질 경우, 상기 서보 드라이버(120)는 상기 정격값보다 큰 최대값으로 상기 서보 모터(110)를 구동할 수 있다. 이로써, 상기 서보 모터(110)는 구동부를 최대 가속도로 가동할 수 있다. 따라서, 상기 보정 속도 프로파일은 정속 구간(tcs1) 및 최대 가속도 구간(tacc)을 포함하도록 보정됨으로써, 상기 서보 드라이버(120)가 냉각된 상태에서 최대값으로 상기 서보 모터(110)를 구동한다. 이로써 상기 대상물 이송 장치(100)가 개선된 이송 효율을 가질 수 있다.
도 3은 도 1의 모션 제어부에서 생성되는 정상 속도 프로파일과 보정 속도 프로파일의 다른 예를 설명하기 위한 그래프이다
도 3을 참조하면, 상기 서보 드라이브(120)가 과부하 상태인 경우, 상기 모션 제어부(140)는 제1 가속 구간(tacc1), 등속 구간(tcs1) 및 상기 제1 가속 구간보다 큰 가속도를 갖는 제2 가속 구간(tacc2)을 갖는 보정 속도 프로 파일을 생성할 수 있다. 상기 제1 가속 구간(tacc1)에서는 상기 서보 드라이버(120)가 상대적으로 낮은 제1 가속도, 즉 낮은 토크 또는 전류로 서보 모터(100)를 구동할 수 있다. 이후, 상기 등속 구간(tcs1)동안 상기 서보 드라이버(120)는 구동되지 않는다. 이로써, 상기 서보 드라이버(120)가 과부하 상태에서 해제될 수 있다. 이후, 상기 제2 가속 구간(tacc2)은 상기 제1 가속 구간(tacc1)보다 큰 제2 가속도를 갖도록 서보 드라이버(120)가 구동된다. 상기 제2 가속 구간(tacc1)에서는 상기 서보 드라이버(120)가 상기 정격값보다 큰 최대값으로 상기 서보 모터(110)를 구동할 수 있다. 이로써, 상기 서보 모터(110)는 구동부를 최대 가속도로 가동할 수 있다.
도 4는 도 1의 모션 제어부에서 생성되는 정상 속도 프로파일과 보정 속도 프로파일의 또 다른 예를 설명하기 위한 그래프이다
도 4를 참조하면, 상기 서보 드라이브가 과부하 상태인 경우, 상기 모션 제어부는 제1 가속 구간(tacc1) 및 상기 제1 가속 구간보다 큰 가속도를 갖는 제2 가속 구간(tacc2)을 갖는 보정 속도 프로 파일을 생성할 수 있다. 상기 제1 가속 구간(tacc1)에서는 상기 서보 드라이버(120)가 상대적으로 낮은 제1 가속도, 즉 낮은 토크 또는 전류로 서보 모터(110)를 구동할 수 있다. 이로써, 상기 서보 드라이버(120)가 과부하 상태에서 해제될 수 있다. 이후, 상기 제2 가속 구간(tacc2)은 상기 제1 가속 구간(tacc1)보다 큰 제2 가속도를 갖도록 서보 드라이버(120)가 구동된다. 상기 제2 가속 구간(tacc2)에서는 상기 서보 드라이버(120)가 상기 정격값보다 큰 최대값으로 상기 서보 모터(110)를 구동할 수 있다. 이로써, 상기 서보 모터(110)는 구동부를 최대 가속도로 가동할 수 있다.
도 5는 도 1에 도시된 대상물 이송 장치의 제어 방법을 설명하기 위한 순서도이다.
도 1 및 5를 참조하면, 먼저, 제어 유닛(10)의 이송 명령에 따라 모션 제어부(140)에서 서보 드라이버(120)로 제공하기 위한 속도 신호를 생성한다(S110).
상기 속도 신호는 대상물 이송 장치(100)의 정속도, 가속도 및 감속도에 대한 정보를 포함할 수 있다.
다음으로, 상기 서보 드라이버(120)가 과부하 상태인지를 확인한다(S120).
상기 서보 드라이버(120)가 과부하 상태가 아닌 경우, 상기 서보 드라이버(120)는 정격값보다 큰 최대값인 정상 속도 프로파일로 상기 서보 모터(110)를 구동할 수 있다. 이로써 상기 대상물 이송 장치(100)의 이송 효율을 개선할 수 있다.
상기 서보 드라이버(120)가 기준값 이상의 시간동안 정지된 경우, 상기 서보 드라이버(120)가 과부하 상태가 아니거나 해제된 것으로 판단한다. 이때에는, 상기 모션 제어부(140)는 상기 서보 드라이버(120)는 정격값보다 큰 최대값인 정상 속도 프로파일을 생성하여 상기 서보 드라이버(120)를 최대값으로 구동할 수 있다.
상기 서보 드라이버(120)가 기준값 미만의 시간동안 정지된 경우, 상기 서보 드라이버(120)가 과부하 상태로 판단한다.
이후, 상기 모션 제어부(140)는, 상기 서보 드라이버를 구동하는 상기 정상 속도 프로파일을 보정하여 보정 속도 프로파일을 생성한다(S140). 이때, 상기 보정 속도 프로파일은 정속 구간 또는 상대적으로 낮은 제1 가속 구간을 가질 수 있다.
상기 정속 구간에서는 상기 서보 드라이버(120)가 상기 서보 모터의 구동을 정지시킴으로써 상기 서보 드라이버(120)가 냉각될 수 있다. 나아가 상기 제1 가속 구간에서는 상기 서보 드라이버가 낮은 가속도로 모터를 구동함으로써 상기 서보 드라이버(120)가 냉각될 수 있다.
이후, 상기 정상 속도 프로파일 또는 상기 보정 속도 프로파일에 따라 상기 서보 드라이버(120)가 상기 서보 모터(110)를 구동시킨다(S150).
상기 속도 프로파일이 상기 정상 속도 프로파일인 경우, 상기 서보 모터(110)의 구동에 따라 상기 대상물 이송 장치(100)는 최대 가속도로 주행할 수 있다. 이때, 상기 서보 드라이버(120)가 정격값보다 큰 최대 출력값을 가질 수 있다.
상기 속도 프로파일이 상기 보정 속도 프로파일인 경우, 상기 서보 모터(110)의 구동에 따라 상기 대상물 이송 장치(100)는 최대 가속도보다 작은 값, 예를 들면, 정속 구간 또는 낮은 가속도 구간을 포함하여 상기 서보 드라이버(120)를 냉각시켜 과부하 상태를 해제시킨 후 상기 서보 드라이버(120)가 정격값보다 큰 최대 출력값을 가질 수 있다. 이로써 상기 서보 모터가 상기 주행부를 최대 가속도로 주행시킬 수 있다.
상술한 바와 같이, 본 발명에 따른 대상물 이송 장치 및 그 제어 방법은 상기 서보 드라이버의 과부하 여부에 따라 상기 정상 속도 프로파일 또는 상기 보정 속도 프로파일을 생성할 수 있다. 상기 대상물 이송 장치가 개선된 이송 효율을 확보할 수 있다.
상기에서는 본 발명의 바람직한 실시예를 참조하여 설명하였지만, 해당 기술 분야의 숙련된 당업자는 하기의 특허 청구 범위에 기재된 본 발명의 사상 및 영역으로부터 벗어나지 않는 범위 내에서 본 발명을 다양하게 수정 및 변경시킬 수 있음을 이해할 수 있을 것이다.
100 : 대상물 이송 장치 110 : 서보 모터
120 : 서보 드라이버 130 : 과부하 판단부
140 : 모션 제어부 10 : 제어 유닛

Claims (10)

  1. 삭제
  2. 삭제
  3. 주행 레일을 따라 주행하여 대상물을 이송하는 대상물 이송 장치에 있어서,
    상기 대상물 이송 장치를 주행시키기 위한 서보 모터;
    상기 서보 모터의 동작을 제어하고, 부하 정도에 따라 서보 모터의 토크를 조절하는 서보 드라이버;
    상기 서보 드라이버의 과부하 정도를 확인하는 과부하 판단부; 및
    상기 대상물 이송 장치의 동작을 제어하는 제어 유닛의 이송 명령에 따라 속도 신호 및 속도 프로파일을 생성하여 상기 서보 드라이버로 전달하고, 상기 서보 드라이버가 과부하 상태가 아닌 경우 정상 속도 프로파일을 생성하고, 상기 서보 드라이버가 과부하 상태인 경우 보정 속도 프로파일을 생성하는 모션 제어부를 포함하고,
    상기 모션 제어부는, 상기 서보 드라이버가 과부하 상태인 경우, 상기 모션 제어부는 제1 가속 구간, 등속 구간 및 상기 제1 가속 구간보다 큰 가속도를 갖는 제2 가속 구간을 갖는 보정 속도 프로 파일을 생성하는 것을 특징으로 하는 대상물 이송 장치.
  4. 주행 레일을 따라 주행하여 대상물을 이송하는 대상물 이송 장치에 있어서,
    상기 대상물 이송 장치를 주행시키기 위한 서보 모터;
    상기 서보 모터의 동작을 제어하고, 부하 정도에 따라 서보 모터의 토크를 조절하는 서보 드라이버;
    상기 서보 드라이버의 과부하 정도를 확인하는 과부하 판단부; 및
    상기 대상물 이송 장치의 동작을 제어하는 제어 유닛의 이송 명령에 따라 속도 신호 및 속도 프로파일을 생성하여 상기 서보 드라이버로 전달하고, 상기 서보 드라이버가 과부하 상태가 아닌 경우 정상 속도 프로파일을 생성하고, 상기 서보 드라이버가 과부하 상태인 경우 보정 속도 프로파일을 생성하는 모션 제어부를 포함하고,
    상기 모션 제어부는, 상기 서보 드라이버가 과부하 상태인 경우, 상기 모션 제어부는 제1 가속 구간 및 상기 제1 가속 구간보다 큰 가속도를 갖는 제2 가속 구간을 갖는 보정 속도 프로 파일을 생성하는 것을 특징으로 하는 대상물 이송 장치.
  5. 주행 레일을 따라 주행하여 대상물을 이송하는 대상물 이송 장치에 있어서,
    상기 대상물 이송 장치를 주행시키기 위한 서보 모터;
    상기 서보 모터의 동작을 제어하고, 부하 정도에 따라 서보 모터의 토크를 조절하는 서보 드라이버;
    상기 서보 드라이버의 과부하 정도를 확인하는 과부하 판단부; 및
    상기 대상물 이송 장치의 동작을 제어하는 제어 유닛의 이송 명령에 따라 속도 신호 및 속도 프로파일을 생성하여 상기 서보 드라이버로 전달하고, 상기 서보 드라이버가 과부하 상태가 아닌 경우 정상 속도 프로파일을 생성하고, 상기 서보 드라이버가 과부하 상태인 경우 보정 속도 프로파일을 생성하는 모션 제어부를 포함하고,
    상기 과부하 판단부는 상기 서보 드라이버의 비가동 시간을 기준으로 판단으로 것을 특징으로 하는 대상물 이송 장치.
  6. 삭제
  7. 삭제
  8. 대상물 이송 장치의 동작을 제어하는 상위 제어 유닛의 이송 명령에 따라 모션 제어부에서 서보 드라이버로 제공하기 위한 속도 신호를 생성하는 단계;
    상기 서보 드라이버가 과부하 상태 여부를 확인하는 단계;
    상기 서보 드라이버가 상기 과부하 상태가 아닌 경우 상기 모션 제어부에서 정상 속도 프로파일을 생성하고, 상기 서보 드라이버가 상기 과부하 상태인 경우 상기 모션 제어부에서 상기 과부하 상태에 대응하는 보정 속도 프로파일을 생성하는 단계; 및
    상기 정상 속도 프로파일 또는 상기 보정 속도 프로파일에 따라 상기 서보 드라이버가 서보 모터를 구동시키는 단계를 포함하고,
    상기 서보 드라이버가 과부하 상태인 경우, 상기 모션 제어부는 제1 가속 구간, 등속 구간 및 상기 제1 가속 구간보다 큰 가속도를 갖는 제2 가속 구간을 갖는 보정 속도 프로 파일을 생성하는 것을 특징으로 하는 대상물 이송 장치의 제어 방법.
  9. 대상물 이송 장치의 동작을 제어하는 상위 제어 유닛의 이송 명령에 따라 모션 제어부에서 서보 드라이버로 제공하기 위한 속도 신호를 생성하는 단계;
    상기 서보 드라이버가 과부하 상태 여부를 확인하는 단계;
    상기 서보 드라이버가 상기 과부하 상태가 아닌 경우 상기 모션 제어부에서 정상 속도 프로파일을 생성하고, 상기 서보 드라이버가 상기 과부하 상태인 경우 상기 모션 제어부에서 상기 과부하 상태에 대응하는 보정 속도 프로파일을 생성하는 단계; 및
    상기 정상 속도 프로파일 또는 상기 보정 속도 프로파일에 따라 상기 서보 드라이버가 서보 모터를 구동시키는 단계를 포함하고,
    상기 서보 드라이버가 과부하 상태인 경우, 상기 모션 제어부는 제1 가속 구간 및 상기 제1 가속 구간보다 큰 가속도를 갖는 제2 가속 구간을 갖는 보정 속도 프로 파일을 생성하는 것을 특징으로 하는 대상물 이송 장치의 제어 방법.
  10. 대상물 이송 장치의 동작을 제어하는 상위 제어 유닛의 이송 명령에 따라 모션 제어부에서 서보 드라이버로 제공하기 위한 속도 신호를 생성하는 단계;
    상기 서보 드라이버가 과부하 상태 여부를 확인하는 단계;
    상기 서보 드라이버가 상기 과부하 상태가 아닌 경우 상기 모션 제어부에서 정상 속도 프로파일을 생성하고, 상기 서보 드라이버가 상기 과부하 상태인 경우 상기 모션 제어부에서 상기 과부하 상태에 대응하는 보정 속도 프로파일을 생성하는 단계; 및
    상기 정상 속도 프로파일 또는 상기 보정 속도 프로파일에 따라 상기 서보 드라이버가 서보 모터를 구동시키는 단계를 포함하고,
    상기 과부하 상태 여부를 판단하는 단계는 상기 서보 드라이버의 비가동 시간을 기준으로 판단하는 것을 특징으로 하는 대상물 이송 장치의 제어 방법.
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