KR102478040B1 - 집적회로 소자 제조용 이송 장치 - Google Patents

집적회로 소자 제조용 이송 장치 Download PDF

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Abstract

집적회로 소자 제조용 이송 장치는 집적회로 소자를 제조하는 제조 라인 상부에 구비되는 주행 레일로 이루어지는 레일부; 상기 레일부의 주행 레일을 따라 주행하도록 구비되는 주행휠, 상기 주행휠과 결합되어 상기 주행휠의 주행에 의해 상기 제조 라인에서 상기 집적회로 소자의 제조에 필요한 목적물을 이송하도록 구비되는 몸체부, 및 상기 몸체부와 결합되어 상기 주행휠을 구동시키도록 구비되는 구동부로 이루어지는 차량부; 및 상기 주행 레일 사이에 배치되는 조향 레일, 및 상기 조향 레일로 진입하여 강제 접촉함에 의해 위치가 강제적으로 변경되어 상기 차량부의 주행 방향을 조정하는 조향휠로 이루어지는 조향부를 포함할 수 있다.

Description

집적회로 소자 제조용 이송 장치{Apparatus for transferring using the integrated circuit device fabricating}
본 발명은 집적회로 소자 제조용 이송 장치에 관한 것으로써, 보다 상세하게는 집적회로 소자를 제조하는 제조 라인 내의 천장 쪽에 배치되는 구조로 이루어지는 집적회로 소자 제조용 이송 장치에 관한 것이다.
반도체 소자, 디스플레이 소자 등과 같은 집적회로 소자는 박막 형성 공정, 포토리소그라피(photolithigraphy) 공정, 식각 공정, 금속 배선 공정 등과 같은 다양한 공정을 수행함에 의해 제조된다. 이에, 상기 집적회로 소자의 제조에서는 상기 집적회로 소자의 제조에 필요한 목적물을 이송하는 이송 공정을 항상 수행하고 있다.
언급한 이송 공정의 경우에는 주로 로봇암 등을 이용하여 이루어지고 있는데, 상기 로봇암 등을 이송 장치로 이용할 경우 상기 집적회로 소자의 제조를 위한 제조 라인 내의 공간 활용도가 저하되는 단점이 있다. 특히, 상기 제조 라인이 클린룸일 경우에는 상기 클린룸 자체가 고가로 이루어지기 때문에 상기 클린롬의 공간 활용도의 저하로 인한 경제적 손실이 발생하는 문제점이 있다.
따라서 최근에는 상기 클린룸의 천장에 이송 장치가 배치되는 오에이치티(OHT : overhead hoist transfer)를 구비하여 상기 집적회로 소자의 이송 공정에 활용하고 있다. 상기 오에이치티로 이루어지는 이송 장치는 직선 구간, 곡선 구간 및 분기 구간 등을 포함하는 주행 레일로 이루어지는 레일부를 포함할 수 있고, 상기 레일부를 주행하는 주행휠 등으로 이루어지는 차량부를 포함할 수 있다. 그리고 상기 이송 장치는 상기 직선 구간의 주행 레일을 주행하다가 상기 곡선 구간 또는 상기 분기 구간의 주행 레일로 주행할 경우 상기 차량부의 주행 방향을 조정할 필요가 있고, 이에 언급한 이송 장치는 상기 차량부의 주행 방향을 조정할 수 있는 조향 부재를 더 포함할 수 있다.
그러나 상기 이송 장치를 이용한 종래에는 상기 차량부를 고속으로 주행하다가 상기 조향이 필요한 구간에 진입시 상기 차량부를 감속시켜 주행하면서 상기 조향 부재를 솔레노이드(solenoid) 등과 같은 부재를 사용하여 조정하고, 아울러 상기 조향 부재의 조정 상태를 최종적으로 확인한 이후에 상기 차량부를 주행시키는 구성을 갖는다.
이에, 종래의 상기 이송 장치를 사용할 경우 상기 제조 라인에서의 목적물의 이송에 따른 시간이 지연되는 문제점이 있다.
그리고 상기 차량부를 감속하지 않은 상태로 상기 조향이 필요한 구간을 주행할 경우에는 진동이 심하게 발생할 수 있고, 심할 경우 상기 차량부가 파손되는 상황까지 발생하는 문제점이 있다.
본 발명의 목적은 차량부의 속도를 감속시키지 않고도 차량부의 주행 방향을 조정할 수 있는 조향부를 구비하는 집적회로 소자 제조용 이송 장치를 제공하는데 있다.
언급한 목적을 달성하기 위한 본 발명의 일 실시예에 따른 집적회로 소자 제조용 이송 장치는 집적회로 소자를 제조하는 제조 라인 상부에 구비되는 주행 레일로 이루어지는 레일부; 상기 레일부의 주행 레일을 따라 주행하도록 구비되는 주행휠, 상기 주행휠과 결합되어 상기 주행휠의 주행에 의해 상기 제조 라인에서 상기 집적회로 소자의 제조에 필요한 목적물을 이송하도록 구비되는 몸체부, 및 상기 몸체부와 결합되어 상기 주행휠을 구동시키도록 구비되는 구동부로 이루어지는 차량부; 및 상기 주행 레일 사이에 배치되는 조향 레일, 및 상기 조향 레일로 진입하여 강제 접촉함에 의해 위치가 강제적으로 변경되어 상기 차량부의 주행 방향을 조정하는 조향휠로 이루어지는 조향부를 포함할 수 있다.
언급한 본 발명의 일 실시예에 따른 집적회로 소자 제조용 이송 장치에서, 상기 제조 라인은 클린룸일 수 있다.
언급한 본 발명의 일 실시예에 따른 집적회로 소자 제조용 이송 장치에서, 상기 주행 레일은 직선 구간, 곡선 구간, 및 분기 구간을 포함할 수 있고, 상기 조향부는 주행 방향의 조정이 필요한 구간을 진입하는 진입 구간에 위치하도록 구비할 수 있다.
언급한 본 발명의 일 실시예에 따른 집적회로 소자 제조용 이송 장치에서, 상기 조향휠은 상기 구동부의 상면에 구비될 수 있고, 상기 조향 레일은 상기 조향휠과 강제 접촉 가능하게 상기 구동부의 상측에 배치되도록 구비될 수 있다.
언급한 본 발명의 일 실시예에 따른 집적회로 소자 제조용 이송 장치에서, 상기 조향 레일은 상기 주행 레일 사이에서 어느 하나의 주행 레일로부터 다른 하나의 주행 레일을 향하게 휘어진 구조를 갖도록 구비될 수 있고, 상기 조향휠은 상기 조향 레일의 휘어진 구조를 따라 주행함에 의해 위치가 강제적으로 변경되도록 구비될 수 있다.
본 발명의 집적회로 소자 제조용 이송 장치의 경우 조향휠이 주행 레일 사이에 배치되는 조향 레일로 진입하여 강제 접촉함에 의해 위치가 강제적으로 변경됨으로써 차량부의 주행 방향을 조정할 수 있다. 특히, 본 발명의 집적회로 소자 제조용 이송 장치는 언급한 바와 같이 조향 레일과 조향휠 사이를 강제적인 접촉 구조를 갖도록 구비하기 때문에 차량부의 주행 속도를 감속시키지 않고도 차량부의 주행 방향을 조정할 수 있다.
이에, 본 발명의 집적회로 소자 제조용 이송 장치를 사용할 경우 집적회로 소자 제조 라인에서의 목적물의 이송을 보다 신속하게 수행할 수 있어 목적물의 이송을 위한 시간을 충분하게 단축시킬 수 있다.
도 1은 본 발명의 일 실시예에 따른 집적회로 소자 제조용 이송 장치를 나타내는 개략적인 구성도이다.
도 2는 도 1의 조향부를 보다 구체적으로 설명하기 위한 도면이다.
본 발명은 다양한 변경을 가할 수 있고 여러 가지 형태를 가질 수 있는 바, 실시예를 본문에 상세하게 설명하고자 한다. 그러나 이는 본 발명을 특정한 개시 형태에 대해 한정하려는 것이 아니며, 본 발명의 사상 및 기술 범위에 포함되는 모든 변경, 균등물 내지 대체물을 포함하는 것으로 이해되어야 한다. 각 도면을 설명하면서 유사한 참조 부호를 유사한 구성 요소에 대해 사용하였다. 제1, 제2 등의 용어는 다양한 구성 요소들을 설명하는데 사용될 수 있지만, 상기 구성 요소들은 상기 용어들에 의해 한정되어서는 안 된다. 상기 용어들은 하나의 구성 요소를 다른 구성 요소로부터 구별하는 목적으로만 사용된다. 본 출원에서 사용한 용어는 단지 특정한 실시예를 설명하기 위해 사용된 것으로, 본 발명을 한정하려는 의도가 아니다. 단수의 표현은 문맥상 명백하게 다르게 뜻하지 않는 한, 복수의 표현을 포함한다. 본 출원에서, "포함하다" 또는 "이루어진다" 등의 용어는 명세서 상에 기재된 특징, 숫자, 단계, 동작, 구성 요소, 부분품 또는 이들을 조합한 것이 존재함을 지정하려는 것이지, 하나 또는 그 이상의 다른 특징들이나 숫자, 단계, 동작, 구성 요소, 부분품 또는 이들을 조합한 것들의 존재 또는 부가 가능성을 미리 배제하지 않는 것으로 이해되어야한다.
다르게 정의되지 않는 한, 기술적이거나 과학적인 용어를 포함해서 여기서 사용되는 모든 용어들은 본 발명이 속하는 기술 분야에서 통상의 지식을 가진 자에 의해 일반적으로 이해되는 것과 동일한 의미를 가지고 있다. 일반적으로 사용되는 사전에 정의되어 있는 것과 같은 용어들은 관련 기술의 문맥 상 가지는 의미와 일치하는 의미를 가지는 것으로 해석되어야 하며, 본 출원에서 명백하게 정의하지 않는 한, 이상적이거나 과도하게 형식적인 의미로 해석되지 않는다.
이하, 첨부하는 도면들을 참조하여 본 발명의 일 실시예에 따른 집적회로 소자 제조용 이송 장치에 대하여 설명하기로 한다.
도 1은 본 발명의 일 실시예에 따른 집적회로 소자 제조용 이송 장치를 나타내는 개략적인 구성도이고, 도 2는 도 1의 조향부를 보다 구체적으로 설명하기 위한 도면이다.
도 1 및 도 2를 참조하면, 본 발명의 집적회로 소자 제조용 이송 장치(100)는 반도체 소자, 디스플레이 소자 등을 제조하는 제조 라인에서 기판, 마스크 등과 같은 목적물을 이송하는데 사용하는 것으로써, 제조 라인의 천장 쪽에 배치되도록 구비되는 오에이치티(OHT : overhead hoist transfer)를 포함할 수 있다.
상기 오에이치티로 이루어지는 본 발명의 이송 장치(100)는 레일부(11) 및 차량부(21)를 포함할 수 있다. 그리고 본 발명의 이송 장치(100)가 구비되는 상기 제조 라인은 반도체 소자, 디스플레이 소자 등을 제조하기 때문에 클린룸으로 이루어질 수 있다. 따라서 본 발명의 경우 상기 클린룸에 오에이치티로 이루어지는 이송 장치(100)를 구비함으로써 클린룸의 공간 활용도를 보다 극대화할 수 있는 이점이 있다. 이는, 상기 이송 장치(100)를 상기 클린룸의 천장 쪽에 배치되도록 구비시킴으로써 상기 클린룸의 바닥 쪽의 공간을 보다 경제적으로 활용할 수 있기 때문이다.
상기 레일부(11)는 상기 집적회로 소자를 제조하는 제조 라인 내의 천장 쪽에 배치되도록 구비될 수 있다. 상기 차량부(21)는 상기 목적물을 상기 제조 라인 내에서 이송할 수 있도록 상기 레일부(11)를 따라 주행 가능하게 결합되도록 구비될 수 있다.
특히, 상기 레일부(11)는 상기 차량부(21)가 결합되어 주행하는 주행 레일(13) 및 상기 천장 쪽에 상기 주행 레일(13)이 배치되도록 지지하는 레일 지지부(15) 등을 포함할 수 있다. 즉, 상기 레일부(11)는 상기 주행 레일(13) 및 상기 주행 레일(13)을 상기 클린룸의 천장에 매달아 둘 수 있는 상기 레일 지지부(15)로 이루어지는 것이다. 그리고 상기 주행 레일(13)의 경우에는 두 개의 라인 구조를 갖는 궤도 레일로 이루어질 수 있다. 또한, 상기 주행 레일(13)은 직선 구간, 곡선 구간, 경사 구간 및 분기 구간이 혼재하도록 구비될 수 있고, 상기 클린룸 내의 레이아웃에 따라 다양한 구간으로 이루어지도록 구비될 수 있다.
상기 차량부(21)는 상기 주행 레일(13)을 따라 주행하는 주행휠(23) 및 상기 주행휠(23)의 주행에 의해 상기 목적물을 이송하도록 상기 주행휠(23)과 결합되는 몸체부(29)를 포함할 수 있다.
상기 주행휠(23)은 상기 주행 레일(13)을 따라 주행하는 것과 함께 상기 차량부(21)가 상기 주행 레일(13)을 따라 주행할 때 상기 주행 레일(13)로부터 상기 차량부(21)가 이탈하는 것을 방지하는 가이드용 휠(25)을 더 구비할 수 있다. 상기 가이드용 휠(25)은 상기 주행휠(13) 안쪽에서 상기 차량부(21)의 측면을 지지하는 구조를 갖도록 구비될 수 있다.
상기 몸체부(29)는 언급한 바와 같이 상기 주행휠(23)과 결합되어 상기 주행휠(23)의 주행에 따라 함께 주행하는 것으로써, 상기 목적물의 이송시 상기 목적물이 적재되는 부재로 이해할 수 있다. 따라서 상기 몸체부(29)는 상기 목적물을 주로 파지하는 구조로 상기 목적물을 적재하도록 구비될 수 있다. 이에, 상기 몸체부(29)에는 상기 목적물을 파지하는 파지 부재(도시되지 않음) 및 상기 파지 부재를 상승 및 하강시키는 구동 부재(도시되지 않음) 등이 구비될 수 있다. 아울러, 상기 몸체부(29)에는 상기 이송 장치(100)를 전반적으로 제어하는 제어부(도시되지 않음) 등이 위치할 수 있다.
또한, 상기 차량부(21)는 상기 주행휠(23)을 구동시키는 구동부(27)를 더 구비할 수 있다. 이때, 상기 구동부(27)는 구동력을 제공하는 구동 모터(도시되지 않음), 상기 구동 모터의 구동력을 상기 주행휠(23)로 전달하는 구동축(도시되지 않음), 상기 구동부(27)의 구동 속도를 조절하는 속도 조절부(도시되지 않음) 등으로 이루어질 수 있다. 상기 속도 조절부는 주로 기어 구조를 갖도록 구비될 수 있다.
그리고 상기 차량부(21)의 경우 상기 주행휠(23)이 상기 주행 레일(13)을 따라 주행해야 하기 때문에 상기 주행휠(23)은 상기 구동부(27)의 양측면에 배치되도록 구비될 수 있고, 아울러 상기 주행 레일(13) 아래에 이송을 요하는 상기 목적물이 놓여 있기 때문에 상기 몸체부(29)는 상기 주행 레일(13)의 아래, 즉 상기 구동부(27)의 아래에 배치되도록 구비될 수 있다.
이에, 본 발명의 이송 장치(100)는 상기 레일부(11) 및 상기 차량부(21)를 구비함으로써, 상기 클린룸으로 이루어지는 제조 라인에서 상기 목적물을 안정적으로 이송할 수 있는 것이다.
본 발명의 이송 장치(100)를 이용한 이송에서는 상기 직선 구간의 주행 레일(13)을 주행하다가 상기 곡선 구간의 주행 레일(13)로 주행하거나, 상기 직선 구간의 주행 레일(13)을 주행하다가 상기 분기 구간의 주행 레일(13)로 주행하거나, 상기 곡선 구간(13)의 주행 레일을 주행하다가 상기 분기 구간의 주행 레일(13)을 주행하거나, 또는 상기 곡선 구간의 주행 레일(13)을 주행하다가 상기 직선 구간의 주행 레일(13)을 주행하는 등과 같은 주행 방향을 조정해야 하는 발생할 수 있다.
이에, 본 발명의 이송 장치(100)는 상기 차량부(21)의 주행 방향을 직선 방향에서 곡선 방향, 곡선 방향에서 직선 방향 등으로 조정할 필요가 있다. 따라서 본 발명의 이송 장치(100)는 상기 차량부(21)의 주행 방향을 조정할 수 있는 조향부(31)를 더 포함할 수 있다.
본 발명의 이송 장치(100)에서의 상기 조향부(31)는 조향 레일(33) 및 조향휠(35)로 이루어지도록 구비될 수 있다. 특히, 상기 조향 레일(33)은 상기 주행 레일(13) 사이에 배치되도록 구비될 수 있고, 상기 조향휠(35)은 상기 조향 레일(33)로 진입하여 강제 접촉함에 의해 위치가 강제적으로 변경되어 상기 차량부(21)의 주행 방향을 조정하도록 구비될 수 있다.
이에, 상기 조향휠(35)은 상기 구동부(27)의 상면에 구비될 수 있고, 상기 조향 레일(33)은 상기 조향휠(35)과 강제 접촉 가능하게 상기 구동부(27)의 상측에 배치되도록 구비될 수 있다. 그리고 상기 조향 레일(33)은 상기 주행 레일(13) 사이에 배치되는 것으로 설명하고 있지만, 언급한 바와 같이 상기 조향 레일(33)은 상기 구동부(27)의 상측에 배치되는 구조를 갖기 때문에 상기 주행 레일(13) 보다는 높은 곳에 위치하도록 배치되는 구조를 갖는다.
아울러, 상기 조향 레일(33)은 상기 주행 레일(13) 사이에서 어느 하나의 주행 레일(13)로부터 다른 하나의 주행 레일(13)을 향하게 휘어진 구조를 갖도록 구비될 수 있다. 따라서 상기 조향휠(35)은 상기 조향 레일(33)의 휘어진 구조를 따라 접촉하여 주행함에 의해 위치가 강제적으로 변경되도록 구비될 수 있는 것이다.
또한, 상기 조향부(31)는 주행 방향의 조정이 필요한 구간을 진입하는 진입 구간에 위치하도록 구비될 수 있다. 즉, 상기 조향부(31)는 상기 차량부(21)의 주행 방향의 조정이 이루어져야 하는 진입 구간에 상기 조향 레일(33)이 배치되도록 구비하는 것이다.
언급한 바와 같이, 본 발명의 이송 장치(100)는 상기 조향휠(35) 및 상기 조향 레일(33)로 이루어지는 상기 조향부(31)를 구비함으로써 상기 조향휠(35)이 상기 주행 레일(13) 사이에 배치되는 상기 조향 레일(33)로 진입하여 강제 접촉함에 의해 위치가 강제적으로 변경되고, 그 결과 상기 차량부(21)의 주행 방향을 조정할 수 있다. 특히, 본 발명의 이송 장치(100)는 언급한 바와 같이 상기 조향 레일(33) 및 상기 조향휠(35) 사이를 강제적인 접촉 구조를 갖도록 구비하기 때문에 상기 차량부(21)의 주행 속도를 감속시키지 않고도 상기 차량부(21)의 주행 방향을 조정할 수 있는 것이다.
그리고 본 발명의 이송 장치(100)의 경우에는 언급한 바와 같이 상기 조향부(31)가 강제적으로 조향이 가능하도록 구비됨으로써 X자형 분기 구간, M자형 분기 구간 등과 같은 다양한 분기 구간의 주행 레일에 용이하게 적용할 수 있다.
본 발명의 집적회로 소자 제조용 이송 장치는 조향 레일과 조향휠 사이를 강제적인 접촉 구조를 갖도록 구비하기 때문에 차량부의 주행 속도를 감속시키지 않고도 차량부의 주행 방향을 조정할 수 있고, 그 결과 목적물의 이송을 위한 시간을 충분하게 단축시킬 수 있다.
따라서 본 발명의 집적회로 소자 제조용 이송 장치를 이용할 경우 이송 시간을 단축시킬 수 있기 때문에 집적회로 소자의 제조에 따른 생산성의 향상을 기대할 수 있다.
상기에서는 본 발명의 바람직한 실시예를 참조하여 설명하였지만, 해당 기술 분야의 숙련된 당업자는 하기의 특허 청구 범위에 기재된 본 발명의 사상 및 영역으로부터 벗어나지 않는 범위 내에서 본 발명을 다양하게 수정 및 변경시킬 수 있음을 이해할 수 있을 것이다.
11 : 레일부 13 : 주행 레일
15 : 레일 지지부 21 : 차량부
23 : 주행휠 25 : 가이드용 휠
27 : 구동부 29 : 몸체부
31 : 조향부 33 : 조향 레일
35 : 조향휠 100 : 이송 장치

Claims (5)

  1. 집적회로 소자를 제조하는 제조 라인 상부에 구비되는 주행 레일로 이루어지는 레일부;
    상기 레일부의 주행 레일을 따라 주행하도록 구비되는 주행휠, 상기 주행휠과 결합되어 상기 주행휠의 주행에 의해 상기 제조 라인에서 상기 집적회로 소자의 제조에 필요한 목적물을 이송하도록 구비되는 몸체부, 및 상기 몸체부와 결합되어 상기 주행휠을 구동시키도록 구비되는 구동부로 이루어지는 차량부; 및
    상기 주행 레일 사이에 배치되는 조향 레일, 및 상기 조향 레일로 진입하여 강제 접촉함에 의해 위치가 강제적으로 변경되어 상기 차량부의 주행 방향을 조정하는 조향휠로 이루어지는 조향부를 포함하되,
    상기 주행 레일은 두 개의 라인 구조를 갖는 궤도 레일이고, 상기 조향 레일은 상기 궤도 레일 사이에서 어느 하나의 주행 레일로부터 다른 하나의 주행 레일을 향하게 휘어진 구조를 갖도록 구비되고, 상기 조향휠은 상기 조향 레일의 휘어진 구조를 따라 주행함에 의해 위치가 강제적으로 변경되도록 구비되는 것을 특징으로 하는 집적회로 소자 제조용 이송 장치.
  2. 제1 항에 있어서, 상기 제조 라인은 클린룸인 것을 특징으로 하는 집적회로 소자 제조용 이송 장치.
  3. 제1 항에 있어서, 상기 주행 레일은 직선 구간, 곡선 구간, 및 분기 구간을 포함하고, 상기 조향부는 주행 방향의 조정이 필요한 구간을 진입하는 진입 구간에 위치하도록 구비하는 것을 특징으로 하는 집적회로 소자 제조용 이송 장치.
  4. 제1 항에 있어서, 상기 조향휠은 상기 구동부의 상면에 구비되고, 상기 조향 레일은 상기 조향휠과 강제 접촉 가능하게 상기 구동부의 상측에 배치되도록 구비되는 것을 특징으로 하는 집적회로 소자 제조용 이송 장치.
  5. 삭제
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