KR102289023B1 - 이송 차량의 동작 제어 방법 - Google Patents

Abstract

이송 차량의 동작 제어 방법이 개시된다. 상기 방법은, 이송 차량의 가속을 위한 제1 가속도로 상기 이송 차량을 가속하는 단계와, 상기 이송 차량의 가속 도중 상기 이송 차량의 감속이 요구되는 이벤트를 수신하는 단계와, 상기 이벤트가 수신된 시점에서의 상기 이송 차량의 속도를 기 설정된 시간 동안 등속으로 유지하는 단계와, 상기 이송 차량의 감속을 위한 제2 가속도로 상기 이송 차량을 감속하는 단계를 포함한다.

Description

이송 차량의 동작 제어 방법{METHOD OF CONTROLLING OPERATIONS OF TRANSFER VEHICLE}

본 발명의 실시예들은 이송 차량의 동작 제어 방법에 관한 것이다. 보다 상세하게는, 반도체 장치 또는 디스플레이 장치의 제조 공정에서 자재 이송을 위해 주행 레일을 따라 이동 가능하게 구성되는 이송 차량의 동작을 제어하는 방법에 관한 것이다.

반도체 장치 또는 디스플레이 장치의 제조 공정에서 반도체 웨이퍼, 반도체 스트립, 유리 기판, 디스플레이 패널 등과 같은 자재들은 OHT(Overhead Hoist Transport) 장치, RGV(Rail Guided Vehicle) 장치 등과 같은 무인 운반 시스템을 통해 이송될 수 있다. 특히, 상기와 같은 이송 장치들은 클린룸의 천장 또는 바닥에 설치된 주행 레일을 따라 이동 가능하게 구성된 이송 차량을 포함할 수 있으며, 상기 이송 차량의 운행 제어는 OCS(OHT Control Server) 장치와 같은 상위 제어 장치에 의해 제어될 수 있다.

예를 들면, 반도체 장치의 제조를 위한 클린룸 내에는 자재 이송을 위한 주행 레일들이 천장 부위에 설치될 수 있으며, 상기 주행 레일들을 따라 복수의 이송 차량들이 이동 가능하게 배치될 수 있다. 상기 이송 차량들은 전방에서 주행하는 다른 이송 차량과의 충돌을 방지하기 위하여 상기 선행 이송 차량과의 거리를 측정하기 위한 거리 센서를 구비하고 있으며, 상기 거리 센서에 의해 측정되는 상기 선행 이송 차량과의 거리에 따라 주행 속도가 제어될 수 있다.

예를 들면, 상기 이송 차량을 기 설정된 주행 속도에 도달되도록 가속하는 동안 상기 선행 이송 차량과의 거리가 기 설정된 거리 이내로 검출되는 경우 상기 이송 차량의 속도가 가속에서 감속으로 전환될 수 있으며, 이와 반대로 상기 선행 이송 차량과의 거리가 상기 기 설정된 거리보다 멀어지는 경우 상기 이송 차량의 속도를 감속에서 가속으로 전환할 수 있다. 그러나, 상기와 같이 이송 차량의 속도를 가속에서 감속으로 또는 감속에서 가속으로 전환하는 경우 급격한 속도 변화에 따라 상기 이송 차량에 변속에 의한 충격과 진동이 발생될 수 있으며, 이에 따라 상기 이송 차량의 노후화가 급속하게 진행될 수 있다. 또한, 상기 이송 차량의 변속에 의한 충격과 진동에 의해 상기 이송 차량에 적재된 자재의 손상이 발생될 수 있다.

대한민국 등록특허공보 제10-1610209호 (등록일자 2016년 04월 01일)

본 발명의 실시예들은 이송 차량의 변속에 따른 충격을 감소시킬 수 있는 이송 차량의 동작 제어 방법을 제공하는데 그 목적이 있다.

상기 목적을 달성하기 위한 본 발명의 일 측면에 따른 이송 차량의 동작 제어 방법은, 이송 차량의 가속을 위한 제1 가속도로 상기 이송 차량을 가속하는 단계와, 상기 이송 차량의 가속 도중 상기 이송 차량의 감속이 요구되는 이벤트를 수신하는 단계와, 상기 이벤트가 수신된 시점에서의 상기 이송 차량의 속도를 기 설정된 시간 동안 등속으로 유지하는 단계와, 상기 이송 차량의 감속을 위한 제2 가속도로 상기 이송 차량을 감속하는 단계를 포함할 수 있다.

본 발명의 일부 실시예들에 따르면, 상기 이송 차량은 주행 레일을 따라 이동할 수 있으며, 상기 이벤트는 상기 이송 차량의 전방에서 장애물이 검출되는 경우를 포함할 수 있다.

본 발명의 일부 실시예들에 따르면, 상기 이송 차량은 주행 레일을 따라 이동할 수 있으며, 상기 이벤트는 상기 이송 차량의 전방에서 선행하는 제2 이송 차량이 기 설정된 거리 이내로 근접하는 경우를 포함할 수 있다.

본 발명의 일부 실시예들에 따르면, 상기 이송 차량의 동작 제어 방법은, 상기 제2 이송 차량과의 거리가 상기 기 설정된 거리보다 멀어지는 제2 이벤트가 수신되는 경우 상기 이송 차량을 제3 가속도로 가속하는 단계를 더 포함할 수 있다.

본 발명의 일부 실시예들에 따르면, 상기 이송 차량의 동작 제어 방법은, 상기 이송 차량을 상기 제3 가속도로 가속하기 이전에 상기 제2 이벤트가 수신된 시점에서의 상기 이송 차량의 속도를 기 설정된 시간 동안 등속으로 유지하는 단계를 더 포함할 수 있다.

본 발명의 일부 실시예들에 따르면, 상기 이송 차량의 속도를 등속으로 유지하는 시간은 약 0.1초 내지 1초 사이에서 설정될 수 있다.

본 발명의 일부 실시예들에 따르면, 상기 등속으로 유지되는 상기 이송 차량의 속도는 약 0.1 m/s 내지 3 m/s 정도일 수 있다.

상기 목적을 달성하기 위한 본 발명의 다른 측면에 따른 이송 차량의 동작 제어 방법은, 이송 차량의 감속을 위한 제1 가속도로 상기 이송 차량을 감속하는 단계와, 상기 이송 차량의 감속 도중 상기 이송 차량의 가속이 요구되는 이벤트를 수신하는 단계와, 상기 이벤트가 수신된 시점에서의 상기 이송 차량의 속도를 기 설정된 시간 동안 등속으로 유지하는 단계와, 상기 이송 차량의 가속을 위한 제2 가속도로 상기 이송 차량을 가속하는 단계를 포함할 수 있다.

본 발명의 일부 실시예들에 따르면, 상기 이송 차량을 감속하는 단계는 상기 이송 차량의 전방에 장애물이 검출되는 경우에 수행될 수 있으며, 상기 이벤트는 상기 장애물이 제거되는 경우를 포함할 수 있다.

본 발명의 일부 실시예들에 따르면, 상기 이송 차량은 주행 레일을 따라 이동할 수 있으며, 상기 이송 차량을 감속하는 단계는 상기 이송 차량의 전방에서 선행하는 제2 이송 차량이 기 설정된 거리 이내로 근접하는 경우에 수행되고, 상기 이벤트는 상기 제2 이송 차량과의 거리가 상기 기 설정된 거리보다 멀어지는 경우를 포함할 수 있다.

본 발명의 일부 실시예들에 따르면, 상기 이송 차량의 속도를 등속으로 유지하는 시간은 약 0.1초 내지 3초 사이에서 설정될 수 있다.

상술한 바와 같은 본 발명의 실시예들에 따르면, 상기 이송 차량의 속도를 가속에서 감속으로 그리고 감속에서 가속으로 변경하는 경우 상기 이송 차량에 인가되는 충격과 진동을 감소시키기 위하여 상기 가속과 감속 사이 그리고 상기 감속과 가속 사이에 기 설정된 시간 동안 등속으로 속도를 유지하는 단계를 수행할 수 있다. 결과적으로, 상기 이송 차량의 속도를 가속에서 감속으로 그리고 감속에서 가속으로 바로 전환하는 것이 아니라 그 사이에 등속 유지 단계를 수행함으로써 상기 이송 차량의 급격한 속도 변화를 방지할 수 있으며 이를 통해 상기 속도 변화에 따른 충격과 진동이 크게 감소될 수 있다.

특히, 상기와 같은 이송 차량의 가속과 감속 사이의 전환은 약 3 m/s 이하의 저속으로 복수의 이송 차량들이 주행하는 경우 매우 빈번하게 발생될 수 있으며, 상기 본 발명의 실시예들에서와 같이 가속과 감속 사이 그리고 감속과 가속 사이에 등속 유지 단계를 수행함으로써 상기 이송 차량에 인가되는 충격과 진동을 크게 감소시킬 수 있다.

도 1은 본 발명의 일 실시예에 따른 이송 차량의 동작 제어 방법을 설명하기 위한 개략도이다.
도 2는 본 발명의 일 실시예에 따른 이송 차량의 동작 제어 방법을 설명하기 위한 순서도이다.
도 3은 본 발명의 다른 실시예에 따른 이송 차량의 동작 제어 방법을 설명하기 위한 순서도이다.

이하, 본 발명의 실시예들은 첨부 도면들을 참조하여 상세하게 설명된다. 그러나, 본 발명은 하기에서 설명되는 실시예들에 한정된 바와 같이 구성되어야만 하는 것은 아니며 이와 다른 여러 가지 형태로 구체화될 수 있을 것이다. 하기의 실시예들은 본 발명이 온전히 완성될 수 있도록 하기 위하여 제공된다기보다는 본 발명의 기술 분야에서 숙련된 당업자들에게 본 발명의 범위를 충분히 전달하기 위하여 제공된다.

본 발명의 실시예들에서 하나의 요소가 다른 하나의 요소 상에 배치되는 또는 연결되는 것으로 설명되는 경우 상기 요소는 상기 다른 하나의 요소 상에 직접 배치되거나 연결될 수도 있으며, 다른 요소들이 이들 사이에 개재될 수도 있다. 이와 다르게, 하나의 요소가 다른 하나의 요소 상에 직접 배치되거나 연결되는 것으로 설명되는 경우 그들 사이에는 또 다른 요소가 있을 수 없다. 다양한 요소들, 조성들, 영역들, 층들 및/또는 부분들과 같은 다양한 항목들을 설명하기 위하여 제1, 제2, 제3 등의 용어들이 사용될 수 있으나, 상기 항목들은 이들 용어들에 의하여 한정되지는 않을 것이다.

본 발명의 실시예들에서 사용된 전문 용어는 단지 특정 실시예들을 설명하기 위한 목적으로 사용되는 것이며, 본 발명을 한정하기 위한 것은 아니다. 또한, 달리 한정되지 않는 이상, 기술 및 과학 용어들을 포함하는 모든 용어들은 본 발명의 기술 분야에서 통상적인 지식을 갖는 당업자에게 이해될 수 있는 동일한 의미를 갖는다. 통상적인 사전들에서 한정되는 것들과 같은 상기 용어들은 관련 기술과 본 발명의 설명의 문맥에서 그들의 의미와 일치하는 의미를 갖는 것으로 해석될 것이며, 명확히 한정되지 않는 한 이상적으로 또는 과도하게 외형적인 직감으로 해석되지는 않을 것이다.

본 발명의 실시예들은 본 발명의 이상적인 실시예들의 개략적인 도해들을 참조하여 설명된다. 이에 따라, 상기 도해들의 형상들로부터의 변화들, 예를 들면, 제조 방법들 및/또는 허용 오차들의 변화는 충분히 예상될 수 있는 것들이다. 따라서, 본 발명의 실시예들은 도해로서 설명된 영역들의 특정 형상들에 한정된 바대로 설명되어지는 것은 아니라 형상들에서의 편차를 포함하는 것이며, 도면들에 설명된 요소들은 전적으로 개략적인 것이며 이들의 형상은 요소들의 정확한 형상을 설명하기 위한 것이 아니며 또한 본 발명의 범위를 한정하고자 하는 것도 아니다.

도 1은 본 발명의 일 실시예에 따른 이송 차량의 동작 제어 방법을 설명하기 위한 개략도이며, 도 2는 본 발명의 일 실시예에 따른 이송 차량의 동작 제어 방법을 설명하기 위한 순서도이다.

도 1 및 도 2를 참조하면, 본 발명의 일 실시예에 따른 이송 차량(100)의 동작 제어 방법은 반도체 장치 또는 디스플레이 장치의 제조 공정에서 자재 이송을 위해 사용되는 이송 차량(100)의 동작 제어를 위해 사용될 수 있다. 일 예로서, 상기 이송 차량(100)은 상기 제조 공정이 수행되는 클린룸의 천장 부위에 배치되는 주행 레일(102)을 따라 이동 가능하도록 구성될 수 있으며, 상기 주행 레일(102) 상에 배치되어 구동력을 제공하는 주행 모듈(110)과 자재 이송을 위해 상기 주행 모듈(110)의 하부에 연결되는 호이스트 모듈(120)을 포함할 수 있다.

상세히 도시되지는 않았으나, 상기 주행 모듈(110)은 구동력을 제공하는 모터와 상기 모터에 전원을 제공하기 위한 전원 제공부 등을 포함하는 구동 장치와 상기 구동 장치의 동작을 제어하기 위한 제어부 등을 포함할 수 있다. 상기 호이스트 모듈(120)은 상기 자재, 예를 들면, 웨이퍼 등의 기판이 수납되는 FOUP(Front Opening Unified Pod)과 같은 용기(10)의 픽 앤 플레이스(pick and place) 동작을 위한 핸드 유닛과 상기 핸드 유닛을 수직 방향으로 이동시키기 위한 호이스트 유닛을 포함할 수 있다.

또한, 상기 이송 차량(100)은 상기 주행 레일을 따라 전방에서 선행하는 제2 이송 차량(200)과의 거리를 측정하기 위한 거리 센서(130)를 포함할 수 있다. 상기 제어부는 상기 거리 센서(130)의 측정 결과에 따라 상기 주행 모듈(110)의 동작을 제어할 수 있다.

본 발명의 일 실시예에 따르면, 상기 이송 차량(100)은 상기 자재 이송을 위한 목표 위치를 향해 기 설정된 주행 속도에 도달되도록 가속될 수 있다. 예를 들면, S100 단계에서 상기 이송 차량(100)은 제1 가속도로 가속될 수 있다. S110 단계에서 상기 이송 차량(100)의 가속 도중 상기 이송 차량(100)의 감속이 요구되는 이벤트가 수신될 수 있으며, 상기와 같이 이벤트가 수신되는 경우 S120 단계에서 상기 이벤트가 수신되는 시점에서의 상기 이송 차량(100)의 속도를 기 설정된 시간 동안 등속으로 유지할 수 있다. 또한, S130 단계에서 상기 이송 차량(100)의 감속을 위한 제2 가속도로 상기 이송 차량을 감속할 수 있다.

상기 이벤트는 상기 이송 차량(100)의 전방에서 상기 거리 센서(130)에 의해 장애물이 검출되는 경우를 포함할 수 있다. 일 예로서, 상기 제2 이송 차량(200)이 감속 중인 경우 또는 상기 제2 이송 차량(200)의 속도가 상기 이송 차량(100)의 속도보다 느린 경우 상기 거리 센서(130)에 의해 상기 제2 이송 차량(200)이 검출될 수 있다. 이 경우, 상기 거리 센서(130)는 상기 제2 이송 차량(200)과의 거리를 측정할 수 있으며, 상기 측정된 거리가 기 설정된 거리 이내인 경우 상기 제2 이송 차량(200)과의 충돌을 방지하기 위하여 상기 제어부는 상기 이송 차량(100)의 속도를 감속할 수 있다. 특히, 상기 이송 차량(100)의 속도를 가속에서 감속으로 바로 전환하는 경우 상기 이송 차량(100)에 속도 변화에 따른 충격과 진동이 강하게 인가될 수 있으므로 상기 S120 단계에서 상기 이송 차량(100)을 기 설정된 시간 동안 등속으로 운행함으로써 상기 충격과 진동을 감소시킬 수 있다.

특히, 상기 제2 이송 차량(200)이 고장으로 인해 상기 주행 레일(102) 상에 정지 상태로 있는 경우 상기 거리 센서(130)에 의해 상기 제2 이송 차량(200)이 검출되는 시점으로부터 충돌까지 걸리는 시간이 매우 짧기 때문에 상기 이송 차량(100)의 급정지가 요구될 수 있다. 또한, 상기 주행 레일(102)의 분기 지점에서 상기 이송 차량(100)이 선회하는 경우 선행하는 상기 제2 이송 차량(200)의 검출이 지연될 수 있으며 이 경우에도 상기 이송 차량(100)의 급정지가 요구될 수 있다. 상기와 같이 급정지가 요구되는 경우 매우 짧은 시간 내에 상기 이송 차량(100)을 정지시켜야 하므로 상기 S120 단계의 등속 주행 또한 짧은 시간 동안 이루어지는 것이 바람직하다. 예를 들면, 상기 S120 단계에서 상기 이송 차량(100)의 등속을 유지하는 시간은 약 0.1초 내지 1초 사이에서 설정될 수 있다.

추가적으로, 상기 이송 차량(100)의 속도가 일정 속도 이상인 경우 상기 제2 이송 차량(200)과의 충돌까지 걸리는 시간이 더욱 짧기 때문에 충돌 방지를 위해 상기 S120 단계가 생략될 수 있다. 예를 들면, 상기 이송 차량(100)의 속도가 약 3 m/s를 초과하는 경우 상기 제2 이송 차량(200)과의 충돌 방지를 위해 상기 S120 단계가 생략될 수 있다. 이와 반대로, 상기 이송 차량(100)의 속도가 약 0.1m/s 내지 3 m/s 정도의 저속 상태인 경우 본 발명의 일 실시예에 따라 상기 S120 단계의 등속 주행을 실시함으로써 변속에 따른 상기 이송 차량(100)의 충격과 진동을 감소시킬 수 있다.

한편, 도시되지는 않았으나, 상기 S130 단계의 감속을 수행하는 동안 상기 제2 이송 차량(200)과의 거리가 상기 기 설정된 거리보다 멀어지는 제2 이벤트가 수신되는 경우 상기 제어부는 상기 이송 차량(100)이 제3 가속도로 가속되도록 상기 주행 모듈(110)의 동작을 제어할 수 있다. 이 경우에도 상기 이송 차량(100)의 충격 및 진동을 방지하기 위하여 상기 제3 가속도로 가속하기 이전에 상기 제2 이벤트가 수신된 시점에서의 상기 이송 차량(100)의 속도를 기 설정된 시간 동안 등속으로 유지할 수 있다. 예를 들면, 상기 S130 단계의 감속 구간에서 상기 이송 차량(100)의 속도는 상대적으로 저속일 수 있고 또한 상기 제2 이송 차량(200)과의 충돌에 대한 위험이 없으므로 상기 제3 가속도로의 가속 이전에 수행되는 등속 주행은 상대적으로 긴 시간 동안 수행될 수 있다. 예를 들면, 상기 제3 가속도 이전에 수행되는 상기 이송 차량(100)의 등속 주행 시간은 약 0.1초 내지 3초 사이에서 설정될 수 있다.

도 3은 본 발명의 다른 실시예에 따른 이송 차량의 동작 제어 방법을 설명하기 위한 개략적인 순서도이다.

도 3을 참조하면, 본 발명의 다른 실시예에 따른 이송 차량(100)의 동작 제어 방법은 상기 이송 차량(100)의 속도를 감속에서 가속으로 전환하는 경우에 사용될 수 있다. 본 발명의 다른 실시예에 따르면, 상기 이송 차량(100)의 동작 제어 방법은, 이송 차량(100)의 감속을 위한 제1 가속도로 상기 이송 차량(100)을 감속하는 단계(S200)와, 상기 이송 차량(100)의 감속 도중 상기 이송 차량(100)의 가속이 요구되는 이벤트를 수신하는 단계(S210)와, 상기 이벤트가 수신된 시점에서의 상기 이송 차량(100)의 속도를 기 설정된 시간 동안 등속으로 유지하는 단계(S220)와, 상기 이송 차량(100)의 가속을 위한 제2 가속도로 상기 이송 차량(100)을 가속하는 단계(S230)를 포함할 수 있다.

예를 들면, 상기 이송 차량(100)을 감속하는 S200 단계는 상기 이송 차량(100)의 전방에 장애물, 일 예로서, 선행하는 제2 이송 차량(200)이 검출되는 경우에 수행될 수 있으며, 상기 이벤트는 상기 장애물 즉 상기 제2 이송 차량(200)이 제거되는 경우를 포함할 수 있다. 특히, 상기 S200 단계는 상기 제2 이송 차량(200)이 기 설정된 거리 이내로 근접하는 경우에 수행될 수 있으며, 상기 이벤트는 상기 제2 이송 차량(200)이 가속하여 상기 제2 이송 차량(200)까지의 거리가 상기 기 설정된 거리보다 멀어지는 경우 즉 상기 거리 센서(130)에 의해 측정된 거리가 상기 기 설정된 거리보다 먼 경우에 발생될 수 있다.

상기와 같이 제2 이송 차량(200)이 상기 이송 차량(100)으로부터 멀어지는 경우 상기 제2 이송 차량(200)과의 충돌 위험이 제거된 상태이므로 상기 이송 차량(100)을 등속으로 유지하는 시간은 상대적으로 길게 설정될 수 있다. 예를 들면, 상기 이송 차량(100)을 등속으로 유지하는 시간은 약 3초 이내, 예를 들면, 약 0.1초 내지 3초 사이에서 설정될 수 있다.

상술한 바와 같은 본 발명의 실시예들에 따르면, 상기 이송 차량(100)의 속도를 가속에서 감속으로 그리고 감속에서 가속으로 변경하는 경우 상기 이송 차량(100)에 인가되는 충격과 진동을 감소시키기 위하여 상기 가속과 감속 사이 그리고 상기 감속과 가속 사이에 기 설정된 시간 동안 등속으로 속도를 유지하는 단계를 수행할 수 있다. 결과적으로, 상기 이송 차량(100)의 속도를 가속에서 감속으로 그리고 감속에서 가속으로 바로 전환하는 것이 아니라 그 사이에 등속 유지 단계를 수행함으로써 상기 이송 차량(100)의 급격한 속도 변화를 방지할 수 있으며 이를 통해 상기 속도 변화에 따른 충격과 진동이 크게 감소될 수 있다.

특히, 상기와 같은 이송 차량(100)의 가속과 감속 사이의 전환은 약 3 m/s 이하의 저속으로 복수의 이송 차량들이 주행하는 경우 매우 빈번하게 발생될 수 있으며, 상기 본 발명의 실시예들에서와 같이 가속과 감속 사이 그리고 감속과 가속 사이에 등속 유지 단계를 수행함으로써 상기 이송 차량(100)에 인가되는 충격과 진동을 크게 감소시킬 수 있다.

상기에서는 본 발명의 바람직한 실시예를 참조하여 설명하였지만, 해당 기술 분야의 숙련된 당업자는 하기의 청구범위에 기재된 본 발명의 사상 및 영역으로부터 벗어나지 않는 범위 내에서 본 발명을 다양하게 수정 및 변경시킬 수 있음을 이해할 수 있을 것이다.

100 : 이송 차량 110 : 주행 모듈
120 : 호이스트 모듈 130 : 거리 센서
200 : 제2 이송 차량

Claims (11)

1. 삭제
2. 삭제
3. 이송 차량의 가속을 위한 제1 가속도로 상기 이송 차량을 가속하는 단계;
   상기 이송 차량의 가속 도중 상기 이송 차량의 감속이 요구되는 이벤트를 수신하는 단계;
   상기 이벤트가 수신된 시점에서의 상기 이송 차량의 속도를 기 설정된 시간 동안 등속으로 유지하는 단계; 및
   상기 이송 차량의 감속을 위한 제2 가속도로 상기 이송 차량을 감속하는 단계를 포함하되,
   상기 이송 차량은 주행 레일을 따라 이동하며, 상기 이벤트는 상기 이송 차량의 전방에서 선행하는 제2 이송 차량이 기 설정된 거리 이내로 근접하는 경우를 포함하고,
   상기 이송 차량을 감속하는 동안 상기 제2 이송 차량과의 거리가 상기 기 설정된 거리보다 멀어지는 제2 이벤트가 수신되는 경우 상기 이송 차량을 제3 가속도로 가속하는 것을 특징으로 하는 이송 차량의 동작 제어 방법.
4. 삭제
5. 제3항에 있어서, 상기 이송 차량을 상기 제3 가속도로 가속하기 이전에 상기 제2 이벤트가 수신된 시점에서의 상기 이송 차량의 속도를 기 설정된 시간 동안 등속으로 유지하는 단계를 더 포함하는 것을 특징으로 하는 이송 차량의 동작 제어 방법.
6. 제3항에 있어서, 상기 이송 차량의 속도를 등속으로 유지하는 시간은 0.1초 내지 1초 사이에서 설정되는 것을 특징으로 하는 이송 차량의 동작 제어 방법.
7. 제6항에 있어서, 상기 등속으로 유지되는 상기 이송 차량의 속도는 0.1 m/s 내지 3 m/s인 것을 특징으로 하는 이송 차량의 동작 제어 방법.
8. 삭제
9. 삭제
10. 삭제
11. 삭제

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