KR20220147958A - 자재 이송 장치 및 자재 이송 방법 - Google Patents

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Abstract

자재 이송 장치와 자재 이송 방법이 개시된다. 상기 자재 이송 장치는, 자재의 이송을 위한 이송 레일과, 상기 이송 레일 상에서 이동 가능하도록 구성되며 상기 자재를 승강시키기 위한 호이스트 모듈을 구비하는 상부 이송 차량과, 상기 상부 이송 차량의 아래에서 이동 가능하도록 구성되는 하부 이송 차량을 포함하며, 상기 하부 이송 차량은 상기 상부 이송 차량의 아래에서 상기 상부 이송 차량과 동일한 방향 및 동일한 속도로 이동하도록 제어되고, 상기 상부 이송 차량은 상기 호이스트 모듈을 이용하여 상기 하부 이송 차량으로 상기 자재를 전달하도록 제어된다.

Description

자재 이송 장치 및 자재 이송 방법{MATERIAL TRANSFER APPARATUS AND MATERIAL TRANSFER METHOD}
본 발명의 실시예들은 자재 이송 장치 및 자재 이송 방법에 관한 것이다. 보다 상세하게는, 반도체 장치 또는 디스플레이 장치의 제조 공정에서 자재의 이송을 위한 자재 이송 장치 및 자재 이송 방법에 관한 것이다.
반도체 장치 또는 디스플레이 장치의 제조 공정에서 반도체 웨이퍼, 인쇄회로기판, 디스플레이 패널 등과 같은 자재들은 OHT(Overhead Hoist Transport) 장치, AGV(Auto Guided Vehicle) 장치, RGV(Rail Guided Vehicle) 장치, 등과 같은 무인 반송 장치들을 이용하여 이송될 수 있다.
상기 OHT 장치는 클린룸의 천장에 설치된 이송 레일을 따라 이동 가능하게 구성된 이송 차량을 포함할 수 있으며, 상기 이송 차량은 상기 이송 레일 상에서 이동 가능하게 구성되는 이송 모듈과 상기 이송 모듈의 하부에 연결되어 상기 자재를 승강시키기 위한 호이스트 모듈을 포함할 수 있다. 상기 AGV 장치와 RGV 장치는 상기 클린룸의 바닥면 상에서 이동 가능하게 구성되는 이송 차량을 각각 포함할 수 있다.
한편, 상기 클린룸 내에 서로 다른 기종의 OHT 장치들이 설치되어 있는 경우 상기 OHT 장치들이 서로 호환되지 않을 수 있다. 예를 들면, 제1 OHT 장치의 이송 레일이 제2 OHT 장치의 이송 레일과 연결되지 않는 경우 상기 제1 OHT 장치의 이송 차량이 제2 OHT 장치의 이송 레일로 이동할 수 없으며, 이에 따라 제1 OHT 장치가 설치된 영역으로부터 제2 OHT 장치가 설치된 영역으로 자재를 이동시키는 경우 상기 자재의 이송에 소요되는 시간이 크게 증가될 수 있다.
대한민국 등록특허공보 제10-2217233호 (등록일자 2021년 02월 10일) 대한민국 공개특허공보 제10-2021-0033284호 (공개일자 2021년 03월 26일)
본 발명의 실시예들은 자재의 이송에 소요되는 시간을 단축시킬 수 있는 자재 이송 장치와 자재 이송 방법을 제공하는데 그 목적이 있다.
상기 목적을 달성하기 위한 본 발명의 일 측면에 따른 자재 이송 장치는, 자재의 이송을 위한 이송 레일과, 상기 이송 레일 상에서 이동 가능하도록 구성되며 상기 자재를 승강시키기 위한 호이스트 모듈을 구비하는 상부 이송 차량과, 상기 상부 이송 차량의 아래에서 이동 가능하도록 구성되는 하부 이송 차량을 포함할 수 있으며, 상기 하부 이송 차량은 상기 상부 이송 차량의 아래에서 상기 상부 이송 차량과 동일한 방향 및 동일한 속도로 이동하고, 상기 상부 이송 차량은 상기 호이스트 모듈을 이용하여 상기 하부 이송 차량으로 상기 자재를 전달할 수 있다.
본 발명의 일부 실시예들에 따르면, 상기 자재 이송 장치는, 상기 상부 이송 차량에 장착되며 상기 상부 이송 차량의 동작을 제어하기 위한 상부 제어 모듈과, 상기 하부 이송 차량에 장착되며 상기 하부 이송 차량의 동작을 제어하기 위한 하부 제어 모듈을 더 포함할 수 있다.
본 발명의 일부 실시예들에 따르면, 상기 상부 이송 차량은 기 설정된 자재 전달 구간에 진입한 후 기 설정된 전달 속도로 감속하며 이어서 상기 전달 속도로 등속 주행하고, 상기 하부 이송 차량은 상기 자재 전달 구간의 시작 위치에서 출발하여 상기 전달 속도로 가속한 후 상기 전달 속도로 등속 주행하며, 상기 상부 이송 차량은 상기 전달 속도로 등속 주행하는 동안 상기 전달 속도로 등속 주행하는 하부 이송 차량으로 상기 자재를 전달할 수 있다.
본 발명의 일부 실시예들에 따르면, 상기 자재 이송 장치는, 상기 자재의 이송을 위한 제2 이송 레일과, 상기 제2 이송 레일 상에서 이동 가능하도록 구성되며 상기 자재를 승강시키기 위한 제2 호이스트 모듈을 구비하는 제2 상부 이송 차량을 더 포함할 수 있다.
본 발명의 일부 실시예들에 따르면, 상기 하부 이송 차량은 기 설정된 제2 자재 전달 구간을 상기 전달 속도로 통과하고, 상기 제2 상부 이송 차량은 상기 제2 자재 전달 구간에서 상기 하부 이송 차량의 상부에서 상기 전달 속도로 이동하도록 제어되며 상기 제2 호이스트 모듈을 이용하여 상기 하부 이송 차량으로부터 상기 자재를 픽업할 수 있다.
본 발명의 일부 실시예들에 따르면, 상기 하부 이송 차량은 기 설정된 제2 자재 전달 구간에서 정지하며, 상기 제2 상부 이송 차량은 상기 제2 자재 전달 구간에서 상기 제2 호이스트 모듈을 이용하여 상기 자재를 픽업할 수 있다. 이때, 상기 제2 상부 이송 차량은 상기 제2 자재 전달 구간에서 정지 상태로 미리 대기하며 상기 하부 이송 차량이 상기 제2 자재 전달 구간에 도착한 후 상기 자재를 픽업할 수 있다.
본 발명의 일부 실시예들에 따르면, 상기 상부 이송 차량과 상기 하부 이송 차량은 서로 통신 가능하도록 구성될 수 있다.
본 발명의 일부 실시예들에 따르면, 상기 상부 이송 차량과 상기 하부 이송 차량 중 어느 하나에는 나머지 다른 하나를 검출하기 위한 센서가 장착될 수 있다.
상기 목적을 달성하기 위한 본 발명의 다른 측면에 따른 자재 이송 방법은, 이송 레일 상에서 자재의 이송을 위한 상부 이송 차량을 이동시키는 단계와, 상기 이송 레일의 아래에서 상기 상부 이송 차량과 동일한 방향 및 동일한 속도로 하부 이송 차량을 이동시키는 단계와, 상기 상부 이송 차량으로부터 상기 하부 이송 차량으로 상기 자재를 전달하는 단계를 포함할 수 있다.
본 발명의 일부 실시예들에 따르면, 상기 상부 이송 차량은 기 설정된 자재 전달 구간에 진입한 후 기 설정된 전달 속도로 감속하며 이어서 상기 전달 속도로 등속 주행하고, 상기 하부 이송 차량은 상기 자재 전달 구간의 시작 위치에서 출발하여 상기 전달 속도로 가속한 후 상기 전달 속도로 등속 주행하며, 상기 상부 이송 차량은 상기 등속 주행하는 동안 상기 등속 주행하는 하부 이송 차량으로 호이스트 모듈을 이용하여 상기 자재를 전달할 수 있다.
상술한 바와 같은 본 발명의 실시예들에 따르면, 상기 자재를 상기 상부 이송 차량으로부터 상기 제2 상부 이송 차량으로 이송할 필요가 있는 경우 상기 자재는 상기 하부 이송 차량에 의해 상기 상부 이송 차량으로부터 상기 제2 상부 이송 차량으로 전달될 수 있다. 이때, 상기 상부 이송 차량과 상기 하부 이송 차량이 서로 동일한 방향 및 동일한 속도로 이동하면서 상기 자재의 전달이 이루어질 수 있으므로 상기 자재의 이송에 소요되는 시간이 크게 단축될 수 있다.
도 1은 본 발명의 일 실시예에 따른 자재 이송 방법을 설명하기 위한 순서도이다.
도 2는 본 발명의 일 실시예에 따른 자재 이송 장치를 설명하기 위한 개략도이다.
도 3은 도 2에 도시된 자재 이송 장치의 동작을 설명하기 위한 개략도이다.
이하, 본 발명의 실시예들은 첨부 도면들을 참조하여 상세하게 설명된다. 그러나, 본 발명은 하기에서 설명되는 실시예들에 한정된 바와 같이 구성되어야만 하는 것은 아니며 이와 다른 여러 가지 형태로 구체화될 수 있을 것이다. 하기의 실시예들은 본 발명이 온전히 완성될 수 있도록 하기 위하여 제공된다기보다는 본 발명의 기술 분야에서 숙련된 당업자들에게 본 발명의 범위를 충분히 전달하기 위하여 제공된다.
본 발명의 실시예들에서 하나의 요소가 다른 하나의 요소 상에 배치되는 또는 연결되는 것으로 설명되는 경우 상기 요소는 상기 다른 하나의 요소 상에 직접 배치되거나 연결될 수도 있으며, 다른 요소들이 이들 사이에 개재될 수도 있다. 이와 다르게, 하나의 요소가 다른 하나의 요소 상에 직접 배치되거나 연결되는 것으로 설명되는 경우 그들 사이에는 또 다른 요소가 있을 수 없다. 다양한 요소들, 조성들, 영역들, 층들 및/또는 부분들과 같은 다양한 항목들을 설명하기 위하여 제1, 제2, 제3 등의 용어들이 사용될 수 있으나, 상기 항목들은 이들 용어들에 의하여 한정되지는 않을 것이다.
본 발명의 실시예들에서 사용된 전문 용어는 단지 특정 실시예들을 설명하기 위한 목적으로 사용되는 것이며, 본 발명을 한정하기 위한 것은 아니다. 또한, 달리 한정되지 않는 이상, 기술 및 과학 용어들을 포함하는 모든 용어들은 본 발명의 기술 분야에서 통상적인 지식을 갖는 당업자에게 이해될 수 있는 동일한 의미를 갖는다. 통상적인 사전들에서 한정되는 것들과 같은 상기 용어들은 관련 기술과 본 발명의 설명의 문맥에서 그들의 의미와 일치하는 의미를 갖는 것으로 해석될 것이며, 명확히 한정되지 않는 한 이상적으로 또는 과도하게 외형적인 직감으로 해석되지는 않을 것이다.
본 발명의 실시예들은 본 발명의 이상적인 실시예들의 개략적인 도해들을 참조하여 설명된다. 이에 따라, 상기 도해들의 형상들로부터의 변화들, 예를 들면, 제조 방법들 및/또는 허용 오차들의 변화는 충분히 예상될 수 있는 것들이다. 따라서, 본 발명의 실시예들은 도해로서 설명된 영역들의 특정 형상들에 한정된 바대로 설명되어지는 것은 아니라 형상들에서의 편차를 포함하는 것이며, 도면들에 설명된 요소들은 전적으로 개략적인 것이며 이들의 형상은 요소들의 정확한 형상을 설명하기 위한 것이 아니며 또한 본 발명의 범위를 한정하고자 하는 것도 아니다.
도 1은 본 발명의 일 실시예에 따른 자재 이송 방법을 설명하기 위한 순서도이며, 도 2는 본 발명의 일 실시예에 따른 자재 이송 장치를 설명하기 위한 개략도이다. 도 3은 도 2에 도시된 자재 이송 장치의 동작을 설명하기 위한 개략도이다.
도 1 내지 도 3을 참조하면, 본 발명의 일 실시예에 따른 자재 이송 방법과 자재 이송 장치(100)는 반도체 장치 또는 디스플레이 장치의 제조 공정에서 자재(10)의 이송을 위해 사용될 수 있다. 일 예로서, 상기 자재 이송 장치(100)는 반도체 웨이퍼의 수납을 위해 사용되는 용기(10), 예를 들면, FOUP(Front Opening Unified Pod)의 이송을 위해 사용될 수 있다.
상기 자재 이송 장치(100)는, 상기 자재(10)의 이송을 위해 기 설정된 경로를 따라 연장하는 이송 레일(110)과, 상기 이송 레일(110) 상에서 이동 가능하도록 구성되는 상부 이송 차량(120)과, 상기 상부 이송 차량(120)의 아래에서 상기 자재(10)의 이송을 위해 이동 가능하도록 구성되는 하부 이송 차량(160)을 포함할 수 있다. 예를 들면, 상기 이송 레일(110)과 상부 이송 차량(120)은 OHT 장치일 수 있으며, 상기 하부 이송 차량(160)은 AGV 장치일 수 있다. 구체적으로, 상기 이송 레일(110)은 상기 클린룸의 천장 부위에 설치될 수 있으며, 상기 하부 이송 차량(160)은 상기 클린룸의 바닥면 상에서 이동 가능하게 구성될 수 있다.
상기 상부 이송 차량(120)은 상기 이송 레일(110) 상에서 이동 가능하도록 구성되는 이송 모듈(130)과 상기 이송 모듈(130)의 하부에 연결되며 상기 자재(10)를 승강시키기 위한 호이스트 모듈(140)을 포함할 수 있다. 상기 이송 모듈(130)은 전방 이송 유닛(132)과 후방 이송 유닛(134)을 포함할 수 있으며, 상기 전방 및 후방 이송 유닛들(132, 134)은 각각 구동 휠들과 상기 구동 휠들을 회전시키기 위한 구동 모터를 포함할 수 있다.
상기 호이스트 모듈(140)은 상기 전방 및 후방 주행 유닛들(132, 134)의 하부에 연결되며 상기 자재(10)를 수납하기 위한 내부 공간을 갖는 하우징(142)과, 상기 하우징(142) 내에 장착되며 상기 자재(10)의 승강을 위한 호이스트 유닛(144)을 포함할 수 있다. 상기 호이스트 유닛(144)은 상기 자재(10)를 파지하기 위한 핸드 유닛(146)을 포함할 수 있으며 승강 벨트(148; 도 3 참조)를 이용하여 상기 핸드 유닛(146)을 수직 방향으로 이동시킬 수 있다.
본 발명의 일 실시예에 따르면, 상기 자재 이송 장치(100)는 상기 상부 이송 차량(120)에 장착되며 상기 상부 이송 차량(120)의 동작을 제어하기 위한 상부 제어 모듈(150)과, 상기 하부 이송 차량(160)에 장착되며 상기 하부 이송 차량(160)의 동작을 제어하기 위한 하부 제어 모듈(170)을 포함할 수 있다. 상기 상부 제어 모듈(150)은 상기 상부 이송 차량(120)의 속도 및 위치 제어를 위해 상기 이송 모듈(130)의 동작을 제어하며, 아울러 상기 자재(10)를 픽업하고 상기 자재(10)를 설정된 위치에 내려놓기 위해 상기 호이스트 모듈(140)의 동작을 제어할 수 있다. 상기 하부 제어 모듈(170)은 상기 상부 이송 차량(120)과의 사이에서 상기 자재(10)의 전달을 위해 상기 하부 이송 차량(160)의 속도 및 위치 제어를 수행할 수 있다.
특히, 상기 하부 이송 차량(160)은 상기 상부 이송 차량(120)의 아래에서 상기 상부 이송 차량(120)과 동일한 방향 및 동일한 속도로 이동하도록 제어될 수 있으며, 상기 상부 이송 차량(120)은 상기 상부 이송 차량(120)과 하부 이송 차량(160)이 상하로 위치된 상태에서 상기 호이스트 모듈(140)을 이용하여 상기 자재(10)를 상기 하부 이송 차량(160)으로 전달할 수 있다.
본 발명의 일 실시예에 따르면, 상기 상부 이송 차량(120)과 상기 하부 이송 차량(160)은 서로 통신 가능하게 구성될 수 있다. 일 예로서, 상기 상부 이송 차량(120)과 하부 이송 차량(160)에는 PIO(Parallel Input Output) 통신을 위한 통신 모듈들(미도시)이 각각 장착될 수 있다. 아울러, 상기 상부 이송 차량(120)과 상기 하부 이송 차량(160) 중 어느 하나에는 나머지 하나를 검출하기 위한 센서(152)가 구비될 수 있다. 일 예로서, 상기 상부 이송 차량(120)에는 발광부와 수광부를 구비하는 광 센서(152)가 구비될 수 있으며, 상기 하부 이송 차량(160)에는 상기 발광부로부터 조사된 광을 반사시키기 위한 반사판(172)이 구비될 수 있다.
예를 들면, 상기 상부 이송 차량(120)과 하부 이송 차량(160)은 상기 통신 모듈들을 이용하여 서로의 위치를 확인할 수 있으며, 상기 센서(152)를 이용하여 상기 하부 이송 차량(160)이 상기 상부 이송 차량(120)의 하부에 위치됨을 확인할 수 있다. 상기와 같이 서로를 확인한 후 상기 하부 이송 차량(160)은 상기 상부 이송 차량(120)으로 상기 자재(10)의 수취가 가능한 상태임을 알릴 수 있으며, 이어서 상기 상부 이송 차량(120)은 상기 호이스트 모듈(140)을 이용하여 상기 자재(10)를 상기 하부 이송 차량(160)에 내려놓을 수 있다. 이때, 상기 하부 이송 차량(160)에는 상기 자재(10)가 놓여지는 포트(162)가 구비될 수 있다.
이하, 첨부된 도면들을 참조하여 본 발명의 일 실시예에 따른 자재 이송 방법을 설명한다.
도 1을 참조하면, 먼저 S100 단계에서, 상기 상부 이송 차량(120)을 이용하여 상기 자재(10)를 이송할 수 있다. 이때, 상기 상부 이송 차량(120)은 통상 주행 속도, 예를 들면, 5m/s 정도의 속도로 상기 이송 레일(110) 상에서 이동할 수 있다.
이어서, S110 단계에서 상기 하부 이송 차량(160)을 상기 상부 이송 차량(120)과 동일한 방향 및 동일한 속도로 상기 상부 이송 차량(120)의 아래에서 이동시킬 수 있으며, S120 단계에서 상기 상부 이송 차량(120)으로부터 상기 하부 이송 차량(160)으로 상기 자재(10)를 전달할 수 있다.
예를 들면, 상기 하부 이송 차량(160)은 기 설정된 자재 전달 구간의 시작 위치에서 대기할 수 있으며, 상기 상부 이송 차량(120)이 상기 자재 전달 구간으로 접근하면 상기 상부 이송 차량(120)과 상기 하부 이송 차량(160)은 상기 통신 모듈들을 이용하여 서로의 위치를 확인할 수 있다.
한편, 상기 자재(10)를 다른 이송 차량 즉 상기 OHT 장치와 다른 기종의 OHT 장치로 이송할 필요가 있는 경우 OCS(OHT Control System) 장치 또는 MCS(Material Control System) 장치 등과 같은 상위 제어 장치는 상기 상부 이송 차량(120)과 하부 이송 차량(160)에 상기 자재(10)의 전달 지령을 제공할 수 있으며, 상기 하부 이송 차량(160)은 상기 자재(10)를 전달받기 위해 상기 상부 이송 차량(120)과 동일한 방향으로 이동할 수 있다.
구체적으로, 상기 상부 이송 차량(120)은 상기 기 설정된 자재 이송 구간으로 진입한 후 기 설정된 전달 속도로 감속할 수 있으며 이어서 상기 전달 속도로 일정 거리만큼 등속 주행할 수 있다. 예를 들면, 상기 상부 이송 차량(120)은 상기 통상 주행 속도로부터 약 1m/s 정도의 전달 속도로 감속한 후 일정 거리만큼 상기 전달 속도를 유지할 수 있다.
아울러, 상기 하부 이송 차량(160)은 상기 자재 전달 구간의 시작 위치에서 정지 상태로부터 출발하여 상기 전달 속도로 가속한 후 상기 전달 속도로 등속 주행할 수 있으며, 상기 상부 이송 차량(120)은 상기 전달 속도로 등속 주행하는 동안 상기 호이스트 모듈(140)을 이용하여 상기 하부 이송 차량(160)으로 상기 자재(10)를 전달할 수 있다. 특히, 상기 상부 이송 차량(120)은 상기 센서(152)를 이용하여 상기 하부 이송 차량(160)의 위치를 확인할 수 있으며, 이어서 상기 자재(10)를 하강시켜 상기 하부 이송 차량(160)의 포트(162) 상에 상기 자재(10)를 내려놓을 수 있다. 상기와 같이 상부 이송 차량(120)과 하부 이송 차량(160)이 동일한 방향 및 동일한 속도로 이동하면서 상기 자재(10)의 전달이 이루어지므로 상기 자재(10)의 이송에 소요되는 시간이 크게 단축될 수 있다.
한편, 도시되지는 않았으나, 상기 자재 이송 장치(100)는 상기 자재(10)의 이송을 위한 제2 이송 레일(미도시)과 상기 제2 이송 레일 상에서 이동 가능하도록 구성되며 상기 자재(10)를 승강시키기 위한 제2 호이스트 모듈을 구비하는 제2 이송 차량(미도시)을 포함할 수 있다. 예를 들면, 상기 제2 이송 레일과 상기 제2 이송 차량은 상기 OHT 장치에 인접하게 배치되는 제2 OHT 장치일 수 있다.
상기 하부 이송 차량(160)은 상기 자재(10)를 전달받은 후 상기 제2 이송 레일 아래에서 기 설정된 제2 자재 전달 구간(미도시)을 통과하도록 이동할 수 있다. 이때, 상기 하부 이송 차량(160)은 상기 전달 속도를 유지할 수 있으며, 상기 제2 자재 전달 구간 내에서 상기 제2 이송 레일의 연장 방향과 평행하게 이동할 수 있다.
상기 제2 상부 이송 차량은 상기 제2 자재 전달 구간에서 상기 하부 이송 차량(160)의 상부에서 상기 전달 속도로 등속 이동하도록 제2 상부 제어 모듈에 의해 제어될 수 있으며, 상기 제2 호이스트 모듈을 이용하여 상기 하부 이송 차량(160)으로부터 상기 자재(10)를 픽업할 수 있다. 상기와 같이 하부 이송 차량(160)과 제2 상부 이송 차량이 서로 동일한 방향 및 동일한 속도로 이동하면서 상기 자재(10)의 픽업이 이루어질 수 있으며, 이에 따라 상기 자재(10)의 이송에 소요되는 시간이 크게 단축될 수 있다.
다른 예로서, 상기 제2 상부 이송 차량은 상기 제2 자재 전달 구간에서 미리 정지 상태로 대기할 수 있으며, 상기 하부 이송 차량(160)은 상기 제2 자재 전달 구간에서 상기 제2 상부 이송 차량의 아래에서 정지할 수 있다. 상기 제2 상부 이송 차량은 상기 하부 이송 차량(160)이 상기 제2 자재 전달 구간에 도착한 후 상기 제2 호이스트 모듈을 이용하여 상기 자재(10)를 픽업할 수 있다.
상술한 바와 같은 본 발명의 실시예들에 따르면, 상기 자재(10)를 상기 상부 이송 차량(120)으로부터 상기 제2 상부 이송 차량으로 이송할 필요가 있는 경우 상기 자재(10)는 상기 하부 이송 차량(160)에 의해 상기 상부 이송 차량(120)으로부터 상기 제2 상부 이송 차량으로 전달될 수 있다. 이때, 상기 상부 이송 차량(120)과 상기 하부 이송 차량(160)이 서로 동일한 방향 및 동일한 속도로 이동하면서 상기 자재(10)의 전달이 이루어질 수 있으므로 상기 자재(10)의 이송에 소요되는 시간이 크게 단축될 수 있다.
상기에서는 본 발명의 바람직한 실시예를 참조하여 설명하였지만, 해당 기술 분야의 숙련된 당업자는 하기의 청구범위에 기재된 본 발명의 사상 및 영역으로부터 벗어나지 않는 범위 내에서 본 발명을 다양하게 수정 및 변경시킬 수 있음을 이해할 수 있을 것이다.
10 : 자재 100 : 자재 이송 장치
110 : 이송 레일 120 : 상부 이송 차량
130 : 이송 모듈 140 : 호이스트 모듈
144 : 호이스트 유닛 146 : 핸드 유닛
150 : 상부 제어 모듈 152 : 센서
160 : 하부 이송 차량 162 : 포트
170 : 하부 제어 모듈 172 : 반사판

Claims (11)

  1. 자재의 이송을 위한 이송 레일;
    상기 이송 레일 상에서 이동 가능하도록 구성되며 상기 자재를 승강시키기 위한 호이스트 모듈을 구비하는 상부 이송 차량; 및
    상기 상부 이송 차량의 아래에서 이동 가능하도록 구성되는 하부 이송 차량을 포함하되,
    상기 하부 이송 차량은 상기 상부 이송 차량의 아래에서 상기 상부 이송 차량과 동일한 방향 및 동일한 속도로 이동하며, 상기 상부 이송 차량은 상기 호이스트 모듈을 이용하여 상기 하부 이송 차량으로 상기 자재를 전달하는 것을 특징으로 하는 자재 이송 장치.
  2. 제1항에 있어서, 상기 상부 이송 차량에 장착되며 상기 상부 이송 차량의 동작을 제어하기 위한 상부 제어 모듈과,
    상기 하부 이송 차량에 장착되며 상기 하부 이송 차량의 동작을 제어하기 위한 하부 제어 모듈을 더 포함하는 것을 특징으로 하는 자재 이송 장치.
  3. 제1항에 있어서, 상기 상부 이송 차량은 기 설정된 자재 전달 구간에 진입한 후 기 설정된 전달 속도로 감속하며 이어서 상기 전달 속도로 등속 주행하고,
    상기 하부 이송 차량은 상기 자재 전달 구간의 시작 위치에서 출발하여 상기 전달 속도로 가속한 후 상기 전달 속도로 등속 주행하며,
    상기 상부 이송 차량은 상기 등속 주행하는 동안 상기 등속 주행하는 하부 이송 차량으로 상기 자재를 전달하는 것을 특징으로 하는 자재 이송 장치.
  4. 제3항에 있어서, 상기 자재의 이송을 위한 제2 이송 레일과,
    상기 제2 이송 레일 상에서 이동 가능하도록 구성되며 상기 자재를 승강시키기 위한 제2 호이스트 모듈을 구비하는 제2 상부 이송 차량을 더 포함하는 것을 특징으로 하는 자재 이송 장치.
  5. 제4항에 있어서, 상기 하부 이송 차량은 기 설정된 제2 자재 전달 구간을 상기 전달 속도로 통과하고,
    상기 제2 상부 이송 차량은 상기 제2 자재 전달 구간에서 상기 하부 이송 차량의 상부에서 상기 전달 속도로 이동하도록 제어되며 상기 제2 호이스트 모듈을 이용하여 상기 하부 이송 차량으로부터 상기 자재를 픽업하는 것을 특징으로 하는 자재 이송 장치.
  6. 제4항에 있어서, 상기 하부 이송 차량은 기 설정된 제2 자재 전달 구간에서 정지하며,
    상기 제2 상부 이송 차량은 상기 제2 자재 전달 구간에서 상기 제2 호이스트 모듈을 이용하여 상기 자재를 픽업하는 것을 특징으로 하는 자재 이송 장치.
  7. 제6항에 있어서, 상기 제2 상부 이송 차량은 상기 제2 자재 전달 구간에서 정지 상태로 미리 대기하며 상기 하부 이송 차량이 상기 제2 자재 전달 구간에 도착한 후 상기 자재를 픽업하는 것을 특징으로 하는 자재 이송 장치.
  8. 제1항에 있어서, 상기 상부 이송 차량과 상기 하부 이송 차량은 서로 통신 가능하도록 구성되는 것을 특징으로 하는 자재 이송 장치.
  9. 제1항에 있어서, 상기 상부 이송 차량과 상기 하부 이송 차량 중 어느 하나에는 나머지 다른 하나를 검출하기 위한 센서가 장착되는 것을 특징으로 하는 자재 이송 장치.
  10. 이송 레일 상에서 자재의 이송을 위한 상부 이송 차량을 이동시키는 단계;
    상기 이송 레일의 아래에서 상기 상부 이송 차량과 동일한 방향 및 동일한 속도로 하부 이송 차량을 이동시키는 단계; 및
    상기 상부 이송 차량으로부터 상기 하부 이송 차량으로 상기 자재를 전달하는 단계를 포함하는 것을 특징으로 하는 자재 이송 방법.
  11. 제10항에 있어서, 상기 상부 이송 차량은 기 설정된 자재 전달 구간에 진입한 후 기 설정된 전달 속도로 감속하며 이어서 상기 전달 속도로 등속 주행하고,
    상기 하부 이송 차량은 상기 자재 전달 구간의 시작 위치에서 출발하여 상기 전달 속도로 가속한 후 상기 전달 속도로 등속 주행하며,
    상기 상부 이송 차량은 상기 등속 주행하는 동안 상기 등속 주행하는 하부 이송 차량으로 호이스트 모듈을 이용하여 상기 자재를 전달하는 것을 특징으로 하는 자재 이송 방법.
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Citations (2)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
KR102217233B1 (ko) 2019-10-07 2021-02-18 세메스 주식회사 반송차 제어 시스템 및 반송차 제어 방법
KR20210033284A (ko) 2019-09-18 2021-03-26 세메스 주식회사 이송 차량의 동작 제어 방법

Patent Citations (2)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
KR20210033284A (ko) 2019-09-18 2021-03-26 세메스 주식회사 이송 차량의 동작 제어 방법
KR102217233B1 (ko) 2019-10-07 2021-02-18 세메스 주식회사 반송차 제어 시스템 및 반송차 제어 방법

Cited By (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
KR102575568B1 (ko) 2022-12-12 2023-09-07 이석우 자재 이송장치

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