KR20220057014A - 이송 장치 - Google Patents

이송 장치 Download PDF

Info

Publication number
KR20220057014A
KR20220057014A KR1020200141788A KR20200141788A KR20220057014A KR 20220057014 A KR20220057014 A KR 20220057014A KR 1020200141788 A KR1020200141788 A KR 1020200141788A KR 20200141788 A KR20200141788 A KR 20200141788A KR 20220057014 A KR20220057014 A KR 20220057014A
Authority
KR
South Korea
Prior art keywords
front wheel
rear wheel
wheel motor
rotation speed
motor
Prior art date
Application number
KR1020200141788A
Other languages
English (en)
Other versions
KR102589717B1 (ko
Inventor
이준범
Original Assignee
세메스 주식회사
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by 세메스 주식회사 filed Critical 세메스 주식회사
Priority to KR1020200141788A priority Critical patent/KR102589717B1/ko
Publication of KR20220057014A publication Critical patent/KR20220057014A/ko
Application granted granted Critical
Publication of KR102589717B1 publication Critical patent/KR102589717B1/ko

Links

Images

Classifications

    • H—ELECTRICITY
    • H01—ELECTRIC ELEMENTS
    • H01L—SEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
    • H01L21/00—Processes or apparatus adapted for the manufacture or treatment of semiconductor or solid state devices or of parts thereof
    • H01L21/67—Apparatus specially adapted for handling semiconductor or electric solid state devices during manufacture or treatment thereof; Apparatus specially adapted for handling wafers during manufacture or treatment of semiconductor or electric solid state devices or components ; Apparatus not specifically provided for elsewhere
    • H01L21/677—Apparatus specially adapted for handling semiconductor or electric solid state devices during manufacture or treatment thereof; Apparatus specially adapted for handling wafers during manufacture or treatment of semiconductor or electric solid state devices or components ; Apparatus not specifically provided for elsewhere for conveying, e.g. between different workstations
    • H01L21/67703—Apparatus specially adapted for handling semiconductor or electric solid state devices during manufacture or treatment thereof; Apparatus specially adapted for handling wafers during manufacture or treatment of semiconductor or electric solid state devices or components ; Apparatus not specifically provided for elsewhere for conveying, e.g. between different workstations between different workstations
    • H01L21/67733—Overhead conveying
    • B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
    • B65—CONVEYING; PACKING; STORING; HANDLING THIN OR FILAMENTARY MATERIAL
    • B65G—TRANSPORT OR STORAGE DEVICES, e.g. CONVEYORS FOR LOADING OR TIPPING, SHOP CONVEYOR SYSTEMS OR PNEUMATIC TUBE CONVEYORS
    • B65G1/00—Storing articles, individually or in orderly arrangement, in warehouses or magazines
    • B65G1/02—Storage devices
    • B65G1/04—Storage devices mechanical
    • B65G1/0457—Storage devices mechanical with suspended load carriers
    • G—PHYSICS
    • G05—CONTROLLING; REGULATING
    • G05D—SYSTEMS FOR CONTROLLING OR REGULATING NON-ELECTRIC VARIABLES
    • G05D1/00—Control of position, course or altitude of land, water, air, or space vehicles, e.g. automatic pilot
    • G05D1/02—Control of position or course in two dimensions
    • G05D1/021—Control of position or course in two dimensions specially adapted to land vehicles
    • G05D1/0212—Control of position or course in two dimensions specially adapted to land vehicles with means for defining a desired trajectory
    • G05D1/0223—Control of position or course in two dimensions specially adapted to land vehicles with means for defining a desired trajectory involving speed control of the vehicle
    • H—ELECTRICITY
    • H01—ELECTRIC ELEMENTS
    • H01L—SEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
    • H01L21/00—Processes or apparatus adapted for the manufacture or treatment of semiconductor or solid state devices or of parts thereof
    • H01L21/67—Apparatus specially adapted for handling semiconductor or electric solid state devices during manufacture or treatment thereof; Apparatus specially adapted for handling wafers during manufacture or treatment of semiconductor or electric solid state devices or components ; Apparatus not specifically provided for elsewhere
    • H01L21/677—Apparatus specially adapted for handling semiconductor or electric solid state devices during manufacture or treatment thereof; Apparatus specially adapted for handling wafers during manufacture or treatment of semiconductor or electric solid state devices or components ; Apparatus not specifically provided for elsewhere for conveying, e.g. between different workstations
    • H01L21/67703—Apparatus specially adapted for handling semiconductor or electric solid state devices during manufacture or treatment thereof; Apparatus specially adapted for handling wafers during manufacture or treatment of semiconductor or electric solid state devices or components ; Apparatus not specifically provided for elsewhere for conveying, e.g. between different workstations between different workstations
    • H01L21/67706—Mechanical details, e.g. roller, belt
    • H—ELECTRICITY
    • H01—ELECTRIC ELEMENTS
    • H01L—SEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
    • H01L21/00—Processes or apparatus adapted for the manufacture or treatment of semiconductor or solid state devices or of parts thereof
    • H01L21/67—Apparatus specially adapted for handling semiconductor or electric solid state devices during manufacture or treatment thereof; Apparatus specially adapted for handling wafers during manufacture or treatment of semiconductor or electric solid state devices or components ; Apparatus not specifically provided for elsewhere
    • H01L21/677—Apparatus specially adapted for handling semiconductor or electric solid state devices during manufacture or treatment thereof; Apparatus specially adapted for handling wafers during manufacture or treatment of semiconductor or electric solid state devices or components ; Apparatus not specifically provided for elsewhere for conveying, e.g. between different workstations
    • H01L21/67703—Apparatus specially adapted for handling semiconductor or electric solid state devices during manufacture or treatment thereof; Apparatus specially adapted for handling wafers during manufacture or treatment of semiconductor or electric solid state devices or components ; Apparatus not specifically provided for elsewhere for conveying, e.g. between different workstations between different workstations
    • H01L21/67724—Apparatus specially adapted for handling semiconductor or electric solid state devices during manufacture or treatment thereof; Apparatus specially adapted for handling wafers during manufacture or treatment of semiconductor or electric solid state devices or components ; Apparatus not specifically provided for elsewhere for conveying, e.g. between different workstations between different workstations by means of a cart or a vehicule
    • H—ELECTRICITY
    • H01—ELECTRIC ELEMENTS
    • H01L—SEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
    • H01L21/00—Processes or apparatus adapted for the manufacture or treatment of semiconductor or solid state devices or of parts thereof
    • H01L21/67—Apparatus specially adapted for handling semiconductor or electric solid state devices during manufacture or treatment thereof; Apparatus specially adapted for handling wafers during manufacture or treatment of semiconductor or electric solid state devices or components ; Apparatus not specifically provided for elsewhere
    • H01L21/677—Apparatus specially adapted for handling semiconductor or electric solid state devices during manufacture or treatment thereof; Apparatus specially adapted for handling wafers during manufacture or treatment of semiconductor or electric solid state devices or components ; Apparatus not specifically provided for elsewhere for conveying, e.g. between different workstations
    • H01L21/67703—Apparatus specially adapted for handling semiconductor or electric solid state devices during manufacture or treatment thereof; Apparatus specially adapted for handling wafers during manufacture or treatment of semiconductor or electric solid state devices or components ; Apparatus not specifically provided for elsewhere for conveying, e.g. between different workstations between different workstations
    • H01L21/6773—Conveying cassettes, containers or carriers
    • B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
    • B65—CONVEYING; PACKING; STORING; HANDLING THIN OR FILAMENTARY MATERIAL
    • B65G—TRANSPORT OR STORAGE DEVICES, e.g. CONVEYORS FOR LOADING OR TIPPING, SHOP CONVEYOR SYSTEMS OR PNEUMATIC TUBE CONVEYORS
    • B65G2201/00—Indexing codes relating to handling devices, e.g. conveyors, characterised by the type of product or load being conveyed or handled
    • B65G2201/02—Articles
    • B65G2201/0297—Wafer cassette

Abstract

이송 장치가 개시된다. 상기 이송 장치는, 주행 레일 상에서 이동 가능하도록 구성되는 전방 이송 모듈과, 상기 주행 레일 상에서 이동 가능하도록 구성되는 후방 이송 모듈과, 상기 전방 및 후방 이송 모듈들의 하부에 연결되는 호이스트 모듈을 포함한다. 상기 전방 이송 모듈은, 상기 주행 레일 상에 놓여지는 좌측 전륜과, 상기 주행 레일 상에 놓여지는 우측 전륜과, 상기 좌측 전륜을 회전시키기 위한 좌측 전륜 모터와, 상기 우측 전륜을 회전시키기 위한 우측 전륜 모터를 포함한다.

Description

이송 장치{TRANSPORT APPARATUS}
본 발명의 실시예들은 이송 장치에 관한 것이다. 보다 상세하게는, 반도체 장치의 제조 공정에서 자재의 이송을 위해 이송 레일을 따라 이동 가능하게 구성되는 이송 차량을 포함하는 이송 장치에 관한 것이다.
반도체 장치의 제조 공정에서 반도체 웨이퍼, 반도체 스트립, 인쇄회로기판, 리드 프레임, 등과 같은 자재들은 OHT(Overhead Hoist Transport) 장치, RGV(Rail Guided Vehicle) 장치, AGV(Automatic Guided Vehicle) 등과 같은 이송 장치에 의해 이송될 수 있다. 일 예로서, 상기 OHT 장치는 클린룸의 천장 부위에 설치되는 이송 레일을 따라 이동 가능하게 구성되는 이송 차량을 포함할 수 있다.
상기 이송 차량은, 상기 이송 레일 상에서 이동 가능하게 구성되는 전방 이송 모듈과 후방 이송 모듈 및 상기 전방 및 후방 이송 모듈들의 하부에 연결되는 호이스트 모듈을 포함할 수 있다. 상기 호이스트 모듈은 상기 자재, 예를 들면, 반도체 웨이퍼의 수납을 위한 FOUP(Front Opening Unified Pod)과 같은 용기를 핸들링하기 위한 핸드 유닛과 승강 벨트를 이용하여 상기 핸드 유닛을 승강시키기 위한 호이스트 유닛을 포함할 수 있다.
상기 전방 및 후방 이송 모듈들은 전륜들과 후륜들을 회전시키기 위한 전륜 모터와 후륜 모터를 각각 포함할 수 있으며, 상기 전륜 모터와 상기 후륜 모터의 동작은 모션 제어기에 의해 제어될 수 있다. 예를 들면, 상기 전방 및 후방 이송 모듈들은 상기 전륜 모터와 상기 후륜 모터에 구동 전류를 인가하기 위한 전륜 서보팩과 후륜 서보팩을 각각 포함할 수 있으며, 상기 모션 제어기는 상기 전방 및 후륜 서보팩들에 각각 속도 지령을 제공할 수 있다.
그러나, 상기 전륜 서보팩과 상기 후륜 서보팩에는 동일한 속도 지령이 상기 모션 제어기에 의해 제공될 수 있으며, 이 경우 상기 이송 레일이 연장되는 경로 형태에 따라 상기 전륜들과 후륜들에서 슬립 현상이 발생될 수 있으며 이에 의해 상기 이송 차량의 정확한 위치 제어가 어려워질 수 있다. 또한, 상기 전륜들과 후륜들에서 발생되는 슬립 현상은 상기 이송 차량의 진동 원인으로 작용할 수 있으며, 특히 곡선 경로를 통과하는 경우 좌측 전륜과 후륜 및 우측 전륜과 후륜 사이에서 요구되는 회전 속도가 서로 다르기 때문에 상기 슬립 현상이 증가될 수 있고, 이에 따라 상기 곡선 경로에서는 상기 이송 차량의 안정적인 주행을 위해 상기 이송 차량의 속도를 감속해야 하는 문제점이 있다.
대한민국 공개특허공보 제10-2019-0023531호 (공개일자 2019년 03월 08일) 대한민국 공개특허공보 제10-2019-0047902호 (공개일자 2019년 05월 09일)
본 발명의 실시예들은 이송 차량의 주행시 발생될 수 있는 전륜들과 후륜들의 슬립 현상을 방지할 수 있는 이송 장치를 제공하는데 그 목적이 있다.
본 발명의 일 실시예에 따른 이송 장치는, 주행 레일 상에서 이동 가능하도록 구성되는 전방 이송 모듈과, 상기 주행 레일 상에서 이동 가능하도록 구성되는 후방 이송 모듈과, 상기 전방 및 후방 이송 모듈들의 하부에 연결되는 호이스트 모듈을 포함할 수 있다. 상기 전방 이송 모듈은, 상기 주행 레일 상에 놓여지는 좌측 전륜과, 상기 주행 레일 상에 놓여지는 우측 전륜과, 상기 좌측 전륜을 회전시키기 위한 좌측 전륜 모터와, 상기 우측 전륜을 회전시키기 위한 우측 전륜 모터를 포함할 수 있다.
본 발명의 일 실시예에 따르면, 상기 이송 장치는, 상기 좌측 전륜 모터와 상기 우측 전륜 모터의 동작을 제어하기 위한 모션 제어기를 더 포함할 수 있다.
본 발명의 일 실시예에 따르면, 상기 모션 제어기는, 상기 주행 레일이 연장되는 경로 형태에 따라 요구되는 좌측 전륜 회전 속도와 우측 전륜 회전 속도를 산출하고, 상기 산출된 좌측 전륜 회전 속도와 우측 전륜 회전 속도에 기초하여 상기 좌측 전륜 모터와 상기 우측 전륜 모터의 동작을 제어하기 위한 좌측 전륜 속도 지령과 우측 전륜 속도 지령을 제공할 수 있다.
본 발명의 일 실시예에 따르면, 상기 전방 이송 모듈은, 상기 좌측 전륜 모터의 회전수를 측정하기 위한 좌측 전륜 엔코더와, 상기 우측 전륜 모터의 회전수를 측정하기 위한 우측 전륜 엔코더를 더 포함할 수 있다.
본 발명의 일 실시예에 따르면, 상기 모션 제어기는, 상기 좌측 전륜 엔코더의 측정 신호와 상기 우측 전륜 엔코더의 측정 신호에 기초하여 상기 좌측 전륜 모터와 상기 우측 전륜 모터의 동작을 피드백 방식으로 제어할 수 있다.
본 발명의 일 실시예에 따르면, 상기 후방 이송 모듈은, 상기 주행 레일 상에 놓여지는 좌측 후륜과, 상기 주행 레일 상에 놓여지는 우측 후륜과, 상기 좌측 후륜을 회전시키기 위한 좌측 후륜 모터와, 상기 우측 후륜을 회전시키기 위한 우측 후륜 모터를 포함할 수 있다.
본 발명의 일 실시예에 따르면, 상기 이송 장치는, 상기 좌측 후륜 모터와 상기 우측 후륜 모터의 동작을 제어하기 위한 모션 제어기를 더 포함할 수 있다.
본 발명의 일 실시예에 따르면, 상기 모션 제어기는, 상기 주행 레일이 연장되는 경로 형태에 따라 요구되는 좌측 후륜 회전 속도와 우측 후륜 회전 속도를 산출하고, 상기 산출된 좌측 후륜 회전 속도와 우측 후륜 회전 속도에 기초하여 상기 좌측 후륜 모터와 상기 우측 후륜 모터의 동작을 제어하기 위한 좌측 후륜 속도 지령과 우측 후륜 속도 지령을 제공할 수 있다.
본 발명의 일 실시예에 따르면, 상기 후방 이송 모듈은, 상기 좌측 후륜 모터의 회전수를 측정하기 위한 좌측 후륜 엔코더와, 상기 우측 후륜 모터의 회전수를 측정하기 위한 우측 후륜 엔코더를 더 포함할 수 있다.
본 발명의 일 실시예에 따르면, 상기 모션 제어기는, 상기 좌측 후륜 엔코더의 측정 신호와 상기 우측 후륜 엔코더의 측정 신호에 기초하여 상기 좌측 후륜 모터와 상기 우측 후륜 모터의 동작을 피드백 방식으로 제어할 수 있다.
본 발명의 일 실시예에 따르면, 상기 이송 장치는, 상기 좌측 전륜 모터와 상기 우측 전륜 모터 및 상기 좌측 후륜 모터와 상기 우측 후륜 모터의 동작을 제어하기 위한 모션 제어기를 더 포함할 수 있다.
본 발명의 일 실시예에 따르면, 상기 모션 제어기는 상기 주행 레일이 연장되는 경로 형태에 따라 요구되는 좌측 전륜 회전 속도와 우측 전륜 회전 속도 및 좌측 후륜 회전 속도와 우측 후륜 회전 속도를 산출하고, 상기 산출된 좌측 전륜 회전 속도와 우측 전륜 회전 속도 및 좌측 후륜 회전 속도와 우측 후륜 회전 속도에 기초하여 상기 좌측 전륜 모터와 상기 우측 전륜 모터 및 상기 좌측 후륜 모터와 상기 우측 후륜 모터의 동작을 제어하기 위한 좌측 전륜 속도 지령과 우측 전륜 속도 지령 및 좌측 후륜 속도 지령과 우측 후륜 속도 지령을 제공할 수 있다.
본 발명의 일 실시예에 따르면, 상기 전방 이송 모듈은, 상기 좌측 전륜 모터의 회전수를 측정하기 위한 좌측 전륜 엔코더와, 상기 우측 전륜 모터의 회전수를 측정하기 위한 우측 전륜 엔코더를 더 포함하고, 상기 후방 이송 모듈은, 상기 좌측 후륜 모터의 회전수를 측정하기 위한 좌측 후륜 엔코더와, 상기 우측 후륜 모터의 회전수를 측정하기 위한 우측 후륜 엔코더를 더 포함할 수 있다.
본 발명의 일 실시예에 따르면, 상기 모션 제어기는, 상기 좌측 전륜 엔코더의 측정 신호와 상기 우측 전륜 엔코더의 측정 신호 및 상기 좌측 후륜 엔코더의 측정 신호와 상기 우측 후륜 엔코더의 측정 신호에 기초하여 상기 좌측 전륜 모터와 상기 우측 전륜 모터 및 상기 좌측 후륜 모터와 상기 우측 후륜 모터의 동작을 피드백 방식으로 제어할 수 있다.
상술한 바와 같은 본 발명의 실시예들에 따르면, 상기 전방 이송 모듈의 좌측 전륜과 우측 전륜 및 상기 후방 이송 모듈의 좌측 후륜과 우측 후륜은, 상기 이송 레일의 경로 형태에 따라 상기 모션 제어기에 의해 각각 회전 속도가 제어될 수 있으며, 이에 따라 상기 좌측 전륜과 우측 전륜 및 상기 좌측 후륜과 우측 후륜의 슬립 현상이 충분히 방지될 수 있다. 또한, 상기 좌측 전륜과 우측 전륜 및 상기 좌측 후륜과 우측 후륜의 슬립 현상을 방지함으로써 상기 이송 차량의 주행 도중에 발생되는 진동을 크게 감소시킬 수 있으며, 아울러 상기 이송 차량이 곡선 경로를 통과하는 경우에도 종래 기술과 비교하여 상기 이송 차량의 속도를 충분히 증가시킬 수 있으므로 자재 이송에 소요되는 시간을 크게 단축시킬 수 있다.
도 1은 본 발명의 일 실시예에 따른 이송 장치를 설명하기 위한 개략적인 구성도이다.
도 2는 도 1에 도시된 전방 이송 모듈과 후방 이송 모듈을 설명하기 위한 개략적인 평면도이다.
도 3은 도 1에 도시된 이송 차량의 모션 제어기를 설명하기 위한 블록도이다.
도 4는 도 3에 도시된 모션 제어기를 세부적으로 설명하기 위한 블록도이다.
이하, 본 발명의 실시예들은 첨부 도면들을 참조하여 상세하게 설명된다. 그러나, 본 발명은 하기에서 설명되는 실시예들에 한정된 바와 같이 구성되어야만 하는 것은 아니며 이와 다른 여러 가지 형태로 구체화될 수 있을 것이다. 하기의 실시예들은 본 발명이 온전히 완성될 수 있도록 하기 위하여 제공된다기보다는 본 발명의 기술 분야에서 숙련된 당업자들에게 본 발명의 범위를 충분히 전달하기 위하여 제공된다.
본 발명의 실시예들에서 하나의 요소가 다른 하나의 요소 상에 배치되는 또는 연결되는 것으로 설명되는 경우 상기 요소는 상기 다른 하나의 요소 상에 직접 배치되거나 연결될 수도 있으며, 다른 요소들이 이들 사이에 개재될 수도 있다. 이와 다르게, 하나의 요소가 다른 하나의 요소 상에 직접 배치되거나 연결되는 것으로 설명되는 경우 그들 사이에는 또 다른 요소가 있을 수 없다. 다양한 요소들, 조성들, 영역들, 층들 및/또는 부분들과 같은 다양한 항목들을 설명하기 위하여 제1, 제2, 제3 등의 용어들이 사용될 수 있으나, 상기 항목들은 이들 용어들에 의하여 한정되지는 않을 것이다.
본 발명의 실시예들에서 사용된 전문 용어는 단지 특정 실시예들을 설명하기 위한 목적으로 사용되는 것이며, 본 발명을 한정하기 위한 것은 아니다. 또한, 달리 한정되지 않는 이상, 기술 및 과학 용어들을 포함하는 모든 용어들은 본 발명의 기술 분야에서 통상적인 지식을 갖는 당업자에게 이해될 수 있는 동일한 의미를 갖는다. 통상적인 사전들에서 한정되는 것들과 같은 상기 용어들은 관련 기술과 본 발명의 설명의 문맥에서 그들의 의미와 일치하는 의미를 갖는 것으로 해석될 것이며, 명확히 한정되지 않는 한 이상적으로 또는 과도하게 외형적인 직감으로 해석되지는 않을 것이다.
본 발명의 실시예들은 본 발명의 이상적인 실시예들의 개략적인 도해들을 참조하여 설명된다. 이에 따라, 상기 도해들의 형상들로부터의 변화들, 예를 들면, 제조 방법들 및/또는 허용 오차들의 변화는 충분히 예상될 수 있는 것들이다. 따라서, 본 발명의 실시예들은 도해로서 설명된 영역들의 특정 형상들에 한정된 바대로 설명되어지는 것은 아니라 형상들에서의 편차를 포함하는 것이며, 도면들에 설명된 요소들은 전적으로 개략적인 것이며 이들의 형상은 요소들의 정확한 형상을 설명하기 위한 것이 아니며 또한 본 발명의 범위를 한정하고자 하는 것도 아니다.
도 1은 본 발명의 일 실시예에 따른 이송 장치를 설명하기 위한 개략적인 구성도이고, 도 2는 도 1에 도시된 전방 이송 모듈과 후방 이송 모듈을 설명하기 위한 개략적인 평면도이다.
도 1 및 도 2를 참조하면, 본 발명의 일 실시예에 따른 이송 장치(100)는 반도체 장치의 제조 공정이 수행되는 클린룸 내에서 자재 이송을 위해 사용될 수 있다. 예를 들면, 상기 이송 장치(100)는 OHT 장치일 수 있으며, 상기 클린룸의 천장 부위에 설치된 이송 레일(102)과 상기 이송 레일(102) 상에서 이동 가능하게 구성되는 이송 차량(104)을 포함할 수 있다.
상기 이송 차량(104)은, 상기 이송 레일(102) 상에서 이동 가능하게 구성되는 전방 이송 모듈(110)과 후방 이송 모듈(120) 및 상기 전방 및 후방 이송 모듈들(110, 120)의 하부에 연결되는 호이스트 모듈(130)을 포함할 수 있다.
상기 전방 이송 모듈(110)은 상기 이송 레일(102) 상에 배치되는 좌측 전륜(112L)과 우측 전륜(112R), 상기 좌측 전륜(112L)을 회전시키기 위한 좌측 전륜 모터(114L), 상기 우측 전륜(112R)을 회전시키기 위한 우측 전륜 모터(114R), 상기 좌측 전륜 모터(114L)의 회전수를 측정하기 위한 좌측 전륜 엔코더(116L), 및 상기 우측 전륜 모터(114R)의 회전수를 측정하기 위한 우측 전륜 엔코더(116R)를 포함할 수 있다.
상기 후방 이송 모듈(120)은 상기 이송 레일(102) 상에 배치되는 좌측 후륜(122L)과 우측 후륜(122R), 상기 좌측 후륜(122L)을 회전시키기 위한 좌측 후륜 모터(124L), 상기 우측 후륜(122R)을 회전시키기 위한 우측 후륜 모터(124R), 상기 좌측 후륜 모터(124L)의 회전수를 측정하기 위한 좌측 후륜 엔코더(126L), 및 상기 우측 후륜 모터(124R)의 회전수를 측정하기 위한 우측 후륜 엔코더(126R)를 포함할 수 있다.
상기 호이스트 모듈(130)은 자재, 예를 들면, 반도체 웨이퍼들의 수납을 위한 FOUP과 같은 용기(10)를 파지하기 위한 그리퍼를 구비하는 핸드 유닛(132)과, 승강 벨트를 이용하여 상기 핸드 유닛(132)을 승강시키기 위한 호이스트 유닛(134)과, 상기 호이스트 유닛(134)이 장착되며 상기 용기(10)를 수납하기 위한 공간을 구비하는 호이스트 본체(136)를 포함할 수 있다.
도 3은 도 1에 도시된 이송 차량의 모션 제어기를 설명하기 위한 블록도이고, 도 4는 도 3에 도시된 모션 제어기를 세부적으로 설명하기 위한 블록도이다.
도 3 및 도 4를 참조하면, 상기 이송 차량(104)은 상기 좌측 전륜 모터(114L), 상기 우측 전륜 모터(114R), 상기 좌측 후륜 모터(124L), 및 상기 우측 후륜 모터(124R)의 동작을 제어하기 위한 모션 제어기(140)를 포함할 수 있다.
상기 모션 제어기(140)는 OCS(OHT Control System) 장치와 같은 상위 제어기(미도시)와 통신 가능하도록 구성될 수 있으며, 상기 상위 제어기로부터 상기 용기(10)의 이송을 위한 위치 정보와 상기 이송 레일(102)의 경로 정보를 수신할 수 있다. 본 발명의 일 실시예에 따르면, 상기 모션 제어기(140)는 상기 위치 정보와 경로 정보에 기초하여 상기 좌측 전륜 모터(114L), 상기 우측 전륜 모터(114R), 상기 좌측 후륜 모터(124L), 및 상기 우측 후륜 모터(124R)의 동작을 제어하기 좌측 전륜 속도 지령, 우측 전륜 속도 지령, 좌측 후륜 속도 지령, 및 우측 후륜 속도 지령을 제공할 수 있다.
본 발명의 일 실시예에 따르면, 상기 이송 차량(104)은 상기 좌측 전륜 모터(114L)에 구동 전류를 인가하기 위한 좌측 전륜 서보팩(150L)과, 상기 우측 전륜 모터(114R)에 구동 전류를 인가하기 위한 우측 전륜 서보팩(150R)과, 상기 좌측 후륜 모터(124L)에 구동 전류를 인가하기 위한 좌측 후륜 서보팩(152L)과, 상기 우측 후륜 모터(124R)에 구동 전류를 인가하기 위한 우측 후륜 서보팩(152R)을 포함할 수 있으며, 상기 모션 제어기(140)는 상기 좌측 전륜 서보팩(150L)과 상기 우측 전륜 서보팩(150R) 및 상기 좌측 후륜 서보팩(152L)과 상기 우측 후륜 서보팩(152R)에 상기 좌측 전륜 속도 지령과 상기 우측 전륜 속도 지령 및 상기 좌측 후륜 속도 지령과 상기 우측 후륜 속도 지령을 각각 제공할 수 있다.
예를 들면, 상기 모션 제어기(140)는 상기 상위 제어기로부터 제공되는 위치 정보와 경로 정보를 이용하여 상기 이송 차량(104)의 기준 속도 프로파일을 생성하는 프로파일 생성부(142)와, 상기 좌측 전륜 속도 지령을 생성하기 위한 좌측 전륜 제어부(144L)와, 상기 우측 전륜 속도 지령을 생성하기 위한 우측 전륜 제어부(144R)와, 상기 좌측 후륜 속도 지령을 생성하기 위한 좌측 후륜 제어부(146L)와, 상기 우측 후륜 속도 지령을 생성하기 위한 우측 후륜 제어부(146R)를 포함할 수 있다.
특히, 상기 이송 차량(104)이 곡선 경로를 통과하는 경우 상기 곡선 경로의 곡률 반경에 따라 상기 좌측 전륜(112L)과 좌측 후륜(122L) 및 상기 우측 전륜(112R)과 우측 후륜(122R)의 요구되는 회전 속도가 다를 수 있으며, 상기 좌측 전륜 제어부(144L)와 우측 전륜 제어부(144R) 및 상기 좌측 후륜 제어부(146L)와 우측 후륜 제어부(146R)는, 상기 곡선 경로의 곡률 반경에 따라 요구되는 좌측 전륜 회전 속도와 우측 전륜 회전 속도 및 좌측 후륜 회전 속도와 우측 후륜 회전 속도를 각각 산출하고, 상기 산출된 좌측 전륜 회전 속도와 우측 전륜 회전 속도 및 좌측 후륜 회전 속도와 우측 후륜 회전 속도에 기초하여 상기 좌측 전륜 모터(114L)와 상기 우측 전륜 모터(114R) 및 상기 좌측 후륜 모터(124L)와 상기 우측 후륜 모터(124R)의 동작을 제어하기 위한 좌측 전륜 속도 지령과 우측 전륜 속도 지령 및 좌측 후륜 속도 지령과 우측 후륜 속도 지령을 각각 제공할 수 있다.
또한, 본 발명의 일 실시예에 따르면, 상기 좌측 전륜 제어부(144L)와 우측 전륜 제어부(144R) 및 상기 좌측 후륜 제어부(146L)와 우측 후륜 제어부(146R)는, 상기 좌측 전륜 엔코더(116L)의 측정 신호와 상기 우측 전륜 엔코더(116R)의 측정 신호 및 상기 좌측 후륜 엔코더(126L)의 측정 신호와 상기 우측 후륜 엔코더(126R)의 측정 신호에 기초하여 상기 좌측 전륜 모터(114L)와 상기 우측 전륜 모터(114R) 및 상기 좌측 후륜 모터(124L)와 상기 우측 후륜 모터(124R)의 동작을 피드백 방식으로 각각 제어할 수 있다.
상술한 바와 같은 본 발명의 실시예들에 따르면, 상기 전방 이송 모듈(110)의 좌측 전륜(112L)과 우측 전륜(112R) 및 상기 후방 이송 모듈(120)의 좌측 후륜(122L)과 우측 후륜(122R)은, 상기 이송 레일(102)의 경로 형태에 따라 상기 모션 제어기(140)에 의해 각각 회전 속도가 제어될 수 있으며, 이에 따라 상기 좌측 전륜(112L)과 우측 전륜(112R) 및 상기 좌측 후륜(122L)과 우측 후륜(122R)의 슬립 현상이 충분히 방지될 수 있다. 또한, 상기 좌측 전륜(112L)과 우측 전륜(112R) 및 상기 좌측 후륜(122L)과 우측 후륜(122R)의 슬립 현상을 방지함으로써 상기 이송 차량(104)의 주행 도중에 발생되는 진동을 크게 감소시킬 수 있으며, 아울러 상기 이송 차량(104)이 곡선 경로를 통과하는 경우에도 종래 기술과 비교하여 상기 이송 차량(104)의 속도를 충분히 증가시킬 수 있으므로 자재 이송에 소요되는 시간을 크게 단축시킬 수 있다.
상기에서는 본 발명의 바람직한 실시예를 참조하여 설명하였지만, 해당 기술 분야의 숙련된 당업자는 하기의 청구범위에 기재된 본 발명의 사상 및 영역으로부터 벗어나지 않는 범위 내에서 본 발명을 다양하게 수정 및 변경시킬 수 있음을 이해할 수 있을 것이다.
10 : 용기 100 : 이송 장치
102 : 이송 레일 104 : 이송 차량
110 : 전방 이송 모듈 112L : 좌측 전륜
112R : 우측 전륜 114L : 좌측 전륜 모터
114R : 우측 전륜 모터 116L : 좌측 전륜 엔코더
116R : 우측 전륜 엔코더 122L : 좌측 후륜
122R : 우측 후륜 124L : 좌측 후륜 모터
124R : 우측 후륜 모터 126L : 좌측 후륜 엔코더
126R : 우측 후륜 엔코더 130 : 호이스트 모듈
140 : 모션 제어기 142 : 프로파일 생성부
144L : 좌측 전륜 제어부 144R : 우측 전륜 제어부
146L : 좌측 후륜 제어부 146R : 우측 후륜 제어부
150L : 좌측 전륜 서보팩 150R : 우측 전륜 서보팩
152L : 좌측 후륜 서보팩 152R : 우측 후륜 서보팩

Claims (14)

  1. 주행 레일 상에서 이동 가능하도록 구성되는 전방 이송 모듈;
    상기 주행 레일 상에서 이동 가능하도록 구성되는 후방 이송 모듈; 및
    상기 전방 및 후방 이송 모듈들의 하부에 연결되는 호이스트 모듈을 포함하되,
    상기 전방 이송 모듈은,
    상기 주행 레일 상에 놓여지는 좌측 전륜과,
    상기 주행 레일 상에 놓여지는 우측 전륜과,
    상기 좌측 전륜을 회전시키기 위한 좌측 전륜 모터와,
    상기 우측 전륜을 회전시키기 위한 우측 전륜 모터를 포함하는 것을 특징으로 하는 이송 장치.
  2. 제1항에 있어서, 상기 좌측 전륜 모터와 상기 우측 전륜 모터의 동작을 제어하기 위한 모션 제어기를 더 포함하는 것을 특징으로 하는 이송 장치.
  3. 제2항에 있어서, 상기 모션 제어기는,
    상기 주행 레일이 연장되는 경로 형태에 따라 요구되는 좌측 전륜 회전 속도와 우측 전륜 회전 속도를 산출하고,
    상기 산출된 좌측 전륜 회전 속도와 우측 전륜 회전 속도에 기초하여 상기 좌측 전륜 모터와 상기 우측 전륜 모터의 동작을 제어하기 위한 좌측 전륜 속도 지령과 우측 전륜 속도 지령을 제공하는 것을 특징으로 하는 이송 장치.
  4. 제3항에 있어서, 상기 전방 이송 모듈은,
    상기 좌측 전륜 모터의 회전수를 측정하기 위한 좌측 전륜 엔코더와,
    상기 우측 전륜 모터의 회전수를 측정하기 위한 우측 전륜 엔코더를 더 포함하는 것을 특징으로 하는 이송 장치.
  5. 제4항에 있어서, 상기 모션 제어기는, 상기 좌측 전륜 엔코더의 측정 신호와 상기 우측 전륜 엔코더의 측정 신호에 기초하여 상기 좌측 전륜 모터와 상기 우측 전륜 모터의 동작을 피드백 방식으로 제어하는 것을 특징으로 하는 이송 장치.
  6. 제1항에 있어서, 상기 후방 이송 모듈은,
    상기 주행 레일 상에 놓여지는 좌측 후륜과,
    상기 주행 레일 상에 놓여지는 우측 후륜과,
    상기 좌측 후륜을 회전시키기 위한 좌측 후륜 모터와,
    상기 우측 후륜을 회전시키기 위한 우측 후륜 모터를 포함하는 것을 특징으로 하는 이송 장치.
  7. 제6항에 있어서, 상기 좌측 후륜 모터와 상기 우측 후륜 모터의 동작을 제어하기 위한 모션 제어기를 더 포함하는 것을 특징으로 하는 이송 장치.
  8. 제7항에 있어서, 상기 모션 제어기는,
    상기 주행 레일이 연장되는 경로 형태에 따라 요구되는 좌측 후륜 회전 속도와 우측 후륜 회전 속도를 산출하고,
    상기 산출된 좌측 후륜 회전 속도와 우측 후륜 회전 속도에 기초하여 상기 좌측 후륜 모터와 상기 우측 후륜 모터의 동작을 제어하기 위한 좌측 후륜 속도 지령과 우측 후륜 속도 지령을 제공하는 것을 특징으로 하는 이송 장치.
  9. 제8항에 있어서, 상기 후방 이송 모듈은,
    상기 좌측 후륜 모터의 회전수를 측정하기 위한 좌측 후륜 엔코더와,
    상기 우측 후륜 모터의 회전수를 측정하기 위한 우측 후륜 엔코더를 더 포함하는 것을 특징으로 하는 이송 장치.
  10. 제9항에 있어서, 상기 모션 제어기는, 상기 좌측 후륜 엔코더의 측정 신호와 상기 우측 후륜 엔코더의 측정 신호에 기초하여 상기 좌측 후륜 모터와 상기 우측 후륜 모터의 동작을 피드백 방식으로 제어하는 것을 특징으로 하는 이송 장치.
  11. 제6항에 있어서, 상기 좌측 전륜 모터와 상기 우측 전륜 모터 및 상기 좌측 후륜 모터와 상기 우측 후륜 모터의 동작을 제어하기 위한 모션 제어기를 더 포함하는 것을 특징으로 하는 이송 장치.
  12. 제11항에 있어서, 상기 모션 제어기는 상기 주행 레일이 연장되는 경로 형태에 따라 요구되는 좌측 전륜 회전 속도와 우측 전륜 회전 속도 및 좌측 후륜 회전 속도와 우측 후륜 회전 속도를 산출하고,
    상기 산출된 좌측 전륜 회전 속도와 우측 전륜 회전 속도 및 좌측 후륜 회전 속도와 우측 후륜 회전 속도에 기초하여 상기 좌측 전륜 모터와 상기 우측 전륜 모터 및 상기 좌측 후륜 모터와 상기 우측 후륜 모터의 동작을 제어하기 위한 좌측 전륜 속도 지령과 우측 전륜 속도 지령 및 좌측 후륜 속도 지령과 우측 후륜 속도 지령을 제공하는 것을 특징으로 하는 이송 장치.
  13. 제12항에 있어서, 상기 전방 이송 모듈은,
    상기 좌측 전륜 모터의 회전수를 측정하기 위한 좌측 전륜 엔코더와,
    상기 우측 전륜 모터의 회전수를 측정하기 위한 우측 전륜 엔코더를 더 포함하고,
    상기 후방 이송 모듈은,
    상기 좌측 후륜 모터의 회전수를 측정하기 위한 좌측 후륜 엔코더와,
    상기 우측 후륜 모터의 회전수를 측정하기 위한 우측 후륜 엔코더를 더 포함하는 것을 특징으로 하는 이송 장치.
  14. 제13항에 있어서, 상기 모션 제어기는, 상기 좌측 전륜 엔코더의 측정 신호와 상기 우측 전륜 엔코더의 측정 신호 및 상기 좌측 후륜 엔코더의 측정 신호와 상기 우측 후륜 엔코더의 측정 신호에 기초하여 상기 좌측 전륜 모터와 상기 우측 전륜 모터 및 상기 좌측 후륜 모터와 상기 우측 후륜 모터의 동작을 피드백 방식으로 제어하는 것을 특징으로 하는 이송 장치.
KR1020200141788A 2020-10-29 2020-10-29 이송 장치 KR102589717B1 (ko)

Priority Applications (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
KR1020200141788A KR102589717B1 (ko) 2020-10-29 2020-10-29 이송 장치

Applications Claiming Priority (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
KR1020200141788A KR102589717B1 (ko) 2020-10-29 2020-10-29 이송 장치

Publications (2)

Publication Number Publication Date
KR20220057014A true KR20220057014A (ko) 2022-05-09
KR102589717B1 KR102589717B1 (ko) 2023-10-16

Family

ID=81581964

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
KR1020200141788A KR102589717B1 (ko) 2020-10-29 2020-10-29 이송 장치

Country Status (1)

Country Link
KR (1) KR102589717B1 (ko)

Citations (6)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPH0840686A (ja) * 1994-07-27 1996-02-13 Mitsubishi Heavy Ind Ltd 無軌道式運搬台車の走行制御方法
JP2002096907A (ja) * 2000-03-31 2002-04-02 Sanshin Kinzoku Kogyo Kk 無軌条電動式移動棚
KR20160119711A (ko) * 2015-04-06 2016-10-14 가부시키가이샤 다이후쿠 물품 반송 설비
JP2017132641A (ja) * 2017-05-16 2017-08-03 株式会社岡村製作所 搬送台車
KR20190023531A (ko) 2017-08-29 2019-03-08 세메스 주식회사 이송 장치
KR20190047902A (ko) 2017-10-30 2019-05-09 세메스 주식회사 호이스트 모듈의 위치 보정 방법

Patent Citations (6)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPH0840686A (ja) * 1994-07-27 1996-02-13 Mitsubishi Heavy Ind Ltd 無軌道式運搬台車の走行制御方法
JP2002096907A (ja) * 2000-03-31 2002-04-02 Sanshin Kinzoku Kogyo Kk 無軌条電動式移動棚
KR20160119711A (ko) * 2015-04-06 2016-10-14 가부시키가이샤 다이후쿠 물품 반송 설비
JP2017132641A (ja) * 2017-05-16 2017-08-03 株式会社岡村製作所 搬送台車
KR20190023531A (ko) 2017-08-29 2019-03-08 세메스 주식회사 이송 장치
KR20190047902A (ko) 2017-10-30 2019-05-09 세메스 주식회사 호이스트 모듈의 위치 보정 방법

Also Published As

Publication number Publication date
KR102589717B1 (ko) 2023-10-16

Similar Documents

Publication Publication Date Title
KR102165426B1 (ko) 반송 시스템
US10418263B2 (en) Overhead transportation system for transporting objects between multiple work stations
JP4296914B2 (ja) 位置教示装置及びそれを備えた搬送システム
US20200251366A1 (en) Overhead transport vehicle, overhead transport system, and control method for overhead transport vehicle
KR101504146B1 (ko) 반송시스템
WO2011083525A1 (ja) 搬送車システム
KR102575953B1 (ko) 자기 부상 이송 장치
US7806648B2 (en) Transportation system and transportation method
JP2012038832A (ja) 供給搬出システム
KR20220039359A (ko) 이송 장치
KR20220057014A (ko) 이송 장치
JP7304389B2 (ja) 製造工場の物品搬送システム
KR102283392B1 (ko) 이송 장치
KR20220147958A (ko) 자재 이송 장치 및 자재 이송 방법
KR20220056394A (ko) 이송 장치 및 그 제어 방법
JPH11130251A (ja) 基板搬送装置
KR20220135292A (ko) 물품 반송 시스템에서 반송 차량의 구동을 제어하기 위한 장치 및 방법
KR102650609B1 (ko) 물품 반송 장치 및 주행 레일의 단차 측정 방법, 반송 시스템
KR20210144442A (ko) 자재 이송 장치
US20230211966A1 (en) Article transport vehicle, rail assembly, and article transport system including the same
KR102385265B1 (ko) 물품 반송 장치 및 오버 헤드 트랜스퍼 장치
KR20220052716A (ko) 이송 장치 및 이의 제어 방법
KR102277215B1 (ko) 이송 차량의 동작 제어 방법
JP7334748B2 (ja) 物品搬送設備
KR20220057110A (ko) 이송 장치 및 그 동작을 제어하는 방법

Legal Events

Date Code Title Description
E902 Notification of reason for refusal
E701 Decision to grant or registration of patent right
GRNT Written decision to grant