KR20220057110A - 이송 장치 및 그 동작을 제어하는 방법 - Google Patents

이송 장치 및 그 동작을 제어하는 방법 Download PDF

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Abstract

이송 장치와 그 동작을 제어하는 방법이 개시된다. 상기 이송 장치는, 이송 레일 상에 배치되는 전륜들과 상기 전륜들을 회전시키기 위한 전륜 모터 및 상기 전륜 모터의 회전수를 측정하기 위한 전륜 엔코더를 포함하는 전방 이송 모듈과, 상기 이송 레일 상에 배치되는 후륜들과 상기 후륜들을 회전시키기 위한 후륜 모터 및 상기 후륜 모터의 회전수를 측정하기 위한 후륜 엔코더를 포함하는 후방 이송 모듈과, 상기 전방 및 후방 이송 모듈들의 하부에 연결되는 호이스트 모듈과, 상기 전륜 모터와 상기 후륜 모터의 동작을 제어하기 위한 모션 제어기를 포함하며, 상기 모션 제어기는 상기 전륜 모터의 외란을 제거하기 위한 제1 외란 관측기와 상기 후륜 모터의 외란을 제거하기 위한 제2 외란 관측기를 포함한다.

Description

이송 장치 및 그 동작을 제어하는 방법{Transport apparatus and method of controlling operations of the same}
본 발명의 실시예들은 이송 장치와 그 동작을 제어하는 방법에 관한 것이다. 보다 상세하게는, 반도체 장치의 제조 공정에서 자재의 이송을 위해 이송 레일을 따라 이동 가능하게 구성되는 이송 차량을 포함하는 이송 장치 및 상기 이송 장치의 동작을 제어하기 위한 방법에 관한 것이다.
반도체 장치의 제조 공정에서 반도체 웨이퍼, 반도체 스트립, 인쇄회로기판, 리드 프레임, 등과 같은 자재들은 OHT(Overhead Hoist Transport) 장치, RGV(Rail Guided Vehicle) 장치, AGV(Automatic Guided Vehicle) 등과 같은 이송 장치에 의해 이송될 수 있다. 일 예로서, 상기 OHT 장치는 클린룸의 천장 부위에 설치되는 이송 레일을 따라 이동 가능하게 구성되는 이송 차량을 포함할 수 있다.
상기 이송 차량은, 상기 이송 레일 상에서 이동 가능하게 구성되는 전방 이송 모듈과 후방 이송 모듈 및 상기 전방 및 후방 이송 모듈들의 하부에 연결되는 호이스트 모듈을 포함할 수 있다. 상기 호이스트 모듈은 상기 자재, 예를 들면, 반도체 웨이퍼의 수납을 위한 FOUP(Front Opening Unified Pod)과 같은 용기를 핸들링하기 위한 핸드 유닛과 승강 벨트를 이용하여 상기 핸드 유닛을 승강시키기 위한 호이스트 유닛을 포함할 수 있다.
상기 전방 및 후방 이송 모듈들은 전륜들과 후륜들을 회전시키기 위한 전륜 모터와 후륜 모터를 각각 포함할 수 있으며, 상기 전륜 모터와 상기 후륜 모터의 동작은 모션 제어기에 의해 제어될 수 있다. 예를 들면, 상기 전방 및 후방 이송 모듈들은 상기 전륜 모터와 상기 후륜 모터에 구동 전류를 인가하기 위한 전륜 서보팩과 후륜 서보팩을 각각 포함할 수 있으며, 상기 모션 제어기는 상기 전방 및 후륜 서보팩들에 각각 속도 지령을 제공할 수 있다.
한편, 상기 이송 차량의 속도 변화, 상기 이송 레일의 경사도와 곡률 반경, 상기 이송 레일과 상기 전륜들 및 후륜들 사이의 슬립 현상, 등의 외부 요인들에 의해 외란이 발생될 수 있으며, 상기 외란에 의해 상기 이송 차량의 동작 제어가 어려워지는 문제점이 있다. 특히, 일 예로서, 상기 전륜 모터의 출력은 대부분 상기 전륜들을 회전시키기 위한 구동력으로서 사용될 수 있으나, 상기 구동력으로 전환되지 않고 남은 힘은 후륜 모터의 외란으로 작용할 수 있으며, 그 반대의 경우 즉 상기 후륜 모터의 출력 중 일부가 상기 전륜 모터의 외란으로 작용할 수 있다. 상기와 같이 전륜 모터와 후륜 모터 사이에서 발생될 수 있는 외란의 상호 작용은 상기 이송 차량의 진동을 증가시키고 아울러 상기 전방 및 후륜 서보팩들의 고장을 야기할 수 있다.
대한민국 공개특허공보 제10-2019-0023531호 (공개일자 2019년 03월 08일) 대한민국 공개특허공보 제10-2019-0047902호 (공개일자 2019년 05월 09일)
본 발명의 실시예들은 진동을 감소시키고 주행 안정성을 확보할 수 있는 이송 장치 및 그 제어 방법을 제공하는데 목적이 있다.
상기 목적을 달성하기 위한 본 발명의 일 측면에 따른 이송 장치는, 이송 레일 상에 배치되는 전륜들과 상기 전륜들을 회전시키기 위한 전륜 모터 및 상기 전륜 모터의 회전수를 측정하기 위한 전륜 엔코더를 포함하는 전방 이송 모듈과, 상기 이송 레일 상에 배치되는 후륜들과 상기 후륜들을 회전시키기 위한 후륜 모터 및 상기 후륜 모터의 회전수를 측정하기 위한 후륜 엔코더를 포함하는 후방 이송 모듈과, 상기 전방 및 후방 이송 모듈들의 하부에 연결되는 호이스트 모듈과, 상기 전륜 모터와 상기 후륜 모터의 동작을 제어하기 위한 모션 제어기를 포함할 수 있으며, 특히 상기 모션 제어기는 상기 전륜 모터의 외란을 제거하기 위한 제1 외란 관측기와 상기 후륜 모터의 외란을 제거하기 위한 제2 외란 관측기를 포함할 수 있다.
본 발명의 일부 실시예들에 따르면, 상기 제1 외란 관측기는 제1 주파수 대역을 갖는 제1 큐 필터를 포함하고, 상기 제2 외란 관측기는 제2 주파수 대역을 갖는 제2 큐 필터를 포함할 수 있다.
본 발명의 일부 실시예들에 따르면, 상기 제1 큐 필터는 로우 패스 필터이고, 상기 제2 큐 필터는 밴드 패스 필터일 수 있다.
본 발명의 일부 실시예들에 따르면, 상기 제1 큐 필터는 밴드 패스 필터이고, 상기 제2 큐 필터는 로우 패스 필터일 수 있다.
본 발명의 일부 실시예들에 따르면, 상기 모션 제어기는 상기 전륜 엔코더에 의한 제1 측정 신호와 상기 제1 외란 관측기를 이용하여 상기 전륜 모터의 속도 제어를 위한 제1 속도 지령을 제공하고, 상기 후륜 엔코더에 의한 제2 측정 신호와 상기 제2 외란 관측기를 이용하여 상기 후륜 모터의 속도 제어를 위한 제2 속도 지령을 제공할 수 있다.
상기 목적을 달성하기 위한 본 발명의 다른 측면에 따르면, 이송 레일 상에 배치되는 전륜들과 상기 전륜들을 회전시키기 위한 전륜 모터 및 상기 전륜 모터의 회전수를 측정하기 위한 전륜 엔코더를 포함하는 전방 이송 모듈과, 상기 이송 레일 상에 배치되는 후륜들과 상기 후륜들을 회전시키기 위한 후륜 모터 및 상기 후륜 모터의 회전수를 측정하기 위한 후륜 엔코더를 포함하는 후방 이송 모듈과, 상기 전방 및 후방 이송 모듈들의 하부에 연결되는 호이스트 모듈을 포함하는 이송 장치의 동작 제어 방법에 있어서, 상기 방법은, 상기 전륜 모터의 외란을 제거하기 위한 제1 외란 관측기를 이용하여 상기 전륜 모터의 동작을 제어하는 단계와, 상기 후륜 모터의 외란을 제거하기 위한 제2 외란 관측기를 이용하여 상기 후륜 모터의 동작을 제어하는 단계를 포함할 수 있다.
상술한 바와 같은 본 발명의 실시예들에 따르면, 상기 모션 제어기는 상기 전륜 엔코더와 상기 후륜 엔코더의 측정 신호들에 기초하여 상기 전륜 모터와 상기 후륜 모터의 동작을 제어하되, 상기 제1 외란 관측기와 상기 제2 외란 관측기를 이용하여 상기 전륜 모터와 상기 후륜 모터의 외란을 제거할 수 있다. 특히, 상기 제1 외란 관측기와 상기 제2 외란 관측기의 보상 주파수 대역을 서로 다르게 설정함으로써 전체 제어 루프를 안정시킬 수 있으며 이를 통해 상기 이송 차량의 진동을 감소시키고 아울러 상기 전방 및 후륜 서보팩들의 고장 발생률을 감소시킬 수 있다.
도 1은 본 발명의 일 실시예에 따른 이송 장치를 설명하기 위한 개략적인 구성도이다.
도 2는 도 1에 도시된 전륜 모터와 후륜 모터의 동작을 제어하기 위한 모션 제어기를 설명하기 위한 블록도이다.
도 3은 도 2에 도시된 모션 제어기를 설명하기 위한 블록도이다.
도 4는 도 3에 도시된 제1 큐 필터와 제2 큐 필터를 설명하기 위한 그래프이다.
이하, 본 발명의 실시예들은 첨부 도면들을 참조하여 상세하게 설명된다. 그러나, 본 발명은 하기에서 설명되는 실시예들에 한정된 바와 같이 구성되어야만 하는 것은 아니며 이와 다른 여러 가지 형태로 구체화될 수 있을 것이다. 하기의 실시예들은 본 발명이 온전히 완성될 수 있도록 하기 위하여 제공된다기보다는 본 발명의 기술 분야에서 숙련된 당업자들에게 본 발명의 범위를 충분히 전달하기 위하여 제공된다.
본 발명의 실시예들에서 하나의 요소가 다른 하나의 요소 상에 배치되는 또는 연결되는 것으로 설명되는 경우 상기 요소는 상기 다른 하나의 요소 상에 직접 배치되거나 연결될 수도 있으며, 다른 요소들이 이들 사이에 개재될 수도 있다. 이와 다르게, 하나의 요소가 다른 하나의 요소 상에 직접 배치되거나 연결되는 것으로 설명되는 경우 그들 사이에는 또 다른 요소가 있을 수 없다. 다양한 요소들, 조성들, 영역들, 층들 및/또는 부분들과 같은 다양한 항목들을 설명하기 위하여 제1, 제2, 제3 등의 용어들이 사용될 수 있으나, 상기 항목들은 이들 용어들에 의하여 한정되지는 않을 것이다.
본 발명의 실시예들에서 사용된 전문 용어는 단지 특정 실시예들을 설명하기 위한 목적으로 사용되는 것이며, 본 발명을 한정하기 위한 것은 아니다. 또한, 달리 한정되지 않는 이상, 기술 및 과학 용어들을 포함하는 모든 용어들은 본 발명의 기술 분야에서 통상적인 지식을 갖는 당업자에게 이해될 수 있는 동일한 의미를 갖는다. 통상적인 사전들에서 한정되는 것들과 같은 상기 용어들은 관련 기술과 본 발명의 설명의 문맥에서 그들의 의미와 일치하는 의미를 갖는 것으로 해석될 것이며, 명확히 한정되지 않는 한 이상적으로 또는 과도하게 외형적인 직감으로 해석되지는 않을 것이다.
본 발명의 실시예들은 본 발명의 이상적인 실시예들의 개략적인 도해들을 참조하여 설명된다. 이에 따라, 상기 도해들의 형상들로부터의 변화들, 예를 들면, 제조 방법들 및/또는 허용 오차들의 변화는 충분히 예상될 수 있는 것들이다. 따라서, 본 발명의 실시예들은 도해로서 설명된 영역들의 특정 형상들에 한정된 바대로 설명되어지는 것은 아니라 형상들에서의 편차를 포함하는 것이며, 도면들에 설명된 요소들은 전적으로 개략적인 것이며 이들의 형상은 요소들의 정확한 형상을 설명하기 위한 것이 아니며 또한 본 발명의 범위를 한정하고자 하는 것도 아니다.
도 1은 본 발명의 일 실시예에 따른 이송 장치를 설명하기 위한 개략적인 구성도이고, 도 2는 도 1에 도시된 전륜 모터와 후륜 모터의 동작을 제어하기 위한 모션 제어기를 설명하기 위한 블록도이다.
도 1을 참조하면, 본 발명의 일 실시예에 따른 이송 장치(100)는 반도체 장치의 제조 공정이 수행되는 클린룸 내에서 자재 이송을 위해 사용될 수 있다. 예를 들면, 상기 이송 장치(100)는 OHT 장치일 수 있으며, 상기 클린룸의 천장 부위에 설치된 이송 레일(102)과 상기 이송 레일(102) 상에서 이동 가능하게 구성되는 이송 차량(104)을 포함할 수 있다.
상기 이송 차량(104)은, 상기 이송 레일(102) 상에서 이동 가능하게 구성되는 전방 이송 모듈(110)과 후방 이송 모듈(120) 및 상기 전방 및 후방 이송 모듈들(110, 120)의 하부에 연결되는 호이스트 모듈(130)을 포함할 수 있다. 상기 전방 이송 모듈(110)은 상기 이송 레일(102) 상에 배치되는 한 쌍의 전륜들(112)과 상기 전륜들(112)을 회전시키기 위한 전륜 모터(114) 및 상기 전륜 모터(114)의 회전수를 측정하기 위한 전륜 엔코더(116)를 포함할 수 있으며, 상기 후방 이송 모듈(120)은 상기 이송 레일(102) 상에 배치되는 한 쌍의 후륜들(122)과 상기 후륜들(122)을 회전시키기 위한 후륜 모터(124) 및 상기 후륜 모터(124)의 회전수를 측정하기 위한 후륜 엔코더(126)를 포함할 수 있다.
상기 호이스트 모듈(130)은 자재, 예를 들면, 반도체 웨이퍼들의 수납을 위한 FOUP과 같은 용기(10)를 파지하기 위한 그리퍼를 구비하는 핸드 유닛(132)과, 승강 벨트를 이용하여 상기 핸드 유닛(132)을 승강시키기 위한 호이스트 유닛(134)과, 상기 호이스트 유닛(134)이 장착되며 상기 용기(10)를 수납하기 위한 공간을 구비하는 호이스트 본체(136)를 포함할 수 있다.
도 2를 참조하면, 상기 이송 장치(100)는 상기 전륜 모터(114)와 상기 후륜 모터(124)의 동작을 제어하기 위한 모션 제어기(140)를 포함할 수 있다. 상기 전륜 엔코더(116)와 상기 후륜 엔코더(126)는 상기 전륜 모터(114)와 상기 후륜 모터(124)에 각각 장착될 수 있으며, 상기 전륜 모터(114)의 회전수와 상기 후륜 모터(124)의 회전수를 각각 측정할 수 있다. 상기 전륜 엔코더(116)와 후륜 엔코더(126)에 의해 측정된 신호들은 상기 모션 제어기(140)로 제공될 수 있으며, 상기 모션 제어기(140)는 상기 신호들에 기초하여 상기 전륜 모터(114)와 상기 후륜 모터(124)를 제어하기 위한 제1 속도 지령과 제2 속도 지령을 제공할 수 있다.
아울러, 상기 이송 장치(100)는 상기 전륜 모터(114)와 상기 후륜 모터(124)를 구동하기 위한 구동 전류를 제공하는 전륜 서보팩(170)과 후륜 서보팩(180)을 포함할 수 있으며, 상기 제1 속도 지령과 상기 제2 속도 지령은 상기 전륜 서보팩(170)과 상기 후륜 서보팩(180)에 각각 제공될 수 있다. 상기 전륜 서보팩(170)과 상기 후륜 서보팩(180)은 상기 제1 속도 지령과 제2 속도 지령에 따라 상기 전륜 모터(114)와 상기 후륜 모터(124)에 각각 구동 전류를 제공할 수 있다.
도 3은 도 2에 도시된 모션 제어기를 설명하기 위한 블록도이고, 도 4는 도 3에 도시된 제1 큐 필터와 제2 큐 필터를 설명하기 위한 그래프이다.
도 3 및 도 4를 참조하면, 상기 모션 제어기(140)는 상기 전륜 모터(114)의 외란을 제거하기 위한 제1 외란 관측기(150)(Disturbance OBserver; DOB)와, 상기 후륜 모터(124)의 외란을 제거하기 위한 제2 외란 관측기(160)를 포함할 수 있다. 상기 제1 외란 관측기(150)는 상기 전륜 모터(114)의 외란을 추정하여 전달 함수로 변환하기 위한 제1 큐 필터(Q-filter; 152)를 포함할 수 있으며, 상기 제2 외란 관측기(160)는 상기 후륜 모터(124)의 외란을 추정하여 전달 함수로 변환하기 위한 제2 큐 필터(162)를 포함할 수 있다.
특히, 본 발명의 일 실시예에 따르면, 상기 제1 큐 필터(152)와 상기 제2 큐 필터(162)는 서로 다른 주파수 대역을 갖는 것이 바람직하다. 일반적으로, 기계 장치에서의 외란의 경우 저주파수 영역이 지배적이고 상기 제1 외란 관측기(150)와 제2 외란 관측기(160)의 보상 주파수 대역 너무 넓은 경우 전체 제어 루프의 게인 마진(gain margin)과 위상 마진(phase margin) 손실이 증가되기 때문에, 상기 제1 큐 필터(152)와 상기 제2 큐 필터(162)의 차단 주파수(cut-off frequency)를 저주파수 영역으로 설계하는 것이 바람직하다. 특히, 상기 제1 외란 관측기(150)와 상기 제2 외란 관측기(160)의 보상 주파수 영역을 서로 다르게 설계함으로써 전륜 제어 루프와 후륜 제어 루프의 게인 마진과 위상 마진 손실을 감소시킬 수 있다.
예를 들면, 상기 제1 큐 필터(152)는 제1 주파수 대역을 가질 수 있으며, 상기 제2 큐 필터(162)는 상기 제1 주파수 대역보다 낮은 제2 주파수 대역을 가질 수 있다. 일 예로서, 도 4에 도시된 바와 같이 상기 제1 큐 필터(152)는 로우 패스 필터(low pass filter)이고, 상기 제2 큐 필터(162)는 상기 제1 큐 필터(152)보다 높은 주파수 대역의 밴드 패스 필터(band pass filter)일 수 있다. 그러나, 상기와 다르게, 상기 제1 큐 필터(152)가 밴드 패스 필터일 수 있고, 상기 제2 큐 필터(162)가 상대적으로 저주파수 대역의 로우 패스 필터일 수도 있다.
한편, 도시되지는 않았으나, 상기 모션 제어기(140)는 OCS(OHT Control System) 장치와 같은 상위 제어기(미도시)와 통신 가능하도록 구성될 수 있으며, 상기 상위 제어기로부터 상기 자재의 이송을 위한 위치 정보와 경로 정보를 수신할 수 있다. 상기 모션 제어기(140)는 상기 제1 및 제2 속도 지령들을 생성하기 위한 신호 생성부(142)를 포함할 수 있으며, 상기 신호 생성부(142)는 상기 위치 정보와 경로 정보 등의 주행에 필요한 정보들과, 상기 전륜 엔코더(116) 및 후륜 엔코더(126)의 측정 신호들에 기초하여 상기 제1 및 제2 속도 지령들을 생성할 수 있다. 이때, 상기 전륜 엔코더(116) 및 후륜 엔코더(126)의 측정 신호들은 상기 신호 생성부(142)뿐만 아니라 상기 제1 외란 관측기(150)와 제2 외란 관측기(160)로도 제공될 수 있다.
상술한 바와 같이 상기 모션 제어기는 상기 전륜 엔코더와 상기 후륜 엔코더의 측정 신호들에 기초하여 상기 전륜 모터와 상기 후륜 모터의 동작을 제어하되, 상기 제1 외란 관측기와 상기 제2 외란 관측기를 이용하여 상기 전륜 모터와 상기 후륜 모터의 외란을 제거할 수 있다. 특히, 상기 제1 외란 관측기와 상기 제2 외란 관측기의 보상 주파수 대역을 서로 다르게 설정함으로써 전체 제어 루프를 안정시킬 수 있으며 이를 통해 상기 이송 차량의 진동을 감소시키고 아울러 상기 전방 및 후륜 서보팩들의 고장 발생률을 감소시킬 수 있다.
상기에서는 본 발명의 바람직한 실시예를 참조하여 설명하였지만, 해당 기술 분야의 숙련된 당업자는 하기의 청구범위에 기재된 본 발명의 사상 및 영역으로부터 벗어나지 않는 범위 내에서 본 발명을 다양하게 수정 및 변경시킬 수 있음을 이해할 수 있을 것이다.
10 : 용기 100 : 이송 장치
102 : 이송 레일 104 : 이송 차량
110 : 전방 이송 모듈 112 : 전륜
114 : 전륜 모터 116 : 전륜 엔코더
120 : 후방 이송 모듈 122 : 후륜
124 : 후륜 모터 126 : 후륜 엔코더
130 : 호이스트 모듈 140 : 모션 제어기
142 : 신호 생성부 150 : 제1 외란 관측기
152 : 제1 큐 필터 160 : 제2 외란 관측기
162 : 제2 큐 필터 170 : 전륜 서보팩
180 : 후륜 서보팩

Claims (9)

  1. 이송 레일 상에 배치되는 전륜들과 상기 전륜들을 회전시키기 위한 전륜 모터 및 상기 전륜 모터의 회전수를 측정하기 위한 전륜 엔코더를 포함하는 전방 이송 모듈;
    상기 이송 레일 상에 배치되는 후륜들과 상기 후륜들을 회전시키기 위한 후륜 모터 및 상기 후륜 모터의 회전수를 측정하기 위한 후륜 엔코더를 포함하는 후방 이송 모듈;
    상기 전방 및 후방 이송 모듈들의 하부에 연결되는 호이스트 모듈; 및
    상기 전륜 모터와 상기 후륜 모터의 동작을 제어하기 위한 모션 제어기를 포함하며,
    상기 모션 제어기는 상기 전륜 모터의 외란을 제거하기 위한 제1 외란 관측기와 상기 후륜 모터의 외란을 제거하기 위한 제2 외란 관측기를 포함하는 것을 특징으로 하는 이송 장치.
  2. 제1항에 있어서, 상기 제1 외란 관측기는 제1 주파수 대역을 갖는 제1 큐 필터를 포함하고,
    상기 제2 외란 관측기는 제2 주파수 대역을 갖는 제2 큐 필터를 포함하는 것을 특징으로 하는 이송 장치.
  3. 제2항에 있어서, 상기 제1 큐 필터는 로우 패스 필터이고, 상기 제2 큐 필터는 밴드 패스 필터인 것을 특징으로 하는 이송 장치.
  4. 제2항에 있어서, 상기 제1 큐 필터는 밴드 패스 필터이고, 상기 제2 큐 필터는 로우 패스 필터인 것을 특징으로 하는 이송 장치.
  5. 제1항에 있어서, 상기 모션 제어기는 상기 전륜 엔코더에 의한 제1 측정 신호와 상기 제1 외란 관측기를 이용하여 상기 전륜 모터의 속도 제어를 위한 제1 속도 지령을 제공하고,
    상기 후륜 엔코더에 의한 제2 측정 신호와 상기 제2 외란 관측기를 이용하여 상기 후륜 모터의 속도 제어를 위한 제2 속도 지령을 제공하는 것을 특징으로 하는 이송 장치.
  6. 이송 레일 상에 배치되는 전륜들과 상기 전륜들을 회전시키기 위한 전륜 모터 및 상기 전륜 모터의 회전수를 측정하기 위한 전륜 엔코더를 포함하는 전방 이송 모듈과, 상기 이송 레일 상에 배치되는 후륜들과 상기 후륜들을 회전시키기 위한 후륜 모터 및 상기 후륜 모터의 회전수를 측정하기 위한 후륜 엔코더를 포함하는 후방 이송 모듈과, 상기 전방 및 후방 이송 모듈들의 하부에 연결되는 호이스트 모듈을 포함하는 이송 장치의 동작 제어 방법에 있어서,
    상기 전륜 모터의 외란을 제거하기 위한 제1 외란 관측기를 이용하여 상기 전륜 모터의 동작을 제어하는 단계; 및
    상기 후륜 모터의 외란을 제거하기 위한 제2 외란 관측기를 이용하여 상기 후륜 모터의 동작을 제어하는 단계를 포함하는 것을 특징으로 하는 이송 장치의 동작 제어 방법.
  7. 제6항에 있어서, 상기 제1 외란 관측기는 제1 주파수 대역을 갖는 제1 큐 필터를 포함하고,
    상기 제2 외란 관측기는 제2 주파수 대역을 갖는 제2 큐 필터를 포함하는 것을 특징으로 하는 이송 장치의 동작 제어 방법.
  8. 제7항에 있어서, 상기 제1 큐 필터는 로우 패스 필터이고, 상기 제2 큐 필터는 밴드 패스 필터인 것을 특징으로 하는 이송 장치의 동작 제어 방법.
  9. 제7항에 있어서, 상기 제1 큐 필터는 밴드 패스 필터이고, 상기 제2 큐 필터는 로우 패스 필터인 것을 특징으로 하는 이송 장치의 동작 제어 방법.
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