CN116529864A - 输送系统 - Google Patents

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Abstract

本发明提供一种输送系统。输送系统(1)具备高架输送车(40)、第一轨道(10)、第二轨道(20)、以及控制高架输送车(40)的动作的控制装置(50)，在第一轨道(10)上行驶的高架输送车(40)以及在第二轨道(20)上行驶的高架输送车(40)的各个能够对相同的移载目的地移载FOUP(200)，控制装置(50)具有控制在第一轨道(10)上行驶的高架输送车(40)的动作的第一控制部(53)、以及控制在第二轨道(20)上行驶的高架输送车(40)的动作的第二控制部(54)，在第一控制部(53)以及第二控制部(54)的一方不能动作的状况下，第一控制部(53)以及第二控制部(54)的另一方能够动作。

Description

输送系统
技术领域
本发明涉及输送系统。
背景技术
作为现有的输送系统，例如公知有专利文献1所记载的系统。专利文献1所记载的输送系统具备设置成装置端口位于一方的侧方且下方的第一轨道；以装置端口位于一方的侧方且下方的方式，沿着第一轨道相对于第一轨道在下方且上下方向上并列设置的第二轨道；以及沿着第一轨道以及第二轨道的各个行驶，并输送被输送物的多个高架输送车。
专利文献1：日本专利6642577号公报
在现有的输送系统中，通过设为在第一轨道以及第二轨道上行驶的高架输送车向相同的移载目的地移载被输送物的结构，实现被输送物的输送效率的提高。在该输送系统中，对于在控制高架输送车的动作的控制装置中产生了某些不良情况的情况没有进行研究。若在控制装置中产生不良情况，则可能无法进行被输送物向移载目的地的移载。
发明内容
本发明的一个方面的目的是提供一种能够避免被输送物向移载目的地的移载停止的输送系统。
本发明的一个方面的输送系统具备：多个高架输送车，其输送被输送物，并且移载被输送物；第一轨道，其供多个高架输送车中的第一高架输送车行驶；第二轨道，其供多个高架输送车中的第二高架输送车行驶，且相对于第一轨道在上下方向或者左右方向上并列配置；以及控制装置，其控制多个高架输送车的动作，第一高架输送车以及第二高架输送车的各个能够对相同的移载目的地移载被输送物，控制装置具有控制第一高架输送车的动作的第一控制部、和控制第二高架输送车的动作的第二控制部，在第一控制部以及第二控制部的一方不能动作的状况下，第一控制部以及第二控制部的另一方能够动作。
在本发明的一个方面的输送系统中，控制装置具有控制第一高架输送车的动作的第一控制部、以及控制第二高架输送车的动作的第二控制部，在第一控制部以及第二控制部的一方不能动作的状况下，第一控制部以及第二控制部的另一方能够动作。由此，在输送系统中，例如即使在第一控制部产生了某些不良情况而使第一高架输送车的动作停止，也能够通过第二控制部使第二高架输送车的动作继续。因此，在输送系统中，能够使被输送物向移载目的地的移载继续。其结果是，在输送系统中，能够避免被输送物向移载目的地的移载停止。
在一实施方式中，也可以具备：保管部，其暂时保管被输送物，第一高架输送车以及第二高架输送车的各个能够对保管部移载被输送物。在该结构中，例如能够执行另一个高架输送车从保管部取得、第一高架输送车以及第二高架输送车的一方的高架输送车载置到保管部的被输送物并向移载目的地载置那样的动作。因此，在输送系统中，能够进一步提高被输送物的输送效率。
在一实施方式中，也可以具备：对第一高架输送车供给电力的第一供电装置、以及对第二高架输送车供给电力的第二供电装置，在第一供电装置以及第二供电装置的一方不能动作的状况下，第一供电装置以及第二供电装置的另一方能够动作。在该结构中，例如即使在第一供电装置产生了某些不良情况而使在第一轨道上行驶的第一高架输送车的动作停止，也能够通过第二供电装置使在第二轨道上行驶的第二高架输送车的动作继续。
在一实施方式中，第一供电装置以及第二供电装置的各个也可以具有多个供电盘，在多个供电盘中的一个供电盘不能动作的状况下，其它供电盘能够动作。在该结构中，在第一供电装置以及第二供电装置中，例如即使在一个供电盘产生了某些不良情况的情况下，也能够从其它供电盘对高架输送车供给电力，所以能够使高架输送车的动作继续。
在一实施方式中，第一控制部也可以具备向第一高架输送车发送输送指令的第一通信装置，第二控制部也可以具备向第二高架输送车发送输送指令的第二通信装置，在第一通信装置以及第二通信装置的一方不能动作的状况下，第一通信装置以及第二通信装置的另一方能够动作。在该结构中，例如即使在第一通信装置产生了某些不良情况而使第一高架输送车的动作停止，也能够通过第二通信装置使第二高架输送车的动作继续。
在一实施方式中，第一通信装置以及第二通信装置的各个也可以具有多个通信部，在多个通信部中的一个通信部不能动作的状况下，其它通信部能够动作。在该结构中，在第一通信装置以及第二通信装置的各个中，例如即使在一个通信部产生了某些不良情况的情况下，也能够从其它通信部向高架输送车发送输送指令，所以能够使高架输送车的动作继续。
在一实施方式中，第一控制部以及第二控制部的各个也可以具有多个控制器，多个控制器的各个能够控制多个通信部的各个。在该结构中，在第一控制部以及第二控制部的各个中，例如即使在一个控制器产生了某些不良情况的情况下，其它控制器也能够控制通信部(能够向通信部输出输送指令)，所以能够使高架输送车的动作继续。
在一实施方式中，也可以包含：沿着多个移载目的地的多个内部区段(intrabay)路径、以及连接多个内部区段路径的互联区段(interbay)路径，第一轨道配置在多个内部区段路径以及互联区段路径，第二轨道配置在多个内部区段路径中的一部分。在该结构中，使输送量多的内部区段路径、不允许系统停机的重要的内部区段冗余化而避免被输送物的移载停止，并且不使这以外的内部区段冗余化。因此，在输送系统中，能够使重要部位冗余化，并且能够抑制轨道的成本。
在一实施方式中，第一轨道以及第二轨道的各个也可以配置在互联区段路径整体。在该结构中，在连接内部区段路径的互联区段路径中能够避免系统停机。
在一实施方式中，第一轨道和第二轨道也可以在上下方向上并列配置。在该结构中，能够实现左右方向上的省空间化。
在一实施方式中，第一轨道和第二轨道也可以在左右方向上并列配置。在该结构中，能够实现上下方向上的省空间化。
在一实施方式中，也可以在比第一轨道靠上方配置有两条第二轨道，两条第二轨道也可以在左右方向上并列配置，两条第二轨道的一方也可以配置为移载目的地位于下方，两条第二轨道的另一方也可以配置为保管部位于下方。在该结构中，在第二轨道上行驶的高架输送车能够同时访问移载目的地以及保管部的各个，所以能够进一步实现输送效率的提高。
根据本发明的一个方面，能够避免被输送物向移载目的地的移载停止。
附图说明
图1是一实施方式的输送系统的俯视图。
图2是输送系统的一部分的主视图。
图3是表示控制装置的结构的图。
图4是其它实施方式的输送系统的一部分的主视图。
图5是其它实施方式的输送系统的俯视图。
图6是图5所示的输送系统的一部分的主视图。
具体实施方式
以下，参照附图详细说明本发明的优选实施方式。此外，在附图的说明中，对相同或者相当构件标注相同的附图标记，省略重复的说明。
如图1所示，输送系统1是用于输送FOUP(被输送物)200的系统。输送系统1具备：第一轨道10、第二轨道20、保管架(保管部)30、高架输送车(第一高架输送车、第二高架输送车)40(参照图2)、控制装置50(参照图3)、第一供电装置60以及第二供电装置70(参照图3)。输送系统1例如设置在具备多个半导体处理装置100的半导体制造工厂。在输送系统1中，通过高架输送车40向半导体处理装置100的装置端口(移载目的地)110移载FOUP200。
第一轨道10是使高架输送车40行驶的部件，悬挂于顶棚。在本实施方式中，输送系统1构成多个系统(区段)。输送系统1包含作为区段内的行驶路的多个内部区段路径、以及作为连接不同的区段间的行驶路的互联区段路径。内部区段路径沿着多个装置端口110而配置。第一轨道10包含配置在多个内部区段路径的内部区段轨道11、以及配置在互联区段路径的互联区段轨道12。内部区段轨道11被设定为使高架输送车40向右旋转单向通行。互联区段轨道12与内部区段轨道11相同，也被设定为使高架输送车40向右旋转单向通行。此外，在第一轨道10中，也可以被设定为使高架输送车40向左旋转单向通行。
第二轨道20是使高架输送车40行驶的部件，悬挂于顶棚。第二轨道20包含配置在多个内部区段路径中的一部分的内部区段轨道21、和配置在互联区段路径的互联区段轨道22。内部区段轨道21被设定为使高架输送车40向右旋转单向通行。互联区段轨道22与内部区段轨道21相同，也被设定为使高架输送车40向右旋转单向通行。此外，在第二轨道20中，也可以被设定为使高架输送车40向左旋转单向通行。
如图2所示，第一轨道10和第二轨道20在上下(铅垂)方向上并列配置。第一轨道10位于第二轨道20的下方。换言之，第二轨道20位于第一轨道10的上方。在图1中，用虚线示出了第一轨道10，用实线示出了第二轨道20。
如图1所示，在输送系统1中，多个装置端口110在内部区段路径的外侧，沿着第一轨道10以及第二轨道20延伸的方向而配置。多个装置端口110设置为位于上下并列设置的第一轨道10以及第二轨道20的一方的侧方且下方。
多个装置端口110在其上载置从高架输送车40移载来的FOUP200，并将FOUP200向半导体处理装置100移载。另外，若由半导体处理装置100处理收纳于FOUP200的半导体晶片，则多个装置端口110从半导体处理装置100移载FOUP200，成为在其上载置了FOUP200的状态。
在保管架30载置有FOUP200。多个保管架30支承FOUP200。保管架30例如从顶棚悬挂。保管架30可以是OHB(Overhead Buffer：置顶缓冲器)。保管架30上的区域能够在其上载置FOUP200。保管架30的该区域是在第一轨道10以及第二轨道20上停止的高架输送车40能够移载FOUP200的临时保管区域。
如图2所示，多个保管架30相对于第一轨道10以及第二轨道20，设置在与设置有多个装置端口110的一方相反的另一方的侧方且下方。即、多个保管架30在从铅垂方向观察时，设置在隔着第一轨道10以及第二轨道20与多个装置端口110对置的侧方。保管架30设置在呈环状的内部区段路径的内侧。
在高架输送车40中例如包含吊顶式起重机、OHT(Overhead Hoist Transfer：空中升降机转移)等。FOUP200是容纳半导体晶片的容器(FOUP：Front Opening Unified Pod：前开式联合吊舱)。
高架输送车40具有把持部41、升降机构42、以及移动机构43。高架输送车40具有能够与控制装置50通信的收发部44。
把持部41是把持以及释放FOUP200的装置。把持部41能够把持FOUP200的凸缘部210。把持部41在高架输送车40从装置端口110以及保管架30取得FOUP200时，把持FOUP200的凸缘部210。把持部41在高架输送车40向装置端口110以及保管架30载置FOUP200时，释放FOUP200的凸缘部210。
升降机构42是使把持部41沿铅垂方向升降的装置。升降机构42能够使把持部41沿铅垂方向升降。升降机构42具有上卷取机构42a、和带42b。上卷取机构42a被移动机构43保持。上卷取机构42a是沿铅垂方向上卷和退卷带42b的装置。上卷取机构42a能够使带42b沿铅垂方向上卷和退卷。带42b从上卷取机构42a垂下，在其下端保持有把持部41。升降机构42能够上卷和退卷使由把持部41把持的FOUP200至少到达装置端口110以及保管架30的距离。
移动机构43是使把持部41以及升降机构42从高架输送车40向两个侧方移动的装置。即、移动机构43能够使把持部41以及升降机构42从高架输送车40向与高架输送车40的行进方向垂直的水平方向移动。移动机构43能够使把持部41以及升降机构42向装置端口110以及保管架30各自的上方移动。在由把持部41把持有FOUP200的情况下，移动机构43能够使该FOUP200向装置端口110以及保管架30的铅垂方向上方移动。
在第一轨道10以及第二轨道20的各个上停止在行驶方向上的相同位置的高架输送车40能够相对于位于该第一轨道10以及第二轨道20的侧方且下方的装置端口110以及保管架30双方移载FOUP200。换言之，高架输送车40能够对相同的装置端口110以及相同的保管架30移载FOUP200。即、在第一轨道10上的高架输送车40以及第二轨道20上的高架输送车40的任一个中，都能够在与装置端口110之间进行FOUP200的交接(移载)。并且，在第一轨道10上的高架输送车40以及第二轨道20上的高架输送车40的任一个中，都能够在与保管架30之间进行FOUP200的交接。
高架输送车40在第一轨道10以及第二轨道20的正下方从把持部41把持了FOUP200的凸缘部210的状态、使移动机构43动作而使FOUP200向装置端口110以及保管架30各自的上方移动。接着，高架输送车40使上卷取机构42a动作而使带42b退卷，使FOUP200下降并载置于装置端口110上或者保管架30上。由此，高架输送车40将FOUP200移载(载置)到装置端口110以及保管架30。
另外，高架输送车40通过把持部41把持载置到装置端口110上或者保管架30上的状态的FOUP200的凸缘部210。接着，高架输送车40使上卷取机构42a动作而提升带42b，使FOUP200上升。接着，高架输送车40使移动机构43动作而使FOUP200向第一轨道10以及第二轨道20的正下方移动。由此，高架输送车40从装置端口110或者保管架30移载(取得)FOUP200。
收发部44配置在高架输送车40的规定位置。在第一轨道10上行驶的高架输送车40的收发部44能够与控制装置50的第一通信部55a或者第二通信部55b(后述)通信。收发部44与第一通信部55a或者第二通信部55b例如经由沿着第一轨道10敷设的馈电线(省略图示)而相互通信。在第二轨道20上行驶的高架输送车40的收发部44能够与第一通信部56a或者第二通信部56b(后述)通信。收发部44与第一通信部56a或者第二通信部56b例如经由沿着第二轨道20敷设的馈电线(省略图示)而相互通信。高架输送车40基于由收发部44接收到的指令来输送FOUP200。
如图3所示，控制装置50具有HOST51、MCS(Material Control System：材料控制系统)52、第一控制部53以及第二控制部54。HOST51、MCS52、第一控制部53以及第二控制部54是由CPU(Central Processing Unit：中央处理器)、ROM(Read Only Memory：只读存储器)以及RAM(Random Access Memory：随机存取存储器)等构成的电子控制单元。在控制装置50中，第一控制部53和第二控制部54相互独立地动作。由此，即使在第一控制部53以及第二控制部54的一方不能动作的情况下，第一控制部53以及第二控制部54的另一方也能够动作。
HOST51是上位控制器。HOST51可以是MES(Manufacturing Execution System：制造执行系统)。HOST51将输送指令、行驶指令(以下，简称为“指令”)向MCS52输出。MCS52若从HOST51取得指令，则以规定的时刻将指令向第一控制部53或者第二控制部54输出。
第一控制部53控制在第一轨道10上行驶的高架输送车40的动作。第一控制部53具有第一主控制器53a、第二主控制器53b、第一控制器53c、第二控制器53d以及第一通信装置55。
第一主控制器53a以及第二主控制器53b是MOHVC(Master Overhead VehicleController：主架空车辆控制器)。第一主控制器53a以及第二主控制器53b将从MCS52接收到的指令向第一控制器53c或者第二控制器53d发送。此外，在以区域为单位设置有第一主控制器53a以及第二主控制器53b的系统的情况下，还具有向适当的第一控制器53c或者第二控制器53d分配指令的作用。第一主控制器53a和第二主控制器53b具有相同的结构。第一主控制器53a以及第二主控制器53b不同时实施控制。第二主控制器53b在第一主控制器53a不能动作的情况下进行动作。此外，第一主控制器53a以及第二主控制器53b也可以通过分担处理多个指令来同时实施控制。
第一控制器53c以及第二控制器53d是OHVC(Overhead Hoist VehicleController：空中升降机车辆控制器)。第一控制器53c以及第二控制器53d将从第一主控制器53a或者第二主控制器53b接收到的指令向第一通信装置55(第一通信部55a、第二通信部55b)输出。第一控制器53c和第二控制器53d具有相同的结构。第一控制器53c以及第二控制器53d不同时实施控制。第二控制器53d在第一控制器53c不能动作的情况下进行动作。此外，第一控制器53c以及第二控制器53d也可以通过分担处理多个指令来同时实施控制。
第一通信装置55具有第一通信部55a、和第二通信部55b。第一通信部55a以及第二通信部55b与在第一轨道10上行驶的高架输送车40进行通信。第一通信部55a以及第二通信部55b向高架输送车40发送指令。第一通信部55a和第二通信部55b具有相同的结构。第一通信部55a以及第二通信部55b不同时动作。第二通信部55b在第一通信部55a不能动作的情况下进行动作。第一控制器53c以及第二控制器53d的各个能够控制第一通信部55a以及第二通信部55b的各个。
第二控制部54控制在第二轨道20上行驶的高架输送车40的动作。第二控制部54具有第一主控制器54a、第二主控制器54b、第一控制器54c、第二控制器54d以及第二通信装置56。
第一主控制器54a以及第二主控制器54b是MOHVC。第一主控制器54a以及第二主控制器54b将从MCS52接收到的指令向第一控制器54c或者第二控制器54d发送。此外，在以区域为单位设置有第一主控制器54a以及第二主控制器54b的系统的情况下，还具有向适当的第一控制器54c或者第二控制器54d分配指令的作用。第一主控制器54a和第二主控制器54b具有相同的结构。第一主控制器54a以及第二主控制器54b不同时实施控制。第二主控制器54b在第一主控制器54a不能动作的情况下进行动作。此外，第一主控制器54a以及第二主控制器54b也可以通过分担处理多个指令来同时实施控制。
第一控制器54c以及第二控制器54d是OHVC。第一控制器54c以及第二控制器54d将从第一主控制器54a或者第二主控制器54b接收到的指令向第二通信装置56(第一通信部56a，第二通信部56b)输出。第一控制器54c和第二控制器54d具有相同的结构。第一控制器54c以及第二控制器54d不同时实施控制。第二控制器54d在第一控制器54c不能动作的情况下进行动作。此外，第一控制器54c以及第二控制器54d也可以通过分担处理多个指令来同时实施控制。
第二通信装置56具有第一通信部56a、和第二通信部56b。第一通信部56a以及第二通信部56b与在第二轨道20上行驶的高架输送车40进行通信。第一通信部56a以及第二通信部56b向高架输送车40发送指令。第一通信部56a和第二通信部56b具有相同的结构。第一通信部56a以及第二通信部56b不同时动作。第二通信部56b在第一通信部56a不能动作的情况下进行动作。第一控制器54c以及第二控制器54d的各个能够控制第一通信部56a以及第二通信部56b的各个。
第一供电装置60向在第一轨道10上行驶的高架输送车40供给电力。第一供电装置60向沿着第一轨道10而设置的多个供电线(省略图示)供给电力。第一供电装置60具有第一供电盘61、和第二供电盘62。第一供电盘61和第二供电盘62能够相互独立地供给电力。第一供电盘61和第二供电盘62具有相同的结构。第一供电盘61以及第二供电盘62不同时动作。第二供电盘62在第一供电盘61不能动作的情况下进行动作。
第二供电装置70向在第二轨道20上行驶的高架输送车40供给电力。第二供电装置70向沿着第二轨道20而设置的多个供电线(省略图示)供给电力。第二供电装置70具有第一供电盘71和第二供电盘72。第一供电盘71和第二供电盘72能够相互独立地供给电力。第一供电盘71和第二供电盘72具有相同的结构。第一供电盘71以及第二供电盘72不同时动作。第二供电盘72在第一供电盘71不能动作的情况下进行动作。
如以上说明的那样，在本实施方式的输送系统1中，在第一轨道10上行驶的高架输送车40以及在第二轨道20上行驶的高架输送车40的各个能够向相同的装置端口110移载FOUP200。因此，在输送系统1中，能够实现FOUP200的输送效率的提高。另外，在输送系统1中，控制装置50具有控制在第一轨道10上行驶的高架输送车40的动作的第一控制部53、以及控制在第二轨道20上行驶的高架输送车40的动作的第二控制部54，在第一控制部53以及第二控制部54的一方不能动作的状况下，第一控制部53以及第二控制部54的另一方能够动作。由此，在输送系统1中，例如即使在第一控制部53中产生某些不良情况而使在第一轨道10上行驶的高架输送车40的动作停止，也能够通过第二控制部54使在第二轨道20上行驶的高架输送车40的动作继续。因此，在输送系统1中，能够继续FOUP200向装置端口110的移载。其结果是，在输送系统1中，能够避免FOUP200向装置端口110的移载停止。
本实施方式的输送系统1具备临时保管FOUP200的保管架30。在第一轨道10上行驶的高架输送车40以及在第二轨道20上行驶的高架输送车40的各个能够相对于保管架30移载FOUP200。在该结构中，例如能够执行另一个高架输送车从保管架30取得第一轨道10的高架输送车40以及第二轨道20的高架输送车40的一方的高架输送车载置到保管架30的FOUP200并向装置端口110载置那样的动作。因此，在输送系统1中，能够进一步提高FOUP200的输送效率。
本实施方式的输送系统1具备向在第一轨道10上行驶的高架输送车40供给电力的第一供电装置60、以及向在第二轨道20上行驶的高架输送车40供给电力的第二供电装置70。在第一供电装置60以及第二供电装置70的一方不能动作的状况下，第一供电装置60以及第二供电装置70的另一方能够动作。在该结构中，例如即使在第一供电装置60产生了某些不良情况而在第一轨道10上行驶的高架输送车40的动作停止，也能够通过第二供电装置70使在第二轨道20上行驶的高架输送车40的动作继续。
在本实施方式的输送系统1中，第一供电装置60具有第一供电盘61以及第二供电盘62，第二供电装置70具有第一供电盘71以及第二供电盘72。在第一供电盘61、71不能动作的状况下，第二供电盘62、72能够动作。在该结构中，在第一供电装置60以及第二供电装置70中，例如即使在第一供电盘61、71中产生了某些不良情况的情况下，也能够从第二供电盘62、72向高架输送车40供给电力，所以能够使高架输送车40的动作继续。
在本实施方式的输送系统1中，第一控制部53具备向在第一轨道10上行驶的高架输送车40发送指令的第一通信装置55。第二控制部54具备向在第二轨道20上行驶的高架输送车40发送指令的第二通信装置56。在第一通信装置55以及第二通信装置56的一方不能动作的状况下，第一通信装置55以及第二通信装置56的另一方能够动作。在该结构中，例如即使第一通信装置55产生了某些不良情况而在第一轨道10上行驶的高架输送车40的动作停止，也能够通过第二通信装置56使在第二轨道20上行驶的高架输送车40的动作继续。
在本实施方式的输送系统1中，第一通信装置55具有第一通信部55a以及第二通信部55b，第二通信装置56具有第一通信部56a以及第二通信部56b。在第一通信部55a、56a不能动作的状况下，第二通信部55b、56b能够动作。在该结构中，在第一通信装置55以及第二通信装置56的各个中，例如即使在第一通信部55a、56a产生了某些不良情况的情况下，也能够从第二通信部55b、56b向高架输送车40发送指令，所以使高架输送车40的动作继续。
在本实施方式的输送系统1中，第一控制部53具有第一控制器53c以及第二控制器53d，第二控制部54具有第一控制器54c以及第二控制器54d。第一控制器53c、54c以及第二控制器53d、54d的各个能够控制第一通信部55a、56a以及第二通信部55b、56b的各个。在该结构中，在第一控制部53以及第二控制部54的各个中，例如即使在第一控制器53c、54c产生了某些不良情况的情况下，第二控制器53d、54d也能够控制第一通信部55a、56a或者第二通信部55b、56b(能够向第一通信部55a、56a或者第二通信部55b、56b输出指令)，所以能够使高架输送车40的动作继续。
本实施方式的输送系统1包含沿着多个装置端口110的多个内部区段路径、和连接多个内部区段路径的互联区段路径。第一轨道10包含配置在多个内部区段路径的内部区段轨道11以及配置在互联区段路径的互联区段轨道12。第二轨道20包含配置在多个内部区段路径中的一部分的内部区段轨道21。在该结构中，使输送量多的内部区段路径、不允许系统停机的重要的内部区段冗余化而避免被输送物的移载停止，并且不使这以外的内部区段冗余化。因此，在输送系统1中，能够使重要部位冗余化，并且能够抑制轨道的成本。
在本实施方式的输送系统1中，第一轨道10以及第二轨道20的各个配置在互联区段路径的整体。在该结构中，在连接内部区段路径的互联区段路径中能够避免系统停机的情况。
在本实施方式的输送系统1中，第一轨道10和第二轨道20在上下方向上并列配置。在该结构中，能够实现左右方向上的省空间化。
以上，虽说明了本发明的实施方式，但本发明未必限定于上述实施方式，在不脱离其宗旨的范围内能够进行各种改变。
在上述实施方式中，虽以输送系统1具备第一轨道10以及第二轨道20的形态为一个例子进行了说明。然而，轨道也可以具备三个以上(第三轨道、第四轨道等)。在该情况下，三个以上的轨道也可以在上下方向上并列配置。
在上述实施方式中，如图1所示，虽以第二轨道20配置在多个内部区段路径中的一部分的内部区段轨道21的形态为一个例子进行了说明。然而，第二轨道20也可以配置全部的内部区段路径。在该结构中，在全部的内部区段路径中，能够避免FOUP200向装置端口110的移载停止。
在上述实施方式中，虽以第一轨道10和第二轨道20在上下方向上配置在相同位置的形态为一个例子进行了说明。然而，第一轨道10和第二轨道20也可以在上下方向上，在左右方向上错开配置。
在上述实施方式中，虽以第一控制部53具有第一主控制器53a、第二主控制器53b、第一控制器53c以及第二控制器53d的形态为一个例子进行了说明。然而，第一控制部53也可以还具备主控制器以及控制器。关于第二控制部54也同样。
在上述实施方式中，虽以第一通信装置55具有第一通信部55a和第二通信部55b的形态为一个例子进行了说明。然而，第一通信装置55也可以还具有通信部。关于第二通信装置56也同样。
在上述实施方式中，虽以第一供电装置60具有第一供电盘61和第二供电盘62的形态为一个例子进行了说明。然而，第一供电装置60也可以还具有供电盘。关于第二供电装置70也同样。
除了上述实施方式之外，如图4所示，在输送系统1A中，两条第二轨道20A、20B也可以在左右方向(水平方向)上并列配置。第二轨道20A配置为装置端口110位于下方。第二轨道20B配置为保管架30位于下方。在该结构中，在第二轨道20A上行驶的高架输送车40向装置端口110移载FOUP200，在第二轨道20B上行驶的高架输送车40向保管架30移载FOUP200。在该结构中，在第二轨道20A、20B上行驶的高架输送车40能够同时访问装置端口110以及保管架30的各个，所以能够进一步实现输送效率的提高。
在上述实施方式中，虽以第一轨道10位于第二轨道20的下方的形态为一个例子进行了说明。然而，如图5以及图6所示，在输送系统1B中，第一轨道10和第二轨道20C也可以在左右方向上并列配置。如图5所示，第二轨道20C呈环状。第二轨道20C包含配置在跨越邻接的两个半导体处理装置100的内部区段路径的内部区段轨道21C。第二轨道20C和第一轨道10经由分支轨道15而连接。由此，高架输送车40能够不经由互联区段路径而从第二轨道20进入第一轨道10(从第一轨道10进入第二轨道20)。在输送系统1B中，能够实现上下方向上的省空间化。
此外，第二轨道20C也可以不经由分支轨道15与第一轨道10、互联区段路径连接。即、第二轨道20C也可以独立地设置。另外，第二轨道20也可以不呈环状。例如，第二轨道20C也可以是沿着半导体处理装置100的排列方向的直线状。在上述结构中，在第二轨道20C上行驶的高架输送车40从处理结束后的半导体处理装置100的装置端口110移载(取得)FOUP200，并向规定位置输送。
在上述实施方式中，虽以被输送物是FOUP200的形态为一个例子进行了说明。然而，被输送物例如也可以是容纳玻璃基板的容器、标线片、FOSB、SMIFPod、一般部件等。
在上述实施方式中，虽以输送系统1被设置在半导体制造工厂的形态为一个例子进行了说明。然而，输送系统并不限于半导体制造工厂，也能够应用于其它的施设。
附图文字的说明
1、1A、1B…输送系统，10…第一轨道，20、20A、20B、20C…第二轨道，30…保管架(保管部)，40…高架输送车(第一高架输送车、第二高架输送车)，50…控制装置，53…第一控制部，54…第二控制部，55…第一通信装置，55a…第一通信部，55b…第二通信部，56…第二通信装置，56a…第一通信部，56b…第二通信部，60…第一供电装置，61…第一供电盘，62…第二供电盘，70…第二供电装置，71…第一供电盘，72…第二供电盘，110…装置端口(移载目的地)，200…FOUP(被输送物)。

Claims (12)

1.一种输送系统，其中，所述输送系统具备：
多个高架输送车，其输送被输送物，并且移载上述被输送物；
第一轨道，其供多个上述高架输送车中的第一高架输送车行驶；
第二轨道，其供多个上述高架输送车中的第二高架输送车行驶，且相对于上述第一轨道在上下方向或者左右方向上并列配置；以及
控制装置，其控制多个上述高架输送车的动作，
上述第一高架输送车以及上述第二高架输送车的各个能够对相同的移载目的地移载上述被输送物，
上述控制装置具有控制上述第一高架输送车的动作的第一控制部、和控制上述第二高架输送车的动作的第二控制部，
在上述第一控制部以及上述第二控制部的一方不能动作的状况下，上述第一控制部以及上述第二控制部的另一方能够动作。
2.根据权利要求1所述的输送系统，其中，具备暂时保管上述被输送物的保管部，
上述第一高架输送车以及上述第二高架输送车的各个能够对上述保管部移载上述被输送物。
3.根据权利要求1或2所述的输送系统，其中，具备：
对上述第一高架输送车供给电力的第一供电装置、以及对上述第二高架输送车供给电力的第二供电装置，
在上述第一供电装置以及上述第二供电装置的一方不能动作的状况下，上述第一供电装置以及上述第二供电装置的另一方能够动作。
4.根据权利要求3所述的输送系统，其中，
上述第一供电装置以及上述第二供电装置的各个具有多个供电盘，
在多个上述供电盘中的一个上述供电盘不能动作的状况下，其它上述供电盘能够动作。
5.根据权利要求1～4中任一项所述的输送系统，其中，
上述第一控制部具备向上述第一高架输送车发送输送指令的第一通信装置，
上述第二控制部具备向上述第二高架输送车发送输送指令的第二通信装置，
在上述第一通信装置以及上述第二通信装置的一方不能动作的状况下，上述第一通信装置以及上述第二通信装置的另一方能够动作。
6.根据权利要求5所述的输送系统，其中，
上述第一通信装置以及上述第二通信装置的各个具有多个通信部，
在多个上述通信部中的一个上述通信部不能动作的状况下，其它上述通信部能够动作。
7.根据权利要求6所述的输送系统，其中，
上述第一控制部以及上述第二控制部的各个具有多个控制器，
多个上述控制器的各个能够控制多个上述通信部的各个。
8.根据权利要求1～7中任一项所述的输送系统，其包含：
沿着多个上述移载目的地的多个内部区段路径、以及连接多个上述内部区段路径的互联区段路径，
上述第一轨道配置在上述多个上述内部区段路径以及上述互联区段路径，
上述第二轨道配置在上述多个上述内部区段路径中的一部分。
9.根据权利要求8所述的输送系统，其中，
上述第一轨道以及上述第二轨道的各个配置在上述互联区段路径整体。
10.根据权利要求1～9中任一项所述的输送系统，其中，
上述第一轨道和上述第二轨道在上下方向上并列配置。
11.根据权利要求1～9中任一项所述的输送系统，其中，
上述第一轨道和上述第二轨道在左右方向上并列配置。
12.根据权利要求2所述的输送系统，其中，
在比上述第一轨道靠上方配置有两条上述第二轨道，
两条上述第二轨道在左右方向上并列配置，
两条上述第二轨道的一方配置为上述移载目的地位于下方，
两条上述第二轨道的另一方配置为上述保管部位于下方。
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