JP2007150063A - 搬送システム - Google Patents
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Abstract
【課題】マッピング装置を備えて小型で低コストの搬送システムを提供すること。
【解決手段】マッピングセンサ4をウエハ7の積載方向に移動させるマッピング装置5を備え、搬送ロボットによるウエハ7の搬出と搬入に対するティーチングデータの補正が与えられるようにした搬送システムにおいて、マッピング装置5の制御系をマッピング制御部100に纏めたもの、
【選択図】図1
【解決手段】マッピングセンサ4をウエハ7の積載方向に移動させるマッピング装置5を備え、搬送ロボットによるウエハ7の搬出と搬入に対するティーチングデータの補正が与えられるようにした搬送システムにおいて、マッピング装置5の制御系をマッピング制御部100に纏めたもの、
【選択図】図1
Description
この発明は、薄板状部材の搬送システムに関するものである。
例えば半導体ウェハや液晶基板などの薄板状部材を対象とした製造ラインでは、半導体ウェハや液晶基板などの加工対象物を搬送台車のラックに搭載し、製造ライン内にある各加工部に移送し、加工後に当該加工部から後の工程に移送するという搬送システムが採用される場合がある。
このような搬送システムの場合、搬送台車は各加工部の近傍に順次移動して加工対象物の加工が終わるのを待ち、次の加工部の近傍に移動してゆくようになっている。
そこで、各加工部に加工対象物移送用の搬送ロボットを設け、搬送台車が停止されたら、そのラックのスロットに収容されている加工対象物を、搬送ロボットが1単位づつスロットから取り出して加工位置に移し、加工後、ラックに戻すようにしている。
ところで、このときの搬送ロボットには、いわゆるティーチングプレイバック方式のロボットを使用するのが一般的であり(例えば、特許文献1参照。)、この場合、搬送台車のラックに搭載されている加工対象物の位置が問題になり、予め定められている許容範囲内に加工対象物が位置してないと、ロボットのハンドによる把持動作に支障が生じてしまう。
そこで、このような搬送システムの従来技術の一例について説明すると、この例では、まず、図3に示す床面1の上に、図示してないが、製造ラインの中で各製造工程を受け持っている加工部がそれぞれ配置され、それら各々の加工部に隣接して搬送ロボット10がそれぞれ設置してある。
このとき、加工対象物であるウエハ7は、図示のように、ラック8の中に収容されている。このとき複数枚のウェハ7は、1枚ずつラック8のスロットに収容されている。そして、このラック8は搬送台車9に載置され、これにより床面1の上を任意に移動し、各加工部の間を搬送される。
そこで、各製造工程による加工に際しては、搬送台車9が各々の搬送ロボット10の近傍に移動してきて、ウエハ7が搬送ロボット10のハンド12により適切な取り扱いを得るのに必要な所定の位置に停止し、ここで搬送ロボット10による操作の対象になるようにしてある。
そして、各製造工程では、搬送ロボット10を動作させ、アーム11を前後方向(X軸とY軸)と上下方向(Z軸)に動かし、ハンド12により搬出作業と搬入作業を行ない、ラック8に収容されているウェハ7を加工部に移し、加工を終わったら加工部からラック8に戻し、次の作業工程に搬送される。
このため、搬送ロボット10には、図示してないが、X軸とY軸の駆動機構及びZ軸駆動用ボールねじ13とZ軸駆動用の電動機14を備えている。そして、各加工部の近傍には、更にマッピング装置5が床面1に設けられていて、このマッピング装置5は、搬送台車9に備えられているラック8に搭載されているウエハ7の状態を検出する働きをするもので、搬送台車9は、このマッピング装置5の近傍に停止されるようになっている。
このため、マッピング装置5には、電動機2と、この電動機2により回転駆動されるボールねじ3と、このボールねじ3により上下に直線移動されるマッピングセンサ4が備えられている。ここで、これらボールねじ3と電動機2に代えてリニアモータが用いられる場合があり、このときはリニアセンサも必要になる。
そして、このマッピング装置5は、ボールねじ3により、マッピングセンサ4をウェハ7の積み厚方向に直線移動させ、これによりラック8の中にあるウェハ7をマッピングセンサ4で検出し、これによりラック8の中にあるウェハ7の存在状態と厚さを知ることができる。
このため、マッピングセンサ4には、例えば発光部と受光部を向い合せに所定の距離離して配置した光透過形の物体検出器が用いられ、間にウエハ7が入ったら、このときの位置にウエハ7が存在していることが検出でき、このときウエハ7の厚さも検出するようになっている。なお、反射光検出形の物体検出器を用いる場合もある。
次に、図2は、図3のマッピング装置5の制御系を示したもので、この例では、制御系は電動機駆動部15と制御演算部19に大別されている。そこで、まず、電動機駆動部15について説明すると、これはマッピング装置5の電動機2を制御するもので、このため、図示のように、位置制御演算装置16と電力変換装置17を備えている。
そして、位置制御演算装置16は、位置指令、運転・停止指令発生装置6から入力された位置指令と運転停止指令に応じてマッピングセンサ4の移動量と移動速度を演算し、電力変換装置17は、入力されたマッピングセンサ4の移動量と移動速度に応じて電動機2を駆動するのに必要な電力を発生する。
このとき、マッピング装置5の電動機2は、図示していない動力伝達機構を介してボールねじ3を駆動するようになっている。そこで、この電動機2の回転軸にエンコーダ18を設けることによりボールねじ3の回転角度が検出できるようにし、これによりマッピングセンサ4の位置(上下方向の位置)が検出できるようにしてある。
従って、このマッピング装置5は、搬送台車9が搬送ロボット10の近傍に停止したとき、加工対象物であるウエハ7の位置を、当該加工対象物がラック8に搭載されたままの状態で検出する働きをすることになる。
そこで、この搬送システムでは、搬送台車9がマッピング装置5の近傍に移動してきて停止したとき、このことを図示してない検知手段によって検出し、指令発生装置6から電動機駆動部15に位置指令が入力され、電動機2によりマッピングセンサ4を移動させ、各スロット毎のウエハ7の検出が開始されるようになっている。
より具体的に説明すると、マッピング装置5では、マッピングセンサ4の初期位置として、ボールねじ3によるマッピングセンサ4の移動範囲(ストローク)の一方の位置、例えば上端(下端でも良い)に設定しておき、この初期位置からマッピングセンサ4を移動させてゆき、次々とウエハ7が検出されるようにするのである。
このときマッピングセンサ4の位置は、エンコーダ18により常時検出されている。そこで、このときのマッピングセンサ4の位置がエンコーダ18から現在位置として取り出され、位置制御演算装置16の位置指令にフィードバックされ、電動機2による位置制御が正しく行えるようにすると共に、現在位置出力インターフェース19を介して出力され、制御演算部20に供給されることになる。
このため制御演算部20には現在位置取込インターフェース21が備えられていて、上記したように電動機駆動部15から供給された現在位置を取込み、現在位置記憶メモリ22に格納する。このとき、この制御演算部20には、現在位置記憶メモリ22の外にも、更に演算処理部(CPU)を備えている演算プログラム格納メモリ23とユーザ設定位置記憶メモリ24、演算結果出力インターフェース25、プログラム入力インターフェース26、それにユーザ設定位置入力インターフェース27を備えている。
そして、まず、ユーザ設定位置記憶メモリ24は、ユーザ設定位置入力インターフェイス27を介してユーザから設定されたデータを格納する働きをし、格納されたデータは演算プログラム格納メモリ23に供給される。
このとき演算プログラム格納メモリ23は、プログラム入力インターフェース26を介して外部から演算プログラムを取り込み、現在位置記憶メモリ22から入力した現在位置データと比較し、演算結果を、演算結果出力インターフェース25を介して出力し、搬送ロボット10を制御しているロボット制御部に供給する。
そこで、ロボット制御部は、この演算プログラム格納メモリ23から供給された演算結果に応じて、予めティーチングされている搬送ロボット10の移動目標位置を補正する。
これにより、搬送ロボット10は、搬送台車9のラック8に収容されているウエハ7の実際の位置に応じてハンド11を高精度に制御することができ、目標とするウェハ3の搬出と搬入が支障無く行えることになる。
特開2000−127069号公報
従来技術は、マッピング装置に対する指令位置と当該マッピング装置から出力される現在位置の間に存在する遅れについて配慮がされておらず、高度な位置制御にはエンコーダの現在位置出力を直接取り込んだり、電動機の制御系とは別の装置を用いて補正計算等を行う必要がある。
図2の例では、電動機2がある位置に到達したら、その位置を検出し、予めユーザが設定した位置と比較して、お互いの位置のマッチとアンマッチを検出するようになっているが、この方法では、1台の電動機に対してエンコーダの現在位置出力を直接取り込む装置とユーザ設定の位置とを比較演算する装置をそれぞれ1台づつ必要とし、システムが高価になるなどの問題がある。
換言すれば、図2に示した従来技術では、システムの大規模化とシステム構築の複雑さ、それにシステムの高価格化などに問題がある。
本発明の目的は、マッピング装置を備えて小型で低コストの搬送システムを提供することにある。
上記目的は、薄板状の加工対象物を搬送台車のラックに搭載し、製造ライン内にある各加工部に移送して搬送ロボットにより搬出と搬入を行い、加工後に当該加工部から後の工程に移送する方式の搬送システムであって、前記搬送台車が前記各加工部の搬送ロボットの近傍に停止したとき、前記加工対象物の位置を、当該加工対象物が前記ラックに搭載されたままの状態で検出するマッピング手段を備え、前記搬送ロボットによる搬出動作と搬入動作のための当該搬送ロボットの制御データが、前記マッピング手段の検出結果に基づいて補正されるようにした搬送システムにおいて、前記マッピング手段がマッピング制御手段を備え、前記マッピング手段の電動機の駆動部と、この電動機の駆動部を制御する演算制御部が、前記マッピング制御手段に一体に構成されているようにして達成される。
このとき、前記マッピング制御手段が、演算プログラム格納メモリ部と、この演算プログラム格納メモリ部にプログラムを格納するためのプログラム入力インターフェース部とを備えていることによっても上記目的が達成でき、前記マッピング制御手段が、演算プログラム格納メモリ部と、この演算プログラム格納メモリ部にユーザ設定位置を格納するためのユーザ設定位置入力インターフェース部とを備えていることによっても上記目的が達成できる。
本発明によれば、従来技術では電動機駆動部とは別装置であった演算部が電動機駆動部として1つの装置になるので、システムの低価格と小型化、それにシステム構成の簡易化が得られることになる。
また、電動機駆動部への位置指令・運転・停止指令を内部のプログラムに持たせたことにより、それらを発生させる上位装置も不要になり、更に低価格化を得ることができる。
以下、本発明に係る搬送システムについて、図示の実施の形態により詳細に説明すると、ここで、図1が本発明の一実施の形態で、これも、図3に示すように、搬送台車9に搭載したラック8の中に格納されているウエハ7を加工対象物とし、これに電動機2と、この電動機2により回転駆動されるボールねじ3と、このボールねじ3により上下に直線移動されるマッピングセンサ4が備えられているマッピング装置5を適用したものである。
このとき、図1の符号100はマッピング制御部で、このマッピング制御部100によりマッピング装置5を制御し、これによりラック8の中にあるウエハ7について、“ウエハ有り”と“ウエハ無し”、“ウエハ斜め”、“ウエハ重なり”を判定し、その結果を搬送ロボット10の制御に反映させ、目標とするウェハ3の搬出と搬入が支障無く行えるようになっている。
なお、このときも、マッピング装置5のボールねじ3と電動機2に代えてリニアモータが用いられる場合があり、このときはリニアセンサも必要になるのは図2で説明した従来技術の場合と同じである。
そして、このマッピング制御部100にも、図2で説明した従来技術の場合と同じく、まず、位置制御演算装置16と電力変換装置17を備えていて、これによりマッピング装置5の電動機2を制御するようになっている。
次に、このマッピング制御部100には、現在位置記憶メモリ22と演算処理部(CPU)を含む演算プログラム格納メモリ23、ユーザ設定位置記憶メモリ24、演算結果出力インターフェース25、プログラム入力インターフェース26、それにユーザ設定位置入力インターフェース27を備えているが、これも図2の従来技術の場合と同じである。
このとき、この図1の実施形態では、従来技術における現在位置出力インターフェース19と現在位置取込インターフェース21が除かれ、これらに代えてスイッチ28が設けられている。そして、このスイッチ28は、マッピングセンサ4によりラック8の各スロット毎のウエハ7が検出されたタイミングで閉じられ、エンコーダ18から、この時点でのマッピングセンサ4の位置が現在位置記憶メモリ22に取り込まれ、ウエハ7の搭載状態を表わすデータとして記憶されるようにする。
より具体的に説明すると、マッピング装置5では、マッピングセンサ4の初期位置として、ボールねじ3によるマッピングセンサ4の移動範囲(ストローク)の一方の位置、例えば上端(下端でも良い)に設定しておき、この初期位置からマッピングセンサ4を移動させてゆき、各スロット毎のウエハ7が検出されるようにするのである。
ここで、この実施形態に係るマッピング制御部100においても、それに備えられている現在位置記憶メモリ22と演算プログラム格納メモリ23、ユーザ設定位置記憶メモリ24、演算結果出力インターフェース25、プログラム入力インターフェース26、それにユーザ設定位置入力インターフェース27による動作は、図2の従来技術の場合と同じであるが、念のため以下に説明する。
まず、ユーザ設定位置記憶メモリ24は、ユーザ設定位置入力インターフェイス27を介してユーザから設定されたデータを格納する働きをし、格納されたデータは演算プログラム格納メモリ23に供給される。このとき演算プログラム格納メモリ23は、プログラム入力インターフェース26を介して外部から演算プログラムを取り込み、現在位置記憶メモリ22から取り出した現在位置データと比較演算する。
そして、この演算結果を、演算結果出力インターフェース25を介してロボット制御部(図示してない)に供給し、予め搬送ロボット10にティーチングされている移動目標位置が、演算結果に応じて補正されるようにする。この結果、搬送ロボット10は、搬送台車9のラック8に収容されているウエハ7の実際の位置に応じてハンド11を高精度に制御することができ、目標とするウェハ3の搬出と搬入が支障無く行えることになる。
次に、この図1の実施形態において、マッピングセンサ4によるウエハ7の検出動作について説明すると、この場合、まずマッピングセンサ4をラック8の上から下、又は下から上に移動させる。そうすると、マッピングセンサ4とウエハ7が同じ高さにあるときにはマッピングセンサ4の信号はオン(ON)になり、ウエハ7が無いときにはオフ(OFF)になる。
このときウエハ7にはある程度の厚みがあるので、マッピングセンサ4がウエハ7の位置を通過するとき、ウエハ7があれば、マッピングセンサ4から出力される信号はオフ→オン→オフと変化し、このときスイッチ28は、センサ信号がオンからオフに変化する時点と、オフからオンに変化する時点でエンコーダ18から現在位置を現在位置記憶メモリ22に転送する。
ここで、ユーザは、ユーザ設定位置入力インターフェース17を介して、ラック8上のウエハ7が正常に収容されている状態のときの位置情報を予めユーザ設定位置記憶メモリ24に入力しておき、演算プログラム格納メモリ23にはプログラム入力インターフェース26を介して、予め所定のプログラムを格納しておく。
そこで、演算プログラム格納メモリ23は、上記した所定のプログラムを実行し、マッピングセンサ4がラック8のウエハ7のセンシングを終了した時点で、ユーザ設定位置記憶メモリ24の位置情報と現在位置記憶メモリ22の位置情報を比較してやれば、ウエハ7について“ウエハ有り”と“ウエハ無し”が判定できる。
例えば、いま、ウエハ7の厚さが1mmのとき、ウエハ7の高さ方向の位置情報として、上面では101、下面では100であるとユーザが設定したとすると、この場合、マッピングセンサ4で検出した位置情報が101、100になったら“ウエハ有り”となり、当該ウエハ7がラック8の該当するスロットに正しく収容されていることが確認される。
更にセンサで検出した位置情報が0、0になったら“ウエハ無し”で、センサで検出した位置情報が102、100のときは“ウエハ2枚重なり”などの判定結果を得ることができる。
また、演算プログラム格納メモリ23に格納されるプログラムに、マッピングセンサ4(ボールネジ3)を駆動させるための位置指令を発生させるプログラムと、運転開始と運転停止指令及びセンサ移動速度指令と、それらの指令入力先を切り替えるプログラムとを組み込み、それらの指令が位置制御演算装置16に入力されるようにすることで、上位位置指令生成装置がなくても、自立的に動作するマッピング装置とすることが可能である。
ここで、本発明の実施形態である図1と、従来技術である図2を比較してみると、図1の実施形態の場合、全体がマッピング装置100としてまとめられているので、このマッピング装置100で本来使用するメモリの1部を使用することにより、各部で必要とするメモリを共有化することができる。
また、この図1の実施形態の場合は、図2の従来技術で必要としていた現在位置出力インターフェイス19と、現在位置取込インターフェイス21が不要である。更に図2の従来技術における制御演算部20が電動機駆動部15に取り込まれることで、システム全体がシンプルにでき、小型化が可能になる。しかも、制御演算部20自体の配線も必要なくなる。
従って、この実施形態によれば、本発明の課題であるシステムの小型化、システムの簡易化、システムの低コスト化などが達成され、小型でローコストの搬送システムを得ることができる。
1:床面(移動しない平面)
2:電動機(マッピング装置の電動機)
3:ボールねじ(回転−直線変換機構)
4:マッピングセンサ
5:マッピング装置
6:位置指令・運転・停止指令発生装置
7:ウェハ(加工対象物)
8:ラック
9:搬送台車
10:搬送ロボット
11:アーム
12:ハンド
13:ボールねじ(搬送ロボットのZ軸駆動用のボールねじ)
14:電動機(搬送ロボットのZ軸駆動用の電動機)
15:電動機駆動部
16:位置制御演算装置
17:電力変換装置
18:エンコーダ
19:現在位置出力インターフェース
20:制御演算部
21:現在位置取込インターフェース
22:現在位置記憶メモリ
23:演算プログラム格納メモリ(CPUを含む)
24:ユーザ設定位置記憶メモリ
25:演算結果出力インターフェイス
26:プログラム入力インターフェイス
27:ユーザ設定位置入力インターフェイス
26:システム状態入力インターフェイス
27:演算プログラム格納メモリ
28:スイッチ
2:電動機(マッピング装置の電動機)
3:ボールねじ(回転−直線変換機構)
4:マッピングセンサ
5:マッピング装置
6:位置指令・運転・停止指令発生装置
7:ウェハ(加工対象物)
8:ラック
9:搬送台車
10:搬送ロボット
11:アーム
12:ハンド
13:ボールねじ(搬送ロボットのZ軸駆動用のボールねじ)
14:電動機(搬送ロボットのZ軸駆動用の電動機)
15:電動機駆動部
16:位置制御演算装置
17:電力変換装置
18:エンコーダ
19:現在位置出力インターフェース
20:制御演算部
21:現在位置取込インターフェース
22:現在位置記憶メモリ
23:演算プログラム格納メモリ(CPUを含む)
24:ユーザ設定位置記憶メモリ
25:演算結果出力インターフェイス
26:プログラム入力インターフェイス
27:ユーザ設定位置入力インターフェイス
26:システム状態入力インターフェイス
27:演算プログラム格納メモリ
28:スイッチ
Claims (4)
- 薄板状の加工対象物を搬送台車のラックに搭載し、製造ライン内にある各加工部に移送して搬送ロボットにより搬出と搬入を行い、加工後に当該加工部から後の工程に移送する方式の搬送システムであって、
前記搬送台車が前記各加工部の搬送ロボットの近傍に停止したとき、前記加工対象物の位置を、当該加工対象物が前記ラックに搭載されたままの状態で検出するマッピング手段を備え、前記搬送ロボットによる搬出動作と搬入動作のための当該搬送ロボットの制御データが、前記マッピング手段の検出結果に基づいて補正されるようにした搬送システムにおいて、
前記マッピング手段がマッピング制御手段を備え、前記マッピング手段の電動機の駆動部と、この電動機の駆動部を制御する演算制御部が、前記マッピング制御手段に一体に構成されていることを特徴とする搬送システム。 - 請求項1に記載の搬送システムにおいて、
前記マッピング制御手段が、演算プログラム格納メモリ部と、この演算プログラム格納メモリ部にプログラムを格納するためのプログラム入力インターフェース部とを備えていることを特徴とする搬送システム。 - 請求項1に記載の搬送システムにおいて、
前記マッピング制御手段が、演算プログラム格納メモリ部と、この演算プログラム格納メモリ部にユーザ設定位置を格納するためのユーザ設定位置入力インターフェース部とを備えていることを特徴とする搬送システム。 - 請求項1に記載の搬送システムにおいて、
前記加工対象物が半導体ウエハであることを特徴とする搬送システム。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2005343896A JP2007150063A (ja) | 2005-11-29 | 2005-11-29 | 搬送システム |
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Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
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JP2005343896A JP2007150063A (ja) | 2005-11-29 | 2005-11-29 | 搬送システム |
Publications (1)
Publication Number | Publication Date |
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Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
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Country Status (1)
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Cited By (3)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
KR20140104912A (ko) * | 2013-02-20 | 2014-08-29 | 도쿄엘렉트론가부시키가이샤 | 기판 반송 장치, 기판 처리 장치 및 기판 수용 방법 |
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-
2005
- 2005-11-29 JP JP2005343896A patent/JP2007150063A/ja active Pending
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Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
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