JP4409552B2 - ロール自動供給装置 - Google Patents

ロール自動供給装置 Download PDF

Info

Publication number
JP4409552B2
JP4409552B2 JP2006244599A JP2006244599A JP4409552B2 JP 4409552 B2 JP4409552 B2 JP 4409552B2 JP 2006244599 A JP2006244599 A JP 2006244599A JP 2006244599 A JP2006244599 A JP 2006244599A JP 4409552 B2 JP4409552 B2 JP 4409552B2
Authority
JP
Japan
Prior art keywords
roll
laser light
roll body
arms
core
Prior art date
Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
Active
Application number
JP2006244599A
Other languages
English (en)
Other versions
JP2008063117A (ja
Inventor
圭三 川崎
浩 中田
Current Assignee (The listed assignees may be inaccurate. Google has not performed a legal analysis and makes no representation or warranty as to the accuracy of the list.)
Sumitomo Heavy Industries Ltd
Original Assignee
Sumitomo Heavy Industries Ltd
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by Sumitomo Heavy Industries Ltd filed Critical Sumitomo Heavy Industries Ltd
Priority to JP2006244599A priority Critical patent/JP4409552B2/ja
Priority to TW96144156A priority patent/TWI419826B/zh
Publication of JP2008063117A publication Critical patent/JP2008063117A/ja
Application granted granted Critical
Publication of JP4409552B2 publication Critical patent/JP4409552B2/ja
Active legal-status Critical Current
Anticipated expiration legal-status Critical

Links

Images

Landscapes

  • Length Measuring Devices By Optical Means (AREA)
  • Replacement Of Web Rolls (AREA)
  • Winding, Rewinding, Material Storage Devices (AREA)
  • Tyre Moulding (AREA)
  • Control Of Position, Course, Altitude, Or Attitude Of Moving Bodies (AREA)

Description

本発明は、フィルム用コータ機やラミネータ機等の生産機に原反ロールを自動供給する装置に関する。
フィルム用コータ機やラミネータ機等の生産機(以下、生産機と呼ぶ)へ原反ロールを供給する場合、無人走行式の台車が使用されている。台車は原反ロールの保管場所から原反ロールを受け取り、軌道あるいは無軌道の搬送路を走行して生産機のチャッキング装置に移載する。移載に際しては、原反ロールのコア(芯)を生産機のチャッキング装置に精度良く位置決めする必要がある。
位置決め方式の一例として、レールやLMガイドなどの軌道によって台車を案内、位置決めする方式(特許文献1参照)が提供されている。
一方、位置決め方式の他の例として、AGV(Automated Guided Vehicle)、つまり無軌道の台車を使用する方式も提供されている。この場合の位置決めは、原反ロールの移載場所となる床のあらかじめ決められた位置に設置された通常3個の円錐状コーンを用いて行われる。つまり、AGV側には上記3個の円錐状コーンと対称となる箇所にそれぞれ、円錐状コーンに嵌り合う昇降式の受け部が設けられている。AGVは3個の円錐状コーンと3個の受け部とがほぼ嵌り合う位置で停止する走行制御機能を有しており、この位置で受け部を下降させて円錐状コーンに嵌め込むことで精度の良い位置決めが行われる。
しかしながら、いずれの方式も床にレールやLMガイド、円錐状のコーンなどの設置が必要であり、フラットな床を所望する顧客からは敬遠されている。
特開2002−66631号公報
本発明の課題は、AGVで原反ロール等のロール体を生産機に自動供給するために、床に何らかの手段を設置することなく、ロール体のコア中心を生産機の所定部位、例えばチャッキング装置に精度良く位置決めできるようにすることにある。
本発明は、中心に中空のコアを持つロール体をAGVに搭載して搬送し、前記ロール体が移載される側の所定部位に前記コア中心を位置決めした状態にて前記ロール体を移載するロール自動供給装置であり、前記AGVは、前記ロール体を搭載している搭載部を上下方向に駆動する上下方向駆動機構と水平方向に駆動する水平方向駆動機構とを備え、前記所定部位の近傍に設置されたレーザ光源と、前記AGVに設置され、前記レーザ光源からのレーザ光を受光する受光面を有して該受光面上でのレーザ光の受光位置を検出する検出手段と、検出された受光位置の基準位置からのずれ量を算出し、算出されたずれ量を無くすように前記上下方向駆動機構と前記水平方向駆動機構を制御する位置決め制御回路とを備えたことを特徴とする。
本発明によるロール自動供給装置は、好ましくは、前記ロール体のコアは該ロール体の両端から突出した突出部を有し、前記搭載部は、前記ロール体の両側の前記突出部を受けるための受け部を持つ2本のアームで構成され、前記2本のアームのそれぞれに前記上下方向駆動機構と前記水平方向駆動機構とが備えられると共に前記位置決め制御回路も前記2本のアームに対応して個別に備えられ、前記所定部位として前記ロール体の両側の前記突出部に対応し得る2箇所が設定されてそれぞれの近傍に前記レーザ光源が設置されると共に、前記2本のアームの前記受け部に近い箇所にそれぞれ前記検出手段が設置され、前記2本のアームが独立して上下方向及び水平方向に駆動される。
なお、前記検出手段としては、PSD、あるいは前記レーザ光を受光するためのスクリーンと、該スクリーン上でのレーザ光の受光位置を検出するためのITVカメラとの組合せを用いることが好ましい。
本発明によるロール自動供給装置は、床にレールやLMガイドあるいは円錐状コーンなどを設置することなく、ロール体のコア中心を、移載される側の所定部位に精度良く位置決めすることができる。
本発明によるロール自動供給装置はまた、ロール体の移載位置における床面の凹凸や微小な傾斜、AGVにおける走行用のタイヤの磨耗や、タイヤ内部の空気圧変動、ロール体の重量変化によるロール体の高さ位置変動の影響を受けることなく、ロール体のコア中心を、移載される側の所定部位に精度良く位置決めすることができる。
本発明の実施形態について説明する前に、図4、図5を参照して、AGVにより原反ロールを生産機のチャッキング装置に移載する場合の位置決めの困難性について説明する。
図4はAGV100が原反ロール200を搭載して生産機における所定部位、つまり一対のチャッキング装置300の近くまで走行してきた様子を示し、図5は原反ロール200の一端側を示す。
原反ロール200はその中心に中空のコア(芯)210を有し、コア210はロールの両端から少し突出した突出部を持つ。AGV100は搭載部として2本のアーム110を有し、それぞれの先端にコア210の両側の突出部を受けるための受け部を有してこれらの受け部に載せた状態で原反ロール200を搬送する。一対のチャッキング装置300は、原反ロール200をその両側から把持するものである。そのため、一対のチャッキング装置300は、AGV100に搭載された原反ロール200のコア210に対応し得る高さ位置であってコア210の端部に接近した状態で対向可能な間隔をおいて設置される。チャッキング装置300の構造については、図示は省略するが、例えば水平方向に伸縮自在でコア210の中空部に入り込むことのできるアームを有し、しかもこのアームの先端にはコア210の中空部に入り込んだ際に径方向に広がるチャック(爪部)を持つ。
このようにして、一対のチャッキング装置300は、原反ロール200が精度良く位置決めされた場合にはコア210に対してチャックを挿入しコア210を両側から把持することで原反ロール200を保持することができる。
そのためには、AGV100はコア210の中心位置をチャッキング装置300のチャック中心に精度良く合わせる必要がある。必要位置精度は±1〜5mm程度である。しかしながら、床400の平坦精度や原反ロール200の荷重及び自重によるAGV100のタイヤのたわみ、AGV100の停止位置精度などによりAGV100単独で上記の必要位置精度を出すのは実質上、不可能である。
図1〜図3を参照して、上記必要精度を実現する機能を持つ、本発明による原反ロールの自動供給装置の実施形態について説明する。
図1に示すように、自動供給装置は、原反ロール200を搭載するための2本のアーム(搭載部)110を持つAGV100からなり、アーム110は上下方向に昇降するリフタ駆動機構(上下方向駆動機構)と水平方向に移動する芯合せ駆動機構(水平方向駆動機構)とで駆動可能にされている。自動供給装置はまた、2本のアーム110に搭載した原反ロール200のコア210の中心を、所定部位に設置されたチャッキング装置300のチャック中心に合わせる際の検出手段として、本実施形態ではレーザ光源とPSD(Position Sensitive Detector)との組合せを有する。
図2に示すように、レーザ光源10は一対のチャッキング装置300のそれぞれの近傍、特に下側に設置され、対応するアーム110側に向けてレーザ光を照射する。2本のアーム110にはそれぞれ、レーザ光の照射領域に対応し得る箇所、特に搭載している原反ロール200のコア210の下側となる箇所にPSD20が設置される。良く知られているように、PSD20は一定面積の受光面を有して受光面上への光の入射位置を検出するために用いられるものであり、本実施形態ではレーザ光の受光位置が受光面中心から外れている場合に、レーザ光の受光位置を受光面中心に合わせるために用いるようにしている。
本実施形態では、PSD20はその受光面が鉛直面と平行になるように設置され、受光面の中心位置を原点、水平方向をX軸、上下方向をY軸として受光面上での受光位置(X方向位置、Y方向位置)を示す信号を出力する。この受光位置を示す信号は後述する制御回路に出力され、制御回路は受光位置の原点(基準位置)からのずれ量に応じてリフタ駆動機構、芯合せ駆動機構を制御する。このため、レーザ光源10とPSD20との位置関係を、レーザ光受光位置が原点(受光面中心)にある時に、搭載されているコア210の中心がチャッキング装置300のチャック中心に合うように設定してある。そして、レーザ光受光位置が原点から外れている場合には、制御回路はずれ量に応じてリフタ駆動機構、芯合せ駆動機構を制御してレーザ光受光位置が原点に戻るようにする。
リフタ駆動機構、芯合せ駆動機構は、ボールネジ等の周知の駆動機構を用いて実現することができるので、具体的な構成については図示、説明は省略する。
以降では、図1に示された左側のPSD20を1側のPSD20−1、右側のPSD20を2側のPSD20−2とし、左側のリフタ駆動機構による駆動方向をY1方向、芯合せ駆動機構による駆動方向をX1方向、これらの駆動機構を制御するための回路を1側の位置決め制御回路と呼ぶ。また、右側のリフタ駆動機構による駆動方向をY2方向、芯合せ駆動機構による駆動方向をX2方向、これらの駆動機構を制御するための回路を2側の位置決め制御回路と呼ぶ。
図3(a)は1側の位置決め制御回路の構成を示し、図3(b)は2側の位置決め制御回路の構成を示す。
図3(a)において、1側の位置決め制御回路は、PSD20−1からX1方向位置を示す信号、Y1方向位置を示す信号を受けると共に、X1方向に関する目標位置(基準位置)を示す信号、Y1方向に関する目標位置(基準位置)を示す信号を受ける。1側の位置決め制御回路は、X1方向位置とX1方向の目標位置との差、つまり原点からのX1方向ずれ量を算出する減算部51−1と算出されたX1方向ずれ量に基づいてこれが0になるように1側の芯合せ駆動機構を制御するX1方向制御部52−1とを有する。1側の位置決め制御回路はまた、Y1方向位置とY1方向の目標位置との差、つまり原点からのY1方向ずれ量を算出する減算部53−1と算出されたY1方向ずれ量に基づいてこれが0になるように1側のリフタ駆動機構を制御するY1方向制御部54−1とを有する。
図3(b)において、2側の位置決め制御回路は、1側の位置決め制御回路と同様に、PSD20−2からX2方向位置を示す信号、Y2方向位置を示す信号を受けると共に、X2方向に関する目標位置(基準位置)を示す信号、Y2方向に関する目標位置(基準位置)を示す信号を受ける。2側の位置決め制御回路はまた、X2方向位置とX2方向の目標位置との差、つまり原点からのX2方向ずれ量を算出する減算部51−2及びX2方向ずれ量が0になるように2側の芯合せ駆動機構を制御するX2方向制御部52−2と、Y2方向位置とY2方向の目標位置との差、つまり原点からのY2方向ずれ量を算出する減算部53−2及びY2方向ずれ量が0になるように2側のリフタ駆動機構を制御するY2方向制御部54−2とを有する。
以上のような構成に加えて、自動供給装置は、AGV100の走行装置、その自動走行を制御する制御装置を備えるが、これらはこれまでのAGVに備えられているものを使用することができるので、図示、説明は省略する。但し、これまでのAGVでも、2本のアーム110に搭載した原反ロール200のコア210の中心線と、チャッキング装置300のチャック中心線とのずれ量が所定範囲内(通常、X方向、Y方向に関してそれぞれ数cmの範囲内)に入るように位置決めできる走行制御機能を有している。
上記のように、1側の位置決め制御回路、2側の位置決め制御回路は同じ構成を有し、動作原理は同じであるので、1側の位置決め制御回路について制御動作を説明する。
上述したように、AGV100は、その走行制御により原反ロール200の1側のコア210の中心線と、1側のチャッキング装置300のチャック中心線とのずれ量が所定範囲内に入るように位置決めされた状態で停止しているものとする。これは、言い換えれば、この停止状態でレーザ光源10をオンにすると、レーザ光は必ずPSD20−1に入射することを意味する。レーザ光原10は常時オンでも良いが、例えばAGV100が一対のチャッキング装置300の間に進入してきたことを検知してオンとするようにしても良い。
上記の停止状態で、PSD20−1における受光面でのレーザ光受光位置が原点位置であれば、減算部51−1、53−1ではずれ量が算出されず、芯合せ駆動機構、リフタ駆動機構は現状を維持する。
一方、PSD20−1におけるレーザ光受光位置が、受光面の中心を原点とするX−Y座標面で(−x1,−y1)であったとする。この場合、減算部51−1、53−1でずれ量−x1、−y1が算出され、X1方向制御部52−1は芯合せ駆動機構により原反ロール200をx1だけ水平移動(図2aで左方向)させる一方、Y1方向制御部54−1はリフタ駆動機構により原反ロール200をy1だけ下降(図2aで下方向)させる。このようにして、原反ロール200の1側のコア210の中心が1側のチャッキング装置300のチャック中心に位置決めされる。
2側の位置決め制御回路についても1側の位置決め制御回路の制御動作と並行して上記と同様に動作する。
以上のように、本実施形態による原反ロールの自動供給装置は、生産機のチャッキング装置の近傍に位置決め用のレーザ光源を設置し、AGV側にはレーザ光源からのレーザ光を受光し、その受光位置を検出する手段と、この受光位置と基準位置とから原反ロールにおけるコア中心のチャック中心からのずれ量を算出し算出したずれ量に基づいて原反ロールの位置を調整できる制御回路及び駆動機構とを備えたことにより、床にレールやLMガイドあるいは円錐状コーンなどを設置することなく原反ロールを生産機のチャッキング装置に精度良く位置決めすることができる。
本実施形態による原反ロールの自動供給装置はまた、原反ロールの移載位置における床面の凹凸や微小な傾斜、AGVにおける走行用のタイヤの磨耗や、タイヤ内部の空気圧変動、原反ロールの重量変化による原反ロールの高さ位置変動の影響を受けることなく原反ロールを生産機のチャッキング装置に精度良く位置決めすることができる。
なお、上記の実施形態では、レーザ光を受光し受光位置の基準位置からのずれ量を検出する際の検出手段としてPSDを用いる場合について説明したが、PSDに代えて他の周知の検出手段を用いても良い。
図6は、検出手段としてITVカメラを用いる場合の例を示す。本例では、レーザ光源10からのレーザ光を投射するためにスクリーン61が用いられ、スクリーン61上でのレーザ光のスポット位置をITVカメラ60で検出する。ITVカメラ60は、スクリーン61上にその中心位置を原点とするX−Y座標を想定し、スポットのX1(X2)方向位置、Y1(Y2)方向位置を検出して出力する。このようなITVカメラとスクリーンとの組合せを用いることにより、点光源からのスポット光をITVカメラで直接受光する構成に比べて、例えば片側のタイヤの空気圧減少によりITVカメラの受光面が傾斜していた場合の影響を受けにくいという効果がある。なお、ITVカメラ60からの出力信号を受けて芯合せ駆動機構、リフタ駆動機構を制御する1側(2側)位置決め制御回路は図3で説明したものと同じで良い。
本発明によるロール自動供給装置は、チャッキング装置を持つ生産機だけでなく、生産機の所定部位に対してロール体のコア中心を位置決めしてロール体を移載するもの全般に適用できる。
AGVを用いた本発明によるロール自動供給装置の好ましい実施形態を説明するための図である。 図1のロール自動供給装置で用いられている検出手段を構成するレーザ光源とPSDとの組合せについて説明するための図である。 図1のロール自動供給装置で用いられている位置決め制御回路について説明するための図である。 これまでのAGVでは精度の良い位置決めが困難であることを説明するための図である。 ロール自動供給装置の搬送対象である原反ロールについて説明するための図である。 図1のロール自動供給装置で用いられる検出手段の他の例について説明するための図である。
符号の説明
10 レーザ光源
20 PSD
60 ITVカメラ
61 スクリーン
100 AGV
110 アーム
200 原反ロール
210 コア
300 チャッキング装置

Claims (5)

  1. 中心に中空のコアを持つロール体をAGV(Automated Guided Vehicle)に搭載して搬送し、前記ロール体が移載される側の所定部位に前記コア中心を位置決めした状態にて前記ロール体を移載するロール自動供給装置であって、
    前記AGVは、前記ロール体を搭載している搭載部を上下方向に駆動する上下方向駆動機構と水平方向に駆動する水平方向駆動機構とを備え、
    前記所定部位の近傍に設置されたレーザ光源と、
    前記AGVに設置され、前記レーザ光源からのレーザ光を受光する受光面を有して該受光面上でのレーザ光の受光位置を検出する検出手段と、
    検出された受光位置の基準位置からのずれ量を算出し、算出されたずれ量を無くすように前記上下方向駆動機構と前記水平方向駆動機構を制御する位置決め制御回路とを備えたことを特徴とするロール自動供給装置。
  2. 前記ロール体のコアは該ロール体の両端から突出した突出部を有し、
    前記搭載部は、前記ロール体の両側の前記突出部を受けるための受け部を持つ2本のアームで構成され、
    前記2本のアームのそれぞれに前記上下方向駆動機構と前記水平方向駆動機構とが備えられると共に前記位置決め制御回路も前記2本のアームに対応して個別に備えられ、
    前記所定部位として前記ロール体の両側の前記突出部に対応し得る2箇所が設定されてそれぞれの近傍に前記レーザ光源が設置されると共に、前記2本のアームの前記受け部に近い箇所にそれぞれ前記検出手段が設置され、
    前記2本のアームが独立して上下方向及び水平方向に駆動されることを特徴とする請求項1に記載のロール自動供給装置。
  3. 前記検出手段としてPSD(Position Sensitive Detector)を備えることを特徴とする請求項1又は2に記載のロール自動供給装置。
  4. 前記検出手段として、前記レーザ光を受光するためのスクリーンと、該スクリーン上でのレーザ光の受光位置を検出するためのITV(Industrial Television)カメラとの組合せを備えることを特徴とする請求項1又は2に記載のロール自動供給装置。
  5. 前記2本のアームに搭載した前記ロール体を、前記2箇所の所定部位にそれぞれ設置され、前記ロール体の両側の前記突出部に入り込んで前記コアを両側から把持する一対のチャッキング装置に移載するように構成されていることを特徴とする請求項2に記載のロール自動供給装置。
JP2006244599A 2006-09-08 2006-09-08 ロール自動供給装置 Active JP4409552B2 (ja)

Priority Applications (2)

Application Number Priority Date Filing Date Title
JP2006244599A JP4409552B2 (ja) 2006-09-08 2006-09-08 ロール自動供給装置
TW96144156A TWI419826B (zh) 2006-09-08 2007-11-21 Uniform use of unmanned vehicle material bundle supply device

Applications Claiming Priority (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
JP2006244599A JP4409552B2 (ja) 2006-09-08 2006-09-08 ロール自動供給装置

Publications (2)

Publication Number Publication Date
JP2008063117A JP2008063117A (ja) 2008-03-21
JP4409552B2 true JP4409552B2 (ja) 2010-02-03

Family

ID=39286150

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
JP2006244599A Active JP4409552B2 (ja) 2006-09-08 2006-09-08 ロール自動供給装置

Country Status (2)

Country Link
JP (1) JP4409552B2 (ja)
TW (1) TWI419826B (ja)

Cited By (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
CN110466843A (zh) * 2019-08-21 2019-11-19 福建福融华薄膜工业有限公司 一种用于水晶膜的称重覆膜装置

Families Citing this family (24)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
DE102008040726A1 (de) * 2008-07-25 2010-01-28 Voith Patent Gmbh Verfahren zum Wechseln von Rollen in einer Wickelvorrichtung und Vorrichtung zur Durchführung des Verfahrens
JP5267863B2 (ja) * 2009-01-08 2013-08-21 株式会社ダイフク ロール体用自動搬送車
JP5441563B2 (ja) * 2009-08-26 2014-03-12 ユニキャリア株式会社 無人搬送車
JP5495055B2 (ja) 2009-10-02 2014-05-21 株式会社ダイフク 位置判別装置及びそれが装備された移動体
JP2011079602A (ja) * 2009-10-05 2011-04-21 Ihi Corp ロール体供給装置
JP5365876B2 (ja) * 2010-03-09 2013-12-11 株式会社ダイフク ロール体用自動搬送車
KR101453230B1 (ko) * 2011-02-10 2014-10-22 스미도모쥬기가이고교 가부시키가이샤 롤체 반송장치
JP4967063B1 (ja) * 2011-02-10 2012-07-04 住友重機械工業株式会社 ロール体搬送装置
CN102252613B (zh) * 2011-06-20 2013-04-03 马鞍山马钢华阳设备诊断工程有限公司 车轮热锻钢坯位置在线检测系统
JP5873308B2 (ja) * 2011-11-22 2016-03-01 住友化学株式会社 フィルム材の貼合装置
JP5591275B2 (ja) * 2012-04-02 2014-09-17 住友重機械工業株式会社 ロール体搬送装置
TWI604550B (zh) * 2012-04-13 2017-11-01 尼康股份有限公司 匣裝置、基板搬送裝置、基板處理裝置、及基板處理方法
CN102744288A (zh) * 2012-07-04 2012-10-24 江苏永钢集团有限公司 轧钢线材全自动卸卷装置
JP6047850B2 (ja) * 2012-08-10 2016-12-21 村田機械株式会社 物品供給システム
CN102887385A (zh) * 2012-10-19 2013-01-23 无锡市百顺机械厂 一种钢卷小车
JP6163282B2 (ja) * 2013-08-04 2017-07-12 西部電機株式会社 位置確認装置
CN103801588A (zh) * 2014-01-22 2014-05-21 江苏亨特宏业重工有限公司 平移式卷材高度对中装置
CN105620585A (zh) * 2016-02-17 2016-06-01 江苏金坛汽车工业有限公司 电动车底盘组装工艺
CN106938795B (zh) * 2017-04-24 2019-01-22 江苏宏威重工机床制造有限公司 自动卸料的卧式卷绕装置
CN108100725A (zh) * 2017-12-14 2018-06-01 太和县海诚绳网业有限公司 一种用于制造安全网的网带可变速收卷装置
CN108116918A (zh) * 2017-12-14 2018-06-05 太和县海诚绳网业有限公司 一种用于制造绳网的网带收卷装置
CN110497950B (zh) * 2018-05-18 2022-04-01 富泰华工业(深圳)有限公司 无动力挡停机构
CN110921378B (zh) * 2019-11-26 2022-02-11 广东生益科技股份有限公司 卷材用上料装置与卷材的上料方法
CN111824851B (zh) * 2020-08-07 2022-04-05 四川天邑康和通信股份有限公司 蝶形光缆加强件生产用绕线盘自动定位安装的放线架

Family Cites Families (3)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPH0731746U (ja) * 1993-11-24 1995-06-16 住友金属工業株式会社 コイルカー自動調芯装置
JP3096908B1 (ja) * 1999-05-21 2000-10-10 井上金属工業株式会社 ターレツト用原反受渡設備
TWI231405B (en) * 1999-12-22 2005-04-21 Asml Netherlands Bv Lithographic projection apparatus, position detection device, and method of manufacturing a device using a lithographic projection apparatus

Cited By (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
CN110466843A (zh) * 2019-08-21 2019-11-19 福建福融华薄膜工业有限公司 一种用于水晶膜的称重覆膜装置

Also Published As

Publication number Publication date
TWI419826B (zh) 2013-12-21
JP2008063117A (ja) 2008-03-21
TW200922853A (en) 2009-06-01

Similar Documents

Publication Publication Date Title
JP4409552B2 (ja) ロール自動供給装置
KR100886798B1 (ko) 롤 자동공급장치
WO2012108114A1 (ja) ロール体搬送装置
US20110245964A1 (en) Self Aligning Automated Material Handling System
US20170247190A1 (en) Article Transport Facility
US20130202394A1 (en) Plate-shaped member transfer facility
US10604899B2 (en) Rail inspection device and rail inspection system
JP2009298223A (ja) 無人搬送車
KR102230179B1 (ko) 스태커 크레인
JP2011079602A (ja) ロール体供給装置
CN110235235B (zh) 桥式输送车系统以及示教单元
KR100999642B1 (ko) 차체 위치 보정 시스템 및 이를 이용한 차체 위치 보정 방법
JP4541371B2 (ja) ロール体搬送装置
JP2012028628A (ja) 搬送台車用のコンベヤ水平維持機構及び姿勢制御方法
JP2021046287A (ja) 走行車システム
JP7243678B2 (ja) 物品搬送設備
WO2012108115A1 (ja) ロール体取扱システム、ロール体供給方法およびロール体搬送装置
JP5150003B1 (ja) ロール体取扱システム、ロール体供給方法およびロール体搬送装置
JP5762347B2 (ja) ロール体搬送装置
JP2008246557A (ja) 搬送装置
WO2013035250A1 (ja) ロール体取扱システム、ロール体供給方法およびロール体搬送装置
KR101894287B1 (ko) 반송대차 얼라인 스테이션
TW201305032A (zh) 搬送車
JP2018177425A (ja) ティーチングユニット及び天井搬送車システム
TWI499551B (zh) Roll handling device

Legal Events

Date Code Title Description
A621 Written request for application examination

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A621

Effective date: 20071219

A977 Report on retrieval

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A971007

Effective date: 20090713

A131 Notification of reasons for refusal

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A131

Effective date: 20090722

A521 Written amendment

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523

Effective date: 20090915

TRDD Decision of grant or rejection written
A01 Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model)

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A01

Effective date: 20091021

A01 Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model)

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A01

A61 First payment of annual fees (during grant procedure)

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A61

Effective date: 20091111

R150 Certificate of patent or registration of utility model

Ref document number: 4409552

Country of ref document: JP

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R150

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R150

FPAY Renewal fee payment (event date is renewal date of database)

Free format text: PAYMENT UNTIL: 20121120

Year of fee payment: 3

FPAY Renewal fee payment (event date is renewal date of database)

Free format text: PAYMENT UNTIL: 20121120

Year of fee payment: 3

FPAY Renewal fee payment (event date is renewal date of database)

Free format text: PAYMENT UNTIL: 20131120

Year of fee payment: 4

S802 Written request for registration of partial abandonment of right

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R311802

R350 Written notification of registration of transfer

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R350