KR102534375B1 - 비히클의 경로 탐색 방법 - Google Patents

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Abstract

비히클의 경로 탐색 방법은 적어도 하나의 구간이 설정되며, OHT에서 비히클이 이동하기 위한 전체 경로 정보를 획득하는 단계와, 상기 비히클의 이동 경로, 위치 및 상태 정보를 이용하여 상기 전체 경로 정보에서 상기 각 구간별로 상기 비히클이 진입할 수 있는 최대 대수 설정하는 단계 및 상기 구간별로 상기 비히클이 진입할 수 있는 최대 대수를 초과하는 경우, 상기 비히클이 수행하는 작업의 종류별로 가중치 반영하여 상기 비히클의 경로를 재탐색하는 단계를 포함할 수 있다.

Description

비히클의 경로 탐색 방법{Method of searching a route of vehicle}
본 발명은 비히클의 경로 탐색 방법에 관한 것으로, 보다 상세하게는 OHT에서 비히클이 정체되는 구간이 발생을 방지하기 위한 비히클의 경로 탐색 방법에 관한 것이다.
일반적으로 반도체 소자를 제조하기 위한 반도체 공정 장치들은 연속적으로 배치되어 반도체 기판에 대해 다양한 공정을 수행한다. 상기 반도체 소자 제조 공정을 수행하기 위한 대상물을 카세트에 수납된 상태로 각 반도체 공정 장치로 제공되거나 상기 카세트를 이용하여 상기 각 반도체 공정 장치로부터 회수될 수 있다.
상기 카세트는 OHT(Overhead Hoist Transport) 장치에 의해 이송된다. 상기 OHT 장치는 반도체 공정 장치들이 연속적으로 배치된 반도체 제조 라인의 천장을 따라 구비되는 주행 레일 및 상기 카세트를 파지하며 상기 주행 레일을 따라 주행하는 비히클을 포함한다.
상기 주행 레일은 여러 분기 지점과 합류 지점을 포함하여 다양한 경로를 갖는다. 상기 비히클이 상기 주행 레일에 의해 형성된 상기 경로를 따라 이동함에 따라 특정 구간에 상기 비히클들이 몰려 구간 별로 상기 비히클들의 정체가 발생할 수 있다.
본 발명은 비히클의 주행 경로에서 상기 비히클들이 정체되는 것을 방지할 수 있는 비히클의 경로 탐색 방법을 제공한다.
본 발명에 따른 비히클의 경로 탐색 방법은, 적어도 하나의 구간이 설정되며, OHT에서 비히클이 이동하기 위한 전체 경로 정보를 획득하는 단계와, 상기 비히클의 이동 경로, 위치 및 상태 정보를 이용하여 상기 전체 경로 정보에서 상기 각 구간별로 상기 비히클이 진입할 수 있는 최대 대수 설정하는 단계 및 상기 구간별로 상기 비히클이 진입할 수 있는 최대 대수를 초과하는 경우, 상기 비히클이 수행하는 작업의 종류별로 가중치 반영하여 상기 비히클의 경로를 재탐색하는 단계를 포함할 수 있다.
본 발명의 일 실시예들에 따르면, 상기 비히클의 이동 경로, 위치 및 상태 정보는 최초 설정된 상기 비히클의 이동 경로, 위치 및 상태 정보 및 실시간으로 획득되는 상기 비히클의 이동 경로, 위치 및 상태 정보를 포함할 수 있다.
본 발명의 일 실시예들에 따르면, 상기 비히클의 경로를 재탐색하는 단계는, 각 구간별로 상기 비히클들이 수행하는 작업의 우선 순위를 설정하는 단계 및 수행하는 작업의 우선 순위가 낮은 비히클부터 회피 경로를 탐색하는 단계를 포함할 수 있다.
본 발명의 일 실시예들에 따르면, 상기 비히클의 작업 종류는 카세트의 이적재, 주행 및 양보 중 어느 하나일 수 있다.
본 발명의 일 실시예들에 따르면, 상기 비히클의 경로 탐색 방법은, 상기 전체 경로에 새로운 비히클이 투입되는 경우, 상기 새로운 비히클에 대한 경로를 탐색하는 단계를 더 포함할 수 있다.
본 발명의 일 실시예들에 따르면, 상기 새로운 비히클에 대한 경로를 탐색하는 단계는, 상기 새로운 비히클이 상기 각 구간별로 상기 최대 대수를 초과하지 않고 지날 수 있는 구간 경로들을 확인하는 단계와, 상기 구간 경로들이 존재하는 경우, 상기 구간 경로들 중 상기 새로운 비히클의 최적 경로를 탐색하고, 상기 구간 경로들이 존재하지 않는 경우, 상기 전체 경로에서 상기 새로운 비히클의 최적 경로를 탐색하는 단계를 포함할 수 있다.
본 발명에 따른 비히클의 경로 탐색 방법은 전체 경로의 각 구간별로 비히클의 진입 대수가 허용 대수를 초과하여 진입하는 경우, 상기 비히클의 경로를 재탐색한다. 따라서, 상기 각 구간별로 상기 비히클의 정체가 발생하는 것을 방지할 수 있다. 그러므로, 상기 비히클의 이동을 원활하게 할 수 있다.
또한, 상기 비히클의 경로 재탐색은 상기 비히클의 작업 종류에서 우선 순위가 낮은 작업을 수행하는 비히클에 대해 이루어진다. 그러므로, 상기 작업 종류의 우선 순위가 높은 비히클은 기존 경로를 유지하여 신속하게 이송될 수 있다.
도 1은 본 발명의 일 실시예에 따른 비히클 경로 탐색 시스템을 설명하기 위한 블록도이다.
도 2는 본 발명의 일 실시예에 따른 비히클 경로 탐색 방법을 설명하기 위한 순서도이다.
도 3은 도 2에 도시된 비히클의 경로 재탐색 방법을 설명하기 위한 순서도이다.
도 4는 도 2에 도시된 새로운 비히클의 경로 탐색 방법을 설명하기 위한 순서도이다.
이하, 첨부한 도면을 참조하여 본 발명의 실시예에 따른 비히클의 경로 탐색 방법에 대해 상세히 설명한다. 본 발명은 다양한 변경을 가할 수 있고 여러 가지 형태를 가질 수 있는 바, 특정 실시 예들을 도면에 예시하고 본문에 상세하게 설명하고자 한다. 그러나, 이는 본 발명을 특정한 개시 형태에 대해 한정하려는 것이 아니며, 본 발명의 사상 및 기술 범위에 포함되는 모든 변경, 균등물 내지 대체물을 포함하는 것으로 이해되어야 한다. 각 도면을 설명하면서 유사한 참조부호를 유사한 구성요소에 대해 사용하였다. 첨부된 도면에 있어서, 구조물들의 치수는 본 발명의 명확성을 기하기 위하여 실제보다 확대하여 도시한 것이다.
제1, 제2 등의 용어는 다양한 구성요소들을 설명하는데 사용될 수 있지만, 상기 구성요소들은 상기 용어들에 의해 한정되어서는 안 된다. 상기 용어들은 하나의 구성요소를 다른 구성요소로부터 구별하는 목적으로만 사용된다. 예를 들어, 본 발명의 권리 범위를 벗어나지 않으면서 제1 구성요소는 제2 구성요소로 명명될 수 있고, 유사하게 제2 구성요소도 제1 구성요소로 명명될 수 있다.
본 출원에서 사용한 용어는 단지 특정한 실시 예를 설명하기 위해 사용된 것으로, 본 발명을 한정하려는 의도가 아니다. 단수의 표현은 문맥상 명백하게 다르게 뜻하지 않는 한, 복수의 표현을 포함한다. 본 출원에서, "포함하다" 또는 "가지다" 등의 용어는 명세서 상에 기재된 특징, 숫자, 단계, 동작, 구성요소, 부분품 또는 이들을 조합한 것이 존재함을 지정하려는 것이지, 하나 또는 그 이상의 다른 특징들이나 숫자, 단계, 동작, 구성요소, 부분품 또는 이들을 조합한 것들의 존재 또는 부가 가능성을 미리 배제하지 않는 것으로 이해되어야 한다.
다르게 정의되지 않는 한, 기술적이거나 과학적인 용어를 포함해서 여기서 사용되는 모든 용어들은 본 발명이 속하는 기술 분야에서 통상의 지식을 가진 자에 의해 일반적으로 이해되는 것과 동일한 의미를 가지고 있다. 일반적으로 사용되는 사전에 정의되어 있는 것과 같은 용어들은 관련 기술의 문맥 상 가지는 의미와 일치하는 의미를 가지는 것으로 해석되어야 하며, 본 출원에서 명백하게 정의하지 않는 한, 이상적이거나 과도하게 형식적인 의미로 해석되지 않는다.
도 1은 본 발명의 일 실시예에 따른 비히클 경로 탐색 시스템을 설명하기 위한 블록도이다.
도 1을 참조하면, 비히클 경로 탐색 시스템(100)은 OHT(110), 서버(120), OHT 제어부(130) 및 정체 관리부(140)를 포함한다.
OHT(110)는 비히클이 이동하는 전체 경로에서 각 비히클들의 주행 경로, 위치 및 상태에 대한 정보를 실시간으로 획득한다.
서버(120)는 OHT(140)에서 비히클이 이동하는 전체 경로에 대한 정보를 저장한다. 상기 전체 경로 정보는 적어도 하나의 구간으로 설정될 수 있다.
OHT 제어부(130)는 최초 설정된 상기 비히클의 이동 경로, 위치 및 상태 정보를 저장한다.
정체 관리부(140)는 서버(120)로부터 상기 전체 경로 정보 및 설정된 구역에 대한 정보를 전달받고, OHT 제어부(130)로부터 최초 설정된 상기 비히클의 이동 경로, 위치 및 상태 정보를 전달받고, OHT(110)로부터 상기 비히클들의 주행 경로, 위치 및 상태에 대한 실시간 정보를 전달받는다. 정체 관리부(140)는 각 구역별로 상기 비히클들의 주행이나 작업 가능 여부를 판단하거나 관리한다.
또한, OHT 제어부(130)는 정체 관리부(140)의 정보들을 참조하며 상기 각 구역에서 상기 비히클들이 정체되지 않도록 상기 비히클들의 경로를 탐색할 수 있다. 따라서, 상기 비히클들의 정체로 인한 이송 효율 저하를 방지할 수 있다.
도 2는 본 발명의 일 실시예에 따른 비히클 경로 탐색 방법을 설명하기 위한 순서도이다.
도 2를 참조하면, 상기 비히클 경로 탐색 방법은, 먼저, OHT(110)에서 비히클이 동하기 위한 전체 경로 정보를 획득한다. (S110)
상기 전체 경로 정보에서 상기 경로에는 적어도 하나의 구간이 설정될 수 있다. 상기 전체 경로 정보는 서버(120)로부터 획득될 수 있다.
다음으로, 상기 비히클의 이동 경로, 위치 및 상태 정보를 이용하여 상기 전체 경로 정보에서 상기 각 구간별로 상기 비히클이 진입할 수 있는 최대 대수 설정한다. (S120)
상기 비히클의 이동 경로, 위치 및 상태 정보는 최초 설정된 상기 비히클의 이동 경로, 위치 및 상태 정보 및 실시간으로 획득되는 상기 비히클의 이동 경로, 위치 및 상태 정보를 포함할 수 있다.
상기 최초 설정된 상기 비히클의 이동 경로, 위치 및 상태 정보는 OHT 제어부(130)로부터 획득되며, 상기 실시간으로 획득되는 상기 비히클의 이동 경로, 위치 및 상태 정보는 OHT(110)로부터 획득될 수 있다.
상기 비히클의 이동 경로, 위치 및 상태 정보를 이용하여 상기 각 구간별로 상기 비히클이 이동하는데 소요되는 시간 등을 고려함으로써 상기 비히클의 최대 진입 대수를 설정할 수 있다.
다음으로, 상기 비히클이 진입할 수 있는 최대 대수를 초과하여 상기 비히클들이 진입한 구간이 존재하는지를 확인한다. (S130)
상기 전체 경로에서 장애나 고장이 발생한 구간은 상기 비히클이 진입할 수 있는 최대 대수를 초과하는 구간으로 간주한다.
상기 비히클이 진입할 수 있는 최대 대수를 초과하여 상기 비히클이 진입한 구간이 존재하는 경우, 상기 비히클이 수행하는 작업의 종류별로 가중치 반영하여 상기 비히클의 경로를 재탐색한다.(S140)
상기 비히클이 진입할 수 있는 최대 대수를 초과하여 상기 비히클이 진입한 구간이 존재하는 경우, 상기 구간에서 상기 비히클들의 정체가 발생한다. 상기 비히클들의 정체로 인해 상기 비히클의 이동이 지연될 수 있다. 그러므로, 상기 비히클을 신속하게 이동시키기 위해 상기 비히클의 경로를 재탐색할 필요가 있다.
도 3은 도 2에 도시된 비히클의 경로 재탐색 방법을 설명하기 위한 순서도이다.
도 3을 참조하면, 상기 비히클의 경로를 재탐색하기 위해서 먼저, 각 구간별로 상기 비히클들이 수행하는 작업의 우선 순위를 설정한다. (S142)
상기 비히클의 작업 종류는 카세트의 이적재, 주행 및 양보 중 어느 하나일 수 있다. 상기 카세트의 이적재는 상기 비히클이 파지한 카세트를 공정 장치나 스토커에 로딩하거나, 상기 공정 장치나 상기 스토커로부터 언로딩하는 것이며, 상기 주행은 상기 비히클의 상기 주행 경로를 따라 이동하는 것이며, 상기 양보는 상기 비히클의 다른 비히클이 먼저 이동하도록 일시적으로 정지하는 것을 의미할 수 있다.
상기 각 구간별로 상기 비히클들이 수행하는 작업의 우선 순위가 정해지면, 수행하는 작업의 우선 순위가 낮은 비히클부터 회피 경로를 탐색한다. (S144)
상기 작업 우선 순위가 낮은 비히클이 탐색된 회피 경로를 따라 이동하게 되면, 남아 있는 상기 작업 우선 순위가 높은 비히클이 기존 경로를 따라 이동할 수 있다. 따라서, 상기 작업 우선 순위가 높은 비히클이 신속하게 이동할 수 있고, 상기 우선 순위가 높은 작업들이 먼저 수행될 수 있다.
한편, 상기 비히클이 진입할 수 있는 최대 대수를 초과하여 상기 비히클이 진입한 구간이 존재하지 않는 경우, 각 구간에서 상기 비히클들은 기존 경로를 유지한다. (S150)
상기 비히클이 진입할 수 있는 최대 대수를 초과하여 상기 비히클이 진입한 구간이 존재하지 않으면, 각 구간에서 상기 비히클들의 정체가 발생하지 않는다. 그러므로, 상기 비히클들의 회피 경로를 탐색할 필요가 없다.
한편, 상기 전체 경로에 새로운 비히클이 투입되는 경우, 상기 새로운 비히클에 대한 경로를 탐색한다. (S160)
상기 전체 경로에 기설정된 경로를 갖는 비히클이 아닌 새로운 비히클이 투입되면, 상기 새로운 비히클의 경로를 설정할 필요가 있다. 따라서, 상기 새로운 비히클에 대한 경로 탐색이 필요하다.
도 4는 도 2에 도시된 새로운 비히클의 경로 탐색 방법을 설명하기 위한 순서도이다.
도 4를 참조하면, 상기 새로운 비히클의 경로 탐색 방법은, 먼저, 상기 새로운 비히클이 상기 각 구간별로 상기 최대 대수를 초과하지 않고 지날 수 있는 구간 경로들을 확인한다. (S162)
상기 구간 경로들이 존재하는 경우, 상기 구간 경로들 중 상기 새로운 비히클의 최적 경로를 탐색한다. (S164)
상기 각 구간별로 각각 적어도 하나의 구간 경로들이 존재하므로, 상기 새로운 비히클이 상기 구간 경로들을 따라 이동할 수 있다. 그러므로, 상기 구간 경로들 중에서 상기 새로운 비히클이 신속하게 이동할 수 있는 최적 경로를 탐색할 수 있다.
상기 구간 경로들이 존재하지 않는 경우, 상기 전체 경로에서 상기 새로운 비히클의 최적 경로를 탐색한다. (S166)
상기 각 구간별로 상기 구간 경로들이 존재하지 않으므로, 상기 새로운 비히클이 각 구간을 지날 때 상기 각 구간별로 상기 최대 대수를 초과하게 된다. 그러므로, 상기 전체 경로에서 상기 비히클의 최대 대수를 초과하는 구간이 최소가 되도록 상기 새로운 비히클의 최적 경로를 탐색할 수 있다.
상술한 바와 같이, 본 발명에 따른 비히클의 경로 탐색 방법은 전체 경로의 각 구간별로 비히클의 진입 대수가 허용 대수를 초과하여 진입하는 경우, 상기 비히클의 경로를 재탐색한다. 따라서, 상기 각 구간별로 상기 비히클의 정체가 발생하는 것을 방지할 수 있다. 그러므로, 상기 비히클의 이동을 원활하게 할 수 있다.
상기에서는 본 발명의 바람직한 실시예를 참조하여 설명하였지만, 해당 기술 분야의 숙련된 당업자는 하기의 특허 청구 범위에 기재된 본 발명의 사상 및 영역으로부터 벗어나지 않는 범위 내에서 본 발명을 다양하게 수정 및 변경시킬 수 있음을 이해할 수 있을 것이다.
100 : 비히클의 경로 탐색 시스템 110 : OHT
120 : 서버 130 : OHT 제어부
140 : 정체 관리부

Claims (8)

  1. 적어도 하나의 구간이 설정되며, OHT에서 비히클들이 이동하기 위한 전체 경로 정보를 획득하는 단계;
    상기 비히클들의 이동 경로, 위치 및 상태 정보를 이용하여 상기 전체 경로 정보에서 상기 각 구간별로 상기 비히클들이 진입할 수 있는 최대 대수 설정하는 단계;
    상기 구간별로 상기 비히클들이 진입할 수 있는 최대 대수를 초과하는 구간이 존재하는지를 확인하는 단계; 및
    상기 최대 대수를 초과하여 상기 비히클들이 진입한 구간이 확인되는 경우, 상기 확인된 구간 내의 상기 비히클들이 수행하는 작업의 종류별로 가중치를 반영하여 상기 확인된 구간 내의 상기 비히클들의 경로를 재탐색하는 단계를 포함하되,
    상기 비히클들의 경로를 재탐색하는 단계는, 상기 비히클들이 수행하는 작업의 우선 순위를 설정하는 단계와, 수행하는 작업의 우선 순위가 낮은 비히클부터 회피 경로를 탐색하는 단계를 포함하며,
    상기 우선 순위가 낮은 적어도 하나의 비히클을 상기 탐색된 회피 경로를 따라 이동시키고, 남아있는 상기 우선 순위가 높은 적어도 하나의 비히클을 기존 경로를 따라 이동시키는 것을 특징으로 하는 비히클의 경로 탐색 방법.
  2. 제1항에 있어서, 상기 비히클들의 이동 경로, 위치 및 상태 정보는 최초 설정된 상기 비히클들의 이동 경로와 위치 및 상태 정보, 그리고 실시간으로 획득되는 상기 비히클들의 이동 경로와 위치 및 상태 정보를 포함하는 것을 특징으로 하는 비히클의 경로 탐색 방법.
  3. 삭제
  4. 제1항에 있어서, 상기 비히클들의 작업 종류는 카세트의 이적재, 주행 및 양보 중 어느 하나인 것을 특징으로 하는 비히클의 경로 탐색 방법.
  5. 제1항에 있어서, 상기 전체 경로에 새로운 비히클이 투입되는 경우, 상기 새로운 비히클에 대한 경로를 탐색하는 단계를 더 포함하는 것을 특징으로 하는 비히클의 경로 탐색 방법.
  6. 제5항에 있어서, 상기 새로운 비히클에 대한 경로를 탐색하는 단계는,
    상기 새로운 비히클이 상기 각 구간별로 상기 최대 대수를 초과하지 않고 지날 수 있는 구간 경로들을 확인하는 단계;
    상기 구간 경로들이 존재하는 경우, 상기 구간 경로들 중 상기 새로운 비히클의 최적 경로를 탐색하고,
    상기 구간 경로들이 존재하지 않는 경우, 상기 전체 경로에서 상기 새로운 비히클의 최적 경로를 탐색하는 단계를 포함하는 것을 특징으로 하는 비히클의 경로 탐색 방법.
  7. 제1항에 있어서, 상기 최대 대수를 초과하여 상기 비히클들이 진입한 구간이 존재하지 않는 경우, 각 구간에서 상기 비히클들은 기존 경로를 유지하는 단계를 더 포함하는 것을 특징으로 하는 비히클의 경로 탐색 방법.
  8. 제1항에 있어서, 상기 전체 경로에서 장애나 고장이 발생한 구간은 상기 비히클들이 진입할 수 있는 최대 대수를 초과하는 구간으로 간주하는 것을 특징으로 하는 비히클의 경로 탐색 방법.
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