JP2006245416A - 搬送制御装置 - Google Patents

Abstract

【課題】搬送装置の種類に限定されることなく、他の搬送装置による搬送が可能ならば、その搬送装置で搬送させることで、搬送システム全体を効率よく稼動させる。
【解決手段】複数の搬送装置２１と複数の分岐装置２２とを含む搬送システム２０にネットワーク２３を介して接続されており、搬送物を搬送する際の搬送経路の選択に関する制御を行うものであり、搬送先指示部１２から、搬送物の識別番号（ロットＮｏ．）と搬送物の搬送先（生産装置３０）と搬送物を保管する分岐装置２２とが評価値計算部１４に指示され、この指示に基づき、評価値計算部１４が、搬送物位置情報領域１１ｃと搬送待機数情報領域１１ｄと中継経路定義領域１１ｂと分岐装置定義領域１１ａと装置稼動情報領域１１ｅとに記憶した各情報を用いて、評価値を計算して、この評価値に基づき搬送経路決定部１５が搬送経路を決定する。
【選択図】 図１

Description

本発明は、複数の搬送装置と、前記搬送装置間を接続する複数の分岐装置とで構成される搬送システムに接続された搬送制御装置に関するものであり、特に、搬送物を搬送する経路である搬送経路を選定する際に、この搬送経路を構成する搬送装置および分岐装置の選択を効率的に行う搬送制御装置に関するものである。

搬送システムによって搬送される搬送物の一例として、半導体デバイスを製造する際に用いられるウエハがある。この半導体デバイスは、ウエハに対して、洗浄や成膜、レジストコーティング、露光、およびエッチングなどといった一連の製造工程を、定められた層の数だけ繰り返し行って、配線や回路素子を形成することで製造される。その後、このウエハを分断することで、最終的にチップとなる。

これらの製造工程は、例えば、処理内容別に設置された複数台の生産装置によってそれぞれ実施される。この場合、ロット（すなわち、搬送物であり、各製造工程が同時に実施される複数の基板（ウエハ）からなるもの。）は、所定の生産装置において第１製造工程を終えた後、搬送装置によってこの生産装置から複数の棚を保有した分岐装置に搬送され、この分岐装置において保管される。そして、このロットに対して第２製造工程を実施する際には、ロットは、搬送装置によって分岐装置から所定の生産装置へ搬送される。そして、この生産装置での処理終了後は、第３製造工程を実施する生産装置へロットを搬送するために、搬送装置によって第２製造工程を実施した生産装置から複数の棚を保有した分岐装置へロットが搬送される。

従って、搬送するロットが多くなると搬送装置が込み合うため、生産装置へ効率よくロットを搬送する手段が必要となる。このような手段の一例として、複雑かつ多岐である搬送経路を移動する台車を効率的に移動させる搬送システムの制御装置が提案されている（例えば、特許文献１参照）。

この制御装置は、搬送元ステーションであるストッカ前移載ポイントから搬送先ステーションである他のストッカ前移載ポイントに半導体ウェハを搬送する台車の搬送ルートを決定する装置であり、ストッカ前移載ポイントと分岐ポイントとのレイアウトに基づいて搬送元ステーションから搬送先ステーションへの搬送ルートを決定する決定回路と、決定回路に基づいて決定された搬送ルートにおける搬送の負荷量を算出する算出回路と、算出された負荷量が予め定められたしきい値を越えると渋滞情報を作成する作成回路と、台車が分岐ポイントに到着する度、到着した分岐ポイントから搬送先ステーションまでの搬送経路を、渋滞情報を考慮して再設定する設定回路とを含む構成となっている。
特開２００４−２０７３３５号公報（第１２頁および図１等参照）

しかしながら、前述の搬送システムの制御装置では、搬送装置が搬送車に限定されており、クレーンやコンベアなどといったその他の搬送装置には適用できない。また、この搬送システムの制御装置において使用される搬送定義テーブルでは、搬送元から搬送先までに経由する全ての中継ポイントが記載されているため、定義テーブルのデータ量が膨大になる。それにより、定義テーブルの変更が必要になった場合に時間を要するといった問題や、また、ミスが発生しやすいといった問題があった。

上記問題に鑑み、本発明では、搬送装置の種類に限定されることなく、他の搬送装置による搬送が可能ならば、その搬送装置で搬送させることで、搬送システム全体を効率よく稼動させることができ、また、搬送定義テーブルに関しては、搬送元（中継装置）と搬送先とをマトリックスで定義することにより、変更に要する時間を短縮することやミスを防ぐことができる搬送制御装置を提供することを目的としている。

上記課題を解決するため、本発明の搬送制御装置１０は、図１に示すように、複数の搬送装置（例えば、第１搬送装置２１ａおよび第２搬送装置２１ｂ）２１と、前記搬送装置間を接続する複数の分岐装置（例えば、第１分岐装置２２ａおよび第２分岐装置２２ｂ）２２とを含む搬送システム２０に、ネットワーク２３を介して接続されている。搬送物を搬送する経路である搬送経路を選定する際に、この搬送経路を構成する搬送装置および分岐装置の選択に関する制御を行うものであり、各分岐装置２２内に含まれる複数の分岐それぞれに付されている分岐番号と、各分岐の優先度とを含む分岐情報を、分岐装置２２ごとに記憶する分岐情報記憶手段としての分岐装置定義領域１１ａと、搬送装置２１および分岐装置２２の利用順をマトリックスで定義したテーブルを示す情報を、搬送経路ごとに記憶する中継経路記憶手段としての中継経路定義領域１１ｂと、搬送物の現在位置と搬送先とを示す情報を、搬送物ごとに記憶する位置情報記憶手段としての位置情報領域を含む搬送物位置情報領域１１ｃと、前記分岐装置定義領域１１ａに記憶された情報と、前記中継経路定義領域１１ｂに記憶された情報と、前記搬送物位置情報領域１１ｃに記憶された情報とに基づいて、搬送物が到着した分岐装置２２から次に使用しうる分岐装置２２までのすべての搬送経路に関して評価値を計算する評価値計算手段としての評価値計算部１４と、前記評価値計算部１４によって計算された評価値に基づき、１つの搬送経路を選定する搬送経路決定手段としての搬送経路決定部１５とを備えている。

このような搬送制御装置において、本発明では、搬送装置２１によって搬送する搬送物の待機数を搬送装置２１ごとに記憶する搬送待機数記憶手段としての搬送待機数情報領域１１ｄをさらに備えており、評価値の計算に搬送物の待機数を変数として利用するものであってもよい。この場合には、搬送装置２１の負荷を考慮した搬送経路を選択することができる。

さらに、搬送装置２１と分岐装置２２とを含む装置の稼動状態を示す装置稼動状態のフラグを装置ごとに記憶する装置稼動情報記憶手段としての装置稼動情報領域１１ｅをさらに備えており、評価値の計算に装置稼動状態のフラグを変数として利用するものであってもよい。この場合には、搬送装置２１の稼動状態を考慮した搬送経路を選択することができる。

さらにまた、経由した搬送装置２１または分岐装置２２の履歴を示す搬送履歴情報のフラグを搬送物ごとに記憶する搬送履歴情報記憶手段としての搬送履歴情報領域を搬送物位置情報領域１１ｃにさらに備えており、評価値の計算に搬送履歴情報のフラグを変数として利用するものであってもよい。この場合には、搬送元の搬送装置２１へ後戻りしない搬送経路を選択することができる。

本発明によれば、搬送装置の種類に限定されることなく、他の搬送装置による搬送が可能ならば、その搬送装置で搬送することで、搬送システム全体を効率よく稼動させることができ、また、搬送定義テーブルに関しては、搬送元と搬送先とをマトリックスで定義することにより、変更に要する時間を短縮することやミスを防ぐことができる。

以下、本発明の実施の形態について、図面を参照して説明する。

図１は、本発明の搬送制御装置の一実施形態およびこの搬送制御装置が接続された搬送システムのシステム構成の一例を示す説明図である。

なお、本実施の形態においては、搬送システムの一例として、半導体デバイスの製造工程において用いられる搬送システムを用いて説明を行っている。

この半導体デバイスの製造工程において使用される搬送システム２０は、複数の搬送装置２１（第１搬送装置（図中「ＤＬ１」で示す）２１ａおよび第２搬送装置（図中「ＤＬ２」で示す）２１ｂ）と、複数の分岐装置２２（第１分岐装置（図中「ＳＴ１」で示す）２２ａおよび第２分岐装置（図中「ＳＴ２」で示す）２２ｂ）とから構成されている。さらに、この搬送システム２０には、例えば、ＬＡＮやインターネットといったネットワーク２３を介して、搬送制御装置１０と、半導体デバイスに対して製造工程を実施する複数の生産装置３０（例えば、第１生産装置（図中「ＰＲ１」で示す）３０ａおよび第２生産装置（図中「ＰＲ２」で示す）３０ｂ）とが接続されている。また、前記搬送装置２１は、生産装置３０と分岐装置２２との間でウエハの搬送を行うものであり、前記分岐装置２２は、仕掛りウエハ（すなわち、搬送物）を保管する複数の棚を保有しており、搬送経路の分岐点となるものである。

本実施の形態において、搬送システムがこのような構成を有しているため、搬送経路は、搬送装置、分岐装置および生産装置から構成されており、搬送元は、搬送装置、分岐装置または生産装置であり、搬送先は、分岐装置または生産装置である。

なお、図１においては、搬送装置２１、分岐装置２２および生産装置３０が、それぞれ２台ずつ示されているが、台数はこれに限定されるものではない。

本実施の形態の搬送制御装置１０は、搬送物位置情報領域１１ｃ、搬送待機数情報領域１１ｄ、中継経路定義領域１１ｂ、分岐装置定義領域１１ａおよび装置稼動情報領域１１ｅから構成された、大容量のデータベース１１を搭載している。これらの領域についての詳細な説明は後述する。また、これらの領域を記憶するデータベース１１は、物理的に単一の装置に搭載する必要はなく、異なる装置に分散して配置されたデータベースによって実現してもよい。

さらに、搬送制御装置１０は、搬送先指示部１２と搬送情報管理部１３と評価値計算部１４と搬送経路決定部１５と装置管理部１６とを備えている。

搬送先指示部１２は、各ウエハに対して次の製造工程を実施する生産装置３０と、この製造工程後にウエハを保管する分岐装置２２とを指示するものである。

搬送情報管理部１３は、前記搬送先指示部１２で指示した生産装置３０および分岐装置２２に関する情報を収集し、搬送物位置情報領域１１ｃにロット単位で格納するとともに、装置管理部１６によって管理しているロットの現在位置に関する情報を収集し、搬送物位置情報領域１１ｃにロット単位で格納する。さらに、搬送情報管理部１３は、装置管理部１６によって管理している、搬送装置２１ごとの搬送待ちのロット数（搬送物の待機数）に関する情報を収集し、搬送待機数情報領域１１ｄに格納する。

評価値計算部１４は、搬送物位置情報領域１１ｃ、搬送待機数情報領域１１ｄ、中継経路定義領域１１ｂ、分岐装置定義領域１１ａおよび装置稼動情報領域１１ｅに格納されている情報を用いて、搬送経路の評価値を計算する。

搬送経路決定部１５は、評価値計算部１４において得られた評価値に基づき搬送経路を決定する。

装置管理部１６は、搬送装置２１および分岐装置２２の稼動状態を監視しており、これら搬送装置および分岐装置の稼動状態に関する情報を収集し、この情報を装置稼動情報領域１１ｅに格納する。また、装置管理部１６は、搬送経路決定部１５で選択した搬送経路に従い、搬送待ちのロットを管理しつつ、分岐装置２２または生産装置３０に対して搬送物を搬送するように指示する。

一方、生産装置３０は、１つの製造工程に少なくとも１つ割り当てられており、ウエハが製造工程の順に各生産装置を通過すると同時に、このウエハに対して処理が施されることによって半導体デバイスが完成する。このとき、ウエハは、複数の生産装置３０間にウエハを搬送する搬送装置２１と、ウエハを保管するとともに搬送経路の分岐点となる分岐装置２２とを経由する。

次の製造工程を実施する生産装置３０と、この製造工程を実施した後にウエハを保管する分岐装置２２とは、搬送先指示部１２によって指示される。このとき、搬送情報管理部１３は、生産装置３０と分岐装置２２とを示す情報を、ウエハ単位で搬送物位置情報領域１１ｃに格納する。

評価値計算部１４は、搬送先指示部１２の指示によって、１つのウエハに対して所定の製造工程を実施する際にとり得るすべての搬送経路について、評価値を計算する。搬送経路決定部１５は、この評価値に基づき、最適な搬送経路を決定し、この搬送経路を装置管理部１６に指示する。

装置管理部１６は、指示された搬送経路を構成する生産装置３０、搬送装置２１および分岐装置２２に対して、ネットワーク２３を通じてウエハの処理を指示する。この指示によって、ウエハは、保管されている分岐装置２２（すなわち、搬送元）から、搬送装置２１を経由して、生産装置３０に搬送され、所定の製造工程が実施される。その後、この製造工程が終了すると、搬送装置２１を経由して、搬送先である分岐装置２２に運ばれ保管される。このとき、ウエハの位置情報は、生産装置３０、搬送装置２１および分岐装置２２に到着した際に、ネットワーク２３を通じて搬送物位置情報領域１１ｃに順次格納される。

以上、搬送制御装置およびこの搬送制御装置が接続された搬送システムの構成と基本動作の概略を説明したが、以下に、搬送制御装置およびこの搬送制御装置が接続された搬送システムの動作について、図１〜図１０を参照しながら説明する。

図２は、図１に示す搬送装置、分岐装置および生産装置のレイアウトの一例を示す説明図である。

なお、ここでは、搬送装置２１として、第１搬送装置２１ａ、第２搬送装置２１ｂ、第３搬送装置２１ｃ、第４搬送装置２１ｄ、第５搬送装置２１ｅおよび第６搬送装置２１ｆが配置されており、これら６台の搬送装置２１には、ＤＬ１〜ＤＬ６といった個々の装置を識別するための装置名がそれぞれ割り当てられている。さらに、分岐装置２２としては、第１分岐装置２２ａ、第２分岐装置２２ｂ、第３分岐装置２２ｃ、第４分岐装置２２ｄ、第５分岐装置２２ｅおよび第６分岐装置２２ｆが配置されており、これら６台の分岐装置２２には、ＳＴ１〜ＳＴ６といった個々の装置を識別するための装置名がそれぞれ割り当てられている。また、生産装置３０としては、第１生産装置３０ａ、第２生産装置３０ｂ、第３生産装置３０ｃ、第４生産装置３０ｄ、第５生産装置３０ｅ、第６生産装置３０ｆ、第７生産装置３０ｇ、第８生産装置３０ｈ、第９生産装置３０ｉ、第１０生産装置３０ｊ、第１１生産装置３０ｋ、第１２生産装置３０ｌ、第１３生産装置３０ｍ、第１４生産装置３０ｎ、第１５生産装置３０ｏおよび第１６生産装置３０ｐが配置されており、これら１６台の生産装置３０には、ＰＲ１〜ＰＲ１６といった個々の装置を識別するための装置名が割り当てられている。

具体的には、第１分岐装置２２ａと第２分岐装置２２ｂとの間に第１搬送装置２１ａが配置されており、この第１搬送装置２１ａの両側に、第１生産装置３０ａ、第２生産装置３０ｂ、第３生産装置３０ｃおよび第４生産装置３０ｄが配置されている。これにより、第１搬送装置２１ａによって、第１分岐装置２２ａ、第２分岐装置２２ｂ、第１生産装置３０ａ、第２生産装置３０ｂ、第３生産装置３０ｃおよび第４生産装置３０ｄに搬送物を搬送することができる。

また、第２分岐装置２２ｂと第３分岐装置２２ｃとの間に第２搬送装置２１ｂが配置されており、この第２搬送装置２１ｂの両側に、第５生産装置３０ｅ、第６生産装置３０ｆ、第７生産装置３０ｇおよび第８生産装置３０ｈが配置されている。これにより、第２搬送装置２１ｂによって、第２分岐装置２２ｂ、第３分岐装置２２ｃ、第５生産装置３０ｅ、第６生産装置３０ｆ、第７生産装置３０ｇおよび第８生産装置３０ｈに搬送物を搬送することができる。

また、第１分岐装置２２ａおよび第４分岐装置２２ｄの間に第３搬送装置２１ｃが配置されており、この第３搬送装置２１ｃによって、第１分岐装置２２ａおよび第４分岐装置２２ｄに搬送物を搬送することができる。

また、第３分岐装置２２ｃおよび第６分岐装置２２ｆの間に第４搬送装置２１ｄが配置されており、この第４搬送装置２１ｄによって、第３分岐装置２２ｃおよび第６分岐装置２２ｆに搬送物を搬送することができる。

また、第４分岐装置２２ｄと第５分岐装置２２ｅとの間に第５搬送装置２１ｅが配置されており、この第５搬送装置２１ｅの両側に、第９生産装置３０ｉ、第１０生産装置３０ｊ、第１１生産装置３０ｋおよび第１２生産装置３０ｌが配置されている。これにより、この第５搬送装置２１ｅによって、第４分岐装置２２ｄ、第５分岐装置２２ｅ、第９生産装置３０ｉ、第１０生産装置３０ｊ、第１１生産装置３０ｋおよび第１２生産装置３０ｌに搬送物を搬送することができる。

また、第５分岐装置２２ｅと第６分岐装置２２ｆとの間に第６搬送装置２１ｆが配置されており、この第６搬送装置２１ｆの両側に、第１３生産装置３０ｍ、第１４生産装置３０ｎ、第１５生産装置３０ｏおよび第１６生産装置３０ｐが配置されている。これにより、この第６搬送装置２１ｆによって、第５分岐装置２２ｅ、第６分岐装置２２ｆ、第１３生産装置３０ｍ、第１４生産装置３０ｎ、第１５生産装置３０ｏおよび第１６生産装置３０ｐに搬送物を搬送することができる。

次に、本発明の搬送制御装置において実施される搬送制御方法の一例について説明する。

図３および図４は、図１に示す搬送制御装置によって実施される搬送制御方法の一例を示すフローチャートである。なお、図３中に示す「Ａ」、「Ｂ」および「Ｃ」と図４中に示す「Ａ」、「Ｂ」および「Ｃ」とは、互いに連携するものであり、図３に示すフローチャートと図４に示すフローチャートとで、１つの搬送制御方法を示している。

まず、搬送先指示部１２は、搬送するロットのロットＮｏ．（例えば、ＬＯＴ００１Ａ）と、次の製造工程を実施する生産装置の装置名（例えば、ＰＲ１０）と、製造工程終了後にロットを保管する分岐装置の装置名（例えば、ＳＴ５）とを示す情報を、評価値計算部１４に対して送信する。

同時に、搬送先指示部１２は、搬送情報管理部１３に対しても、前記の搬送するロット（例えば、ロットＮｏ．がＬＯＴ００１Ａのロット）の位置情報として、次の製造工程を実施する生産装置の装置名（例えば、ＰＲ１０）と、製造工程終了後にロットを保管する分岐装置の装置名（例えば、ＳＴ５）とを示す情報を送信する（ステップＳ１）。

なお、「ロットＮｏ．」とは、全てのロットで重複しないように投入時に各々のロットに割り振られた番号である。

ここで、搬送物位置情報領域１１ｃに格納されているロット単位の搬送物位置情報の詳細内容について、図５を参照しつつ説明する。

図５は、搬送物位置情報領域１１ｃに格納されているロット単位の搬送物位置情報の詳細内容を示す説明図である。

搬送物位置情報領域１１ｃは、位置情報領域と搬送履歴情報領域とから構成されている。すなわち、図５に示すように、搬送物位置情報領域１１ｃに格納されている搬送物位置情報５００は、位置情報領域に格納されている位置情報５０１と、搬送履歴情報領域に格納されている搬送履歴情報５０２とから構成されている。この搬送物位置情報５００は、ロットごとに作成されている。

例えば、位置情報５０１には、ロットを識別する情報であるロットＮｏ．と、前記ロットを現在保管している装置（搬送元）を識別する情報である装置名と、次の製造工程実施後に、前記ロットを保管する装置（搬送先）を識別する情報である装置名と、次の製造工程を実施する生産装置（次の生産装置）を識別する情報である装置名と、搬送元から搬送先までの搬送経路内で、前記ロットが現在どの装置に位置しているのか（現在位置）を識別する情報である装置名とが含まれる。この位置情報５０１を形成する際、搬送情報管理部１３は、搬送先指示部１２から送信された前記ロットＮｏ．（例えば、ＬＯＴ００１Ａ）をキーとして、前記製造工程実施後にロットを保管する分岐装置の装置名（例えば、ＳＴ５）を搬送先に格納し、次の製造工程を実施する生産装置の装置名（例えば、ＲＰ１０）を次の生産装置に格納する。また、位置情報５０１を更新する際、搬送情報管理部１３は、位置情報５０１の現在位置に格納されている装置名を、位置情報５０１の搬送元に格納する。

一方、搬送履歴情報５０２には、搬送元から生産装置までの搬送経路で、どの分岐装置を通過したのかを示す搬送履歴情報のフラグ（例えば、「０」は通過したことを示し、「１」は通過していないことを示す。）が含まれる。

次に、評価値計算部１４は、搬送するロットのロットＮｏ．（例えば、ＬＯＴ００１Ａ）をキーとして、位置情報５０１から現在位置の装置名（例えば、ＳＴ１）を取得する（ステップＳ２）。

次いで、評価値計算部１４は、前記取得した装置名（例えば、ＳＴ１）が、分岐装置の装置名であるか否かを識別する（ステップＳ３）。この識別は、分岐装置定義領域１１ａに格納されている分岐装置定義情報において定義されている分岐装置の装置名と、前記取得した装置名とが一致するか否かで行われる。

ここで、分岐装置定義領域１１ａに格納されている分岐装置定義情報６００の詳細内容について、図６を参照しつつ説明する。

図６は、分岐装置定義領域に格納されている分岐装置定義情報の詳細内容を示す説明図である。

分岐装置定義情報６００は、図６に示すように、分岐装置数６０１と、分岐装置情報６０２と、分岐情報６０３とから構成される。なお、分岐装置情報６０２および分岐情報６０３については、第1分岐装置および第２分岐装置についてのみ図示されており、他の分岐装置については、省略されており、図示されていない。

例えば、分岐装置数６０１には、図２のレイアウト中に示した分岐装置の数が含まれる。

分岐装置情報６０２には、分岐装置を識別する情報である装置名と、分岐する数とが含まれる。この分岐装置情報６０２は、分岐装置数６０１と同数（図６では「６」）存在する。

分岐情報６０３は、分岐装置内で分岐を識別する情報である分岐Ｎｏ．（分岐番号）と、搬送経路を定義したテーブルを識別する情報であるテーブル名と、搬送経路を選択するための評価値計算に用いる、各分岐の優先度とが含まれる。この分岐情報６０３は、分岐数と同数存在する。

もし、ステップＳ２で取得した装置名（例えば、ＳＴ１）が分岐装置であると識別された場合（ステップＳ３での判断結果がＹＥＳである場合）、評価値計算部１４は、装置名（例えば、ＳＴ１）が一致する分岐装置情報６０２の分岐数（Ｎｂｕｎｋｉ（例えば、２））を取得し（ステップＳ４）、ステップＳ５に進む。

一方、ステップＳ２で取得した装置名が分岐装置の装置名ではないと識別された場合（ステップＳ３での判断結果がＮＯである場合）には、現在ロットを保持している装置から次にロットを保持する装置（分岐装置または生産装置）までの搬送経路を、所定のテーブル（例えば、中継定義テーブル１）を参照して、取得する。その後、後述するステップＳ１９に進む。

また、前記ステップＳ５では、ステップＳ４で取得した分岐数分、繰り返し処理を行うために、評価値計算部１４は、分岐装置定義領域１１ａに設けられた分岐カウンタを初期化（Ｎｕｍ＝１）する。

評価値計算部１４は、分岐カウンタ（Ｎｕｍ＝１）と一致する分岐Ｎｏ．（すなわち、１）の参照テーブル名（例えば、Ｔａｂｌｅ（Ｎｕｍ）＝中継定義テーブル１）と、優先度（例えば、Ｙｕｓｅｎ（Ｎｕｍ）＝１）とを、分岐情報６０３から取得する（ステップＳ６）。

そして、評価値計算部１４は、取得した参照テーブル名（例えば、Ｔａｂｌｅ（Ｎｕｍ）＝中継定義テーブル１）を用いて、搬送元（例えば、ＳＴ１）から、搬送先である生産装置（例えば、装置名が「ＰＲ１０」の生産装置）または次の分岐装置までの搬送経路を取得する（ステップＳ７）。

ここで、中継定義テーブルの一例について、図７を参照しつつ説明する。

図７は、図２のレイアウトにおける、ロットを搬送する装置の順番を、マトリックスで定義したテーブルの一例を示す説明図である。

なお、このテーブルのテーブル名は、中継定義テーブル１である。

図７に示すように、テーブル７０１において、１行目は搬送先の装置名（ＰＲ１〜ＰＲ１６およびＳＴ１〜ＳＴ６）で構成されており、１列目はＦｒｏｍ（起点）となる装置名（ＰＲ１〜ＰＲ１６、ＳＴ１〜ＳＴ６およびＤＬ１〜ＤＬ６）で構成されており、その他はＦｒｏｍから搬送先へ搬送する装置名で構成されている。

なお、本実施の形態では、搬送元であるＳＴ１から搬送先であるＰＲ１０までの搬送経路を取得する場合について説明する。

最初の中継装置は、ＳＴ１行、ＰＲ１０列のＤＬ３。２番目の中継装置は、ＤＬ３行、ＰＲ１０列のＳＴ４。ＳＴ４は、分岐装置定義情報６００で定義している分岐装置の装置名（図６では、第４分岐装置の分岐装置情報６０２および分岐情報６０３は省略されており、図示されていない。）と一致する。

従って、搬送経路は、ＳＴ１→ＤＬ３→ＳＴ４となる（すなわち、Ｄｅｌ（Ｎｕｍ，１）＝ＤＬ３、Ｄｅｌ（Ｎｕｍ，２）＝ＳＴ４）。

次に、評価値計算部１４は、ステップＳ７で取得した搬送経路の到達装置（搬送先）が分岐装置（例えば、装置名が「ＳＴ４」の分岐装置）であるか否かを判断する（ステップＳ８）。もし、ステップＳ７で取得した搬送経路の到達装置が分岐装置（例えば、装置名が「ＳＴ４」の分岐装置）である場合（ステップＳ８での判断結果がＹＥＳである場合）、評価値計算部１４は、ステップＳ２で取得した装置名（例えば、ＳＴ４）が示す分岐装置に関する搬送履歴情報のフラグ（例えば、Ｒｅｒｅｋｉ（Ｎｕｍ）＝１）を取得する（ステップＳ９）。一方、ステップＳ７で取得した搬送経路の到達装置が生産装置の場合（ステップＳ８での判断結果がＮＯである場合）、評価値計算部１４は、ステップＳ２で取得した装置名が示す分岐装置の搬送履歴情報のフラグを１（Ｒｅｒｅｋｉ（Ｎｕｍ）＝１）にする（ステップＳ１０）。

次に、評価値計算部１４は、搬送待機数情報領域１１ｄに格納している搬送待機情報に基づき、取得した搬送経路を構成する搬送装置（例えば、装置名が「ＤＬ３」の搬送装置）の搬送待機数（例えば、Ｗａｉｔ（Ｎｕｍ）＝０）を取得する（ステップＳ１１）。

ここで、搬送待機数情報領域１１ｄに格納されている搬送待機情報８００の一例について、図８を参照しつつ説明する。

図８は、搬送待機数情報領域に格納されている搬送待機情報の一例を示す説明図である。

搬送待機情報８００は、図８に示すように、搬送システムを構成している全ての搬送装置それぞれについての、搬送を待機しているロットの数（搬送物の待機数）８０１を示す情報で構成されている。

次に、評価値計算部１４は、搬送稼動情報領域１１ｅに格納されている装置稼動情報から、取得した搬送経路を構成する搬送装置の装置名（例えば、ＤＬ３）と装置名が一致する装置稼動情報のフラグ（例えば、Ｓｔｏｐ１＝１）と、取得した搬送経路を構成する分岐装置の装置名（例えば、ＳＴ４）と装置名が一致する装置稼動情報のフラグ（例えば、Ｓｔｏｐ２＝１）とを取得する。さらに、これら２つの装置稼動情報のフラグを積算（例えば、Ｓｔｏｐ（Ｎｕｍ）＝Ｓｔｏｐ１×Ｓｔｏｐ２）する（ステップＳ１２）。

ここで、搬送稼動情報領域１１ｅに格納されている装置稼動情報９００の一例について、図９を参照しつつ説明する。

図９は、搬送稼動情報領域に格納されている装置稼動情報の一例を示す説明図である。

装置稼動情報９００は、図９に示すように、搬送システムを構成している全ての分岐装置の稼動状態を示す装置稼動情報のフラグ（例えば、０：停止、１：稼動中）９０１と、搬送システムを構成している全ての搬送装置の稼動状態を示す装置稼動情報のフラグ（例えば、０：停止、１：稼動中）９０２とで構成されている。

次に、取得した搬送経路を構成する分岐装置（例えば、装置名が「ＳＴ１」の分岐装置）から利用する搬送装置（例えば、装置名が「ＤＬ３」の搬送装置）を経由する搬送経路の評価値を次の評価式で計算する（ステップＳ１３）。

＜評価式＞
評価値＝（優先度＋２／（搬送待機数＋１））
×装置稼動情報のフラグ×搬送履歴情報のフラグ
例えば、本実施の形態においては、以下のような評価式となる。

なお、この評価式は一例であり、搬送システムの構成や処理の過程によって変更するものである。

次に、評価値計算部１４は、分岐カウンタを加算（例えば、Ｎｕｍ＝Ｎｕｍ＋１＝２）する（ステップＳ１４）。

次いで、評価値計算部１４は、分岐カウンタ（例えば、Ｎｕｍ＝２）と、ステップＳ４で取得した分岐数（例えば、Ｎｂｕｎｋｉ＝２）とを比較して、他の分岐を利用した搬送経路があるか否かを判断する（ステップＳ１５）。

もし、分岐カウンタの方が分岐数よりも小さい場合には（ステップＳ１５での判断結果がＹＥＳである場合には（すなわち、Ｎｕｍ＝＜Ｎｂｕｎｋｉであれば）、他の分岐を利用した搬送経路があるので、ステップＳ６に戻り、前述の処理を繰り返す。

以下に、分岐カウンタの方が分岐数よりも小さいため、ステップＳ６からステップＳ１５を再び実施する手順の一例について説明する。

まず、評価値計算部１４は、前述した手順と同様の手順で、分岐カウンタ（例えば、Ｎｕｍ＝２）と一致する分岐Ｎｏ．（例えば、２）の参照テーブル名（例えば、Ｔａｂｌｅ（Ｎｕｍ）＝中継定義テーブル２）と、優先度（例えば、Ｙｕｓｅｎ（Ｎｕｍ）＝０．３）とを、分岐情報６０３から取得する（ステップＳ６）。そして、ステップＳ７にて、ステップＳ６にて取得した参照テーブル名（例えば、Ｔａｂｌｅ（Ｎｕｍ）＝中継定義テーブル２）を用いて、搬送元（例えば、ＳＴ１）から、搬送先である生産装置（例えば、装置名が「ＰＲ１０」の生産装置）または次の分岐装置までの搬送経路を取得する。

前記中継定義テーブル２の一例について、図１０を参照しつつ説明する。この中継テーブル２は、図２のレイアウトにおいて、搬送装置ＤＬ３が使用できない場合を想定して、定義されたものである。

図１０は、図２のレイアウトにおける、ロットを搬送する装置の順番を、マトリックスで定義したテーブルの他の例を示す説明図である。

ここでは、図７に示すテーブル７０１を用いて搬送経路を取得した場合と同様に、搬送元であるＳＴ１から搬送先であるＰＲ１０までの搬送経路を取得する場合について説明する。

図１０に示すテーブル１００１によれば、最初の中継装置は、ＳＴ１行、ＰＲ１０列のＤＬ１であり、２番目の中継装置は、ＤＬ１行、ＰＲ１０列のＳＴ２となる。ＳＴ２は、分岐装置定義情報６００で定義している分岐装置の装置名と一致する。

従って、搬送経路は、ＳＴ１→ＤＬ１→ＳＴ２となる（すなわち、Ｄｅｌ（Ｎｕｍ，１）＝ＤＬ１、Ｄｅｌ（Ｎｕｍ，２）＝ＳＴ２）。

次に、ステップＳ７で取得した搬送経路の到達装置が分岐装置であるか否かを判断する（ステップＳ８）。もし、ステップＳ７で取得した搬送経路の到達装置が分岐装置（例えば、装置名が「ＳＴ２」の分岐装置）である場合（ステップＳ８での判断結果がＹＥＳである場合）、評価値計算部１４は、ステップＳ２で取得した装置名が示す分岐装置の搬送履歴情報のフラグ（例えば、Ｒｅｒｅｋｉ（Ｎｕｍ）＝１）を取得する（ステップＳ９）。一方、ステップＳ７で取得した搬送経路の到達装置が生産装置の場合（ステップＳ８での判断結果がＮＯである場合）、評価値計算部１４は、ステップＳ２で取得した装置名が示す分岐装置の搬送履歴情報のフラグを１（Ｒｅｒｅｋｉ（Ｎｕｍ）＝１）にする（ステップＳ１０）。

次に、評価値計算部１４は、搬送待機数情報領域１１ｄに格納している搬送待機情報に基づき、取得した搬送経路を構成する搬送装置（例えば、装置名が「ＤＬ１」の搬送装置）の搬送待機数（例えば、Ｗａｉｔ（Ｎｕｍ）＝４）を取得する（ステップＳ１１）。

次に、評価値計算部１４は、搬送稼動情報領域１１ｅに格納されている装置稼動情報から、取得した搬送経路を構成する搬送装置の装置名（例えば、ＤＬ１）と装置名が一致する装置稼動情報のフラグ（例えば、Ｓｔｏｐ１＝１）と、取得した搬送経路を構成する分岐装置の装置名（例えば、ＳＴ２）と装置名が一致する装置稼動情報のフラグ（例えば、Ｓｔｏｐ２＝１）とを取得する。さらに、これら２つの装置稼動情報のフラグを積算（例えば、Ｓｔｏｐ（Ｎｕｍ）＝Ｓｔｏｐ１×Ｓｔｏｐ２）する（ステップＳ１２）。

次に、取得した搬送経路を構成する分岐装置（例えば、装置名が「ＳＴ１」の分岐装置）から利用する搬送装置（例えば、装置名が「ＤＬ３」の搬送装置）を経由する搬送経路の評価値を次の評価式で計算する（ステップＳ１３）。

＜評価式＞
Ｈｙｏｕｋａ（Ｎｕｍ）＝（０．３＋２／（４＋１））×１×１＝０．７
次に、評価値計算部１４は、分岐カウンタを加算（例えば、Ｎｕｍ＝Ｎｕｍ＋１＝３）する（ステップＳ１４）。

次いで、評価値計算部１４は、分岐カウンタ（例えば、Ｎｕｍ＝３）と、ステップＳ４で取得した分岐数（例えば、Ｎｂｕｎｋｉ＝２）とを比較して、他の分岐を利用した搬送経路があるか否かを判断する（ステップＳ１５）。もし、分岐カウンタの方が分岐数よりも小さい場合には（ステップＳ１５での判断結果がＹＥＳである場合には（すなわち、Ｎｕｍ＝＜Ｎｂｕｎｋｉであれば））、他に分岐を利用した搬送経路があるので、ステップＳ６に戻り、前述の処理を繰り返す。

以上で、分岐カウンタの方が分岐数よりも小さいため、ステップＳ６からステップＳ１５を再び実施する手順についての説明を終了する。

一方、分岐カウンタの方が分岐数よりも大きい場合には（ステップＳ１５での判断結果がＮＯである場合には（すなわち、Ｎｕｍ＞Ｎｂｕｎｋｉであれば）、他の分岐を利用した搬送経路が無いことになり、次の処理はステップＳ１７となる。

搬送経路決定部１５は、ステップＳ１３で算出した複数の搬送経路の評価値（Ｈｙｏｕｋａ(Ｎｕｍ)）のうち、評価値が最も大きい搬送経路を選択する（ステップＳ１７）。このとき、評価値が０ではなく、かつ、同じ値である場合は、優先度が最も大きい搬送装置を経由する搬送経路を選択する。また、評価値がすべて０の場合は、搬送履歴情報（Ｒｅｒｅｋｉ（Ｎｕｍ））が１の搬送装置を経由する搬送経路を選択する。例えば、ここでは、評価値が３の搬送経路を選択することになり、搬送経路はＳＴ１→ＤＬ３→ＳＴ４である。

続いて、搬送経路決定部１５は、ステップＳ２で取得した装置名（例えば、ＳＴ１）が示す分岐装置の搬送履歴情報のフラグを０にする（ステップＳ１８）。このように、搬送履歴情報を０にすることで、搬送が後戻りすることを防止する。

次に、決定した搬送経路に従ってロットを搬送するように、搬送管理部１６が、ネットワーク２３を通じて、搬送装置２１または分岐装置２２に指示する（ステップＳ１９）。

もし、ステップＳ１９で指示された搬送を実施する過程において、ロットが、搬送先である分岐装置（例えば、装置名が「ＳＴ５」の分岐装置）２１または生産装置（例えば、装置名が「ＰＲ１０」の生産装置）２２に到達していなければ（ステップＳ２０での判断結果がＮＯである間は）、ステップＳ３に戻り、前述した手順と同様の手順で処理を実施する。

一方、ロットが搬送先である分岐装置（例えば、装置名が「ＳＴ５」の分岐装置）２１または生産装置（例えば、装置名が「ＰＲ１０」の生産装置）２２に到着すると（ステップＳ２０での判断結果がＹＥＳになると）、搬送装置２１または分岐装置２２は、ネットワーク２３を通じて、ロットが到着したことを搬送情報管理部１３に連絡する。そして、搬送情報管理部１３は、搬送物位置情報領域１１ｃに格納している搬送物情報５００の位置情報５０１の現在位置に、ロットが到着した装置（分岐装置２２または生産装置３０）の装置名を格納する（ステップＳ２１）。なお、到着した装置が生産装置３０である場合には、生産装置３０において所定の製造工程が実施される。

次いで、搬送情報管理部１３は、搬送物情報５００の搬送履歴情報５０２のフラグを、全ての分岐装置２２に関して、１にする（ステップＳ２２）。

続いて、ステップＳ１９で指示された搬送を実施する過程において、ロットが、搬送先である分岐装置（例えば、装置名が「ＳＴ５」の分岐装置）２２に到達していなければ（ステップＳ２３での判断結果がＮＯである間は）、生産装置（例えば、装置名が「ＰＲ１」の生産装置）から搬送先である分岐装置（例えば、装置名が「ＳＴ１」の分岐装置）へロットを搬送するために、ステップＳ３に戻り、前述した手順と同様の手順で処理を実施する。

その後、ロットが、搬送先である分岐装置（例えば、装置名が「ＳＴ５」の分岐装置）２２に到達すれば、（ステップＳ２３での判断結果がＹＥＳになれば）、１つの製造工程に関わる一連の搬送制御処理が終了する。

以上は半導体の製造工程における実施例を説明してきたが、本発明は半導体デバイスの製造に限定されず、例えば液晶デバイスなどの製造工程にも適用できる。また、この発明は上記実施の形態に限定されるものではなく、発明の要旨を変えない範囲で様々な形で実施可能である。

本発明の搬送制御装置の一実施形態およびこの搬送制御装置が接続された搬送システムのシステム構成の一例を示す説明図である。 図１に示す搬送装置、分岐装置および生産装置のレイアウトの一例を示す説明図である。 図１に示す搬送制御装置によって実施される搬送制御方法の一例を示すフローチャートである。 図１に示す搬送制御装置によって実施される搬送制御方法の一例を示すフローチャートである。 搬送物位置情報領域に格納されているロット単位の搬送物位置情報の詳細内容を示す説明図である。 分岐装置定義領域に格納されている分岐装置定義情報の詳細内容を示す説明図である。 図２のレイアウトにおける、ロットを搬送する装置の順番を、マトリックスで定義したテーブルの一例を示す説明図である。 搬送待機数情報領域に格納されている搬送待機情報の一例を示す説明図である。 搬送稼動情報領域に格納されている装置稼動情報の一例を示す説明図である。 図２のレイアウトにおける、ロットを搬送する装置の順番を、マトリックスで定義したテーブルの他の例を示す説明図である。

符号の説明

１０ 搬送制御装置
１１ データベース
１１ａ 分岐装置定義領域
１１ｂ 中継経路定義領域
１１ｃ 搬送物位置情報領域
１１ｄ 搬送待機数情報領域
１１ｅ 装置稼動情報領域
１２ 搬送先指示部
１３ 搬送情報管理部
１４ 評価値計算部
１５ 搬送経路決定部
１６ 装置管理部
２０ 搬送システム
２１ 搬送装置
２２ 分岐装置
２３ ネットワーク
３０ 生産装置

Claims (4)

1. 複数の搬送装置と、前記搬送装置間を接続する複数の分岐装置とを含む搬送システムに接続されており、搬送物を搬送する経路である搬送経路を選定する際に、この搬送経路を構成する搬送装置および分岐装置の選択に関する制御を行う搬送制御装置であって、
   各分岐装置内に含まれる複数の分岐それぞれに付されている分岐番号と、
   各分岐の優先度とを含む分岐情報を、分岐装置ごとに記憶する分岐情報記憶手段と、
   搬送装置および分岐装置の利用順をマトリックスで定義したテーブルを、搬送経路ごとに記憶する中継経路記憶手段と、
   搬送物の現在位置と搬送先とを示す情報を、搬送物ごとに記憶する位置情報記憶手段と、
   前記分岐情報記憶手段に記憶された情報と、前記中継経路記憶手段に記憶された情報と、前記位置情報記憶手段に記憶された情報とに基づいて、搬送物が到着した分岐装置から次に使用し得る分岐装置までのすべての搬送経路に関して評価値を計算する評価値計算手段と、
   前記評価値計算手段によって計算された評価値に基づき、１つの搬送経路を選定する搬送経路決定手段と、を備えることを特徴とする搬送制御装置。
2. 前記搬送装置によって搬送する搬送物の待機数を搬送装置ごとに記憶する搬送待機数記憶手段を備えており、前記評価値の計算に搬送物の待機数を変数として利用することを特徴とする請求項１に記載の搬送制御装置。
3. 前記搬送装置と前記分岐装置とを含む装置の稼動状態を示す装置稼動情報のフラグを装置ごとに記憶する装置稼動情報記憶手段を備えており、前記評価値の計算に装置稼動情報のフラグを変数として利用することを特徴とする請求項１または請求項２に記載の搬送制御装置。
4. 経由した前記搬送装置または前記分岐装置の履歴を示す搬送履歴情報のフラグを搬送物ごとに記憶する搬送履歴情報記憶手段を備えており、前記評価値の計算に搬送履歴情報のフラグを変数として利用することを特徴とする請求項１ないし請求項３のいずれかに記載の搬送制御装置。
   

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