JP5341248B1 - 加工検査装置におけるロットの処理順序管理システムおよび処理順序管理プログラム - Google Patents

Abstract

【課題】次段の工程を考慮し、処理を急ぐべきロットを優先する処理順序管理システムおよび処理順序管理プログラムを提供する。
【解決手段】処理順序管理システム１０の演算手段１１は、仕掛ロットテーブルＤ４において加工検査装置に関連付けられた各ロットを対象ロットとし、各対象ロットの次段加工検査装置を特定する。演算手段１１は、次段加工検査装置において、各対象ロットの処理開始予定時刻を特定する。演算手段１１は、各対象ロットの次段加工検査装置における処理開始予定時刻に基づき、仕掛ロットテーブルにおける各対象ロットの予定処理順位を変更する。
【選択図】図１

Description

本発明は、加工検査装置におけるロットの処理順序管理システムおよび処理順序管理プログラムに関する。

半導体の製造ライン等では、特定の順序で様々に異なる処理工程を要する多数のロットが並列的に製造される。また、同一の加工検査処理を実行できる加工検査装置が複数存在する場合もある。このため、各加工検査装置について、どのロットをどういう順序で処理すると全体の処理効率が最適となるかを決定するのは容易ではない。

このため、処理効率を向上させるために様々な技術が提案されている。たとえば特許文献１では、あるロットの処理を開始しようとする際に、そのロットと同時処理できる他のロットが処理中であるか否かを検索し、そのような他のロットが処理中であればその完了を待ってからまとめて同時に処理する（すなわちバッチを組む）という手法が記載されている。

特開平５−２１８１７７号公報

しかしながら、従来の技術では、次段の工程を考慮して処理を急ぐべきロットとそうでないロットとを区別することができないので、効率化に限界があるという問題があった。たとえば、特許文献１の技術では、処理を急ぐべきロットであるか否かに関わらず他のロットとバッチを組むことが優先されるので、結果的に全体の処理効率が落ちる場合がある。

この発明は、このような問題点を解決するためになされたものであり、次段の工程を考慮して処理を急ぐべきロットを優先する処理順序管理システムおよび処理順序管理プログラムを提供することを目的とする。

上述の問題点を解決するため、この発明に係る処理順序管理システムは、複数の加工検査装置について、各加工検査装置におけるロットの処理順序を管理する、処理順序管理システムであって、各ロットについて、そのロットを処理すべき加工検査装置の順序を表すトラベルフロー情報を記憶する機能と、各加工検査装置について、その加工検査装置によって処理されるべきロットの予定処理順位を表す仕掛ロットテーブルを記憶する機能と、各加工検査装置について、前記仕掛ロットテーブルにおいてその加工検査装置に関連付けられた各ロットを対象ロットとし、前記トラベルフロー情報に基づき、その対象ロットを処理すべき次の加工検査装置である次段加工検査装置を特定する機能と、各前記次段加工検査装置において、当該対象ロットの処理開始予定時刻を特定する機能と、各加工検査装置について、各対象ロットの次段加工検査装置の前記処理開始予定時刻に基づき、仕掛ロットテーブルにおける各対象ロットの予定処理順位を、処理を急ぐべきロットを優先するよう変更する機能とを備える。

前記トラベルフロー情報において、加工検査装置のそれぞれにレシピが関連付けられ、前記処理順序管理システムは、各加工検査装置における各ロットの処理について、処理時間を計測する機能と、各レシピについて、複数の前記処理時間の平均として平均処理時間を算出する機能とをさらに備え、前記処理開始予定時刻を特定する前記機能は、さらに前記平均処理時間に基づいて前記処理開始予定時刻を特定する機能であってもよい。
前記処理順序管理システムは、ロットの処理が開始されたことを示す加工検査開始信号を受信する機能と、ロットの処理が完了したことを示す加工検査完了信号を受信する機能と、を備え、前記処理時間を計測する前記機能は、当該処理に関して、加工検査開始信号を受信した時刻から加工検査完了信号を受信した時刻までの時間を計測する機能であってもよい。
前記処理順序管理システムは、各加工検査装置において、レシピを同じくする処理が連続して行われる場合に、前の処理に係る加工検査完了信号を受信した時刻から後の処理に係る加工検査開始信号を受信した時刻までの遊び時間を計測する機能と、各加工検査装置について、複数の前記遊び時間の平均として平均遊び時間を算出する機能とをさらに備え、前記処理開始予定時刻を特定する前記機能は、さらに前記平均遊び時間に基づいて前記処理開始予定時刻を特定する機能であってもよい。
前記処理順序管理システムは、各前記加工検査装置について、段取り変更作業に要する段取り変更作業予測時間を記憶する機能を備え、前記処理開始予定時刻を特定する前記機能は、当該次段加工検査装置が段取り変更作業を要するか否かを判定する機能と、当該次段加工検査装置が段取り変更作業を要すると判定された場合に、その次段加工検査装置が最後に処理を開始したロットである直前処理ロットの処理開始時刻または処理完了時刻と、その次段加工検査装置の前記段取り変更作業予測時間とに基づいて前記処理開始予定時刻を特定する機能と、当該次段加工検査装置が段取り変更作業を要しないと判定された場合に、前記直前処理ロットの処理開始時刻または処理完了時刻と、当該次段加工検査装置の仕掛ロットテーブルとに基づいて前記処理開始予定時刻を特定する機能と、を含んでもよい。
前記トラベルフロー情報において、加工検査装置のそれぞれにレシピが関連付けられ、次段加工検査装置が段取り変更作業を要するか否かを判定する前記機能は、その次段加工検査装置が最後に処理を開始したロットに係るレシピを表す現段レシピと、その次段加工検査装置における当該対象ロットに係るレシピを表す次段レシピとを比較する機能と、前記現段レシピと前記次段レシピとが一致する場合に、次段加工検査装置は段取り変更作業を要しないと判定する機能と、前記現段レシピと前記次段レシピとが一致しない場合に、次段加工検査装置は段取り変更作業を要すると判定する機能と、を含んでもよい。
前記処理順序管理システムは、各加工検査装置における各段取り変更作業について、段取り変更作業時間を計測する機能と、各加工検査装置について、複数の前記段取り変更作業時間の平均として前記段取り変更作業予測時間を算出する機能と、をさらに備えてもよい。
前記トラベルフロー情報において、加工検査装置のそれぞれにレシピが関連付けられ、前記処理順序管理システムは、ロットの処理が開始されたことを示す加工検査開始信号を受信する機能と、ロットの処理が完了したことを示す加工検査完了信号を受信する機能と、を備え、前記段取り変更作業時間を計測する前記機能は、レシピの異なる処理が連続して行われる場合において、前の処理に係る加工検査完了信号を受信した時刻から後の処理に係る加工検査開始信号を受信した時刻までの時間を計測する機能であってもよい。
前記仕掛ロットテーブルにおける各対象ロットの順位を変更する前記機能は、各予定処理順位について処理完了予定時刻を算出する機能と、各対象ロットについて、前記処理完了予定時刻と、その対象ロットの次段加工検査装置の前記処理開始予定時刻とに基づき、許容下限順位を決定する機能と、前記仕掛ロットテーブルにおける各対象ロットの順位を、前記許容下限順位が高い順に変更する機能とを含んでもよい。
前記許容下限順位は、処理完了予定時刻が次段加工検査装置の処理開始予定時刻以降となる順位のうち最高の順位であってもよい。

また、この発明に係る処理順序管理プログラムは、コンピュータを、上述の処理順序管理システムとして機能させる。

この発明に係る処理順序管理システムおよび処理順序管理プログラムによれば、各ロットの次段加工検査装置での処理開始時刻を考えて順位を変更するので、急ぐべきロットを優先することができ、全体の処理効率が向上する。

本発明の実施の形態１に係る処理順序管理システムを含む構成を示す図である。 図１のトラベルフロー情報の構成の例を示す図である。 図１の進捗情報の構成の例を示す図である。 図１のレシピ情報の構成の例を示す図である。 図１の仕掛ロットテーブルの構成の例を示す図である。 図１の装置状態テーブルの構成の例を示す図である。 図１のレシピ履歴テーブルの構成の例を示す図である。 図１の処理順序管理システムの処理の流れを示すフローチャートである。 図５の仕掛ロットテーブルから一部抜粋したものである。 図２のトラベルフロー情報および図３の進捗情報Ｄ２から一部抜粋したものである。 処理開始予定時刻をまとめた図である。

以下、この発明の実施の形態を添付図面に基づいて説明する。
実施の形態１．
図１に、本発明に係る処理順序管理システム１０を含む構成を示す。処理順序管理システム１０は、たとえば半導体の製造ラインに関連して設けられる。半導体の製造ラインは複数の工程モジュール２０を含み、工程モジュール２０はそれぞれ１つ以上の加工検査装置３０を備える。このように、複数の加工検査装置３０が製造ラインを構成する。

加工検査装置とは、対象となる物品（たとえば半導体）を加工する装置、または検査する装置のことであり、加工や検査に係らない装置（例えば配送装置や搬送装置）は含まない。また、加工装置の中には、例えば写真装置がある。写真装置は、ウエハにマスク上に描かれたパターンを焼き付ける。さらに、検査装置の中には、例えば膜厚測定などがある。
なお、製造される半導体の各ロットを処理する加工検査装置３０の組み合わせおよび処理順序は、ロットごとに異なる場合がある。

加工検査装置３０は、半導体のロットに対して加工検査を行う。加工検査装置３０はいずれも、加工検査のために投入されたロットのロット番号を認識する機能を有する。ロット番号の認識は周知技術を用いて適宜行われるが、たとえば、各ロットにＲＦＩＤタグを取り付けておき、加工検査装置３０に設けられたＲＦＩＤリーダがこれを読み取ることによってロット番号を認識することができる。

また、加工検査装置３０は、加工検査処理の開始および完了に応じて、加工検査開始信号Ｘ１および加工検査完了信号Ｘ２を生成し出力する機能を有する。
加工検査開始信号Ｘ１は、その加工検査装置３０が少なくとも１つのロットについて加工検査処理を開始したこと（あるいは加工検査処理を開始しようとしていること）を示す信号である。加工検査完了信号Ｘ２は、その加工検査装置３０が少なくとも１つのロットについて加工検査処理を完了したことを示す信号である。加工検査開始信号Ｘ１および加工検査完了信号Ｘ２は、いずれも、当該加工検査装置３０を特定する情報（たとえば装置番号）と、加工検査の対象となったロットのロット番号（複数ある場合にはロット番号のリスト）とを含む。

処理順序管理システム１０は、このような半導体の製造ラインに関連して設けられ、各加工検査装置３０におけるロットの処理順序を管理する。
処理順序管理システム１０は、周知のコンピュータとしての構成を有する。たとえば処理順序管理システム１０は、演算を行う演算手段１１と、情報を格納する記憶手段１２とを備える。演算手段１１はＣＰＵ（中央処理装置）を含み、記憶手段１２は半導体メモリおよびＨＤＤ（ハードディスクドライブ）等の記憶媒体を含む。また、とくに図示しないが、処理順序管理システム１０は、使用者が情報を入力するために用いる入力手段として入力装置を備える。この入力装置は、たとえばマウスやキーボード等である。また、処理順序管理システム１０は、使用者に対して情報を出力する出力手段として出力装置を備える。出力装置は、たとえば液晶ディスプレイ等の表示装置であるが、プリンタ等の印刷装置であってもよい。

処理順序管理システム１０において、演算手段１１が、記憶手段１２に記憶された処理順序管理プログラム（図示せず）を実行することにより、本明細書に記載される処理順序管理システム１０としての各機能を実現する。

処理順序管理システム１０と各加工検査装置３０とは、ＬＡＮ（ローカルエリアネットワーク）４０を介して互いに通信可能に接続される。とくに、加工検査装置３０は、ＬＡＮ４０を介して、加工検査開始信号Ｘ１および加工検査完了信号Ｘ２を他のコンピュータ（たとえば処理順序管理システム１０）に送信する機能を有する。

記憶手段１２は、トラベルフロー情報Ｄ１、進捗情報Ｄ２、レシピ情報Ｄ３、仕掛ロットテーブルＤ４、装置状態テーブルＤ５、およびレシピ履歴テーブルＤ６を記憶する。
図２は、トラベルフロー情報Ｄ１の構成の例を示す。トラベルフロー情報Ｄ１は、トラベルフローを識別するトラベルフロー番号と、そのトラベルフローにおける加工検査処理の内容とを関連付ける。なお、トラベルフロー番号は、進捗情報Ｄ２（図３に関連して後述）において各ロット番号に関連付けられる。

加工検査処理の内容は、工程数と、工程情報とを含む。
工程数は、そのトラベルフローにおける工程の数を表す。
工程情報は配列で表され、１つの工程について１つの要素が定義される。

工程情報の各要素は、処理段階、作業名称、工程コード、使用可能な加工検査装置、および、レシピＩＤを含む。
処理段階は、そのトラベルフローにおける処理の進捗段階を表す。
作業名称は、その工程の種類を表す名称であり、たとえば「ＷＥＴ」「写真」「拡散」「エッチャー」等の文字列が指定される。
工程コードは、その工程を一意に識別する情報である。
使用可能な加工検査装置は、その工程において使用可能な加工検査装置３０のリストである。リストに含まれる各加工検査装置は、装置番号によって一意に識別される。このように、トラベルフロー情報Ｄ１は、各ロットについて、そのロットを処理すべき加工検査装置の順序を表す情報であるということができる。
レシピＩＤは、そのロットに適用されるレシピを識別する情報であり、レシピ情報（図４、後述）のレシピＩＤに対応する。ここで、上述のようにレシピＩＤは処理段階ごとに定義されるので、加工検査装置のそれぞれにレシピが関連付けられることになる。なお、同じ加工検査装置が異なるトラベルフローに含まれる場合があり、また、同じトラベルフローの異なる工程に含まれる場合もあるが、そのような場合にはそれぞれ異なるレシピＩＤが関連付けられる場合もある。

トラベルフロー情報Ｄ１の内容は、随時更新可能である。たとえば、作業者は、毎日、加工検査装置を起動する前に、その日使用可能な加工検査装置を特定し、トラベルフロー情報Ｄ１の「使用可能な加工検査装置」を更新してもよい。

図３は、進捗情報Ｄ２の構成の例を示す。進捗情報Ｄ２は、ロット番号と、そのロットに対する加工検査処理の進捗状況とを関連付ける。進捗状況は、プライオリティ、トラベルフロー番号、処理条件情報、処理段階、作業名称および工程コードを含む。

ロット番号は、ロットを一意に識別する情報である。
プライオリティはそのロットの製造を急ぐべき優先度を表し、たとえば１であれば特急品に該当するロットであり、０であれば通常のロットである。
トラベルフロー番号は、トラベルフロー情報Ｄ１（図２）に定義されるトラベルフロー情報のうち、いずれがそのロットに対して適用されるかを表す。

処理条件情報は、処理条件を表す４つの項目として、バッチ条件ＩＤ、バッチ位置ＩＤ、バッチ維持ＩＤおよびマスク情報を含む。

バッチ条件ＩＤは英数字列であり、バッチ処理に関する処理条件を表す。バッチ処理とは、１つの加工検査装置によって同時に複数のロットを処理することを意味する。バッチ条件ＩＤは各工程における処理条件の相異を示すコードであり、複数のロットのバッチ条件ＩＤが一致する場合、それらのロットは同一の加工検査装置で同時に処理するのが効率的である。なお、そのようなバッチ処理を要しないロットについては、たとえばバッチ条件ＩＤは指定されず空欄となっている。

バッチ条件ＩＤは、たとえば次のように決定することができる。まず、あるロットについて、進捗情報Ｄ２を参照して、そのロット番号に対応するトラベルフロー番号および処理段階を取得する。そして、トラベルフロー番号および処理段階を用いてトラベルフロー情報Ｄ１を参照し、該当するトラベルフローにおける「取得した処理段階＋１番目」の工程に指定されるレシピＩＤを特定する。そして、このレシピＩＤを用いてレシピ情報Ｄ３を参照し、温度や、焼く時間等が同一であるロットを識別することができる。このようにして、レシピ情報におけるレシピＩＤ以外の全項目が同一であるロットのグループ（後述する図４の例では、項目Ｊ１およびＪ２がいずれも一致するロットのグループ）をまとめて、同じバッチ条件ＩＤ（たとえば４桁の数字）を付ける。

バッチ位置ＩＤは英数字列であり、拡散系において、同じ工程を複数回行うことがある時に、その中での位置を表す。拡散系とは、同時に処理するロットの組み合わせを決めて複数工程を連続して処理する必要があるトラベルフローを表し、非拡散系はそれ以外のトラベルフローを表す。例えばあるトラベルフロー情報が６００個の工程情報で構成されており、６００個の中に同じ工程が３個あり、３個の中で、１個目の工程なのか、２個目の工程なのか、３個目の工程なのかを表す。すなわち、バッチ位置ＩＤは、拡散系／非拡散系内での現進捗系先頭からの相対位置である。

バッチ位置ＩＤについても、トラベルフロー情報Ｄ１を参照して、たとえば２桁の数字を付ける。

バッチ維持ＩＤは英数字列であり、拡散系での維持すべきバッチの構成ロットを識別するコードである。バッチ維持ＩＤは、拡散系で、同時に処理することを予約したロットを判別するために使用する。

バッチ維持ＩＤについては、バッチ条件ＩＤおよびバッチ位置ＩＤがいずれも一致するロットのグループについて、加工検査装置でまとめて処理可能な個数（あらかじめ指定される数である）ごとに、同じ４桁の数字を付ける。（すなわち、このまとまりで、加工検査装置を使用することを予約する意味合いも含まれる。）
上述のようなバッチ条件ＩＤ、バッチ位置ＩＤおよびバッチ維持ＩＤを付与する作業は、作業員が行ってもよく、処理順序管理システム１０が行ってもよい。

マスク情報は、マスク処理に関する処理条件を表す。マスク処理はロットごとに異なる段取りを要するため、同一の工程に複数の加工検査装置が準備されている場合でも、特定のマスクに対応した加工検査装置は一部のみとなることがある。マスク情報は、そのロットに対応するマスクを特定する。複数のロットのマスク情報が一致する場合、それらのロットは同一の加工検査装置で同時に処理するのが効率的である。なお、そのようなマスク処理を要しないロットについては、たとえばマスク情報は指定されず空欄となっている。 なお、どの加工検査装置がどのマスクに対応するかという定義に合わせた加工検査装置（たとえば写真装置）側の設定は、工程が進む都度、設定し直される。また、バッチ条件やレシピ情報に合わせた加工検査装置側のパラメータの設定も、工程が進む都度、設定し直される。

処理段階は、トラベルフロー情報Ｄ１（図２）の処理段階に対応して、そのロットのトラベルフローにおける処理の進捗段階を表す。たとえば、トラベルフロー情報Ｄ１の工程情報に定義される工程のうち何番目のものまで完了したかを表す値が指定される。
作業名称および工程コードは、そのロットについて最後に処理を行った工程の作業名称および工程コードを表す。あるいは、作業名称および工程コードは、そのロットについて次に処理を行うべき工程の作業名称および工程コードを表してもよい。また、作業名称および工程コードは、トラベルフロー情報Ｄ１（図２）の作業名称および工程コードに対応している。

なお、進捗情報Ｄ２の内容は、そのロットの処理が進むにつれて更新される。たとえば、処理段階はそのロットの工程が進む都度、１だけ加算される。また、処理条件情報、作業名称、工程コード、監視終了工程、予告発報期間、保管期間およびステッパファイル名は、トラベルフロー情報Ｄ１（図２）やその他の情報を参照して随時更新される。

図４は、レシピ情報Ｄ３の構成の例を示す。レシピ情報Ｄ３は、レシピＩＤと、そのレシピＩＤが表すレシピの内容を関連付ける。レシピの内容は項目Ｊ１およびＪ２を含む。項目Ｊ１およびＪ２は、いずれも加工検査装置に設定されるパラメータである。たとえば項目Ｊ１はその加工検査装置における処理の温度を表す数値であり、項目Ｊ２はその加工検査装置における処理の時間（たとえばロットを焼く時間）を表す数値である。なお、温度や時間以外の項目が定義されてもよい。

図５は、仕掛ロットテーブルＤ４の構成の例を示す。仕掛ロットテーブルＤ４は、各加工検査装置について、その加工検査装置によって処理されるべきロットの予定処理順位を表す情報である。装置番号は、加工検査装置を一意に識別する英数字列であり、トラベルフロー情報Ｄ１（図２）の装置番号に対応する。仕掛ロットリストは、加工検査装置によって処理されるべき各ロットのロット番号を、優先順位の高い順に並べたものである。

図５の仕掛ロットテーブルＤ４の内容は、各加工検査装置の処理が進むにつれて更新される。たとえば、ある加工検査装置においてあるロットの処理が完了すると、その加工検査装置の仕掛ロットリストからそのロット番号が削除される。

ここで、異なる加工検査装置の仕掛ロットリストに、同一のロット番号が重複して含まれてもよい。たとえば、各ロットのロット番号は、将来において処理が予定されている複数の加工検査装置において、それらすべての仕掛ロットリストに重複して含まれてもよい。具体例として、あるロットがまずＡ装置によって処理され、次にＢ装置によって処理される予定である場合に、Ａ装置およびＢ装置双方の仕掛ロットリストにそのロットのロット番号が含まれてもよい。

図６は、装置状態テーブルＤ５の構成の例を示す。装置状態テーブルＤ５は、各加工検査装置について、前回の処理に関する情報と、今回の処理に関する情報と、時間に関する統計情報と、バッチ率を表す情報と、異常データを表す情報とを関連付ける。なお、図６では紙面の都合上３段に分けて記載しているが、実際には各加工検査装置の装置番号をキーとしてそれぞれ１行のデータが構成される。処理順序管理システム１０は、処理の進行に応じて随時装置状態テーブルＤ５を更新する。

装置番号は、加工検査装置３０を一意に識別する英数字列であり、トラベルフロー情報Ｄ１（図２）の装置番号に対応する。
前回の処理に関する情報は、前回の処理の開始時刻と、前回の処理の完了時刻と、前回の処理に係るレシピＩＤとを含む。同様に、今回の処理に関する情報は、今回の処理の開始時刻と、今回の処理の完了時刻と、今回の処理に係るレシピＩＤとを含む。ここで、「今回の処理」とは、たとえば最後に開始された処理を意味し、「前回の処理」とは、その直前の処理を意味する。したがって、今回の処理は完了している場合もあれば完了していない（すなわち処理が進行中である）場合もある。図６の例では、装置番号ＤＥＶＩＣＥ０１およびＤＥＶＩＣＥ０２については今回の処理が完了しており完了時刻が記録されているが、ＤＥＶＩＣＥ０３およびＤＥＶＩＣＥ０４については今回の処理が完了しておらず完了時刻は空欄となっている。

レシピＩＤはレシピ情報Ｄ３（図４）のレシピＩＤに対応する。なお、同一の加工検査装置が複数のレシピに対応して異なる加工検査処理を実行する能力を持つ場合があり、そのような加工検査装置については、前回の処理と今回の処理とでレシピＩＤが相違する場合がある。たとえば図６では装置番号ＤＥＶＩＣＥ０４を有する加工検査装置がこれに相当する。

時間に関する統計情報は、処理時間に関する統計情報と、段取り変更作業時間に関する統計情報と、遊び時間に関する統計情報とを含む。
処理時間に関する統計情報は、その加工検査装置において各加工検査処理に要した時間の平均値（平均処理時間）と、平均の対象となった加工検査処理の数を表す累積カウンタとを含む。図６の例では、装置番号ＤＥＶＩＣＥ０１を有する加工検査装置は、これまで５回の加工検査処理を完了しており、各加工検査処理に要した時間は平均して２０分である。

段取り変更作業時間に関する統計情報は、その加工検査装置において段取り変更作業に要した時間の平均値（平均段取り変更作業時間）と、平均の対象となった段取り変更作業の数を表す累積カウンタとを含む。「段取り変更作業」の意味は当業者に明らかであるが、たとえば、あるレシピに係る加工検査処理を完了した後、別のレシピに係る加工検査処理を開始するために構成または設定等を変更する作業を意味する。この段取り変更作業時間は、たとえばある処理が完了してからレシピの異なる別の処理が開始されるまでの時間として定義することができる。図６の例では、装置番号ＤＥＶＩＣＥ０４を有する加工検査装置において、「前回の処理」と「今回の処理」とでレシピＩＤが異なっており、前回の処理の完了時刻から今回の処理の開始時刻まで５０分を要しているので、この場合の段取り変更作業時間は５０分であったということができる。

遊び時間に関する統計情報は、その加工検査装置の遊び時間の平均値（平均遊び時間）と、平均の対象となった遊び時間の数を表す累積カウンタとを含む。「遊び時間」とは、加工検査処理を行っておらず、かつ段取り変更作業も行っていない時間を意味する。この遊び時間は、たとえばある処理が完了してから同じレシピの別の処理が開始されるまでの時間として定義することができる。図６の例では、装置番号ＤＥＶＩＣＥ０１を有する加工検査装置において、前回の処理と今回の処理とでレシピＩＤが同一であり、前回の処理の完了時刻から今回の処理の開始時刻まで１０分を要しているので、この場合の遊び時間は１０分であったということができる。

なお、時間の各平均値について、それぞれ所定のデフォルト値が定義されていてもよい。これらのデフォルト値は、平均値が求まらない場合（たとえば累積カウンタが０である場合）にのみ平均値として用いられ、平均値が求まる場合（たとえば累積カウンタが１以上である場合）には実際の平均値が用いられる。

また、時間の各平均値は、必ずしもすべての時間を要素として計算に用いるものではない。段取り変更作業時間および遊び時間について、平均値から大きく外れた時間のデータについては異常値として扱われ、平均の計算から除外される。たとえば、段取り変更作業時間または遊び時間のデータを取得した際に、その時点での対応する平均値の２倍よりも大きい値であれば、そのデータは異常値であるとみなしてもよい。このようにすると、定期メンテナンスや装置の故障等による遅延時間については計算から除外することができる。

時間の各平均値は、それまでの実績に基づく実測値であるが、将来の時間を予測する予測値と解釈することもできる。特定の加工検査装置に着目した場合に、段取り変更作業に要する時間に関して大きなばらつきがないと仮定すれば、平均段取り変更作業時間は、作業時間の予測値（段取り変更作業予測時間）として用いることも可能である。したがって、本実施形態では、平均段取り変更作業時間を段取り変更作業予測時間としても用いる。

バッチ率は、バッチとして処理されたものの比率を表す。バッチ率は、たとえば、それまでに処理が完了したロットのうちバッチとして処理されたものの数を、それまでに処理が完了したすべてのロットの数で除算した値として求めることができる。
異常データは、段取り変更作業時間および遊び時間について、平均の計算に用いられないデータ（異常値に係るデータ）を含む。形式はとくに示さないが、当業者であれば適宜設計可能である。

図７は、レシピ履歴テーブルＤ６の構成の例を示す。レシピ履歴テーブルＤ６は、レシピＩＤと、そのレシピＩＤに係る加工検査処理の処理時間の統計情報とを関連付ける。レシピＩＤは、レシピ情報Ｄ３（図４）のレシピＩＤに対応する。処理時間の統計情報は、装置状態テーブルＤ５（図６）におけるものと同様にして計算される。ただし、図６では平均値は加工検査装置ごとに計算されるが、図７ではレシピＩＤごとに計算される点が異なる。

以上のように構成される処理順序管理システム１０の動作を、以下に説明する。
図８は、処理順序管理システム１０の処理の流れを示すフローチャートである。処理順序管理システム１０の動作は、演算手段１１が加工検査開始信号Ｘ１を受信することに応じて開始される（ステップＳ１）。図８の処理は、加工検査開始信号Ｘ１を受信するごとに並列的に開始される。ステップＳ１〜Ｓ７およびＳ１４は、この加工検査開始信号Ｘ１を送信した加工検査装置３０について実行される処理であり、ステップＳ９〜Ｓ１３は、その加工検査装置３０の仕掛ロットリストにおけるロットごとに実行される処理である。

次に、演算手段１１は、加工検査開始信号Ｘ１の内容に応じて装置状態テーブルＤ５を更新する（ステップＳ２）。
このステップＳ２の処理は次のようになる。
まず、加工検査開始信号Ｘ１に含まれている装置番号を参照し、その装置番号に関連して装置状態テーブルＤ５に記録されていた「今回の処理」を表す情報を取得して「前回の処理」を表す情報として記録しなおす。また、加工検査開始信号Ｘ１を受信した時刻を今回の処理の開始時刻として記録する。さらに今回の処理に係るレシピＩＤを記録する。レシピＩＤは、たとえば加工検査開始信号Ｘ１に含まれるロット番号に基づき、進捗情報Ｄ２およびトラベルフロー情報Ｄ１を参照して取得することができる。

次に、今回の処理が開始されるまでの遊び時間または段取り変更作業時間を計測する。遊び時間は、レシピを同じくする処理が連続して行われる場合の、前回の処理の完了時刻から今回の処理の開始時刻までの時間として計測される。また、段取り変更作業時間は、レシピの異なる処理が連続して行われる場合（すなわち、段取り変更作業が発生した場合）の、前回の処理の完了時刻から今回の処理の開始時刻までの時間として計測される。

このように、遊び時間または段取り変更作業時間は、いずれも、今回の処理の開始時刻から前回の処理の完了時刻を減算することによって求められるが、求められた時間の値は、レシピが同一である場合には遊び時間として扱われ、レシピが異なる場合には段取り変更作業時間として扱われることになる。

そして、装置状態テーブルＤ５に記録されている当該加工検査装置の遊び時間または段取り変更作業時間の平均値と、計測した時間とを比較し、計測した時間が異常値であるか否かを判定する。異常値であれば、今回の処理に関する情報を当該加工検査装置の「異常データ」の項目に記録する。異常値でなければ、当該加工検査装置の遊び時間または段取り変更作業時間の平均値および累積カウンタを参照し、計測した処理時間に基づいて新たに平均値を計算する。たとえば、新たな平均値は、（［平均値］×［累積カウンタ］＋［計測した時間］）÷（［累積カウンタ］＋１）として求められる。その後、新たな平均値を遊び時間または段取り変更作業時間の平均値として記録し、累積カウンタを１だけ増加させる。

ステップＳ２の後、演算手段１１は、ステップＳ１で受信した加工検査開始信号Ｘ１と同一の装置番号に係る加工検査完了信号Ｘ２を受信するまで待機する。同一の装置番号に係る加工検査完了信号Ｘ２を受信すると（ステップＳ３）、受信した加工検査完了信号Ｘ２の内容に応じて装置状態テーブルＤ５を更新する（ステップＳ４）。

このステップＳ４の処理は次のようになる。
まず、加工検査完了信号Ｘ２を受信した時刻を今回の処理の完了時刻として記録する。次に、今回の処理に係る処理時間を計測する。この計測は、たとえばステップＳ１で加工検査開始信号Ｘ１を受信した時刻からステップＳ３で加工検査完了信号Ｘ２を受信した時刻までの時間を計測することにより、行うことができる。たとえば、今回の処理に関して、完了時刻から開始時刻を減算することによって求められる。そして、当該加工検査装置の処理時間の平均値および累積カウンタを参照し、計測した処理時間に基づいて新たに平均値を計算する。たとえば、新たな平均値は、（［平均値］×［累積カウンタ］＋［計測した処理時間］）÷（［累積カウンタ］＋１）として求められる。その後、新たな平均値を処理時間の平均値として記録し、累積カウンタを１だけ増加させる。

次に、演算手段１１は進捗情報Ｄ２を更新する（ステップＳ５）。すなわち、加工検査開始信号Ｘ１（または加工検査完了信号Ｘ２）に係るロット番号について、処理段階を１だけ進める。

次に、演算手段１１は仕掛ロットテーブルＤ４を更新する（ステップＳ６）。すなわち、加工検査開始信号Ｘ１（または加工検査完了信号Ｘ２）に係る装置番号の仕掛ロットリストから、該当するロット番号を消去し、残る各ロット番号の順位を繰り上げる。なお、この処理はステップＳ３より前に（すなわち加工検査開始信号Ｘ１を受信した時点で）実行されてもよい。

次に、演算手段１１はレシピ履歴テーブルＤ６を更新する（ステップＳ７）。すなわち、完了した処理に係るレシピのレシピＩＤについて記録された処理時間の平均値および累積カウンタを参照し、計測した処理時間に基づいて新たに平均値を計算する。たとえば、新たな平均値は、（［平均値］×［累積カウンタ］＋［計測した処理時間］）÷（［累積カウンタ］＋１）として求められる。その後、新たな平均値を処理時間の平均値として記録し、累積カウンタを１だけ増加させる。

この時点において、半導体の製造ラインにおける記憶手段１２に記憶されている各情報の内容が、図６、図７および図９に示すようになったとする。
図９は、動作の説明のために、仕掛ロットテーブルＤ４（図５）から、一部の加工検査装置の情報を一部抜粋したものである。図９には、装置番号ＤＥＶＩＣＥ０１〜ＤＥＶＩＣＥ０４に対応する合計４台の加工検査装置の仕掛ロットリストが示されている。たとえば、ＤＥＶＩＣＥ０１に対して、次の処理の対象となるロットとしてＬＯＴ１〜ＬＯＴ６の合計６ロットが記録されている。なお、ＤＥＶＩＣＥ０２〜ＤＥＶＩＣＥ０４については、仕掛ロットリストに図示したもの以外のロット番号が含まれていてもよい（以下で説明する動作には影響しない）。

この時点において、処理順序管理システム１０における現在時刻は１２：００であるとする。また、ステップＳ１で受信した加工検査開始信号Ｘ１およびステップＳ３で受信した加工検査完了信号Ｘ２は、いずれも装置番号ＤＥＶＩＣＥ０１に係るものであるとする。すなわち、装置番号ＤＥＶＩＣＥ０１の加工検査装置が、あるロットの処理を完了し、次のロットの処理の開始を待っているという状況である。

演算手段１１は、後続のステップＳ８〜Ｓ１４において、当該加工検査装置（この例ではＤＥＶＩＣＥ０１）の仕掛ロットリストにおける各ロットの予定処理順位を変更する。この処理について以下に説明する。

演算手段１１は、仕掛ロットテーブルＤ４において装置番号ＤＥＶＩＣＥ０１に関連付けられたロット（すなわちＬＯＴ１〜ＬＯＴ６）を順序変更の対象ロットとし、トラベルフロー情報Ｄ１に基づき、各対象ロットを処理すべき次の加工検査装置（次段加工検査装置）を特定する（ステップＳ８）。
たとえば図１０に示すように、ＬＯＴ１の次段加工検査装置はＤＥＶＩＣＥ０２として特定される。図１０は、動作の説明のために、トラベルフロー情報Ｄ１（図２）および進捗情報Ｄ２（図３）から、装置番号ＤＥＶＩＣＥ０１に対応する仕掛ロットリストに含まれるロットの情報を一部抜粋したものである。トラベルフロー情報Ｄ１を介して、各ロットについて、そのロットを処理すべき加工検査装置の順序が記憶されている。

図１０に示す情報は、たとえば次の手順によって取得することができる。
‐手順１：当該加工検査装置の装置番号についての仕掛ロットリストに含まれる各ロット番号を取得する。この例では装置番号はＤＥＶＩＣＥ０１であり、ロット番号は少なくともＬＯＴ１〜ＬＯＴ６を含む。
‐手順２：取得した各ロット番号について、進捗情報Ｄ２（図３）においてそのロット番号に関連付けられているトラベルフロー番号および処理段階を取得する。この例では、ＬＯＴ１はトラベルフロー番号ＴＦ１の処理段階４まで完了しており（したがって現在待機しているＤＥＶＩＣＥ０１は第５処理段階の加工検査装置であり）、ＬＯＴ２はトラベルフロー番号ＴＦ２の処理段階７まで完了している（したがって現在待機しているＤＥＶＩＣＥ０１は第８処理段階の加工検査装置である）。
‐手順３：取得した各トラベルフロー番号について、トラベルフロー情報Ｄ１（図２）においてそのトラベルフロー番号に関連付けられている工程情報（配列）の、手順２で取得した処理段階＋１番目の要素に含まれる「使用可能な加工検査装置」およびレシピＩＤを取得する。図１０ではこの情報を「現段」の列に表す。この例では、ＬＯＴ１に対してはＤＥＶＩＣＥ０１のみが使用可能であり、用いるべきレシピＩＤはＲｅｃｉｐ０１である。なお、ここで、「使用可能な加工検査装置」に当該加工検査装置が含まれない場合、すなわちその処理段階においてＤＥＶＩＣＥ０１が使用できない場合には、直ちに加工検査処理を開始できないので、順序変更の対象ロットとはならない（図１０にも示さない）。たとえば、あるロットＬＯＴ７が他の加工検査装置において処理中であり、したがってＤＥＶＩＣＥ０１において直ちに加工検査処理を開始できない場合、このロットＬＯＴ７がＤＥＶＩＣＥ０１の仕掛ロットリストに含まれていたとしても、ロットＬＯＴ０７は順序変更の対象ロットとはならない。
‐手順４：手順３と同様にして、工程情報（配列）における次の処理段階番目の要素に含まれる「使用可能な加工検査装置」およびレシピＩＤを取得する。図１０ではこの情報を「次段」以降の列に表す。この例では、ＬＯＴ１の第６処理段階に対してはＤＥＶＩＣＥ０２のみが使用可能であり、用いるべきレシピＩＤはＲｅｃｉｐ０２である。
なお、次々段の情報は以下の説明ではとくに使用しない。（したがって、図１０に相当するテーブルを演算手段１１が構築する場合には、次々段に関する情報については取得を省略してもよい。）

演算手段１１は、対象ロットのそれぞれについて、後続のステップＳ９〜Ｓ１１において、次段加工検査装置における処理開始予定時刻を特定する。処理開始予定時刻とは、たとえばその次段加工検査装置においてその対象ロットの加工検査処理の開始が可能となる時刻を意味する。
図１１は、各対象ロットについての処理開始予定時刻をまとめたものである。各時刻の具体的な特定方法は後に説明する。

演算手段１１は、次段加工検査装置が段取り変更作業を要するか否かを判定する（ステップＳ９）。この判定は、次段加工検査装置が最後に処理を開始したロットに係るレシピ（以下「現段レシピ」と呼ぶ）と、次段加工検査装置における考慮中の対象ロットに係るレシピ（以下「次段レシピ」と呼ぶ）とを比較することによって行われる。なお、現段レシピは、進行状況によって、装置状態テーブルＤ５の「前回の処理」に対応するレシピとなる場合もあれば、「今回の処理」に対応するレシピとなる場合もある。

たとえば、ロット番号ＬＯＴ１について、次段加工検査装置はＤＥＶＩＣＥ０２であるので、装置状態テーブルＤ５（図６）より次段加工検査装置の現段レシピはＲｅｃｉｐ０３である。また、ロット番号ＬＯＴ１について、図１０より次段レシピはＲｅｃｉｐ０２である。したがって、現段レシピと次段レシピとは一致しない。この場合には、次段加工検査装置は、異なるレシピに対応するために段取り変更作業を要すると判定される。なお、ここで「段取り変更作業を要する」とは、段取り変更作業がまだ開始されておらず今後開始されるべきであるという状態と、段取り変更作業がすでに開始され進行中である状態との双方を包含する。

一方、ロット番号ＬＯＴ２について、次段加工検査装置はＤＥＶＩＣＥ０３であるので、装置状態テーブルＤ５（図６）より次段加工検査装置の現段レシピはＲｅｃｉｐ０３である。また、ロット番号ＬＯＴ２について、図１０より次段レシピはＲｅｃｉｐ０３である。したがって、現段レシピと次段レシピとは一致する。この場合には、次段加工検査装置は段取り変更作業を要しないと判定される。

ステップＳ９において、次段加工検査装置が段取り変更作業を要すると判定された場合、演算手段１１は、装置状態テーブルＤ５を参照し、次段加工検査装置が最後に加工検査処理を開始したロット（以下「直前処理ロット」と呼ぶ）に係る処理の開始時刻または完了時刻と、次段加工検査装置の段取り変更作業予測時間とに基づいて、その対象ロットの次段加工検査装置における処理開始予定時刻を特定する（ステップＳ１０）。

対象ロットＬＯＴ１の場合、次段加工検査装置ＤＥＶＩＣＥ０２の直前処理ロットの完了時刻は１１：３０である。また、本実施形態では、平均段取り変更作業時間を段取り変更作業予測時間として用いるので、次段加工検査装置ＤＥＶＩＣＥ０２の段取り変更作業予測時間は１２０分である。処理開始予定時刻は、たとえばこれらを加算することによって求められ、１３：３０となる。

また、対象ロットＬＯＴ４についても、上述の対象ロットＬＯＴ１と同じく次段加工検査装置はＤＥＶＩＣＥ０２であるので、同様の計算が行われ、処理開始予定時刻は１３：３０となる。

なお、ＤＥＶＩＣＥ０２の例では直前処理ロットの処理完了時刻がすでに記録されているが、処理完了時刻がまだ記録されていない場合（すなわち直前処理ロットがまだ処理中である場合）には、処理開始時刻に平均処理時間を加算した値を処理完了時刻の代わりに用いることができる。

なお、次段加工検査装置が段取り変更を要すると判定された場合の、ロットの処理開始予定時刻の特定では、次段加工検査装置の直前処理ロットは考慮するが、処理開始予定時刻を特定するその他のロット（ステップＳ１〜Ｓ１４の一連の処理の中で、ステップＳ９〜Ｓ１３の対象となるその他のロット）については考慮せずに、処理開始予定時刻を特定する。これは、直前処理ロットと、処理開始予定時刻を特定するロットとの間に、同じ次段加工検査装置で処理される可能性のあるその他のロットの処理時間や段取り変更作業予測時間についてまで考慮しなくても、最終的にステップＳ１４で対象ロットの順位を変更するという目的に対しては、足りるからである。

ＬＯＴ４の処理開始予定時刻についてＬＯＴ１の処理時間を考慮していないのは、このような理由による。ただし、直前処理ロットと、処理開始予定時刻を特定するロットとの間に、同じ次段加工検査装置で処理される可能性のあるその他のロットの処理時間や段取り変更作業予測時間についても考慮して、ロットの処理開始予定時刻を特定してもよく、その際には、仕掛ロットテーブルの予定処理順位を考慮してもよいし、ロットとその他のロットとの間の段取り変更の有無について考慮してもよいし、進捗情報Ｄ２に記憶されたロットのプライオリティと、その他のロットとのプライオリティとを考慮してもよいし、その他の情報や条件を考慮してもよい。

ステップＳ９において、次段加工検査装置が段取り変更作業を要しないと判定された場合、演算手段１１は、直前処理ロットに係る処理の開始時刻または完了時刻と、直前処理ロットに係るレシピ（直前処理レシピ）の平均処理時間と、次段加工検査装置の平均遊び時間と、仕掛ロットテーブルＤ４において次段加工検査装置に関連付けられた仕掛ロットリストとに基づいて、その対象ロットの次段加工検査装置における処理開始予定時刻を特定する（ステップＳ１１）。

対象ロットＬＯＴ２の場合、次段加工検査装置ＤＥＶＩＣＥ０３の直前処理ロットの開始時刻は１１：３０である。また、レシピ履歴テーブルＤ６より直前処理ロットのレシピ（この例ではＲｅｃｉｐ０３）の平均処理時間は４５分であり、装置状態テーブルＤ５よりＤＥＶＩＣＥ０３の平均遊び時間は１５分である。処理開始予定時刻は、たとえばこれらを加算することによって求められ、１２：３０となる。

また、対象ロットＬＯＴ５は、次段加工検査装置ＤＥＶＩＣＥ０３において予定処理順位がＬＯＴ２の後となっているので、ＬＯＴ５の処理開始予定時刻はＬＯＴ２の処理時間も考慮して特定される。たとえば、ＬＯＴ２の処理開始予定時刻１２：３０に、ＬＯＴ２の処理に係るレシピ（現段レシピ）であるＲｅｃｉｐ０３の平均処理時間４５分と、次段加工検査装置ＤＥＶＩＣＥ０３の平均遊び時間１５分とを加算し、処理開始予定時刻は１３：３０となる。

なお、ＤＥＶＩＣＥ０３の例では直前処理ロットの処理完了時刻がまだ記録されていない（すなわち直前処理ロットがまだ処理中である）ため、処理開始時刻に平均処理時間を加算した値を処理完了時刻の代わりに用いたが、処理完了時刻がすでに記録されている場合には処理完了時刻を直接用いることができる。すなわち、処理完了時刻に次段加工検査装置の平均遊び時間を加算した時刻を処理開始予定時刻とすることができる。また、この場合において、処理開始予定時刻が現在時刻よりも過去である場合（すなわち、遊び時間が経過しているにも関わらず次の処理が開始されていない場合）には、現在時刻を処理開始予定時刻とする。

このようにして、ステップＳ９〜Ｓ１１において、対象ロットごとに次段加工検査装置の処理開始予定時刻が特定される。

次に、演算手段１１は、対象ロットのそれぞれについて、後続のステップＳ１２〜Ｓ１４において、次段加工検査装置における処理開始予定時刻に基づき、仕掛ロットテーブルＤ４における各対象ロットの予定処理順位を変更する。

演算手段１１は、ステップＳ１で受信した加工検査開始信号Ｘ１またはステップＳ３で受信した加工検査完了信号Ｘ２に係る装置番号（この例では装置番号ＤＥＶＩＣＥ０１）の仕掛ロットリストの各予定処理順位について、処理完了予定時刻を算出する（ステップＳ１２）。処理完了予定時刻は、最後の処理に係るレシピの平均処理時間と、その加工検査装置の平均遊び時間とに基づいて算出される。この例では、現在時刻が１２：００であり、最後の処理に係るレシピＩＤ（Ｒｅｃｉｐ０１）の平均処理時間が２０分であるので、第１番目の予定処理順位（ＬＯＴ１）に対応する処理完了予定時刻は１２：２０となる。また、ＤＥＶＩＣＥ０１の平均遊び時間が１０分であるので、第２番目の予定処理順位（ＬＯＴ２）に対応する処理が開始されると想定される時刻は１２：３０となり、処理完了予定時刻は１２：５０となる。この例では対象ロットが６個あるので、第６番目の予定処理順位まで同様の計算が行われる。
このようにして得られる各予定処理順位における処理完了時刻をまとめると次のようになる。
‐順位１ … １２：２０
‐順位２ … １２：５０
‐順位３ … １３：２０
‐順位４ … １３：５０
‐順位５ … １４：２０
‐順位６ … １４：５０

次に、演算手段１１は、処理完了予定時刻と、各対象ロットに対する次段加工検査装置の処理開始予定時刻とに基づき、許容下限順位を決定する（ステップＳ１３）。ここで、許容下限順位は、たとえば、処理完了予定時刻が次段加工検査装置の処理開始予定時刻以降となる順位のうちで最高の順位として決定される。図１１の例では、各対象ロットの許容下限順位は次のようになる。

‐ＬＯＴ１について、処理開始予定時刻は１３：３０である。完了予定時刻が１３：３０以降となるのは順位４〜６であるが、このうち最高の順位は４である。よってＬＯＴ１の許容下限順位は４となる。
‐ＬＯＴ２について、処理開始予定時刻は１２：３０である。完了予定時刻が１２：３０以降となるのは順位２〜６であるが、このうち最高の順位は２である。よってＬＯＴ２の許容下限順位は２となる。
‐ＬＯＴ３について、処理開始予定時刻は１２：１５である。完了予定時刻が１２：１５以降となるのは順位１〜６であるが、このうち最高の順位は１である。よってＬＯＴ３の許容下限順位は１となる。
‐ＬＯＴ４について、処理開始予定時刻は１３：３０である。完了予定時刻が１３：３０以降となるのは順位４〜６であるが、このうち最高の順位は４である。よってＬＯＴ４の許容下限順位は４となる。
‐ＬＯＴ５について、処理開始予定時刻は１３：３０である。完了予定時刻が１３：３０以降となるのは順位４〜６であるが、このうち最高の順位は４である。よってＬＯＴ５の許容下限順位は４となる。
‐ＬＯＴ６について、処理開始予定時刻は１３：１５である。完了予定時刻が１３：１５以降となるのは順位３〜６であるが、このうち最高の順位は３である。よってＬＯＴ６の許容下限順位は３となる。

ここで、図２のトラベルフロー情報Ｄ１に含まれる「使用可能な加工検査装置」に、複数の装置番号を含むリストが指定されている場合には、１つの対象ロットについて次段加工検査装置が複数存在し、それぞれについてステップＳ１０またはＳ１１で処理開始予定時刻が特定されることになる。このような場合には、ステップＳ１３の比較では、最も早い処理開始予定時刻を与える次段加工検査装置のみ考慮すればよい。

ここで、許容下限順位は、「それ以上急がせても効率的でない順位」であると表現することができる。たとえばＬＯＴ１は許容下限順位が４であるが、これ以上急がせて順位をたとえば３にした場合、処理が完了する時刻（１３：２０）から次段加工検査装置での処理が可能になる時刻（１３：３０）までに空き時間ができてしまい、全体の処理効率が低下する。処理完了予定時刻が次段加工検査装置の処理開始予定時刻以降となるように順位を決定することにより、このような空き時間を０にする（または低減する）ことができ、全体の効率が向上する。

次に、演算手段１１は、仕掛ロットテーブルＤ４における各対象ロットの順位を、許容下限順位が高い順に変更する（ステップＳ１４）。上記の例では、ＬＯＴ３の許容下限順位が１であり最も高いので、ＬＯＴ３が順位１となる。また、ＬＯＴ２が順位２となり、ＬＯＴ６が順位３となる。ＬＯＴ１、ＬＯＴ４およびＬＯＴ５は許容下限順位が等しいので、これらの間の順位は任意の基準を用いて決定することができる。

たとえば、許容下限順位が等しい場合には、次段加工検査装置の平均段取り変更作業時間が長い順に順位を決定してもよい。上記の例では、ＬＯＴ１およびＬＯＴ４の次段加工検査装置ＤＥＶＩＣＥ０２の平均段取り変更作業時間は１２０分であり、ＬＯＴ５の次段加工検査装置ＤＥＶＩＣＥ０３の平均段取り変更作業時間は３０分であるので、ＬＯＴ１およびＬＯＴ４がＬＯＴ５よりも優先される。

次段加工検査装置の平均段取り変更作業時間を参照しても順位が一意に決定できない場合には、現時点での順位に従って順位を決定してもよい。上記の例では、ＬＯＴ１は現在順位１であり、ＬＯＴ４は現在順位４であるので、ＬＯＴ１がＬＯＴ４よりも優先される。

以上のようにして、仕掛ロットテーブルＤ４において、加工検査装置ＤＥＶＩＣＥ０１に係る仕掛ロットリストは、順位の高い方から順に、ＬＯＴ３、ＬＯＴ２、ＬＯＴ６、ＬＯＴ１、ＬＯＴ４、ＬＯＴ５となる。

このようにして決定される新たな順位に基づく仕掛ロットリストは、作業員が閲覧するモニタ等の表示装置に表示されてもよい。表示装置は、たとえば、加工検査装置ごとに、その装置での処理が完了したロットが置かれる場所に設置することができる。このようにすると、作業員は、表示を見て順位を把握し、順位に従ってロットを搬送し次の加工検査装置に投入することができる。

このように、本発明の実施の形態１に係る処理順序管理システム１０によれば、次段の工程を考慮して処理を急ぐべきロットを優先することができるので、全体の処理効率が向上する。たとえば図１１に示す例では、ＬＯＴ３以外のロットを最優先で処理した場合に、そのロットの次段の処理が開始されるまでに空き時間ができてしまうが、ＬＯＴ３を最優先で処理した場合には、ＬＯＴ３の次段の処理を直ちに開始することができる。
本発明の思想は、次段の処理開始予定時刻に基づいて許容下限順位を決定することにより、「処理を急ぐ必要性が低いロットを探し出し、その優先度を下げる」ことにあるということもできる。

上述の実施の形態１において、次のような変形を施すことができる。
加工検査開始信号Ｘ１および加工検査完了信号Ｘ２は、加工検査装置３０以外から送信されてもよい。たとえば、作業者が特定の装置番号および特定のロット番号を指定し、加工検査開始信号または加工検査完了信号としての入力操作を処理順序管理システム１０に対して行ってもよい。この場合、加工検査開始信号および加工検査完了信号の送受信は、必ずしも加工検査装置３０における処理の開始および完了とは同期しなくともよい。

遊び時間および段取り変更作業時間の平均値は、計測された実績値のうち一部のみ（たとえば、異常値を除くすべての実績値）に基づいて計算されるものであるが、異常値であるか否かの判定を行わず、すべての実績値に基づいて計算されるものであってもよい。また、処理時間についても異常値を除外する処理を行ってもよい。

実施の形態１では平均段取り変更作業時間を段取り変更作業予測時間として用いたが、段取り変更作業予測時間は他の方法により取得されてもよい。たとえば、統計的手法によらず、処理順序管理システム１０の管理者が加工検査装置ごとに適切な段取り変更作業予測時間を入力してもよい。

ステップＳ１４において、他の情報を考慮して順位を決定してもよい。たとえば、許容下限順位が等しい場合に、図３の進捗情報Ｄ２のプライオリティを参照して最終的な順位を決定してもよい。

配列を含む構成（図２のトラベルフロー情報Ｄ１）は、実際には、複数のテーブルを用いて実現されていても構わない。

図２のトラベルフロー情報Ｄ１、図３の進捗情報Ｄ２および図４のレシピ情報Ｄ３は、ロット番号に基づいて最終的に各情報を取得できるものであれば、具体的構成は図示のものに限らない。
たとえば、実施の形態１では図２のトラベルフロー情報Ｄ１に含まれる「使用可能な加工検査装置」は、変形例として図４のレシピＩＤに関連付けられて定義されてもよい。この場合、ロット番号に基づいてトラベルフロー番号および処理段階を取得し、トラベルフロー番号および処理段階に基づいてレシピＩＤを取得し、レシピＩＤに基づいて使用可能な加工検査装置を取得することができる。

また、たとえば、図２のトラベルフロー情報Ｄ１の工程情報（配列）の中に、図３の進捗情報Ｄ２の内容を変更するタイミングに係る情報を保持してもよい。たとえば、バッチ条件ＩＤ、バッチ位置ＩＤ、バッチ維持ＩＤを変更するタイミングに係る情報を保持してもよい。この場合、工程情報（配列）の各要素について（すなわち処理段階ごとに）、項目「バッチ維持区間」を指定してもよい。バッチ維持区間は、たとえば「Ｓｔａｒｔ」「Ｂｅｔｗｅｅｎ」「Ｅｎｄ」等の値をとることができる。ロットの処理段階が進む際に、その処理段階のバッチ維持区間に「Ｓｔａｒｔ」が指定されている場合には、バッチ条件ＩＤ、バッチ位置ＩＤおよびバッチ維持ＩＤを採番して記憶する。また、その処理段階のバッチ維持区間に「Ｂｅｔｗｅｅｎ」が指定されている場合には、バッチ条件ＩＤ、バッチ位置ＩＤおよびバッチ維持ＩＤは変更しない。さらに、その処理段階のバッチ維持区間に「Ｅｎｄ」が指定されている場合には、バッチ条件ＩＤ、バッチ位置ＩＤおよびバッチ維持ＩＤの内容を削除する。
上述のような変形を施した場合においても、実施の形態１と同様に、図３の進捗情報Ｄ２は、ロットの工程が進む都度、最新のトラベルフロー情報Ｄ１やその他の情報を参照して更新される。

進捗情報Ｄ２の「プライオリティ」を順位の制御に用いてもよい。たとえば、まず特急品（プライオリティの値が１であるもの）だけについて本発明に従って順位を決定し、その後にそれ以降の順位において通常のロット（プライオリティの値が０であるもの）について本発明に従って順位を決定してもよい。

処理順序管理システム１０は、半導体関連以外の製造ラインに関連して設けられてもよく、また、製造ライン以外のなんらかの工程ラインに設けられてもよい。「加工検査装置」「トラベルフロー」「ロット」「レシピ」等の用語は、半導体以外の分野についても同様に適用可能である。また、このような用語がそのままでは用いられない分野の製造ラインであっても、対応する用語によって表される概念があれば本発明を適用することができる。

１０ 処理順序管理システム、１１ 演算手段、１２ 記憶手段、２０ 工程モジュール、３０ 加工検査装置、Ｄ１ トラベルフロー情報、Ｄ２ 進捗情報、Ｄ３ レシピ情報、Ｄ４ 仕掛ロットテーブル、Ｄ５ 装置状態テーブル、Ｄ６ レシピ履歴テーブル、Ｘ１ 加工検査開始信号、Ｘ２ 加工検査完了信号。

Claims (11)

1. 複数の加工検査装置について、各加工検査装置におけるロットの処理順序を管理する、処理順序管理システムであって、
   各ロットについて、そのロットを処理すべき加工検査装置の順序を表すトラベルフロー情報を記憶する機能と、
   各加工検査装置について、その加工検査装置によって処理されるべきロットの予定処理順位を表す仕掛ロットテーブルを記憶する機能と、
   各加工検査装置について、前記仕掛ロットテーブルにおいてその加工検査装置に関連付けられた各ロットを対象ロットとし、前記トラベルフロー情報に基づき、その対象ロットを処理すべき次の加工検査装置である次段加工検査装置を特定する機能と、
   各前記次段加工検査装置において、当該対象ロットの処理開始予定時刻を特定する機能と、
   各加工検査装置について、各対象ロットの次段加工検査装置の前記処理開始予定時刻に基づき、仕掛ロットテーブルにおける各対象ロットの予定処理順位を、処理を急ぐべきロットを優先するよう変更する機能と
   を備える、処理順序管理システム。
2. 前記トラベルフロー情報において、加工検査装置のそれぞれにレシピが関連付けられ、
   前記処理順序管理システムは、
   各加工検査装置における各ロットの処理について、処理時間を計測する機能と、
   各レシピについて、複数の前記処理時間の平均として平均処理時間を算出する機能と
   をさらに備え、
   前記処理開始予定時刻を特定する前記機能は、さらに前記平均処理時間に基づいて前記処理開始予定時刻を特定する機能である、請求項１に記載の処理順序管理システム。
3. 前記処理順序管理システムは、
   ロットの処理が開始されたことを示す加工検査開始信号を受信する機能と、
   ロットの処理が完了したことを示す加工検査完了信号を受信する機能と、
   を備え、
   前記処理時間を計測する前記機能は、当該処理に関して、加工検査開始信号を受信した時刻から加工検査完了信号を受信した時刻までの時間を計測する機能である、請求項２に記載の処理順序管理システム。
4. 前記処理順序管理システムは、
   各加工検査装置において、レシピを同じくする処理が連続して行われる場合に、前の処理に係る加工検査完了信号を受信した時刻から後の処理に係る加工検査開始信号を受信した時刻までの遊び時間を計測する機能と、
   各加工検査装置について、複数の前記遊び時間の平均として平均遊び時間を算出する機能と
   をさらに備え、
   前記処理開始予定時刻を特定する前記機能は、さらに前記平均遊び時間に基づいて前記処理開始予定時刻を特定する機能である、請求項３に記載の処理順序管理システム。
5. 前記処理順序管理システムは、各前記加工検査装置について、段取り変更作業に要する段取り変更作業予測時間を記憶する機能を備え、
   前記処理開始予定時刻を特定する前記機能は、
   当該次段加工検査装置が段取り変更作業を要するか否かを判定する機能と、
   当該次段加工検査装置が段取り変更作業を要すると判定された場合に、その次段加工検査装置が最後に処理を開始したロットである直前処理ロットの処理開始時刻または処理完了時刻と、その次段加工検査装置の前記段取り変更作業予測時間とに基づいて前記処理開始予定時刻を特定する機能と、
   当該次段加工検査装置が段取り変更作業を要しないと判定された場合に、前記直前処理ロットの処理開始時刻または処理完了時刻と、当該次段加工検査装置の仕掛ロットテーブルとに基づいて前記処理開始予定時刻を特定する機能と、
   を含む、請求項１〜４のいずれか一項に記載の処理順序管理システム。
6. 前記トラベルフロー情報において、加工検査装置のそれぞれにレシピが関連付けられ、
   次段加工検査装置が段取り変更作業を要するか否かを判定する前記機能は、
   その次段加工検査装置が最後に処理を開始したロットに係るレシピを表す現段レシピと、その次段加工検査装置における当該対象ロットに係るレシピを表す次段レシピとを比較する機能と、
   前記現段レシピと前記次段レシピとが一致する場合に、次段加工検査装置は段取り変更作業を要しないと判定する機能と、
   前記現段レシピと前記次段レシピとが一致しない場合に、次段加工検査装置は段取り変更作業を要すると判定する機能と、
   を含む、請求項５に記載の処理順序管理システム。
7. 前記処理順序管理システムは、
   各加工検査装置における各段取り変更作業について、段取り変更作業時間を計測する機能と、
   各加工検査装置について、複数の前記段取り変更作業時間の平均として前記段取り変更作業予測時間を算出する機能と、
   をさらに備える、請求項５または６に記載の処理順序管理システム。
8. 前記トラベルフロー情報において、加工検査装置のそれぞれにレシピが関連付けられ、
   前記処理順序管理システムは、
   ロットの処理が開始されたことを示す加工検査開始信号を受信する機能と、
   ロットの処理が完了したことを示す加工検査完了信号を受信する機能と、
   を備え、
   前記段取り変更作業時間を計測する前記機能は、レシピの異なる処理が連続して行われる場合において、前の処理に係る加工検査完了信号を受信した時刻から後の処理に係る加工検査開始信号を受信した時刻までの時間を計測する機能である、請求項７に記載の処理順序管理システム。
9. 前記仕掛ロットテーブルにおける各対象ロットの順位を変更する前記機能は、
   各予定処理順位について処理完了予定時刻を算出する機能と、
   各対象ロットについて、前記処理完了予定時刻と、その対象ロットの次段加工検査装置の前記処理開始予定時刻とに基づき、許容下限順位を決定する機能と、
   前記仕掛ロットテーブルにおける各対象ロットの順位を、前記許容下限順位が高い順に変更する機能と
   を含む、請求項１〜８のいずれか一項に記載の処理順序管理システム。
10. 前記許容下限順位は、処理完了予定時刻が次段加工検査装置の処理開始予定時刻以降となる順位のうち最高の順位である、請求項９に記載の処理順序管理システム。
11. コンピュータを、請求項１〜１０のいずれか一項に記載の処理順序管理システムとして機能させるための処理順序管理プログラム。

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