JP2008250826A - プロセス管理システム、プロセス管理方法及びプロセス管理プログラム - Google Patents

Abstract

【課題】多様なロットに対して複数のプロセスを実行する場合に、連続するロットの距離とサイズを考慮して処理の順番を決定するためのプロセス管理システム、プロセス管理方法及びプロセス管理プログラムを提供する。
【解決手段】ロット管理サーバ２０の制御部２１は、完成期限までの余裕度を算出し、この余裕度や要求レベルを用いて優先度を算出し、ロット属性データベース２５に記録する。制御部２１は、各ロットのプロセス実行前に、競合ロットを検索し、優先度を用いて優先ロットの有無を確認する。そして、判断対象ロットについて判断対象プロセスを実行した場合の終了時刻を予測する。更に、優先ロットの到着時刻を算出する。そして、優先ロットの到着時刻より判断対象プロセスの終了時刻が早い場合や、使用可能なリソースが残っている場合に、プロセス実行を許可する。
【選択図】図１

Description

本発明は、多様なロットに対して複数のプロセスを実行する場合に、処理の順番を決定するためのプロセス管理システム、プロセス管理方法及びプロセス管理プログラムに関する。

半導体製造プロセスにおいて、各半導体基板（ウエハ）に対して、複数の工程が順番に行なわれて素子や配線層が形成される。例えば、酸化・拡散工程、ＣＶＤ工程、リソグラフィ工程、エッチング工程、イオン注入工程、検査工程や測定工程等が予め定められた順番に従って行なわれる。処理すべきウエハは、複数枚（例えば２５枚）のロットごとにキャリアに収容されて各工程間を搬送される。

最近では、コンピュータと生産設備とをネットワークでリンクさせ、生産計画から生産工程までを一元的に管理する製造実行システム（ＭＥＳ：Manufacturing Execution System）が開発されている。

そして、生産ラインにおいて、同時期に複数のロットが処理される場合、ロット処理スケジューリングが行なわれている。このロット処理スケジューリングでは、どのプロセス装置に、どのタイミングで生産ロットを割り付けるかを、その時点での各プロセス装置の稼働状態をみて判断している。

そして、効率よい生産を行なうためのロット処理スケジューリングを行なう生産管理装置が検討されている（例えば、特許文献１参照。）。特許文献１に記載された技術では、生産指示管理手段は、生産ロットの優先度を含むロット情報と、生産情報通知手段から供給される製造手段の生産状況と、メンテナンス管理手段から供給されるメンテナンス情報に応じて生産指示情報を発生する。生産指示情報は生産着手指示手段に伝えられ、生産ロット保管手段で管理される生産ロットが出庫される。製造手段は、生産指示情報に応じた内容の製造処理を行ない、生産状況を表す状態情報が生産指示通知手段により出力される。メンテナンス管理手段は、製造手段の生産状況に応じてメンテナンス情報とメンテナンス指示情報を発生し、メンテナンス指示情報はメンテナンス情報通知手段に通知される。
特開平９−１９８５３号公報（第１頁）

特に、近年における半導体製造は、多品種変量生産といわれており、ロットサイズの変動が大きく、様々な品種が混合して、生産ラインに投入されている。この処理の優先順序の決定には、投入日時（時間帯、季節）、要求製造期日、要求レベル（特急品、通常品）、品種（プロセス数）、生産量（ロットサイズ、ウエハ枚数）、装置状況（稼働状況、定期保守）、他の生産品種状況等、多くの要素を考慮する必要がある。このように、その製品単独の要素だけではなく、様々な要因で生産期間が変動する。そして、プロセス装置の稼働率向上や最適化を目指しながら、連続するロットの距離（例えば、ロットを流す時間間隔）やサイズ（例えば、ロットに含まれるウエハ枚数）を考慮して多品種変量生産における最適な処理順序を決定する方法が模索されている。

しかし、特許文献１に記載の生産管理装置においては、優先度は考慮されているが、上述のような多様な要因は考慮されていない。特に、各ロットの優先度は状況によって変わるものである。従って、装置の稼働率や作業者の効率化を図る部分最適化は行なわれてい
るが、全体的な最適化になっていない。

また、半導体素子の生産ライン等には、多くのロットが供給されているため、全体を見渡してロット処理スケジューリングを行なうことは困難である。また、プロセス装置において故障が発生することがあり、故障保守や定期保守が必要である。この場合にも、ダイナミックにプロセスの順番を変更しなければならない場合もある。

本発明は、上記課題を解決するためになされたものであり、その目的は、多様なロットに対して、複数のプロセスを実行する場合に、連続するロットの距離とサイズを考慮して処理の順番を効率的に決定するためのプロセス管理システム、プロセス管理方法及びプロセス管理プログラムを提供することにある。

上記問題点を解決するために、請求項１に記載の発明は、ロット毎に優先度及びプロセスの順番を記録したロット管理データ記憶手段と、プロセスの実行可否を判断する制御手段とを備えたプロセス管理システムであって、前記制御手段が、判断対象ロットにおいて次に実行する次予定プロセスを特定する手段と、前記ロット管理データ記憶手段を用いて、他のロットの内で前記次予定プロセスを実行予定の競合ロットを特定する手段と、前記ロット管理データ記憶手段を用いて、前記競合ロットの中で前記判断対象ロットの優先度より高い優先度が付与された優先ロットを特定する手段と、前記優先ロットが、前記次予定プロセスに達する到着時刻を算出する手段と、前記判断対象ロットにおいて次予定プロセスの終了予定時刻を算出する手段と、前記判断対象ロットの終了予定時刻と前記優先ロットの到着時刻との比較に基づいて、前記判断対象ロットに対する次予定プロセスの実行可否の判断処理を行なう手段とを備えたことを要旨とする。

請求項２に記載の発明は、請求項１に記載のプロセス管理システムにおいて、前記実行可否の判断処理において、前記判断対象ロットの終了予定時刻よりも早い到着時刻の優先ロットが存在する場合には、前記判断対象ロットの次予定プロセスの実行を延期することを要旨とする。

請求項３に記載の発明は、請求項１又は２に記載のプロセス管理システムにおいて、前記制御手段が、各ロットにおける残りのプロセス数と判断期限とに基づいて前記優先度を算出することを要旨とする。

請求項４に記載の発明は、請求項１〜３のいずれか１つに記載のプロセス管理システムにおいて、前記制御手段が、前記次予定プロセスにおいて利用可能なリソース数を特定する手段と、前記次予定プロセスを先に実行させる優先ロット数を算出する手段とを更に備え、前記リソース数が前記優先ロット数より多い場合、前記判断対象ロットについて次予定プロセスの実行を許可することを要旨とする。

請求項５に記載の発明は、請求項１〜３のいずれか１つに記載のプロセス管理システムにおいて、前記実行可否の判断処理において、前記優先ロットを先に実行させた場合の前記次予定プロセスの終了予定時刻を算出し、前記優先ロットの終了予定時刻に基づいて、前記判断対象ロットの待機時間を算出し、前記優先ロットと前記判断対象ロットとの優先度の差分と、前記待機時間とに基づいて、前記判断対象ロットについて次予定プロセスの実行可否の判断処理を実行することを要旨とする。

請求項６に記載の発明は、ロット毎に優先度及びプロセスの順番を記録したロット管理データ記憶手段と、プロセスの実行可否を判断する制御手段とを備えたプロセス管理システムを用いてプロセスを管理する方法であって、前記制御手段が、判断対象ロットにおい
て次に実行する次予定プロセスを特定する段階と、前記ロット管理データ記憶手段を用いて、他のロットの内で前記次予定プロセスを実行予定の競合ロットを特定する段階と、前記ロット管理データ記憶手段を用いて、前記競合ロットの中で前記判断対象ロットの優先度より高い優先度が付与された優先ロットを特定する段階と、前記優先ロットが、前記次予定プロセスに達する到着時刻を算出する段階と、前記判断対象ロットにおいて次予定プロセスの終了予定時刻を算出する段階と、前記判断対象ロットの終了予定時刻と前記優先ロットの到着時刻との比較に基づいて、前記判断対象ロットに対する次予定プロセスの実行可否の判断処理を行なう段階とを実行することを要旨とする。

請求項７に記載の発明は、ロット毎に優先度及びプロセスの順番を記録したロット管理データ記憶手段と、プロセスの実行可否を判断する制御手段とを備えたプロセス管理システムを用いてプロセスを管理するプログラムであって、前記制御手段を、判断対象ロットにおいて次に実行する次予定プロセスを特定する手段と、前記ロット管理データ記憶手段を用いて、他のロットの内で前記次予定プロセスを実行予定の競合ロットを特定する手段と、前記ロット管理データ記憶手段を用いて、前記競合ロットの中で前記判断対象ロットの優先度より高い優先度が付与された優先ロットを特定する手段と、前記優先ロットが、前記次予定プロセスに達する到着時刻を算出する手段と、前記判断対象ロットにおいて次予定プロセスの終了予定時刻を算出する手段と、前記判断対象ロットの終了予定時刻と前記優先ロットの到着時刻との比較に基づいて、前記判断対象ロットに対する次予定プロセスの実行可否の判断処理を行なう手段として機能させることを要旨とする。

（作用）
請求項１、６又は７に記載の発明によれば、制御手段は、判断対象ロットにおいて次に実行する次予定プロセスを特定し、他のロットの内で次予定プロセスを実行予定の競合ロットを特定する。そして、競合ロットの中で判断対象ロットの優先度より高い優先度が付与された優先ロットを特定する。次に、優先ロットが、次予定プロセスに達する到着時刻を算出し、判断対象ロットにおいて次予定プロセスの終了予定時刻を算出する。そして、判断対象ロットの終了予定時刻と優先ロットの到着時刻との比較に基づいて、判断対象ロットに対する次予定プロセスの実行可否を判断する。これにより、連続するロットの距離とサイズを考慮して効率的な処理の順序を決定することができる。

請求項２に記載の発明によれば、制御手段は、判断対象ロットの終了予定時刻よりも早い到着時刻の優先ロットが存在する場合には、次予定プロセスの実行を延期する。これにより、優先ロットの先行実施を確保するとともに、状況に応じて優先ロットより先に判断対象ロットのプロセスを行なうことができる。

請求項３に記載の発明によれば、制御手段は、各ロットにおける残りのプロセス数と判断期限とに基づいて優先度を算出する。これにより、判断期限までの時間的余裕を考慮して、ダイナミックに優先度を決定することができる。

請求項４に記載の発明によれば、制御手段は、次予定プロセスにおいて利用可能なリソース数を特定し、次予定プロセスを先に実行させる優先ロット数を算出する。そして、リソース数が優先ロット数より多い場合には、判断対象ロットについて次予定プロセスの実行を許可する。これにより、複数のリソースがある場合にも的確に実行可否を判断することができる。

請求項５に記載の発明によれば、制御手段は、優先ロットを先に実行させた場合の次予定プロセスの終了予定時刻を算出する。そして、優先ロットの終了予定時刻に基づいて、判断対象ロットの待機時間を算出する。次に、優先ロットと判断対象ロットとの優先度の差分と、待機時間とに基づいて、判断対象ロットについて次予定プロセスの実行可否を判
断する。これにより、待機時間が長い場合には、優先ロットより先に判断対象ロットのプロセスを行ない、プロセスの稼働率を向上させることができる。

本発明によれば、多様なロットに対して、複数のプロセスを実行する場合に、連続するロットの距離とサイズを考慮して処理の順番を効率的に決定することができる。

以下、本発明を具体化した一実施形態を、図１〜図１０を用いて説明する。本実施形態では、図１に示すように、半導体素子の製造ラインにおけるプロセス装置３０を用いて処理を行なう順番を決定するためのプロセス管理システム、プロセス管理方法及びプロセス管理プログラムとして説明する。本実施形態では、製造プロセスの実行支援のためにプロセスの実行順番を決定するためのプロセス管理システムとしてロット管理サーバ２０を用いる。このロット管理サーバ２０は、ネットワークを介して、製造ラインにおけるプロセス装置３０と通信を行なう。このプロセス装置３０には、半導体製造装置（加熱装置、成膜装置、リソグラフィ装置、エッチング装置等）やロット保管装置（ストッカ）が含まれる。

更に、ロット管理サーバ２０は、担当者端末４０との間で通信を行なう。この担当者端末４０は、キーボードやポインティングデバイス等から構成された入力手段や、ディスプレイ等から構成された出力手段を備える。この担当者端末４０は、プロセス管理者がプロセスの進捗状況を監視するために用いる。

ロット管理サーバ２０は、プロセス装置３０からデータを収集し、製造プロセスの実行支援を行なうコンピュータシステムである。このロット管理サーバ２０は、ＣＰＵ、ＲＡＭ、ＲＯＭ等から構成された制御手段としての制御部２１を備える。この制御部２１は、後述する処理（次予定プロセス特定段階、競合ロット特定段階、優先ロット特定段階、到着時刻算出段階、終了予定時刻算出段階、実行可否判断処理段階等の各処理）を実行する。そして、制御部２１は、優先度管理手段２１１、プロセス実行管理手段２１２、プロセス所要時間算出手段２１３、到着時刻算出手段２１４及びロット管理手段２１５として機能する。

優先度管理手段２１１は、所定のタイミングで各ロットの優先度を決定し、ロット属性データベース２５に記録する機能を実現する。この優先度管理手段２１１は、残り時間が少ない場合にアラームの出力を行なうための基準値を保持している。また、優先度管理手段２１１は、後述する余裕度や要求レベルをパラメータとして用いることにより優先度を計算するための優先度算出関数を保持している。この優先度算出関数は、余裕度が小さいほど、また要求レベルが高いほど、高い優先度を算出するように構成されている。

プロセス実行管理手段２１２は、次予定プロセスを特定する手段、競合ロットを特定する手段、優先ロットを特定する手段、終了予定時刻を算出する手段、次予定プロセスの実行可否の判断処理を行なう手段としての機能を実現する。このプロセス実行管理手段２１２は、先にプロセスを行なう優先ロット数をカウントアップするためのメモリを備えている。

プロセス所要時間算出手段２１３は、プロセス実行管理手段２１２からの指示に応じて、所定のロットにおけるプロセスの所要時間を算出する機能を実現する。
到着時刻算出手段２１４は、プロセス実行管理手段２１２からの指示に応じて、優先ロットが所定のプロセス装置３０に到着する時刻を算出する機能を実現する。

ロット管理手段２１５は、ロット毎に、プロセスの進捗状況を管理する機能を実現する。このロット管理手段２１５は、各ロット（監視対象ロット）のロット識別子毎にロット管理エージェント（エージェントプログラム）を備えている。このロット管理エージェントを用いて、各ロットの状態情報を取得し、進捗に変化があった場合には各データベースに記録されたデータを更新する。

更に、ロット管理サーバ２０は、処理時間管理データベース２２、搬送時間管理データベース２３、装置状況データベース２４、ロット属性データベース２５及び工程管理表データベース２６を備える。ここで、ロット属性データベース２５及び工程管理表データベース２６が、ロット管理データ記憶手段として機能する。

処理時間管理データベース２２は、図２に示すように、半導体素子の製造プロセスに必要な所要時間を算出するためのプロセス時間管理データ２２０が記録される。このプロセス時間管理データ２２０は、各プロセスにおける所要時間を評価した場合に登録される。このプロセス時間管理データ２２０は、プロセスコード、装置コード、プロセス条件に対して、プロセス所要時間算出テーブル、所要時間概算値に関するデータを含んで構成されている。

プロセスコードデータ領域には、各プロセスを特定するための識別子に関するデータが記録されている。
装置コードデータ領域には、このプロセスに用いられるプロセス装置を特定するための識別子に関するデータが記録されている。

プロセス条件データ領域には、このプロセス装置において利用されるプロセス条件（例えばプロセス温度等のようにプロセスを実行する条件）を特定するためのデータが記録されている。

プロセス所要時間算出テーブルデータ領域には、このプロセス装置におけるプロセス条件に対応させてプロセスを実行した場合に要する単位所要時間に関するデータが記録されている。更に、プロセス所要時間算出テーブルには、各ロットについて処理を行なう場合の前処理や後処理の所要時間に関するデータも含まれる。このような単位所要時間や、前処理や後処理の所要時間を用いることにより、各ロットにおけるプロセス所要時間を算出することができる。

所要時間概算値データ領域には、このプロセス装置におけるプロセス条件に対応させてプロセスを実行する場合に必要な概算時間に関するデータが記録されている。この所要時間概算値には、このプロセスを実行可能な状態になってから、プロセスを終了するまでの所要時間を測定し、その統計値に関するデータが記録される。この所要時間概算値は、半導体素子を完成させるために必要な残りのプロセスに要する期間を算出する場合に用いられる。

搬送時間管理データベース２３には、図３に示すように、ロットを装置間で移動させるために必要な所要時間を算出するための搬送時間管理レコード２３０が記録されている。この搬送時間管理レコード２３０は、装置間を移動させるための搬送時間を算出した場合に登録される。この搬送時間管理レコード２３０は、搬送元コード、搬送先コードに対して、搬送所要時間に関するデータを含んで構成されている。

搬送元コードデータ領域には、搬送の出発地となるプロセス装置３０を特定するための識別子に関するデータが記録されている。
搬送先コードデータ領域には、搬送の目的地となるプロセス装置３０を特定するための
識別子に関するデータが記録されている。
搬送所要時間データ領域には、搬送元から搬送先まで、ロットを移動させるために必要な所要時間に関するデータが記録されている。

装置状況データベース２４には、図４に示すように、各プロセス装置の使用状況を特定するための装置状況レコード２４０が記録される。この装置状況レコード２４０は、装置の使用状況が変化した場合に逐次、更新記録される。この装置状況レコード２４０は、プロセスコード、装置コードに対して、ロット識別子及びプロセス開始時刻に関するデータを含んで構成される。

プロセスコードデータ領域には、各プロセスを特定するための識別子に関するデータが記録される。
装置コードデータ領域には、このプロセスに用いられる各プロセス装置３０を特定するための識別子に関するデータが記録される。

ロット識別子データ領域には、このプロセス装置において、現在、処理が行なわれているロットを特定するための識別子に関するデータが記録される。
プロセス開始時刻データ領域には、このロットについてのプロセスを開始した時刻に関するデータが記録される。

なお、このプロセス装置３０におけるプロセスが終了した場合には、ロット識別子及びプロセス開始時刻の各データ領域に記録されたデータは削除される。これにより、これらのデータ領域が空欄となっている装置状況レコード２４０を用いることにより、使用されていないプロセス装置３０を特定することができる。

ロット属性データベース２５には、図５に示すように、各ロットを管理するためのロット属性レコード２５０が記録される。このロット属性レコード２５０は、半導体素子を製造するロットを決定したときに登録される。そして、製造工程が進捗した場合に更新記録される。このロット属性レコード２５０は、ロット識別子に対して、枚数、要求レベル、投入日時、完成期限、ステータス、優先度に関するデータを含んで構成される。

ロット識別子データ領域には、各ロットを特定するための識別子に関するデータが記録される。
枚数データ領域には、このロットを構成するウエハの枚数に関するデータが記録される。この枚数を用いることによって、プロセス所要時間を算出することができる。

要求レベルデータ領域には、各ロットの要求レベルを特定するためのデータが記録される。この要求レベルは、このロットの性格（例えば、緊急度、困難性）に応じたレベルが設定される。

投入日時データ領域には、このロットを製造ラインに投入した日時に関するデータが記録される。
完成期限データ領域には、このロットの半導体素子を完成する期限日（判断期限）に関するデータが記録される。本実施形態では、現在から判断期限までの期間の長さを用いて優先度を決定する。

ステータスデータ領域には、各ロットの進捗状況を特定するためのデータが記録される。具体的には、プロセス実行中の場合には、プロセスを行なっている装置コード、保管中の場合には保存場所を特定するためのストッカコードに関するデータが記録される。
優先度データ領域には、このロットについて算出された優先度に関するデータが記録さ
れる。

工程管理表データベース２６には、図６に示すように、各ロットにおいて、半導体素子の完成に至るまでに利用されるプロセスについての工程管理テーブル２６０が記録される。この工程管理テーブル２６０は、半導体素子を製造するロットの製造工程を決定した場合に登録され、製造工程が進捗した場合に更新記録される。この工程管理テーブル２６０は、ロット識別子、順番に対して、プロセス識別子、プロセス条件、完了日に関するデータを含んで構成される。

ロット識別子データ領域には、各ロットを特定するための識別子に関するデータが記録される。
順番データ領域には、このロットの半導体素子の製造工程における各プロセスの順番を特定するための識別子に関するデータが記録される。

プロセス識別子データ領域には、このロットの半導体素子の製造工程における各プロセスを特定するための識別子に関するデータが記録される。
プロセス条件データ領域には、この製造工程におけるプロセスを実行する場合のプロセス条件に関するデータが記録される。このプロセス識別子及びプロセス条件を用いることにより、処理時間管理データベース２２においてプロセス時間管理データ２２０を特定して、プロセスの単位所要時間を取得することができる。

完了日データ領域には、このプロセスを完了した日付に関するデータが記録される。まだ終了していないプロセスについては、「未」フラグが記録されている。そして、この完了日の記録の有無により工程の進捗を把握することができる。

このように構成されたシステムを用いて行なう処理を、図７〜図１０に従って説明する。本実施形態では、優先度算出処理（図７）、プロセス実行可否判断処理（図８）、優先調整処理（図９）、到着時刻算出処理（図１０）の順番に説明する。

（優先度算出処理）
まず、優先度算出処理について、図７を用いて説明する。この算出処理は、所定のタイミングでロット毎に実行される。このため、ロット管理サーバ２０の制御部２１は、工程管理表データベース２６を用いて、まだ製造工程を終了していないロットを、順次、優先度算出処理の計算対象ロットとして特定し、各計算対象ロットのロット識別子を取得して、以下の処理を実行する。

まず、ロット管理サーバ２０の制御部２１は、計算対象ロットについて、残りのプロセスに関する所要期間の算出処理を実行する（ステップＳ１−１）。具体的には、制御部２１の優先度管理手段２１１は、工程管理表データベース２６から、計算対象ロットのロット識別子についての工程管理テーブル２６０を特定する。そして、優先度管理手段２１１は、この工程管理テーブル２６０において、半導体素子の完成までの製造工程において残っているプロセスを特定する。具体的には、優先度管理手段２１１は、工程管理テーブル２６０において「未」フラグが記録されているプロセスのプロセス識別子を抽出する。

そして、優先度管理手段２１１は、抽出したプロセス識別子についての所要時間概算値を、処理時間管理データベース２２から取得する。次に、優先度管理手段２１１は、取得した所要時間概算値を合計することにより、計算対象ロットの残り工程所要時間を算出する。

次に、ロット管理サーバ２０の制御部２１は、計算対象ロットについて、完成期限まで
の余裕度の算出処理を実行する（ステップＳ１−２）。具体的には、制御部２１の優先度管理手段２１１は、ロット管理サーバ２０に内蔵されたシステムタイマから現在日付を取得する。そして、優先度管理手段２１１は、ロット属性レコード２５０に記録された完成期限と現在日付との差分を算出し、この差分からプロセスに利用可能な余裕時間を算出する。次に、優先度管理手段２１１は、余裕時間から残り工程所要時間を差し引いた値（余裕度）を算出する。

次に、ロット管理サーバ２０の制御部２１は、計算対象ロットについて、余裕度と基準値との比較処理を実行する（ステップＳ１−３）。具体的には、制御部２１の優先度管理手段２１１は、保持している基準値と余裕度とを比較する。この余裕度が基準値より低い場合（ステップＳ１−３において「ＹＥＳ」の場合）には、ロット管理サーバ２０の制御部２１は、アラーム出力処理を実行する（ステップＳ１−４）。具体的には、制御部２１の優先度管理手段２１１は、担当者端末４０に対して、完成期限が迫っていることを示すアラームを出力する。このアラームには、ロット識別子に関する情報を含める。これにより、プロセス管理者は問題があるロットを把握し、対策を検討する。

一方、この余裕度が基準値以上の場合（ステップＳ１−３において「ＮＯ」の場合）には、ロット管理サーバ２０の制御部２１は、計算対象ロットについて優先度の算出処理を実行する（ステップＳ１−５）。具体的には、制御部２１の優先度管理手段２１１は、計算対象ロットのロット属性レコード２５０に記録された要求レベルを取得する。そして、優先度管理手段２１１は、算出した余裕度及び要求レベルを優先度算出関数に適用して優先度を算出する。

そして、ロット管理サーバ２０の制御部２１は、計算対象ロットの優先度の記録処理を実行する（ステップＳ１−６）。具体的には、制御部２１の優先度管理手段２１１は、算出した優先度を、ロット属性データベース２５のロット属性レコード２５０に記録する。

以上の処理を、まだ製造工程を終了していないすべてのロットについて繰り返す。このような処理により、完成期限が近づいているロットや、要求レベルが高いロットには高い優先度が付与されることになる。

（プロセス実行可否判断処理）
次に、プロセス実行可否判断処理について図８を用いて説明する。この処理は、各ロットがプロセスを終了し、次のプロセスを実行する直前に行なわれる。具体的には、ロット管理サーバ２０の制御部２１は、ロット管理手段２１５のロット管理エージェントを用いて、各ロットの進捗状況を監視させる。そして、ロット管理エージェントが、監視対象ロットについて現行プロセスの終了を検知した場合、終了したプロセスについて、使用したプロセス装置の装置状況データベース２４の装置状況レコード２４０を更新する。そして、ロット管理エージェントは、ロット属性データベース２５に記録されているロット属性レコード２５０のステータスを変更する。更に、ロット管理エージェントは、工程管理表データベース２６において、監視対象ロットについての工程管理テーブル２６０に、終了したプロセスに関連付けて完了日を記録する。

次に、ロット管理手段２１５のロット管理エージェントは、工程管理表データベース２６に記録された工程管理テーブル２６０を用いて、次に実行予定のプロセスを特定する。そして、ロット管理エージェントは、装置状況データベース２４を用いて、このプロセスにおいて利用可能なプロセス装置３０を検索する。ここで、このプロセスのプロセス装置３０がすべて使用中の場合には、プロセス装置３０が空くまで待機する。一方、空いているプロセス装置３０がある場合や、プロセス装置３０に空きが出た場合には、ロット管理エージェントは、プロセス実行管理手段２１２に対してプロセス可否判断要求を通知する
。このプロセス可否判断要求には、ロット識別子及び次に実行予定のプロセスのプロセス識別子に関するデータを含める。

この場合、ロット管理サーバ２０の制御部２１は、このロット（判断対象ロット）において次に実行予定の次予定プロセス（判断対象プロセス）の特定処理を実行する（ステップＳ２−１）。本実施形態では、制御部２１のプロセス実行管理手段２１２は、ロット管理エージェントから取得したプロセス識別子により判断対象プロセスを特定する。

次に、ロット管理サーバ２０の制御部２１は、競合ロットの検索処理を実行する（ステップＳ２−２）。ここで、「競合ロット」とは、判断対象プロセスを実行する予定がある他のロットを意味しており、本実施形態では、現行プロセスの直後に判断対象プロセスを実行する予定がある他のロットを意味する。具体的には、まず、制御部２１のプロセス実行管理手段２１２は、工程管理表データベース２６において、判断対象プロセスのプロセス識別子が記録された他のロットの工程管理テーブル２６０を検索する。更に、この工程管理テーブル２６０に記録された未処理のプロセスの中で、判断対象プロセスのプロセス識別子の順番が先頭に記録されているロット（競合ロット）を検索する。

そして、競合ロットが存在する場合（ステップＳ２−３において「ＹＥＳ」の場合）、ロット管理サーバ２０の制御部２１は、各ロットの優先度の取得処理を実行する（ステップＳ２−４）。具体的には、制御部２１のプロセス実行管理手段２１２は、判断対象ロットのロット識別子及び競合ロットのロット識別子を用いて、ロット属性データベース２５に記録されたロット属性レコード２５０を抽出する。そして、プロセス実行管理手段２１２は、抽出したロットのロット属性レコード２５０に記録された優先度を取得する。ここで、複数の競合ロットが存在する場合には、すべての競合ロットの優先度を取得する。

次に、ロット管理サーバ２０の制御部２１は、優先ロットの有無の確認処理を実行する（ステップＳ２−５）。具体的には、制御部２１のプロセス実行管理手段２１２は、判断対象ロットの優先度と競合ロットの優先度とを比較する。そして、プロセス実行管理手段２１２は、判断対象ロットの優先度より高い優先度が付与された競合ロットを優先ロットとして特定する。

ここで、競合ロットの内で、少なくとも１つ以上の優先ロットが存在する場合（ステップＳ２−５において「ＹＥＳ」の場合）、ロット管理サーバ２０の制御部２１は、後述する優先調整処理を実行する（ステップＳ２−６）。

一方、競合ロットが存在しない場合（ステップＳ２−３において「ＮＯ」の場合）や、優先ロットが存在しない場合（ステップＳ２−５において「ＮＯ」の場合）には、ロット管理サーバ２０の制御部２１は、プロセス実行許可処理を行なう（ステップＳ２−７）。具体的には、制御部２１のプロセス実行管理手段２１２は、判断対象ロットのロット管理エージェントに対して、プロセス実行の許可通知を行なう。

この場合、ロット管理手段２１５のロット管理エージェントは、監視対象ロットのロット識別子を装置状況レコード２４０に記録する。そして、ロット管理エージェントは、ロット属性データベース２５に記録されているロット属性レコード２５０のステータスを変更する。更に、ロット管理エージェントは、このプロセス装置３０においてプロセスを実行するための指示（搬送指示やプロセス実行指示）を行なう。

（優先調整処理）
次に、前述したステップＳ２−６の優先調整処理について、図９を用いて説明する。
この処理においては、まず、ロット管理サーバ２０の制御部２１は、判断対象ロットに
ついて判断対象プロセスを実行した場合の終了時刻の予測処理を実行する（ステップＳ３−１）。具体的には、制御部２１のプロセス実行管理手段２１２は、プロセス所要時間算出手段２１３に対して、判断対象ロットのプロセス終了時刻の算出指示を行なう。この算出指示には、判断対象ロットのロット識別子及び判断対象プロセスのプロセスコードを含める。

この場合、プロセス所要時間算出手段２１３は、ロット属性データベース２５から判断対象ロットのロット属性レコード２５０を抽出し、工程管理表データベース２６から判断対象ロットの工程管理テーブル２６０を抽出する。更に、プロセス所要時間算出手段２１３は、処理時間管理データベース２２から、判断対象プロセスのプロセス時間管理データ２２０を抽出する。そして、プロセス所要時間算出手段２１３は、ロット属性レコード２５０に記録された枚数、工程管理テーブル２６０に記録されたプロセス条件を、プロセス時間管理データ２２０に記録されたプロセス所要時間算出テーブルに適用してプロセス所要時間を算出する。プロセス所要時間算出手段２１３は、このプロセス所要時間を、プロセス実行管理手段２１２に通知する。

次に、制御部２１のプロセス実行管理手段２１２は、ロット属性データベース２５に記録されたロット属性レコード２５０からステータスを取得し、判断対象ロットの現在の所在（現在プロセスの装置コード）を特定する。更に、判断対象プロセスのプロセスコードに関連付けられた装置コードを装置状況データベース２４から取得する。そして、プロセス実行管理手段２１２は、現在プロセスの装置コードを搬送元とし、判断対象プロセスの装置コードを搬送先とする搬送時間管理レコード２３０を搬送時間管理データベース２３から抽出して、搬送所要時間を取得する。

そして、制御部２１のプロセス実行管理手段２１２は、現在時刻に対して、プロセス所要時間算出手段２１３から取得したプロセス所要時間と、搬送時間管理データベース２３から取得した搬送所要時間とを加算することにより、判断対象プロセスの終了予測時刻を算出する。

次に、ロット管理サーバ２０の制御部２１は、使用可能なリソース数の算出処理を実行する（ステップＳ３−２）。具体的には、制御部２１のプロセス実行管理手段２１２は、装置状況データベース２４において、判断対象プロセスの装置状況レコード２４０を抽出する。そして、プロセス実行管理手段２１２は、この中で処理中のロット識別子が記録されていない装置状況レコード２４０を特定する。この装置状況レコード２４０のレコード数により、利用可能なプロセス装置３０の台数（リソース数）を算出する。

そして、ロット管理サーバ２０の制御部２１は、優先ロット毎に以下の処理を実行する。
ロット管理サーバ２０の制御部２１は、優先ロットの到着時刻の算出処理を実行する（ステップＳ３−３）。具体的には、制御部２１のプロセス実行管理手段２１２は、到着時刻算出手段２１４に対して到着時刻の算出を指示する。この指示には、優先ロットのロット識別子に関するデータを含める。この場合、到着時刻算出手段２１４は、後述する優先ロットの到着時刻の算出処理を実行する。そして、制御部２１のプロセス実行管理手段２１２は、この優先ロットの到着時刻を取得する。

次に、ロット管理サーバ２０の制御部２１は、優先ロットの到着前に判断対象プロセスを終了できるかどうかについての確認処理を実行する（ステップＳ３−４）。具体的には、制御部２１のプロセス実行管理手段２１２は、判断対象ロットの終了予測時刻と、優先ロットの到着時刻とを比較する。

判断対象ロットの終了予測時刻より優先ロットの到着時刻が早く、優先ロットの到着前に判断対象プロセスを終了することができない場合（ステップＳ３−４において「ＮＯ」の場合）、ロット管理サーバ２０の制御部２１は、優先ロット数の加算処理を実行する（ステップＳ３−５）。具体的には、制御部２１のプロセス実行管理手段２１２は、メモリに記憶された優先ロット数に「１」を加算する。

そして、ロット管理サーバ２０の制御部２１は、使用可能なリソースの存在の確認処理を実行する（ステップＳ３−６）。具体的には、制御部２１のプロセス実行管理手段２１２は、メモリに記憶した優先ロット数と利用可能なリソース数とを比較する。ここで、優先ロット数より利用可能なリソース数が大きく、使用可能なリソースが残っている場合（ステップＳ３−６において「ＹＥＳ」の場合）には、他の優先ロットについても到着時刻の確認処理（ステップＳ３−３）からの処理を繰り返す。判断対象ロットの終了予測時刻より優先ロットの到着時刻が遅く、優先ロットの到着前に判断対象プロセスを終了することができる場合（ステップＳ３−４において「ＹＥＳ」の場合）も同様に処理を繰り返す。

そして、すべての優先ロットについて優先ロット判断処理を終了しても、使用可能なリソースが残っている場合（ステップＳ３−６において「ＹＥＳ」の場合）には、図８に示すプロセス実行可否判断処理に戻り、プロセス実行を許可する（ステップＳ２−７）。

一方、優先ロット数が利用可能なリソース数以上になり、使用可能なリソースが無くなった場合（ステップＳ３−６において「ＮＯ」の場合）、ロット管理サーバ２０の制御部２１は、待機処理を実行する（ステップＳ３−７）。具体的には、制御部２１のプロセス実行管理手段２１２は、ロット管理手段２１５のロット管理エージェントに対して、プロセスを待機するように指示する。そして、図８に示すプロセス実行可否判断処理に戻る。この場合には、プロセス実行許可は行なわれないことになる。そして、ロット管理エージェントは、判断対象プロセスの装置状況レコード２４０を監視しながら、優先ロットのプロセスが終了するまで待機する。そして、装置状況レコード２４０に変化があった場合、ロット管理エージェントは、プロセス実行管理手段２１２に対してプロセス可否判断要求を通知する。この結果、プロセス実行可否判断処理が再度、実行される。

（到着時刻算出処理）
次に、前述したステップＳ３−３の到着時刻算出処理について、図１０を用いて説明する。この処理は、到着時刻算出手段２１４がプロセス実行管理手段２１２から到着時刻の算出指示を受けた場合に実行される。

この処理では、ロット管理サーバ２０の制御部２１は、現行プロセスの終了予定時刻の算出処理を実行する（ステップＳ４−１）。具体的には、制御部２１の到着時刻算出手段２１４は、プロセス実行管理手段２１２から取得した優先ロットのロット識別子に基づいて、ロット属性データベース２５から優先ロットのロット属性レコード２５０を抽出し、工程管理表データベース２６から優先ロットの工程管理テーブル２６０を抽出する。そして、優先ロットにおいて実行中の現行プロセスを特定する。

次に、プロセス所要時間算出手段２１３は、処理時間管理データベース２２から、この現行プロセスのプロセス時間管理データ２２０を抽出する。更に、到着時刻算出手段２１４は、ロット管理手段２１５のロット管理エージェントを介して、現行プロセスの進捗状況（前処理、後処理の状況や未処理のウエハ枚数に関する情報）を取得する。

そして、到着時刻算出手段２１４は、現行プロセスの進捗状況、工程管理テーブル２６０に記録されたプロセス条件を、プロセス時間管理データ２２０に記録されたプロセス所
要時間算出テーブルに適用してプロセス所要時間を算出する。更に、到着時刻算出手段２１４は、現在時刻に現行プロセスのプロセス所要時間を加算して終了予定時刻を算出する。

次に、ロット管理サーバ２０の制御部２１は、プロセス装置までの搬送所要時間の算出処理を実行する（ステップＳ４−２）。具体的には、制御部２１の到着時刻算出手段２１４は、この優先ロットのロット属性レコード２５０を用いて現在プロセスの装置コードを特定し、工程管理テーブル２６０から次のプロセスコードを特定し、このプロセスの装置コードを装置状況データベース２４から取得する。そして、到着時刻算出手段２１４は、現在プロセスの装置コードを搬送元とし、次のプロセスの装置コードを搬送先とする搬送時間管理レコード２３０を搬送時間管理データベース２３から抽出して、搬送所要時間を取得する。

次に、ロット管理サーバ２０の制御部２１は、終了予定時刻及び搬送所要時間を用いて到着予定時刻の算出処理を実行する（ステップＳ４−３）。具体的には、制御部２１の到着時刻算出手段２１４は、終了予定時刻に搬送所要時間を加算して到着予定時刻を算出する。

そして、ロット管理サーバ２０の制御部２１は、到着予定時刻の通知処理を実行する（ステップＳ４−４）。具体的には、制御部２１の到着時刻算出手段２１４は、プロセス実行管理手段２１２に対して、算出した到着予定時刻を通知する。これにより、制御部２１のプロセス実行管理手段２１２は、優先ロットの到着時刻を取得することができる。

以上、本実施形態によれば、以下に示す効果を得ることができる。
・ 上記実施形態では、ロット管理サーバ２０の制御部２１は、計算対象ロットについて、残りのプロセスに関する所要期間を算出し（ステップＳ１−１）、完成期限までの余裕度を算出する（ステップＳ１−２）。そして、制御部２１は、計算対象ロットについて、余裕度と基準値とを比較する（ステップＳ１−３）。この余裕度が基準値以上の場合には、制御部２１は、計算対象ロットについて優先度を算出し（ステップＳ１−５）、ロット属性データベース２５に記録する（ステップＳ１−６）。これにより、完成期限が近づいているロットや、要求レベルが高いロットには高い優先度が付与されて、優先的に処理を行なうことができる。例えば、完成期限が近づいておりかつ要求レベルが高いロットや、極めて要求レベルが高いロットは、最優先でプロセスを実行することができる。従って、この優先度を用いることにより、的確なプロセス順番を効率的に決定することができる。

・ 上記実施形態では、余裕度が基準値より低い場合には、ロット管理サーバ２０の制御部２１は、アラーム出力処理を実行する（ステップＳ１−４）。これにより、プロセス管理者は問題があるロットを把握し、対策を検討することができる。

・ 上記実施形態では、ロット管理サーバ２０の制御部２１は、判断対象ロットにおいて次に実行予定のプロセス（判断対象プロセス）を特定する（ステップＳ２−１）。そして、制御部２１は、この判断対象プロセスの競合ロットを検索する（ステップＳ２−２）。競合ロットが存在する場合、制御部２１は、各ロットの優先度を取得し（ステップＳ２−４）、優先ロットの有無を確認する（ステップＳ２−５）。そして、競合ロットや優先ロットが存在しない場合には、制御部２１は、プロセス実行許可処理を行なう（ステップＳ２−７）。これにより、各ロットの優先度を考慮しながら、プロセスを実行することができる。

・ 上記実施形態では、優先ロットが存在する場合、ロット管理サーバ２０の制御部２
１は、優先調整処理を実行する（ステップＳ２−６）。ここでは、制御部２１は、判断対象ロットについて判断対象プロセスを実行した場合の終了時刻を予測する（ステップＳ３−１）。更に、制御部２１は、優先ロットの到着時刻を算出する（ステップＳ３−３）。そして、ロット管理サーバ２０の制御部２１は、優先ロットの到着前に判断対象プロセスを終了できるかどうかについて確認する（ステップＳ３−４）。これにより、優先度の高いロットが存在する場合にも、そのプロセス前に優先度の低いロットのプロセスを実行することができる。

また、制御部２１は、使用可能なリソース数を算出する（ステップＳ３−２）。更に、判断対象ロットの終了予測時刻より優先ロットの到着時刻が早く、判断対象プロセスの終了前に優先ロットが到着する場合、制御部２１は、優先ロット数を加算する（ステップＳ３−５）。そして、制御部２１は、使用可能なリソースの存在を確認し（ステップＳ３−６）、優先ロット数が利用可能なリソース数以上になり、使用可能なリソースが無くなった場合、制御部２１は、待機処理を実行する（ステップＳ３−７）。一方、すべての優先ロットについて優先ロット判断処理を終了しても、使用可能なリソースが残っている場合には、プロセス実行可否判断処理においてプロセス実行を許可する（ステップＳ２−７）。これにより、リソース数を考慮しながら、プロセスの順番を決定することができる。

なお、上記実施形態は、以下の態様に変更してもよい。
○ 上記実施形態では、優先調整処理において、ロット管理サーバ２０の制御部２１は、優先ロットの到着時刻を算出し（ステップＳ３−３）、優先ロットの到着前に判断対象プロセスを終了できるかどうかについての確認処理を実行する（ステップＳ３−４）。そして、判断対象ロットの終了予測時刻より優先ロットの到着時刻が早く、判断対象プロセスの終了前に優先ロットが到着する場合、ロット管理サーバ２０の制御部２１は、優先ロット数の加算処理を実行する（ステップＳ３−５）。ステップＳ３−４において、判断対象ロットの終了予測時刻と優先ロットの到着時刻とを比較するだけではなく、プロセス装置３０の稼働率を考慮して優先調整を行なうことも可能である。

具体的な処理手順を図１１に示す。ここでは、図９のステップＳ３−４以降において、以下の処理を実行する。
判断対象ロットの終了予測時刻より優先ロットの到着時刻が早く、優先ロットの到着前に判断対象プロセスを終了することができない場合（ステップＳ３−４において「ＮＯ」の場合）、ロット管理サーバ２０の制御部２１は、優先ロットにおける判断対象プロセスの終了予定時刻の算出処理を実行する（ステップＳ５−１）。具体的には、制御部２１のプロセス実行管理手段２１２は、プロセス所要時間算出手段２１３に対して、判断対象ロットのプロセス終了時刻の算出指示を行なう。この算出指示には、優先ロットのロット識別子及び判断対象プロセスのプロセスコードを含める。この場合、プロセス所要時間算出手段２１３は、優先ロットのプロセス所要時間を算出し、プロセス実行管理手段２１２に通知する。プロセス実行管理手段２１２は、この優先ロットの到着時刻に、優先ロットのプロセス所要時間を加算することにより、優先ロットについて判断対象プロセスを実行させた場合の終了予定時刻（優先ロット終了予定時刻）を取得する。

次に、ロット管理サーバ２０の制御部２１は、待機時間の算出処理を実行する（ステップＳ５−２）。具体的には、制御部２１のプロセス実行管理手段２１２は、優先ロット終了予定時刻と現在時刻との差分を算出することにより、待機時間を取得する。

次に、ロット管理サーバ２０の制御部２１は、待機時間、優先度を用いて優先評価値の算出処理を実行する（ステップＳ５−３）。ここでは、待機時間が長くなる場合や、優先ロットと判断対象ロットとの優先度の差が大きくなる場合に、優先評価値が大きくなるような関数を用いる。例えば、以下の関数を用いる。
〔優先評価値〕＝〔待機時間〕＊〔判断対象ロットの優先度〕／〔優先ロットの優先度〕

そして、ロット管理サーバ２０の制御部２１は、優先評価値と基準値との比較処理を実行する（ステップＳ５−４）。そして、優先評価値が基準値より大きい場合（ステップＳ５−４において「ＹＥＳ」の場合）、ロット管理サーバ２０の制御部２１は、優先ロットを優先し、優先ロット数に加算する（ステップＳ３−５）。優先評価値が基準値より小さき場合（ステップＳ５−４において「ＮＯ」の場合）、ロット管理サーバ２０の制御部２１は、優先ロット数の加算は行なわない。
これにより、優先ロットのプロセスを先行させた場合、判断対象ロットの待機時間が長くなる場合には、判断対象ロットを先行させることができる。これにより、プロセス装置３０の空き時間を減らして、稼働率を向上させることができる。

○ 上記実施形態では、ロット管理サーバ２０の制御部２１は、計算対象ロットについて、完成期限までの余裕度の算出処理を実行する（ステップＳ１−２）。この余裕度の算出に用いるパラメータは、完成期限に限定されるものではない。例えば、マイルストーンとなる進捗判断日を設けて、進捗判断日に対する余裕度を用いることも可能である。例えば、製造工程が５００ステップからなり、完成期限までの余裕期間が２０日、マイルストーンとして、２００ステップと４００ステップを設けた場合、まず２００ステップまでの余裕期間は８日、４００ステップでは１６日、５００ステップで２０日となる。これにより、製造工程の途中で、余裕期間（時間）を変動させて進捗を管理することができる。

○ 上記実施形態では、ウエハをまとめてロットとして扱ったが、ウエハ１枚毎の枚葉搬送・枚葉管理に適用することも可能である。
また、保守時間も装置を占有しているロットとして扱うことが可能である。この場合、制御部２１に保守管理手段を設ける。この保守管理手段には、プロセス装置３０毎に保守条件（例えば、「２４時間使用後に２時間停止」、「ウエハを１００枚処理した２時間停止」）を記憶させておく。

そして、保守条件を満足した場合、保守のための擬装ロットを生成し、ロット属性データベース２５や工程管理表データベース２６に記録する。この場合、要求レベルを最も高く設定しておく。これにより、定期的な保守点検を優先的に行なうことができる。

○ 上記実施形態では、ロット管理サーバ２０の制御部２１は、このロット（判断対象ロット）において次に実行予定のプロセス（判断対象プロセス）の特定処理を実行する（ステップＳ２−１）。本実施形態では、制御部２１のプロセス実行管理手段２１２は、ロット管理エージェントから取得したプロセス識別子を用いて、判断対象プロセスを特定する。判断対象プロセスの特定方法は、これに限定されるものではなく、制御部２１がロット識別子を用いて特定するように構成してもよい。この場合、制御部２１は、ロット管理エージェントから取得したロット識別子を用いて、このロットの工程管理テーブル２６０を工程管理表データベース２６から抽出する。そして、プロセス実行管理手段２１２は、完了日が登録されていないプロセスの中で、最も順番が早いプロセスを判断対象プロセスとして特定する。

○ 上記実施形態では、ロット管理サーバ２０の制御部２１は、現行プロセスの終了予定時刻の算出処理を実行する（ステップＳ４−１）。この場合、到着時刻算出手段２１４が、現行プロセスの進捗状況、工程管理テーブル２６０に記録されたプロセス条件を、プロセス時間管理データ２２０に記録されたプロセス所要時間算出テーブルに適用してプロセス所要時間を算出する。更に、到着時刻算出手段２１４は、現在時刻に現行プロセスのプロセス所要時間を加算して終了予定時刻を算出する。これに代えて、プロセス装置３０毎に装置状況監視手段（例えば、装置状況監視エージェント）を設け、各装置状況監視エ
ージェントが常にプロセス装置３０の使用状況を監視させるように構成してもよい。この場合、装置状況監視エージェントは、逐次、各プロセス装置３０における終了予定時刻を算出し、装置状況データベース２４の装置状況レコード２４０に終了予定時刻に関するデータを記録する。これにより、ロット管理サーバ２０の制御部２１は、現行プロセスの終了予定時刻を、装置状況データベース２４に記録された終了予定時刻により取得することができる。

本発明の一実施形態のシステムの概略図。 処理時間管理データベースに記録されたデータの説明図。 搬送時間管理データベースに記録されたデータの説明図。 装置状況データベースに記録されたデータの説明図。 ロット属性データベースに記録されたデータの説明図。 工程管理表データベースに記録されたデータの説明図。 本発明の一実施形態の処理手順の説明図。 本発明の一実施形態の処理手順の説明図。 本発明の一実施形態の処理手順の説明図。 本発明の一実施形態の処理手順の説明図。 本発明の他の実施形態の処理手順の説明図。

符号の説明

２０…ロット管理サーバ、２１…制御部、２１１…優先度管理手段、２１２…プロセス実行管理手段、２１３…プロセス所要時間算出手段、２１４…到着時刻算出手段、２１５…ロット管理手段、２２…処理時間管理データベース、２３…搬送時間管理データベース、２４…装置状況データベース、２５…ロット属性データベース、２６…工程管理表データベース、３０…プロセス装置、４０…担当者端末。

Claims (7)

1. ロット毎に優先度及びプロセスの順番を記録したロット管理データ記憶手段と、
   プロセスの実行可否を判断する制御手段とを備えたプロセス管理システムであって、
   前記制御手段が、
   判断対象ロットにおいて次に実行する次予定プロセスを特定する手段と、
   前記ロット管理データ記憶手段を用いて、他のロットの内で前記次予定プロセスを実行予定の競合ロットを特定する手段と、
   前記ロット管理データ記憶手段を用いて、前記競合ロットの中で前記判断対象ロットの優先度より高い優先度が付与された優先ロットを特定する手段と、
   前記優先ロットが、前記次予定プロセスに達する到着時刻を算出する手段と、
   前記判断対象ロットにおいて次予定プロセスの終了予定時刻を算出する手段と、
   前記判断対象ロットの終了予定時刻と前記優先ロットの到着時刻との比較に基づいて、前記判断対象ロットに対する次予定プロセスの実行可否の判断処理を行なう手段と
   を備えたことを特徴とするプロセス管理システム。
2. 前記実行可否の判断処理において、前記判断対象ロットの終了予定時刻よりも早い到着時刻の優先ロットが存在する場合には、前記判断対象ロットの次予定プロセスの実行を延期することを特徴とする請求項１に記載のプロセス管理システム。
3. 前記制御手段が、各ロットにおける残りのプロセス数と判断期限とに基づいて前記優先度を算出することを特徴とする請求項１又は２に記載のプロセス管理システム。
4. 前記制御手段が、
   前記次予定プロセスにおいて利用可能なリソース数を特定する手段と、
   前記次予定プロセスを先に実行させる優先ロット数を算出する手段とを更に備え、
   前記リソース数が前記優先ロット数より多い場合、前記判断対象ロットについて次予定プロセスの実行を許可することを特徴とする請求項１〜３のいずれか１つに記載のプロセス管理システム。
5. 前記実行可否の判断処理において、
   前記優先ロットを先に実行させた場合の前記次予定プロセスの終了予定時刻を算出し、
   前記優先ロットの終了予定時刻に基づいて、前記判断対象ロットの待機時間を算出し、
   前記優先ロットと前記判断対象ロットとの優先度の差分と、前記待機時間とに基づいて、前記判断対象ロットについて次予定プロセスの実行可否の判断処理を実行することを特徴とする請求項１〜３のいずれか１つに記載のプロセス管理システム。
6. ロット毎に優先度及びプロセスの順番を記録したロット管理データ記憶手段と、
   プロセスの実行可否を判断する制御手段とを備えたプロセス管理システムを用いてプロセスを管理する方法であって、
   前記制御手段が、
   判断対象ロットにおいて次に実行する次予定プロセスを特定する段階と、
   前記ロット管理データ記憶手段を用いて、他のロットの内で前記次予定プロセスを実行予定の競合ロットを特定する段階と、
   前記ロット管理データ記憶手段を用いて、前記競合ロットの中で前記判断対象ロットの優先度より高い優先度が付与された優先ロットを特定する段階と、
   前記優先ロットが、前記次予定プロセスに達する到着時刻を算出する段階と、
   前記判断対象ロットにおいて次予定プロセスの終了予定時刻を算出する段階と、
   前記判断対象ロットの終了予定時刻と前記優先ロットの到着時刻との比較に基づいて、前記判断対象ロットに対する次予定プロセスの実行可否の判断処理を行なう段階と
   を実行することを特徴とするプロセス管理方法。
7. ロット毎に優先度及びプロセスの順番を記録したロット管理データ記憶手段と、
   プロセスの実行可否を判断する制御手段とを備えたプロセス管理システムを用いてプロセスを管理するプログラムであって、
   前記制御手段を、
   判断対象ロットにおいて次に実行する次予定プロセスを特定する手段と、
   前記ロット管理データ記憶手段を用いて、他のロットの内で前記次予定プロセスを実行予定の競合ロットを特定する手段と、
   前記ロット管理データ記憶手段を用いて、前記競合ロットの中で前記判断対象ロットの優先度より高い優先度が付与された優先ロットを特定する手段と、
   前記優先ロットが、前記次予定プロセスに達する到着時刻を算出する手段と、
   前記判断対象ロットにおいて次予定プロセスの終了予定時刻を算出する手段と、
   前記判断対象ロットの終了予定時刻と前記優先ロットの到着時刻との比較に基づいて、前記判断対象ロットに対する次予定プロセスの実行可否の判断処理を行なう手段
   として機能させることを特徴とするプロセス管理プログラム。

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