JP3975360B2 - 供給制御システムおよび方法、プログラム並びに情報記憶媒体 - Google Patents

Description

本発明は、フォト装置へのロットとマスクの供給制御システムおよび方法、プログラム並びに情報記憶媒体に関する。

一般に、半導体製造等に用いられるフォト装置は、ウエハー等に薬剤等の塗布を行うコータと、当該ウエハーへの所定のパターンニングを、マスク（レチクルとも呼ばれる。）を用いて行う露光装置と、現像を行うデベロッパーから構成される。また、フォト装置は、適宜ベークを行うためのベーク装置を有する。

特に、半導体製造のように多品種生産を行う場合、同種のウエハーからなる各ロットの各工程に合わせて露光するため、多種類のマスクが用いられる。このため、ロットに合わせてマスクを自動的にフォト装置に供給することは技術的に困難であり、従来は人手でマスクをフォト装置に供給することが一般的であった。

このような課題を解決するため、特許文献１では無人搬送ロボットによりレチクルストッカーからフォト装置のレチクルケース受け渡し位置までレチクルケースを搬送することが記載されている。
特開平１０−１６３０９４号公報

しかし、特許文献１では、単にレチクルの位置合わせに関する技術が開示されているに過ぎず、多品種のロットに合わせて適切なレチクルを供給するための技術は開示されていない。

このため、人手で行う手法や特許文献１の手法では、例えば、フォト装置内部のレチクルライブラリーに最大許容数のレチクルが存在する状態でフォト装置外部のレチクルストッカーからレチクルを供給する場合にレチクルライブラリーからどのレチクルを取り出せばよいか判断したり、毎回ロットとレチクルの組み合わせが異なる場合に適切なレチクルを供給したりすることは困難である。

本願は、上記課題に鑑みなされたものであり、その目的は、フォト装置へのロットとマスクの供給を適切に制御することが可能な供給制御システムおよび方法、プログラム並びに情報記憶媒体を提供することにある。

上記課題を解決するため、本発明に係る供給制御システムは、フォト装置へのロットとマスクの供給を制御する供給制御システムにおいて、
複数のロットを管理するためのロット管理データと、複数のマスクを管理するためのマスク管理データとを記憶する記憶手段と、
前記ロット管理データと、前記マスク管理データとを更新する更新手段と、
前記ロット管理データと、前記マスク管理データとに基づき、ロットの供給を制御するためのロット供給制御情報と、マスクの供給を制御するためのマスク供給制御情報とを生成する制御情報生成手段と、
前記フォト装置にロットを供給するロット供給装置に前記ロット供給制御情報を送信するとともに、前記フォト装置にマスクを供給するマスク供給装置に前記マスク供給制御情報を送信するとともに、前記ロット供給装置、前記マスク供給装置または前記フォト装置からロットまたはマスクの現在位置を示す通知情報を受信する通信手段と、
を含み、
前記ロット管理データは、ロット識別情報を示すデータと、ロットの現在位置を示すロット現在位置データと、ロットで使用するマスク識別情報を示すデータとを含み、
前記マスク管理データは、マスク識別情報を示すデータと、マスクの現在位置を示すマスク現在位置データとを含み、かつ、前記マスク識別情報によって前記ロット管理データと関連づけられ、
前記更新手段は、前記通知情報に基づき、前記ロット現在位置データと、前記マスク現在位置データとを更新し、
前記制御情報生成手段は、前記ロット現在位置データと、前記マスク現在位置データとに基づき、前記ロット供給制御情報と、前記マスク供給制御情報とを生成することを特徴とする。

また、本発明に係るプログラムは、フォト装置へのロットとマスクの供給を制御するためのプログラムであり、コンピュータにより読み取り可能なプログラムであって、
コンピュータを、
複数のロットを管理するためのロット管理データと、複数のマスクを管理するためのマスク管理データとを記憶する記憶手段と、
前記ロット管理データと、前記マスク管理データとを更新する更新手段と、
前記ロット管理データと、前記マスク管理データとに基づき、ロットの供給を制御するためのロット供給制御情報と、マスクの供給を制御するためのマスク供給制御情報とを生成する制御情報生成手段と、
前記フォト装置にロットを供給するロット供給装置に前記ロット供給制御情報を送信するとともに、前記フォト装置にマスクを供給するマスク供給装置に前記マスク供給制御情報を送信するとともに、前記ロット供給装置、前記マスク供給装置または前記フォト装置からロットまたはマスクの現在位置を示す通知情報を受信する通信手段として機能させ、
前記ロット管理データは、ロット識別情報を示すデータと、ロットの現在位置を示すロット現在位置データと、ロットで使用するマスク識別情報を示すデータとを含み、
前記マスク管理データは、マスク識別情報を示すデータと、マスクの現在位置を示すマスク現在位置データとを含み、かつ、前記マスク識別情報によって前記ロット管理データと関連づけられ、
前記更新手段は、前記通知情報に基づき、前記ロット現在位置データと、前記マスク現在位置データとを更新し、
前記制御情報生成手段は、前記ロット現在位置データと、前記マスク現在位置データとに基づき、前記ロット供給制御情報と、前記マスク供給制御情報とを生成することを特徴とする。

また、本発明に係る情報記憶媒体は、コンピュータにより読み取り可能なプログラムを記憶した情報記憶媒体であって、
上記プログラムを記憶したことを特徴とする。

また、本発明に係る供給制御方法は、フォト装置へのロットとマスクの供給を制御する供給制御方法において、
ロット供給装置、マスク供給装置または前記フォト装置からロットまたはマスクの現在位置を示す通知情報を受信し、
当該通知情報に基づき、ロットの現在位置を示すロット現在位置データまたはマスクの現在位置を示すマスク現在位置データを更新し、
前記フォト装置での露光処理要求があった場合、
ロット識別情報を示すデータと、前記ロット現在位置データと、ロットで使用するマスク識別情報を示すデータとを含み、複数のロットを管理するためのロット管理データと、マスク識別情報を示すデータと、前記マスク現在位置データとを含み、かつ、前記マスク識別情報によって前記ロット管理データと関連づけられ、複数のマスクを管理するためのマスク管理データとに基づき、ロットの供給を制御するためのロット供給制御情報と、マスクの供給を制御するためのマスク供給制御情報とを生成し、
前記フォト装置にロットを供給するロット供給装置に前記ロット供給制御情報を送信し、
前記フォト装置にマスクを供給するマスク供給装置に前記マスク供給制御情報を送信することを特徴とする。

本発明によれば、供給制御システム等は、ロットとマスクとを関連づけることにより、ロットに使用するマスクを適切に選択することができ、通知情報に基づいてロットとマスクの現在位置を把握することができる。これにより、供給制御システム等は、適切なロットと適切なマスクを供給するようにロット供給装置とマスク供給装置を制御することができるため、フォト装置へのロットとマスクの供給を適切に制御することができる。

また、前記供給制御システム、前記プログラムおよび前記情報記憶媒体において、前記マスク管理データは、マスクの状態を示すマスク状態データと、マスクの使用回数を示すマスク使用回数データとを含み、
前記更新手段は、前記通知情報に基づき、前記マスク使用回数データを更新するとともに、マスクの使用回数が所定値を超えた場合、マスクの状態を変更するように前記マスク状態データを更新し、
前記制御情報生成手段は、前記マスク状態データに基づき、使用対象のロットに対して使用対象のマスクが使用可能かどうかを判定し、使用可能である場合、当該ロットと当該マスクを使用し、使用可能でない場合、当該ロットと別のマスクまたは別のロットと別のマスクを使用するように、前記ロット供給制御情報と、前記マスク供給制御情報とを生成してもよい。

また、前記供給制御方法において、前記マスク管理データは、マスクの状態を示すマスク状態データと、マスクの使用回数を示すマスク使用回数データとを含み、
前記通知情報に基づき、前記マスク使用回数データを更新するとともに、マスクの使用回数が所定値を超えた場合、マスクの状態を変更するように前記マスク状態データを更新し、
前記マスク状態データに基づき、使用対象のロットに対して使用対象のマスクが使用可能かどうかを判定し、使用可能である場合、当該ロットと当該マスクを使用し、使用可能でない場合、当該ロットと別のマスクまたは別のロットと別のマスクを使用するように、前記ロット供給制御情報と、前記マスク供給制御情報とを生成してもよい。

これによれば、供給制御システム等は、常に使用可能なマスクを選択して使用するようにマスク供給装置を制御することができる。また、供給制御システム等は、ロットに対応した適切なマスクがない場合には別のロットと別のマスクを選択して使用するようにロット供給装置とマスク供給装置を制御することができる。

また、前記供給制御システム、前記プログラムおよび前記情報記憶媒体において、前記ロット管理データは、ロットの処理優先度を示す優先度データを含み、
前記制御情報生成手段は、前記優先度データに基づき、優先度の高いロットから処理するように、前記ロット供給制御情報を生成してもよい。

また、前記供給制御方法において、前記ロット管理データは、ロットの処理優先度を示す優先度データを含み、
前記優先度データに基づき、優先度の高いロットから処理するように、前記ロット供給制御情報を生成してもよい。

これによれば、供給制御システム等は、優先度の高いロットから処理するようにロット供給装置を制御することができる。

また、前記供給制御システム、前記プログラムおよび前記情報記憶媒体において、前記フォト装置は、複数のマスクを載置可能なマスク載置部と、前記フォト装置内におけるマスクの移動を行う移動制御部と、前記通知情報を生成して前記通信手段へ向け送信する露光側通信部とを含み、
前記記憶手段は、前記フォト装置を管理するためのフォト装置管理データを記憶し、
前記更新手段は、前記通知情報に基づき、前記フォト装置管理データを更新し、
前記制御情報生成手段は、前記フォト装置管理データに基づき、前記フォト装置内部でのマスクの移動を制御するためのマスク移動制御情報を生成し、
前記通信手段は、当該マスク移動制御情報を前記フォト装置へ向け送信し、
前記露光側通信部は、当該マスク移動制御情報を受信し、
前記移動制御部は、当該マスク移動制御情報に基づき、前記マスク載置部へのマスクの載置または前記マスク載置部からのマスクの移動を行ってもよい。

また、前記供給制御方法において、前記フォト装置は、複数のマスクを載置可能なマスク載置部と、前記フォト装置内におけるマスクの移動を行う移動制御部と、前記通知情報を生成して前記通信手段へ向け送信する露光側通信部とを含み、
前記通知情報に基づき、前記フォト装置を管理するためのフォト装置管理データを更新し、
前記フォト装置管理データに基づき、前記フォト装置内部でのマスクの移動を制御するためのマスク移動制御情報を生成し、
当該マスク移動制御情報を前記フォト装置へ向け送信し、
前記露光側通信部は、当該マスク移動制御情報を受信し、
前記移動制御部は、当該マスク移動制御情報に基づき、前記マスク載置部へのマスクの載置または前記マスク載置部からのマスクの移動を行ってもよい。

これによれば、供給制御システム等は、フォト装置内部におけるマスクの移動を適切に制御することができる。これにより、供給制御システム等は、フォト装置内部のマスクを再使用可能な場合にはフォト装置にそのまま使用させることができるため、マスクの供給にかかる時間を短縮でき、フォト装置により効率的に露光処理させることができる。

また、前記供給制御システム、前記プログラムおよび前記情報記憶媒体において、前記フォト装置管理データは、前記マスク載置部におけるマスクを載置するポートを示すポートＩＤデータと、当該ポートに設置されているマスクを示すマスクＩＤデータとを含み、
前記制御情報生成手段は、前記ポートＩＤデータと、前記マスクＩＤデータとに基づき、前記マスク載置部にマスクが載置されていないポートが１つであると判定した場合、所定の基準に基づき、前記マスク載置部から１つのマスクを移動させてから使用対象のマスクを前記マスク載置部のポートに載置するように、前記マスク移動制御情報を生成してもよい。

また、前記供給制御方法において、前記フォト装置管理データは、前記マスク載置部におけるマスクを載置するポートを示すポートＩＤデータと、当該ポートに設置されているマスクを示すマスクＩＤデータとを含み、
前記ポートＩＤデータと、前記マスクＩＤデータとに基づき、前記マスク載置部にマスクが載置されていないポートが１つであると判定した場合、所定の基準に基づき、前記マスク載置部から１つのマスクを移動させてから使用対象のマスクを前記マスク載置部のポートに載置するように、前記マスク移動制御情報を生成してもよい。

これによれば、供給制御装置は、先に使用対象のマスクをフォト装置に搬入させてから使用対象外のマスクをフォト装置から搬出させることができるため、フォト装置により効率的に露光処理させることができる。

以下、本発明を、半導体の製造に使用されるインラインフォト装置（フォト装置）へのロットとマスク（以下、レチクルと記載する。）の供給制御システムに適用した場合を例に採り、図面を参照しつつ説明する。なお、以下に示す実施形態は、特許請求の範囲に記載された発明の内容を何ら限定するものではない。また、以下の実施形態に示す構成の全てが、特許請求の範囲に記載された発明の解決手段として必須であるとは限らない。

（システム全体の説明）
図１は、本実施形態の一例に係るシステム全体を示す概略図である。

露光処理工程においては、インラインフォト装置４００にロット供給装置２００からロット（半導体製造の場合は例えばウエハー等）を供給し、当該ロットに対応したレチクルをレチクルストッカー（マスク供給装置）３００から供給して露光処理が行われる。

また、図１に示すように、複数台のインラインフォト装置４００−１、４００−２で露光処理を行う場合もあり、ロットに適したレチクルをインラインフォト装置４００に効率的に供給することが重要となる。

また、レチクルを繰り返し使用した場合、ほこり等がレチクルに付着する場合があるため、レチクルの使用回数等に応じて検査装置５００がレチクルの検査を行う。

本実施形態では、供給制御装置１００がロット供給装置２００、レチクルストッカー３００およびインラインフォト装置４００を制御することにより、ロットに適したレチクルをインラインフォト装置４００に効率的に供給している。

次に、このような機能を実現するための供給制御装置１００の機能ブロックについて説明する。

図２は、本実施形態の一例に係る供給制御装置１００の機能ブロック図である。

供給制御装置１００は、複数のロットを管理するためのロット管理データ１４２と、複数のレチクルを管理するためのレチクル管理データ（マスク管理データ）１４４と、インラインフォト装置４００を管理するためのインラインフォト装置管理データ（フォト装置管理データ）１４６を記憶する記憶部１４０を含んで構成されている。

また、供給制御装置１００は、ロット管理データ１４２とレチクル管理データ１４４とに基づき、ロットの供給を制御するためのロット供給制御情報と、レチクルの供給を制御するためのレチクル供給制御情報（マスク供給制御情報）を生成するとともに、インラインフォト装置管理データ１４６に基づき、インラインフォト装置４００内部でのレチクルの移動を制御するためのレチクル移動制御情報（マスク移動制御情報）を生成する制御情報生成部１２０を含んで構成されている。

また、供給制御装置１００は、ロット管理データ１４２、レチクル管理データ１４４およびインラインフォト装置管理データ１４６を更新する更新部１３０と、インラインフォト装置４００にロットを供給するロット供給装置２００にロット供給制御情報を送信するとともに、レチクルストッカー３００にレチクル供給制御情報を送信する通信部１１０とを含んで構成されている。

なお、インラインフォト装置４００は、ロット供給装置２００とロットの受け渡しを行う受け渡し部と、複数のレチクルを載置可能なマスク載置部として機能するポートと、レチクルストッカー３００とレチクルの受け渡しを行う受け渡し部と、受け渡し部とポート間のレチクルの移動を行う移動制御部と、露光処理を行う露光処理部を有する露光装置を含んで構成されている。また、インラインフォト装置４００を、薬剤等の塗布を行うコータと、現像を行うデベロッパーやベーク装置を有する構成としてもよい。

また、ロット供給装置２００、インラインフォト装置４００およびレチクルストッカー３００は、供給制御装置１００からレチクル移動制御情報等の制御情報を受信するとともに、ロットやマスクの現在位置や状態等を示す通知情報を生成して供給制御装置１００へ向け送信する通信部（露光側通信部等）を含んで構成されている。

なお、通知情報を送信するタイミングは、例えば、インラインフォト装置４００、ロット供給装置２００、レチクルストッカー３００にロットまたはレチクルが入った時点、インラインフォト装置４００、ロット供給装置２００、レチクルストッカー３００からロットまたはレチクルが出た時点等を採用してもよい。

次に、記憶部１４０内の各データのデータ構造について説明する。

図３は、本実施形態の一例に係るロット管理データ１４２のデータ構造を示す図である。

ロット管理データ１４２の項目としては、例えば、ロットを識別するための「ロットＩＤ」、ロットの現在の位置を示す「現在位置」（ロット現在位置データ）、ロットの現在の状態を示す「状態」、ロットの処理の優先度を示す「優先度」、ロットに対して使用するレチクルを示す「使用レチクルＩＤ」等が該当する。また、「状態」としては、例えば、「処理可能」、「処理中」、「処理不可」等が該当する。

例えば、図３に示す例では、「ロットＩＤ」が「Ｌ００１」のロットは、「現在位置」が「インラインフォト装置」であり、「状態」が「処理中」であり、「優先度」が「１」であり、「使用レチクルＩＤ」が「Ｒ００１」であることがわかる。

次に、レチクル管理データ１４４のデータ構造について説明する。

図４は、本実施形態の一例に係るレチクル管理データ１４４のデータ構造を示す図である。

レチクル管理データ１４４の項目としては、例えば、レチクルを識別するための「レチクルＩＤ」、レチクルの現在の位置を示す「現在位置」（マスク現在位置データ）、レチクルの現在の状態を示す「状態」（マスク状態データ）、レチクルの使用回数を示す「使用回数」（マスク使用回数データ）等が該当する。また、「状態」としては、例えば、「使用可能」、「使用中」、「使用不可」、「検査中」等が該当する。さらに、ロット管理データ１４２とレチクル管理データ１４４とはマスク識別情報である「レチクルＩＤ」によって関連づけられている。

例えば、図４に示す例では、「レチクルＩＤ」が「Ｒ００３」のレチクルは、「現在位置」が「検査装置」であり、「状態」が「検査中」であり、「使用回数」が「５０」であることがわかる。

このように、レチクル管理データ１４４に「使用回数」を設け、更新部１３０が、レチクルが使用される度に使用回数を更新するとともに、使用回数が所定値（例えば、５０等）を超えた場合、当該レチクルの「状態」を「検査中」や「使用不可」に更新する。

これにより、制御情報生成部１２０は、レチクル管理データ１４４の「状態」に基づき、検査対象となるレチクルを適切に判別したり、使用可能なレチクルを判別したりすることができる。そして、制御情報生成部１２０は、「状態」が「検査中」となったレチクルをレチクルストッカー３００から検査装置５００に供給するためのレチクル供給制御情報を生成する。通信部１１０が当該レチクル供給制御情報をレチクルストッカー３００に送信することにより、レチクルストッカー３００は、検査装置５００にレチクルを供給し、検査装置５００がレチクルの検査を行う。

なお、使用回数に代えて、あるいは、使用回数に加えて使用時間を設け、所定時間以上使用したレチクルを検査対象としてもよい。

次に、インラインフォト装置管理データ１４６のデータ構造について説明する。

図５は、本実施形態の一例に係るインラインフォト装置管理データ１４６のデータ構造を示す図である。

インラインフォト装置管理データ１４６の項目としては、例えば、インラインフォト装置４００を識別するための「装置ＩＤ」、装置の現在の状態を示す「状態」、使用中のロットを示す「使用ロットＩＤ」、レチクルの載置部であるポートを識別するための「ポートＩＤ」、ポートに載置しているレチクルを識別するための「使用レチクルＩＤ」（マスクＩＤデータ）等が該当する。

なお、本実施例では、インラインフォト装置４００は、４つのポートを有しているものと仮定する。もちろん、ポート数は３つ以下であってもよいし、５つ以上であってもよい。

例えば、図５に示す例では、「装置ＩＤ」が「Ｍ００１」のインラインフォト装置４００は、「状態」が「使用中」であり、「使用ロットＩＤ」が「Ｌ００１」であり、「ポートＩＤ」が「Ｐ００１」、「Ｐ００２」および「Ｐ００３」のポートはレチクルを載置しており、「ポートＩＤ」が「Ｐ００４」のポートは空いていることがわかる。

また、上述した供給制御装置１００の各部としてコンピュータに実装するためのハードウェアとしては、例えば、以下のものを適用できる。

例えば、通信部１１０としてはＬＡＮボード等、制御情報生成部１２０および更新部１３０としてはＣＰＵ等、記憶部１４０としてはＨＤＤ等を用いてコンピュータに実装できる。

また、これらの各部を、回路を用いてハードウェア的にコンピュータに実装してもよいし、プログラムを用いてソフトウェア的にコンピュータに実装してもよい。

さらに、制御情報生成部１２０等としてコンピュータを機能させるためのプログラムを記憶した情報記憶媒体１９０からプログラムを読み取って制御情報生成部１２０等の機能をコンピュータに実装してもよい。

このような情報記憶媒体１９０としては、例えば、ＣＤ−ＲＯＭ、ＤＶＤ−ＲＯＭ、ＲＯＭ、ＲＡＭ、ＨＤＤ等を適用でき、そのプログラムの読み取り方式は接触方式であっても、非接触方式であってもよい。

また、情報記憶媒体１９０に代えて、上述した各機能を実現するためのプログラム等を、伝送路を介してホスト装置等からダウンロードすることによって上述した各機能をコンピュータに実装することも可能である。

（処理の流れの説明）
次に、これらの各部を用いた処理の流れについて説明する。

図６は、本実施形態の一例に係る露光処理の流れを示すフローチャートである。

まず、制御情報生成部１２０は、ロット管理データ１４２を参照し、「優先度」が最も高い（本実施例では優先度の値が最も小さい）ロットを選択する（ステップＳ１）。さらに、制御情報生成部１２０は、ロット管理データ１４２の当該ロットの「状態」を参照することにより、使用可能かどうかを判定する（ステップＳ２）。

処理対象ロットが使用可能でない場合、制御情報生成部１２０は、処理対象ロットが使用可能でないことを示すメッセージ画像情報を生成する。そして、供給制御装置１００と接続されたＰＣのディスプレイが当該メッセージ画像情報に基づいてメッセージを出力する（ステップＳ７）。

処理対象ロットが使用可能である場合、制御情報生成部１２０は、ロット管理データ１４２の「使用レチクルＩＤ」を参照し、当該レチクルＩＤを有するレチクルをレチクル管理データ１４４から選択する（ステップＳ３）。

さらに、制御情報生成部１２０は、レチクル管理データ１４４の「状態」を参照することにより、選択したレチクルが使用可能かどうかを判定する（ステップＳ４）。

使用対象レチクルが使用可能でない場合、ＰＣのディスプレイは、使用対象レチクルが使用可能でないことを示すメッセージを出力する（ステップＳ７）。

また、使用対象レチクルが使用可能である場合、制御情報生成部１２０は、インラインフォト装置管理データ１４６の「状態」を参照することにより、使用対象のインラインフォト装置４００が使用可能かどうかを判定する（ステップＳ５）。

使用対象のインラインフォト装置４００が使用可能でない場合、ＰＣのディスプレイは、使用対象のインラインフォト装置４００が使用可能でないことを示すメッセージを出力する（ステップＳ７）。

そして、ロット、レチクル、インラインフォト装置４００のすべてが使用可能である場合、供給制御装置１００は、使用対象のロットをインラインフォト装置４００に供給するための制御情報（ロット供給制御情報）を生成し、通信部１１０は、当該制御情報をロット供給装置２００へ向け送信する。なお、この制御情報には、例えば、ロットＩＤ、装置ＩＤ等が含まれる。

そして、ロット供給装置２００は、当該制御情報に基づき、インラインフォト装置４００にステップＳ１で選択されたロットを搬入する（ステップＳ６）。なお、ロットやレチクルの搬送は自動走行台車等を用いて行ってもよい。

また、レチクルストッカー３００は、使用対象として選択されたレチクルをインラインフォト装置４００に搬入する（ステップＳ８）。

ここで、レチクルの搬入処理についてより詳細に説明する。

図７は、本実施形態の一例に係るレチクル搬入処理の流れを示すフローチャートである。

本実施例では、供給制御装置１００は、インラインフォト装置４００にできるだけ１つ以上の空きポートがあるようにインラインフォト装置４００へのレチクルの搬入、搬出を制御している。

制御情報生成部１２０は、インラインフォト装置管理データ１４６の「使用レチクルＩＤ」を参照し、使用対象のレチクルがインラインフォト装置４００のポートにないかどうかを判定する（ステップＳ１１）。

使用対象のレチクルがインラインフォト装置４００のポートにある場合、制御情報生成部１２０は、当該ポートにあるレチクルをセットするための制御情報（マスク移動制御情報）を生成し、通信部１１０は、当該制御情報をインラインフォト装置４００へ向け送信する。なお、この制御情報には、例えば、ポートＩＤ、使用レチクルＩＤ等が含まれる。

インラインフォト装置４００は、供給制御装置１００から受信した制御情報に基づき、使用対象のレチクルを露光用にセットする（ステップＳ１７）。

また、使用対象のレチクルがインラインフォト装置４００のポートにない場合、制御情報生成部１２０は、インラインフォト装置管理データ１４６の「ポートＩＤ」と「使用レチクルＩＤ」を参照し、空きポートがないかどうかを判定する（ステップＳ１２）。

インラインフォト装置４００に空きポートがある場合、制御情報生成部１２０は、使用対象レチクルをインラインフォト装置４００に供給するための制御情報（マスク供給制御情報）を生成し、通信部１１０は、当該制御情報をレチクルストッカー３００へ向け送信する。なお、この制御情報には、例えば、使用レチクルＩＤ、装置ＩＤ等が含まれる。

レチクルストッカー３００は、当該制御情報に基づき、使用対象のレチクルを使用対象のインラインフォト装置４００に搬入する（ステップＳ１４）。

また、インラインフォト装置４００に空きポートがない場合、制御情報生成部１２０は、例えば、最も長い間使用していないレチクルを使用対象外レチクルとしてレチクルストッカー３００へ搬出するための制御情報（マスク移動制御情報）を生成し、通信部１１０は、当該制御情報をインラインフォト装置４００へ向け送信する。なお、この制御情報には、例えば、ポートＩＤ、使用レチクルＩＤ等が含まれる。また、使用対象外レチクルとして設定する基準としては、レチクルの使用回数、使用時間以外にも、例えば、最も長い間使用されていないという基準、検査時期が近いという基準等を採用してもよい。

インラインフォト装置４００は、供給制御装置１００から受信した制御情報に基づき、使用対象外のレチクルを搬出する（ステップＳ１３）。なお、この作業によってポートが空く。

そして、インラインフォト装置４００は、空いたポートに使用対象レチクルを搬入する（ステップＳ１４）。

なお、更新部１３０は、ロットやレチクルの搬出や搬入に応じてインラインフォト装置管理データ１４６の「使用ロットＩＤ」、「使用レチクルＩＤ」等を更新する。

そして、使用対象レチクル搬入（ステップＳ１５）後、制御情報生成部１２０は、インラインフォト装置管理データ１４６の「ポートＩＤ」と「使用レチクルＩＤ」を参照し、空きポートが１つ以下かどうかを判定する（ステップＳ１５）。

空きポートが１つ以下の場合、ステップＳ１３と同様の処理により、インラインフォト装置４００は、使用対象外レチクルを搬出する（ステップＳ１６）。この処理により、常に空きポートが１つ以上ある状態でインラインフォト装置４００を稼働させることができる。

そして、対象外レチクルの搬出（ステップＳ１６）後、あるいは、空きポートが１つ以下ではない場合（２つ以上ある場合）、インラインフォト装置４００は、供給制御装置１００から受信した制御情報に基づき、使用対象のレチクルを露光用にセットする（ステップＳ１７）。

以上の手順により、使用対象のレチクルが露光用にセットされる。

そして、インラインフォト装置４００は、インラインフォト装置４００内部でレジスト塗布等が行われたロットに対して使用対象レチクルを用いて露光処理等を行う（ステップＳ９）。

インラインフォト装置４００は、露光処理後の現像処理完了後のロットを搬出する。自動走行台車は、当該ロットを次の工程で使用される装置に搬送する。

以上のように、本実施形態によれば、供給制御装置１００がロット、レチクル、インラインフォト装置４００の状態等を一元管理し、インラインフォト装置４００へのロットとマスクの供給を制御することにより、オペレーターを介さずにインラインフォト装置４００へのロットとマスクの供給を適切に制御することができる上、インラインフォト装置４００−１、４００−２のようにフォト装置が複数台ある場合であっても適切なフォト装置にロットやレチクルを供給するように制御することができる。

また、供給制御装置１００は、インラインフォト装置４００の受け渡し部に１つ以上の空きができるように制御することにより、レチクルの搬出と搬入をより効率的に行うことができる。

また、本実施形態によれば、供給制御装置１００は、先に使用対象のレチクルをインラインフォト装置４００に搬入させてから使用対象外のレチクルをインラインフォト装置４００から搬出させることができるため、インラインフォト装置４００により効率的に露光処理させることができる。

さらに、供給制御装置１００は、ロットの優先度に応じてインラインフォト装置４００へのロットとレチクルの搬出と搬入を制御することにより、より効率的に搬入等を行うことができる。一般に、インラインフォト装置４００にロットが搬入された直後に露光が行われるのではなく、ロットへのレジストの塗布およびベークが行われた後、ロットへのレチクルを用いた露光が行われる。

したがって、供給制御装置１００は、ロットの優先度に応じてロットを先にインラインフォト装置４００に搬入し、塗布等の処理の間にレチクルをインラインフォト装置４００に搬入することにより、より効率的に搬入等を行うことができる。

また、供給制御装置１００は、レチクルの使用回数や使用時間を管理することにより、レチクルの検査が必要かどうかを判定でき、検査が必要になった場合は、自動的に検査装置５００にレチクルの検査を行わせることができる。また、供給制御装置１００は、検査が必要になった場合は、レチクル管理データ１４４における当該レチクルの「状態」を「使用不可」に変更し、「使用可能」となっているレチクルのみを用いて露光処理を行わせることができる。

また、これにより、供給制御装置１００は、ロットに対応した適切なマスクがない場合には別のロットと別のマスクを選択して使用するようにロット供給装置２００とレチクルストッカー３００を制御することができる。

（変形例）
以上、本発明を適用した好適な実施の形態について説明してきたが、本発明の適用は上述した実施例に限定されない。

例えば、上述した実施例では、ロット供給装置としてロット供給装置２００を採用し、マスク供給装置としてレチクルストッカー３００を採用したが、ロットとレチクルの搬送を複数の搬送台車が行う場合、搬送台車をロット供給装置およびマスク供給装置として採用してもよい。

また、例えば、上述した実施例では、供給制御システムとして供給制御装置１００を採用したが、供給制御装置１００の機能を複数の装置に分散してもよい。

本実施形態の一例に係るシステム全体を示す概略図である。 本実施形態の一例に係る供給制御装置の機能ブロック図である。 本実施形態の一例に係るロット管理データのデータ構造を示す図である。 本実施形態の一例に係るレチクル管理データのデータ構造を示す図である。 本実施形態の一例に係るインラインフォト装置管理データのデータ構造を示す図である。 本実施形態の一例に係る露光処理の流れを示すフローチャートである。 本実施形態の一例に係るレチクル搬入処理の流れを示すフローチャートである。

符号の説明

１００ 供給制御装置（供給制御システム）、１１０ 通信部、１２０ 制御情報生成部、１３０ 更新部、１４０ 記憶部、１４２ ロット管理データ、１４４ レチクル管理データ（マスク管理データ）、１４６ インラインフォト装置管理データ（フォト装置管理データ）、１９０ 情報記憶媒体、２００ ロット供給装置、３００ レチクルストッカー、４００ インラインフォト装置

Claims (12)

1. フォト装置へのロットとマスクの供給を制御する供給制御システムにおいて、
   複数のロットを管理するためのロット管理データと、複数のマスクを管理するためのマスク管理データとを記憶する記憶手段と、
   前記ロット管理データと、前記マスク管理データとを更新する更新手段と、
   前記ロット管理データと、前記マスク管理データとに基づき、ロットの供給を制御するためのロット供給制御情報と、マスクの供給を制御するためのマスク供給制御情報とを生成する制御情報生成手段と、
   前記フォト装置にロットを供給するロット供給装置に前記ロット供給制御情報を送信するとともに、前記フォト装置にマスクを供給するマスク供給装置に前記マスク供給制御情報を送信するとともに、前記ロット供給装置、前記マスク供給装置または前記フォト装置からロットまたはマスクの現在位置を示す通知情報を受信する通信手段と、
   を含み、
   前記ロット管理データは、ロット識別情報を示すデータと、ロットの現在位置を示すロット現在位置データと、ロットで使用するマスク識別情報を示すデータとを含み、
   前記マスク管理データは、マスク識別情報を示すデータと、マスクの現在位置を示すマスク現在位置データと、マスクの状態を示すマスク状態データと、マスクの使用回数を示すマスク使用回数データとを含み、かつ、前記マスク識別情報によって前記ロット管理データと関連づけられ、
   前記更新手段は、前記通知情報に基づき、前記ロット現在位置データと、前記マスク現在位置データと、前記マスク使用回数データとを更新するとともに、マスクの使用回数が所定値を超えた場合、マスクの状態を使用可能から検査中に更新するように前記マスク状態データを更新し、
   前記制御情報生成手段は、前記ロット現在位置データと、前記マスク現在位置データとに基づき、前記ロット供給制御情報と、前記マスク供給制御情報とを生成し、前記マスク状態データに基づき、使用対象のロットに対して使用対象のマスクが使用可能かどうかを判定し、使用可能である場合、当該ロットと当該マスクを使用し、使用可能でない場合、当該ロットと別のマスクまたは別のロットと別のマスクを使用するように、前記ロット供給制御情報と、前記マスク供給制御情報とを生成するとともに、使用可能でなく、かつ、前記状態が検査中に更新された場合、前記状態が検査中に更新されたマスクを前記マスク供給装置から検査装置に供給させるための検査用供給制御情報を生成し、
   前記通信手段は、前記ロット供給装置に当該検査用供給制御情報を送信することを特徴とする供給制御システム。
2. 請求項１において、
   前記ロット管理データは、ロットの処理優先度を示す優先度データを含み、
   前記制御情報生成手段は、前記優先度データに基づき、優先度の高いロットから処理するように、前記ロット供給制御情報を生成することを特徴とする供給制御システム。
3. 請求項１、２のいずれかにおいて、
   前記フォト装置は、複数のマスクを載置可能なマスク載置部と、前記フォト装置内におけるマスクの移動を行う移動制御部と、前記通知情報を生成して前記通信手段へ向け送信する露光側通信部とを含み、
   前記記憶手段は、前記フォト装置を管理するためのフォト装置管理データを記憶し、
   前記更新手段は、前記通知情報に基づき、前記フォト装置管理データを更新し、
   前記制御情報生成手段は、前記フォト装置管理データに基づき、前記フォト装置内部でのマスクの移動を制御するためのマスク移動制御情報を生成し、
   前記通信手段は、当該マスク移動制御情報を前記フォト装置へ向け送信し、
   前記露光側通信部は、当該マスク移動制御情報を受信し、
   前記移動制御部は、当該マスク移動制御情報に基づき、前記マスク載置部へのマスクの載置または前記マスク載置部からのマスクの移動を行うことを特徴とする供給制御システム。
4. 請求項３において、
   前記フォト装置管理データは、前記マスク載置部におけるマスクを載置するポートを示すポートＩＤデータと、当該ポートに設置されているマスクを示すマスクＩＤデータとを含み、
   前記制御情報生成手段は、前記ポートＩＤデータと、前記マスクＩＤデータとに基づき、前記マスク載置部にマスクが載置されていないポートが１つであると判定した場合、所定の基準に基づき、前記マスク載置部から１つのマスクを移動させてから使用対象のマスクを前記マスク載置部のポートに載置するように、前記マスク移動制御情報を生成することを特徴とする供給制御システム。
5. 複数のマスクを載置可能な複数のポートを有するマスク載置部と、前記ポートに対するマスクの搬出および搬入を行う移動制御部と、前記マスクの搬出および搬入に関する情報を示す通知情報を生成して送信する露光側通信部とを含むフォト装置へのマスクの供給を制御するための供給制御システムであって、
   前記マスク載置部におけるマスクを載置するポートを示すポートＩＤデータと、当該ポートに設置されているマスクを示すマスクＩＤデータとを含むフォト装置管理データを記憶する記憶手段と、
   前記通知情報に基づき、前記フォト装置管理データを更新する更新手段と、
   前記ポートＩＤデータと、前記マスクＩＤデータとに基づき、前記マスク載置部にマスクが載置されていない空きポートが１つ以下であるかどうかを判定する手段と、
   前記空きポートが１つ以下であると判定された場合、所定の基準に基づき、前記マスク載置部から１つのマスクを移動させてから使用対象のマスクを前記マスク載置部のポートに載置するように、前記フォト装置内部でのマスクの移動を制御するためのマスク移動制御情報を生成するとともに、前記空きポートが１つ以下ではないと判定された場合、前記マスク載置部からマスクを移動させずに使用対象のマスクを前記マスク載置部のポートに載置するように前記マスク移動制御情報を生成する手段と、
   前記フォト装置から前記通知情報を受信するとともに、前記マスク移動制御情報を前記フォト装置へ向け送信する通信手段と、
   を含むことを特徴とする供給制御システム。
6. フォト装置へのロットとマスクの供給を制御するためのプログラムであり、コンピュータにより読み取り可能なプログラムであって、
   コンピュータを、
   複数のロットを管理するためのロット管理データと、複数のマスクを管理するためのマスク管理データとを記憶する記憶手段と、
   前記ロット管理データと、前記マスク管理データとを更新する更新手段と、
   前記ロット管理データと、前記マスク管理データとに基づき、ロットの供給を制御するためのロット供給制御情報と、マスクの供給を制御するためのマスク供給制御情報とを生成する制御情報生成手段と、
   前記フォト装置にロットを供給するロット供給装置に前記ロット供給制御情報を送信するとともに、前記フォト装置にマスクを供給するマスク供給装置に前記マスク供給制御情報を送信するとともに、前記ロット供給装置、前記マスク供給装置または前記フォト装置からロットまたはマスクの現在位置を示す通知情報を受信する通信手段として機能させ、
   前記ロット管理データは、ロット識別情報を示すデータと、ロットの現在位置を示すロット現在位置データと、ロットで使用するマスク識別情報を示すデータとを含み、
   前記マスク管理データは、マスク識別情報を示すデータと、マスクの現在位置を示すマスク現在位置データと、マスクの状態を示すマスク状態データと、マスクの使用回数を示すマスク使用回数データとを含み、かつ、前記マスク識別情報によって前記ロット管理データと関連づけられ、
   前記更新手段は、前記通知情報に基づき、前記ロット現在位置データと、前記マスク現在位置データと、前記マスク使用回数データとを更新するとともに、マスクの使用回数が所定値を超えた場合、マスクの状態を使用可能から検査中に更新するように前記マスク状態データを更新し、
   前記制御情報生成手段は、前記ロット現在位置データと、前記マスク現在位置データとに基づき、前記ロット供給制御情報と、前記マスク供給制御情報とを生成し、前記マスク状態データに基づき、使用対象のロットに対して使用対象のマスクが使用可能かどうかを判定し、使用可能である場合、当該ロットと当該マスクを使用し、使用可能でない場合、当該ロットと別のマスクまたは別のロットと別のマスクを使用するように、前記ロット供給制御情報と、前記マスク供給制御情報とを生成するとともに、使用可能でなく、かつ、前記状態が検査中に更新された場合、前記状態が検査中に更新されたマスクを前記マスク供給装置から検査装置に供給させるための検査用供給制御情報を生成し、
   前記通信手段は、前記マスク供給装置に当該検査用供給制御情報を送信することを特徴とするプログラム。
7. 複数のマスクを載置可能な複数のポートを有するマスク載置部と、前記ポートに対するマスクの搬出および搬入を行う移動制御部と、前記マスクの搬出および搬入に関する情報を示す通知情報を生成して送信する露光側通信部とを含むフォト装置へのマスクの供給を制御するためのプログラムであり、コンピュータにより読み取り可能なプログラムであって、
   コンピュータを、
   前記マスク載置部におけるマスクを載置するポートを示すポートＩＤデータと、当該ポートに設置されているマスクを示すマスクＩＤデータとを含むフォト装置管理データを記憶する記憶手段と、
   前記通知情報に基づき、前記フォト装置管理データを更新する更新手段と、
   前記ポートＩＤデータと、前記マスクＩＤデータとに基づき、前記マスク載置部にマスクが載置されていない空きポートが１つ以下であるかどうかを判定する手段と、
   前記空きポートが１つ以下であると判定された場合、所定の基準に基づき、前記マスク載置部から１つのマスクを移動させてから使用対象のマスクを前記マスク載置部のポートに載置するように、前記フォト装置内部でのマスクの移動を制御するためのマスク移動制御情報を生成するとともに、前記空きポートが１つ以下ではないと判定された場合、前記マスク載置部からマスクを移動させずに使用対象のマスクを前記マスク載置部のポートに載置するように前記マスク移動制御情報を生成する手段と、
   前記フォト装置から前記通知情報を受信するとともに、前記マスク移動制御情報を前記フォト装置へ向け送信する通信手段として機能させることを特徴とするプログラム。
8. コンピュータにより読み取り可能なプログラムを記憶した情報記憶媒体であって、
   請求項６、７のいずれかに記載のプログラムを記憶したことを特徴とする情報記憶媒体。
9. フォト装置へのロットとマスクの供給を制御する供給制御方法において、
   ロット識別情報を示すデータと、ロットの現在位置を示すロット現在位置データと、ロットで使用するマスク識別情報を示すデータとを含み、複数のロットを管理するためのロット管理データと、
   マスク識別情報を示すデータと、マスクの現在位置を示すマスク現在位置データと、マスクの状態を示すマスク状態データと、マスクの使用回数を示すマスク使用回数データとを含み、かつ、前記マスク識別情報によって前記ロット管理データと関連づけられ、複数のマスクを管理するためのマスク管理データと、
   を記憶し、
   ロット供給装置、マスク供給装置または前記フォト装置からロットまたはマスクの現在位置を示す通知情報を受信し、
   当該通知情報に基づき、前記ロット現在位置データと、前記マスク現在位置データと、前記マスク使用回数データとを更新し、
   前記マスク使用回数データに基づき、マスクの使用回数が所定値を超えたかどうかを判定し、
   前記マスクの使用回数が所定値を超えた場合、マスクの状態を使用可能から検査中に更新するように前記マスク状態データを更新し、
   前記マスク状態データに基づき、使用対象のロットに対して使用対象のマスクが使用可能かどうかを判定し、
   使用可能である場合、当該ロットと当該マスクを使用するように、前記ロット管理データと、前記マスク管理データとに基づき、ロットの供給を制御するためのロット供給制御情報と、マスクの供給を制御するためのマスク供給制御情報とを生成し、
   使用可能でない場合、当該ロットと別のマスクまたは別のロットと別のマスクを使用するように、前記ロット供給制御情報と、前記マスク供給制御情報とを生成し、
   使用可能でなく、かつ、前記状態が検査中に更新された場合、前記状態が検査中に更新されたマスクを前記マスク供給装置から検査装置に供給させるための検査用供給制御情報を生成し、
   前記フォト装置にロットを供給するロット供給装置に前記ロット供給制御情報を送信し、
   前記フォト装置にマスクを供給するマスク供給装置に前記マスク供給制御情報および前記検査用供給制御情報を送信することを特徴とする供給制御方法。
10. 請求項９において、
    前記ロット管理データは、ロットの処理優先度を示す優先度データを含み、
    前記優先度データに基づき、優先度の高いロットから処理するように、前記ロット供給制御情報を生成することを特徴とする供給制御方法。
11. 請求項９、１０のいずれかにおいて、
    前記フォト装置は、複数のマスクを載置可能なマスク載置部と、前記フォト装置内におけるマスクの移動を行う移動制御部と、前記通知情報を生成して前記通信手段へ向け送信する露光側通信部とを含み、
    前記通知情報に基づき、前記フォト装置を管理するためのフォト装置管理データを更新し、
    前記フォト装置管理データに基づき、前記フォト装置内部でのマスクの移動を制御するためのマスク移動制御情報を生成し、
    当該マスク移動制御情報を前記フォト装置へ向け送信し、
    前記露光側通信部は、当該マスク移動制御情報を受信し、
    前記移動制御部は、当該マスク移動制御情報に基づき、前記マスク載置部へのマスクの載置または前記マスク載置部からのマスクの移動を行うことを特徴とする供給制御方法。
12. 複数のマスクを載置可能な複数のポートを有するマスク載置部と、前記ポートに対するマスクの搬出および搬入を行う移動制御部と、前記マスクの搬出および搬入に関する情報を示す通知情報を生成して送信する露光側通信部とを含むフォト装置へのマスクの供給を制御する供給制御方法において、
    前記マスク載置部におけるマスクを載置するポートを示すポートＩＤデータと、当該ポートに設置されているマスクを示すマスクＩＤデータとを含むフォト装置管理データを記憶し、
    前記フォト装置から前記通知情報を受信し、
    前記通知情報に基づき、前記フォト装置管理データを更新し、
    前記ポートＩＤデータと、前記マスクＩＤデータとに基づき、前記マスク載置部にマスクが載置されていない空きポートが１つ以下であるかどうかを判定し、
    前記空きポートが１つ以下であると判定した場合、所定の基準に基づき、前記マスク載置部から１つのマスクを移動させてから使用対象のマスクを前記マスク載置部のポートに載置するように、前記フォト装置内部でのマスクの移動を制御するためのマスク移動制御情報を生成し、
    前記空きポートが１つ以下ではないと判定した場合、前記マスク載置部からマスクを移動させずに使用対象のマスクを前記マスク載置部のポートに載置するように前記マスク移動制御情報を生成し、
    前記マスク移動制御情報を前記フォト装置へ向け送信することを特徴とする供給制御方法。

Images