JP2005136295A - 供給制御システムおよび方法、プログラム並びに情報記憶媒体 - Google Patents
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Abstract
【解決手段】 複数のロットを管理するためのロット管理データ142と、複数のマスクを管理するためのレチクル管理データ144と、フォト装置を管理するためのインラインフォト装置管理データ146を記憶する記憶部140と、これらのデータを更新する更新部130と、ロット管理データ142と、レチクル管理データ144とに基づき、ロットの供給を制御するためのロット供給制御情報と、マスクの供給を制御するためのマスク供給制御情報を生成する制御情報生成部120と、フォト装置にロットを供給するロット供給装置にロット供給制御情報を送信するとともに、フォト装置にマスクを供給するマスク供給装置にマスク供給制御情報を送信するとともに、ロット供給装置、マスク供給装置またはフォト装置からロットまたはマスクの現在位置を示す通知情報を受信する通信部110を含んで供給制御装置100を構成する。
【選択図】 図2
Description
複数のロットを管理するためのロット管理データと、複数のマスクを管理するためのマスク管理データとを記憶する記憶手段と、
前記ロット管理データと、前記マスク管理データとを更新する更新手段と、
前記ロット管理データと、前記マスク管理データとに基づき、ロットの供給を制御するためのロット供給制御情報と、マスクの供給を制御するためのマスク供給制御情報とを生成する制御情報生成手段と、
前記フォト装置にロットを供給するロット供給装置に前記ロット供給制御情報を送信するとともに、前記フォト装置にマスクを供給するマスク供給装置に前記マスク供給制御情報を送信するとともに、前記ロット供給装置、前記マスク供給装置または前記フォト装置からロットまたはマスクの現在位置を示す通知情報を受信する通信手段と、
を含み、
前記ロット管理データは、ロット識別情報を示すデータと、ロットの現在位置を示すロット現在位置データと、ロットで使用するマスク識別情報を示すデータとを含み、
前記マスク管理データは、マスク識別情報を示すデータと、マスクの現在位置を示すマスク現在位置データとを含み、かつ、前記マスク識別情報によって前記ロット管理データと関連づけられ、
前記更新手段は、前記通知情報に基づき、前記ロット現在位置データと、前記マスク現在位置データとを更新し、
前記制御情報生成手段は、前記ロット現在位置データと、前記マスク現在位置データとに基づき、前記ロット供給制御情報と、前記マスク供給制御情報とを生成することを特徴とする。
コンピュータを、
複数のロットを管理するためのロット管理データと、複数のマスクを管理するためのマスク管理データとを記憶する記憶手段と、
前記ロット管理データと、前記マスク管理データとを更新する更新手段と、
前記ロット管理データと、前記マスク管理データとに基づき、ロットの供給を制御するためのロット供給制御情報と、マスクの供給を制御するためのマスク供給制御情報とを生成する制御情報生成手段と、
前記フォト装置にロットを供給するロット供給装置に前記ロット供給制御情報を送信するとともに、前記フォト装置にマスクを供給するマスク供給装置に前記マスク供給制御情報を送信するとともに、前記ロット供給装置、前記マスク供給装置または前記フォト装置からロットまたはマスクの現在位置を示す通知情報を受信する通信手段として機能させ、
前記ロット管理データは、ロット識別情報を示すデータと、ロットの現在位置を示すロット現在位置データと、ロットで使用するマスク識別情報を示すデータとを含み、
前記マスク管理データは、マスク識別情報を示すデータと、マスクの現在位置を示すマスク現在位置データとを含み、かつ、前記マスク識別情報によって前記ロット管理データと関連づけられ、
前記更新手段は、前記通知情報に基づき、前記ロット現在位置データと、前記マスク現在位置データとを更新し、
前記制御情報生成手段は、前記ロット現在位置データと、前記マスク現在位置データとに基づき、前記ロット供給制御情報と、前記マスク供給制御情報とを生成することを特徴とする。
上記プログラムを記憶したことを特徴とする。
ロット供給装置、マスク供給装置または前記フォト装置からロットまたはマスクの現在位置を示す通知情報を受信し、
当該通知情報に基づき、ロットの現在位置を示すロット現在位置データまたはマスクの現在位置を示すマスク現在位置データを更新し、
前記フォト装置での露光処理要求があった場合、
ロット識別情報を示すデータと、前記ロット現在位置データと、ロットで使用するマスク識別情報を示すデータとを含み、複数のロットを管理するためのロット管理データと、マスク識別情報を示すデータと、前記マスク現在位置データとを含み、かつ、前記マスク識別情報によって前記ロット管理データと関連づけられ、複数のマスクを管理するためのマスク管理データとに基づき、ロットの供給を制御するためのロット供給制御情報と、マスクの供給を制御するためのマスク供給制御情報とを生成し、
前記フォト装置にロットを供給するロット供給装置に前記ロット供給制御情報を送信し、
前記フォト装置にマスクを供給するマスク供給装置に前記マスク供給制御情報を送信することを特徴とする。
前記更新手段は、前記通知情報に基づき、前記マスク使用回数データを更新するとともに、マスクの使用回数が所定値を超えた場合、マスクの状態を変更するように前記マスク状態データを更新し、
前記制御情報生成手段は、前記マスク状態データに基づき、使用対象のロットに対して使用対象のマスクが使用可能かどうかを判定し、使用可能である場合、当該ロットと当該マスクを使用し、使用可能でない場合、当該ロットと別のマスクまたは別のロットと別のマスクを使用するように、前記ロット供給制御情報と、前記マスク供給制御情報とを生成してもよい。
前記通知情報に基づき、前記マスク使用回数データを更新するとともに、マスクの使用回数が所定値を超えた場合、マスクの状態を変更するように前記マスク状態データを更新し、
前記マスク状態データに基づき、使用対象のロットに対して使用対象のマスクが使用可能かどうかを判定し、使用可能である場合、当該ロットと当該マスクを使用し、使用可能でない場合、当該ロットと別のマスクまたは別のロットと別のマスクを使用するように、前記ロット供給制御情報と、前記マスク供給制御情報とを生成してもよい。
前記制御情報生成手段は、前記優先度データに基づき、優先度の高いロットから処理するように、前記ロット供給制御情報を生成してもよい。
前記優先度データに基づき、優先度の高いロットから処理するように、前記ロット供給制御情報を生成してもよい。
前記記憶手段は、前記フォト装置を管理するためのフォト装置管理データを記憶し、
前記更新手段は、前記通知情報に基づき、前記フォト装置管理データを更新し、
前記制御情報生成手段は、前記フォト装置管理データに基づき、前記フォト装置内部でのマスクの移動を制御するためのマスク移動制御情報を生成し、
前記通信手段は、当該マスク移動制御情報を前記フォト装置へ向け送信し、
前記露光側通信部は、当該マスク移動制御情報を受信し、
前記移動制御部は、当該マスク移動制御情報に基づき、前記マスク載置部へのマスクの載置または前記マスク載置部からのマスクの移動を行ってもよい。
前記通知情報に基づき、前記フォト装置を管理するためのフォト装置管理データを更新し、
前記フォト装置管理データに基づき、前記フォト装置内部でのマスクの移動を制御するためのマスク移動制御情報を生成し、
当該マスク移動制御情報を前記フォト装置へ向け送信し、
前記露光側通信部は、当該マスク移動制御情報を受信し、
前記移動制御部は、当該マスク移動制御情報に基づき、前記マスク載置部へのマスクの載置または前記マスク載置部からのマスクの移動を行ってもよい。
前記制御情報生成手段は、前記ポートIDデータと、前記マスクIDデータとに基づき、前記マスク載置部にマスクが載置されていないポートが1つであると判定した場合、所定の基準に基づき、前記マスク載置部から1つのマスクを移動させてから使用対象のマスクを前記マスク載置部のポートに載置するように、前記マスク移動制御情報を生成してもよい。
前記ポートIDデータと、前記マスクIDデータとに基づき、前記マスク載置部にマスクが載置されていないポートが1つであると判定した場合、所定の基準に基づき、前記マスク載置部から1つのマスクを移動させてから使用対象のマスクを前記マスク載置部のポートに載置するように、前記マスク移動制御情報を生成してもよい。
図1は、本実施形態の一例に係るシステム全体を示す概略図である。
次に、これらの各部を用いた処理の流れについて説明する。
以上、本発明を適用した好適な実施の形態について説明してきたが、本発明の適用は上述した実施例に限定されない。
Claims (12)
- フォト装置へのロットとマスクの供給を制御する供給制御システムにおいて、
複数のロットを管理するためのロット管理データと、複数のマスクを管理するためのマスク管理データとを記憶する記憶手段と、
前記ロット管理データと、前記マスク管理データとを更新する更新手段と、
前記ロット管理データと、前記マスク管理データとに基づき、ロットの供給を制御するためのロット供給制御情報と、マスクの供給を制御するためのマスク供給制御情報とを生成する制御情報生成手段と、
前記フォト装置にロットを供給するロット供給装置に前記ロット供給制御情報を送信するとともに、前記フォト装置にマスクを供給するマスク供給装置に前記マスク供給制御情報を送信するとともに、前記ロット供給装置、前記マスク供給装置または前記フォト装置からロットまたはマスクの現在位置を示す通知情報を受信する通信手段と、
を含み、
前記ロット管理データは、ロット識別情報を示すデータと、ロットの現在位置を示すロット現在位置データと、ロットで使用するマスク識別情報を示すデータとを含み、
前記マスク管理データは、マスク識別情報を示すデータと、マスクの現在位置を示すマスク現在位置データとを含み、かつ、前記マスク識別情報によって前記ロット管理データと関連づけられ、
前記更新手段は、前記通知情報に基づき、前記ロット現在位置データと、前記マスク現在位置データとを更新し、
前記制御情報生成手段は、前記ロット現在位置データと、前記マスク現在位置データとに基づき、前記ロット供給制御情報と、前記マスク供給制御情報とを生成することを特徴とする供給制御システム。 - 請求項1において、
前記マスク管理データは、マスクの状態を示すマスク状態データと、マスクの使用回数を示すマスク使用回数データとを含み、
前記更新手段は、前記通知情報に基づき、前記マスク使用回数データを更新するとともに、マスクの使用回数が所定値を超えた場合、マスクの状態を変更するように前記マスク状態データを更新し、
前記制御情報生成手段は、前記マスク状態データに基づき、使用対象のロットに対して使用対象のマスクが使用可能かどうかを判定し、使用可能である場合、当該ロットと当該マスクを使用し、使用可能でない場合、当該ロットと別のマスクまたは別のロットと別のマスクを使用するように、前記ロット供給制御情報と、前記マスク供給制御情報とを生成することを特徴とする供給制御システム。 - 請求項1、2のいずれかにおいて、
前記ロット管理データは、ロットの処理優先度を示す優先度データを含み、
前記制御情報生成手段は、前記優先度データに基づき、優先度の高いロットから処理するように、前記ロット供給制御情報を生成することを特徴とする供給制御システム。 - 請求項1〜3のいずれかにおいて、
前記フォト装置は、複数のマスクを載置可能なマスク載置部と、前記フォト装置内におけるマスクの移動を行う移動制御部と、前記通知情報を生成して前記通信手段へ向け送信する露光側通信部とを含み、
前記記憶手段は、前記フォト装置を管理するためのフォト装置管理データを記憶し、
前記更新手段は、前記通知情報に基づき、前記フォト装置管理データを更新し、
前記制御情報生成手段は、前記フォト装置管理データに基づき、前記フォト装置内部でのマスクの移動を制御するためのマスク移動制御情報を生成し、
前記通信手段は、当該マスク移動制御情報を前記フォト装置へ向け送信し、
前記露光側通信部は、当該マスク移動制御情報を受信し、
前記移動制御部は、当該マスク移動制御情報に基づき、前記マスク載置部へのマスクの載置または前記マスク載置部からのマスクの移動を行うことを特徴とする供給制御システム。 - 請求項4において、
前記フォト装置管理データは、前記マスク載置部におけるマスクを載置するポートを示すポートIDデータと、当該ポートに設置されているマスクを示すマスクIDデータとを含み、
前記制御情報生成手段は、前記ポートIDデータと、前記マスクIDデータとに基づき、前記マスク載置部にマスクが載置されていないポートが1つであると判定した場合、所定の基準に基づき、前記マスク載置部から1つのマスクを移動させてから使用対象のマスクを前記マスク載置部のポートに載置するように、前記マスク移動制御情報を生成することを特徴とする供給制御システム。 - フォト装置へのロットとマスクの供給を制御するためのプログラムであり、コンピュータにより読み取り可能なプログラムであって、
コンピュータを、
複数のロットを管理するためのロット管理データと、複数のマスクを管理するためのマスク管理データとを記憶する記憶手段と、
前記ロット管理データと、前記マスク管理データとを更新する更新手段と、
前記ロット管理データと、前記マスク管理データとに基づき、ロットの供給を制御するためのロット供給制御情報と、マスクの供給を制御するためのマスク供給制御情報とを生成する制御情報生成手段と、
前記フォト装置にロットを供給するロット供給装置に前記ロット供給制御情報を送信するとともに、前記フォト装置にマスクを供給するマスク供給装置に前記マスク供給制御情報を送信するとともに、前記ロット供給装置、前記マスク供給装置または前記フォト装置からロットまたはマスクの現在位置を示す通知情報を受信する通信手段として機能させ、
前記ロット管理データは、ロット識別情報を示すデータと、ロットの現在位置を示すロット現在位置データと、ロットで使用するマスク識別情報を示すデータとを含み、
前記マスク管理データは、マスク識別情報を示すデータと、マスクの現在位置を示すマスク現在位置データとを含み、かつ、前記マスク識別情報によって前記ロット管理データと関連づけられ、
前記更新手段は、前記通知情報に基づき、前記ロット現在位置データと、前記マスク現在位置データとを更新し、
前記制御情報生成手段は、前記ロット現在位置データと、前記マスク現在位置データとに基づき、前記ロット供給制御情報と、前記マスク供給制御情報とを生成することを特徴とするプログラム。 - コンピュータにより読み取り可能なプログラムを記憶した情報記憶媒体であって、
請求項6に記載のプログラムを記憶したことを特徴とする情報記憶媒体。 - フォト装置へのロットとマスクの供給を制御する供給制御方法において、
ロット供給装置、マスク供給装置または前記フォト装置からロットまたはマスクの現在位置を示す通知情報を受信し、
当該通知情報に基づき、ロットの現在位置を示すロット現在位置データまたはマスクの現在位置を示すマスク現在位置データを更新し、
前記フォト装置での露光処理要求があった場合、
ロット識別情報を示すデータと、前記ロット現在位置データと、ロットで使用するマスク識別情報を示すデータとを含み、複数のロットを管理するためのロット管理データと、マスク識別情報を示すデータと、前記マスク現在位置データとを含み、かつ、前記マスク識別情報によって前記ロット管理データと関連づけられ、複数のマスクを管理するためのマスク管理データとに基づき、ロットの供給を制御するためのロット供給制御情報と、マスクの供給を制御するためのマスク供給制御情報とを生成し、
前記フォト装置にロットを供給するロット供給装置に前記ロット供給制御情報を送信し、
前記フォト装置にマスクを供給するマスク供給装置に前記マスク供給制御情報を送信することを特徴とする供給制御方法。 - 請求項8において、
前記マスク管理データは、マスクの状態を示すマスク状態データと、マスクの使用回数を示すマスク使用回数データとを含み、
前記通知情報に基づき、前記マスク使用回数データを更新するとともに、マスクの使用回数が所定値を超えた場合、マスクの状態を変更するように前記マスク状態データを更新し、
前記マスク状態データに基づき、使用対象のロットに対して使用対象のマスクが使用可能かどうかを判定し、使用可能である場合、当該ロットと当該マスクを使用し、使用可能でない場合、当該ロットと別のマスクまたは別のロットと別のマスクを使用するように、前記ロット供給制御情報と、前記マスク供給制御情報とを生成することを特徴とする供給制御方法。 - 請求項8、9のいずれかにおいて、
前記ロット管理データは、ロットの処理優先度を示す優先度データを含み、
前記優先度データに基づき、優先度の高いロットから処理するように、前記ロット供給制御情報を生成することを特徴とする供給制御方法。 - 請求項8〜10のいずれかにおいて、
前記フォト装置は、複数のマスクを載置可能なマスク載置部と、前記フォト装置内におけるマスクの移動を行う移動制御部と、前記通知情報を生成して前記通信手段へ向け送信する露光側通信部とを含み、
前記通知情報に基づき、前記フォト装置を管理するためのフォト装置管理データを更新し、
前記フォト装置管理データに基づき、前記フォト装置内部でのマスクの移動を制御するためのマスク移動制御情報を生成し、
当該マスク移動制御情報を前記フォト装置へ向け送信し、
前記露光側通信部は、当該マスク移動制御情報を受信し、
前記移動制御部は、当該マスク移動制御情報に基づき、前記マスク載置部へのマスクの載置または前記マスク載置部からのマスクの移動を行うことを特徴とする供給制御方法。 - 請求項11において、
前記フォト装置管理データは、前記マスク載置部におけるマスクを載置するポートを示すポートIDデータと、当該ポートに設置されているマスクを示すマスクIDデータとを含み、
前記ポートIDデータと、前記マスクIDデータとに基づき、前記マスク載置部にマスクが載置されていないポートが1つであると判定した場合、所定の基準に基づき、前記マスク載置部から1つのマスクを移動させてから使用対象のマスクを前記マスク載置部のポートに載置するように、前記マスク移動制御情報を生成することを特徴とする供給制御方法。
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