JP2008192836A

JP2008192836A - 搬送制御装置

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Publication number: JP2008192836A
Application number: JP2007025888A
Authority: JP
Inventors: Noburo Sakurai; 信朗櫻井
Original assignee: Sharp Corp
Current assignee: Sharp Corp
Priority date: 2007-02-05
Filing date: 2007-02-05
Publication date: 2008-08-21

Abstract

【課題】複数の搬送経路がある場合には、搬送が特定の装置に偏らないように搬送経路を別途定義することで、搬送経路を効率的に利用可能とする。
【解決手段】搬送装置２１、分岐装置２２及び生産装置３０の利用順をマトリックスで定義した第１中継定義テーブルと、を記憶する中継経路記憶手段と、複数の搬送装置２１のうち、複数の分岐装置２２に接続している特定搬送装置から中継する一つの分岐装置２２を定義した第１中継定義テーブルとを備えており、搬送経路決定部１４は、第１中継定義テーブルの情報と、搬送物位置情報領域１１ａに記憶された搬送物の現在位置及び搬送先装置の情報とに基づいて、搬送物が到着した装置から次の装置までの搬送経路を決定する一方、搬送経路に前記特定搬送装置が含まれている場合には、この特定搬送装置に関しては第２中継定義テーブルの情報に基づいて次の中継装置を決定する。
【選択図】図１

Description

本発明は、複数の搬送装置と、前記搬送装置間を接続する複数の中継装置とで構成される搬送システムに接続された搬送制御装置に関し、特に、搬送物を搬送する搬送経路を選定する際に、この搬送経路を構成する搬送装置及び分岐装置の選択を効率的に行う搬送制御装置に関する。

搬送システムによって搬送される搬送物の一例として、半導体デバイスを製造する際に用いられるウエハがある。この半導体デバイスは、ウエハに対して、洗浄や成膜、レジストコーティング、露光、及びエッチングなどといった一連の製造工程を、定められた層の数だけ繰り返し行って、配線や回路素子を形成することで製造される。その後、ウエハを分断することで、最終的にチップとなる。

これらの製造工程は、例えば、処理内容別に設置された複数台の生産装置によってそれぞれ実施される。この場合、ロット（すなわち、搬送物であり、各製造工程が同時に実施される複数の基板（ウエハ）からなるもの。）は、所定の生産装置において第１製造工程を終えた後、搬送装置によってこの生産装置から複数の棚を保有した分岐装置に搬送され、この分岐装置において保管される。そして、このロットに対して第２製造工程を実施する際には、ロットは、搬送装置によって分岐装置から所定の生産装置へ搬送される。そして、この生産装置での処理終了後は、第３製造工程を実施する生産装置へロットを搬送するために、搬送装置によって、第２製造工程を実施した生産装置から複数の棚を保有した分岐装置へロットが搬送される。

生産装置、搬送装置及び分岐装置が複数ある工場では、搬送元から搬送先までに経由する全ての中継ポイントを示した搬送定義テーブルは膨大である。そこで、本発明者は、この搬送経路テーブルを、搬送元（中継装置）と搬送先とをマトリックスで定義することにより、変更に要する時間の短縮や変更による設定ミスを防ぐようにした搬送制御装置をすでに提案している（例えば、特許文献１参照）。
特開２００６−２４５４１６号公報（第１６頁、第７図）

しかしながら、特許文献１の搬送制御装置の搬送経路テーブルの構成では、複数の経路があるにも係わらず、特定の搬送装置に偏りが発生し、最適な搬送装置を定義できない。ここで、特許文献１に係る搬送制御装置の搬送制御方法を、本搬送システムの実施形態のレイアウトを示す図２と、第１中継定義テーブルを示す図３とを参照して説明する。

図２は、１階のレイアウト２０１と２階のレイアウト２０２とを平面的に示しており、生産装置３０ａ〜３０ｈ、搬送装置２１ａ〜２１ｈ、分岐装置２２ａ〜２２ｈがそれぞれ所定のレイアウトで配置されている。また、図２では、生産装置３０ａ〜３０ｈにＰＲ１〜ＰＲ８、搬送装置２１ａ〜２１ｈにＤＬ１〜ＤＬ８、分岐装置２２ａ〜２２ｈにＳＴ１〜ＳＴ８といった個々の装置を識別するための装置名が割り当てられている。以下の説明では、必要に応じて各装置をその装置名でも表記するものとする。

搬送装置ＤＬ３は、１階の分岐装置ＳＴ３と２階の分岐装置ＳＴ７の間を搬送するリフタである。搬送装置ＤＬ４は、１階の分岐装置ＳＴ４と２階の分岐装置ＳＴ８の間を搬送するリフタである。

搬送装置ＤＬ５は、搬送物（ロット）を分岐装置ＳＴ１、分岐装置ＳＴ２、分岐装置ＳＴ３及び分岐装置ＳＴ４のいずれかで受け取って搬送する第１搬送車２２１及び第２搬送車２２２を備えており、この第１搬送車２２１及び第２搬送車２２２を、搬送経路２１１に沿って一方向（搬送方向Ａ）に周回搬送させる。

搬送装置ＤＬ８は、搬送物（ロット）を分岐装置ＳＴ５、分岐装置ＳＴ６、分岐装置ＳＴ７及び分岐装置ＳＴ８のいずれかで受け取って搬送する第１搬送車２２３及び第２搬送車２２４を備えており、この第１搬送車２２３及び第２搬送車２２４を、搬送経路２１２に沿って一方向（搬送方向Ｂ）に周回搬送させる。すなわち、搬送経路２１１と搬送経路２１２とは逆方向の搬送となっている。

図３は、図２のレイアウトにおいて、搬送物（ロット）を搬送する装置（搬送装置、分岐装置、生産装置の全てを含む）の順番をマトリックスで定義した第１中継定義テーブルを示す説明図である。

図３に示すように、第１中継定義テーブル３０１において、１行目（最上行）は搬送先の装置名（ＰＲ１〜ＰＲ８及びＳＴ１〜ＳＴ８）で構成されており、１列目（最左例）はＦｒｏｍ（起点）となる装置名（ＰＲ１〜ＰＲ８、ＳＴ１〜ＳＴ８及びＤＬ１〜ＤＬ８）で構成されており、この行と列で構成されるマトリクスの各枡の中には、Ｆｒｏｍから搬送先へ搬送物（ロット）を搬送するための装置名が定義されている。

例えば、搬送元であるＰＲ１から搬送先であるＳＴ５までの搬送経路を取得する場合は、この第１中継定義テーブル３０１を用いて以下のように搬送経路が決定される。

すなわち、最初の装置は、ＰＲ１行、ＳＴ５列のＤＬ１、２番目の装置は、ＤＬ１行、ＳＴ５列のＳＴ１、３番目の装置は、ＳＴ１行、ＳＴ５列のＤＬ５、４番目の装置は、ＤＬ５行、ＳＴ５列のＳＴ４、５番目の装置は、ＳＴ４行、ＳＴ列のＤＬ４、６番目の装置は、ＤＬ４行、ＳＴ５列のＳＴ８、７番目の装置は、ＳＴ８行、ＳＴ５列のＤＬ８、８番目の装置は、ＤＬ８行、ＳＴ５列のＳＴ５、となる。従って、これらを繰り返したＰＲ１からＳＴ５までの搬送経路は、
ＤＬ１→ＳＴ１→ＤＬ５→ＳＴ４→ＤＬ４→ＳＴ８→ＤＬ８→ＳＴ５となる。

同様にして、例えば搬送元であるＰＲ２から搬送先であるＳＴ５までの搬送経路は、
ＤＬ１→ＳＴ１→ＤＬ５→ＳＴ４→ＤＬ４→ＳＴ８→ＤＬ８→ＳＴ５となる。

また、搬送元であるＰＲ３から搬送先であるＳＴ５までの搬送経路は、
ＤＬ２→ＳＴ２→ＤＬ５→ＳＴ４→ＤＬ４→ＳＴ８→ＤＬ８→ＳＴ５となる。

さらに、搬送元であるＰＲ４から搬送先であるＳＴ５までの搬送経路は、
ＤＬ２→ＳＴ２→ＤＬ５→ＳＴ４→ＤＬ４→ＳＴ８→ＤＬ８→ＳＴ５となる。

すなわち、ＰＲ４からＳＴ５までの搬送経路と、ＰＲ３からＳＴ５までの搬送経路が全く同じ搬送経路となる。

このように、特許文献１に係る搬送制御装置の搬送制御方法を適用した場合には、搬送元が異なる（ＰＲ１またはＰＲ２またはＰＲ３またはＰＲ４）にも係わらず、搬送装置ＤＬ５から搬送先のＰＲ５までは同じ経路になり、搬送装置ＤＬ４が必ず使用されることになる。

この場合、搬送元がＰＲ１及びＰＲ２については、搬送装置ＤＬ４よりも近くに配置されている搬送装置ＤＬ３で搬送する方が、搬送先のＳＴ５までの搬送距離は短くなるが、特許文献１に係る搬送制御装置の搬送制御方法を適用した場合には、搬送装置ＤＬ３を使用することができず、搬送経路を効率的に利用することができないといった問題が残されていた。仮に、搬送元がＰＲ１及びＰＲ２の場合に、搬送装置ＤＬ４ではなく搬送装置ＤＬ３を利用するように第１中継定義テーブル３０１を書き換えたとしても、こんどは逆に、搬送元がＰＲ３及びＰＲ４については、搬送装置ＤＬ４よりも遠くに配置（搬送方向Ａに対して遠くに配置）されている搬送装置ＤＬ３を利用することになり、第１中継定義テーブル３０１の書き換えだけで対応することは不可能である。

本発明はかかる問題点を解決すべく創案されたもので、その目的は、複数の搬送経路がある場合には、搬送が特定の装置に偏らないように搬送経路を別途定義することで、搬送経路を効率的に利用可能とした搬送制御装置を提供することにある。

上記課題を解決するため、本発明の搬送制御装置は、複数の搬送装置と、前記搬送装置間を接続する複数の中継装置とを含む搬送システムにおいて、搬送物を搬送する経路である搬送経路を決定する際に、この搬送経路を構成する前記搬送装置及び前記中継装置の選択に関する制御を行う搬送制御装置であって、前記搬送装置及び前記中継装置の利用順をマトリックスで定義した第１中継定義テーブルを記憶する第１中継経路記憶手段と、前記複数の搬送装置のうち、複数の中継装置に接続している特定搬送装置を記憶する搬送装置情報記憶手段と、搬送元装置から搬送先装置までの経路に前記特定搬送装置が含まれる場合には、前記特定搬送装置から中継する一つの中継装置を定義した第２中継定義テーブルを記憶する第２中継経路記憶手段と、搬送物の現在位置である搬送元装置と搬送先装置とを示す情報を、搬送物ごとに記憶する搬送物位置情報記憶手段と、前記第１中継経路記憶手段に記憶された第１中継定義テーブルの情報と、前記搬送物位置情報記憶手段に記憶された搬送物の現在位置及び搬送先装置の情報とに基づいて、搬送物が到着した装置から次の装置までの搬送経路を決定する搬送経路決定手段とを備え、前記搬送経路決定手段は、搬送経路に前記特定搬送装置が含まれている場合には、前記特定搬送装置に関しては前記第２中継経路記憶手段に記憶された第２中継定義テーブルの情報に基づいて次の中継装置を決定することを特徴としている。

すなわち、搬送経路決定手段は、基本的には第１中継定義テーブルに基づいて次の装置を選択する一方、搬送物の搬送元装置と搬送先装置との間に前記特定搬送装置が含まれている場合には、第２中継定義テーブルを参照して、当該搬送物の搬送経路に含まれる特定搬送装置が第２中継定義テーブルに定義されているか否かを確認し、定義されている場合には、第１中継定義テーブルの定義に優先して第２中継定義テーブルの定義を利用する。

例えば、上記従来技術において、搬送物が搬送元であるＰＲ１から搬送先であるＳＴ５までの搬送経路で搬送される場合において、特定搬送装置であるＤＬ５の搬送先が第２中継定義テーブルに例えばＳＴ３として定義されている場合には、その定義に従って、ＤＬ５→ＳＴ３と搬送する。その結果、従来技術では、
ＤＬ１→ＳＴ１→ＤＬ５→ＳＴ４→ＤＬ４→ＳＴ８→ＤＬ８→ＳＴ５
であった搬送経路が、第２中継定義テーブルを利用することで、
ＤＬ１→ＳＴ１→ＤＬ５→ＳＴ３→ＤＬ３→ＳＴ７→ＤＬ８→ＳＴ５
となる。すなわち、１Ｆから２Ｆに搬送するときに、ＳＴ４ではなく搬送元であるＰＲ１により近いＳＴ３を使用することで、搬送距離を短くすることができ、これにより、搬送システム全体の搬送効率を向上させることが可能となる。

一方、搬送経路決定手段は、搬送経路に特定搬送装置が含まれている場合であっても、その特定搬送装置に関する情報が第２中継定義テーブルに定義されていない場合には、従来通り、第１中継定義テーブルの情報に基づいて次の中継装置を決定する。

本発明の搬送制御装置によれば、基本的には第１中継定義テーブルに基づいて次の中継装置を選択する一方、搬送物の搬送元装置と搬送先装置との間に前記特定搬送装置が含まれている場合には、第２中継定義テーブルを参照し、当該搬送物の搬送経路に含まれる特定搬送装置が第２中継定義テーブルに定義されている場合には、第１中継定義テーブルの定義に優先して第２中継定義テーブルの定義を用いるように構成している。これにより、第１中継定義テーブルの定義では遠い搬送経路となる場合に、第２中継定義テーブルにおいてより近い搬送経路を定義しておくことで、当該搬送物の搬送経路を短くすることができ、これにより、搬送システム全体を効率よく稼動させることができる。

以下、本発明の実施の形態について図面を参照して説明する。

図１は、本発明の搬送制御装置の一実施形態及びこの搬送制御装置が適用される搬送システムのシステム構成の一例を示す説明図である。

なお、本実施形態においては、半導体デバイスの製造工程において用いられる搬送システムを例に挙げて説明を行うものとする。

この半導体デバイスの製造工程において使用される搬送システム２０は、複数の搬送装置２１（搬送装置（ＤＬ１）２１ａ，搬送装置（ＤＬ２）２１ｂ，・・・）と、複数の分岐装置２２（分岐装置（ＳＴ１）２２ａ，分岐装置（ＳＴ２）２２ｂ，・・・）と、複数の生産装置３０（生産装置（ＰＲ１）３０ａ，生産装置（ＰＲ２）３０ｂ，・・・）とから構成されている。また、この搬送システム２０は、例えばＬＡＮやインターネットといったネットワーク２３を介して、搬送制御装置１０と接続されている。

搬送装置２１は、生産装置３０と分岐装置２２との間でウエハの搬送を行うものである。また、分岐装置２２は、仕掛りウエハ（すなわち、搬送物）を保管する複数の棚を保有しており、搬送経路の分岐点となるものである。

本実施形態では、搬送システムをこのような構成としたので、搬送経路は、搬送装置２１、分岐装置２２及び生産装置３０によって構成される。また、搬送元は、搬送装置２１または分岐装置２２または生産装置３０のいずれかであり、搬送先は、分岐装置２２または生産装置３０のいずれかである。なお、図１においては、搬送装置２１、分岐装置２２及び生産装置３０がそれぞれ２台ずつ示されているが、台数はこれに限定されるものではない。

本実施形態の搬送制御装置１０は、搬送先指示部１２、搬送情報管理部１３、搬送経路決定部１４及び装置管理部１５を備えており、さらに、搬送物位置情報領域１１ａ、中継経路定義領域１１ｂ及び搬送装置情報領域１１ｃから構成されるデータベース１１を搭載している。中継経路定義領域１１ｂには、第１中継定義テーブルと第２中継定義テーブルとが格納されている。これらの領域についての説明は後述する。また、これらの領域を記憶するデータベース１１は、物理的に単一の装置に搭載する必要はなく、異なる装置に分散して配置されたデータベースによって実現してもよい。

搬送先指示部１２は、各ウエハに対して次の製造工程を実施する生産装置３０と、この製造工程後にウエハを保管する分岐装置２２とを指示するものである。

搬送情報管理部１３は、装置管理部１５によって管理している搬送物（ロット）の現在位置に関する情報を収集し、搬送物位置情報領域１１ｃに搬送物（ロット）単位で格納する。

搬送経路決定部１４は、中継経路定義領域１１ｂに格納されている第１中継定義テーブル３０１の情報に基づき搬送経路を決定する。

装置管理部１５は、搬送経路決定部１４で決定した搬送経路に従い、搬送装置２１または分岐装置２２または搬送装置３０に対して搬送物を搬送するように指示する。

生産装置３０は、１つの製造工程に少なくとも１つ割り当てられており、ウエハが製造工程の順に各生産装置を通過すると同時に、このウエハに対して処理が施されることによって半導体デバイスが完成する。このとき、ウエハは、複数の生産装置３０間にウエハを搬送する搬送装置２１と、ウエハを保管するとともに搬送経路の分岐点となる分岐装置２２とを経由する。

次の製造工程を実施する生産装置３０と、この製造工程を実施した後にウエハを保管する分岐装置２２とは、搬送先指示部１２によって指示される。このとき、搬送情報管理部１３は、生産装置３０と分岐装置２２とを示す情報を、ウエハ単位で搬送物位置情報領域１１ｃに格納する。

装置管理部１５は、指示された搬送経路を構成する生産装置３０、搬送装置２１及び分岐装置２２に対して、ネットワーク２３を通じてウエハの処理を指示する。この指示によって、ウエハは保管されている分岐装置２２（すなわち、搬送元）から、搬送装置２１を経由して、生産装置３０に搬送され、所定の製造工程が実施される。その後、この製造工程が終了すると、搬送装置２１を経由して、搬送先である分岐装置２２に運ばれ保管される。このとき、ウエハの位置情報は、生産装置３０、搬送装置２１及び分岐装置２２に到着した際に、ネットワーク２３を通じて搬送物位置情報領域１１ｃに順次格納される。

以上が、本実施形態の搬送制御装置１０及びこの搬送制御装置１０が接続された搬送システム２０の構成と基本動作の概略説明であるが、以下に搬送制御装置１０及び搬送システム２０のより詳細な動作について、図１ないし図７を参照して説明する。

図２は、図１に示す搬送装置２１、分岐装置２２及び生産装置３０のレイアウトの一例を示す説明図である。

なお、ここでは、搬送装置２１として、搬送装置２１ａ〜２１ｈの８台の搬送装置が配置されており、これら８台の搬送装置２１ａ〜２１ｈには、ＤＬ１〜ＤＬ８といった個々の装置を識別するための装置名がそれぞれ割り当てられている。また、分岐装置２２として、分岐装置２２ａ〜２２ｈの８台の分岐装置が配置されており、これら８台の分岐装置２２ａ〜２２ｈには、ＳＴ１〜ＳＴ８といった個々の装置を識別するための装置名がそれぞれ割り当てられている。さらに、生産装置３０として、生産装置３０ａ〜３０ｈが配置されており、これら８台の生産装置３０ａ〜３０ｈには、ＰＲ１〜ＰＲ８といった個々の装置を識別するための装置名がそれぞれ割り当てられている。以下、必要に応じて割り当てられた装置名を使用する。

なお、搬送装置２１、分岐装置２２及び生産装置３０については、すでに従来技術のところで説明しているので、ここでは個別の説明を省略する。

次に、本実施形態の搬送制御装置１０において実施される搬送制御方法の一例について説明する。

図４は、図１に示す搬送制御装置１０によって実施される搬送制御方法の一例を示すフローチャートである。まず、このフローチャートに従って、本実施形態の搬送制御方法の処理手順を説明し、その後で、具体的に搬送先と搬送元とを設定して実際に搬送経路を決定していく手順について具体的に説明する。

＜本実施形態の搬送制御方法の処理手順の説明＞
まず、第２中継定義テーブル７０１（これについては後述する）の使用フラグを０に初期化する（ステップＳ１）。

次に、搬送先指示部１２は、搬送する搬送物（以下、「ロット」という。）のロットＮｏ．（例えば、ＬＯＴ００１Ａ）と、次の製造工程を実施する生産装置の装置名（例えば、ＰＲ１）と、製造工程終了後にロットを保管する分岐装置の装置名（例えば、ＳＴ５）とを示す情報を、搬送経路決定部１４に対して送信する。また、搬送先指示部１２は、搬送情報管理部１３に対しても、前記の搬送するロット（例えば、ロットＮｏ．がＬＯＴ００１Ａのロット）の位置情報として、次の製造工程を実施する生産装置の装置名（例えば、ＰＲ１）と、製造工程終了後にロットを保管する分岐装置の装置名（例えば、ＳＴ５）とを示す情報を送信する（ステップＳ２）。なお、「ロットＮｏ．」とは、全てのロットで重複しないように投入時に各々のロットに割り振られた番号である。

ここで、搬送物位置情報領域１１ａに格納されているロット単位の搬送物位置情報の詳細内容について、図５を参照しつつ説明する。図５は、搬送物位置情報領域１１ａに格納されているロット単位の位置情報５００の詳細内容を示す説明図である。

位置情報５００には、ロットを識別する情報であるロットＮｏ．と、前記ロットを保管している装置（搬送元）を識別する情報である装置名と、次の製造工程実施後に、前記ロットを保管する装置（搬送先）を識別する情報である装置名と、次の製造工程を実施する生産装置（次の生産装置）を識別する情報である装置名と、搬送元から搬送先までの搬送経路内で、前記ロットが現在どの装置に位置しているのか（現在位置）を識別する情報である装置名とが含まれる。

次に、搬送経路決定部１４は、搬送するロットのロットＮｏ．（例えば、ＬＯＴ００１Ａ）をキーとして、位置情報５００から現在位置の装置名（例えば、ＳＴ１）を取得する（ステップＳ３）。

次いで、取得した装置名（例えば、ＳＴ１）が、複数の分岐装置と接続している搬送装置か否かを識別する（ステップＳ４）。この識別は、搬送装置情報領域１１ｃに格納されている複数の分岐装置と接続している搬送装置名（以下、特定搬送装置名という。）と、前記取得した装置名とが一致するか否かで行われる。

ここで、搬送装置定義領域１１ｃに格納されている搬送装置情報６００の詳細内容について、図６を参照しつつ説明する。図６は、搬送装置定義領域１１ｃに格納されている搬送装置情報の詳細内容を示す説明図である。

搬送装置情報６００は、図６に示すように、複数の分岐装置と接続している特定搬送装置名で構成されている。

具体的に説明すると、搬送装置情報６００には、図２のレイアウトで示すように、中継装置ＳＴ１、中継装置ＳＴ２、中継装置ＳＴ３、及び中継装置ＳＴ４といった４台の中継装置が接続されている搬送装置（特定搬送装置）ＤＬ５と、中継装置ＳＴ５、中継装置ＳＴ６、中継装置ＳＴ７、及び中継装置ＳＴ８といった４台の中継装置が接続されている搬送装置（特定搬送装置）ＤＬ８とが含まれている。

従って、上記ステップＳ３で取得した現在位置の装置名（例えば、ＳＴ１）が、複数の分岐装置と接続されていないと識別された場合（ステップＳ４での判断結果がＮｏである場合）、搬送経路決定部１４は、現在ロットを保持している装置から次にロットを保持する装置（分岐装置または生産装置）までの搬送経路を、中継経路定義領域１１ｂに格納されている第１中継定義テーブル３０１を参照して取得し（ステップＳ５）、その後、後述するステップＳ１０に進むことになる。

なお、中継経路定義領域１１ｂに格納されている図３に示す第１中継定義テーブル３０１については、すでに従来技術のところで説明しているので、ここでは説明を省略する。

一方、上記ステップＳ３で、取得した現在位置の装置名（例えば、ＤＬ５）が複数の分岐装置と接続されていると識別された場合（ステップＳ４での判断結果がＹｅｓである場合）には、搬送経路決定部１４は、第２中継定義テーブル７０１の使用フラグが１でないことを確認後（ステップＳ６）、現在ロットを保持している装置（例えば、ＤＬ５）から次にロットを保持する装置（分岐装置または生産装置）までの搬送経路を、中継経路定義領域１１ｂに格納されている第２中継定義テーブル７０１を参照して、取得する（ステップＳ７）。

ここで、中継経路定義領域１１ｂに格納されている第２中継定義テーブル７０１の一例について、図７を参照しつつ説明する。

図７は、図２のレイアウトにおいて、搬送元の生産装置と搬送先の分岐装置とに対応させて、ロットを搬送する分岐装置を定義した第２中継定義テーブル７０１の一例を示す説明図である。図７に示すように、第２中継定義テーブル７０１において、１行目（最上行）は搬送先の分岐装置名（ＳＴ１〜ＳＴ８）で構成されており、１列目（最左列）はＦｒｏｍ（搬送元）となる生産装置名ＰＲ１〜ＰＲ８で構成されており、この行と列とで構成されるマトリクスの各枡の中には、Ｆｒｏｍから搬送先へ搬送する装置名が定義されている。ここで「−」と表記されている枡は、定義していないこと示している。

搬送経路決定部１４は、位置情報５００から取得した次の生産装置ＰＲ１をＦｒｏｍ（起点）とし、搬送先の装置をＳＴ５とする対応関係にある分岐装置を、第２中継定義テーブル７０１から取得する（ステップＳ７）。この場合、第２中継定義テーブル７０１には、搬送元装置ＰＲ１と搬送先装置ＳＴ５とに対応する分岐装置としてＳＴ３が定義されており、ステップＳ８でＮｏと判断されるので、この場合には、第２中継定義テーブル７０１からこの分岐装置ＳＴ３を搬送経路として取得し、第２中継定義テーブル７０１の使用フラグを１に設定する（ステップＳ９）。一方、搬送元装置と搬送先装置とに対応する分岐装置が定義されていない場合（ステップＳ８でＹｅｓと判断された場合）には、ステップＳ５に進んで、第１中継定義テーブル３０１から搬送経路を取得することになる。

次に、決定した搬送経路に従ってロットを搬送するように、装置管理部１５が、ネットワーク２３を通じて、搬送装置２１または分岐装置２２に指示する（ステップＳ１０）。

そして、ロットが搬送装置２１または分岐装置２２（または生産装置３０）に到着すると、搬送装置２１または分岐装置２２または生産装置３０は、ネットワーク２３を通じて、ロットが到着したことを示す信号を搬送情報管理部１３に送信する。搬送情報管理部１３は、この信号を受けると、搬送物位置情報領域１１ｃに格納している位置情報５００の現在位置に、ロットが到着した装置（搬送装置２１または分岐装置２２または生産装置３０）の装置名を格納する（ステップＳ１１）。なお、到着した装置が生産装置３０である場合には、生産装置３０において所定の製造工程が実施される。

もし、ロットが、搬送先である分岐装置２２（例えば、装置名がＳＴ５の分岐装置２２ｅ）または生産装置３０（例えば、装置名がＰＲ１の生産装置３０ａ）に到達していなければ（ステップＳ１２での判断がＮｏである間は）、ステップＳ３に戻り、上記した手順と同様の手順で処理を実施する。

一方、ロットが、生産装置３０（例えば、装置名がＰＲ１の生産装置３０ａ）に到達すると（ステップＳ１２での判断がＹｅｓかつステップＳ１３での判断がＹｅｓになると）、搬送情報管理部１３は、搬送物位置情報領域１１ｃに格納している位置情報５００の搬送元に、ロットが到着した生産装置３０ａの装置名（ＰＲ１）を格納する（ステップＳ１４）。その後、ステップＳ３に戻り、上記した手順と同様の手順で処理を実施する。

一方、ロットが、搬送先である分岐装置２２（例えば、装置名がＳＴ５の分岐装置２２ｅ）に到達すると（ステップＳ１２での判断がＹｅｓかつステップＳ１３での判断がＮｏになると）、１つの製造工程に関わる一連の搬送制御処理が終了する。

以上が、フローチャートに従った本実施形態の搬送制御方法の基本的な処理の説明である。

＜搬送先と搬送元とを具体的に設定して実際に搬送経路を決定していく手順の説明＞
ここでは、一つの製造工程に関わる一連の搬送制御処理として、分岐装置ＳＴ１に保管されているロットを、生産装置ＰＲ１で製造工程を実施した後、分岐装置ＳＴ５へ搬送する場合、すなわち、搬送元装置がＳＴ１、生産装置がＰＲ１、搬送先装置がＳＴ５の場合の搬送経路の決定手順について説明する。なお、本実施形態では、一つの製造工程に関わる一連の搬送制御処理において、第２中継定義テーブル７０１の使用上限が１回に制限されている場合について説明する。

まず、第２中継定義テーブル７０１の使用フラグを０に初期化する（ステップＳ１）。

次に、搬送先指示部１２は、搬送するロットのロットＮｏ．（例えば、ＬＯＴ００１Ａ）と、製造工程を実施した生産装置の装置名（ここでは、ＰＲ１）と、製造工程終了後にロットを保管する分岐装置の装置名（ここでは、ＳＴ５）とを示す情報を、搬送経路決定部１４に対して送信する。また、搬送先指示部１２は、搬送情報管理部１３に対しても、前記の搬送するロット（例えば、ロットＮｏ．がＬＯＴ００１Ａのロット）の位置情報として、次の製造工程を実施する生産装置の装置名（ＰＲ１）と、製造工程終了後にロットを保管する分岐装置の装置名（ＳＴ５）とを示す情報を送信する（ステップＳ２）。

次に、搬送経路決定部１４は、搬送するロットのロットＮｏ．（ＬＯＴ００１Ａ）をキーとして、位置情報５００から搬送元の装置名（ＳＴ１）を取得する（ステップＳ３）。

次いで、取得した装置名（ＳＴ１）が、複数の分岐装置と接続している搬送装置か否かを、搬送装置情報領域１１ｃに格納されている複数の分岐装置と接続している特定搬送装置名と比較して識別する（ステップＳ４）。ここでは、Ｎｏと判断されるので、ステップＳ５に進む。

すなわち、搬送経路決定部１４は、現在ロットを保持している分岐装置ＳＴ１から次にロットを保持する装置（ここでは生産装置ＰＲ１）までの搬送経路を、中継経路定義領域１１ｂに格納されている図３に示す第１中継定義テーブル３０１を参照して取得する。具体的には、図３に示す第１中継定義テーブル３０１のＳＴ１列、ＰＲ１行に格納されているＤＬ１を取得する。

この後、ステップＳ１０〜ステップＳ１４の処理（ここでは、ステップＳ１２でＮｏと判断されるまでの処理）を適宜実施し、ステップＳ３に戻って、搬送経路決定部１４は、搬送するロットのロットＮｏ．（ＬＯＴ００１Ａ）をキーとして、位置情報５００から現在位置の装置名（ＤＬ１）を取得する。

次いで、取得した装置名（ＤＬ１）が、複数の分岐装置と接続している搬送装置か否かを、搬送装置情報領域１１ｃに格納されている複数の分岐装置と接続している特定搬送装置名と比較して識別する（ステップＳ４）。ここでは、Ｎｏと判断されるので、ステップＳ５に進む。

すなわち、搬送経路決定部１４は、現在ロットを保持している搬送装置ＤＬ１から次にロットを保持する装置（ここでは生産装置ＰＲ１）までの搬送経路を、中継経路定義領域１１ｂに格納されている図３に示す第１中継定義テーブル３０１を参照して取得する。具体的には、図３に示す第１中継定義テーブル３０１のＤＬ１列、ＰＲ１行に格納されているＰＲ１を取得する。

この後、ステップＳ１０〜ステップＳ１４の処理を適宜実施するのであるが、この場合、生産装置ＰＲ１で製造工程を終了することになるので、ステップＳ１２での判断がＹｅｓ、ステップＳ１３での判断がＹｅｓとなり、ステップＳ１４において、位置情報５００の搬送元にこの生産装置ＰＲ１を格納する。すなわち、この時点で、搬送元が、元々のＳＴ１からＰＲ１に変更されることになる。この後、ステップＳ３に戻って、搬送経路決定部１４は、搬送するロットのロットＮｏ．（ＬＯＴ００１Ａ）をキーとして、位置情報５００から現在位置の装置名（ＰＲ１）を取得する。

次いで、取得した装置名（ＰＲ１）が、複数の分岐装置と接続している搬送装置か否かを、搬送装置情報領域１１ｃに格納されている複数の分岐装置と接続している特定搬送装置名と比較して識別する（ステップＳ４）。ここでは、Ｎｏと判断されるので、ステップＳ５に進む。

すなわち、搬送経路決定部１４は、現在ロットを保持している生産装置ＰＲ１から次にロットを保持する搬送先の分岐装置ＳＴ５までの搬送経路を、中継経路定義領域１１ｂに格納されている図３に示す第１中継定義テーブル３０１を参照して取得する。具体的には、図３に示す第１中継定義テーブル３０１のＰＲ１列、ＳＴ５行に格納されているＤＬ１を取得する。

この後、ステップＳ１０〜ステップＳ１４の処理（ここでは、ステップＳ１２でＮｏと判断されるまでの処理）を適宜実施し、ステップＳ３に戻って、搬送経路決定部１４は、搬送するロットのロットＮｏ．（ＬＯＴ００１Ａ）をキーとして、位置情報５００から現在位置の装置名（ＤＬ１）を取得する（ステップＳ４）。

すなわち、搬送経路決定部１４は、現在ロットを保持している搬送装置ＤＬ１から次にロットを保持する装置までの搬送経路を、中継経路定義領域１１ｂに格納されている図３に示す第１中継定義テーブル３０１を参照して取得する。具体的には、図３に示す第１中継定義テーブル３０１のＤＬ１列、ＳＴ５行に格納されているＳＴ１を取得する。

この後、ステップＳ１０〜ステップＳ１４の処理（ここでは、ステップＳ１２でＮｏと判断されるまでの処理）を適宜実施し、ステップＳ３に戻って、搬送経路決定部１４は、搬送するロットのロットＮｏ．（ＬＯＴ００１Ａ）をキーとして、位置情報５００から現在位置の装置名（ＳＴ１）を取得する。

すなわち、搬送経路決定部１４は、現在ロットを保持している分岐装置ＳＴ１から次にロットを保持する装置までの搬送経路を、中継経路定義領域１１ｂに格納されている図３に示す第１中継定義テーブル３０１を参照して取得する。具体的には、図３に示す第１中継定義テーブル３０１のＳＴ１列、ＳＴ５行に格納されているＤＬ５を取得する。

この後、ステップＳ１０〜ステップＳ１４の処理（ここでは、ステップＳ１２でＮｏと判断されるまでの処理）を適宜実施し、ステップＳ３に戻って、搬送経路決定部１４は、搬送するロットのロットＮｏ．（ＬＯＴ００１Ａ）をキーとして、位置情報５００から現在位置の装置名（ＤＬ５）を取得する。

次いで、取得した装置名（ＤＬ５）が、複数の分岐装置と接続している搬送装置か否かを、搬送装置情報領域１１ｃに格納されている複数の分岐装置と接続している特定搬送装置名と比較して識別する（ステップＳ４）。ここでは、Ｙｅｓと判断されるので、ステップＳ６に進み、第２中継定義テーブル７０１の使用フラグが１であるか否かを確認する。その結果、使用フラグが１でない場合（ステップＳ６でＮｏと判断される場合）には、ステップＳ７へと進む。

すなわち、搬送経路決定部１４は、現在ロットを保持している搬送装置ＤＬ５から次にロットを保持する装置までの搬送経路を、中継経路定義領域１１ｂに格納されている図７に示す第２中継定義テーブル７０１を参照して取得する。具体的には、図７に示す第２中継定義テーブル７０１のＰＲ１列、ＳＴ５行に格納されているＳＴ３を取得する。一方、第２中継定義テーブル７０１に定義されていなかった場合（ステップＳ８でＮｏと判断された場合）には、ステップＳ５に進み、第１中継定義テーブル３０１を参照して搬送経路を取得することになる。また、第２中継定義テーブル７０１から搬送経路を取得した場合（ステップＳ８でＹｅｓと判断された場合）には、ステップＳ９に進んで、第２中継定義テーブル７０１の使用フラグを１とする。

この後、ステップＳ１０〜ステップＳ１４の処理（ここでは、ステップＳ１２でＮｏと判断されるまでの処理）を適宜実施し、ステップＳ３に戻って、搬送経路決定部１４は、搬送するロットのロットＮｏ．（ＬＯＴ００１Ａ）をキーとして、位置情報５００から現在位置の装置名（ＳＴ３）を取得する。

次いで、取得した装置名（ＳＴ３）が、複数の分岐装置と接続している搬送装置か否かを、搬送装置情報領域１１ｃに格納されている複数の分岐装置と接続している特定搬送装置名と比較して識別する（ステップＳ４）。ここでは、Ｎｏと判断されるので、ステップＳ５に進む。

すなわち、搬送経路決定部１４は、現在ロットを保持している分岐装置ＳＴ３から次にロットを保持する装置までの搬送経路を、中継経路定義領域１１ｂに格納されている図３に示す第１中継定義テーブル３０１を参照して取得する。具体的には、図３に示す第１中継定義テーブル３０１のＳＴ３列、ＳＴ５行に格納されているＤＬ３を取得する。

この後、ステップＳ１０〜ステップＳ１４の処理（ここでは、ステップＳ１２でＮｏと判断されるまでの処理）を適宜実施し、ステップＳ３に戻って、搬送経路決定部１４は、搬送するロットのロットＮｏ．（ＬＯＴ００１Ａ）をキーとして、位置情報５００から現在位置の装置名（ＤＬ３）を取得する。

次いで、取得した装置名（ＤＬ３）が、複数の分岐装置と接続している搬送装置か否かを、搬送装置情報領域１１ｃに格納されている複数の分岐装置と接続している特定搬送装置名と比較して識別する（ステップＳ４）。ここでは、Ｎｏと判断されるので、ステップＳ５に進む。

すなわち、搬送経路決定部１４は、現在ロットを保持している搬送装置ＤＬ３から次にロットを保持する装置までの搬送経路を、中継経路定義領域１１ｂに格納されている図３に示す第１中継定義テーブル３０１を参照して取得する。具体的には、図３に示す第１中継定義テーブル３０１のＤＬ３列、ＳＴ５行に格納されているＳＴ７を取得する。

この後、ステップＳ１０〜ステップＳ１４の処理（ここでは、ステップＳ１２でＮｏと判断されるまでの処理）を適宜実施し、ステップＳ３に戻って、搬送経路決定部１４は、搬送するロットのロットＮｏ．（ＬＯＴ００１Ａ）をキーとして、位置情報５００から現在位置の装置名（ＳＴ７）を取得する。

次いで、取得した装置名（ＳＴ７）が、複数の分岐装置と接続している搬送装置か否かを、搬送装置情報領域１１ｃに格納されている複数の分岐装置と接続している特定搬送装置名と比較して識別する（ステップＳ４）。ここでは、Ｎｏと判断されるので、ステップＳ５に進む。

すなわち、搬送経路決定部１４は、現在ロットを保持している分岐装置ＳＴ７から次にロットを保持する装置までの搬送経路を、中継経路定義領域１１ｂに格納されている図３に示す第１中継定義テーブル３０１を参照して取得する。具体的には、図３に示す第１中継定義テーブル３０１のＳＴ７列、ＳＴ５行に格納されているＤＬ８を取得する。

次いで、取得した装置名（ＤＬ８）が、複数の分岐装置と接続している搬送装置か否かを、搬送装置情報領域１１ｃに格納されている複数の分岐装置と接続している特定搬送装置名と比較して識別する（ステップＳ４）。ここでは、Ｙｅｓと判断されるので、ステップＳ６に進み、第１中継定義テーブル７０１の使用フラグが１であるか否かを確認する。その結果、使用フラグが１であり、第２中継定義テーブル７０１がすでに使用済みであるので、ステップＳ５へと処理を進める。

すなわち、搬送経路決定部１４は、現在ロットを保持している搬送装置ＤＬ８から次にロットを保持する装置までの搬送経路を、中継経路定義領域１１ｂに格納されている図３に示す第１中継定義テーブル３０１を参照して取得する。具体的には、図３に示す第１中継定義テーブル３０１のＤＬ８列、ＳＴ５行に格納されているＳＴ５を取得する。

この後、ステップＳ１０〜ステップＳ１４の処理を適宜実施するのであるが、この場合にはステップＳ１３での判断がＮｏとなり、搬送先まで搬送しているので、この時点で処理を終了する。

すなわち、本実施形態による搬送経路の決定方法によれば、搬送元装置がＳＴ１、搬送先装置がＳＴ５の場合の搬送経路は、
ＤＬ→ＰＲ１→ＤＬ１→ＳＴ１→ＤＬ５→ＳＴ３→ＤＬ３→ＳＴ７→ＤＬ８→ＳＴ５
となり、特に、ＰＲ１からＳＴ５までの搬送経路に着目すると、
ＤＬ１→ＳＴ１→ＤＬ５→ＳＴ３→ＤＬ３→ＳＴ７→ＤＬ８→ＳＴ５
となる。つまり、上記従来技術の搬送経路の決定方法では、
ＤＬ１→ＳＴ１→ＤＬ５→ＳＴ４→ＤＬ４→ＳＴ８→ＤＬ８→ＳＴ５
となり、１Ｆから２Ｆへ搬送するのにＤＬ４の搬送装置（リフタ）を使用しているが、本実施形態では、ＰＲ１により近い位置に配置されているＤＬ３の搬送装置（リフタ）を使用するので、搬送先のＳＴ５までの搬送距離が短くなり、搬送を効率的に行うことが可能となる。なお、説明は省略するが、搬送元装置がＰＲ２、搬送先装置がＳＴ５の場合の搬送経路も上記と同様となる。

一方、詳細な説明は省略するが、例えば搬送元装置がＰＲ３またはＰＲ４で、搬送先装置がＰＲ５の場合には、本実施形態による搬送経路の決定方法においても、上記従来技術の搬送経路の決定方法と同様、
ＤＬ２→ＳＴ２→ＤＬ５→ＳＴ４→ＤＬ４→ＳＴ８→ＤＬ８→ＳＴ５
となり、１Ｆから２Ｆへ搬送するのにＤＬ４の搬送装置（リフタ）を使用することになる。

なお、上記実施形態では、本発明の搬送制御装置を適用する搬送システムとして、半導体デバイスの製造工程を例示しているが、このような半導体デバイスの製造工程に限定されず、例えば液晶パネルなどの製造工程にも適用可能である。要するに、本発明の搬送制御装置は、複数の搬送装置と、これら搬送装置間を接続する複数の中継装置とからなり、前記複数の搬送装置の中に、複数の中継装置に接続している搬送装置が含まれているようなレイアウトの搬送システムであれば、搬送対象物は上記の半導体デバイスや液晶パネルに限定されるものではない。

本発明の搬送制御装置は、複数の搬送装置と、これら搬送装置間を接続する複数の中継装置とからなり、前記複数の搬送装置の中に、複数の中継装置に接続している搬送装置が含まれているようなレイアウトの搬送システムにおいて、搬送経路を効率的に決定したい場合に利用可能である。

本発明の搬送制御装置の一実施形態及びこの搬送制御装置が適用される搬送システムのシステム構成図である。本発明に係わる搬送装置、分岐装置及び生産装置のレイアウトの一例を示す説明図である。ロットを搬送するための装置の順番を定義した第１中継定義テーブルの構成例を示す説明図である。本発明の搬送制御装置によって実施される搬送制御方法の一例を示すフローチャートである。ロット単位の搬送物情報の構成例を示す説明図である。搬送装置定義領域に格納されている搬送装置情報の詳細内容を示す説明図である。搬送元の生産装置と搬送先の分岐装置とに対応させて、ロットを搬送する分岐装置を定義した第２中継定義テーブルの構成例を示す説明図である。

符号の説明

１０搬送制御装置
１１データベース
１１ａ搬送物位置情報領域
１２ａ中継経路定義領域
１３ａ搬送装置情報領域
１２搬送先指示部
１３搬送情報管理部
１４搬送経路決定部
１５装置管理部
２０搬送システム
２１（２１ａ〜２１ｈ）搬送装置
２２（２２ａ〜２２ｈ）分岐装置
２３ネットワーク
３０（３０ａ〜３０ｈ）生産装置
３０１第１中継定義テーブル
７０１第２中継定義テーブル

Claims

複数の搬送装置と、前記搬送装置間を接続する複数の中継装置とを含む搬送システムにおいて、搬送物を搬送する経路である搬送経路を決定する際に、この搬送経路を構成する前記搬送装置及び前記中継装置の選択に関する制御を行う搬送制御装置であって、
前記搬送装置及び前記中継装置の利用順をマトリックスで定義した第１中継定義テーブルを記憶する第１中継経路記憶手段と、
前記複数の搬送装置のうち、複数の中継装置に接続している特定搬送装置を記憶する搬送装置情報記憶手段と、
搬送元装置から搬送先装置までの経路に前記特定搬送装置が含まれる場合には、前記特定搬送装置から中継する一つの中継装置を定義した第２中継定義テーブルを記憶する第２中継経路記憶手段と、
搬送物の現在位置である搬送元装置と搬送先装置とを示す情報を、搬送物ごとに記憶する搬送物位置情報記憶手段と、
前記第１中継経路記憶手段に記憶された第１中継定義テーブルの情報と、前記搬送物位置情報記憶手段に記憶された搬送物の現在位置及び搬送先装置の情報とに基づいて、搬送物が到着した装置から次の装置までの搬送経路を決定する搬送経路決定手段とを備え、
前記搬送経路決定手段は、搬送経路に前記特定搬送装置が含まれている場合には、前記特定搬送装置に関しては前記第２中継経路記憶手段に記憶された第２中継定義テーブルの情報に基づいて次の中継装置を決定することを特徴とする搬送制御装置。
前記搬送経路決定手段は、搬送経路に前記特定搬送装置が含まれている場合において、前記特定搬送装置に関する情報が前記第２中継定義テーブルに定義されていない場合には、前記第１中継定義テーブルの情報に基づいて次の中継装置を決定することを特徴とする請求項１に記載の搬送制御装置。
前記中継装置が分岐装置及び生産装置を含むことを特徴とする請求項１または請求項２に記載の搬送制御装置。