JPH06298328A - 搬送制御システム - Google Patents
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- JPH06298328A JPH06298328A JP5088256A JP8825693A JPH06298328A JP H06298328 A JPH06298328 A JP H06298328A JP 5088256 A JP5088256 A JP 5088256A JP 8825693 A JP8825693 A JP 8825693A JP H06298328 A JPH06298328 A JP H06298328A
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- 238000000034 method Methods 0.000 claims abstract description 34
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- 230000032258 transport Effects 0.000 description 35
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- 238000010276 construction Methods 0.000 description 1
- 230000000694 effects Effects 0.000 description 1
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- G06—COMPUTING; CALCULATING OR COUNTING
- G06Q—INFORMATION AND COMMUNICATION TECHNOLOGY [ICT] SPECIALLY ADAPTED FOR ADMINISTRATIVE, COMMERCIAL, FINANCIAL, MANAGERIAL OR SUPERVISORY PURPOSES; SYSTEMS OR METHODS SPECIALLY ADAPTED FOR ADMINISTRATIVE, COMMERCIAL, FINANCIAL, MANAGERIAL OR SUPERVISORY PURPOSES, NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
- G06Q10/00—Administration; Management
- G06Q10/08—Logistics, e.g. warehousing, loading or distribution; Inventory or stock management
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- G—PHYSICS
- G05—CONTROLLING; REGULATING
- G05B—CONTROL OR REGULATING SYSTEMS IN GENERAL; FUNCTIONAL ELEMENTS OF SUCH SYSTEMS; MONITORING OR TESTING ARRANGEMENTS FOR SUCH SYSTEMS OR ELEMENTS
- G05B19/00—Programme-control systems
- G05B19/02—Programme-control systems electric
- G05B19/418—Total factory control, i.e. centrally controlling a plurality of machines, e.g. direct or distributed numerical control [DNC], flexible manufacturing systems [FMS], integrated manufacturing systems [IMS] or computer integrated manufacturing [CIM]
- G05B19/4189—Total factory control, i.e. centrally controlling a plurality of machines, e.g. direct or distributed numerical control [DNC], flexible manufacturing systems [FMS], integrated manufacturing systems [IMS] or computer integrated manufacturing [CIM] characterised by the transport system
-
- G—PHYSICS
- G05—CONTROLLING; REGULATING
- G05B—CONTROL OR REGULATING SYSTEMS IN GENERAL; FUNCTIONAL ELEMENTS OF SUCH SYSTEMS; MONITORING OR TESTING ARRANGEMENTS FOR SUCH SYSTEMS OR ELEMENTS
- G05B2219/00—Program-control systems
- G05B2219/30—Nc systems
- G05B2219/31—From computer integrated manufacturing till monitoring
- G05B2219/31276—Transport a lot to stations, each with different types of manufacturing equipment
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Abstract
(57)【要約】
【目的】複数の場所に同種の製造設備１ａ，１ｂが散在
していても、多品種で多工程である半導体装置の部品ロ
ットのそれぞれを品種および工程に適合する製造設備１
ａ，１ｂに確実に供給する。 【構成】部品ロットが次に加工処理される製造設備１
ａ，１ｂ，１ｃの固有名と複数の場所に分散している例
えば製造設備１ａと同種の製造設備１ａに対応するステ
ーション５ａおよび５ｂの固有名を制御用コンピュータ
３に収集し、各製造設備１ａ，１ｂ，１ｃ毎に対応する
複数のステーション５ａ，５ｂに対する搬送比率を部品
ロットの品種・工程ごとに設定し、搬送指示要求がある
ときに前記搬送比率に基ずき搬送車４にステーション５
ａ，５ｂに搬送を指示する。
していても、多品種で多工程である半導体装置の部品ロ
ットのそれぞれを品種および工程に適合する製造設備１
ａ，１ｂに確実に供給する。 【構成】部品ロットが次に加工処理される製造設備１
ａ，１ｂ，１ｃの固有名と複数の場所に分散している例
えば製造設備１ａと同種の製造設備１ａに対応するステ
ーション５ａおよび５ｂの固有名を制御用コンピュータ
３に収集し、各製造設備１ａ，１ｂ，１ｃ毎に対応する
複数のステーション５ａ，５ｂに対する搬送比率を部品
ロットの品種・工程ごとに設定し、搬送指示要求がある
ときに前記搬送比率に基ずき搬送車４にステーション５
ａ，５ｂに搬送を指示する。
Description
【０００１】
【産業上の利用分野】本発明は、種々の製造設備に多品
種・多工程の半導体装置の部品ロットの搬送制御を行な
う搬送制御システムに関し、特に、部品ロットの受渡し
を行なうステーションと部品ロットを搬送する搬送車と
これらステーションおよび搬送車を制御するコンピュー
タとを備え、部品ロットの搬送を制御する搬送制御シス
テムに関する。
種・多工程の半導体装置の部品ロットの搬送制御を行な
う搬送制御システムに関し、特に、部品ロットの受渡し
を行なうステーションと部品ロットを搬送する搬送車と
これらステーションおよび搬送車を制御するコンピュー
タとを備え、部品ロットの搬送を制御する搬送制御シス
テムに関する。
【０００２】
【従来の技術】半導体装置の製造工場では、同時に多種
多様の半導体装置を製造しており、これら半導体装置の
製造に要する工程数は実に１００乃至７００にも及ぶ。
また、これら製造工程には、同じような工程の並びが何
度も繰返されるという特徴をもっている。すなわち、一
種類の製造設備で複数の品種あるいは複数の工程を部品
ロットに処理することになる。このようなことから、半
導体装置製造工場では、同種の製造設備は同じ場所に集
めるという工場レイアウトがとられていた。
多様の半導体装置を製造しており、これら半導体装置の
製造に要する工程数は実に１００乃至７００にも及ぶ。
また、これら製造工程には、同じような工程の並びが何
度も繰返されるという特徴をもっている。すなわち、一
種類の製造設備で複数の品種あるいは複数の工程を部品
ロットに処理することになる。このようなことから、半
導体装置製造工場では、同種の製造設備は同じ場所に集
めるという工場レイアウトがとられていた。
【０００３】このような製造工場における搬送制御シス
テムは、半導体装置の部品ロットを搬送する搬送車と、
部品ロットの受渡しをするステーションと、これらを制
御するコンピュータとを備え、半導体装置の部品ロット
が次工程で加工処理される製造設備名と製造設備名毎に
決められる一つの搬送先のステーション名とがコンピュ
ータに登録されており、各ステーションから部品ロット
の搬送指示要求があると、製造設備名に対応した一つの
搬送先のステーションを搬送車に指示し部品ロットを搬
送するシステムであった。また、製造設備の故障等で搬
送先のステーションを変更する必要が生じた場合は、コ
ンピュータに登録された製造設備名に対応する搬送先の
ステーションを変更して別のステーションに搬送してい
た。
テムは、半導体装置の部品ロットを搬送する搬送車と、
部品ロットの受渡しをするステーションと、これらを制
御するコンピュータとを備え、半導体装置の部品ロット
が次工程で加工処理される製造設備名と製造設備名毎に
決められる一つの搬送先のステーション名とがコンピュ
ータに登録されており、各ステーションから部品ロット
の搬送指示要求があると、製造設備名に対応した一つの
搬送先のステーションを搬送車に指示し部品ロットを搬
送するシステムであった。また、製造設備の故障等で搬
送先のステーションを変更する必要が生じた場合は、コ
ンピュータに登録された製造設備名に対応する搬送先の
ステーションを変更して別のステーションに搬送してい
た。
【０００４】
【発明が解決しようとする課題】しかしながら、近年、
床面積を拡張せず出来るだけ多くの製造設備を設置し生
産能力を高めようとするために、同種の製造設備を複数
の場所に散在させ設置したり、あるいは半導体装置の高
密度化に伴ない製造設備の加工精度が要求されるように
なり同種の製造設備でも品種や工程によっては、特定の
製造設備しか使用できない事態が発生してきた。
床面積を拡張せず出来るだけ多くの製造設備を設置し生
産能力を高めようとするために、同種の製造設備を複数
の場所に散在させ設置したり、あるいは半導体装置の高
密度化に伴ない製造設備の加工精度が要求されるように
なり同種の製造設備でも品種や工程によっては、特定の
製造設備しか使用できない事態が発生してきた。
【０００５】かかる事態で、上述した従来の搬送制御シ
ステムを適用すると、部品ロットの搬送および受渡しに
種々の問題を生ずることになる。例えば、複数の場所に
散在する同一設備に対応するどのステーションに部品を
搬送するか決定できず人手に頼わざる得なかったり、あ
るいは、工程が同じ部品ロットでも、部品ロットを処理
できない製造設備にしばしば供給され、人手により正し
い製造設備に運ばざる得なくなるために工期が長くなる
など種々の問題を起すに至った。
ステムを適用すると、部品ロットの搬送および受渡しに
種々の問題を生ずることになる。例えば、複数の場所に
散在する同一設備に対応するどのステーションに部品を
搬送するか決定できず人手に頼わざる得なかったり、あ
るいは、工程が同じ部品ロットでも、部品ロットを処理
できない製造設備にしばしば供給され、人手により正し
い製造設備に運ばざる得なくなるために工期が長くなる
など種々の問題を起すに至った。
【０００６】従って、本発明の目的は、複数の場所に同
種製造設備が散在していても、多品種で多工程の半導体
装置の部品ロットのそれぞれを品種および工程に適合す
る製造設備に確実に供給することのできる搬送制御シス
テムを提供することである。
種製造設備が散在していても、多品種で多工程の半導体
装置の部品ロットのそれぞれを品種および工程に適合す
る製造設備に確実に供給することのできる搬送制御シス
テムを提供することである。
【０００７】
【課題を解決するための手段】本発明の特徴は、半導体
装置の部品ロットを搬送する搬送車と、この部品ロット
を受渡しするステーションと、これら搬送車およびステ
ーションを制御するコンピュータとを備え、前記部品ロ
ットが次に加工処理される製造設備名と複数の場所に分
散している同種の製造設備に対応するステーション名を
前記コンピュータに収集し登録するステップと、各製造
設備名毎に対応する複数の前記ステーション毎に前記部
品ロットの搬送比率を品種・工程ごとに設定する搬送比
率設定ステップと、搬送指示要求があるときに前記搬送
比率に基ずき前記搬送車に前記ステーションのそれぞれ
に前記部品ロットの搬送を指示するステップとを含む搬
送制御システムである。
装置の部品ロットを搬送する搬送車と、この部品ロット
を受渡しするステーションと、これら搬送車およびステ
ーションを制御するコンピュータとを備え、前記部品ロ
ットが次に加工処理される製造設備名と複数の場所に分
散している同種の製造設備に対応するステーション名を
前記コンピュータに収集し登録するステップと、各製造
設備名毎に対応する複数の前記ステーション毎に前記部
品ロットの搬送比率を品種・工程ごとに設定する搬送比
率設定ステップと、搬送指示要求があるときに前記搬送
比率に基ずき前記搬送車に前記ステーションのそれぞれ
に前記部品ロットの搬送を指示するステップとを含む搬
送制御システムである。
【０００８】
【実施例】次に、本発明について図面を参照して説明す
る。
る。
【０００９】図１は本発明の搬送制御システムを説明す
るための生産ラインに組込まれたハードウェアの構成を
示す図である。本発明の搬送制御システムのハードウェ
アの構成は、図１に示すように、複数の場所に分散して
配置された製造装置１ａ，１ｂ，１ｃと端末機２ａ，２
ｂとで構成される生産ラインに、部品ロットを搬送する
搬送車４と、製造装置１ａ，１ｂ，１ｃおよび搬送車４
との部品ロットの受渡しを行なうステーション５ａ，５
ｂと、これら搬送車４およびステーション５ａ，５ｂを
制御する制御用コンピュータ３を有している。
るための生産ラインに組込まれたハードウェアの構成を
示す図である。本発明の搬送制御システムのハードウェ
アの構成は、図１に示すように、複数の場所に分散して
配置された製造装置１ａ，１ｂ，１ｃと端末機２ａ，２
ｂとで構成される生産ラインに、部品ロットを搬送する
搬送車４と、製造装置１ａ，１ｂ，１ｃおよび搬送車４
との部品ロットの受渡しを行なうステーション５ａ，５
ｂと、これら搬送車４およびステーション５ａ，５ｂを
制御する制御用コンピュータ３を有している。
【００１０】そして、このハードウェアを備える本発明
の搬送制御システムは、部品ロットが次に加工処理され
る製造設備１ａ，１ｂ，１ｃの固有名と複数の場所に分
散している製造設備１ａと同種の製造設備１ａに対応す
るステーション５ａおよび５ｂの固有名を制御用コンピ
ュータ３に収集し登録するステップと、各製造設備１
ａ，１ｂ，１ｃ毎に対応する複数のステーション５ａ，
５ｂに対する搬送比率を部品ロットの品種・工程ごとに
設定するステップと、搬送指示要求があるときに前記搬
送比率に基ずき搬送車４に前記部品ロットをステーショ
ン５ａ，５ｂに搬送する指示を行なうステップとを含ん
でいる。
の搬送制御システムは、部品ロットが次に加工処理され
る製造設備１ａ，１ｂ，１ｃの固有名と複数の場所に分
散している製造設備１ａと同種の製造設備１ａに対応す
るステーション５ａおよび５ｂの固有名を制御用コンピ
ュータ３に収集し登録するステップと、各製造設備１
ａ，１ｂ，１ｃ毎に対応する複数のステーション５ａ，
５ｂに対する搬送比率を部品ロットの品種・工程ごとに
設定するステップと、搬送指示要求があるときに前記搬
送比率に基ずき搬送車４に前記部品ロットをステーショ
ン５ａ，５ｂに搬送する指示を行なうステップとを含ん
でいる。
【００１１】図２（ａ）〜（ｄ）は本発明の搬送制御シ
ステムの一実施例における搬送先と搬送比率を求める手
順を説明するためのフローチャートおよび表である。次
に、この実施例の搬送制御システムにおける搬送比率を
設定する手順について同種の製造設備として外観検査装
置を例にとって説明する。
ステムの一実施例における搬送先と搬送比率を求める手
順を説明するためのフローチャートおよび表である。次
に、この実施例の搬送制御システムにおける搬送比率を
設定する手順について同種の製造設備として外観検査装
置を例にとって説明する。
【００１２】まず、図２（ａ）のステップＡで、製造設
備毎に搬送先であるステーションの５個所以内の固有名
を入力する。例えば、図２（ｂ）に示すように、外観検
査装置が配置されているラインの搬送先であるステーシ
ョンのＡ，Ｂ，Ｃ，ＤおよびＥといったように入力す
る。次に、図２（ａ）のステップＢで、製造設備が配置
されているラインの搬送先に対する搬送比率を品種と工
程ごとに入力する。例えば、図２（ｃ）に示すように、
外観検査装置の搬送先Ａ，Ｂ，Ｃ，Ｄ，Ｅに対する搬送
比率を、２５６ＫＳＲＡＭの工程番号００６について
は、１，２，３，４，Δ，２５６ＫＳＲＡＭの工程番号
００８では１，Δ，Δ，Δ，１といったように入力す
る。次に、ステップＣで、制御用コンピュータは製造設
備名、品種名および工程名ごとの搬送先の搬送比率を示
す対応表を乱数表と対照して次に述べるステーション固
有名と乱数値の対応表に置き変える。この対応表に置き
変えることは、品種名、工程名等の情報が増えるので、
コンピュータの負荷を低減し処理速度をより早くさせる
ためである。
備毎に搬送先であるステーションの５個所以内の固有名
を入力する。例えば、図２（ｂ）に示すように、外観検
査装置が配置されているラインの搬送先であるステーシ
ョンのＡ，Ｂ，Ｃ，ＤおよびＥといったように入力す
る。次に、図２（ａ）のステップＢで、製造設備が配置
されているラインの搬送先に対する搬送比率を品種と工
程ごとに入力する。例えば、図２（ｃ）に示すように、
外観検査装置の搬送先Ａ，Ｂ，Ｃ，Ｄ，Ｅに対する搬送
比率を、２５６ＫＳＲＡＭの工程番号００６について
は、１，２，３，４，Δ，２５６ＫＳＲＡＭの工程番号
００８では１，Δ，Δ，Δ，１といったように入力す
る。次に、ステップＣで、制御用コンピュータは製造設
備名、品種名および工程名ごとの搬送先の搬送比率を示
す対応表を乱数表と対照して次に述べるステーション固
有名と乱数値の対応表に置き変える。この対応表に置き
変えることは、品種名、工程名等の情報が増えるので、
コンピュータの負荷を低減し処理速度をより早くさせる
ためである。
【００１３】次に、搬送比率を決めステーションの固有
名と乱数値の対応表に変える手順について説明する。い
ま、５つの搬送先Ａ，Ｂ，Ｃ，ＤおよびＥに対する搬送
比率をそれぞれａ，ｂ，ｃ，ｄおよびｅとすると、乱数
値の上限および下限は以下の式で求めることができる。
名と乱数値の対応表に変える手順について説明する。い
ま、５つの搬送先Ａ，Ｂ，Ｃ，ＤおよびＥに対する搬送
比率をそれぞれａ，ｂ，ｃ，ｄおよびｅとすると、乱数
値の上限および下限は以下の式で求めることができる。
【００１４】Ａｍｉｎ＝０ Ａｍａｘ＝ａ＊１００／（ａ＋ｂ＋ｃ＋ｄ＋ｅ）−１ Ｂｍｉｎ＝Ａｍａｘ＋１ Ｂｍａｘ＝（ａ＋ｂ）＊１００／（ａ＋ｂ＋ｃ＋ｄ＋
ｅ）−１ Ｃｍｉｎ＝Ｂｍａｘ＋１ Ｃｍａｘ＝（ａ＋ｂ＋ｃ）＊１００／（ａ＋ｂ＋ｃ＋ｄ
＋ｅ）−１ Ｄｍｉｎ＝Ｃｍａｘ＋１ Ｄｍａｘ＝（ａ＋ｂ＋ｃ＋ｄ）＊１００／（ａ＋ｂ＋ｃ
＋ｄ＋ｅ）−１ Ｅｍｉｎ＝Ｄｍａｘ＋１ Ｅｍａｘ＝９９ これらの式で求められた値の小数点以下第１位を四捨五
入し、乱数値の上限と下限の間となる値（上限と下限を
含む）を対応する搬送先に埋めていく。ただし、下限＝
上限＋１となる搬送先（その搬送先への搬送比率が０）
は使用せず、次の搬送先を使用する。図２（ｄ）は、ａ
＝１，ｂ＝２，ｃ＝３，ｄ＝４とした場合の搬送先と乱
数値の対応表の例である。
ｅ）−１ Ｃｍｉｎ＝Ｂｍａｘ＋１ Ｃｍａｘ＝（ａ＋ｂ＋ｃ）＊１００／（ａ＋ｂ＋ｃ＋ｄ
＋ｅ）−１ Ｄｍｉｎ＝Ｃｍａｘ＋１ Ｄｍａｘ＝（ａ＋ｂ＋ｃ＋ｄ）＊１００／（ａ＋ｂ＋ｃ
＋ｄ＋ｅ）−１ Ｅｍｉｎ＝Ｄｍａｘ＋１ Ｅｍａｘ＝９９ これらの式で求められた値の小数点以下第１位を四捨五
入し、乱数値の上限と下限の間となる値（上限と下限を
含む）を対応する搬送先に埋めていく。ただし、下限＝
上限＋１となる搬送先（その搬送先への搬送比率が０）
は使用せず、次の搬送先を使用する。図２（ｄ）は、ａ
＝１，ｂ＝２，ｃ＝３，ｄ＝４とした場合の搬送先と乱
数値の対応表の例である。
【００１５】次に、上述のように搬送比率が予じめ任意
に設定された後に、通常の部品ロットの処理中における
この搬送制御システムの動作を説明する。図３および図
４（ａ）と（ｂ）は制御用コンピュータにおける部品ロ
ット毎の搬送先を求める手順を説明するためのフローチ
ャードおよび表である。
に設定された後に、通常の部品ロットの処理中における
この搬送制御システムの動作を説明する。図３および図
４（ａ）と（ｂ）は制御用コンピュータにおける部品ロ
ット毎の搬送先を求める手順を説明するためのフローチ
ャードおよび表である。
【００１６】まず、図３のステップＡで、各製造設備か
らロット識別番号と処理完了の報告が行なわれると、制
御用コンピュータは、ステップＢで、例えば、図４
（ａ）に示すようなロット識別番号、工程番号および品
種名の指定する搬送先を明示した対応表を検索する。そ
して、各部品ロットのロット識別番号の工程番号に１を
加算する。次に、ステップＤで、該当するロット識別番
号の品種名と工程番号をもとに、例えば、図４（ｂ）に
示すように、品種と工程毎の使用製造設備名と照合して
次工程の使用製造設備名を求める。ここでは、２５６Ｋ
ＳＲＡＭの部品ロットを示している。そして、求められ
た使用製造設備名と工程番号と品種名のもとに、ステッ
プＥで、搬送先と乱数値の対応表を探索する。次に、ス
テップＦで、２桁の整数の乱数を発生させ、ステップＧ
で、乱数値を元に図２（ｄ）に示すような乱数値と搬送
先との対応表を探索し搬送先を求める。そして、求めら
れた搬送先を図４（ａ）に示す対応表に書込む。このよ
うに制御用コンピュータでは各部品ロット毎の次工程の
搬送先がすぐ分るようになっている。
らロット識別番号と処理完了の報告が行なわれると、制
御用コンピュータは、ステップＢで、例えば、図４
（ａ）に示すようなロット識別番号、工程番号および品
種名の指定する搬送先を明示した対応表を検索する。そ
して、各部品ロットのロット識別番号の工程番号に１を
加算する。次に、ステップＤで、該当するロット識別番
号の品種名と工程番号をもとに、例えば、図４（ｂ）に
示すように、品種と工程毎の使用製造設備名と照合して
次工程の使用製造設備名を求める。ここでは、２５６Ｋ
ＳＲＡＭの部品ロットを示している。そして、求められ
た使用製造設備名と工程番号と品種名のもとに、ステッ
プＥで、搬送先と乱数値の対応表を探索する。次に、ス
テップＦで、２桁の整数の乱数を発生させ、ステップＧ
で、乱数値を元に図２（ｄ）に示すような乱数値と搬送
先との対応表を探索し搬送先を求める。そして、求めら
れた搬送先を図４（ａ）に示す対応表に書込む。このよ
うに制御用コンピュータでは各部品ロット毎の次工程の
搬送先がすぐ分るようになっている。
【００１７】図５はステーションにおける製造設備との
部品ロットの受渡しを説明するためのフローチャートで
ある。次に、ステーションにおける部品ロットの受渡し
手順を説明する。まず、図５のステップＡで、製造設備
で処理された部品ロットを最寄りのステーションに運
ぶ。次に、ステップＢで、処理された部品ロットの搬送
要求指示を行なうとともにロット識別番号を送る。次
に、ステップＣで、制御用コンピュータは図４（ａ）の
対応表から搬送先を探索し、ステップＤで、搬送車に搬
送元のステーションと搬送先のステーションを指示す
る。そして、ステップＥにより搬送車は自走し搬送元ス
テーションから部品ロットを移載し、搬送先のステーシ
ョンに搬送し、部品ロットを搬送先のステーションに移
載する。そして、ステップＦで、搬送先ステーションに
移載された部品ロットを次の工程の製造設備にローディ
ングする。
部品ロットの受渡しを説明するためのフローチャートで
ある。次に、ステーションにおける部品ロットの受渡し
手順を説明する。まず、図５のステップＡで、製造設備
で処理された部品ロットを最寄りのステーションに運
ぶ。次に、ステップＢで、処理された部品ロットの搬送
要求指示を行なうとともにロット識別番号を送る。次
に、ステップＣで、制御用コンピュータは図４（ａ）の
対応表から搬送先を探索し、ステップＤで、搬送車に搬
送元のステーションと搬送先のステーションを指示す
る。そして、ステップＥにより搬送車は自走し搬送元ス
テーションから部品ロットを移載し、搬送先のステーシ
ョンに搬送し、部品ロットを搬送先のステーションに移
載する。そして、ステップＦで、搬送先ステーションに
移載された部品ロットを次の工程の製造設備にローディ
ングする。
【００１８】このようにして、複数の場所に分散して存
在する同種の製造設備に対して、人が任意に設定した搬
送比率で部品ロットを搬送出来る。また、搬送先と乱数
値の対応表は、品種名と工程ごとに設定できるため、作
業可能号機の無い搬送先に部品ロットを運ぶことがない
ように設定できる。このことは、品種および工程の異な
る部品ロットを間違いを起すことなく確実に搬送出来
る。
在する同種の製造設備に対して、人が任意に設定した搬
送比率で部品ロットを搬送出来る。また、搬送先と乱数
値の対応表は、品種名と工程ごとに設定できるため、作
業可能号機の無い搬送先に部品ロットを運ぶことがない
ように設定できる。このことは、品種および工程の異な
る部品ロットを間違いを起すことなく確実に搬送出来
る。
【００１９】図６は本発明の搬送制御システムの他の実
施例を説明するための表である。この搬送制御システム
は、前述の実施例で人為的に入力させていた搬入先への
搬送比率を、各搬送先であるステーションに係る部品ロ
ットの処理が可能な製造設備の台数を元に自動的に更新
するもである。
施例を説明するための表である。この搬送制御システム
は、前述の実施例で人為的に入力させていた搬入先への
搬送比率を、各搬送先であるステーションに係る部品ロ
ットの処理が可能な製造設備の台数を元に自動的に更新
するもである。
【００２０】例えば、図６（ａ）に示すように、まず、
端末機より１種の製造設備の各号機ごとに搬送先と処理
可能な品種名と工程番号を制御用コンピュータに登録し
ておく。次に、製造設備からは、各号機の部品ロット処
理可能状況を制御用コンピュータに報告するようにして
おく。制御用コンピュータは、これら情報を元に図６
（ｂ）に示すような一覧表を作成し、搬送先毎の処理可
能台数を求める。この求められた処理可能台数を搬送比
率として前述の図２（ｃ）に示す対応表を作成し制御用
コンピュータに入力する。そして、前述の実施例と同様
に情報処理を行ない製造設備の稼働状況に応じて部品ロ
ットの搬送を行なう。
端末機より１種の製造設備の各号機ごとに搬送先と処理
可能な品種名と工程番号を制御用コンピュータに登録し
ておく。次に、製造設備からは、各号機の部品ロット処
理可能状況を制御用コンピュータに報告するようにして
おく。制御用コンピュータは、これら情報を元に図６
（ｂ）に示すような一覧表を作成し、搬送先毎の処理可
能台数を求める。この求められた処理可能台数を搬送比
率として前述の図２（ｃ）に示す対応表を作成し制御用
コンピュータに入力する。そして、前述の実施例と同様
に情報処理を行ない製造設備の稼働状況に応じて部品ロ
ットの搬送を行なう。
【００２１】この実施例は、製造設備に故障等で処理可
能の台数に変化があっても、自動的に搬送比率を更新す
ることができることから、前述の実施例と比べよりフレ
キシブルであるところに利点がある。
能の台数に変化があっても、自動的に搬送比率を更新す
ることができることから、前述の実施例と比べよりフレ
キシブルであるところに利点がある。
【００２２】
【発明の効果】以上説明したように本発明は、各種の半
導体装置の部品ロットと複数の場所に分散して散在する
同種の製造設備の使用可能号機を考慮して、これらの製
造設備のそれぞれに係わる搬送先とこの搬送先への搬送
比率を制御用コンピュータに収集し、コンピュータに対
して負荷を軽減化しより高速処理できるように搬送比率
をステーション固有名と乱数値の対応表に変換し、変換
された搬送比率に基ずき搬送車に指令して部品ロットを
それぞれの搬送先に搬送することによって、同種の製造
設備が複数の場所に散在していても、多品種および多工
程の部品ロットのそれぞれに適合する製造設備に確実に
供給できるという効果がある。
導体装置の部品ロットと複数の場所に分散して散在する
同種の製造設備の使用可能号機を考慮して、これらの製
造設備のそれぞれに係わる搬送先とこの搬送先への搬送
比率を制御用コンピュータに収集し、コンピュータに対
して負荷を軽減化しより高速処理できるように搬送比率
をステーション固有名と乱数値の対応表に変換し、変換
された搬送比率に基ずき搬送車に指令して部品ロットを
それぞれの搬送先に搬送することによって、同種の製造
設備が複数の場所に散在していても、多品種および多工
程の部品ロットのそれぞれに適合する製造設備に確実に
供給できるという効果がある。
【図１】本発明の搬送制御システムを説明するための生
産ラインに組込まれたハードウェアの構成を示す図であ
る。
産ラインに組込まれたハードウェアの構成を示す図であ
る。
【図２】本発明の搬送制御システムの一実施例における
搬送先と搬送比率を求める手順を説明するためのフロー
チャートおよび表である。
搬送先と搬送比率を求める手順を説明するためのフロー
チャートおよび表である。
【図３】制御用コンピュータにおける部品ロット毎の搬
送先を求める手順を説明するためのフローチャードであ
る。
送先を求める手順を説明するためのフローチャードであ
る。
【図４】制御用コンピュータにおける部品ロット毎の搬
送先を求める手順を説明するための表である。
送先を求める手順を説明するための表である。
【図５】ステーションにおける製造設備との部品ロット
の受渡しを説明するためのフローチャートである。
の受渡しを説明するためのフローチャートである。
【図６】本発明の搬送制御システムの他の実施例を説明
するための表である。
するための表である。
１ａ，１ｂ，１ｃ 製造設備 ２ａ，２ｂ 端末機 ３ 制御用コンピュータ ４ 搬送車 ５ａ，５ｂ ステーション
Claims (3)
- 【請求項１】 半導体装置の部品ロットを搬送する搬送
車と、この部品ロットを受渡しするステーションと、こ
れら搬送車およびステーションを制御するコンピュータ
とを備え、前記部品ロットが次に加工処理される製造設
備名と複数の場所に分散している同種の製造設備に対応
するステーション名を前記コンピュータに収集し登録す
るステップと、各製造設備名毎に対応する複数の前記ス
テーション毎に前記部品ロットの搬送比率を品種・工程
ごとに設定する搬送比率設定ステップと、搬送指示要求
があるときに前記搬送比率に基ずき前記搬送車に前記ス
テーションのそれぞれに前記部品ロットの搬送を指示す
るステップとを含むことを特徴とする搬送制御システ
ム。 - 【請求項２】 前記搬送比率設定ステップは前記ステー
ション毎に介在する前記同種の製造設備に応じて任意に
搬送比率を設定することを特徴とする請求項１記載の搬
送制御システム。 - 【請求項３】 前記搬送比率設定ステップは前記ステー
ション毎に介在する前記同種の製造設備の稼働可能な台
数に応じて搬送比率を設定することを特徴とする請求項
１記載の搬送制御システム。
Priority Applications (3)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP5088256A JP2880876B2 (ja) | 1993-04-15 | 1993-04-15 | 搬送制御システム |
| US08/224,741 US5440493A (en) | 1993-04-15 | 1994-04-07 | Lot transporting system between stations having different manufacturing equipment |
| KR1019940007795A KR0140027B1 (ko) | 1993-04-15 | 1994-04-14 | 서로 다른 제조 설비들을 갖는 스테이션들 사이의 로트 반송 시스템 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP5088256A JP2880876B2 (ja) | 1993-04-15 | 1993-04-15 | 搬送制御システム |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH06298328A true JPH06298328A (ja) | 1994-10-25 |
| JP2880876B2 JP2880876B2 (ja) | 1999-04-12 |
Family
ID=13937799
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP5088256A Expired - Fee Related JP2880876B2 (ja) | 1993-04-15 | 1993-04-15 | 搬送制御システム |
Country Status (3)
| Country | Link |
|---|---|
| US (1) | US5440493A (ja) |
| JP (1) | JP2880876B2 (ja) |
| KR (1) | KR0140027B1 (ja) |
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| KR100510065B1 (ko) * | 1999-06-22 | 2005-08-26 | 주식회사 하이닉스반도체 | 반도체 제조를 위한 오버레이 장비 자동화 방법 |
Families Citing this family (17)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US5975740A (en) | 1996-05-28 | 1999-11-02 | Applied Materials, Inc. | Apparatus, method and medium for enhancing the throughput of a wafer processing facility using a multi-slot cool down chamber and a priority transfer scheme |
| US6100486A (en) | 1998-08-13 | 2000-08-08 | Micron Technology, Inc. | Method for sorting integrated circuit devices |
| US5927512A (en) | 1997-01-17 | 1999-07-27 | Micron Technology, Inc. | Method for sorting integrated circuit devices |
| US5844803A (en) * | 1997-02-17 | 1998-12-01 | Micron Technology, Inc. | Method of sorting a group of integrated circuit devices for those devices requiring special testing |
| US5915231A (en) | 1997-02-26 | 1999-06-22 | Micron Technology, Inc. | Method in an integrated circuit (IC) manufacturing process for identifying and redirecting IC's mis-processed during their manufacture |
| US5856923A (en) * | 1997-03-24 | 1999-01-05 | Micron Technology, Inc. | Method for continuous, non lot-based integrated circuit manufacturing |
| US5907492A (en) * | 1997-06-06 | 1999-05-25 | Micron Technology, Inc. | Method for using data regarding manufacturing procedures integrated circuits (IC's) have undergone, such as repairs, to select procedures the IC's will undergo, such as additional repairs |
| US7120513B1 (en) | 1997-06-06 | 2006-10-10 | Micron Technology, Inc. | Method for using data regarding manufacturing procedures integrated circuits (ICS) have undergone, such as repairs, to select procedures the ICS will undergo, such as additional repairs |
| US6049624A (en) | 1998-02-20 | 2000-04-11 | Micron Technology, Inc. | Non-lot based method for assembling integrated circuit devices |
| DE10024734A1 (de) * | 1999-05-20 | 2001-01-18 | Hyundai Electronics Ind | Halbleiterfabrikautomatisierungssystem und Verfahren zum Transportieren von Halbleiterwafern |
| KR100303321B1 (ko) | 1999-05-20 | 2001-09-26 | 박종섭 | 반도체 라인 자동화 시스템에서의 오류발생 로트 제어 장치 및그 방법 |
| KR100538812B1 (ko) | 1999-06-22 | 2005-12-23 | 주식회사 하이닉스반도체 | 반도체 제조를 위한 확산공정에서 자동반송 로봇의 큐 생성시 문제점 해결방법 및 기록매체 |
| KR100510068B1 (ko) | 1999-06-22 | 2005-08-26 | 주식회사 하이닉스반도체 | 반도체 라인관리용 통합 자동화시스템의 감시 시스템 및 방법 |
| US6438441B1 (en) | 1999-06-28 | 2002-08-20 | Hyundai Electronics Industries Co., Ltd. | Semiconductor factory automation system and method for resetting process recipe by employing trace file |
| KR100510066B1 (ko) | 1999-06-30 | 2005-08-26 | 주식회사 하이닉스반도체 | 반도체 생산라인의 스토커 오류 감시 방법 |
| JP2001159910A (ja) * | 1999-12-03 | 2001-06-12 | Mitsubishi Electric Corp | 工程装置選択システムおよび選択方法 |
| US6556884B1 (en) * | 2000-06-16 | 2003-04-29 | Advanced Micro Devices, Inc. | Method and apparatus for interfacing a statistical process control system with a manufacturing process control framework |
Family Cites Families (6)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US4309600A (en) * | 1967-12-15 | 1982-01-05 | Cincinnati Milacron Inc. | Machine tool |
| JPS5789106A (en) * | 1980-11-25 | 1982-06-03 | Hitachi Ltd | Nc data dividing and editing device of nc working device |
| JP2533495B2 (ja) * | 1986-07-25 | 1996-09-11 | 株式会社日立製作所 | ワ−クスケジユ−リング方法及び装置 |
| US5233533A (en) * | 1989-12-19 | 1993-08-03 | Symmetrix, Inc. | Scheduling method and apparatus |
| GB2245387B (en) * | 1990-04-19 | 1994-03-02 | Honda Motor Co Ltd | Automated management system for car frames and production method |
| JP3189326B2 (ja) * | 1990-11-21 | 2001-07-16 | セイコーエプソン株式会社 | 生産管理装置および該装置を用いた生産管理方法 |
-
1993
- 1993-04-15 JP JP5088256A patent/JP2880876B2/ja not_active Expired - Fee Related
-
1994
- 1994-04-07 US US08/224,741 patent/US5440493A/en not_active Expired - Fee Related
- 1994-04-14 KR KR1019940007795A patent/KR0140027B1/ko not_active IP Right Cessation
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| KR100510065B1 (ko) * | 1999-06-22 | 2005-08-26 | 주식회사 하이닉스반도체 | 반도체 제조를 위한 오버레이 장비 자동화 방법 |
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| US5440493A (en) | 1995-08-08 |
| JP2880876B2 (ja) | 1999-04-12 |
| KR0140027B1 (ko) | 1998-07-15 |
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