JPS63202514A - 被処理物の処理装置への割り込み方式 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】 （産業上の利用分野） 本発明は、半導体製造工場の自動搬送システムにおける
被処理物の処理装置への割り込み方式に関するものであ
る。

（従来の技術） 従来の半導体製造工場における自動搬送システムの一工
程を説明すると、被処理物、例えば、半導体ウェハ（以
下、単にウェハという）が収納されたウェハキャリアは
、前工程より自動搬送装置、例えば、天井を走行する自
動搬送車によって指定された処理装置に自動搬送され、
その処理装置によって処理された後、再び自動搬送車に
より、次工程に自動搬送される。

第２図は係る自動搬送システムによる自動洗浄工程の例
を示すものであり、■はウェハキャリア、２は前後左右
に移動できる天井部分を走行する自動搬送車、３．４は
上下及びウェハキャリアを前記搬送車に移載するための
移載装置（以下、リフタという、）、５は自動洗浄装置
、６は上下左右に移動可能でウェハキャリア１をクラン
プできる搬送ロボット、７は自動搬送されて来たウェハ
キャリア１がセントされる投入ステーション、８はウェ
ハを処理する処理槽及び乾燥機等がある処理部、９は洗
浄処理を終了し、次工程に自動搬送されるウェハキャリ
アがセットされる搬出ステーションである。

以上の構成の動作を説明すると、前工程にて処理された
ウェハキャリア１は自動搬送車２により搬送されて来た
後、リフタ３に移載され、自動洗浄装置５の投入ステー
ション７にセントされる。

投入ステーション７にセットされたウェハキャリア１は
搬送ロボット６によって、処理部８にて、順次薬液槽、
純水槽等に浸漬処理され、乾燥された後、搬出ステーシ
ョン９に搬送される。搬出ステーション９にあるウェハ
キャリアｌはリフタ４に把持されて、再び自動搬送車２
へ搬送され、次工程の処理装置へ自動搬送されていくよ
うになっている。

（発明が解決しようとする問題点） しかしながら、従来の自動搬送システムにおける被処理
物の処理装置では、予めプログラム制御されているため
、割り込んで被処理物としてのウェハキャリアを任意に
処理出来なかったり、また、処理前或いは処理済みのウ
ェハキャリアを任意に自動搬送システムに取り込むこと
が出来ないという問題点があった。

本発明は、上記問題点を除去し、自動搬送システムにお
ける被処理物の処理装置において、任意に被処理物の割
り込み処理が可能な被処理物の処理装置への割り込み方
式を提供することを目的とする。

（問題点を解決するための手段） 本発明は、半導体製造工場で行われている自動搬送シス
テム、例えば、自動洗浄装置において、被処理物として
のウェハキャリアを任意に割り込んで自動搬送システム
に取り込めるように割り込み用投入ステーションと搬出
ステーション及びこれらの制御装置を設け、任意の割り
込み処理を行い得るようにしたものである。

（作用） 本発明によれば、上記のように、自動洗浄装置に割り込
み用投入ステーション及び割り込み用搬出ステーシッン
及びその制御装置を設置することにより、自動搬送シス
テム稼動中に被処理物を割り込んで、ウェハキャリアを
任意に処理することができる。更に、処理前、又は処理
済みの被処理物を任意に自動搬送システムに取り込むこ
とができる。

（実施例） 以下、本発明の実施例について図面を参照しながら詳細
に説明する。

第１図は本発明の実施例を示す割り込み処理システムの
概略構成図であり、ここでは、ウェハの自動洗浄システ
ムを例にとって説明する。

図中、１０は前後左右に移動できる天井部分を走行する
自動搬送車、１１．１２は上下及びウェハキャリアを前
記搬送車に移載するための移載装置（以下、リフタとい
う、）、１３は処理装置としての自動洗浄装置、１４は
上下左右に移動可能で被処理物としてのウェハキャリア
（ロフト）をクランプできる搬送ロボット、１５は自動
搬送されて来たつエバキャリア２１がセットされる投入
ステーション、１６はウェハを処理する処理槽及び乾燥
機等がある処理部、１７は洗浄処理を終了し、次工程に
自動搬送されるウェハキャリアがセットされる搬出ステ
ーションであり、これらは従来のものと同様のものであ
る０本発明の自動洗浄装置においては、更に、これらに
加えて、割り込み用投入ステーション１８、割り込み用
搬出ステーシッン１９及びこれらの制御を行う電子制御
装置２０が設けられる。なお、この電子制御装置２０は
図示しないがデータ入力装置を有し、かつ上位のコンピ
ュータ（ＬＣ）と接続され、ウェハキャリア（ロフト）
に関する情報の授受が行われる。また、２１はウェハキ
ャリア、２２は割り込まれるウェハキャリアである。

そこで、自動搬送システムが稼動中、割り込み用投入ス
テーション１８にウェハキャリア２２がセットされると
、自動洗浄装置１１にある電子制御装置２０にデータ入
力装置を介して、ウェハキャリア２２の処理情報を入力
することにより、搬送ロボット１４は以下の２通りの搬
送を行う。

１つは割り込み用投入ステーション１８にセント処理を
行った後、自動搬送システムに取り込みたい場合であり
、割り込み用投入ステージ四ン１８にあるウェハキャリ
ア２２は搬送ロボット１４により投入ステーション１５
の空いている位置に搬送され、それ以降は、従来通りに
処理され、次工程へ搬送される。

２つ目は処理だけしたい場合であり、割り込み用投入ス
テージ四ン１８にあるウェハキャリア２２は搬送ロボッ
ト１４により、処理部１６へ搬送され、処理された後、
割り込み用搬出ステーション１９に搬送される。その後
、ウェハキャリアは作業者によって割り込み用搬出ステ
ーション１９から自動搬送システムによって次工程に搬
送したい場合、自動洗浄装置１３にある電子制御装置２
０にデータ入力装置を介して、ウェハキャリアの処理情
報を入力することにより搬送ロボット１４は搬出ステー
ション１７に搬送し、それ以降は従来通りに次工程へ搬
送されるようになっているものである。

第３図は自動搬送システムによる処理のメインフローチ
ャートであり、第４図乃至第７図は第３図におけるサブ
ルーチンとしての各処理（ＳＴＡＰＴＡ−Ｄ）のフロー
チャートを示したものである。

第１図及び第３図においては、処理装置、ここではウェ
ハの自動洗浄装置の搬送フローを示しており、まず、■
オンラインか否かをみて、オンラインになっている場合
は、■投入ステーション１５は空いているか否かを判断
し、投入ステーション１５が空いている場合には、■搬
入要求処理（サブルーチン：スタートＡ）を実行する。

■搬出ステーシラン１フにロフトがあるか否かを判断し
、搬出ステーション１７にロフトがある場合には、■搬
出要求処理（サブルーチン：スタートＢ）を実行する。

ここまでは、自動搬送システムが稼動中の従来処理であ
る。

そして、割り込みを行う場合には、■割り込み用投入ス
テーシッン１日にロフトがあるか否かを判断し、割り込
み用投入ステーシッン１８にロフトがある場合には、■
割り込み用投入ステーション処理（サブルーチン：スタ
ートＣ）を実行する。■割り込み用搬出ステーション１
９にロフトがあるか否かを判断し、割り込み用搬出ステ
ーション１９に。

ロフトがある場合には、■割り込み用搬出ステーション
処理（サブルーチン：スタートＤ）を実行する。

次に、順次第４図におけるサブルーチンについて説明す
る。

第４図は搬入要求処理（スタートＡ）のフローチャート
である。

まず、０投入ステージ四ン１５が空きの時に、■処理可
能ロフトの自動投入を上位コンピュータ（以下、ＬＣと
いう）に要求（投入要求）し、その後、ＯＬＣからの搬
入通知（ロッ）Ｎｏ及び処理情報を含む）を受信したら
、搬入動作を行う、０自動投入されたロフトは、■処理
部１６へ搬送され、■処理が終了したロフトは、［相］
搬出ステーション１７へ搬送する。

第５図は搬出要求処理（スター）Ｂ）のフローチャート
である。

まず、■搬出ステーシリン１７にロフトがあると、［相
］ＬＣに対して搬出要求（ロソ）Ｎｏ、処理終了情報等
）を送信する。ＯＬＣは処理終了情報により、この工程
が終了したと判断し、搬出要求があるのを確認して、次
工程へ自動搬送する。　ＬＣは搬出決定時、搬出通知（
ロッ）Ｎｏ等）を自動洗浄装置に対して送信し、その後
、自動洗浄装置では、＠搬出動作が行われる。

ここまでが、搬送システムが稼動中の従来処理である。

次に、第６図は割り込み用投入ステーション処理のフロ
ーチャートである。

電子制御装置２０は［相］割り込み用投入ステーシッン
１８にウェハキャリア（ロフト）２２を検知すると、Ｏ
搬送形態（自動搬送に取り込み、又は処理のみ）を入力
し、ＯＳ送形態が自動搬送に取り込むとされた場合は、
［相］ロフトＮｏ及び工程コード等の情報の入力を持っ
て、［相］ＬＣに対して処理情報の要求を行う、［相］
ＬＣからの処理情報を受信すると、０ウエハキヤリア２
２は投入ステーション１５へ搬送し、これ以降は搬送シ
ステムの通常処理となる。また、搬送形態入力において
、［相］処理だけと入力された場合は、［相］ＬＣに対
して処理情報を要求し、ＯＬＣからの処理情報を受信す
ると、その後は上記の自動搬送への取り込みと同様、［
相］処理部１６へ搬送し、処理はＬＣからの処理情報に
従って行う、■処理が終了すると、■割り込み用投入ス
テーション１９へ搬送し、［相］処理が終了したことを
作業者に知らせる。

最後に、第７図は割り込み用搬出ステーション処理のフ
ローチャートである。

まず、■電子制御装置２０は割り込み用投入ステーショ
ン１９にウェハキャリア（ロフト）２３があることを検
知すると、＠ロットＮｏｓ工程コードの入力待ちになる
。これらの情報が入力されると、０ウエハキヤリア２３
を搬出ステーション１７へ搬送する。搬送されたウェハ
キャリアは、以降前記搬出要求処理によって自動搬送シ
ステムに取り込まれる。

なお、本発明は上記実施例に限定されるものではなく、
本発明の趣旨に基づいて種々の変形が可能であり、これ
らを本発明の範囲から排除するものではない。

（発明の効果） 以上、詳細に説明したように、本発明によれば、自動洗
浄装置に割り込み用投入ステーション及び割り込み用投
入ステーションを設置することにより、自動搬送システ
ム稼動中に被処理物を割り込んで、ウェハキャリアを任
意に処理することができる。

また、処理前、又は処理済みのウェハキャリアを任意に
自動搬送システムに取り込むことができる。

【図面の簡単な説明】

第１図は本発明の実施例を示す割り込み処理システムの
概略構成図、第２図は従来の自動搬送システムによる自
動洗浄工程の説明図、第３図は自動搬送システムによる
処理のメインフローチャート、第４図は搬入要求処理（
スター）Ａ）のフローチャート、第５図は搬出要求処理
（スタートＢ）のフローチャート、第６図は割り込み用
投入ステーシッン処理のフローチャート、第７図は割り
込み用搬出ステーション処理のフローチャートである。 １０・・・自動搬送車、１１．１２・・・移載装置（リ
フタ）、１３・・・自動洗浄装置、１４・・・搬送ロボ
ット、１５・・・投入ステーション、１６・・・処理部
、１７・・・搬出ステーション、１８・・・割り込み用
投入ステーション、１９・・・割り込み用投入ステーシ
ョン、２０・・・電子制御装置、２１・・・ウェハキャ
リア、２２．２３・・・割り込まれるウェハキャリア。

Claims (2)

【特許請求の範囲】
1. （１） （ａ）被処理物の処理装置と、 （ｂ）該処理装置に被処理物を任意に割り込むための投
   入ステーションと、 （ｃ）該処理装置に被処理物を任意に割り込むための搬
   出ステーションと、 （ｄ）該割り込んだ被処理物を該処理装置の制御系に取
   り込む手段とを具備するようにしたことを特徴とする被
   処理物の処理装置への割り込み方式。
2. （２）前記被処理物は半導体ウェハであることを特徴と
   する特許請求の範囲第１項記載の被処理物の処理装置へ
   の割り込み方式。