JPH0982773A - 自動搬送車 - Google Patents
自動搬送車Info
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- JPH0982773A JPH0982773A JP7231225A JP23122595A JPH0982773A JP H0982773 A JPH0982773 A JP H0982773A JP 7231225 A JP7231225 A JP 7231225A JP 23122595 A JP23122595 A JP 23122595A JP H0982773 A JPH0982773 A JP H0982773A
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- 239000004973 liquid crystal related substance Substances 0.000 claims abstract description 6
- 238000004519 manufacturing process Methods 0.000 claims abstract description 6
- 238000012545 processing Methods 0.000 claims description 37
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- 238000004891 communication Methods 0.000 claims description 3
- 239000011521 glass Substances 0.000 description 12
- 239000000758 substrate Substances 0.000 description 12
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- 238000010586 diagram Methods 0.000 description 5
- 239000000969 carrier Substances 0.000 description 1
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Abstract
(57)【要約】
【課題】 最小の自動搬送車の台数で最大の搬送効率を
うることができる自動搬送車を提供する。 【解決手段】 液晶表示装置の製造工程における処理装
置にカセットを搬送するための自動搬送車であって、該
自動搬送車１は、２個のカセット収容部２ａ、２ｂが並
設されている。
うることができる自動搬送車を提供する。 【解決手段】 液晶表示装置の製造工程における処理装
置にカセットを搬送するための自動搬送車であって、該
自動搬送車１は、２個のカセット収容部２ａ、２ｂが並
設されている。
Description
【０００１】
【発明の属する技術分野】本発明は自動搬送車に関す
る。さらに詳しくは、液晶表示装置における液晶用ガラ
ス基板の製造工程において、ガラス基板を収納したカセ
ットおよび／または空のカセットを前工程からつぎの工
程の処理装置へ搬送させる自動搬送車に関する。
る。さらに詳しくは、液晶表示装置における液晶用ガラ
ス基板の製造工程において、ガラス基板を収納したカセ
ットおよび／または空のカセットを前工程からつぎの工
程の処理装置へ搬送させる自動搬送車に関する。
【０００２】
【従来の技術】従来の自動搬送車としては、図６に示す
ように、自動搬送車５１上に、１つのカセット収容部５
２を備えており、前工程で処理が完了したガラス基板を
収納したカセット５３をカセット収容部５２に保持し、
つぎの工程まで自動搬送し、つぎの工程の処理装置５４
のカセットステージ５５へ移載するものがある。
ように、自動搬送車５１上に、１つのカセット収容部５
２を備えており、前工程で処理が完了したガラス基板を
収納したカセット５３をカセット収容部５２に保持し、
つぎの工程まで自動搬送し、つぎの工程の処理装置５４
のカセットステージ５５へ移載するものがある。
【０００３】
【発明が解決しようとする課題】しかしながら、かかる
自動搬送車は、１台の自動搬送車で１個のカセットしか
搬送できないため、多数の自動搬送車が必要となる。ま
た、処理完了のカセットを自動搬送車に移し、空のカセ
ットを処理装置にセットするばあいなど、それぞれの作
業を別々に行なう必要があるため、搬送の効率がわる
く、時間がかかるなどの問題がある。
自動搬送車は、１台の自動搬送車で１個のカセットしか
搬送できないため、多数の自動搬送車が必要となる。ま
た、処理完了のカセットを自動搬送車に移し、空のカセ
ットを処理装置にセットするばあいなど、それぞれの作
業を別々に行なう必要があるため、搬送の効率がわる
く、時間がかかるなどの問題がある。
【０００４】本発明は、叙上の事情に鑑み、最小の自動
搬送車の台数で最大の搬送効率をうることができる自動
搬送車を提供することを目的とする。
搬送車の台数で最大の搬送効率をうることができる自動
搬送車を提供することを目的とする。
【０００５】
【課題を解決するための手段】本発明の自動搬送車は、
液晶表示装置の製造工程における処理装置にカセットを
搬送するための自動搬送車であって、該自動搬送車は、
複数個のカセット収容部が並設されてなることを特徴と
している。
液晶表示装置の製造工程における処理装置にカセットを
搬送するための自動搬送車であって、該自動搬送車は、
複数個のカセット収容部が並設されてなることを特徴と
している。
【０００６】
【発明の実施の形態】以下、添付図面に基づいて本発明
の自動搬送車について説明する。
の自動搬送車について説明する。
【０００７】図１は本発明の自動搬送車の一実施例を示
す概略図、図２は図１における自動搬送車の動作を示す
説明図、図３は本発明の自動搬送車の他の実施例を示す
概略図、図４は本発明の自動搬送車のさらに他の実施例
を示す概略図、図５は本発明の自動搬送車を配車制御す
るためのブロック図である。
す概略図、図２は図１における自動搬送車の動作を示す
説明図、図３は本発明の自動搬送車の他の実施例を示す
概略図、図４は本発明の自動搬送車のさらに他の実施例
を示す概略図、図５は本発明の自動搬送車を配車制御す
るためのブロック図である。
【０００８】本発明の自動搬送車は、液晶表示装置の製
造工程における、たとえば洗浄、現像、エッチング、剥
離などのプロセス処理を行なう処理装置にガラス基板な
どの被処理物を収納したカセットや該被処理物を収納し
ていない空のカセットを搬送するものである。
造工程における、たとえば洗浄、現像、エッチング、剥
離などのプロセス処理を行なう処理装置にガラス基板な
どの被処理物を収納したカセットや該被処理物を収納し
ていない空のカセットを搬送するものである。
【０００９】図１に示すように、自動搬送車１は、その
上面にカセットを保持する２個のカセット収容部２ａ、
２ｂが並設されているが、本発明においては、カセット
収容部は２個に限定されるものではなく、３個以上とす
ることもできる。またカセット収容部は上面にのみ設け
るものに限定されるものではなく、上下２段に配置する
こともできる。そして自動搬送車１が処理装置Ｍ１まで
移動したのち、カセットステージ３に載置されている処
理済のカセットＫは、自動搬送車１上に設置されている
ロボットアーム等（図示せず）により、カセット収容部
２ｂに移載されるとともに、カセット収容部２ａに保持
されている空のカセットＫ１は、処理装置Ｍのカセット
ステージ３に移載される。
上面にカセットを保持する２個のカセット収容部２ａ、
２ｂが並設されているが、本発明においては、カセット
収容部は２個に限定されるものではなく、３個以上とす
ることもできる。またカセット収容部は上面にのみ設け
るものに限定されるものではなく、上下２段に配置する
こともできる。そして自動搬送車１が処理装置Ｍ１まで
移動したのち、カセットステージ３に載置されている処
理済のカセットＫは、自動搬送車１上に設置されている
ロボットアーム等（図示せず）により、カセット収容部
２ｂに移載されるとともに、カセット収容部２ａに保持
されている空のカセットＫ１は、処理装置Ｍのカセット
ステージ３に移載される。
【００１０】つぎに本発明の自動搬送車の動作を説明す
る。まず図２（ａ）に示すように、自動搬送車１により
処理装置Ｍ１のカセットローダ４ｂにガラス基板を収納
したカセットＫ２をセットするとともに、カセットアン
ローダ４ａに空のカセットＫ１をセットする。各セット
が完了すると、図２（ｂ）に示すようにカセットＫ２か
ら順次ガラス基板を取り出したのち、所定の処理を行な
い、カセットＫ１に収納する。そして全てのガラス基板
の処理が完了すると、処理装置Ｍのカセットアンローダ
４ａおよびカセットローダ４ｂの前方にそれぞれ自動搬
送車１ａ、１ｂが移動する。該自動搬送車１ａは、カセ
ット収容部２ｂに空のカセットＫ３が保持されている
が、他のカセット収容部２ａにはカセットが保持されて
いない空の状態にされている。一方、自動搬送車１ｂ
は、カセット収容部２ｂに未処理のガラス基板を収納し
たカセットＫ４が保持されているが、他のカセット収容
部２ｂにはカセットが保持されていない。ついで図２
（ｂ）、（ｃ）に示すように、カセットアンローダ４ａ
上の処理済のカセットＫ１が自動搬送車１ａのカセット
収容部２ａに移載されるとともにカセットローダ４ｂ上
の空のカセットＫ２が自動搬送車１ｂのカセット収容部
２ａに移載される。つぎに図２（ｄ）に示すように、自
動搬送車１ａ、１ｂは、カセット収容部２ｂがカセット
アンローダ４ａ側およびカセットローダ４ｂ側に来るよ
うに移動される。そののち自動搬送車１ａのカセット収
容部２ｂに保持されている空のカセットＫ３がカセット
アンローダ４ａへセットされるとともに、自動搬送車１
ｂのカセット収容部２ｂに保持されている未処理のカセ
ットＫ４がカセットローダ４ｂへセットされる。そして
図２（ｂ）に示したように、引きつづき、カセットＫ４
（Ｋ２）から順次ガラス基板が処理されたのち、空のカ
セットＫ３（Ｋ１）に収納されると、他の自動搬送車が
移動して来て、カセットの交換を行なう。このように１
台の自動搬送車１ａ、１ｂで処理装置Ｍ１とのあいだに
処理済のカセットと空のカセットとの交換および空のカ
セットと未処理のカセットとの交換が行なわれるため、
搬送時間が短縮され、生産性が向上する。
る。まず図２（ａ）に示すように、自動搬送車１により
処理装置Ｍ１のカセットローダ４ｂにガラス基板を収納
したカセットＫ２をセットするとともに、カセットアン
ローダ４ａに空のカセットＫ１をセットする。各セット
が完了すると、図２（ｂ）に示すようにカセットＫ２か
ら順次ガラス基板を取り出したのち、所定の処理を行な
い、カセットＫ１に収納する。そして全てのガラス基板
の処理が完了すると、処理装置Ｍのカセットアンローダ
４ａおよびカセットローダ４ｂの前方にそれぞれ自動搬
送車１ａ、１ｂが移動する。該自動搬送車１ａは、カセ
ット収容部２ｂに空のカセットＫ３が保持されている
が、他のカセット収容部２ａにはカセットが保持されて
いない空の状態にされている。一方、自動搬送車１ｂ
は、カセット収容部２ｂに未処理のガラス基板を収納し
たカセットＫ４が保持されているが、他のカセット収容
部２ｂにはカセットが保持されていない。ついで図２
（ｂ）、（ｃ）に示すように、カセットアンローダ４ａ
上の処理済のカセットＫ１が自動搬送車１ａのカセット
収容部２ａに移載されるとともにカセットローダ４ｂ上
の空のカセットＫ２が自動搬送車１ｂのカセット収容部
２ａに移載される。つぎに図２（ｄ）に示すように、自
動搬送車１ａ、１ｂは、カセット収容部２ｂがカセット
アンローダ４ａ側およびカセットローダ４ｂ側に来るよ
うに移動される。そののち自動搬送車１ａのカセット収
容部２ｂに保持されている空のカセットＫ３がカセット
アンローダ４ａへセットされるとともに、自動搬送車１
ｂのカセット収容部２ｂに保持されている未処理のカセ
ットＫ４がカセットローダ４ｂへセットされる。そして
図２（ｂ）に示したように、引きつづき、カセットＫ４
（Ｋ２）から順次ガラス基板が処理されたのち、空のカ
セットＫ３（Ｋ１）に収納されると、他の自動搬送車が
移動して来て、カセットの交換を行なう。このように１
台の自動搬送車１ａ、１ｂで処理装置Ｍ１とのあいだに
処理済のカセットと空のカセットとの交換および空のカ
セットと未処理のカセットとの交換が行なわれるため、
搬送時間が短縮され、生産性が向上する。
【００１１】つぎに本発明の自動搬送車の他の実例例を
説明する。図３（ａ）に示される処理装置Ｍ２は、カセ
ットローダとカセットアンローダが同一のカセットステ
ージ２４で行なわれるものである。この処理装置Ｍ２に
おいて、カセットＫ５に収納されるガラス基板の処理が
終了すると、自動搬送車２１が処理装置Ｍ２へ移動す
る。この自動搬送車２１のカセット収容部２２ａには、
処理すべきガラス基板を収納するカセットＫ６が保持さ
れており、他のカセット収容部２２ｂは、空の状態にさ
れている。そして図３（ｂ）に示すように、カセットス
テージ２４上の処理完了のカセットＫ５をカセット収容
部２２ｂに移載する。ついで図３（ｃ）に示すように、
自動搬送車２１を前進したのち、カセット収容部２２ａ
に保持されるつぎのカセットＫ６をカセットステージ２
４へセットする。
説明する。図３（ａ）に示される処理装置Ｍ２は、カセ
ットローダとカセットアンローダが同一のカセットステ
ージ２４で行なわれるものである。この処理装置Ｍ２に
おいて、カセットＫ５に収納されるガラス基板の処理が
終了すると、自動搬送車２１が処理装置Ｍ２へ移動す
る。この自動搬送車２１のカセット収容部２２ａには、
処理すべきガラス基板を収納するカセットＫ６が保持さ
れており、他のカセット収容部２２ｂは、空の状態にさ
れている。そして図３（ｂ）に示すように、カセットス
テージ２４上の処理完了のカセットＫ５をカセット収容
部２２ｂに移載する。ついで図３（ｃ）に示すように、
自動搬送車２１を前進したのち、カセット収容部２２ａ
に保持されるつぎのカセットＫ６をカセットステージ２
４へセットする。
【００１２】つぎに本発明の自動搬送車のさらに他の実
施例を説明する。図４（ａ）に示すように、自動搬送車
３１のカセット収容部３２ａ、３２ｂから２個のカセッ
トＫ７を同時に処理装置Ｍ３のカセットステージ３４
ａ、３４ｂに移載するばあい、および図４（ｂ）に示す
ように、処理装置Ｍ３のカセットステージ３４ａ、３４
ｂ上の処理が完了した２個のカセットＫ８を同時に自動
搬送車３１のカセット収容部３２ａ、３２ｂに移載する
ばあい、２個のカセット収容部３２ａ、３２ｂの間隔Ａ
１と２個のカセットステージ３４ａ、３４ｂの間隔Ａ２
が同一ピッチにされている。また自動搬送車３１にカセ
ット収容部の間隔Ａ１を自動的に変更できる可変機構を
設けることにより、前記間隔Ａ２が異なる他の処理装置
に対しても対応可能となり、作業時間が短縮し、生産性
が向上する。前記可変機構としては、カセット収容部の
下部に設置されるサーボモータとボールネジ等を用いる
ことができ、カセット収容部の間隔をカセットステージ
の間隔に自動的に変更する。
施例を説明する。図４（ａ）に示すように、自動搬送車
３１のカセット収容部３２ａ、３２ｂから２個のカセッ
トＫ７を同時に処理装置Ｍ３のカセットステージ３４
ａ、３４ｂに移載するばあい、および図４（ｂ）に示す
ように、処理装置Ｍ３のカセットステージ３４ａ、３４
ｂ上の処理が完了した２個のカセットＫ８を同時に自動
搬送車３１のカセット収容部３２ａ、３２ｂに移載する
ばあい、２個のカセット収容部３２ａ、３２ｂの間隔Ａ
１と２個のカセットステージ３４ａ、３４ｂの間隔Ａ２
が同一ピッチにされている。また自動搬送車３１にカセ
ット収容部の間隔Ａ１を自動的に変更できる可変機構を
設けることにより、前記間隔Ａ２が異なる他の処理装置
に対しても対応可能となり、作業時間が短縮し、生産性
が向上する。前記可変機構としては、カセット収容部の
下部に設置されるサーボモータとボールネジ等を用いる
ことができ、カセット収容部の間隔をカセットステージ
の間隔に自動的に変更する。
【００１３】つぎに本発明の自動搬送車の配車制御方法
について説明する。図５に示すように、自動搬送車４１
ａ、４１ｂ、４１ｃと処理装置に取り付けられたコント
ローラ４５ａ、４５ｂ、４５ｃは、配車コントローラ４
４に各通信線４６でつながれ、集中管理されている。こ
れにより、各処理装置におけるガラス基板の処理状況
（情報）を各コントローラ４５ａ、４５ｂ、４５ｃから
配車コントローラ４４に通信し、該通信に基づいて各処
理装置に最も近くて、かつ最適なカセットを保持してい
る自動搬送車を選定し、自動搬送車と処理装置とのあい
だの配車を制御している。このように最適配車をコント
ロールするため、生産性がさらに向上する。
について説明する。図５に示すように、自動搬送車４１
ａ、４１ｂ、４１ｃと処理装置に取り付けられたコント
ローラ４５ａ、４５ｂ、４５ｃは、配車コントローラ４
４に各通信線４６でつながれ、集中管理されている。こ
れにより、各処理装置におけるガラス基板の処理状況
（情報）を各コントローラ４５ａ、４５ｂ、４５ｃから
配車コントローラ４４に通信し、該通信に基づいて各処
理装置に最も近くて、かつ最適なカセットを保持してい
る自動搬送車を選定し、自動搬送車と処理装置とのあい
だの配車を制御している。このように最適配車をコント
ロールするため、生産性がさらに向上する。
【００１４】
【発明の効果】以上説明したとおり、本発明の自動搬送
車では、自動搬送車上に複数のカセット収容部を備えて
おり、またカセット収容部の間隔を処理装置のカセット
ステージと同一または自動的に変えうるようにしたの
で、最小の自動搬送車台数で最大の搬送効率がえられる
とともに、設備費用が低減し、生産性が向上する。
車では、自動搬送車上に複数のカセット収容部を備えて
おり、またカセット収容部の間隔を処理装置のカセット
ステージと同一または自動的に変えうるようにしたの
で、最小の自動搬送車台数で最大の搬送効率がえられる
とともに、設備費用が低減し、生産性が向上する。
【００１５】また自動搬送車の配車を処理装置の処理情
報により行なうため、さらに一環した生産を行なうこと
ができる。
報により行なうため、さらに一環した生産を行なうこと
ができる。
【図１】本発明の自動搬送車の一実施例を示す概略図で
ある。
ある。
【図２】図１における自動搬送車の動作を示す説明図で
ある。
ある。
【図３】本発明の自動搬送車の他の実施例を示す概略図
である。
である。
【図４】本発明の自動搬送車のさらに他の実施例を示す
概略図である。
概略図である。
【図５】本発明の自動搬送車を配車制御するためのブロ
ック図である。
ック図である。
【図６】従来の自動搬送車を示す説明図である。
１、１ａ、１ｂ、２１、３１ 自動搬送車 ２ａ、２ｂ、２２ａ、２２ｂ、３２ａ、３２ｂ
カセット収容部 Ｋ、Ｋ１、Ｋ２、Ｋ３、Ｋ４、Ｋ５、Ｋ６、Ｋ７、Ｋ８
カセット
カセット収容部 Ｋ、Ｋ１、Ｋ２、Ｋ３、Ｋ４、Ｋ５、Ｋ６、Ｋ７、Ｋ８
カセット
Claims (7)
- 【請求項１】 液晶表示装置の製造工程における処理装
置にカセットを搬送するための自動搬送車であって、該
自動搬送車は、複数個のカセット収容部が並設されてな
ることを特徴とする自動搬送車。 - 【請求項２】 前記処理装置のカセットステージに載置
されるカセットが前記カセット収容部のいずれかに移載
されるとともに、他のカセット収容部に保持されるカセ
ットが前記カセットステージに移載される請求項１記載
の自動搬送車。 - 【請求項３】 前記複数個のカセット収容部に保持され
る少なくとも２個のカセットを同時に前記処理装置のそ
れぞれのカセットステージに移載しうる請求項１記載の
自動搬送車。 - 【請求項４】 前記処理装置のカセットステージに載置
される少なくとも２個のカセットを同時にそれぞれカセ
ット収容部に移載しうる請求項１記載の自動搬送車。 - 【請求項５】 前記複数個のカセット収容部の間隔が前
記処理装置のカセットステージの間隔と同一にされてな
る請求項３または４記載の自動搬送車。 - 【請求項６】 前記複数個のカセット収容部の間隔を前
記処理装置のカセットステージの間隔に応じて自動的に
変更しうる可変機構を備えてなる請求項３または４記載
の自動搬送車。 - 【請求項７】 自動搬送車の配車コントローラと、処理
装置のコントローラとを備えており、各コントローラの
あいだで、前記処理装置における被処理物の処理情報を
通信し、該通信に基づいて自動搬送車と処理装置とのあ
いだの配車を制御してなる請求項１、２、３、４、５ま
たは６記載の自動搬送車。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP7231225A JPH0982773A (ja) | 1995-09-08 | 1995-09-08 | 自動搬送車 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP7231225A JPH0982773A (ja) | 1995-09-08 | 1995-09-08 | 自動搬送車 |
Related Child Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP2004292985A Division JP2005026720A (ja) | 2004-10-05 | 2004-10-05 | 自動搬送車 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH0982773A true JPH0982773A (ja) | 1997-03-28 |
Family
ID=16920288
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP7231225A Pending JPH0982773A (ja) | 1995-09-08 | 1995-09-08 | 自動搬送車 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH0982773A (ja) |
Cited By (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US6298274B1 (en) | 1998-11-19 | 2001-10-02 | Oki Electric Industry Co., Ltd. | Conveyance system in a semiconductor manufacturing process and method for processing semiconductor wafer therein |
| WO2009078209A1 (ja) * | 2007-12-18 | 2009-06-25 | Mitsubishi Heavy Industries, Ltd. | 薄膜太陽電池製造システム及び共通基板保管ラック |
| JP2014078657A (ja) * | 2012-10-12 | 2014-05-01 | Disco Abrasive Syst Ltd | カセット着脱台車 |
-
1995
- 1995-09-08 JP JP7231225A patent/JPH0982773A/ja active Pending
Cited By (4)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US6298274B1 (en) | 1998-11-19 | 2001-10-02 | Oki Electric Industry Co., Ltd. | Conveyance system in a semiconductor manufacturing process and method for processing semiconductor wafer therein |
| WO2009078209A1 (ja) * | 2007-12-18 | 2009-06-25 | Mitsubishi Heavy Industries, Ltd. | 薄膜太陽電池製造システム及び共通基板保管ラック |
| JP2009147266A (ja) * | 2007-12-18 | 2009-07-02 | Mitsubishi Heavy Ind Ltd | 薄膜太陽電池製造装置システム及び共通基板保管ラック |
| JP2014078657A (ja) * | 2012-10-12 | 2014-05-01 | Disco Abrasive Syst Ltd | カセット着脱台車 |
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