JP2005026720A - 自動搬送車 - Google Patents
自動搬送車 Download PDFInfo
- Publication number
- JP2005026720A JP2005026720A JP2004292985A JP2004292985A JP2005026720A JP 2005026720 A JP2005026720 A JP 2005026720A JP 2004292985 A JP2004292985 A JP 2004292985A JP 2004292985 A JP2004292985 A JP 2004292985A JP 2005026720 A JP2005026720 A JP 2005026720A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- cassette
- processed
- empty
- automatic
- vehicle
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Pending
Links
Images
Abstract
【課題】最小の自動搬送車の台数で最大の搬送効率をうることができる自動搬送車を提供する。
【解決手段】液晶表示装置の製造工程における処理装置にカセットを搬送するための自動搬送車であって、該自動搬送車1は、2個のカセット収容部2a、2bが並設されている。
【選択図】図1
【解決手段】液晶表示装置の製造工程における処理装置にカセットを搬送するための自動搬送車であって、該自動搬送車1は、2個のカセット収容部2a、2bが並設されている。
【選択図】図1
Description
本発明は自動搬送車に関する。さらに詳しくは、液晶表示装置における液晶用ガラス基板の製造工程において、ガラス基板を収納したカセットおよび/または空のカセットを前工程からつぎの工程の処理装置へ搬送させる自動搬送車に関する。
従来の自動搬送車としては、図6に示すように、自動搬送車51上に、1つのカセット収容部52を備えており、前工程で処理が完了したガラス基板を収納したカセット53をカセット収容部52に保持し、つぎの工程まで自動搬送し、つぎの工程の処理装置54のカセットステージ55へ移載するものがある。
しかしながら、かかる自動搬送車は、1台の自動搬送車で1個のカセットしか搬送できないため、多数の自動搬送車が必要となる。また、処理完了のカセットを自動搬送車に移し、空のカセットを処理装置にセットするばあいなど、それぞれの作業を別々に行なう必要があるため、搬送の効率がわるく、時間がかかるなどの問題がある。
本発明は、叙上の事情に鑑み、最小の自動搬送車の台数で最大の搬送効率をうることができる自動搬送車を提供することを目的とする。
本発明の自動搬送車は、液晶表示装置の製造工程における処理装置に被処理物を収納したカセットと被処理物を収納していない空のカセットを搬送するために、該被処理物を収納したカセットと被処理物を収納していない空のカセットのための複数個のカセット収容部が並設されている自動搬送車であって、前記被処理物を収納したカセットが、前記処理装置のカセットステージから前記複数個のカセット収容部のいずれかに移載されるとともに、前記被処理物を収納していない空のカセットが、他のカセット収容部から前記処理装置のカセットステージに移載されることを特徴としている。
本発明の他の自動搬送車は、液晶表示装置の製造工程における処理装置に被処理物を収納したカセットと被処理物を収納していない空のカセットを搬送するために、該被処理物を収納したカセットと被処理物を収納していない空のカセットのための複数個のカセット収容部が並設されている自動搬送車であって、前記被処理物を収納していない空のカセットが、前記処理装置のカセットステージから前記複数個のカセット収容部のいずれかに移載されるとともに、前記被処理物を収納したカセットが、他のカセット収容部から前記処理装置のカセットステージに移載されることを特徴としている。
本発明のさらに他の自動搬送車は、液晶表示装置の製造工程における処理装置に被処理物を収納したカセットと被処理物を収納していない空のカセットを搬送するために、該被処理物を収納したカセットと被処理物を収納していない空のカセットのための複数個のカセット収容部が並設されている自動搬送車であって、前記処理装置により処理が終了した被処理物を収納したカセットが、前記処理装置のカセットステージから前記複数個のカセット収容部のいずれかに移載された後に、処理すべき被処理物を収納したカセットが、他のカセット収容部から前記処理装置のカセットステージに移載されることを特徴としている。
以上説明したとおり、本発明の自動搬送車では、自動搬送車上に複数のカセット収容部を備えており、またカセット収容部の間隔を処理装置のカセットステージと同一または自動的に変えうるようにしたので、最小の自動搬送車台数で最大の搬送効率がえられるとともに、設備費用が低減し、生産性が向上する。
また自動搬送車の配車を処理装置の処理情報により行なうため、さらに一環した生産を行なうことができる。
以下、添付図面に基づいて本発明の自動搬送車について説明する。
図1は本発明の自動搬送車の一実施例を示す概略図、図2は図1における自動搬送車の動作を示す説明図、図3は本発明の自動搬送車の他の実施例を示す概略図、図4は本発明の自動搬送車のさらに他の実施例を示す概略図、図5は本発明の自動搬送車を配車制御するためのブロック図である。
本発明の自動搬送車は、液晶表示装置の製造工程における、たとえば洗浄、現像、エッチング、剥離などのプロセス処理を行なう処理装置にガラス基板などの被処理物を収納したカセットや該被処理物を収納していない空のカセットを搬送するものである。
図1に示すように、自動搬送車1は、その上面にカセットを保持する2個のカセット収容部2a、2bが並設されているが、本発明においては、カセット収容部は2個に限定されるものではなく、3個以上とすることもできる。またカセット収容部は上面にのみ設けるものに限定されるものではなく、上下2段に配置することもできる。そして自動搬送車1が処理装置M1まで移動したのち、カセットステージ3に載置されている処理済のカセットKは、自動搬送車1上に設置されているロボットアーム等(図示せず)により、カセット収容部2bに移載されるとともに、カセット収容部2aに保持されている空のカセットK1は、処理装置Mのカセットステージ3に移載される。
つぎに本発明の自動搬送車の動作を説明する。まず図2(a)に示すように、自動搬送車1により処理装置M1のカセットローダ4bにガラス基板を収納したカセットK2をセットするとともに、カセットアンローダ4aに空のカセットK1をセットする。各セットが完了すると、図2(b)に示すようにカセットK2から順次ガラス基板を取り出したのち、所定の処理を行ない、カセットK1に収納する。そして全てのガラス基板の処理が完了すると、処理装置Mのカセットアンローダ4aおよびカセットローダ4bの前方にそれぞれ自動搬送車1a、1bが移動する。該自動搬送車1aは、カセット収容部2bに空のカセットK3が保持されているが、他のカセット収容部2aにはカセットが保持されていない空の状態にされている。一方、自動搬送車1bは、カセット収容部2bに未処理のガラス基板を収納したカセットK4が保持されているが、他のカセット収容部2aにはカセットが保持されていない。ついで図2(b)、(c)に示すように、カセットアンローダ4a上の処理済のカセットK1が自動搬送車1aのカセット収容部2aに移載されるとともにカセットローダ4b上の空のカセットK2が自動搬送車1bのカセット収容部2aに移載される。つぎに図2(d)に示すように、自動搬送車1a、1bは、カセット収容部2bがカセットアンローダ4a側およびカセットローダ4b側に来るように移動される。そののち自動搬送車1aのカセット収容部2bに保持されている空のカセットK3がカセットアンローダ4aへセットされるとともに、自動搬送車1bのカセット収容部2bに保持されている未処理のカセットK4がカセットローダ4bへセットされる。そして図2(b)に示したように、引きつづき、カセットK4(K2)から順次ガラス基板が処理されたのち、空のカセットK3(K1)に収納されると、他の自動搬送車が移動して来て、カセットの交換を行なう。このように1台の自動搬送車1a、1bで処理装置M1とのあいだに処理済のカセットと空のカセットとの交換および空のカセットと未処理のカセットとの交換が行なわれるため、搬送時間が短縮され、生産性が向上する。
つぎに本発明の自動搬送車の他の実例例を説明する。図3(a)に示される処理装置M2は、カセットローダとカセットアンローダが同一のカセットステージ24で行なわれるものである。この処理装置M2において、カセットK5に収納されるガラス基板の処理が終了すると、自動搬送車21が処理装置M2へ移動する。この自動搬送車21のカセット収容部22aには、処理すべきガラス基板を収納するカセットK6が保持されており、他のカセット収容部22bは、空の状態にされている。そして図3(b)に示すように、カセットステージ24上の処理完了のカセットK5をカセット収容部22bに移載する。ついで図3(c)に示すように、自動搬送車21を前進したのち、カセット収容部22aに保持されるつぎのカセットK6をカセットステージ24へセットする。
つぎに本発明の自動搬送車のさらに他の実施例を説明する。図4(a)に示すように、自動搬送車31のカセット収容部32a、32bから2個のカセットK7を同時に処理装置M3のカセットステージ34a、34bに移載するばあい、および図4(b)に示すように、処理装置M3のカセットステージ34a、34b上の処理が完了した2個のカセットK8を同時に自動搬送車31のカセット収容部32a、32bに移載するばあい、2個のカセット収容部32a、32bの間隔A1と2個のカセットステージ34a、34bの間隔A2が同一ピッチにされている。また自動搬送車31にカセット収容部の間隔A1を自動的に変更できる可変機構を設けることにより、前記間隔A2が異なる他の処理装置に対しても対応可能となり、作業時間が短縮し、生産性が向上する。前記可変機構としては、カセット収容部の下部に設置されるサーボモータとボールネジ等を用いることができ、カセット収容部の間隔をカセットステージの間隔に自動的に変更する。
つぎに本発明の自動搬送車の配車制御方法について説明する。図5に示すように、自動搬送車41a、41b、41cと処理装置に取り付けられたコントローラ45a、45b、45cは、配車コントローラ44に各通信線46でつながれ、集中管理されている。これにより、各処理装置におけるガラス基板の処理状況(情報)を各コントローラ45a、45b、45cから配車コントローラ44に通信し、該通信に基づいて各処理装置に最も近くて、かつ最適なカセットを保持している自動搬送車を選定し、自動搬送車と処理装置とのあいだの配車を制御している。このように最適配車をコントロールするため、生産性がさらに向上する。
1,1a,1b,21,31 自動搬送車、
2a,2b,22a,22b,32a,32b カセット収容部、
K,K1,K2,K3,K4,K5,K6,K7,K8 カセット。
2a,2b,22a,22b,32a,32b カセット収容部、
K,K1,K2,K3,K4,K5,K6,K7,K8 カセット。
Claims (3)
- 液晶表示装置の製造工程における処理装置に被処理物を収納したカセットと被処理物を収納していない空のカセットを搬送するために、該被処理物を収納したカセットと被処理物を収納していない空のカセットのための複数個のカセット収容部が並設されている自動搬送車であって、前記被処理物を収納したカセットが、前記処理装置のカセットステージから前記複数個のカセット収容部のいずれかに移載されるとともに、前記被処理物を収納していない空のカセットが、他のカセット収容部から前記処理装置のカセットステージに移載されることを特徴とする自動搬送車。
- 液晶表示装置の製造工程における処理装置に被処理物を収納したカセットと被処理物を収納していない空のカセットを搬送するために、該被処理物を収納したカセットと被処理物を収納していない空のカセットのための複数個のカセット収容部が並設されている自動搬送車であって、前記被処理物を収納していない空のカセットが、前記処理装置のカセットステージから前記複数個のカセット収容部のいずれかに移載されるとともに、前記被処理物を収納したカセットが、他のカセット収容部から前記処理装置のカセットステージに移載されることを特徴とする自動搬送車。
- 液晶表示装置の製造工程における処理装置に被処理物を収納したカセットと被処理物を収納していない空のカセットを搬送するために、該被処理物を収納したカセットと被処理物を収納していない空のカセットのための複数個のカセット収容部が並設されている自動搬送車であって、前記処理装置により処理が終了した被処理物を収納したカセットが、前記処理装置のカセットステージから前記複数個のカセット収容部のいずれかに移載された後に、処理すべき被処理物を収納したカセットが、他のカセット収容部から前記処理装置のカセットステージに移載されることを特徴とする自動搬送車。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2004292985A JP2005026720A (ja) | 2004-10-05 | 2004-10-05 | 自動搬送車 |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2004292985A JP2005026720A (ja) | 2004-10-05 | 2004-10-05 | 自動搬送車 |
Related Parent Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP7231225A Division JPH0982773A (ja) | 1995-09-08 | 1995-09-08 | 自動搬送車 |
Publications (1)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JP2005026720A true JP2005026720A (ja) | 2005-01-27 |
Family
ID=34191864
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2004292985A Pending JP2005026720A (ja) | 2004-10-05 | 2004-10-05 | 自動搬送車 |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JP2005026720A (ja) |
-
2004
- 2004-10-05 JP JP2004292985A patent/JP2005026720A/ja active Pending
Similar Documents
Publication | Publication Date | Title |
---|---|---|
KR101547989B1 (ko) | 기판 처리 장치 및 기판 반송 방법 | |
KR101757524B1 (ko) | 기판 반송 방법 및 기판 반송 장치 | |
TWI528487B (zh) | A vacuum processing apparatus and a method of transporting the object to be processed | |
JPH0722490A (ja) | ロット自動編成装置及び方法 | |
CN101722516A (zh) | 搬运系统和自动制造系统 | |
JP5223778B2 (ja) | 基板処理装置、基板処理方法及び記憶媒体 | |
JP2008024457A (ja) | 搬送装置 | |
JPH0278243A (ja) | ウェーハの連続処理装置及び連続処理方法 | |
JP2011091334A (ja) | 基板処理装置 | |
JP5987796B2 (ja) | 基板処理装置、基板処理方法及び記憶媒体 | |
JP2005026720A (ja) | 自動搬送車 | |
JP2002237507A (ja) | 処理システム及び処理システムの被処理体の搬送方法 | |
JP2005317653A (ja) | 分散制御型枚葉搬送システム | |
JP4886669B2 (ja) | 基板処理装置 | |
JPH03244121A (ja) | 縦型半導体製造装置 | |
JP2012086352A (ja) | 特殊工具による工作機械加工方法と工作機械加工システム | |
KR102449001B1 (ko) | 기판 처리 장치 및 기판 처리 방법 | |
JPH0982773A (ja) | 自動搬送車 | |
JP2018046171A (ja) | 搬送条件設定装置、基板処理装置、および搬送条件設定方法 | |
JP4816641B2 (ja) | チップ型電子部品の電極形成システムおよび電極形成方法 | |
JP2000332080A (ja) | 被処理物の製造方法と製造装置 | |
JP2719524B2 (ja) | 半導体製造装置 | |
JPH10107112A (ja) | 半導体製造ラインの計測システム | |
JP2012209591A (ja) | 基板処理装置、基板処理方法及び記憶媒体 | |
JP3124886U (ja) | ハンドリング装置 |
Legal Events
Date | Code | Title | Description |
---|---|---|---|
A131 | Notification of reasons for refusal |
Effective date: 20071106 Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A131 |
|
A711 | Notification of change in applicant |
Effective date: 20071106 Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A711 |
|
A02 | Decision of refusal |
Effective date: 20080408 Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A02 |