JP2008024457A - 搬送装置 - Google Patents

Abstract

【課題】ウェハ等の搬送に費やす時間を短縮することが可能な搬送装置を提供する。
【解決手段】搬送装置110は、一定角度の回転及び停止を繰り返す回転体111と、それぞれウェハ101を保持して搬送する複数の搬送部112とを備え、複数の搬送部112は、回転体111の側面に、外向きに放射状に伸びるよう設けられる。回転体111は、各搬送部112が、搬送装置110の周囲に放射状に配置されたカセット121〜127、オリフラ合わせ装置130、第一検査装置140、第二検査装置150、第三検査装置160と正対する位置で順次停止するように一定角度（30度）の間欠回転を行い、各搬送部112は、回転体111の側面に沿って上下動可能なアーム113に沿って進退（前後動）可能なハンド114によってウェハ101を保持し、回転体111の停止時に、対向するカセット121〜127や、オリフラ合わせ装置130、検査装置140〜160との間でウェハの受け渡しを行う。
【選択図】図１

Description

本発明は、半導体ウェハ等を搬送する搬送装置に関する。

半導体ウェハ（例えば、シリコンウェハ。以下、単にウェハという）の製造メーカーでは、ウェハを製造する際、各工程の間などで適宜、ウェハの検査を行っている。この検査は、各種検査装置を利用して行われているが、複数のウェハを収納したウェハカセットと検査装置との間のウェハの搬送や、複数の検査装置を利用する際の各検査装置間のウェハの搬送には、一般に、搬送ロボットが利用されている。

例えば、特開平１１−１２１５７９号公報には、ロボット機台上を回動可能に配設され屈伸可能なアーム体と、アーム体の先端に連結されたハンドとを有した第一及び第二搬送ロボットを備えた搬送システムが開示されており、当該搬送システムにおいては、第一搬送ロボットが、カセットと２台の表面検査装置とオリフラ合わせ装置との間でウェハを順次搬送し、第二搬送ロボットが、オリフラ合わせ装置から、表面検査の結果に対応した検査済用カセットにウェハを搬送している。

検査に要する時間はできるだけ短い方が望ましいが、検査の際にウェハの搬送に費やされる時間を短縮することができれば、たとえ検査そのものに費やされる時間が変わらなくても、結果として、検査に要する時間を短縮することができることになる。つまり、従来のものに比べて、ウェハの搬送に費やされる時間を短縮することが可能な搬送装置に対するニーズが存在する。
特開平１１−１２１５７９号公報

本発明の目的は、ウェハ等の搬送に費やされる時間を短縮することが可能な搬送装置を提供することにある。

本発明に係る搬送装置は、一定角度の回転及び停止を繰り返す回転体と、搬送対象物（例えば、ウェハ）を保持して搬送する複数の搬送部とを備え、前記複数の搬送部は、前記回転体の側面に、外向きに放射状に伸びるように設けられており、それぞれ、上下動及び前後動が可能であることを特徴とする。

この場合において、前記複数の搬送部は、それぞれ等角をなすように設けられているようにしてもよいし、更に、前記複数の搬送部は、それぞれ前記一定角度をなすように設けられているようにしてもよい。

また、以上の場合において、前記複数の搬送部は、それぞれ、前記回転体の側面に沿って上下動可能なアームと、前記アームに沿って前後動可能なハンドとによって構成されるようにしてもよい。また、前記回転体は、多角筒状の形状を有するようにしてもよい。

本発明に係る検査システムは、前記搬送装置と、前記搬送装置によって搬送される検査対象物を収納する収納部と、前記検査対象物の検査を行う検査部とを備え、前記収納部及び検査部が、前記搬送装置の周囲に放射状に配置され、前記複数の搬送部は、前記回転体が停止している間に、正対する前記収納部又は前記検査部との間で検査対象物の受け渡しを行うことを特徴とする

本発明に係る処理システムは、前記搬送装置と、前記搬送装置によって搬送される搬送対象物を収納する収納部と、前記搬送対象物の処理を行う処理部とを備え、前記収納部及び処理部が、前記搬送装置の周囲に放射状に配置され、前記複数の搬送部は、前記回転体が停止している間に、正対する前記収納部又は前記処理部との間で搬送対象物の受け渡しを行うことを特徴とする。

本発明によれば、ウェハ等の搬送に費やされる時間を短縮することが可能な搬送装置を提供することができる。

以下、本発明の実施の形態について、図面を参照しつつ詳細に説明する。

図１及び図２は、本発明による搬送装置を利用したウェハ検査システムの構成を示す図である。図１は平面図を示し、図２は側面図（一部断面図）を示す。なお、図１に示した丸付き数字は、後述する動作説明で使用するものである。

両図に示すように、ウェハ検査システム１００は、搬送装置１１０と、カセット載置棚１２０と、オリフラ合わせ装置１３０と、第一検査装置１４０と、第二検査装置１５０と、第三検査装置１６０と、パネルコンピュータ１７０と、ファン付きフィルタユニット１８０とを備える。カセット載置棚１２０には、例えば、他の搬送装置（不図示）によって搬送されてくるカセット１２１〜１２７が載置されている。なお、本実施形態では、カセット１２１は空のカセットであり、カセット１２２〜１２７には、複数のウェハが収納されているものとする。

図１に示すように、カセット載置棚１２０に載置されるカセット１２１〜１２７と、オリフラ合わせ装置１３０と、第一検査装置１４０と、第二検査装置１５０と、第三検査装置１６０とは、搬送装置１１０の周囲に放射状に配置されている。また、図２に示すように、ファン付きフィルタユニット１８０は、搬送装置１１０及びカセット載置棚１２０の上方に配置されている。

搬送装置１１０は、本発明が適用されるものであって、カセット載置棚１２０に載置されたカセット１２２〜１２７から、検査対象（搬送対象）のウェハ１０１を取り出し、一方方向（本実施形態では反時計回り）に一定角度（本実施形態では、３６０／１２＝３０度）づつ回転しながら、取り出したウェハ１０１を、オリフラ合わせ装置１３０、第一検査装置１４０、第二検査装置１５０及び第三検査装置１６０の順に搬送していき、検査結果に応じて、元のカセット１２２〜１２７又は不良ウェハ収納用カセット１２１に検査済みのウェハを収納するものである。

搬送装置１１０は、一定角度の回転及び停止を繰り返す回転体１１１と、それぞれウェハ１０１を保持して搬送する複数（本実施形態では１２個）の搬送部１１２とを備える。複数の搬送部１１２は、回転体１１１の側面に、外向きに放射状に伸びるよう設けられており、各搬送部１１２は、等角（本実施形態では、３６０／１２＝３０度）をなすように設けられる。回転体１１１は、各搬送部１１２が、搬送装置１１０の周囲に配置されたカセット１２１〜１２７、オリフラ合わせ装置１３０、第一検査装置１４０、第二検査装置１５０及び第三検査装置１６０と正対する位置で順次停止するように一定角度（本実施形態では、３６０／１２＝３０度）の間欠回転を行う。

また、各搬送部１１２は、回転体１１１の側面に沿って上下動可能なアーム１１３と、当該アーム１１３に沿って進退（前後動）可能なハンド１１４とによって構成されている。なお、図２においては、簡単のため、ひとつの搬送部１１２のみ示している。

各搬送部１１２のハンド１１４は、図１に示すように、先端部分が二股のフォーク状に形成されており、フォーク状部の先端付近２箇所と、股付近１箇所に、先端に孔が形成された突起１１５が設けられており、この３箇所の突起１１５でウェハを支持し、真空吸着することでウェハを確実に保持する。

各搬送部１１２は、ウェハを保持するハンド１１４を進退させることによって、対向するカセット１２１〜１２７や、オリフラ合わせ装置１３０、第一検査装置１４０、第二検査装置１５０及び第三検査装置１６０との間でウェハの受け渡しを行う。図１は、カセット１２４との間でウェハの受け渡しを行うため、カセット１２４に正対する搬送部１１２のハンド１１４を前進させた状態を示している。

カセット載置棚１２０は、複数のウェハを上下方向に間隔を空けて収納可能なカセット１２１〜１２７が載置される棚であって、垂直方向に適当な間隔を空けて配置された３枚の半円弧状平板１２８を備える。半円弧状平板１２８は、カセット１２１〜１２７が載置される部材であって、適宜配置される複数の柱１２９によって支持されている。なお、図２では、簡単のため、一部（同図の左右端）の柱のみ示している。カセット載置棚１２０は、最大で、３段×７箇所＝２１個のカセットを載置することができる。なお、図２は、簡単のため、カセットが載置されていない状態を示している。

本実施形態では、カセット載置棚１２０の一方の端（図１における右端）のカセット載置箇所（カセット３個分）に、ウェハ検査システム１００での検査の結果、不良と判定されたウェハを収納するための空のカセット１２１が載置され、それ以外のカセット載置箇所（カセット１８個分）には、ウェハ検査システム１００によって検査を行うウェハが複数枚（例えば、２５枚）収納されたカセット１２２〜１２７が載置される。なお、ここでは、垂直方向に３段積みにされる３つのカセットは、すべて同じ符号１２１〜１２７を使って参照することとする。

オリフラ合わせ装置１３０は、ウェハのオリエンテーションフラット（オリフラ）又はノッチを所定の位置に合わせる装置である。本実施形態では、オリフラ合わせ装置１３０によって各ウェハの向きを揃えてから、各検査装置１４０，１５０，１６０に搬送して検査を行う。

第一検査装置１４０、第二検査装置１５０及び第三検査装置１６０は、それぞれ、ウェハの各種欠陥（例えば、ウェハ表面の傷）の有無等を検査する装置である。各検査装置１４０，１５０，１６０は、例えば、ＣＣＤカメラ等によってウェハ画像の撮像を行い、撮像されたウェハ画像の画像解析を行うことにより、各種欠陥の有無を検出する。

ウェハ検査システム１００においては、すべての検査装置１４０，１５０，１６０において良品と判定されたウェハについては、当該ウェハを取り出した元のカセットの元の位置に戻され、３台の検査装置１４０，１５０，１６０のいずれか一つでも不良と判定したウェハについては、不良ウェハ収納用に用意されたカセット１２１に収納される。

なお、ウェハ検査システム１００においては、第三検査装置１６０と、カセット１２１の間に、予備ステージが設けられており、必要に応じて、更に追加の検査装置を設けることができる。また、ウェハ検査システム１００においては、オリフラ合わせ装置１３０、第一検査装置１４０、第二検査装置１５０及び第三検査装置１６０は、ウェハを受け取るための受取部（検査テーブル）の高さが、ほぼ同じになるように設置される。このようにすることで、第一検査装置１４０、第二検査装置１５０及び第三検査装置１６０へウェハの渡す際に必要となる搬送部１１２の上下動を少なくすることができる。

パネルコンピュータ１７０は、タッチパネル付き液晶ディスプレイ（入力装置及び表示装置）と、ＣＰＵ（中央処理装置）やメモリ（記憶装置）等をひとつの筐体に収めたコンピュータであって、ウェハ検査システム１００の動作を制御する主制御部を構成するものである。パネルコンピュータ１７０は、制御対象となる他の構成要素、すなわち、搬送装置１１０、オリフラ合わせ装置１３０、第一検査装置１４０、第二検査装置１５０及び第三検査装置１６０と、適当なインタフェース（例えば、シリアルインタフェース）を介して接続されており、制御に必要な情報をやり取りすることができる。なお、搬送装置１１０は、一方方向の回転をし続けることになるので、パネルコンピュータ１７０と搬送装置１１０との間の情報のやり取りには、少なくとも一部において、無線通信（例えば、赤外線通信）が利用される。

ファン付きフィルタユニット１８０は、清浄な空気をダウンフローとして、搬送装置１１０及びカセット載置棚１２０上へ供給するものである。

次に、搬送装置１１０の詳細について説明する。

図３及び図４は、搬送装置１１０の構造を説明するための図であり、図３は平面図を示し、図４は、側面図（断面図）を示す。なお、簡単のため、両図とも、一つのアームのみ示しており、図３では、ハンドについても省略してある。また、図４でも、ハンドの途中部分は省略してある。

前述したように、搬送装置１１０は、回転体１１１と、複数の搬送部１１２とによって構成されているが、両図に示すように、回転体１１１は、多角筒状（本実施形態では、十二角筒状）の形状を有している。すなわち、回転体１１１は、十二角筒の上面を構成する正十二角形状平板（天板）３１０と、側面を構成する１２枚の矩形状平板（側板）３２０と、底面を構成する円板（底板）３３０とによって構成されている。なお、天板３１０の中央部分には、配線等のための孔３１１が形成されている。

また、前述したように、各搬送部１１２は、回転体１１１の側面に沿って上下動可能なアーム１１３と、当該アーム１１３に沿って前後動可能なハンド１１４とによって構成されているが、回転体１１１の外周面を構成する各側板３２０には、アーム１１３の上下動を可能にする部材として、垂直方向（上下方向）に伸びる直進モジュール３２１が固定されている。直進モジュール３２１は、リニアガイド及びボールネジが一体化されたものであり、ボールネジのネジ軸を正逆方向に回転させると、スライダ部３２２（図４参照）が長手方向に沿って前後動（図４における上下動）するものである。図４に示すように、直進モジュール３２１のボールネジのネジ軸には、カップリング３２３を介して、上下動用モータ３２４の出力軸が接続されており、上下動用モータ３２４を正逆方向に回転させることにより、直進モジュール３２１のスライダ部３２２を垂直方向に上下動させることができる。

更に、直進モジュール３２１のスライダ部３２２には、アーム１１３を構成する部材として、図４に示すように、水平方向（図４における左右方向）に伸びるアームベース４０１が固定される。そして、当該アームベース４０１には、ハンド１１４の前後動を可能にする部材として、アームベース４０１に沿って水平方向に伸びるリニアガイド４０２及びボールネジ４０３が設けられている。ボールネジ４０３のネジ軸４０４には、プーリ及びベルト４１１を介して、前後動用モータ４１０の出力軸が接続されており、前後動用モータ４１０を正逆方向に回転させることにより、ボールネジ４０３のナット部４０５に固定されたリニアガイド４０２のスライダ部４０６を水平方向に前後動させることができる。そして、このように前後動可能なリニアガイド４０２のスライダ部４０６には、アームベース４０１と平行に伸びるハンド１１４の後端部がブロック４０７を介して固定されている。なお、ブロック４０７は、ハンド１１４の先端部分でのウェハの真空吸着を実現するために設けられる部材である。

各搬送部１１２は、以上のような構造を有しているので、上下動用モータ３２４の回転方向及び回転量を制御することで、アーム１１３の高さ方向の位置決めが可能となり、前後動用モータ４１０の回転方向及び回転量を制御することで、ハンド１１４の前後方向の位置決めが可能となる。

搬送装置１１０が設置される装置設置ベース４２０上には、輪状リニアガイド３３１が固定されており、当該輪状リニアガイド３３１のスライダ部３３２は、回転体１１１の底板３３０に固定されている。なお、本実施形態では、輪状リニアガイド３３１には、６個のスライダ部３３２が設けられている。更に、回転体１１１の底板３３０には、スライダ部３３２を囲うように、中央部分に輪状リニアガイド３３１を収容可能な孔が設けられたリング状ギア３３３が固定されており、当該リング状ギア３３３の外周に形成された歯は、装置設置ベース４２０に固定された回転用モータ４３０の出力軸に装着されたローラピニオン４３１のローラと噛み合っている。ローラピニオン４３１とリング状ギア３３３は、回転用モータ４３０の動力を回転体１１１に伝達するための部材であり、これらの代わりに通常の歯車を利用することもできる。回転用モータ４３０を回転させると、ローラピニオン４３１及びリング状ギア３３３を介して、回転体１１１が回転駆動され、輪状リニアガイド３３１のレールに沿ってスライダ部３３２が移動することで、回転体１１１がなめらかに回転する。回転用モータ４３０を適宜制御して、回転用モータ４３０を一定角度づつ回転させることで、回転体１１１（搬送部１１２）の回転方向の位置決めが可能となる。

また、各搬送部１１２は、それぞれ、上下動用モータ３２４及び前後動用モータ４１０を制御するため、搬送制御部（不図示）を備える。当該搬送制御部は、パネルコンピュータ１７０からの指示に従って、上下動用モータ３２４及び前後動用モータ４１０を制御するものであって、例えば、プログラマブルコントローラによって構成される。各搬送部１１２毎に設けられる搬送制御部は、例えば、バス接続可能なＲＳ−４８５シリアルインタフェースを介して、回転体１１１の底板３３０上に設けられる搬送装置側赤外線通信ユニットと接続される。当該搬送装置側赤外線通信ユニットと赤外線通信を行うパネルコンピュータ側赤外線通信ユニットは、例えば、底板３３０の中心部に設けられる孔を挟んで搬送装置側赤外線通信ユニットと対向する位置に設置され、パネルコンピュータ１７０と、例えば、ＲＳ−２３２シリアルインタフェースを介して接続される。

なお、搬送装置１１０に搭載される上下動用モータ３２４及び前後動用モータ４１０や搬送制御部等への電源供給は、例えば、回転体１１１の底部に装着されるスリップリング（不図示）を介して行われる。

次に以上のような構成を有するウェハ検査システム１００の動作について説明する。

図５は、ウェハ検査システム１００の動作を制御するため、パネルコンピュータ１７０が実行する処理の流れを示すフローチャートである。

同図に示すように、パネルコンピュータ１７０は、オペレータから動作開始を指示されると、まず、ウェハ検査システム１００の初期化処理を行う（Ｓ５０１）。当該初期化処理において、パネルコンピュータ１７０は、ウェハ検査システム１００の制御を行うためにパネルコンピュータ１７０が管理する情報の初期化を行う。

図６は、パネルコンピュータ１７０がウェハ検査システム１００の制御を行うために管理する情報を示す図である。

同図に示すように、パネルコンピュータ１７０が管理する情報としては、状態テーブル６１０、ローディング位置情報６２０及び不良ウェハアンローディング位置情報６３０がある。同図に示した情報は、例えば、パネルコンピュータ１７０が備える記憶装置に保持される。

状態テーブル６１０は、各搬送部１１２毎に、現在位置や、現在搬送しているウェハに関する情報を管理するためのテーブルであり、同図に示すように、「搬送部番号」フィールド６１１と、「現在位置」フィールド６１２と、「ウェハ位置」フィールド６１３と、「第一検査結果」フィールド６１４と、「第二検査結果」フィールド６１５と、「第三検査結果」フィールド６１６とを備える。

「搬送部番号」フィールド６１１には、各搬送部１１２を識別するための情報（搬送部番号）が格納される。ここでは、図１において、各搬送部１１２の後端部付近に付された丸付き数字で表される番号を各搬送部１１２の搬送部番号とする。

「現在位置」フィールド６１２には、各搬送部１１２の現在位置を示す情報（位置番号）が格納される。ここでは、図１において、各搬送部１１２の先端部付近に付された丸付き数字で表される番号を、各搬送部１１２の位置を示す位置番号とする。すなわち、図１に示した状態では、搬送部番号「１」の搬送部１１２は、位置番号「１」の位置にあり、搬送部番号「２」の搬送部１１２は、位置番号「１２」の位置にあり、搬送部番号「３」の搬送部１１２は、位置番号「１１」の位置にあり、搬送部番号「４」の搬送部１１２は、位置番号「１０」の位置にあり、搬送部番号「５」の搬送部１１２は、位置番号「９」の位置にあり、搬送部番号「６」の搬送部１１２は、位置番号「８」の位置にあり、搬送部番号「７」の搬送部１１２は、位置番号「７」の位置にあり、搬送部番号「８」の搬送部１１２は、位置番号「６」の位置にあり、搬送部番号「９」の搬送部１１２は、位置番号「５」の位置にあり、搬送部番号「１０」の搬送部１１２は、位置番号「４」の位置にあり、搬送部番号「１１」の搬送部１１２は、位置番号「３」の位置にあり、搬送部番号「１２」の搬送部１１２は、位置番号「２」の位置にあることになる。

「ウェハ位置」フィールド６１３には、各搬送部１１２が現在保持して搬送しているウェハを取り出したカセットの位置及びカセット内の位置を示す情報が格納される。カセット位置を識別する情報としては、「現在位置」フィールド６１２と同じ位置番号が利用される。すなわち、カセット１２１は、位置番号「１２」の位置にあり、カセット１２２は、位置番号「１」の位置にあり、カセット１２３は、位置番号「２」の位置にあり、カセット１２４は、位置番号「３」の位置にあり、カセット１２５は、位置番号「４」の位置にあり、カセット１２６は、位置番号「５」の位置にあり、カセット１２７は、位置番号「６」の位置にあることになる。また、カセット内の位置を示す情報としては、垂直方向に３段積みにされる３つのカセットのウェハ収納箇所全体に対して上から順番に通し番号を付して、当該番号を、カセット内位置を示すカセット内位置番号として利用する。例えば、１個のカセットに２５の収納箇所があるとすると、一番上の段の棚に載置されるカセットの一番上の収納箇所のカセット内位置番号を「１」とし、当該カセットの一番下の収納箇所のカセット内位置番号を「２５」とし、真ん中の段の棚に載置されるカセットの一番上の収納箇所のカセット内位置番号を「２６」とし、当該カセットの一番下の収納箇所のカセット内位置番号を「５０」とし、一番下の段の棚に載置されるカセットの一番上の収納箇所のカセット内位置番号を「５１」とし、当該カセットの一番下の収納箇所のカセット内位置番号を「７５」とする。

「第一検査結果」フィールド６１４には、各搬送部１１２が保持・搬送しているウェハについての第一検査装置１４０での検査結果を示す情報（例えば、「ＯＫ」又は「ＮＧ」）が格納される。同様に、「第二検査結果」フィールド６１５には、各搬送部１１２が保持・搬送しているウェハについての第二検査装置１５０での検査結果を示す情報（例えば、「ＯＫ」又は「ＮＧ」）が格納され、「第三検査結果」フィールド６１６には、各搬送部１１２が保持・搬送しているウェハについての第三検査装置１６０での検査結果を示す情報（例えば、「ＯＫ」又は「ＮＧ」）が格納される。

また、ローディング位置情報６２０は、搬送部１１２にローディングすべきウェハが収納されているカセットの位置及びカセット内位置（ローディング位置）を示す情報である。本実施形態では、ウェハが収納されたカセット１２２〜１２７のうちの一番右側（搬送方向の上流側）の一番上の段のカセット１２２から、順次、ウェハを取り出していき、ひとつのカセットからのローディングが終了すると、下の段のカセットに移動していき、一番下の段のカセットからのローディングが終了すると、左隣に移動して、また、一番上の段のカセット１２３から順にローディングしていく。そして、最大で、一番左側（搬送方向の下流側）の一番下の段に載置されたカセット１２７まで、順次、ウェハのローディングを継続する。

また、不良ウェハアンローディング位置情報６３０は、検査の結果、不良と判定されたウェハを収納すべきカセットの位置及びカセット内位置（アンローディング位置）を示す情報である。本実施形態では、位置番号「１２」の位置にある３個のカセット１２１に対して、上から順番に、不良と判定されたウェハを収納していく。

図５に示すように、上述したようなテーブル等の初期化が終了すると、次に、パネルコンピュータ１７０は、各搬送部１１２（搬送部番号ｉ＝１〜１２）について、現在の位置を判別し、現在の位置に応じた処理を指示する（Ｓ５０２）。当該処理の詳細については後述する。

各搬送部１１２において、現在の位置に応じた処理が終了すると、パネルコンピュータ１７０は、すべてのウェハについて検査を終了したか否かを判別する（Ｓ５０３）。当該判別は、例えば、検査済ウェハをカセットに戻すアンローディング処理又は不良ウェハアンローディング処理（後述）を終了するたびに、検査済ウェハ数を示す変数Ｎ（初期値０）をカウントアップしておき、当該変数Ｎが、予め決められた枚数又はオペレータによって指示された枚数に達しているか否かを判別することで行われる。

判別の結果、まだ、すべてのウェハについて検査を終了していない場合は（Ｓ５０３：Ｎｏ）、各搬送部１１２を隣の位置に移動させるため、回転体１１１の回転処理を行う（Ｓ５０４）。すなわち、パネルコンピュータ１７０は、回転用モータ４３０を適宜制御して、回転体１１１を一回転単位（本実施形態では、３０度）回転させる。そして、回転後の状態にあわせて、状態テーブル６１０の現在位置フィールド６１２に格納されている値を更新する。例えば、図１に示した状態において、回転体１１１を３０度回転させると、搬送部番号「１」の搬送部１１２の現在位置フィールド６１２は「２」に、搬送部番号「２」の搬送部１１２の現在位置フィールド６１２は「１」に、搬送部番号「３」の搬送部１１２の現在位置フィールド６１２は「１２」に、搬送部番号「４」の搬送部１１２の現在位置フィールド６１２は「１１」に、搬送部番号「５」の搬送部１１２の現在位置フィールド６１２は「１０」に、搬送部番号「６」の搬送部１１２の現在位置フィールド６１２は「９」に、搬送部番号「７」の搬送部１１２の現在位置フィールド６１２は「８」に、搬送部番号「８」の搬送部１１２の現在位置フィールド６１２は「７」に、搬送部番号「９」の搬送部１１２の現在位置フィールド６１２は「６」に、搬送部番号「１０」の搬送部１１２の現在位置フィールド６１２は「５」に、搬送部番号「１１」の搬送部１１２の現在位置フィールド６１２は「４」に、搬送部番号「１２」の搬送部１１２の現在位置フィールド６１２は「３」に更新される。

以上のようにして回転処理が終了すると、回転後の位置において、各搬送部１１２について、現在の位置を判別し、現在の位置に応じた処理を指示するため、前述したＳ５０２の処理に戻る。そして、以後、すべてのウェハについて検査を終了するまで、前述したＳ５０２〜Ｓ５０４の処理を繰り返す。

そして、最終的にすべてのウェハについて検査を終了すると（Ｓ５０３：Ｙｅｓ）、パネルコンピュータ１７０は処理を終了する。

次に、パネルコンピュータ１７０が、各搬送部１１２（搬送部番号ｉ＝１〜１２）について、現在の位置を判別し、現在の位置に応じた処理を指示する処理Ｓ５０２の詳細について説明する。

図７及び図８は、パネルコンピュータ１７０が、各搬送部１１２について、現在の位置を判別し、現在の位置に応じた処理を指示する処理の流れを示すフローチャートである。なお、ここでは、簡単のため、ひとつの搬送部１１２（搬送部番号ｉ）に対する処理について説明する。

図７に示すように、パネルコンピュータ１７０は、まず、搬送部番号ｉの搬送部１１２が、現在、アンローディング位置にあるか否かを判別する（Ｓ７０１）。当該判別は、搬送部番号ｉの搬送部１１２の現在位置を示す位置番号（以下、「現在位置番号」という）を状態テーブル６１０の現在位置フィールド６１２から取得し、更に、搬送部番号ｉの搬送部１１２が現在搬送しているウェハを取り出したカセットの位置（すなわち、現在搬送しているウェハを戻すべきカセットの位置）を示す位置番号を、状態テーブル６１０のウェハ位置フィールド６１３から取得し、両者を比較することによって行う。

判別の結果、両者が一致した場合、すなわち、現在、アンローディング位置にあった場合は（Ｓ７０１：Ｙｅｓ）、アンローディング処理を行う（Ｓ７０２）。すなわち、パネルコンピュータ１７０は、搬送部番号ｉの搬送部１１２（搬送制御部）に対して、現在保持しているウェハを、現在正対しているカセットへアンローディングして元の位置に戻すよう指示する。なお、動作開始当初は、各搬送部１１２はウェハを保持・搬送していないことになるが、状態テーブル６１０のウェハ位置フィールド６１３には、状態テーブル６１０の初期化時に、ウェハ位置情報としては取り得ない値（例えば、（カセット位置，カセット内位置＝（０，０））が格納されるので、動作開始当初のウェハを保持・搬送していない状態で、アンローディング位置にあると判別されることはないことになる。

パネルコンピュータ１７０から指示を受けた搬送部１１２（搬送制御部）は、まず、パネルコンピュータ１７０から指示される収納箇所情報（高さ情報）に基づいて、上下動用モータ３２４を制御して、アーム１１３の高さの位置決めを行い、次に、前後動用モータ４１０を制御して、ハンド１１４を所定量前進させて、保持しているウェハを目的のカセット内に搬送していき、所定の位置に達すると、真空吸着を解除し、上下動用モータ３２４を制御して、アーム１１３を少しだけ下降させる。その結果、ウェハが目的のカセット内の目的の収納箇所に収納されることとなるので、最後に、前後動用モータ４１０を制御して、ハンド１１４を所定量後退させる。以上のようにして、保持していたウェハのアンローディング処理を終了すると、搬送部１１２は、指示された処理を終了したことを、パネルコンピュータ１７０に通知する。

以上のようにしてアンローディング処理が終了するか、又は、アンローディング位置ではなかった場合（Ｓ７０１：Ｎｏ）、次に、パネルコンピュータ１７０は、搬送部番号ｉの搬送部１１２が、現在、ローディング位置にあるか否かを判別する（Ｓ７０３）。当該判別は、前記取得した現在位置番号を、ローディング位置情報６２０のカセット位置情報（位置番号）と比較することによって行う。

判別の結果、両者が一致した場合、すなわち、現在、ローディング位置にあった場合は（Ｓ７０３：Ｙｅｓ）、ローディング処理を行う（Ｓ７０４）。すなわち、パネルコンピュータ１７０は、搬送部番号ｉの搬送部１１２（搬送制御部）に対して、現在正対しているカセットから、ウェハのローディングを行うよう指示する。

当該指示を受けた搬送部１１２（搬送制御部）は、まず、パネルコンピュータ１７０から指示される収納箇所情報（高さ情報）に基づいて、上下動用モータ３２４を制御して、アーム１１３の高さの位置決めを行い、次に、前後動用モータ４１０を制御して、ハンド１１４を所定量前進させて、目的のカセット内に差し込んでいき、所定の位置に達すると、上下動用モータ３２４を制御して、アーム１１３を少しだけ上昇させて、ハンド１１４によってウェハを持ち上げる。そして、真空吸着を開始して、ウェハを確実に保持する。その後、前後動用モータ４１０を制御して、ハンド１１４を所定量後退させる。以上のようにして、ウェハのローディング処理を終了すると、搬送部１１２は、指示された処理を終了したことを、パネルコンピュータ１７０に通知する。

搬送部番号ｉの搬送部１１２からローディング処理が終了した旨の通知を受けると、パネルコンピュータ１７０は、当該搬送部１１２に対応するウェハ位置フィールド６１３に、ローディングしたウェハのカセット位置及びカセット内位置を示す情報を格納し、更に、次にローディングすべきウェハを指し示すように、ローディング位置情報６２０を更新して、処理を終了する。

一方、ローディング位置ではなかった場合は（Ｓ７０３：Ｎｏ）、次に、パネルコンピュータ１７０は、搬送部番号ｉの搬送部１１２が、現在、オリフラ合わせ位置（オリフラ合わせ装置１３０と正対する位置）にあるか否かを判別する（Ｓ７０５）。当該判別は、前記取得した現在位置番号を、オリフラ合わせ位置を示す位置番号（本実施形態では「７」）と比較することによって行う。

判別の結果、両者が一致した場合、すなわち、現在、オリフラ合わせ位置にあった場合は（Ｓ７０５：Ｙｅｓ）、オリフラ合わせ処理を行う（Ｓ７０６）。すなわち、パネルコンピュータ１７０は、まず、搬送部番号ｉの搬送部１１２（搬送制御部）に対して、現在保持しているウェハを、現在正対しているオリフラ合わせ装置１３０に渡すよう指示する。なお、搬送部番号ｉの搬送部１１２がウェハを保持していない場合は、オリフラ合わせ処理を行うことなく、処理を終了する。搬送部番号ｉの搬送部１１２が現在、ウェハを保持しているか否かの判別は、例えば、状態テーブル６１０のウェハ位置フィールド６１３に、ウェハ位置として有効な値が格納されているか否かを判別することで行われる。

パネルコンピュータ１７０から指示を受けた搬送部１１２（搬送制御部）は、前述したアンローディング処理の場合と同様に、上下動用モータ３２４及び前後動用モータ４１０を制御して、現在保持しているウェハをオリフラ合わせ装置１３０に渡した後、指示された処理を終了したことをパネルコンピュータ１７０に通知する。

当該通知を受けたパネルコンピュータ１７０は、オリフラ合わせ装置１３０に対して、搬送部１１２から渡されたウェハのオリフラ合わせを行うよう指示する。オリフラ合わせ装置１３０は、当該指示に従って、ウェハのオリフラ合わせを行う。

オリフラ合わせ装置１３０によるオリフラ合わせが終了すると、パネルコンピュータ１７０は、搬送部番号ｉの搬送部１１２（搬送制御部）に対して、現在正対しているオリフラ合わせ装置１３０から、オリフラ合わせ済みのウェハを受け取るよう指示する。

当該指示を受けた搬送部１１２（搬送制御部）は、前述したローディング処理の場合と同様に、上下動用モータ３２４及び前後動用モータ４１０を制御して、オリフラ合わせ装置１３０からオリフラ合わせ済みのウェハを受け取った後、処理を終了したことをパネルコンピュータ１７０に通知する。当該通知を受けたパネルコンピュータ１７０は、処理を終了する。

一方、オリフラ合わせ位置ではなかった場合は（Ｓ７０５：Ｎｏ）、次に、パネルコンピュータ１７０は、搬送部番号ｉの搬送部１１２が、現在、第一検査位置（第一検査装置１４０と正対する位置）にあるか否かを判別する（Ｓ７０７）。当該判別は、前記取得した現在位置番号を、第一検査位置を示す位置番号（本実施形態では「８」）と比較することによって行う。

判別の結果、両者が一致した場合、すなわち、現在、第一検査位置にあった場合は（Ｓ７０７：Ｙｅｓ）、第一検査処理を行う（Ｓ７０８）。すなわち、パネルコンピュータ１７０は、まず、搬送部番号ｉの搬送部１１２（搬送制御部）に対して、現在保持しているウェハを、現在正対している第一検査装置１４０に渡すよう指示する。なお、前述したオリフラ合わせ処理の場合と同様に、搬送部番号ｉの搬送部１１２がウェハを保持していない場合は、第一検査処理を行うことなく、処理を終了する。

パネルコンピュータ１７０から指示を受けた搬送部１１２（搬送制御部）は、前述したアンローディング処理の場合と同様に、上下動用モータ３２４及び前後動用モータ４１０を制御して、現在保持しているウェハを第一検査装置１４０に渡した後、指示された処理を終了したことをパネルコンピュータ１７０に通知する。

当該通知を受けたパネルコンピュータ１７０は、第一検査装置１４０に対して、搬送部１１２から渡されたウェハの検査を行うよう指示する。第一検査装置１４０は、当該指示に従って、ウェハの検査を行い、検査が終了すると、検査結果をパネルコンピュータ１７０に通知する。なお、検査のために取得された情報（例えば、撮像された画像）の解析等に時間がかかる場合は、検査のために必要な情報が取得できた時点で、ウェハが必要なくなったこと（すなわち、ウェハが取り出し可能になったこと）を通知するようにしてもよい。

第一検査装置１４０から検査結果（又は、ウェハが取り出し可能になったこと）が通知されると、パネルコンピュータ１７０は、搬送部番号ｉの搬送部１１２（搬送制御部）に対して、現在正対している第一検査装置１４０から、検査済みのウェハを受け取るよう指示する。

当該指示を受けた搬送部１１２（搬送制御部）は、前述したローディング処理の場合と同様に、上下動用モータ３２４及び前後動用モータ４１０を制御して、第一検査装置１４０から検査済みのウェハを受け取った後、指示された処理を終了したことをパネルコンピュータ１７０に通知する。

当該通知を受けたパネルコンピュータ１７０は、当該搬送部１１２に対応する第一検査結果フィールド６１４に、第一検査装置１４０から通知された検査結果を示す情報を格納し、処理を終了する。

一方、第一検査位置ではなかった場合は（Ｓ７０７：Ｎｏ）、次に、パネルコンピュータ１７０は、図８に示すように、搬送部番号ｉの搬送部１１２が、現在、第二検査位置（第二検査装置１５０と正対する位置）にあるか否かを判別する（Ｓ７０９）。当該判別は、前記取得した現在位置番号を、第二検査位置を示す位置番号（本実施形態では「９」）と比較することによって行う。

判別の結果、両者が一致した場合、すなわち、現在、第二検査位置にあった場合は（Ｓ７０９：Ｙｅｓ）、第二検査処理を行う（Ｓ７１０）。すなわち、パネルコンピュータ１７０は、まず、搬送部番号ｉの搬送部１１２（搬送制御部）に対して、現在保持しているウェハを、現在正対している第二検査装置１５０に渡すよう指示する。なお、前述したオリフラ合わせ処理等の場合と同様に、搬送部番号ｉの搬送部１１２がウェハを保持していない場合は、第二検査処理を行うことなく、処理を終了する。

パネルコンピュータ１７０から指示を受けた搬送部１１２（搬送制御部）は、前述したアンローディング処理の場合と同様に、上下動用モータ３２４及び前後動用モータ４１０を制御して、現在保持しているウェハを第二検査装置１５０に渡した後、指示された処理を終了したことをパネルコンピュータ１７０に通知する。

当該通知を受けたパネルコンピュータ１７０は、第二検査装置１５０に対して、搬送部１１２から渡されたウェハの検査を行うよう指示する。第二検査装置１５０は、当該指示に従って、ウェハの検査を行い、検査が終了すると、検査結果をパネルコンピュータ１７０に通知する。なお、前述した第一検査装置１４０の場合と同様に、検査のために必要な情報が取得できた時点で、ウェハが取り出し可能になったことを通知するようにしてもよい。

第二検査装置１５０から検査結果（又は、ウェハが取り出し可能になったこと）が通知されると、パネルコンピュータ１７０は、搬送部番号ｉの搬送部１１２（搬送制御部）に対して、現在正対している第二検査装置１５０から、検査済みのウェハを受け取るよう指示する。

当該指示を受けた搬送部１１２（搬送制御部）は、前述したローディング処理の場合と同様に、上下動用モータ３２４及び前後動用モータ４１０を適宜制御して、第二検査装置１５０から検査済みのウェハを受け取った後、指示された処理を終了したことをパネルコンピュータ１７０に通知する。

当該通知を受けたパネルコンピュータ１７０は、当該搬送部１１２に対応する第二検査結果フィールド６１５に、第二検査装置１５０から通知された検査結果を示す情報を格納し、処理を終了する。

一方、第二検査位置ではなかった場合は（Ｓ７０９：Ｎｏ）、次に、パネルコンピュータ１７０は、搬送部番号ｉの搬送部１１２が、現在、第三検査位置（第三検査装置１６０と正対する位置）にあるか否かを判別する（Ｓ７１１）。当該判別は、前記取得した現在位置番号を、第三検査位置を示す位置番号（本実施形態では「１０」）と比較することによって行う。

判別の結果、両者が一致した場合、すなわち、現在、第三検査位置にあった場合は（Ｓ７１１：Ｙｅｓ）、第三検査処理を行う（Ｓ７１２）。すなわち、パネルコンピュータ１７０は、まず、搬送部番号ｉの搬送部１１２（搬送制御部）に対して、現在保持しているウェハを、現在正対している第三検査装置１６０に渡すよう指示する。なお、前述したオリフラ合わせ処理等の場合と同様に、搬送部番号ｉの搬送部１１２がウェハを保持していない場合は、第三検査処理を行うことなく、処理を終了する。

パネルコンピュータ１７０から指示を受けた搬送部１１２（搬送制御部）は、前述したアンローディング処理の場合と同様に、上下動用モータ３２４及び前後動用モータ４１０を適宜制御して、現在保持しているウェハを第三検査装置１６０に渡した後、指示された処理を終了したことをパネルコンピュータ１７０に通知する。

当該通知を受けたパネルコンピュータ１７０は、第三検査装置１６０に対して、搬送部１１２から渡されたウェハの検査を行うよう指示する。第三検査装置１６０は、当該指示に従って、ウェハの検査を行い、検査が終了すると、検査結果をパネルコンピュータ１７０に通知する。なお、前述した第一検査装置１４０等の場合と同様に、検査のために必要な情報が取得できた時点で、ウェハが取り出し可能になったことを通知するようにしてもよい。

第三検査装置１６０から検査結果（又は、ウェハが取り出し可能になったこと）が通知されると、パネルコンピュータ１７０は、搬送部番号ｉの搬送部１１２（搬送制御部）に対して、現在正対している第三検査装置１６０から、検査済みのウェハを受け取るよう指示する。

当該指示を受けた搬送部１１２（搬送制御部）は、前述したローディング処理の場合と同様に、上下動用モータ３２４及び前後動用モータ４１０を適宜制御して、第三検査装置１６０から検査済みのウェハを受け取った後、指示された処理を終了したことをパネルコンピュータ１７０に通知する。

当該通知を受けたパネルコンピュータ１７０は、当該搬送部１１２に対応する第三検査結果フィールド６１６に、第三検査装置１６０から通知された検査結果を示す情報を格納し、処理を終了する。

一方、第三検査位置ではなかった場合は（Ｓ７１１：Ｎｏ）、次に、パネルコンピュータ１７０は、搬送部番号ｉの搬送部１１２が、現在、不良ウェハアンローディング位置にあるか否かを判別する（Ｓ７１３）。当該判別は、前記取得した現在位置番号を、不良ウェハアンローディング位置情報６３０のカセット位置情報（本実施形態では位置番号「１２」）と比較することによって行う。

判別の結果、現在、不良ウェハアンローディング位置になかった場合は（Ｓ７１３：Ｎｏ）、そのまま処理を終了する。一方、現在、不良ウェハアンローディング位置にあった場合は（Ｓ７１３：Ｙｅｓ）、次に、搬送部番号ｉの搬送部１１２が現在搬送しているウェハが不良ウェハであるか否かを判別する（Ｓ７１４）。すなわち、搬送部番号ｉの搬送部１１２が現在搬送しているウェハの全検査結果を状態テーブル６１０の検査結果フィールド６１４〜６１６から取得し、いずれかひとつの検査結果でも不良（ＮＧ）を示していた場合は、現在搬送しているウェハは不良ウェハであると判別し、すべての検査結果が良品（ＯＫ）を示していた場合は、不良ウェハではないと判別する。

当該判別の結果、現在搬送しているウェハが不良ウェハでなかった場合は（Ｓ７１４：Ｎｏ）、そのまま処理を終了する。また、搬送部番号ｉの搬送部１１２がウェハを搬送していない場合も、そのまま処理を終了する。なお、状態テーブル６１０の初期化時に、検査結果フィールド６１４〜６１６に、良品であることを示す情報（ＯＫ）を格納するようにしておけば、ここで、搬送部番号ｉの搬送部１１２がウェハを搬送しているか否かを判別をする必要はないことになる。

一方、現在搬送しているウェハが不良ウェハであった場合は（Ｓ７１４：Ｙｅｓ）、不良ウェハアンローディング処理を行う（Ｓ７１５）。すなわち、パネルコンピュータ１７０は、搬送部番号ｉの搬送部１１２（搬送制御部）に対して、現在保持しているウェハを、現在正対しているカセット１２１にアンローディングして、不良ウェハアンローディング位置情報６３０のカセット内位置情報が示す収納箇所に収納するよう指示する。

当該指示を受けた搬送部１１２（搬送制御部）は、前述したアンローディング処理の場合と同様に、上下動用モータ３２４及び前後動用モータ４１０を制御して、現在保持しているウェハを、カセット１２１の目的の収納箇所に収納した後、指示された処理を終了したことを、パネルコンピュータ１７０に通知する。

搬送部番号ｉの搬送部１１２から不良ウェハアンローディング処理を終了した旨の通知を受けると、パネルコンピュータ１７０は、当該搬送部１１２に対応するウェハ位置フィールド６１３に、ウェハ位置情報としては取り得ない値（例えば、（カセット位置，カセット内位置＝（０，０））を格納し、更に、次の収納箇所を指し示すように、不良ウェハアンローディング位置情報６３０を更新して、処理を終了する。

以上のような処理を行うことにより、パネルコンピュータ１７０は、搬送部番号ｉの搬送部１１２（及び当該搬送部１１２に正対する装置１３０〜１６０）に対して、現在の位置に応じた処理を指示することができる。なお、ここでは、ひとつの搬送部１１２（搬送部番号ｉ）に対する処理について説明したが、上述した処理は、すべての搬送部１１２（搬送部番号ｉ＝１〜１２）について平行に実行されて、各搬送部１１２は実質的に同時に必要な動作をすることになる。

次に、ウェハ検査システム１００における搬送装置１１０の動作について具体的に説明する。なお、以下では、図１に示したような位置関係から動作を開始した場合について説明する。

まず、オペレータによってウェハ検査システム１００の動作開始が指示されると、所定の初期化処理が行われた後、各搬送部１１２が、現在位置に応じた処理を開始する。すなわち、図１に示した位置関係においては、搬送部番号「１」の搬送部１１２は、ローディング位置にあることになるので、カセット１２２の一番上の収納箇所に収納されているウェハの取り出し（ローディング処理）を行う。一方、搬送部番号「７」の搬送部１１２は、オリフラ合わせ位置にあることになるが、現時点ではウェハを保持していないため、特に動作は行わない。同様に、搬送部番号「６」の搬送部１１２は、第一検査位置にあり、搬送部番号「５」の搬送部１１２は、第二検査位置にあり、搬送部番号「４」の搬送部１１２は、第三検査位置にあることになるが、いずれの搬送部１１２も現時点ではウェハを保持していないため、特に動作は行わない。また、搬送部番号「２」の搬送部１１２は、不良ウェハアンローディング位置にあることになるが、現時点ではウェハを保持してないため、特に動作は行わない。また、上述した特定の位置にない搬送部１１２、すなわち、搬送部番号「３」、「８」〜「１２」の搬送部１１２についても、特に動作は行わない。

各搬送部１１２が現在位置に応じた処理を完了すると、搬送装置１１０（回転体１１１）が一回転単位回転する。そして、各搬送部１１２が、新たな現在位置に応じた処理を行う。すなわち、現時点で、搬送部番号「２」の搬送部１１２は、ローディング位置にあることになるので（図９参照）、カセット１２２の上から２番目の収納箇所に収納されているウェハの取り出し（ローディング処理）を行う。一方、搬送部番号「８」の搬送部１１２は、オリフラ合わせ位置にあり、搬送部番号「７」の搬送部１１２は、第一検査位置にあり、搬送部番号「６」の搬送部１１２は、第二検査位置にあり、搬送部番号「５」の搬送部１１２は、第三検査位置にあり、搬送部番号「３」の搬送部１１２は、不良ウェハアンローディング位置にあることになるが、いずれの搬送部１１２も現時点ではウェハを保持していないため、特に動作は行わない。また、上述した特定の位置にない搬送部１１２、すなわち、搬送部番号「１」、「４」、「９」〜「１２」の搬送部１１２についても、特に動作は行わない。図９は、搬送部番号「２」の搬送部１１２がローディング処理を終了した時点での状態を示す図である。なお、同図において、ウェハ１０１の中心部に付された丸付き数字は、カセットから取り出された順番を示している。

その後、同様にして、搬送装置１１０の回転及びカセット１２２から搬送部１１２へのウェハのローディングが順次行われる。そして、搬送部番号「１」の搬送部１１２が、オリフラ合わせ位置に達すると（図１０参照）、搬送部番号「１」の搬送部１１２は、オリフラ合わせ装置１３０との間でウェハの受け渡しを行う。また、この時、搬送部番号「７」の搬送部１１２は、ローディング位置にあることになるので、カセット１２２の上から７番目の収納箇所に収納されているウェハの取り出し（ローディング処理）を行う。一方、搬送部番号「１２」の搬送部１１２は、第一検査位置にあり、搬送部番号「１１」の搬送部１１２は、第二検査位置にあり、搬送部番号「１０」の搬送部１１２は、第三検査位置にあり、搬送部番号「８」の搬送部１１２は、不良ウェハアンローディング位置にあることになるが、いずれの搬送部１１２も現時点ではウェハを保持していないため、特に動作は行わない。また、上述した特定の位置にない搬送部１１２、すなわち、搬送部番号「２」〜「６」及び「９」の搬送部１１２についても、特に動作は行わない。図１０は、搬送部番号「１」の搬送部１１２が、オリフラ合わせ位置に達した場合において、各搬送部１１２の処理がすべて終了した時点での状態を示す図である。

同図に示した状態から搬送装置１１０が一回転単位回転すると、搬送部番号「１」の搬送部１１２は、第一検査位置に達するので（図１１参照）、第一検査装置１４０との間でウェハの受け渡しを行う。また、この時、搬送部番号「２」の搬送部１１２は、オリフラ合わせ位置にあることになるので、オリフラ合わせ装置１３０との間でウェハの受け渡しを行い、搬送部番号「８」の搬送部１１２は、ローディング位置にあることになるので、カセット１２２の上から８番目の収納箇所に収納されているウェハの取り出し（ローディング処理）を行う。一方、搬送部番号「１２」の搬送部１１２は、第二検査位置にあり、搬送部番号「１１」の搬送部１１２は、第三検査位置にあり、搬送部番号「９」の搬送部１１２は、不良ウェハアンローディング位置にあることになるが、いずれの搬送部１１２も現時点ではウェハを保持していないため、特に動作は行わない。また、上述した特定の位置にない搬送部１１２、すなわち、搬送部番号「３」〜「７」及び「１０」の搬送部１１２についても、特に動作は行わない。図１１は、搬送部番号「１」の搬送部１１２が、第一検査位置に達した場合において、各搬送部１１２の処理がすべて終了した時点での状態を示す図である。

その後、同様にして、搬送装置１１０の回転並びにカセット１２２から搬送部１１２へのウェハのローディング及び搬送部１１２とオリフラ合わせ装置１３０や検査装置１４０〜１６０との間でのウェハの受け渡しが順次行われる。そして、搬送部番号「１」の搬送部１１２が、不良ウェハアンローディング位置に達すると（図１２参照）、搬送部番号「１」の搬送部１１２は、現在搬送しているウェハが検査装置１４０〜１６０における検査の結果、不良と判定されている場合は、カセット１２１の一番上の収納箇所へのウェハの収納（不良ウェハアンローディング処理）を行う。一方、良品と判定された場合は、特に動作は行わない。また、この時、搬送部番号「１２」の搬送部１１２は、ローディング位置にあることになるので、カセット１２２の上から１２番目の収納箇所に収納されているウェハの取り出し（ローディング処理）を行い、搬送部番号「６」の搬送部１１２は、オリフラ合わせ位置にあることになるので、オリフラ合わせ装置１３０との間でウェハの受け渡しを行い、搬送部番号「５」の搬送部１１２は、第一検査位置にあることになるので、第一検査装置１４０との間でウェハの受け渡しを行い、搬送部番号「４」の搬送部１１２は、第二検査位置にあることになるので、第二検査装置１５０との間でウェハの受け渡しを行い、搬送部番号「３」の搬送部１１２は、第三検査位置にあることになるので、第三検査装置１６０との間でウェハの受け渡しを行う。一方、上述した特定の位置にない搬送部１１２、すなわち、搬送部番号「７」〜「１１」及び「２」の搬送部１１２については、特に動作は行わない。図１２は、搬送部番号「１」の搬送部１１２が搬送していたウェハが良品であった場合において、各搬送部１１２の処理がすべて終了した時点での状態を示す図である。同図に示すように、当該状態においては、すべての搬送部１１２がウェハを保持・搬送していることになる。

同図に示した状態から搬送装置１１０が一回転単位回転すると、搬送装置１１０がちょうど一周（３６０度回転）したことになる。すなわち、搬送部番号「１」の搬送部１１２は、アンローディング位置にあることになるので（図１３参照）、カセット１２２の元の収納箇所（一番上の収納箇所）へのウェハの収納（アンローディング処理）を行う。更に、搬送部番号「１」の搬送部１１２は同時に、ローディング位置にあることにもなるので、アンローディング処理終了後、カセット１２２の上から１３番目の収納箇所に収納されているウェハの取り出し（ローディング処理）を行う。また、この時、搬送部番号「２」の搬送部１１２は、不良ウェハアンローディング位置にあることになるので、搬送部番号「２」の搬送部１１２は、現在搬送しているウェハが検査装置１４０〜１６０における検査の結果、不良と判定されている場合は、カセット１２１の一番上の収納箇所へのウェハの収納（不良ウェハアンローディング処理）を行い、良品と判定された場合は、特に動作は行わない。また、搬送部番号「７」の搬送部１１２は、オリフラ合わせ位置にあることになるので、オリフラ合わせ装置１３０との間でウェハの受け渡しを行い、搬送部番号「６」の搬送部１１２は、第一検査位置にあることになるので、第一検査装置１４０との間でウェハの受け渡しを行い、搬送部番号「５」の搬送部１１２は、第二検査位置にあることになるので、第二検査装置１５０との間でウェハの受け渡しを行い、搬送部番号「４」の搬送部１１２は、第三検査位置にあることになるので、第三検査装置１６０との間でウェハの受け渡しを行う。一方、上述した特定の位置にない搬送部１１２、すなわち、搬送部番号「８」〜「１２」及び「３」の搬送部１１２については、特に動作は行わない。図１３は、搬送部番号「２」の搬送部１１２が搬送していたウェハが不良であった場合において、各搬送部１１２の処理がすべて終了した時点での状態を示す図である。

以後、上述したものと同様の動作を繰り返すことにより、ウェハ検査システム１００において、カセット１２２〜１２７に収納されている各ウェハに対して、第一検査、第二検査及び第三検査が順次行われ、検査の結果、不良と判定されたウェハについては、不良ウェハ収納用カセット１２１に収納され、良品と判定されたウェハについては元のカセット１２２〜１２７の元の位置に戻されることとなる。

以上説明したように、本実施形態においては、回転体１１１の停止時には、それぞれ独立に動作（上下動及び前後度）可能な複数の搬送部１１２が、正対するカセット１２１〜１２７やオリフラ合わせ装置１３０や検査装置１４０〜１６０との間でウェハの受け渡しを同時に行い、回転体１１１の回転時には、複数の搬送部１１２が、複数のウェハを同時に回転搬送するので、多数のウェハを連続して検査する場合などに、ウェハの搬送に費やされる時間を短縮することが可能となる。

以上、本発明の実施形態について説明したが、当然のことながら、本発明の実施形態は上記のものに限られない。例えば、各搬送部１１２の数や、カセットの数（検査対象となるウェハを収納したカセットの数や不良ウェハを収納するために用意する空のカセットの数）、検査装置の種類や数等については、実装条件に応じて、適当なものを選択することができる。また、上述した実施形態は、本発明による搬送装置をウェハ検査システムに利用したものであったが、本発明による搬送装置を他のシステム等に利用することも考えられる。

本発明による搬送装置を利用したウェハ検査システムの構成を示す図（その１）である。 本発明による搬送装置を利用したウェハ検査システムの構成を示す図（その２）である。 搬送装置１１０の構造を説明するための図（その１）である。 搬送装置１１０の構造を説明するための図（その２）である。 ウェハ検査システム１００の動作を制御するため、パネルコンピュータ１７０が実行する処理の流れを示すフローチャートである。 パネルコンピュータ１７０がウェハ検査システム１００の制御を行うために管理する情報を示す図である。 パネルコンピュータ１７０が、各搬送部１１２に、現在の位置に応じた処理を指示する処理の流れを示すフローチャート（その１）である。 パネルコンピュータ１７０が、各搬送部１１２に、現在の位置に応じた処理を指示する処理の流れを示すフローチャート（その２）である。 ウェハ検査システム１００の動作状態を示す図（その１）である。 ウェハ検査システム１００の動作状態を示す図（その２）である。 ウェハ検査システム１００の動作状態を示す図（その３）である。 ウェハ検査システム１００の動作状態を示す図（その４）である。 ウェハ検査システム１００の動作状態を示す図（その５）である。

符号の説明

１００ ウェハ検査システム
１１０ 搬送装置
１１１ 回転体
１１２ 搬送部
１１３ アーム
１１４ ハンド
１１５ 突起
１２０ カセット載置棚
１２１〜１２７ カセット
１２８ 半円弧状平板
１２９ 柱
１３０ オリフラ合わせ装置
１４０ 第一検査装置
１５０ 第二検査装置
１６０ 第三検査装置
１７０ パネルコンピュータ
１８０ ファン付きフィルタユニット
３１０ 天板
３２０ 側板
３２１ 直進モジュール
３２２ スライダ部
３２３ カップリング
３２４ 上下動用モータ
３３０ 底板
３３１ 輪状リニアガイド
３３２ スライダ部
３３３ リング状ギア
４０１ アームベース
４０２ リニアガイド
４０３ ボールネジ
４０４ ネジ軸
４０５ ナット部
４０６ スライダ部
４０７ ブロック
４１０ 前後動用モータ
４２０ 装置設置ベース
４３０ 回転用モータ
４３１ ローラピニオン
６１０ 状態テーブル
６２０ ローディング位置情報
６３０ 不良ウェハアンローディング位置情報

Claims (7)

1. 一定角度の回転及び停止を繰り返す回転体と、
   搬送対象物を保持して搬送する複数の搬送部と
   を備え、
   前記複数の搬送部は、
   前記回転体の側面に、外向きに放射状に伸びるように設けられており、
   それぞれ、上下動及び前後動が可能である
   ことを特徴とする搬送装置。
2. 前記複数の搬送部は、それぞれ等角をなすように設けられている
   ことを特徴とする請求項１に記載の搬送装置。
3. 前記複数の搬送部は、それぞれ前記一定角度をなすように設けられている
   ことを特徴とする請求項２に記載の搬送装置。
4. 前記複数の搬送部は、それぞれ、
   前記回転体の側面に沿って上下動可能なアームと、
   前記アームに沿って前後動可能なハンドと
   によって構成されていることを特徴とする請求項１〜３のいずれか一項に記載の搬送装置。
5. 前記回転体は、多角筒状の形状を有する
   ことを特徴とする請求項１〜４のいずれか一項に記載の搬送装置。
6. 請求項１〜５のいずれか一項に記載の搬送装置と、
   前記搬送装置によって搬送される検査対象物を収納する収納部と、
   前記検査対象物の検査を行う検査部と
   を備え、
   前記収納部及び検査部が、前記搬送装置の周囲に放射状に配置され、
   前記複数の搬送部は、前記回転体が停止している間に、正対する前記収納部又は前記検査部との間で検査対象物の受け渡しを行う
   ことを特徴とする検査システム。
7. 請求項１〜５のいずれか一項に記載の搬送装置と、
   前記搬送装置によって搬送される搬送対象物を収納する収納部と、
   前記搬送対象物の処理を行う処理部と
   を備え、
   前記収納部及び処理部が、前記搬送装置の周囲に放射状に配置され、
   前記複数の搬送部は、前記回転体が停止している間に、正対する前記収納部又は前記処理部との間で搬送対象物の受け渡しを行う
   ことを特徴とする処理システム。
   

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