JP2010102984A - 荷電粒子線装置 - Google Patents
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Abstract
【解決手段】被検査試料の検査位置(ウェハー座標系)を検査機構の配置位置(ステージ座標系(極座標系))に変換し、回転アーム102を回転させると共に、回転ステージ103を回転させて、検査機構の配置位置に、被検査試料の検査位置を移動させる。このとき、回転ステージ103の中心のずれ量等を算出して、補正することを可能としたので、2軸回転ステージ機構を有する荷電粒子線装置において、検査対象のパターン微細化に対応して、検査精度を向上することができる。また、回転アーム102の回転により描かれる回転ステージ103の中心の移動軌跡上に、複数の検査装置を配置する構成としたので、小型でありながら、複数種類の検査が可能な荷電粒子線装置を実現することができる。
【選択図】図1
Description
検査機構設置位置203を回転アーム回転量が0のときの回転ステージ回転中心205に一致するように設置したとして、ウェーハ座標系201にて指定した任意の検査点(wx,wy)を検査機構設置位置203に移動するための回転アーム回転角度S1と回転ステージ回転角度S2は以下のように決定することができる。
wr−255=wr・sin(ws) ・・・(2−2)
wr=√{(wx−255)2+(wy−255)2} ・・・(2−3)
ws=tan−1{(wy−255)/(wx−255)} ・・・(2−4)
回転アーム回転角度S1はwrによってのみ決定するので、次式(3)となる。
回転アーム回転角度S1を駆動したことによって生じた視野ずれ角度をScorとすると、このScorは次式(4)で表される。
以上の結果より、回転ステージ回転角度S2はウェーハ座標から算出した角度成分wsとScorとから、次式(5)で表すことができる。
2回転軸ステージでは指定した検査点(wx,wy)を、後述する検査機構の取り付け位置203直下に移動した際、試料角度が変化してしまっている。このため、荷電粒子線装置を検査機構取り付け位置203に設置している場合などは、よく知られているラスターローテーション機能を使用して、次式(6)に示す、Srだけ視野回転補正を行うことで正方向の画像を得ることができる。
ウェーハ座標系201と2軸回転ステージの座標系202における位置ずれの要因として最も明瞭なものは、ウェーハ中心と回転ステージ回転中心205のずれを挙げることができる。
逆に、ウェーハ中心と回転ステージ回転中心205とのずれが、ほぼ0であるという場合、回転角度余裕S1mrgよって検査機構設置位置余裕206を設けることができる。検査機構取り付け位置203の観察中心に対する回転ステージ回転中心205のずれは、観察中心近傍に試料ウェーハ内側の観察不可能領域を生じさせることになる。
Claims (11)
- 荷電粒子線を被検査物に照射して、被検査物を検査する荷電粒子線装置において、
被検査物が配置され、この被検査物を回転させる回転ステージと、
上記回転ステージを回転駆動する手段と、
上記回転ステージを支持し、円弧状に移動させる回転アームと、
上記回転アームを駆動する手段と、
上記回転ステージに配置された被検査物に荷電粒子を照射して、被検査物を検査する荷電粒子線検査手段と、
上記回転ステージに配置された被検査物の被検査位置を、上記荷電粒子線検査手段からの荷電粒子線が照射される位置に移動させるために、上記回転アームの回転角度と上記回転ステージの回転角度とを演算し、演算した回転角度に基づいて、上記回転アーム駆動手段と上記ステージ回転駆動手段とを駆動する制御手段と、
を備えることを特徴とする荷電粒子線装置。 - 請求項1記載の荷電粒子線装置において、上記被検査物の被検査位置は、上記被検査物を基準とした直交座標で示され、上記制御手段は、直交座標で示された被検査位置を上記回転アームを基準とする極座標位置に変換し、変換した被検査位置を上記荷電粒子線手段からの荷電粒子線が照射される位置に移動させるための上記回転アームの回転角度と上記回転ステージの回転角度とを演算することを特徴とする荷電粒子線装置。
- 請求項2記載の荷電粒子線装置において、上記回転アームの回転半径R1、上記回転ステージの回転半径R2から得られる回転アームの最小必要回転角度に対して、2倍以上の回転角度余裕が設けられ、上記回転ステージに対する被検査物の配置位置余裕、検査機構の設置位置余裕が設けられ、上記回転アームの移動軌跡に沿った概略円周上に、上記被検査物を検査する、上記荷電粒子線検査手段を含む少なくとも3つの検査手段が配置されていることを特徴とする荷電粒子線装置。
- 請求項3記載の荷電粒子線装置において、上記検査手段のうちの一つは、低倍率の光学顕微鏡であり、この光学顕微鏡を上記回転アームの移動軌跡に沿った概略円周上の中央に配置し、上記被検査物の外周部を検査することを特徴とした荷電粒子線装置。
- 請求項3記載の荷電粒子線装置において、概略円周上の任意の検査手段取り付け位置余裕位置に、表面電界計測機器、除電機器を配置することを特徴とする荷電粒子線装置。
- 請求項3記載の荷電粒子線装置において、上記回転アームの回転半径R1と上記回転ステージの回転半径R2とは略等しく、上記回転アームの移動軌跡に沿った概略円周上に外周検査手段が配置されていることを特徴とする荷電粒子線装置。
- 請求項3記載の荷電粒子線装置において、上記回転ステージの回転中心を示す目印が回転ステージ上に表示され、上記被検査物は、半導体ウェーハであり、この半導体ウェーハの設計データを記憶する記憶手段を備え、上記制御手段は、回転ステージの回転と同時に中心目印を追跡検知することで回転ステージ機構の軸ブレを検出し、上記各検査手段の配置位置における観察中心と回転ステージの回転中心に対するズレ量を検出し、検査手段取り付け位置に設置した低倍の光学顕微鏡を用いて半導体ウェーハが配置された方向と回転ステージの回転中心と半導体の中心のズレ量を検出し、上記半導体ウェーハ設計データから、半導体ウェーハ中心近傍を含む直径上の3点に含まれるアライメントマークを決定し、そのマークを用いて高倍率で追跡、検知することで半導体ウェーハに対するパターンのズレ量を検出し、各検査手段に対する観察指定位置の情報に応じて上記回転アーム及び回転ステージの動作を制御することを特徴とする荷電粒子線装置。
- 請求項7記載の荷電粒子線装置において、上記回転ステージ及び回転アームが配置された試料室と、この試料室内の回転ステージに被検査物である半導体ウェーハを試料室外から搬入し、試料室外へ搬出する手段とを備え、上記制御手段は、上記回転ステージに半導体ウェーハが搬入されたときの位置情報を記憶手段に記憶させ、半導体ウェーハの搬出時に、上記記憶手段に記憶された位置情報に基づいて、上記半導体ウェーハの位置を再現させることを特徴とする荷電粒子線装置。
- 請求項7記載の荷電粒子線装置において、上記制御手段は、上記半導体ウェーハに対するパターンのズレ量を上記半導体ウェーハの設計データに関連付けて記憶手段に記憶させ、同一設計情報による半導体ウェーハの検査時にはそれを再利用することを特徴とする荷電粒子線装置。
- 荷電粒子線装置を用いた被検査物の検査方法において、
回転ステージに被検査物を配置し、
上記回転ステージを円弧状に移動させる回転アームに上記回転ステージを支持し、
上記回転ステージに配置された被検査物に荷電粒子を照射して、被検査物を検査する荷電粒子線検査手段を配置し、
上記回転ステージに配置された被検査物の被検査位置を、上記荷電粒子線検査手段からの荷電粒子線が照射される位置に移動させるために、上記回転アームの回転角度と上記回転ステージの回転角度とを演算し、演算した回転角度に基づいて、上記回転アーム駆動手段と上記ステージ回転駆動手段とを駆動することを特徴とする荷電粒子線装置を用いた被検査物の検査方法。 - コンピュータによって荷電粒子線装置の観察位置決めを制御するためのプログラムを記録した記録媒体であって、
上記制御プログラムはコンピュータに回転ステージ上の回転中心目印を検出させ、回転ステージの回転と同時に中心目印を追跡検知させ、その結果から回転ステージ機構の軸ブレ量を記憶させ、各検査機構取り付け位置において回転中心目印を検出させ、その結果から観察中心と回転ステージ機構のズレ量を記憶させ、検査機構取り付け位置もしくは外周検査機構取り付け位置に設置した低倍の光学顕微鏡を用いて試料のノッチ位置と外周位置を検出させ、その結果から試料の載置された方向と回転ステージ機構の回転中心と試料中心のズレ量を記憶させ、記憶されたデータ群から、各検査機構に対する観察指定位置の情報を2軸回転ステージ機構の回転アーム機能および回転ステージ機構による制御量に変更させることを特徴とする荷電粒子線装置観察位置決め制御プログラムを記録した記録媒体。
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