JP2008305905A - 異物・欠陥検査・観察システム - Google Patents
異物・欠陥検査・観察システム Download PDFInfo
- Publication number
- JP2008305905A JP2008305905A JP2007150526A JP2007150526A JP2008305905A JP 2008305905 A JP2008305905 A JP 2008305905A JP 2007150526 A JP2007150526 A JP 2007150526A JP 2007150526 A JP2007150526 A JP 2007150526A JP 2008305905 A JP2008305905 A JP 2008305905A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- inspection
- defect
- observation
- unit
- foreign matter
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Granted
Links
Images
Landscapes
- Container, Conveyance, Adherence, Positioning, Of Wafer (AREA)
- Testing Or Measuring Of Semiconductors Or The Like (AREA)
Abstract
【解決手段】荷電粒子光学系による観察機能と、荷電粒子光学系および試料周辺を真空にするための排気機能と、稼動範囲が小さいrθステージと、を設け、従来異物・欠陥検査装置に搭載されていた光学式の観察機能では判別できない観察対象物表面およびエッジ部の微細な異物・欠陥を、他の観察装置を介することなく、検出された欠陥の致命/非致命を判断するための高分解能観察機能を設けた。
【選択図】図2
Description
図1は、本発明の実施形態による異物・欠陥検査・観察システム10の外観構成示す図である。図1において、異物・欠陥検査・観察システム10は、ウェーハ099を収納するウェーハポッド104と、ウェーハポッド104の蓋の開閉を行うオープナー105と、ウェーハの搬送を行う搬送ロボット206を収納する搬送部101と、センサ及び光源を含む光学系、並びにステージ等を含み、ウェーハ099の検査を行う本体部(光学式検査装置)102と、検査感度(条件)の設定演算、各機構の操作、観察部100で取得した観察情報・画像の出力(図示しない表示部への表示)、及び各種制御を行うための操作・制御部103と、観察部100と、を備える。また、異物・欠陥検査・観察システム10は、これらの構成に加えて、図示しない、各ユニットに電源を供給するための電源部や、データの処理と保存を行う画像処理部等を備えるようにしてもよい。
図2は、異物・欠陥検査・観察システム10を構成する観察部100と搬送部101の内部の概略構成を示す図である。観察部100は、従来ウェーハのオリフラ(オリエンテーションフラット)やVノッチ等、結晶方位の基準から中心位置と向きを検出してアライメントを行うウェーハアライナー用回転機構に変わり、回転駆動部と回転駆動部の回転軸(z軸方向)と垂直に交わる方向(x軸方向、y軸方向等、z軸と垂直であればよい。図2では、x軸方向に移動可能なようにrθステージ203は構成されている)に稼動するrθステージ203を有している。rθステージ203は、従来のウェーハアライナーと同様に、ウェーハを保持するウェーハチャック210と、オリフラやVノッチ等結晶方位の基準から中心位置と向きを検出するウェーハ基準検出器208を有し、従来の機能を踏襲するものである。
図5は、ウェーハ上の異物及び欠陥の検査から観察(レビュー)までの動作例を説明するためのフローチャ−トである。なお、操作・制御部103がシステム全体の動作を制御している。図5のステップS01〜S06までの工程は、従来の異物・欠陥検査システムと同様に検査結果の出力までが行われる。
図11に示すとおり、観察部100を複数台設置し、自動レビューを平行して処理することで、高速な検査・レビューを実現できる。観察部100によるレビュー処理の方が、本体部(検査装置)102の処理よりも時間が掛かる。そのため、観察部100の数を多くすることにより、スループットを向上している。
本実施形態における異物・欠陥検査・観察システムでは、ウェーハ上の異物や欠陥を検出して、その座標情報を出力し、検出された異物や欠陥を、レビューSEMを含む観察部で観察する。そして、観察部は、試料室内にプリアライナーとして機能する回転ステージと、この回転ステージを回転軸と垂直の一方向に移動させるステージ移動部とを有している。つまり、この回転ステージをプリアライナー用ステージ及び観察用の試料ステージの双方として機能させている。このようにすることにより、従来の欠陥検査装置のサイズを大幅に変えることなく、フットプリントを増大によるCoOの悪化を防止することが可能となる。また、従来の異物・欠陥検査装置に搭載されていた光学式の観察機能では判別できない微細な異物・欠陥を、他の観察装置を介することなく、高分解能観察することが可能となる。
703:45°回転したウェーハ上パタン、704:パタン上水平方向スキャン、704:パタン上水平方向スキャン、705:水平方向スキャン時の観察像、706:パタン上45°方向スキャン、707:45°方向スキャン時の観察像、708:ソフト的な回転補正後の観察画像、801:ウェーハエッジ部分、802:反射電子検出器、803:二次電子検出器、804:電子線を垂直照射時のチャックおよび検出器位置、805:電子線を水平照射時のチャックおよび検出器位置、806:電子線を傾斜照射時のチャックおよび検出器位置、1001:観察機構を複数搭載した検査装置の鳥瞰図、1101:観察機構を複数搭載した検査装置の一例を示す上面図、1301:ウェーハ座標系、1302:rθステージ座標系、1303:ウェーハ座標系原点
Claims (16)
- 被検査物の異物及び欠陥を検出し、欠陥情報を出力する異物・欠陥検査・観察システムであって、
前記被検査物の異物及び欠陥を検出し、異物及び欠陥の座標情報を出力する検査部と、
前記検査部で検出された前記被検査物の異物及び欠陥を観察するための観察部と、
前記検査部及び前記観察部に対して、前記被検査物の搭載及び取り出しを実行し、前記検査部と前記観察部との間で前記被検査物を搬送する搬送部と、
前記検査部と、前記観察部と、前記搬送部の動作を制御する制御部と、を備え、
前記観察部は、
前記被検査物が回転可能に載置される回転ステージと、
前記回転ステージに搭載された前記被検査物の基準位置を検出する基準位置検出手段と、
前記回転ステージを回転軸と垂直の一軸方向に移動させるステージ移動手段と、
前記回転ステージに搭載された前記被検査物に荷電粒子線を照射する電子光学系を有し、前記被検査物から発生する信号を検出して欠陥情報を取得する欠陥情報検出部と、
前記回転ステージを収容する試料室と、を備え、
前記制御部は、前記被検査物の異物及び欠陥の座標情報に基づいて、前記回転ステージの回転動作及び前記ステージ移動手段の移動動作を制御することを特徴とする異物・欠陥検査・観察システム。 - さらに、前記試料室を真空状態にする真空形成手段を備えることを特徴とする請求項1に記載の異物・欠陥検査・観察システム。
- 前記電子光学系は、前記被検査物に対して、垂直方向、水平方向、及び傾斜方向の少なくとも1つの方向から前記荷電粒子線を照射する照射手段と、照射により発生した信号を検出する信号検出手段と、を有し、前記被検査物の表面及び端部の観察を可能とする請求項1に記載の異物・欠陥検査・観察システム。
- 前記制御部は、前記異物及び欠陥の座標情報がXY座標系で表される場合に、前記被検査物の所定の点を原点として、前記座標情報を極座標系の座標情報に変換することを特徴とする請求項1に記載の異物・欠陥検査・観察システム。
- 前記制御部は、前記極座標系の座標情報に基づいて、対応の異物及び欠陥が観察可能なように前記回転ステージ及び前記ステージ移動手段を動作させると共に、前記欠陥情報で表現される画像を回転補正することを特徴とする請求項4に記載の異物・欠陥検査・観察システム。
- 前記制御部は、前記極座標系の座標情報に基づいて、前記電子光学系における前記荷電粒子線のスキャン方向を制御し、前記欠陥情報で表現される画像を回転補正することを特徴とする請求項5に記載の異物・欠陥検査・観察システム。
- 前記制御部は、前記極座標系の座標情報に基づいて、前記欠陥情報で表現される画像を画像処理により回転補正することを特徴とする請求項5に記載の異物・欠陥検査・観察システム。
- 前記制御部は、前記被検査物に形成された第1のパタンの異物及び欠陥の座標情報に基づいて観察して得られた欠陥情報と、前記第1のパタンに隣接する第2のパタン内であって、前記第1のパタンの異物及び欠陥の座標情報に対応する前記第2パタン内の位置を観察して得られた観察情報とを出力し、両者を比較可能なようにすることを特徴とする請求項4に記載の異物・欠陥検査・観察システム。
- 前記制御部は、前記被検査物における少なくとも2つの箇所の極座標情報と、前記被検査物が前記回転ステージに載置されたときの前記少なくとも2つの箇所のステージ上の極座標情報に基づいて、前記被検査物の極座標系と前記回転ステージの極座標系のずれ量を算出し、補正することを特徴とする請求項4に記載の異物・欠陥検査・観察システム。
- さらに、前記欠陥情報で表現される画像の表示位置を微調整するための微調整手段を備え、
前記制御部は、前記微調整の結果を表示位置補正のオフセット量として記憶部に登録することを特徴とする請求項5に記載の異物・欠陥検査・観察システム。 - 前記電子光学系が前記被検査物に対して水平方向から前記荷電粒子線を照射する場合、この荷電粒子線の照射方向は、前記回転ステージの前記ステージ移動手段で実現される移動方向と同一であり、
前記制御部は、入力される指示に応じて、前記電子光学系に含まれる対物レンズと前記被検査物の端部との距離で規定される走査距離を変化させることを特徴とする請求項3に記載の異物・欠陥検査・観察システム。 - 前記制御部は、前記電子光学系において設定された焦点と実測された前記走査距離とのずれ量を算出し、このずれ量に基づいて、前記走査距離を変化させると共に、前記回転ステージの原点と前記被検査物の原点とのずれ量を補正することを特徴とする請求項11に記載の異物・欠陥検査・観察システム。
- 前記電子光学系が前記被検査物に対して傾斜方向から前記荷電粒子線を照射する場合、前記欠陥情報検出部は、前記被検査物の表面、端部の斜角面、及び端部の頂面に関する欠陥情報を検出することを特徴とする請求項3に記載の異物・欠陥検査・観察システム。
- 前記制御部は、前記回転ステージの座標と前記被検査物上の座標とのずれを補正し、
前記座標ずれが補正された後に、前記欠陥情報検出部は、前記被検査物の表面、端部の斜角面、及び端部の頂面に関する欠陥情報を検出することを特徴とする請求項13に記載の異物・欠陥検査・観察システム。 - 前記検査部は、設定された検出信号に関するしきい値を含む検査条件に基づいて、前記被検査物における擬似欠陥と区別しながら前記異物及び欠陥を検出し、
前記制御部は、前記観察部による観察の結果、前記検査部によって検出された異物及び欠陥とされた対象物に前記擬似欠陥が含まれている場合には、前記検査条件を変更することを特徴とする請求項1に記載の異物・欠陥検査・観察システム。 - 被検査物の異物及び欠陥を検出し、欠陥情報を出力する異物・欠陥検査・観察システムであって、
前記被検査物の異物及び欠陥を検出し、異物及び欠陥の座標情報を出力する検査部と、
前記検査部で検出された前記被検査物の異物及び欠陥を観察するための複数の観察部と、
前記検査部及び前記観察部に対して、前記被検査物の搭載及び取り出しを実行し、前記検査部と前記観察部との間で前記被検査物を搬送する搬送部と、
前記検査部と、前記観察部と、前記搬送部の動作を制御する制御部と、を備え、
前記複数の観察部のそれぞれは、
前記被検査物が回転可能に載置される回転ステージと、
前記回転ステージに搭載された前記被検査物の基準位置を検出する基準位置検出手段と、
前記回転ステージを回転軸と垂直の一軸方向に移動させるステージ移動手段と、
前記回転ステージに搭載された前記被検査物に荷電粒子線を照射する電子光学系を有し、前記被検査物から発生する信号を検出して欠陥情報を取得する欠陥情報検出部と、
前記回転ステージを収容する試料室と、を備え、
前記制御部は、前記被検査物の異物及び欠陥の座標情報に基づいて、前記回転ステージの回転動作及び前記ステージ移動手段の移動動作を制御することを特徴とする異物・欠陥検査・観察システム。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2007150526A JP5066393B2 (ja) | 2007-06-06 | 2007-06-06 | 異物・欠陥検査・観察システム |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2007150526A JP5066393B2 (ja) | 2007-06-06 | 2007-06-06 | 異物・欠陥検査・観察システム |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JP2008305905A true JP2008305905A (ja) | 2008-12-18 |
JP5066393B2 JP5066393B2 (ja) | 2012-11-07 |
Family
ID=40234372
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2007150526A Expired - Fee Related JP5066393B2 (ja) | 2007-06-06 | 2007-06-06 | 異物・欠陥検査・観察システム |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JP5066393B2 (ja) |
Cited By (11)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
WO2010047378A1 (ja) * | 2008-10-24 | 2010-04-29 | 株式会社 日立ハイテクノロジーズ | 荷電粒子線装置 |
JP2010102984A (ja) * | 2008-10-24 | 2010-05-06 | Hitachi High-Technologies Corp | 荷電粒子線装置 |
JP2010108640A (ja) * | 2008-10-28 | 2010-05-13 | Hitachi High-Technologies Corp | 荷電粒子線装置 |
JP2010157393A (ja) * | 2008-12-26 | 2010-07-15 | Topcon Corp | 電子顕微鏡装置 |
JP2013191576A (ja) * | 2013-05-13 | 2013-09-26 | Horiba Ltd | 電子顕微鏡装置 |
US8692194B2 (en) | 2010-06-24 | 2014-04-08 | Horiba Ltd. | Electron microscope device |
JP2017508285A (ja) * | 2014-02-12 | 2017-03-23 | ケーエルエー−テンカー コーポレイション | ウェハノッチの検出 |
CN108515285A (zh) * | 2016-04-18 | 2018-09-11 | 黄雪位 | 一种用于全面扫描工件并实施焊接的装置的实现方法 |
JPWO2019208338A1 (ja) * | 2018-04-27 | 2021-04-22 | 東京エレクトロン株式会社 | 基板処理システム、および基板処理方法 |
CN114193451A (zh) * | 2021-12-16 | 2022-03-18 | 上海华虹宏力半导体制造有限公司 | 一种检测机械臂刮伤的方法 |
JP7454385B2 (ja) | 2020-01-23 | 2024-03-22 | 浜松ホトニクス株式会社 | ウェハ搬送ユニット及びウェハ搬送方法 |
Citations (5)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPS5516438A (en) * | 1978-07-24 | 1980-02-05 | Hitachi Ltd | Inspection method of exterior examiner |
JP2000081324A (ja) * | 1998-06-29 | 2000-03-21 | Hitachi Ltd | 欠陥検査方法およびその装置 |
JP2000164658A (ja) * | 1998-11-26 | 2000-06-16 | Tokyo Seimitsu Co Ltd | 半導体ウェハのレビューステーション及び外観検査装置 |
JP2003014438A (ja) * | 2001-07-02 | 2003-01-15 | Nikon Corp | 基板検査装置および基板検査方法 |
JP2006313680A (ja) * | 2005-05-09 | 2006-11-16 | Hitachi High-Technologies Corp | 電子線式観察装置 |
-
2007
- 2007-06-06 JP JP2007150526A patent/JP5066393B2/ja not_active Expired - Fee Related
Patent Citations (5)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPS5516438A (en) * | 1978-07-24 | 1980-02-05 | Hitachi Ltd | Inspection method of exterior examiner |
JP2000081324A (ja) * | 1998-06-29 | 2000-03-21 | Hitachi Ltd | 欠陥検査方法およびその装置 |
JP2000164658A (ja) * | 1998-11-26 | 2000-06-16 | Tokyo Seimitsu Co Ltd | 半導体ウェハのレビューステーション及び外観検査装置 |
JP2003014438A (ja) * | 2001-07-02 | 2003-01-15 | Nikon Corp | 基板検査装置および基板検査方法 |
JP2006313680A (ja) * | 2005-05-09 | 2006-11-16 | Hitachi High-Technologies Corp | 電子線式観察装置 |
Cited By (13)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
WO2010047378A1 (ja) * | 2008-10-24 | 2010-04-29 | 株式会社 日立ハイテクノロジーズ | 荷電粒子線装置 |
JP2010102984A (ja) * | 2008-10-24 | 2010-05-06 | Hitachi High-Technologies Corp | 荷電粒子線装置 |
US8334520B2 (en) | 2008-10-24 | 2012-12-18 | Hitachi High-Technologies Corporation | Charged particle beam apparatus |
JP2010108640A (ja) * | 2008-10-28 | 2010-05-13 | Hitachi High-Technologies Corp | 荷電粒子線装置 |
JP2010157393A (ja) * | 2008-12-26 | 2010-07-15 | Topcon Corp | 電子顕微鏡装置 |
US8791415B2 (en) | 2008-12-26 | 2014-07-29 | Horiba Ltd. | Electron microscope device |
US8692194B2 (en) | 2010-06-24 | 2014-04-08 | Horiba Ltd. | Electron microscope device |
JP2013191576A (ja) * | 2013-05-13 | 2013-09-26 | Horiba Ltd | 電子顕微鏡装置 |
JP2017508285A (ja) * | 2014-02-12 | 2017-03-23 | ケーエルエー−テンカー コーポレイション | ウェハノッチの検出 |
CN108515285A (zh) * | 2016-04-18 | 2018-09-11 | 黄雪位 | 一种用于全面扫描工件并实施焊接的装置的实现方法 |
JPWO2019208338A1 (ja) * | 2018-04-27 | 2021-04-22 | 東京エレクトロン株式会社 | 基板処理システム、および基板処理方法 |
JP7454385B2 (ja) | 2020-01-23 | 2024-03-22 | 浜松ホトニクス株式会社 | ウェハ搬送ユニット及びウェハ搬送方法 |
CN114193451A (zh) * | 2021-12-16 | 2022-03-18 | 上海华虹宏力半导体制造有限公司 | 一种检测机械臂刮伤的方法 |
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
JP5066393B2 (ja) | 2012-11-07 |
Similar Documents
Publication | Publication Date | Title |
---|---|---|
JP5066393B2 (ja) | 異物・欠陥検査・観察システム | |
US9136091B2 (en) | Electron beam apparatus for inspecting a pattern on a sample using multiple electron beams | |
JP5059297B2 (ja) | 電子線式観察装置 | |
US7352195B2 (en) | Electron beam apparatus with detailed observation function and sample inspecting and observing method using electron beam apparatus | |
JP2005249745A (ja) | 試料表面検査方法および検査装置 | |
JP4564728B2 (ja) | 回路パターンの検査装置 | |
US20050205781A1 (en) | Defect inspection apparatus | |
JPH10213422A (ja) | パタ−ン検査装置 | |
JP4769828B2 (ja) | 荷電粒子ビーム装置 | |
JP5386453B2 (ja) | 荷電粒子線装置および試料観察方法 | |
JP4642362B2 (ja) | 基板位置合わせ方法、基板表面検査方法、基板位置決め方法、半導体デバイス製造方法、基板位置合わせ装置及び基板表面検査装置 | |
KR20170032602A (ko) | 결함 촬상 장치, 이를 구비하는 결함 검사 시스템 및 이를 이용한 결함 검사 방법 | |
JP4560898B2 (ja) | 検査装置及び検査方法 | |
JP3836735B2 (ja) | 回路パターンの検査装置 | |
JP2005091342A (ja) | 試料欠陥検査装置及び方法並びに該欠陥検査装置及び方法を用いたデバイス製造方法 | |
JP2005197121A (ja) | 電子ビーム装置 | |
JP2005195504A (ja) | 試料の欠陥検査装置 | |
JP2005291833A (ja) | 試料の欠陥検査装置 | |
JP3936873B2 (ja) | 欠陥撮像装置及び撮像方法 | |
JP5302934B2 (ja) | 試料表面検査方法および検査装置 | |
JP4384022B2 (ja) | 詳細観察の機能を備えた電子線装置、及びその電子線装置による試料の検査並びに試料観察方法 | |
CN111863646A (zh) | 一种半导体器件缺陷的检测方法 | |
JP2004157135A (ja) | 回路パターンの検査方法及び検査装置 | |
JP5286094B2 (ja) | 荷電粒子線装置 | |
JP2008052934A (ja) | 検査装置および検査方法 |
Legal Events
Date | Code | Title | Description |
---|---|---|---|
A621 | Written request for application examination |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A621 Effective date: 20100209 |
|
A131 | Notification of reasons for refusal |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A131 Effective date: 20120515 |
|
A521 | Written amendment |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523 Effective date: 20120713 |
|
TRDD | Decision of grant or rejection written | ||
A01 | Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A01 Effective date: 20120731 |
|
A01 | Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A01 |
|
A61 | First payment of annual fees (during grant procedure) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A61 Effective date: 20120813 |
|
R150 | Certificate of patent or registration of utility model |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R150 |
|
FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20150817 Year of fee payment: 3 |
|
LAPS | Cancellation because of no payment of annual fees |