JP2010108640A - 荷電粒子線装置 - Google Patents
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Abstract
【解決手段】回転アーム12は一方端が回転アーム支持軸により支持され、アーム12の他方端部の下面部を支持する円弧ガイド13上を旋回する。回転アーム12の駆動は回転アーム12の先端に接触している超音波モータ14で駆動され、回転角度検出器16のより回転アーム12の回転角度を検出する。超音波駆動モータ14はパルス駆動で回転アーム12を極めて精度良く、ステップ送りすることが可能である。回転アーム12は回転支持ベアリング15により支持され回転し、円弧ガイド13上を他方端が回動することより、剛性を向上させており、上下方向のガタを防止することができる。
【選択図】図2
Description
そして、回転ステージ11の制御量S2は、次式(2)で表せる。
ここで、上記ws、Scorは、次式(3)、(4)で表せる。
Scor=S1−cos−1(x/Wr) ・・・(4)
ただし、(x=R1・sinS1)である。
Claims (14)
- 荷電粒子線を被検査物に照射して、検査する荷電粒子線装置において、
被検査物が配置され、この被検査物を回転させる回転テーブルと、
上記回転テーブルの回転角度検出手段と、
上記回転テーブルを回転駆動する駆動手段と、
上記回転テーブルを支持し、円弧状に移動させる回転アームと、
上記回転アームの回転角度検出手段と、
上記回転アームを駆動する駆動手段と、
上記回転ステージに配置された被検査物に荷電粒子線を照射する手段と、
上記回転テーブルの回転角度検出手段及び上記回転アームの回転角度検出手段が検出した回転角度に基づいて、上記回転テーブル及び上記回転アームの動作を制御する演算制御手段と、
を備えることを特徴とする荷電粒子線装置。 - 請求項1記載の荷電粒子線装置において、上記回転テーブル駆動手段及び上記回転アーム駆動手段は、圧電素子を用いた駆動モータであることを特徴とする荷電粒子線装置
- 請求項1記載の荷電粒子線装置において、上記回転アームの回転角度検出手段は、上記回転アームの回転軸近傍、もしくは回転軸の周囲に配置されていることを特徴とする荷電粒子線装置。
- 請求項1記載の荷電粒子線装置において、上記回転アームの一方端は、回転軸により支持され、他方端は上記回転テーブルを支持するとともに、この他方端の底面部が、円弧状のガイド機構により支持され、このガイド機構に沿って、上記回転アームの他方端が上記回転テーブルと共に移動することを特徴とする荷電粒子線装置。
- 請求項2記載の荷電粒子線装置において、上記回転アーム駆動手段は、上記回転アームの先端を駆動することを特徴とする荷電粒子線装置。
- 請求項1記載の荷電粒子線装置において、上記演算制御手段は、上記被検査物上のパターンの、直交座標値を極座標値に変換して、上記回転テーブル及び上記回転アームの動作を制御することを特徴とする荷電粒子線装置。
- 請求項6記載の荷電粒子線装置において、荷電粒子線の偏向手段を備え、上記演算制御手段は、被検査物の回転角度を算出し、上記偏向手段を制御して、荷電粒子線を上記被検査物の目標位置に照射することを特徴とする荷電粒子線装置。
- 請求項1記載の荷電粒子線装置において、上記回転テーブルと、上記回転テーブル回転角度検出手段と、上記回転テーブル駆動手段と、上記回転アームと、上記回転アーム回転角度検出手段と、上記回転アーム駆動手段とが内部に配置される試料室を備え、この試料室は、単一材料を切削加工することにより形成されることを特徴とする荷電粒子線装置。
- 請求項6記載の荷電粒子線装置において、上記演算制御部は、被検査物のパターンの直交座標データを極座標変換して回転アーム及び回転テーブルの移動位置を決定し、荷電粒子線による実画像を表示手段に表示し、この実画像と予め算出した参照画像とを比較し、位置ずれ量を算出し、この位置ずれ量を荷電粒子線の偏向位置量に加算することによって補正を行うことを特徴とする荷電粒子線装置。
- 請求項1記載の荷電粒子線装置において、荷電粒子線の被検査物上への照射位置に対し、回転アームの旋回する回転円弧軌道上に光学顕微鏡あるいは、異なる荷電粒子光学系のいずれか、または双方が配置されることを特徴とする荷電粒子線装置。
- 請求項10記載の荷電粒子線装置において、光顕微鏡あるいは異なる荷電粒子光学系より得られる画像情報を得て保存することを特徴とする荷電粒子線装置。
- 請求項4記載の荷電粒子線装置において、上記アームの駆動手段の配線、及び上記アームの回転角度検出器の配線は回転アームに沿って配線し、回転アームの回転軸付近から引き出すことを特徴とする荷電粒子線装置。
- 請求項1記載の荷電粒子線装置において、上記回転アーム、上記回転テーブルの温度を測定する温度センサと、上記回転アームの温度を調整する温度調整手段とを備え、上記演算制御部は、上記温度センサが検出した温度測定値を用い、上記温度制御手段の動作を制御することを特徴とする荷電粒子線装置。
- 請求項10記載の荷電粒子線装置において、被検査物のエッジ部に対して光顕微鏡顕像あるいは、荷電粒子線像を取得し、取得した画像を記憶する手段を備え、同一箇所を比較して欠陥レビューすることを特徴とする荷電粒子線装置。
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