JP5220469B2 - 荷電粒子ビーム装置の試料装置 - Google Patents
荷電粒子ビーム装置の試料装置 Download PDFInfo
- Publication number
- JP5220469B2 JP5220469B2 JP2008114005A JP2008114005A JP5220469B2 JP 5220469 B2 JP5220469 B2 JP 5220469B2 JP 2008114005 A JP2008114005 A JP 2008114005A JP 2008114005 A JP2008114005 A JP 2008114005A JP 5220469 B2 JP5220469 B2 JP 5220469B2
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- stage
- tilt
- sample
- tilt angle
- moving
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Active
Links
Images
Description
7は制御装置であり、各入力に対し、各種指令を発生する。又、試料位置移動指定、角度移動指定の入力も受け付ける。
この様に前記傾斜ステージ11を傾けると、該傾斜ステージに載置されている前記Y方向ステージ14とX方向ステージ15も一緒に傾く。
Y方向ステージ14、X方向ステージ15を停止させている時は、外的力によってステージ位置が動かないように、Y方向用移動ドライバ35からY軸方向移動用モータ27にX方向移動用ドライバ36からX方向移動用モータ32に拘束電流を流し拘束磁束を発生させ回転軸27Rと回転軸32Rを回転しないように拘束させる。
これによって、回転軸27Rに連なって繋がっている自在継ぎ手26、Y方向送りネジ23及び、回転軸32Rに連なって繋がっている自在継ぎ手31、X方向送りネジ28も回転を拘束される。
この状態で傾斜ステージ11を所定の角度(θ)傾けると、傾斜ステージ11に載置されたY方向ステージ14も角度(θ)傾斜する。試料室12に固定されたY軸方向移動用モータ27は前記したように、拘束磁束により拘束され、Y軸方向移動用モータ27連結されているY方向送りネジ23も拘束されるので、Y方向ステージ14が角度(θ)傾いた事により、傾いたY方向ステージ14側から見ると、Y方向送りネジ23に角度(θ)の回転が発生してしまう事になる。
同様に、傾斜ステージ11を所定の角度(θ)傾けると、傾斜ステージ11に載置されたX方向ステージ15も角度(θ)回転する。拘束されて、試料室12に固定された状態になっているX方向送りネジ28と、X方向ステージ15との間に角度(−θ)の回転が発生してしまう。
45は、ステージ固定ジグであり、X方向ステージ15とY方向ステージ14を傾斜ステージ11に固定する事ができる。試料ステージとして使用する時は外す。
次に、前記Y方向移動用モータ27とX方向移動用モータ32の拘束磁束発生を一時的に停止し、各々のモータに移動駆動信号が送られていない場合において、外力が加わると各モータの回転軸27R、32Rが回転する状態にしておく。
尚、本実施例では、X方向用ロータリーエンコーダ39、Y方向用ロータリーエンコーダ38を附属させ傾斜角度に対応するモータの回転量を求めてX方向テーブル43、Y方向テーブル42に記憶させたが、予め基準となる装置で測定した傾斜角に対するデータを、X方向テーブル43、Y方向テーブル42に記憶させるようにすれば、X方向用ロータリーエンコーダ39、Y方向用ロータリーエンコーダ38は不要である。
又、傾斜角度と移動量の関係をX方向テーブル43、Y方向テーブル42に記憶させたが、傾斜角度と送りネジの回転量の関係を記憶させるようにしてもよい。
又、傾斜ステージ11の傾斜によるX方向ステージ15、Y方向ステージ14、の補正動作に当たり傾斜ステージ11の傾斜動作中、該動作中の傾斜角度に合わせ逐次補正かける事により、傾斜移動中も電子ビーム照射位置ずれをなくす事が出来る。
尚、傾斜ステージの上に置載されたX、Yステージで説明したが、X、Yステージに限らず、傾斜ステージの上に置載され一方方向に移動可能なステージ(例えば回転ステージ、上下動ステージ等)を傾斜軸外から回転駆動によって移動させる機構を備えたステージであれば応用可能である。
Claims (3)
- 真空室、
該真空室内に設けられ試料を載置し回転する駆動軸により少なくとも一方向に移動可能な移動ステージ、
該移動ステージを載置し、傾斜軸を中心として回転させる事により試料傾斜を行う傾斜ステージ、
前記傾斜ステージを傾斜軸を中心として回転させるための傾斜ステージ用駆動機構、
及び前記真空室の前記傾斜軸と離れた位置に取り付けられ前記移動ステージの駆動軸と自在継ぎ手により接続される移動ステージ用駆動モータ、
を備えた荷電粒子ビーム装置の試料装置において、
前記傾斜用ステージの傾斜にかかわらず前記移動ステージが移動しないよう、前記傾斜用ステージの傾斜に関連させて前記移動ステージ用駆動モータを制御する制御手段を設けたことを特徴とする荷電粒子ビーム装置の試料装置。 - 前記ステージの傾斜角度を検出する手段と、前記傾斜ステージの傾斜により前記移動ステージが移動しないよう前記移動ステージ用駆動モータを制御する制御量と前記傾斜ステージの傾斜角度との関係を記憶する手段を備え、前記制御手段は、前記傾斜角度検出手段によって検出された傾斜角度に基づいて前記記憶手段から当該傾斜角度に応じた制御量を読み出し、読み出した制御量に基づいて前記移動ステージ用駆動モータを制御するようにしたことを特徴とする請求項1記載の荷電粒子ビーム装置の試料装置。
- 前記ステージの傾斜角度を指定する手段と、前記移動ステージが移動しないよう前記移動ステージ用駆動モータを制御する制御量と前記傾斜ステージの傾斜角度との関係を演算する手段を備え、前記制御手段は、前記傾斜角度指定手段によって指定された傾斜角度から制御量を演算し、演算により求めた制御量に基づいて前記移動ステージ用駆動モータを制御するようにしたことを特徴とする請求項1記載の荷電粒子ビーム装置の試料装置。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2008114005A JP5220469B2 (ja) | 2008-04-24 | 2008-04-24 | 荷電粒子ビーム装置の試料装置 |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2008114005A JP5220469B2 (ja) | 2008-04-24 | 2008-04-24 | 荷電粒子ビーム装置の試料装置 |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JP2009266564A JP2009266564A (ja) | 2009-11-12 |
JP5220469B2 true JP5220469B2 (ja) | 2013-06-26 |
Family
ID=41392144
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2008114005A Active JP5220469B2 (ja) | 2008-04-24 | 2008-04-24 | 荷電粒子ビーム装置の試料装置 |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JP5220469B2 (ja) |
Families Citing this family (1)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP5624815B2 (ja) * | 2010-07-02 | 2014-11-12 | 株式会社キーエンス | 拡大観察装置及び拡大観察方法 |
Family Cites Families (4)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPS587023B2 (ja) * | 1977-07-04 | 1983-02-08 | 日本電子株式会社 | ユ−セントリツクゴニオメ−タステ−ジ |
JPS59184442A (ja) * | 1983-04-04 | 1984-10-19 | Internatl Precision Inc | 電子線機器のゴニオメ−タステ−ジ |
JPS62208533A (ja) * | 1986-03-10 | 1987-09-12 | Toshiba Corp | 走査電子顕微鏡用試料ステ−ジ |
JP2828330B2 (ja) * | 1990-08-23 | 1998-11-25 | 日本電子株式会社 | 走査電子顕微鏡における試料装置 |
-
2008
- 2008-04-24 JP JP2008114005A patent/JP5220469B2/ja active Active
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
JP2009266564A (ja) | 2009-11-12 |
Similar Documents
Publication | Publication Date | Title |
---|---|---|
JP5145013B2 (ja) | 測量機 | |
US8353628B1 (en) | Method and system for tomographic projection correction | |
WO2013057998A1 (ja) | レーザ加工機 | |
JP4769828B2 (ja) | 荷電粒子ビーム装置 | |
JP5820020B2 (ja) | 電子線トモグラフィ法 | |
JP6049991B2 (ja) | 複合荷電粒子ビーム装置 | |
JP5202136B2 (ja) | 荷電粒子線装置 | |
WO2012169505A1 (ja) | ステージ装置およびステージ装置の制御方法 | |
JP5009126B2 (ja) | アトムプローブ用針状試料の加工方法及び集束イオンビーム装置 | |
JP5981744B2 (ja) | 試料観察方法、試料作製方法及び荷電粒子ビーム装置 | |
JP4607624B2 (ja) | 走査型電子顕微鏡 | |
JP5220469B2 (ja) | 荷電粒子ビーム装置の試料装置 | |
JP2012112790A (ja) | X線ct装置 | |
JP2019075286A (ja) | 電子顕微鏡および試料傾斜角の調整方法 | |
JP5952046B2 (ja) | 複合荷電粒子ビーム装置 | |
JP2007093495A (ja) | 撮像素子、及び光学機器測定装置 | |
JP6128333B2 (ja) | X線回折測定方法 | |
JP2007014608A (ja) | X線ct装置 | |
JP2019129210A (ja) | ステージ装置、及び処理装置 | |
JP5325531B2 (ja) | 荷電粒子線装置 | |
JPH08321274A (ja) | 電子顕微鏡のアクティブ除振装置 | |
JP5222091B2 (ja) | 荷電粒子線装置 | |
JP2011198581A (ja) | 複合荷電粒子加工観察装置 | |
JP6957002B2 (ja) | 荷電粒子ビーム装置 | |
JP2009212257A (ja) | ウエハーエッジ検査装置用ステージ |
Legal Events
Date | Code | Title | Description |
---|---|---|---|
A621 | Written request for application examination |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A621 Effective date: 20101216 |
|
A977 | Report on retrieval |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A971007 Effective date: 20120627 |
|
A131 | Notification of reasons for refusal |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A131 Effective date: 20120807 |
|
A521 | Request for written amendment filed |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523 Effective date: 20121009 |
|
TRDD | Decision of grant or rejection written | ||
A01 | Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A01 Effective date: 20130226 |
|
A61 | First payment of annual fees (during grant procedure) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A61 Effective date: 20130306 |
|
FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20160315 Year of fee payment: 3 |
|
R150 | Certificate of patent or registration of utility model |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R150 Ref document number: 5220469 Country of ref document: JP Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R150 |