JP2019075286A - 電子顕微鏡および試料傾斜角の調整方法 - Google Patents
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Abstract
Description
った。さらに、オペレータは、毎回、材料の種類や結晶方位をコンピュータに指示しなければならず、操作性が悪いという問題があった。
試料に電子線を照射する照射レンズ系と、
前記試料に入射する電子線を偏向させる照射系偏向器と、
前記試料を傾斜させる試料傾斜機構と、
前記試料を透過した電子で電子回折図形または電子顕微鏡像を結像させる結像レンズ系と、
前記結像レンズ系で結像された電子回折図形または電子顕微鏡像を取得する撮像装置と、
前記照射系偏向器および前記試料傾斜機構を制御する制御装置と、
を含み、
前記制御装置は、
前記照射系偏向器で前記試料に入射する電子線を偏向させることにより、前記試料に対する入射角が互いに異なる電子線で得られた複数の電子回折図形を取得する処理と、
複数の電子回折図形に基づいて、前記試料の傾斜角を算出する処理と、
算出された前記傾斜角となるように前記試料傾斜機構を制御する処理と、
を行う。
試料に電子線を照射する照射レンズ系と、前記試料に入射する電子線を偏向させる照射系偏向器と、前記試料を傾斜させる試料傾斜機構と、前記試料を透過した電子で電子回折図形または電子顕微鏡像を結像させる結像レンズ系と、前記結像レンズ系で結像された電子回折図形または電子顕微鏡像を取得する撮像装置と、を含む電子顕微鏡における試料傾斜角の調整方法であって、
前記照射系偏向器で前記試料に入射する電子線を偏向させることにより、前記試料に対する入射角が互いに異なる電子線で得られた複数の電子回折図形を取得する工程と、
複数の電子回折図形に基づいて、前記試料の傾斜角を算出する工程と、
算出された前記傾斜角となるように前記試料を傾斜させる工程と、
を含む。
取得するため、短時間で試料傾斜角の調整が可能である。したがって、このような試料傾斜角の調整方法では、容易に、試料傾斜角の調整を行うことができる。
まず、本実施形態に係る電子顕微鏡について図面を参照しながら説明する。図1は、本実施形態に係る電子顕微鏡100の構成を示す図である。
、X軸方向に関する入射角(傾斜角)αと、Y軸方向に関する入射角(傾斜角)βと、で表される。
を表示するものであり、その機能は、LCD(liquid crystal display)、CRT(cathode ray tube)などにより実現できる。
次に、本実施形態に係る試料傾斜角の調整方法について説明する。図3および図4は、電子回折図形の一例を示す図である。
対する入射角αが互いに異なる電子線で得られた複数の電子回折図形を取得する。
このようにして、試料Sに対する入射角βが互いに異なる電子線で得られた複数の電子回折図形を取得する。入射角βが互いに異なる電子線で得られた複数の電子回折図形を用いて、上述した入射角αが互いに異なる電子線で得られた複数の電子回折図形を用いて入射角BT1を算出した手法と同様の手法を用いて、Y軸方向における最適な入射角βである入射角BT2を算出する。
STy=BT2・cosθ+BT1・sinθ・・・(2)
入射角β=aβx+bβ
とができる。y軸方向についても同様である。
次に、電子顕微鏡100の動作について説明する。電子顕微鏡100では、自動で試料傾斜角の調整を行うことができる。図8は、本実施形態に係る電子顕微鏡100の制御装置34の処理の流れの一例を示すフローチャートである。
電子顕微鏡100は、例えば、以下の特徴を有する。
が行われる。したがって、電子顕微鏡100によれば、オペレータが電子回折の知識を有していなくても、試料傾斜角の調整が可能である。また、電子顕微鏡100によれば、試料の結晶方位に関連する情報等を登録する必要がなく、システムのスリム化を図ることができる。さらに、様々な結晶性試料に対応可能である。
なお、本発明は上述した実施形態に限定されず、本発明の要旨の範囲内で種々の変形実施が可能である。
まず、第1変形例について説明する。上述した実施形態に係る試料傾斜角の調整方法では、取得した複数の電子回折図形の各々について、電子回折スポット座標を算出し、電子回折スポット座標に基づき電子回折図形を円近似することにより、近似円の半径を算出し、算出された近似円の半径が最小となる入射角をフィッティングにより算出し、算出された入射角から、傾斜角を算出した。
行い、円の中心と半径を算出する。ここまでの工程は、上述した実施形態と同様に行われるため、詳細な説明は省略する。
次に、第2変形例について説明する。
のため、試料傾斜に伴う視野のずれを低減できる。
Claims (7)
- 試料に電子線を照射する照射レンズ系と、
前記試料に入射する電子線を偏向させる照射系偏向器と、
前記試料を傾斜させる試料傾斜機構と、
前記試料を透過した電子で電子回折図形または電子顕微鏡像を結像させる結像レンズ系と、
前記結像レンズ系で結像された電子回折図形または電子顕微鏡像を取得する撮像装置と、
前記照射系偏向器および前記試料傾斜機構を制御する制御装置と、
を含み、
前記制御装置は、
前記照射系偏向器で前記試料に入射する電子線を偏向させることにより、前記試料に対する入射角が互いに異なる電子線で得られた複数の電子回折図形を取得する処理と、
複数の電子回折図形に基づいて、前記試料の傾斜角を算出する処理と、
算出された前記傾斜角となるように前記試料傾斜機構を制御する処理と、
を行う、電子顕微鏡。 - 請求項1において、
前記傾斜角を算出する処理では、
取得した複数の電子回折図形の各々について、電子回折スポット座標を算出し、前記電子回折スポット座標に基づき、電子回折図形を円近似することにより、近似円の半径を算出し、
算出された近似円の半径が最小となる前記入射角をフィッティングにより算出し、
算出された前記入射角から、前記傾斜角を算出する、電子顕微鏡。 - 請求項1において、
前記傾斜角を算出する処理では、
取得した複数の電子回折図形の各々について、電子回折スポット座標を算出し、前記電子回折スポット座標に基づき電子回折図形を円近似することにより、近似円の中心座標を算出し、
算出された近似円の中心座標の軌跡を1次関数で近似し、
1次関数直線とダイレクトスポットの座標とが最短距離となる前記1次関数直線上の点を算出し、前記点を取る前記入射角を算出し、算出された前記入射角から前記傾斜角を算出する、電子顕微鏡。 - 請求項1ないし3のいずれか1項において、
前記試料を移動させる試料移動機構を含み、
前記制御装置は、
前記試料傾斜機構を制御する処理の前に、電子顕微鏡像を取得する処理と、
前記試料傾斜機構を制御する処理の後に、電子顕微鏡像を取得する処理と、
前記試料傾斜機構を制御する処理の前後に取得された電子顕微鏡像間の視野移動量を算出する処理と、
前記視野移動量に基づいて、前記試料傾斜機構を制御する処理の前に取得された電子顕微鏡像の視野と同じ視野となるように、前記試料移動機構を制御する処理と、
を行う、電子顕微鏡。 - 請求項1ないし4のいずれか1項において、
前記試料を透過した電子線を偏向させる結像系偏向器を含み、
前記制御装置は、
前記照射系偏向器で偏向させた電子線を、前記結像系偏向器で振り戻して、前記撮像装置に入射させる、電子顕微鏡。 - 請求項1ないし5のいずれか1項において、
前記試料傾斜機構は、2つの傾斜軸を有し、
前記照射系偏向器は、2つの傾斜軸を有し、
前記試料傾斜機構の2つの傾斜軸と、前記照射系偏向器の2つの傾斜軸とは、一致しておらず、
複数の電子回折図形を取得する処理では、前記試料傾斜機構の一方の傾斜軸まわりに前記試料を傾斜させたときと同じ電子回折図形が得られるように、前記照射系偏向器で電子線を偏向させた後、前記試料傾斜機構の他方の傾斜軸まわりに前記試料を傾斜させたときと同じ電子回折図形が得られるように、前記照射系偏向器で電子線を偏向させることにより、複数の電子回折図形を取得する、電子顕微鏡。 - 試料に電子線を照射する照射レンズ系と、前記試料に入射する電子線を偏向させる照射系偏向器と、前記試料を傾斜させる試料傾斜機構と、前記試料を透過した電子で電子回折図形または電子顕微鏡像を結像させる結像レンズ系と、前記結像レンズ系で結像された電子回折図形または電子顕微鏡像を取得する撮像装置と、を含む電子顕微鏡における試料傾斜角の調整方法であって、
前記照射系偏向器で前記試料に入射する電子線を偏向させることにより、前記試料に対する入射角が互いに異なる電子線で得られた複数の電子回折図形を取得する工程と、
複数の電子回折図形に基づいて、前記試料の傾斜角を算出する工程と、
算出された前記傾斜角となるように前記試料を傾斜させる工程と、
を含む、試料傾斜角の調整方法。
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