JP5296578B2 - 電子顕微鏡の自動試料傾斜装置 - Google Patents
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Description
(実施例1)
図1は本発明の一実施例を示す構成図である。図において、1は透過型電子顕微鏡(TEM)である。2は該TEM1内に設けられた電子を放出するための電子銃である。該電子銃2としては、例えば熱電子放出形や電界放出形などがある。3は試料、4は該試料3をその上に載せる試料台である。5は試料3の上部に形成された、電子銃2から放出された電子線を試料3に照射するための照射電子光学系、6は該試料3の下部に形成された、試料3を透過した電子線を多段の電子レンズと偏向器を用いて結像させる結像電子光学系である。
(実施例2)
図1記載の通り、電子銃2から放出された電子線を試料3に照射するための照射電子光学系5と、試料3をX方向(左右方向),Y方向(上下方向),Z方向(高さ方向)に移動させる試料移動機構7と、試料を直交する2軸で傾斜可能な試料傾斜機構8と、これら試料移動機構7及び試料傾斜機構8の動作を制御する制御装置(コンピュータ10)、試料3を透過した電子線を多段の電子レンズと偏光器を用いて結像する結像電子光学系6と、結像した像をCCDカメラなどの像取得装置9を用いて像信号化し、コンピュータ10のメモリ11などに記憶させる手段と、像信号を解析するコンピュータを少なくとも有する透過電子顕微鏡において、異なる試料傾斜角で複数の電子回折図形を解析することにより、目的の結晶方位に移動するために必要な前記試料傾斜機構8の傾斜方向及び傾斜角を算出するものである。
(実施例3)
図1を用いて実施例3を説明する。実施例1と実施例2では、2軸試料傾斜機構により試料傾斜角を変化させながら複数の電子回折図形を取得する。しかしながら、通常は試料傾斜軸中心と試料の観察視野が一致しないため、試料傾斜角を変化させた場合、試料の観察視野が移動する。
1)比較的厚い試料のようにきれいな電子回折スポットを得られがたい試料であっても、電子回折図形の2値化処理により電子回折スポットの抽出を行ない、回折スポットの中心座標を算出できるため、高精度で最適試料傾斜角を算出することができる。
2)電子回折図形の解析手法が単純であるため、解析時間がごく短時間であり、高速で最適試料傾斜角を算出することができる。そのため、強力な電子回折スポットによる像取得装置の損傷や蛍光板の焼き付きなどの事故を低減することができる。
3)結晶性試料の種類や方位を予め指定する必要がなく、オペレータは自動試料傾斜機構のボタンを押すだけでよく、特に電子回折の知識を有していなくても操作ができる。また、コンピュータには試料の結晶方位関連情報を登録する必要がなく、システムのスリム化を図れるだけでなく、様々な結晶性材料に対応可能となる。
4)実施例2の手法では、初回の試料傾斜軸の最適試料傾斜角を算出する際に、もう一方の試料傾斜軸の最適試料傾斜角が存在する方向が分かるため、試料傾斜角探索方向が限定され、より高精度に、かつより短時間で最適試料傾斜角を算出することができる。
5)試料傾斜による電子線の照射位置の移動量を予め補正データ又は補正計算式として用意しておくことにより、試料傾斜毎に試料の位置を補正し、試料の観察視野のズレを最小限に留めることができる。また、予め補正データを用意しておくことにより、試料傾斜角毎に試料の観察視野ズレを実際の像で移動量を評価する必要がなく、処理の高速化を実現することができる。
2 電子銃
3 試料
4 試料台
5 照射電子光学系
6 結像電子光学系
7 試料移動機構
8 試料傾斜機構
9 像取得装置
10 コンピュータ
11 像信号メモリ
12 像表示機構
13 解析部
14 試料位置補正部
Claims (3)
- 電子線を試料に照射する照射電子光学系と、
試料をX方向,Y方向,Z方向に移動させる試料移動機構と、
試料を直交する2軸で傾斜可能な試料傾斜機構と、
これら試料移動機構及び試料傾斜機構の動作を制御する制御装置と、
試料を透過した透過電子を多段の電子レンズと偏向器を用いて結像させる結像電子光学系と、
結像した像を像信号化する像取得手段と、
前記像信号を記憶する記憶手段と、
該記憶手段に記憶された像信号を読み出して解析するコンピュータと、
を少なくとも有する透過電子顕微鏡において、
前記コンピュータは、
試料傾斜軸別に、異なる複数の試料傾斜角で試料の現在の結晶方位で得られる電子回折図形を取得して前記記憶手段に記憶し、
取得した電子回折図形別に電子回折スポット座標を算出し、
電子回折スポット座標を基に、電子回折スポットを円近似することにより、近似円の中心と半径を算出し、
円の半径が最小となる試料傾斜角をフィッティングにより算出し、
その試料傾斜角を最適試料傾斜角とし、
前記制御装置は、
前記試料傾斜機構を用いて試料を前記最適試料傾斜角へ移動させる、
ことを特徴とする電子顕微鏡の自動試料傾斜装置。 - 電子線を試料に照射する照射電子光学系と、
試料をX方向,Y方向,Z方向に移動させる試料移動機構と、
試料を直交する2軸で傾斜可能な試料傾斜機構と、
これら試料移動機構及び試料傾斜機構の動作を制御する制御装置と、
試料を透過した透過電子を多段の電子レンズと偏向器を用いて結像させる結像電子光学系と、
結像した像を像信号化する像取得手段と、
前記像信号を記憶する記憶手段と、
該記憶手段に記憶された像信号を読み出して解析するコンピュータと、
を少なくとも有する透過電子顕微鏡において、
前記コンピュータは、
前記電子回折図形別に算出した近似円の中心座標の軌跡を1次関数で近似し、
1次関数直線とダイレクトスポット中心座標とが最短距離となる1次関数直線上の交点を算出し、
この交点を取りうる試料傾斜角を数学的に算出し、
その試料傾斜角を最適試料傾斜角とし、
前記制御装置は、
前記試料傾斜機構を用いて試料を前記最適試料傾斜角へ移動させる、
ことを特徴とする電子顕微鏡の自動試料傾斜装置。 - 試料傾斜角を変化させながら異なる複数の電子回折図形を取得する際、
試料傾斜により試料傾斜前の観察視野位置と試料傾斜後の観察視野位置との微小位置変化を補正するため、試料傾斜軸別に試料傾斜角変化に対する観察視野位置補正データ又は補正計算式を予め用意し、
試料傾斜角変化と同時に視野位置補正量を、前記試料移動機構を用いて補正することを特徴とする請求項1又は2記載の電子顕微鏡の自動試料傾斜装置。
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