JP7061192B2 - 荷電粒子線装置 - Google Patents
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Description
前記試料台を載置する可動ステージと、前記可動ステージを収容する試料室と、前記試料台に載置された試料からの信号を検出する検出器と、前記試料台及び前記試料を撮像するカメラと、前記カメラが撮像した画像から前記試料台及び前記試料の外形に関する外形情報を抽出する抽出手段と、前記外形情報に基づいて前記可動ステージを制御する制御部と、前記外形情報に関する画像を、前記カメラにより撮像された画像とともに表示する表示部とを備える。
第1の実施の形態に従う荷電粒子線装置100の概略構成を、図1を参照して説明する。この荷電粒子線装置100は、荷電粒子線を試料に照射するための電子光学系101と、その内部を真空状態に設定可能とされた試料室102と、試料から得られる信号(2次電子、1次電子、X線等)を検出する検出器103と、観察対象の試料104を載置するための試料台105と、試料台105を移動させ観察位置を変更するための可動ステージ106と、試料室102の内部を撮像するためのカメラ107と、カメラ107の画像を表示するモニタ109と、カメラ107の撮影画像を画像処理するためのプロセッサ110と、撮影画像データを管理するデータベース111と、制御部112とを有している。
次に、第2の実施の形態に従う荷電粒子線装置100を、図6A~図6Cを参照して説明する。この第2の実施の形態の荷電粒子線装置100の基本構成(図1~図3)は、第1の実施の形態と略同一であるので、以下では重複する説明は省略する。また、調整シーケンスの実行の基本的な手順も、第1の実施の形態(図4)と略同一である。この第2の実施の形態は、試料104の観察動作の途中において、試料104の検出領域が変わり、これにより観察すべき検出領域の高さ(Z方向の位置)が変わった場合の動作が第1の実施の形態と相違している。以下では、その相違点に関し説明する。
次に、第3の実施の形態に従う荷電粒子線装置100を、図7A~図7Cを参照して説明する。この第3の実施の形態の荷電粒子線装置100の基本構成(図1~図3)は、第1の実施の形態と略同一であるので、以下では重複する説明は省略する。また、調整シーケンスの実行の基本的な手順も、第1の実施の形態(図4)と略同一でよい。この第3の実施の形態は、可動ステージ106が傾斜動作(チルト)を実行可能に構成され、その傾斜角Tが変更可能な荷電粒子線装置に関するものである。そして、この第3の実施の形態では、傾斜動作が行われた場合においても可動ステージ106の調整シーケンスを実行可能に構成されている点で、前述の実施の形態と異なっている。また、モニタ109における表示も前述の実施の形態とは異なっている。
ユーザの操作、又は制御プログラムの命令に従って、可動ステージ106が傾斜回転軸701を中心に傾斜角Tだけ回転すると(回転半径D)、回転開始前に光軸O2上に位置していた検出点Pwは、回転後完了後には、光軸O2からは離れた検出点Pw'に移動する。この場合、回転前の検出点Pwと回転後の検出点Pw'との間の距離Hは、H=2D×sin(T/2)となる。
次に、第4の実施の形態に従う荷電粒子線装置100を、図8を参照して説明する。この第4の実施の形態の荷電粒子線装置100の基本構成(図1~図3)は、第1の実施の形態と略同一であるので、以下では重複する説明は省略する。また、調整シーケンスの実行の基本的な手順も、第1の実施の形態(図4)と略同一でよい。この第4の実施の形態は、可動ステージ106がZ軸(可動ステージ106の鉛直方向)を中心として回転し、その回転角Rを調整可能に構成されている。
ユーザは、第1の画像201を確認した後、可動ステージ106を回転させる指示を図示しない入力部から入力し、これにより、例えば可動ステージ106を回転角R(例えば180°)だけ回転させて、例えば図8Bの状態を得る。可動ステージ106の回転により、第1領域801は第2領域802と検出器103とを挟む位置から退避され、これにより第2領域802の観察が可能になる。このような可動ステージ106の回転動作により、第2領域802を観察可能な状態とする一方で、その後、前述の実施の形態と同様の調整シーケンスを実行することができる。
次に、第5の実施の形態に従う荷電粒子線装置100を、図9を参照して説明する。この第5の実施の形態の荷電粒子線装置100の基本構成(図1~図3)は、第1の実施の形態と略同一であるので、以下では重複する説明は省略する。また、調整シーケンスの実行の基本的な手順も、第1の実施の形態(図4)と略同一でよい。この第5の実施の形態は、図9に示すように、可動ステージ106の可動範囲を定義する可動範囲定義データ901を利用して可動ステージ106の制御を行うよう構成され、この点で前述の実施の形態と異なっている。可動範囲定義データ901は、例えばデータベース111に予め保持しておいてもよいし、第1の画像201又は第2の画像202から逐次演算により求めることも可能である。なお、可動範囲定義データ901は、検出器103の位置によっても変化し得る。
次に、第6の実施の形態に従う荷電粒子線装置100を、図10A及び図10Bを参照して説明する。この第6の実施の形態の荷電粒子線装置100の基本構成(図1~図3)は、第1の実施の形態と略同一であるので、以下では重複する説明は省略する。また、調整シーケンスの実行の基本的な手順も、第1の実施の形態(図4)と略同一である。この第6の実施の形態の荷電粒子線装置は、光学式のカメラ107に加え、図示しない別の光学式カメラにより、試料台105及び試料104を上方、すなわち電子光学系101の光軸と略平行な方向から撮像する。
Claims (14)
- 試料台に対し荷電粒子線を照射する電子光学系と、
前記試料台を載置する可動ステージと、
前記可動ステージを収容する試料室と、
前記試料台に載置された試料からの信号を検出する検出器と、
前記試料台及び前記試料を撮像するカメラと、
前記カメラが撮像した画像から前記試料台及び前記試料の外形に関する外形情報を抽出する抽出手段と、
前記外形情報に基づいて前記可動ステージを制御する制御部と、
前記外形情報に関する画像を、前記カメラにより撮像された画像とともに表示する表示部と
を備える荷電粒子線装置。 - 前記表示部は、前記外形情報に関する画像、及び前記カメラにより撮像された画像と共に、前記荷電粒子線の収束点の位置に関する画像を重ねて表示する、請求項1に記載の荷電粒子線装置。
- 前記外形情報に関する画像は、前記カメラにより撮像された画像において強調表示される、請求項1又は2に記載の荷電粒子線装置。
- 前記制御部は、前記収束点の位置に関する画像と、前記外形情報に関する画像とに基づいて前記可動ステージを制御する、請求項2に記載の荷電粒子線装置。
- 前記試料台は、前記可動ステージから着脱可能である、請求項1~4のいずれか1項に記載の荷電粒子線装置。
- 前記試料室の内部の画像を保持するデータベースを更に備え、
前記抽出手段は、前記カメラの画像と前記データベースの画像とを対比して前記外形情報を抽出する、請求項1に記載の荷電粒子線装置。 - 前記データベースは、前記試料と前記試料台が前記試料室に挿入されていない状態における前記試料室の画像を保持する、請求項6記載の荷電粒子線装置。
- 前記データベースは、前記試料室の内部の画像を複数保持し、
複数の前記試料室の内部の画像は、前記可動ステージの位置が互いに異なる、請求項6又は7に記載の荷電粒子線装置。 - 前記データベースは、前記試料室の内部の画像を複数保持し、
複数の前記試料室の内部の画像は、前記検出器の前記試料室への挿入の有無が互いに異なる、請求項6~8のいずれか1項に記載の荷電粒子線装置。 - 前記表示部は、前記試料の検出領域の高さが変動した場合に、その旨を示す情報を表示するよう構成された、請求項1~9のいずれか1項に記載の荷電粒子線装置。
- 前記可動ステージは、傾斜角を調整可能に構成され、
前記制御部は、前記傾斜角の調整によって生じた検出位置のズレを補正する制御を実行するよう構成された、請求項1~9のいずれか1項に記載の荷電粒子線装置。 - 前記可動ステージは、その鉛直方向を中心として回転可能に構成される、請求項1~9のいずれか1項に記載の荷電粒子線装置。
- 前記制御部は、前記可動ステージの可動範囲を定義する可動範囲定義データに基づき、前記可動ステージの制御を実行する、請求項1~9のいずれか1項に記載の荷電粒子線装置。
- 前記カメラは、前記試料室を前記可動ステージの表面に略水平な方向から撮影するとともに、前記可動ステージの表面に略垂直な方向から撮影する、請求項1~9のいずれか1項に記載の荷電粒子線装置。
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