JP6360620B2 - 荷電粒子線装置、荷電粒子線装置のアライメント方法、アライメントプログラム、及び記憶媒体 - Google Patents
荷電粒子線装置、荷電粒子線装置のアライメント方法、アライメントプログラム、及び記憶媒体 Download PDFInfo
- Publication number
- JP6360620B2 JP6360620B2 JP2017508917A JP2017508917A JP6360620B2 JP 6360620 B2 JP6360620 B2 JP 6360620B2 JP 2017508917 A JP2017508917 A JP 2017508917A JP 2017508917 A JP2017508917 A JP 2017508917A JP 6360620 B2 JP6360620 B2 JP 6360620B2
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- sample
- image
- charged particle
- particle beam
- captured image
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Active
Links
Images
Classifications
-
- H—ELECTRICITY
- H01—ELECTRIC ELEMENTS
- H01J—ELECTRIC DISCHARGE TUBES OR DISCHARGE LAMPS
- H01J37/00—Discharge tubes with provision for introducing objects or material to be exposed to the discharge, e.g. for the purpose of examination or processing thereof
- H01J37/26—Electron or ion microscopes; Electron or ion diffraction tubes
- H01J37/28—Electron or ion microscopes; Electron or ion diffraction tubes with scanning beams
-
- H—ELECTRICITY
- H01—ELECTRIC ELEMENTS
- H01J—ELECTRIC DISCHARGE TUBES OR DISCHARGE LAMPS
- H01J37/00—Discharge tubes with provision for introducing objects or material to be exposed to the discharge, e.g. for the purpose of examination or processing thereof
- H01J37/02—Details
- H01J37/04—Arrangements of electrodes and associated parts for generating or controlling the discharge, e.g. electron-optical arrangement, ion-optical arrangement
- H01J37/147—Arrangements for directing or deflecting the discharge along a desired path
- H01J37/1471—Arrangements for directing or deflecting the discharge along a desired path for centering, aligning or positioning of ray or beam
-
- H—ELECTRICITY
- H01—ELECTRIC ELEMENTS
- H01J—ELECTRIC DISCHARGE TUBES OR DISCHARGE LAMPS
- H01J37/00—Discharge tubes with provision for introducing objects or material to be exposed to the discharge, e.g. for the purpose of examination or processing thereof
- H01J37/02—Details
- H01J37/20—Means for supporting or positioning the objects or the material; Means for adjusting diaphragms or lenses associated with the support
-
- H—ELECTRICITY
- H01—ELECTRIC ELEMENTS
- H01J—ELECTRIC DISCHARGE TUBES OR DISCHARGE LAMPS
- H01J37/00—Discharge tubes with provision for introducing objects or material to be exposed to the discharge, e.g. for the purpose of examination or processing thereof
- H01J37/02—Details
- H01J37/22—Optical or photographic arrangements associated with the tube
-
- H—ELECTRICITY
- H01—ELECTRIC ELEMENTS
- H01J—ELECTRIC DISCHARGE TUBES OR DISCHARGE LAMPS
- H01J37/00—Discharge tubes with provision for introducing objects or material to be exposed to the discharge, e.g. for the purpose of examination or processing thereof
- H01J37/02—Details
- H01J37/24—Circuit arrangements not adapted to a particular application of the tube and not otherwise provided for
-
- H—ELECTRICITY
- H01—ELECTRIC ELEMENTS
- H01J—ELECTRIC DISCHARGE TUBES OR DISCHARGE LAMPS
- H01J2237/00—Discharge tubes exposing object to beam, e.g. for analysis treatment, etching, imaging
- H01J2237/15—Means for deflecting or directing discharge
- H01J2237/1501—Beam alignment means or procedures
-
- H—ELECTRICITY
- H01—ELECTRIC ELEMENTS
- H01J—ELECTRIC DISCHARGE TUBES OR DISCHARGE LAMPS
- H01J2237/00—Discharge tubes exposing object to beam, e.g. for analysis treatment, etching, imaging
- H01J2237/20—Positioning, supporting, modifying or maintaining the physical state of objects being observed or treated
- H01J2237/202—Movement
- H01J2237/20292—Means for position and/or orientation registration
-
- H—ELECTRICITY
- H01—ELECTRIC ELEMENTS
- H01J—ELECTRIC DISCHARGE TUBES OR DISCHARGE LAMPS
- H01J2237/00—Discharge tubes exposing object to beam, e.g. for analysis treatment, etching, imaging
- H01J2237/26—Electron or ion microscopes
- H01J2237/28—Scanning microscopes
- H01J2237/2813—Scanning microscopes characterised by the application
- H01J2237/2814—Measurement of surface topography
-
- H—ELECTRICITY
- H01—ELECTRIC ELEMENTS
- H01J—ELECTRIC DISCHARGE TUBES OR DISCHARGE LAMPS
- H01J2237/00—Discharge tubes exposing object to beam, e.g. for analysis treatment, etching, imaging
- H01J2237/26—Electron or ion microscopes
- H01J2237/28—Scanning microscopes
- H01J2237/2813—Scanning microscopes characterised by the application
- H01J2237/2814—Measurement of surface topography
- H01J2237/2816—Length
-
- H—ELECTRICITY
- H01—ELECTRIC ELEMENTS
- H01J—ELECTRIC DISCHARGE TUBES OR DISCHARGE LAMPS
- H01J2237/00—Discharge tubes exposing object to beam, e.g. for analysis treatment, etching, imaging
- H01J2237/26—Electron or ion microscopes
- H01J2237/282—Determination of microscope properties
- H01J2237/2826—Calibration
Landscapes
- Chemical & Material Sciences (AREA)
- Analytical Chemistry (AREA)
- Analysing Materials By The Use Of Radiation (AREA)
Description
図3は、第1の実施例に係る試料台像アライメントシーケンスの説明図である。
図4は、第2の実施例に係る試料台像アライメントシーケンスの説明図である。
図5は、第3の実施例に係る試料台像アライメントシーケンスの説明図である。
図6は、第4の実施例に係る試料台像アライメントシーケンスの説明図である。
図7は、第5の実施例に係る試料台像アライメントシーケンスの説明図である。
図8は、第6の実施例に係る試料台像アライメントシーケンスの説明図である。
図9は、第7の実施例に係る試料台像アライメントシーケンスの説明図である。
4 信号粒子、 5 試料、 6 試料台、 6A 載置面、
6B 取付部、 S 輪郭形状、 10 鏡筒、 11 電子銃、
12 電子光学系、 13 アノード、 14 コンデンサレンズ、
15 偏向器、 16 対物レンズ、 17 検出器、
20 試料室、 21 試料室筐体、 22 ステージ、
23 被取付部、 24 移動機構、 30 制御装置、
31 ステージ制御部、 32 信号処理部、 33 装置制御部、
34 コンピュータ部、 34A コンピュータ本体、
34B 操作入力機器、 34C 表示装置、 40 撮像装置、
41 取付台、 42 スタンド、 43 CCDカメラ、
44 被取付部、 60 GUI画面、 61 試料台像を含む光学像、
62 試料台像、 65 直線ガイド線、 66 接点、
67 交点、 68 三角形、 69 正方形(正多角形)、
70 ポインタ、 71 始点、 72 終点、
73 線分、
Claims (15)
- 荷電粒子線を放出する荷電粒子源と、
前記荷電粒子源からの荷電粒子線を試料に照射する荷電粒子光学系と、
試料が載置された試料台が収容される試料室と、
前記試料室内で前記試料台を保持するとともに、試料に対する前記荷電粒子光学系からの荷電粒子線の照射位置及び/又は照射方向を変化させるために、前記試料室内で試料を前記試料台ごと動かすステージと、
荷電粒子線の照射により前記試料台に載置された試料から発生する信号粒子を検出する検出器と、
前記検出器によって検出された信号粒子を基に、荷電粒子線が照射された試料上の観察範囲の観察像を生成する画像処理部と
を備えた荷電粒子線装置であって、
撮像装置によって取得された前記試料台の試料台像を含む撮像画像を表示する画像表示部と、
前記画像表示部に表示された撮像画像上において、試料台像の輪郭上の互いに離間して位置する点を指定することにより、測定基準ポイントを設定入力する操作入力部と、
前記操作入力部の操作で設定入力された複数の測定基準ポイント間の撮像画像上の距離に基づいて、当該撮像画像上における試料台像の大きさを演算する試料台像大きさ演算部と、
前記試料台像大きさ演算部によって算出された試料台像の大きさと、前記試料台の実際の大きさとから、当該撮像画像の撮像倍率を演算する撮像倍率演算部と
を備えることを特徴とする荷電粒子線装置。 - 請求項1に記載の荷電粒子線装置において、
試料が載置された前記試料台の、前記撮像倍率演算部で算出された撮像倍率と同倍率で取得された撮像画像上で、前記荷電粒子線を照射して観察像を取得する当該試料上の観察範囲を視野範囲として設定し、当該視野範囲に該当する試料上の観察範囲の観察像を取得する際、前記撮像倍率演算部で算出された撮像倍率を、荷電粒子線の照射位置に係る前記荷電粒子光学系及び/又は前記ステージのアライメントで使用する
ことを特徴とする荷電粒子線装置。 - 請求項1に記載の荷電粒子線装置において、
前記操作入力部の操作で設定入力される複数の測定基準ポイントは、前記画像表示部に表示された撮像画像中の試料台像の輪郭に外接若しくは内接する多角形の、それぞれ頂点になる
ことを特徴とする荷電粒子線装置。 - 請求項1に記載の荷電粒子線装置において、
測定基準ポイントは、前記画像表示部に撮像画像とともに表示され、互いの伸長方向が異なる複数の直線ガイド線を、前記操作入力部の操作に対応させて前記画像表示部の表示画面上でそれぞれ移動し、各直線ガイド線と撮像画像中の試料台像の輪郭との接点、又は互いの組み合わせが異なる2つの直線ガイド線と撮像画像中の試料台像の輪郭との交点を指定することによって設定入力される
ことを特徴とする荷電粒子線装置。 - 請求項4に記載の荷電粒子線装置において、
互いの伸長方向が異なる前記複数の直線ガイド線が、前記画像表示部の表示画面上で平行移動可能な複数の平行移動直線ガイド線である、又は、前記画像表示部の表示画面上で平行移動可能な少なくとも1つの平行移動直線ガイド線と前記画像表示部の表示画面上で傾倒変位可能な残りの傾倒変位直線ガイド線との組み合わせである
ことを特徴とする荷電粒子線装置。 - 請求項1に記載の荷電粒子線装置において、
測定基準ポイントは、試料台像を含む撮像画像が表示された前記画像表示部の表示画面上で、試料台像の輪郭上に前記操作入力部の操作により直接プロットすることによって設定入力される
ことを特徴とする荷電粒子線装置。 - 請求項6に記載の荷電粒子線装置において、
試料台像を含む撮像画像が表示された前記画像表示部の表示画面上には、既に設定入力された測定基準ポイントが表示され、一対の測定基準ポイントが設定されると、当該一対の測定基準ポイント間を結ぶ直線を斜辺又は対角線とする直角三角形又は長方形の残りの頂点がガイド表示される
ことを特徴とする荷電粒子線装置。 - 撮像装置によって取得された試料の撮像画像上で、荷電粒子線装置によって観察像を取得する当該試料上の観察範囲を視野範囲として設定する視野範囲設定ステップ、
前記荷電粒子線装置によって当該視野範囲に該当する試料上の観察範囲に荷電粒子線を照射して試料の観察像を取得する際、当該視野範囲の設定に用いられた撮像画像の前記撮像装置による撮像倍率を、荷電粒子線の照射位置のアライメントで使用するアライメントステップ
を含む荷電粒子線装置のアライメント方法であって、さらに、
前記撮像装置によって取得された、試料を載置する試料台の試料台像を含む撮像画像を、画像表示部に表示する試料台像表示ステップ、
前記試料台像表示ステップにより前記画像表示部に表示された撮像画像上において、試料台像の輪郭上の互いに離間して位置する点を操作入力部の操作に基づいて指定することにより、測定基準ポイントを設定入力する操作設定ステップ、
前記操作設定ステップにより設定入力された複数の測定基準ポイント間の撮像画像上の距離に基づいて、当該撮像画像上における試料台像の大きさを演算する試料台像大きさ演算ステップ、
前記試料台像大きさ演算ステップによって算出された試料台像の大きさと、前記試料台の実際の大きさとから、当該撮像画像の撮像倍率を演算する撮像倍率演算ステップ
を含むことを特徴とする荷電粒子線装置のアライメント方法。 - 請求項8に記載の荷電粒子線装置のアライメント方法において、
前記操作設定ステップでは、前記操作入力部の操作で設定入力される複数の測定基準ポイントは、前記画像表示部に表示された撮像画像中の試料台像の輪郭に外接若しくは内接する多角形の、それぞれ頂点になる
ことを特徴とする荷電粒子線装置のアライメント方法。 - 請求項8に記載の荷電粒子線装置のアライメント方法において、
前記操作設定ステップでは、前記画像表示部に撮像画像とともに表示され、互いの伸長方向が異なる複数の直線ガイド線を、前記操作入力部の操作に対応させて前記画像表示部の表示画面上でそれぞれ移動し、各直線ガイド線と撮像画像中の試料台像の輪郭との接点、又は互いの組み合わせが異なる2つの直線ガイド線と撮像画像中の試料台像の輪郭との交点を指定することによって、測定基準ポイントが設定入力される
ことを特徴とする荷電粒子線装置のアライメント方法。 - 請求項10に記載の荷電粒子線装置のアライメント方法において、
互いの伸長方向が異なる前記複数の直線ガイド線が、前記画像表示部の表示画面上で平行移動可能な複数の平行移動直線ガイド線である、又は、前記画像表示部の表示画面上で平行移動可能な少なくとも1つの平行移動直線ガイド線と前記画像表示部の表示画面上で傾倒変位可能な残りの傾倒変位直線ガイド線との組み合わせである
ことを特徴とする荷電粒子線装置。 - 請求項8に記載の荷電粒子線装置のアライメント方法において、
前記操作設定ステップでは、試料台像を含む撮像画像が表示された前記画像表示部の表示画面上で、試料台像の輪郭上に前記操作入力部の操作により直接プロットすることによって、測定基準ポイントが設定入力される
ことを特徴とする荷電粒子線装置のアライメント方法。 - 請求項12に記載の荷電粒子線装置のアライメント方法において、
試料台像を含む撮像画像が表示された前記画像表示部の表示画面上には、既に設定入力された測定基準ポイントが表示され、一対の測定基準ポイントが設定されると、当該一対の測定基準ポイント間を結ぶ直線を斜辺又は対角線とする直角三角形又は長方形の残りの頂点がガイド表示される
ことを特徴とする荷電粒子線装置のアライメント方法。 - コンピュータに、
撮像装置によって取得された、試料を載置する試料台の試料台像を含む撮像画像を、画像表示部に表示する試料台像表示ステップ、
前記試料台像表示ステップにより前記画像表示部に表示された撮像画像上において、試料台像の輪郭上の互いに離間して位置する点を操作入力部の操作に基づいて指定することにより、測定基準ポイントを設定入力する操作設定ステップ、
前記操作設定ステップにより設定入力された複数の測定基準ポイント間の撮像画像上の距離に基づいて、当該撮像画像上における試料台像の大きさを演算する試料台像大きさ演算ステップ、
前記試料台像大きさ演算ステップによって算出された試料台像の大きさと、前記試料台の実際の大きさとから、当該撮像画像の撮像倍率を演算する撮像倍率演算ステップ、
を実行させるための荷電粒子線装置のアライメントプログラム。 - 請求項14に記載のアライメントプログラムを記録したコンピュータ読み取り可能な記録媒体。
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
PCT/JP2015/060098 WO2016157403A1 (ja) | 2015-03-31 | 2015-03-31 | 荷電粒子線装置、荷電粒子線装置のアライメント方法、アライメントプログラム、及び記憶媒体 |
Publications (3)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JPWO2016157403A6 JPWO2016157403A6 (ja) | 2017-12-28 |
JPWO2016157403A1 JPWO2016157403A1 (ja) | 2017-12-28 |
JP6360620B2 true JP6360620B2 (ja) | 2018-07-18 |
Family
ID=57004007
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2017508917A Active JP6360620B2 (ja) | 2015-03-31 | 2015-03-31 | 荷電粒子線装置、荷電粒子線装置のアライメント方法、アライメントプログラム、及び記憶媒体 |
Country Status (4)
Country | Link |
---|---|
US (1) | US10312053B2 (ja) |
JP (1) | JP6360620B2 (ja) |
DE (1) | DE112015006181B4 (ja) |
WO (1) | WO2016157403A1 (ja) |
Families Citing this family (3)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
DE112016003308B4 (de) | 2015-08-21 | 2022-09-29 | Hitachi High-Tech Corporation | Gerät mit einem Strahl geladener Partikel und Ausrichtungseinstellungsverfahren einer Probenplattform |
CN110337707B (zh) * | 2017-02-13 | 2021-09-28 | 株式会社日立高新技术 | 带电粒子线装置 |
CN111902916B (zh) * | 2019-03-06 | 2023-07-21 | 株式会社日立高新技术 | 等离子体处理装置以及等离子体处理方法、ecr高度监视器 |
Family Cites Families (7)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPH11297794A (ja) * | 1998-04-09 | 1999-10-29 | Jeol Ltd | ウエハアライメント方法 |
JP2006173038A (ja) | 2004-12-20 | 2006-06-29 | Hitachi High-Technologies Corp | 荷電粒子線装置、試料像表示方法及びイメージシフト感度計測方法 |
JP4959381B2 (ja) | 2007-03-02 | 2012-06-20 | 株式会社日立ハイテクノロジーズ | パターン測定方法、及び電子顕微鏡 |
JP5205306B2 (ja) | 2009-02-27 | 2013-06-05 | 株式会社日立ハイテクノロジーズ | 走査型電子顕微鏡 |
JP5941704B2 (ja) | 2012-02-28 | 2016-06-29 | 株式会社日立ハイテクノロジーズ | パターン寸法測定装置、及びコンピュータプログラム |
JP6226781B2 (ja) | 2013-03-27 | 2017-11-08 | 株式会社日立ハイテクサイエンス | 集束イオンビーム装置、それを用いた試料の加工方法、及び集束イオンビーム加工用コンピュータプログラム |
JP5464535B1 (ja) * | 2013-07-23 | 2014-04-09 | 株式会社日立ハイテクノロジーズ | Ebsd検出器で所望箇所を容易に分析できる荷電粒子線装置およびその制御方法 |
-
2015
- 2015-03-31 US US15/556,400 patent/US10312053B2/en active Active
- 2015-03-31 WO PCT/JP2015/060098 patent/WO2016157403A1/ja active Application Filing
- 2015-03-31 DE DE112015006181.9T patent/DE112015006181B4/de active Active
- 2015-03-31 JP JP2017508917A patent/JP6360620B2/ja active Active
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
DE112015006181T5 (de) | 2017-11-02 |
DE112015006181B4 (de) | 2022-08-18 |
WO2016157403A1 (ja) | 2016-10-06 |
JPWO2016157403A1 (ja) | 2017-12-28 |
US10312053B2 (en) | 2019-06-04 |
US20180108512A1 (en) | 2018-04-19 |
Similar Documents
Publication | Publication Date | Title |
---|---|---|
US9129773B2 (en) | Charged particle beam apparatus | |
JP5066056B2 (ja) | 試料観察方法、及び電子顕微鏡 | |
JP6659290B2 (ja) | 試料位置合わせ方法および荷電粒子ビーム装置 | |
JP5464535B1 (ja) | Ebsd検出器で所望箇所を容易に分析できる荷電粒子線装置およびその制御方法 | |
JP2013171425A (ja) | 画像処理装置 | |
JP6783124B2 (ja) | 走査透過電子顕微鏡および画像生成方法 | |
JP6360620B2 (ja) | 荷電粒子線装置、荷電粒子線装置のアライメント方法、アライメントプログラム、及び記憶媒体 | |
JPWO2016157403A6 (ja) | 荷電粒子線装置、荷電粒子線装置のアライメント方法、アライメントプログラム、及び記憶媒体 | |
JP2012138219A (ja) | 試料ステージ装置、及び電子線装置 | |
JP2014163892A (ja) | レーザ計測システム | |
WO2020026422A1 (ja) | 荷電粒子線装置 | |
JP2022506170A (ja) | サンプル領域を画像化するための顕微鏡システムおよび相応する方法 | |
WO2019215861A1 (ja) | 撮像装置 | |
JP7059439B2 (ja) | 荷電粒子線装置 | |
CN108292578B (zh) | 带电粒子射线装置、使用带电粒子射线装置的观察方法及程序 | |
JP6706956B2 (ja) | 分析装置 | |
JP2011076960A (ja) | 電子顕微鏡における薄膜試料位置認識装置 | |
JP6783071B2 (ja) | 荷電粒子線装置 | |
KR20230015441A (ko) | 하전 입자선 장치 및 그것을 사용하는 시료 관찰 방법 | |
JP2005123018A (ja) | 画像表示方法及び画像表示装置 | |
JP2018088320A (ja) | 軸合わせ方法および電子顕微鏡 | |
JP2018072269A (ja) | 画像測定装置 |
Legal Events
Date | Code | Title | Description |
---|---|---|---|
A621 | Written request for application examination |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A621 Effective date: 20170911 |
|
TRDD | Decision of grant or rejection written | ||
A01 | Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A01 Effective date: 20180605 |
|
A61 | First payment of annual fees (during grant procedure) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A61 Effective date: 20180622 |
|
R150 | Certificate of patent or registration of utility model |
Ref document number: 6360620 Country of ref document: JP Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R150 |
|
S531 | Written request for registration of change of domicile |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R313531 |
|
S533 | Written request for registration of change of name |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R313533 |
|
R350 | Written notification of registration of transfer |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R350 |