DE112015006181B4

DE112015006181B4 - Ladungsträgerstrahlvorrichtung, Ausrichtungsverfahren für die Ladungsträgerstrahlvorrichtung, Ausrichtungsprogramm und Speichermedium

Info

Publication number: DE112015006181B4
Application number: DE112015006181.9T
Authority: DE
Inventors: Kazuki ISHIZAWA; Hiroyuki Chiba; Yoshihiro Takahoko; Daichi Nara
Original assignee: Hitachi High Tech Corp
Current assignee: Hitachi High Tech Corp
Priority date: 2015-03-31
Filing date: 2015-03-31
Publication date: 2022-08-18
Anticipated expiration: 2035-04-01
Also published as: DE112015006181T5; US20180108512A1; US10312053B2; JP6360620B2; WO2016157403A1; JPWO2016157403A1

Abstract

Ladungsträgerstrahlvorrichtung, die umfasst:eine Ladungsträgerquelle (11), die einen Ladungsträgerstrahl (3) emittiert;ein optisches System für Ladungsträger (12), das eine Probe (5) mit dem Ladungsträgerstrahl (3) aus der Ladungsträgerquelle (11) bestrahlt;eine Probenkammer (20), in der ein Probentisch (6), auf dem die Probe (5) angeordnet ist, aufgenommen ist;eine Plattform (22), die den Probentisch (6) innerhalb der Probenkammer (20) hält und die Probe (5) zusammen mit dem Probentisch (6) innerhalb der Probenkammer (20) bewegt, um eine Bestrahlungsposition und/oder eine Bestrahlungsrichtung des Ladungsträgerstrahls (3) aus dem optischen System für Ladungsträger (12) in Bezug auf die Probe (5) zu ändern;einen Detektor (17), der Signalteilchen detektiert, die aus der auf dem Probentisch (6) angeordneten Probe (5) durch Bestrahlung mit dem Ladungsträgerstrahl (3) erzeugt werden;einen Bildverarbeitungsabschnitt, der ein Beobachtungsbild eines Beobachtungsbereichs auf der mit dem Ladungsträgerstrahl (3) bestrahlten Probe (5) auf der Basis der von dem Detektor (17) detektierten Signalteilchen erzeugt;einen Bildanzeigeabschnitt, der ein aufgenommenes Bild, das ein Probentischbild (62) des erfassten Probentisches (6) enthält, von einer Abbildungseinrichtung anzeigt;einen Bedienungseingabeabschnitt, der einen Messreferenzpunkt setzt und eingibt, indem Punkte, die voneinander entfernt positioniert sind, auf einer Kontur des Probentischbildes (62) auf einem aufgenommenen Bild, das auf dem Bildanzeigeabschnitt angezeigt wird, festgelegt werden;einen Probentischbild-Größenberechnungsabschnitt, der eine Größe des Probentischbildes (62) auf dem aufgenommenen Bild auf der Basis eines Abstands auf dem aufgenommenen Bild zwischen mehreren Messreferenzpunkten, die durch eine Bedienung des Bedienungseingabeabschnitts gesetzt und eingegeben werden, berechnet; undeinen Abbildungsvergrößerungs-Berechnungsabschnitt, der eine Abbildungsvergrößerung des aufgenommenen Bildes aus einer Größe des Probentischbildes (62), die durch den Probentischbild-Größenberechnungsabschnitt berechnet wird, und einer tatsächlichen Größe des Probentisches (6) berechnet.

Description

Technisches Gebiet
Die vorliegende Erfindung bezieht sich auf eine Ladungsträgerstrahlvorrichtung wie etwa ein Rasterelektronenmikroskop und insbesondere auf ein Suchen nach einem Sichtfeld.
Stand der Technik
Normalerweise wird das Suchen nach einem Sichtfeld in einer Ladungsträgerstrahlvorrichtung, die eine Abbildungseinrichtung enthält, durchgeführt, indem ein aufgenommenes Bild einer Probe, die auf einem Probentisch angeordnet ist, durch eine Abbildungseinrichtung erfasst wird und eine Position oder ein Bereich auf der Probe, die beobachtet werden soll, indem sie durch die Ladungsträgerstrahlvorrichtung mit einem Elektronenstrahl bestrahlt wird, als ein Sichtfeldbereich innerhalb eines erfassten aufgenommenen Bildes des Probentisches und der Probe ausgewählt wird. In der Ladungsträgerstrahlvorrichtung wird ein Beobachtungsbereich auf der Probe, der mit einem Ladungsträgerstrahl bestrahlt wird, aus Daten des aufgenommenen Bildes, die sich auf den ausgewählten Sichtfeldbereich beziehen, eingestellt und es wird ein Beobachtungsbild, das sich auf den Sichtfeldbereich der Probe bezieht, durch Bestrahlen des Beobachtungsbereichs mit dem Ladungsträgerstrahl erhalten.
Bei dem Suchen nach dem Sichtfeld wird die Erfassung des aufgenommenen Bildes des Probentisches und der Probe durch die Abbildungseinrichtung durch geeignetes Vergrößern/Verkleinern des Probentisches, auf dem die Probe platziert ist, durchgeführt, um den Probentisch abzubilden. Die Auswahl des Sichtfeldbereichs erfolgt durch Spezifizieren einer gewünschten Position und eines gewünschten Bereichs auf dem aufgenommenen Bild, das von einer Anzeigeeinrichtung angezeigt wird. Daher ist es in einem Fall, in dem die Abbildungseinrichtung oder das aufgenommene Bild, deren/dessen Vergrößerungsfaktor unbekannt ist, zur Auswahl des Sichtfeldbereichs verwendet wird, um den Beobachtungsbereich auf der Probe, der mit dem Ladungsträgerstrahl bestrahlt wird, aus dem ausgewählten Sichtfeldbereich Betrachtung zu erfassen, notwendig, eine Abbildungsvergrößerung des aufgenommenen Bildes, das erfasst wird, indem es entsprechend vergrößert/verkleinert wird, zu spezifizieren.
Um die Abbildungsvergrößerung des aufgenommenen Bildes des Probentisches und der Probe, die von der Abbildungseinrichtung erfasst werden, zu spezifizieren, wird daher in einem in dem Patent PTL 1 offenbarten Rasterelektronenmikroskop eine Anpassungsführung für die Probentischerkennung mit der gleichen Form wie der des Probentisches in einem optischen Bild auf einem Anzeigebildschirm angezeigt, auf dem ein optisches Bild des Probentisches und der Probe der Anzeigeeinrichtung, die durch eine optische Abbildungseinrichtung abgebildet werden, angezeigt wird, um eine Größe des Probentisches in dem optischen Bild zu identifizieren, und die Anpassungsführung wird auf dem Bildschirm vergrößert/verkleinert/verschoben, um sie mit dem optischen Bild des Probentisches auf dem Bildschirm zusammenfallen zu lassen, wodurch die Größe und eine Mittenposition des Probentisches auf dem optischen Bild erkannt wird. Der Vergrößerungsfaktor des optischen Bildes, das durch die optische Abbildungseinrichtung erfasst wird, und die Mittenposition des Probentisches auf dem optischen Bild werden auf der Basis einer Entsprechung zwischen der Größe des erkannten optischen Bildes des Probentisches auf dem Anzeigebildschirm und einer tatsächlichen Größe des Probentisches, die im Voraus gespeichert worden ist, berechnet und werden bei der Ausrichtung verwendet, wenn durch die Ladungsträgerstrahlvorrichtung beobachtet wird.
Entgegenhaltungsliste
Patentdokument(e)

PTL 1: JP 2010 - 198 998 A
PTL 2: US 2015/ 0 041 649 A1
PTL 3: US 2014 / 0 291 512 A1
PTL 4: US 2008 / 0 210 865 A1
PTL 5: US 2006/ 0 219 907 A1

Zusammenfassung der Erfindung
Technisches Problem
In dem Patent PTL 1 wird zum Erkennen der Größe und der Mittenposition des Probentisches auf dem optischen Bild die Anpassungsführung zur Erkennung des Probentisches auf dem Anzeigebildschirm des optischen Bildes in der Anzeigeeinrichtung vergrößert/verkleinert/verschoben und es ist notwendig, zwei Parameter, einen Durchmesser (Größe der Anpassungsführung) und die Mittenposition der Anpassungsführung, einzustellen, um auf dem optischen Bild die Anpassungsführung mit dem Probentisch zusammenfallen zu lassen.
PTL 2 zeigt ein Messgerät zur Messung von Musterabmessungen, das eine Abmessung eines Musters misst, das auf einer Probe oder zwischen verschiedenen Mustern unter Verwendung eines aufgenommenen Bildes gebildet wurde, umfassend: eine arithmetische Vorrichtung, die ein Sichtfeld unter Bezugnahme auf ein erstes Muster bewegt, das auf der Probe auf der Basis vorbestimmter Informationen zur ersten Entfernung gebildet wird, ein erstes Bild erfasst, eine Vorlagenübereinstimmung unter Verwendung des ersten Bildes und einer übereinstimmenden Vorlage ausführt und einen Abstand zwischen einem zweiten Muster berechnet, das in dem ersten Bild enthalten ist, auf der Basis von Informationen über den zweiten Abstand, die durch die Schablonenanpassung erhalten wurden, und den Informationen über den ersten Abstand.
PTL 3 zeigt Vorrichtung mit fokussiertem lonenstrahl, umfassend: einen Probentisch, der konfiguriert ist, um eine Probe zu platzieren, die ein Arbeitsziel darauf ist, und der einen Bewegungsmechanismus umfasst, der konfiguriert ist, um einen Ort der Probe zu bewegen; einen Emissionsmechanismus für fokussierte lonenstrahlen, der konfiguriert ist, um einen fokussierten lonenstrahl an die Probe zu emittieren; einen Detektor, der konfiguriert ist, um sekundär geladene Teilchen zu erfassen, die mit der Emission des fokussierten lonenstrahls auf die Probe erzeugt werden; eine Bilderzeugungseinheit, die konfiguriert ist, um ein Probenbild zu erzeugen, einschließlich auf der Probe gebildeter Ortserfassungsmarkierungen, basierend auf Erfassungsdaten des Detektors; eine Anzeigeeinheit, die konfiguriert ist, um das Beispielbild anzuzeigen; und eine Steuereinheit die in einem Fall des Bewegens des Probentisches und des Durchführens des Arbeitens durch Emittieren des fokussierten lonenstrahls zu einem Arbeitsbereich, der außerhalb eines Anzeigebereichs der Anzeigeeinheit liegt, konfiguriert ist, zum: Erfassen eines Orts von Ortserkennungsmarkierungen, die in dem Probenbild nach der Bewegung des Probentisches als Referenzmarke enthalten sind, anhand der Ortserkennungsmarken, die in dem Probenbild vor der Bewegung des Probentisches enthalten sind; Erfassen einer Position der Referenzmarke in dem Probenbild nach der Bewegung des Probentisches; und Steuern eines Emissionsorts des fokussierten lonenstrahls basierend auf der Referenzmarke.
PTL 4 zeigt Bildverarbeitungsverfahren zum Analysieren eines Fluoreszenz-insitu-Hybridisierungsbildes einer fluoreszenzhybridisierten Probe unter Verwendung eines Mikroskopsystems mit einer fluoreszenzanregenden Lichtquelle und einer elektronischen Abbildungsvorrichtung, wobei das Verfahren die Schritte umfasst: Beleuchten der Probe mit fluoreszenzanregender Beleuchtung; Einstellen der Belichtungsparameter der elektronischen Abbildungsvorrichtung zum Erfassen eines Bildes der Probe in einer Schärfentiefe innerhalb eines beleuchteten Feldes; Aufzählen von interessierenden Objekten in einem aufgenommenen Bild der Probe; Identifizieren eines Kerns in dem Bild; Segmentieren eines Kerns in dem Bild; Zählen und Charakterisieren eines Fluoreszenzsignals, das innerhalb des Kerns auftritt; und Interpretation und Berichterstattung der Ergebnisse. PTL 5 zeigt Vorrichtung für geladene Teilchenstrahlen, umfassend: eine geladene Teilchenstrahlquelle; ein Linsensystem zum Konvergieren eines primären geladenen Teilchenstrahls, der von der geladenen Teilchenstrahlquelle bestrahlt wird; eine Detektoreinheit zum Erfassen eines Signals, das von einer Probe durch den bestrahlten primär geladenen Teilchenstrahl erzeugt wird; eine Anzeigeeinheit zum Anzeigen eines vergrößerten Bildes der Probe unter Verwendung eines Ausgangssignals des Detektors; eine Bildverschiebungs-Deflektoreinheit zum Bewegen eines Gesichtsfeldes des vergrößerten Bildes durch Bewegen eines bestrahlten Bereichs des primären geladenen Teilchenstrahls; und eine Steuereinheit zum Vergleichen mehrerer Bilder mit unterschiedlichen Bildverschiebungsbeträgen, die durch den Bildverschiebungsdeflektor erhalten werden, sowie zum Messen einer Betriebsempfindlichkeit des Bildverschiebungsdeflektors.
Um jedoch die Größe und die Mittenposition des Probentisches auf dem von der optischen Abbildungseinrichtung erfassten optischen Bild genau zu erkennen, besteht ein Problem darin, dass es notwendig ist, eine wechselseitige Anpassung von zwei Parametern, einer Größe und einer Mittenposition einer Erkennungsführung, nacheinander auf dem Bildschirm des optischen Bildes in der Anzeigeeinrichtung zu wiederholen. Beispielsweise wird dann, wenn die Größe des Probentisches angepasst wird, die Mittenposition verschoben. Andererseits wird dann, wenn die Mittenposition angepasst wird, die Größe des Probentisches verschoben. Daher ist es notwendig, zwei Parameter einen nach dem anderen wechselseitig und wiederholt anzupassen.
Außerdem wird eine Bestätigung, ob die Anpassungsführung zur Erkennung des Probentisches nach der Anpassung mit dem Probentisch des optischen Bildes auf dem Anzeigeschirm zusammenfällt oder nicht, auch durch eine visuelle Bestätigung eines Anwenders, ob die Konturen der beiden als in allen Bereichen überlappend angezeigt werden oder nicht, durchgeführt. In der überlappenden Anzeige aller Bereiche ist eine Kontur durch die andere Kontur verborgen, so dass eine genaue Bestätigung Geschick erfordert und auch ein Problem dahingehend besteht, dass ein Bestätigungsgenauigkeitsfehler des Zusammenfallens wahrscheinlich ist.
Eine Aufgabe der Erfindung besteht darin, eine sich wiederholende Arbeiten beim Erkennen einer Größe und einer Mittenposition eines Probentisches zu beseitigen, die Arbeitszeit für eine Anwenderbedienung zu verringern und eine Spezifikation eines Vergrößerungsfaktors einer Abbildungseinrichtung und eine Erkennung einer Mittenposition des Probentisches schnell und einfach mit höherer Genauigkeit durchzuführen.
Lösung für Problem
Die vorliegende Erfindung bezieht sich beispielsweise auf eine Ladungsträgerstrahlvorrichtung, die umfasst: einen Bildanzeigeabschnitt, der ein aufgenommenes Bild, das ein Probentischbild des erfassten Probentisches enthält, durch eine Abbildungseinrichtung anzeigt; einen Bedienungseingabeabschnitt, der einen Messreferenzpunkt auf einem aufgenommenen Bild, das auf dem Bildanzeigeabschnitt angezeigt wird, setzt und eingibt, indem voneinander entfernt angeordnete Punkte auf einer Kontur des Probentischbildes festgelegt werden;
einen Probentischbild-Größenberechnungsabschnitt, der eine Größe des Probentischbildes auf dem aufgenommenen Bild auf der Basis eines Abstands auf dem aufgenommenen Bild zwischen mehreren Messreferenzpunkten, die durch eine Bedienung des Bedienungseingabeabschnitts gesetzt und eingegeben werden, berechnet; und einen Abbildungsvergrößerungs-Berechnungsabschnitt, der eine Abbildungsvergrößerung des aufgenommenen Bildes aus einer Größe des Probentischbildes, die durch den Probentischbild-Größenberechnungsabschnitt berechnet wird, und einer tatsächlichen Größe des Probentisches berechnet.
Darüber hinaus bezieht sich die vorliegende Erfindung beispielsweise auf ein Ausrichtungsverfahren für eine Ladungsträgerstrahlvorrichtung, wobei das Verfahren umfasst: einen Probentischbild-Anzeigeschritt zum Anzeigen eines aufgenommenen Bildes, das ein Probentischbild eines Probentisches, auf dem eine Probe angeordnet ist, die durch eine Abbildungseinrichtung auf einem Bildanzeigeabschnitt erfasst wird; einen Bedienungseinstellungsschritt zum Setzen und Eingeben eines Messreferenzpunktes durch Bestimmen von Punkten, die voneinander entfernt angeordnet sind, auf einer Kontur des Probentischbildes basierend auf einer Bedienung eines Bedienungseingabeabschnitts auf dem aufgenommenen Bild, das auf dem Bildanzeigeabschnitt durch den Probentischbild-Anzeigeschritt angezeigt wird; einen Probentischbild-Größenberechnungsschritt zum Berechnen einer Größe des Probentischbildes auf dem aufgenommenen Bild auf der Basis eines Abstands auf dem aufgenommenen Bild zwischen mehreren Messreferenzpunkten, die durch den Bedienungseinstellungsschritt gesetzt und eingegeben werden; und einen Abbildungsvergrößerungs-Berechnungsschritt zum Berechnen einer Abbildungsvergrößerung des aufgenommenen Bildes aus einer Größe des Probentischbildes, die durch den Probentischbild-Grö-ßenberechnungsschritt berechnet wird, und einer tatsächlichen Größe des Probentisches.
Vorteilhafte Effekte der Erfindung
Erfindungsgemäß ist es in der Ladungsträgerstrahlvorrichtung, die den Beobachtungsbereich auf der Probe unter Verwendung des aufgenommenen Bildes der Probe einstellt, möglich, die Spezifikation des Vergrößerungsfaktors oder die Erkennung der Mittenposition des Probentisches schnell und leicht mit einer höheren Genauigkeit beim Abbilden des aufgenommenen Bildes der Probe durch die Abbildungseinrichtung durchzuführen. Daher ist es möglich, eine Zeit zu verringern, die für das Suchen nach dem Sichtfeld eines Anwenders aufgewendet wird.
Darüber hinaus werden Objekte, Konfigurationen und Effekte neben den obigen aus der Beschreibung der folgenden Ausführungsformen ersichtlich.
Figurenliste

[1] 1 ist eine schematische Konfigurationsansicht eines Beispiels eines Rasterelektronenmikroskops als eine Ladungsträgerstrahlvorrichtung gemäß einer Ausführungsform der Erfindung.
[2] 2 ist ein Ablaufdiagramm, das einen Ablauf einer Probentischbildausrichtung zur Probenbeobachtung durch Bestrahlen einem Elektronenstrahl bei dem in 1 dargestellten Rasterelektronenmikroskop darstellt.
[3] 3 ist eine erläuternde Ansicht einer Probentischbild-Ausrichtungssequenz gemäß einem ersten Beispiel.
[4] 4 ist eine erläuternde Ansicht einer Probentischbild-Ausrichtungssequenz gemäß einem zweiten Beispiel.
[5] 5 ist eine erläuternde Ansicht einer Probentischbild-Ausrichtungssequenz gemäß einem dritten Beispiel.
[6] 6 ist eine erläuternde Ansicht einer Probentischbild-Ausrichtungssequenz gemäß einem vierten Beispiel.
[7] 7 ist eine erläuternde Ansicht einer Probentischbild-Ausrichtungssequenz gemäß einem fünften Beispiel.
[8] 8 ist eine erläuternde Ansicht einer Probentischbild-Ausrichtungssequenz gemäß einem sechsten Beispiel.
[9]9 ist eine erläuternde Ansicht einer Probentischbild-Ausrichtungssequenz gemäß einem siebten Beispiel.
[10] 10 ist eine erläuternde Ansicht eines Abwandlungsbeispiels einer Probentischbild-Ausrichtungssequenz gemäß dem siebten Beispiel.
[11] 11 ist eine erläuternde Ansicht eines Abwandlungsbeispiels einer Probentischbild-Ausrichtungssequenz gemäß dem siebten Beispiel.
[12] 12 ist eine schematische Konfigurationsansicht eines weiteren Beispiels eines Rasterelektronenmikroskops als Ladungsträgerstrahlvorrichtung gemäß einer weiteren Ausführungsform der Erfindung.

Beschreibung von Ausführungsformen
Nachfolgend wird eine Ladungsträgerstrahlvorrichtung der Ausführungsformen der Erfindung unter Bezugnahme auf die Zeichnungen beschrieben.
In der Beschreibung wird als Ladungsträgerstrahlvorrichtung beispielhaft das Rasterelektronenmikroskop beschrieben, aber die Ladungsträgerstrahlvorrichtung der Erfindung ist nicht auf das Rasterelektronenmikroskop beschränkt. Die Ladungsträgerstrahlvorrichtung gemäß der Erfindung stellt einen Beobachtungsbereich auf der Probe durch Erfassen eines Beobachtungsbildes durch die Ladungsträgerstrahlvorrichtung auf einem aufgenommenen Bild der von einer Abbildungseinrichtung erfassten Probe ein und kann eine Abbildungsvergrößerung des aufgenommenen Bildes, das zum Einstellen eines Sichtfeldbereichs durch die Abbildungseinrichtung verwendet wird, bei der Ausrichtung einer Bestrahlungsposition eines Ladungsträgerstrahls verwenden, wenn das Beobachtungsbild der Probe durch Bestrahlen des Beobachtungsbereichs auf der Probe, der dem Sichtfeld entspricht, mit dem Ladungsträgerstrahl erfasst wird. Die Ladungsträgerstrahlvorrichtung umfasst beispielsweise auch ein Rasterionenmikroskop, ein Rastertransmissionselektronenmikroskop, eine kombinierte Vorrichtung dieser Vorrichtungen mit einer Probenverarbeitungsvorrichtung und eine Analyse- und Inspektionsvorrichtung, die diese Vorrichtungen oder dergleichen anwendet.
1 ist eine schematische Konfigurationsansicht eines Beispiels des Rasterelektronenmikroskops als Ladungsträgerstrahlvorrichtung gemäß einer Ausführungsform der Erfindung.
Ein Rasterelektronenmikroskop 1 weist einen Objektivtubus 10, einen Mikroskopeinrichtungskörper 2, der in ein Probenkammergehäuse 21, das eine Probenkammer 20 bildet, integriert ist, eine Unterdruckabsaugeinheit (nicht dargestellt), die ein Inneres des Objektivtubus 10 und ein Inneres der Probenkammer 20 entleert, und eine Steuereinrichtung 30, die jeden Abschnitt der Mikroskopeinrichtung steuert.
Der Objektivtubus 10 ist mit einer Elektronenkanone 11, die eine Ladungsträgerquelle ausbildet, die einen Elektronenstrahl 3 als Ladungsträgerstrahl emittiert, und einem elektronisch-optischen System 12 als optischem System für Ladungsträger, das die Bestrahlung mit dem Elektronenstrahl 3 steuert, versehen. Beim Bestrahlen mit dem Elektronenstrahl 3 wird das Innere des Objektivtubus 10 durch die Unterdruckabsaugeinheit in einem Unterdruckzustand gehalten.
Das elektronisch-optische System 12 enthält eine Anode 13, die den aus der Elektronenkanone 11 emittierten Elektronenstrahl 3 beschleunigt, eine Kondensorlinse 14, die den Elektronenstrahl 3 fokussiert, einen Ablenker 15, der den Elektronenstrahl 3 rastert, und eine Objektivlinse 16, die einen Fokus des Elektronenstrahls 3 entlang einer Richtung der optischen Achse des elektronisch-optischen Systems 12 anpasst. In dem dargestellten Beispiel ist ein Detektor 17, der Signalteilchen (z. B. Sekundärelektronen, reflektierte Elektronen oder dergleichen) 4, die aus einer Probe 5 durch Bestrahlung mit dem Elektronenstrahl 3 erzeugt werden, detektiert, ebenfalls in dem Objektivtubus 10 vorgesehen.
Die Probenkammer 20 ist so ausgestaltet, dass ein Probentisch 6, auf dem die Probe 5 angeordnet ist, über eine Einlass-/Auslassöffnung (nicht dargestellt) aufgenommen wird, die in dem Probenkammergehäuse 21 vorgesehen ist und geöffnet und geschlossen werden kann. Die Probenkammer 20 ist mit einer Plattform 22 versehen, auf der der Probentisch 6 gehalten wird. In der Probenkammer 20 wird, wenn die Probe beobachtet wird, eine Atmosphäre in der Kammer durch die Unterdruckabsaugeinheit abgesaugt und die Probenkammer 20 wird in dem Unterdruckzustand gehalten.
Die Plattform 22 umfasst einen montierten Abschnitt 23, auf dem der Probentisch 6 lösbar montiert ist, und einen Bewegungsmechanismus 24, der eine Position oder eine Richtung der Probe 5 innerhalb der Probenkammer 20 durch Bewegen, Drehen oder Neigen des montierten Abschnitts 23 beispielsweise in einer horizontalen Ebene und in einer Höhenrichtung innerhalb der Probenkammer 20 zusammen mit dem Probentisch 6 verschiebt. Die Plattform 22 hält den Probentisch 6 innerhalb der Probenkammer 20 und verschiebt die Probe 5, die auf dem Probentisch 6 angeordnet ist, zusammen mit dem Probentisch 6, wodurch eine Bestrahlungsposition und/oder eine Bestrahlungsrichtung des Elektronenstrahls 3 aus dem elektronisch-optischen System 12 auf die Probe 5 geändert wird.
Der Probentisch 6 ist mit einer Platzierungsfläche 6A, auf der die Probe 5 angeordnet ist, und einem Montageabschnitt 6B in Bezug auf die montierten Abschnitte 23 und 44, die jeweils in der Plattform 22 vorgesehen sind, und einem Montagetisch 41 einer Abbildungseinrichtung 40, die unten beschrieben ist, versehen. Der Probentisch 6 ist im Voraus so ausgebildet, dass eine Form (nachfolgend im Allgemeinen als Kontur S des Probentisches 6 bezeichnet), in der die Platzierungsfläche 6A und/oder der Probentisch 6 selbst in axialer Richtung des Probentisches 6 selbst, die senkrecht zu der Platzierungsfläche 6A ist, durch eine Mitte und/oder einen Schwerpunkt der Platzierungsfläche 6A gesehen wird, eine vorbestimmte Form hat. In dem dargestellten Beispiel weist der Probentisch 6 eine Kontur S auf, die kreisförmig ausgebildet ist. Darüber hinaus ist die Kontur S des Probentisches 6 nicht auf die Kreisform beschränkt und beispielsweise fallen der Schwerpunkt und die Mitte der Kontur S miteinander zusammen und eine Probentischbildausrichtung, die unten beschrieben ist, wird durch Ausbilden der Kontur S im Voraus in einer Figur wie etwa einem Rechteck, einem Parallelogramm und einem regulären Polygon neben der Kreisform leicht durchgeführt.
In dem Mikroskopeinrichtungskörper 2, der wie oben beschrieben konfiguriert ist, wird der von der Elektronenkanone 11 emittierte Elektronenstrahl 3 durch die Anode 13 gesteuert/beschleunigt und durch die Kondensorlinse 14 und die Objektivlinse 16 fokussiert und die Probe 5 auf dem Probentisch 6, der auf der Plattform 22 innerhalb der Probenkammer 20 montiert ist, wird mit dem Elektronenstrahl 3 aus dem Objektivtubus 10 bestrahlt. Ferner wird der Elektronenstrahl 3 aus dem Objektivtubus 10 durch den Ablenker 15 abgelenkt und ein Abtastbereich, eine Abtastrichtung und eine Abtastgeschwindigkeit des Elektronenstrahls 3, mit dem die Probe 5 bestrahlt wird, wird angepasst. Die aus der Probe 5 durch die Bestrahlung mit dem Elektronenstrahl 3 erzeugten Signalteilchen 4 werden von dem Detektor 17 detektiert.
Andererseits steuert die Steuereinrichtung 30 jeden Abschnitt der Vorrichtung einschließlich eines Plattformsteuerabschnitts 31, eines Signalverarbeitungsabschnitts 32, eines Vorrichtungssteuerabschnitts 33 und eines Computerabschnitts 34.
Der Plattformsteuerabschnitt 31 führt eine Antriebssteuerung des Bewegungsmechanismus 24 der Plattform 22 gemäß einem Befehl durch, der von dem Vorrichtungssteuerabschnitt 33 geliefert wird und der die Bewegung, die Drehung und die Neigung des montierten Abschnitts 23, auf dem der Probentisch 6 montiert ist, betrifft. Der Signalverarbeitungsabschnitt 32 verstärkt ein Detektionssignal von dem Detektor 17 und führt eine A/D-Umsetzung daran durch, speichert einen Bildspeicher in Verbindung mit einer Bestrahlungsposition des Elektronenstrahls 3, die durch den Vorrichtungssteuerabschnitt 33 gesteuert wird, und erzeugt Bilddaten eines Bestrahlungsbereichs des Elektronenstrahls 3.
Der Vorrichtungssteuerabschnitt 33 steuert die Elektronenkanone 11 und das elektronisch-optische System 12 gemäß Ausrichtungsinformationen, die auf der Probentischbildausrichtung (später beschrieben) aus dem Computerabschnitt 34 oder einem Beobachtungszustand der Probe 5 einschließlich des Sichtfeldbereichs basieren. Daher führt der Vorrichtungssteuerabschnitt 33 die Steuerung des Elektronenstrahls, mit dem die Probe 5 bestrahlt wird, die Steuerung der Plattform 22, auf der der Probentisch 6 montiert ist, auf dem die Probe 5 angeordnet ist, über den Plattformsteuerabschnitt 31, und die Steuerung der Position und der Richtung der Probe 5 innerhalb der Probenkammer 20 durch. Zusätzlich sendet der Vorrichtungssteuerabschnitt 33 die von dem Signalverarbeitungsabschnitt 32 erzeugten Bilddaten auf der Basis eines Sendebefehls aus dem Computerabschnitt 34 an den Computerabschnitt 34.
Der Computerabschnitt 34 führt die Steuerung jedes Abschnitts der Vorrichtung einschließlich der Elektronenkanone 11, des elektronisch-optischen Systems 12 und der Plattform 22 über den Vorrichtungssteuerabschnitt 33 durch und führt die Steuerung der gesamten Vorrichtung bezüglich eines Beobachtungsprozesses des Probe 5 oder der Ausrichtung einschließlich der Probentischbildausrichtung durch. Der Computerabschnitt 34 enthält einen Computerkörper 34A, der eine CPU, einen Speicher, eine Schnittstelle und dergleichen enthält, eine Bedienungseingabeeinrichtung 34B wie etwa eine Maus, eine Tastatur und ein Bedienfeld und eine Anzeigeeinrichtung (Anzeige) 34C zum Anzeigen verschiedener Bildschirme zum Anzeigen auf dem Schirm (OSD-Bildschirme) zum Einstellen der Beobachtungsbedingungen der Probe 5 einschließlich des Sichtfeldbereichs oder dergleichen und der Ausrichtung und das Beobachtungsbild der Probe 5 wird durch den Computerkörper 34A auf der Basis der Bilddaten erzeugt, die aus dem Vorrichtungssteuerabschnitt 33 erfasst werden. Zusätzlich ist der Computerabschnitt 34 auch kommunikationstechnisch mit der Abbildungseinrichtung 40 verbunden und erfasst ein aufgenommenes Bild, das von der Abbildungseinrichtung 40 abgebildet wird, direkt aus der Abbildungseinrichtung 40.
In der Ausführungsform ist die Abbildungseinrichtung 40 so ausgebildet, dass sie außerhalb der Probenkammer 20 des Rasterelektronenmikroskops 1 getrennt von dem Mikroskopeinrichtungskörper 2 des Rasterelektronenmikroskops 1 bereitgestellt ist. Die Abbildungseinrichtung 40 bildet die aufgenommenen Bilder des Probentisches 6 und der Probe 5 ab, die zum Einstellen des Sichtfeldbereichs oder der Ausrichtung in dem Rasterelektronenmikroskop 1 verwendet werden.
In dem dargestellten Beispiel ist die Abbildungseinrichtung 40 so ausgebildet, dass eine CCD-Kamera 43 von einem aus dem Montagetisch 41 aufragenden Ständer 42 getragen wird, die von dem Montagetisch 41 getrennt ist und deren Abbildungsrichtung der Seite des Montagetisches 41 zugewandt ist. Der Montagetisch 41 ist mit einem montierten Abschnitt 44 versehen, auf dem der Montageabschnitt 6B des Probentisches 6 lösbar in einem Zustand montiert ist, in dem die Platzierungsfläche 6A des Probentisches 6 in eine Richtung entlang der Abbildungsrichtung gewandt ist.
Der Montagetisch 41 der Abbildungseinrichtung 40 ist so ausgelegt, dass der montierte Abschnitt 44 so ausgebildet ist, dass eine axiale Richtung des Probentisches 6 mit der Richtung der optischen Achse der CCD-Kamera 43 zusammenfallen kann, wenn der Montageabschnitt 6B des Probentisches 6 installiert ist. In dem dargestellten Beispiel hat der montierte Abschnitt 44 des Montagetisches 41 die gleiche Form wie der montierte Abschnitt 23 der Plattform 22. Daher kann in dem Fall der dargestellten Abbildungseinrichtung 40 der montierte Abschnitt 44 in Bezug auf den Montagetisch 41 ausgetauscht werden und beispielsweise kann die gleiche Abbildungseinrichtung 40 auch für die Suche nach einem Sichtfeld eines anderen Rasterelektronenmikroskops verwendet werden, und zwar unabhängig von Unterschieden in Größe, Form oder dergleichen des Probentisches 6 aufgrund von Unterschieden in den Modellen des Rasterelektronenmikroskops 1. Darüber hinaus kann der montierte Abschnitt 44 des Montagetisches 41, obwohl er ausschließlich für ein vorbestimmtes Rasterelektronenmikroskop 1 und einen Probentisch 6 vorgesehen ist, einen Mechanismus umfassen, der in der Lage ist, sich in Abhängigkeit von dem Unterschied des Rasterelektronenmikroskops 1 und des Probentisches 6 zum Montieren anzupassen.
Die CCD-Kamera 101 der Abbildungseinrichtung 40 ist so ausgelegt, dass eine Abbildungsvergrößerung davon beliebig angepasst werden kann, um so dem Unterschied in der Größe der Probe 5, die auf der Plazierungsfläche 6A des Probentisches 6 platziert ist, oder der Größe des Probentisches 6 selbst zu entsprechen. Daher kann ein Anwender das optische Bild des Probentisches 6, auf dem die Probe 5 angeordnet ist, durch Vergrößern/Verkleinern des optischen Bildes mit einer geeigneten Abbildungsvergrößerung abbilden.
Das optische Bild des Probentisches 6 oder das optische Bild des Probentisches 6, auf dem die Probe 5 platziert ist, die von der Abbildungseinrichtung 40 abgebildet werden, kann aus der Abbildungseinrichtung 40 direkt durch den Computerabschnitt 34 des Rasterelektronenmikroskop 1, der kommunikationstechnisch mit der Abbildungseinrichtung 40 verbunden ist, erfasst werden. Der Computerabschnitt 34 zeigt die erfassten optischen Bilder des Probentisches 6 und der Probe 5 auf der Anzeigeeinrichtung 34C als graphische Anwenderschnittstelle (GUI) auf dem OSD-Bildschirm an, wenn eine Probentischbildausrichtung oder der Sichtfeldbereich (später beschrieben) beim Suchen nach einem Sichtfeld des Rasterelektronenmikroskops 1 eingestellt wird.
Darüber hinaus wird in der Ausführungsform die CCD-Kamera 43 als der Abbildungsmechanismus der Abbildungseinrichtung 40 verwendet, aber der Abbildungsmechanismus kann auch ein CMOS-Bildsensor oder ein anderer Abbildungsmechanismus als der optische Abbildungsmechanismus sein. Obwohl der Computerabschnitt 34 und die Abbildungseinrichtung 40 des Rasterelektronenmikroskops 1 kommunikationstechnisch verbunden sind, sind beide voneinander getrennt und beispielsweise kann der Anwender das von der Abbildungseinrichtung 40 abgebildete aufgenommene Bild in dem Computerabschnitt 34 über ein Speichermedium lesen und speichern.
Als Nächstes wird ein Ablauf aus der Probentischbildausrichtung zum Erkennen der Größe und der Mittenposition des Probentisches auf dem optischen Bild zur Probenbeobachtung durch Bestrahlen der Probe 5 mit dem Elektronenstrahl 3 auf der Basis des optischen Bildes des Probentisches 6, das aus der Abbildungseinrichtung 40 durch den Computerabschnitt 34 des Rasterelektronenmikroskops 1 erfasst wird, oder des optischen Bildes des gleichen Probentisches 6, auf dem die Probe 5 angeordnet ist, unter Bezugnahme auf 2 beschrieben.
2 ist ein Ablaufdiagramm, das den Ablauf aus einer Probentischbildausrichtung zur Probenbeobachtung durch Bestrahlen mit einem Elektronenstrahl in dem Rasterelektronenmikroskop darstellt.

• Schritt S10: Beim Beobachten der Probe 5 mit dem Rasterelektronenmikroskop 1 gibt der Anwender Informationen über eine tatsächliche Probentischgröße und eine Form des Probentisches 6 oder dergleichen, die für die Beobachtung der Probe 5 als Basisinformationen verwendet werden, ein. Die Eingabe erfolgt auf der Basis einer vorbestimmten Bedienung der Bedienungseingabeeinrichtung 34B in dem Computerabschnitt 34 des Rasterelektronenmikroskops 1.
• Schritt S20: Der Anwender installiert den Probentisch 6, der für die Beobachtung der Probe 5 verwendet wird, in dem Montagetisch 41 der Abbildungseinrichtung 40. Hier wird eine Beschreibung unter der Annahme gegeben, dass der Probentisch 6, auf dem die Probe 5 angeordnet ist, um durch das Rasterelektronenmikroskop für die Erfassung des optischen Bildes des Probentisches 6 beobachtet zu werden, für die Probentischbildausrichtung verwendet, so dass die Erfassung des optischen Bildes des Probentisches 6, das für die Probentischbildausrichtung verwendet wird, und die Erfassung des optische Bildes der Probe 5, das zum Einstellen des Sichtfeldbereichs beim Beobachten der Probe verwendet wird, durch einmaliges Montieren des Probentisches 6 auf dem Montagetisch 41 abgeschlossen werden können.

Die Installation erfolgt durch Montieren des Montageabschnitts 6B des Probentisches 6 an dem montierten Abschnitt 44 des in der Abbildungseinrichtung 40 enthaltenen Montagetisches 41. In diesem Fall ist wird auf dem Montagetisch 41 der Abbildungseinrichtung 40 der montierte Abschnitt 44, der die gleiche Form wie der montierte Abschnitt 23 der Plattform 22 hat, im Voraus auf dem Montagetisch 41 vorbereitet. Daher wird der Probentisch 6 an einer bestimmten Abbildungsposition der Abbildungseinrichtung 40 derart gehalten, dass die Platzierungsfläche 6A des Probentisches 6 und die auf dem Montagetisch 41 bereitgestellte Probe 5 der CCD-Kamera 43 zugewandt sind und die axiale Richtung des Probentisches 6 selbst mit der Richtung der optischen Achse der CCD-Kamera 43 zusammenfällt. Außerdem kann das Montieren des Probentisches 6 auch automatisch, beispielsweise unter Verwendung einer Materialfördereinrichtung oder dergleichen, durchgeführt werden.

• Schritt S30: Der Anwender bildet das optische Bild, das das Probentischbild der Gesamtheit des Probentisches 6 enthält, unter Verwendung der Abbildungseinrichtung 40 ab.

In einem Fall, in dem ein Beobachtungsbereich auf der Probe zum Erfassen des Beobachtungsbildes durch die Ladungsträgerstrahlvorrichtung als der Sichtfeldbereich auf dem optischen Bild der Probe 5, der durch die Abbildungseinrichtung 40 erfasst wird, eingestellt ist, bildet der Anwender normalerweise den Probentisch 6 durch Vergrößern/Verkleinern des Probentisches 6 auf eine geeignete Abbildungsvergrößerung gemäß der Größe der Probe 5, die auf dem Probentisch 6 angeordnet ist, oder dergleichen so ab, dass dies leicht für die Einstellung des Sichtfeldbereichs verwendet werden kann. In Schritt S30 bildet in diesem Fall, da die Größe oder die Mittenposition der Probe 5 auf dem optischen Bild, das für die Einstellung des Sichtfeldbereichs verwendet wird, unbekannt ist, der Anwender die Probe 5 mit einer geeigneten Abbildungsvergrößerung so ab, dass die Gesamtheit des Probentisches 6 in dem von der Abbildungseinrichtung 40 abgebildeten optischen Bild aufgenommen ist. Zudem können das optische Bild, in dem die Gesamtheit des abgebildeten Probentisches 6 aufgenommen ist, und das optische Bild der Probe 5 zum Einstellen des Sichtfeldbereichs gleich oder verschieden sein. Nachfolgend wird das optische Bild, in dem die Gesamtheit des Probentisches 6 aufgenommen ist, als optisches Bild 61, das das Probentischbild enthält, bezeichnet und die Gesamtheit des Probentischabschnitts in dem optischen Bild wird der Einfachheit halber als das Probentischbild 62 bezeichnet (siehe 3).

• Schritt S40: In dem Computerabschnitt 34 des Rasterelektronenmikroskops 1 erfasst der Computerkörper 34A das optische Bild 61, das das Probentischbild 62 enthält, aus der Abbildungseinrichtung 40. Der Computerkörper 34A zeigt einen Probentischbild-Ausrichtungsbildschirm, der der OSD-Bildschirm der Probentischbildausrichtung ist, auf der Anzeigeeinrichtung 34C an und erfasst das optische Bild 62, das das Probentischbild 62 enthält, aus der Abbildungseinrichtung 40 als graphische Anwenderschnittstelle (GUI) auf dem Ausrichtungsbildschirm.
• Schritt S50: In dem Computerabschnitt 34 des Rasterelektronenmikroskops 1 führt der Computerkörper 34A eine Probentischbild-Ausrichtungssequenz (später beschrieben) durch, erkennt die Größe und die Mittenpunktkoordinaten des Probentischbildes 62 in dem optischen Bild 61, das das Probentischbild 62 enthält und aus der Abbildungseinrichtung 40 erfasst wird, und gleicht die Größe und die Mittenkoordinaten mit den bekannten Basisinformationen des Probentisches 6, die in Schritt S10 bereitgestellt werden, ab, um die Abbildungsvergrößerung des erfassten optischen Bildes 61, das das Probentischbild 62 enthält, zu berechnen.

Hier sind jeweilige ursprüngliche Punktkoordinaten (z. B. jeweilige Sichtfeld-Mittenpositionen) des Rasterelektronenmikroskops 1 und der Abbildungseinrichtung 40 an beliebigen Plattformkoordinaten angeordnet, die sich auf die Bewegung des montierten Abschnitts 23 der Plattform 22 oder dergleichen beziehen, und es ist möglich, die Mittenkoordinaten aufeinander auszurichten, wenn die Mitte des optischen Bildes 61, das durch die Abbildungseinrichtung 40 abgebildet wird, so angezeigt wird, dass sie die Mitte der Anzeigeeinrichtung 34C ist, auf der das Beobachtungsbild, das durch das Rasterelektronenmikroskop 1 erfasst wird, angezeigt wird.
Das heißt, dass es in einem Fall, in dem der Sichtfeldbereich auf der Probe 5 zum Erfassen des Beobachtungsbildes durch das Rasterelektronenmikroskop 1 auf dem optischen Bild 61, das das Probentischbild 62 enthält und von der Abbildungseinrichtung 40 aufgenommen ist, eingestellt wird, wichtig ist, dass die Mitte des Probentisches 6 auf dem optischen Bild 61 der Probe 5 zum Einstellen des Sichtfeldbereichs an der gleichen Position wie die Mitte des Probentisches 6 positioniert wird, wenn dieser in der Probenkammer 20 aufgenommen und angeordnet wird. Bei dem Rasterelektronenmikroskop 1 bewegt die Plattform 22 die Probe 5 normalerweise zusammen mit dem Probentisch 6 unter Bezugnahme auf den montierten Abschnitt 23, d. h. die Mitte des Probentisches 6, der auf dem montierten Abschnitt 23 innerhalb der Probenkammer 20 montiert ist. Beispielsweise entspricht die Mitte des auf dem montierten Abschnitt 44 des Montagetisches 41 montierten Probentisches 6, die mit der optischen Achse der CCD-Kamera 43 in der Abbildungseinrichtung 40 zusammenfällt, der Mitte desselben Probentisches, der auf dem montierten Abschnitt 23 in dem Rasterelektronenmikroskop 1 montiert ist, so dass die Ausrichtung des Rasterelektronenmikroskops 1 leicht durchgeführt werden kann. Jedoch sind die jeweiligen Mitten des Beobachtungsbildes und des optischen Bildes zwischen dem Rasterelektronenmikroskop 1, das das Beobachtungsbild der Probe 5 erfasst, und der Abbildungseinrichtung 40, die das optische Bild der Probe 5 zum Einstellen des Sichtfeldbereichs erfasst, leicht verschoben. Daher werden die Größe und die Mittelkoordinaten des Probentischbildes 62 in dem optischen Bild 61, das das Probentischbild 62 enthält, erkannt und die Abbildungsvergrößerung des optischen Bildes 61, das das Probentischbild 62 enthält, wird so berechnet, dass die Ausrichtung zwischen dem optischen Bild 61 zum Einstellen des Sichtfeldbereichs, das von der Abbildungseinrichtung 40 erfasst wird, und dem Rasterelektronenmikroskop 1, das das Beobachtungsbild davon erfasst, durchgeführt wird.

• Schritt S60: Der Anwender montiert den Montageabschnitt 6B des Probentisches 6 auf dem montierten Abschnitt 23 der Plattform 22 und führt den Probentisch 6 an einer Elektronenmikroskop-Beobachtungsposition innerhalb der Probenkammer 20 ein. Zudem kann die Einführung des Probentisches 6 an der Elektronenmikroskop-Beobachtungsposition innerhalb der Probenkammer 20 auch automatisch durchgeführt werden.
• Schritt S70: Um einen beliebigen Beobachtungspunkt oder den Beobachtungsbereich, der das Beobachtungsbild auf der Probe 5 durch Bestrahlung mit dem Elektronenstrahl 3 erfasst, als Sichtfeldbereich einzustellen, zeigt der Anwender den OSD-Bildschirm für die Probenbeobachtung, der das optische Bild 61 der Probe 5 enthält, als GUI durch die Abbildungseinrichtung 40 auf der Anzeigeeinrichtung 34C des Computerabschnitts 34 an. Dann legt der Anwender den Beobachtungspunkt zum Erfassen des Beobachtungsbildes oder das Beobachtungsbild auf dem optischen Bild 61 der Probe 5, das in dem Probenbeobachtungsbildschirm enthalten ist, durch Bestrahlen mit dem Elektronenstrahl 3 als GUI fest und stellt den Sichtfeldbereich unter Verwendung des Rasterelektronenmikroskops 1 ein. Die Festlegung und die Einstellung werden durch den Computerkörper 34A des Computerabschnitts 34 auf der Grundlage einer Bedienungseingabe aus der Bedienungseingabeeinrichtung 34B durchgeführt.
• Schritt S80: In dem Computerabschnitt 34 des Rasterelektronenmikroskops 1 erzeugt der Computerkörper 34A Steuerinformationen jedes Abschnitts der Vorrichtung, die dem Vorrichtungssteuerabschnitt 33 anweisen, um das Beobachtungsbild des Sichtfeldbereichs zu erfassen, der in Schritt S70 auf der Basis der Größe und den Mittenkoordinaten des Probentischbildes 62 und der Abbildungsvergrößerung des Probentischbildes 62 auf dem optischen Bild der Probe 5, das als die Probentischbildausrichtung von Schritt S50 identifiziert wird und in dem Probenbeobachtungsbildschirm als GUI enthalten ist, eingestellt wird. Der Vorrichtungssteuerabschnitt 33 steuert die Bewegung des montierten Abschnitts 23 der Plattform 17 durch den Bewegungsmechanismus 24 auf der Basis der Steuerinformationen jedes Abschnitts der Vorrichtung oder steuert die optische Achse des Elektronenstrahls 3, um so zu bewirken, dass der Sichtfeldbereich auf der Probe 5, der in Schritt S70 eingestellt und eingegeben wird, mit dem Beobachtungsbereich auf der Probe 5, der tatsächlich mit dem Elektronenstrahl 3 bestrahlt wird, zusammenfällt und der Sichtfeldbereich auf der Probe 5 mit dem Elektronenstrahl 3 bestrahlt wird.

Schritt S90: In dem Computerabschnitt 34 des Rasterelektronenmikroskops 1 erzeugt der Computerkörper 34A das Beobachtungsbild der Probe 5, in dem der Sichtfeldbereich auf der Probe 5, der in Schritt S70 eingestellt und eingegeben wird, der Beobachtungsbereich ist, und zeigt das Beobachtungsbild auf dem Beobachtungsbildschirm der Anzeigeeinrichtung 34C basierend auf den Bilddaten, die über den Vorrichtungssteuerabschnitt 33 übertragen und durch den Signalverarbeitungsabschnitt 32 erzeugt werden, an.
Als Nächstes wird eine Sequenz der Probentischbildausrichtung, die in Schritt S50 beschrieben ist, unter Verwendung des optischen Bildes 61, das das Probentischbild 62 enthält und das auf dem Probentischbildausrichtungsbildschirm in Schritt S40 als GUI angezeigt wird, und das optische Bild 61, das das Probentischbild 62 enthält, anhand von Beispielen beschrieben. Bei der Probentischbildausrichtung werden die Größe und die Mittenkoordinaten des Probentischbildes 62 auf dem optischen Bild 61 erkannt und die Abbildungsvergrößerung der geeigneten Größe wird aus dem optischen Bild 61, das das Probentischbild 62 enthält und von der Abbildungseinrichtung 40 abgebildet wird, berechnet, wobei die Abbildungsvergrößerung eine geeigneten Größe aufweist, die erforderlich ist, um die Mitte des Probentisches 6, wenn er innerhalb der Probenkammer 20 aufgenommen angeordnet wird, mit der Mitte des Probentisches 6 auf dem optischen Bild der Probe 5 zusammenfallen zu lassen, um den Sichtfeldbereich einzustellen.
<Erstes Beispiel>
3 ist eine erläuternde Ansicht einer Probentischbild-Ausrichtungssequenz gemäß dem ersten Beispiel.
Das Beispiel stellt schematisch eine Ausrichtungssequenz zum Erkennen der Größe und der Mittenkoordinaten des Probentischbildes 62 und zum Berechnen der Abbildungsvergrößerung des optischen Bildes 61 auf dem optischen Bild, das das Probentischbild 62 des Probentisches 6 enthält, dessen Kontur die Kontur S ist, die in einer Kreisform ausgebildet ist, dar.
Wie in Schritt S40 von 2 beschrieben wird das optische Bild 61, das das Probentischbild 62 enthält und von der Abbildungseinrichtung 40 als GUI erfasst wird, in einem vorbestimmten Bildschirmabschnitt auf dem Probentischbild-Ausrichtungsbildschirm angezeigt, der in der Anzeigeeinrichtung 34C so angezeigt wird, dass der Abschnitt des Probentischbildes 62 erscheint. Darüber hinaus kann die Anzeige des Probentischbildes 62 eine Anzeige eines Abschnitts sein, der das Probentischbild 62 in dem optischen Bild 61 enthält, und zwar in einem Fall, in dem das optische Bild 61, das das Probentischbild 62 enthält und von der Abbildungseinrichtung 40 erfasst wird, auf eine bekannte Anzeigevergrößerung vergrößert/verkleinert ist. Nachfolgend wird zur Erleichterung der Erläuterung eine Erläuterung gegeben, bei der die Anzeigevergrößerung die gleiche Vergrößerung ist, bei der die Gesamtheit des optischen Bildes 61, das das Probentischbild 62 enthält, auf einem GUI-Bildschirm 60 angezeigt wird, der aus einem vorbestimmten Bildschirmabschnitt gebildet ist, und der GUI-Bildschirm 60 der Gesamtheit des optischen Bildes 61 entspricht.
Zusätzlich werden in dem dargestellten Beispiel auf dem GUI-Bildschirm 60 drei bekannte Linearführungslinien 65 (65-1, 65-2 und 65-3), die sich in den Koordinaten des optischen Bildes 61, d. h. in Pixelkoordinaten der CCD-Kamera 43 der Abbildungseinrichtung 40, in der Neigung unterscheiden, übereinandergelegt und angezeigt, wie es in 3(a) dargestellt ist. Wenn daher die drei Linearführungslinien 65-1, 65-2 und 65-3 in geeigneter Weise parallel auf dem GUI-Bildschirm 60 bewegt werden, können mehrere ähnlich geformte Dreiecke 68, deren Eckpunkte die Schnittpunkte 67 (67-167-2 und 67-3) zwischen zwei Linearführungslinien unterschiedlicher Kombinationen sind, auf dem GUI-Bildschirm 60, d. h. dem optischen Bild 61, gebildet werden. Jede der drei Linearführungslinien 65-1, 65-2 und 65-3 auf dem GUI-Bildschirm 60 kann parallel um einen gewünschten Betrag von einer aktuellen Position auf dem GUI-Bildschirm 60, d. h. dem optischen Bild 61, durch Auswählen einer gewünschten Linearführungslinie 65 durch eine vorbestimmte Bedienung des Bedienungseingabeeinrichtung 34B des Computerabschnitts 34 durch den Anwender bewegt werden.
In der Ausrichtungssequenz des Beispiels wählt der Anwender zunächst eine Linearführungslinie 65-m der drei Linearführungslinien 65-1, 65-2 und 65-3, beispielsweise die Linearführungslinie 65-1, durch Bedienen der Bedienungseingabeeinrichtung 34B auf dem GUI-Bildschirm 60 in dem Probentischbild-Ausrichtungsbild schirm aus und bewegt die Linearführungslinie 65-1 parallel auf dem GUI-Bildschirm 60, d. h. dem optischen Bild 61. Daher wird wie in 3(b) gezeigt die Linearführungslinie 65-1 auf dem GUI-Bildschirm 60, d. h. dem optischen Bild 61, so bewegt und angepasst, dass sie mit dem Probentischbild 62 in Kontakt ist.
Daraufhin wählt der Anwender in ähnlicher Weise und der Reihe nach eine der verbleibenden zwei Linearführungslinien 65-2 und 65-3 eine nach der anderen aus und bewegt die Linearführungslinien 65-2 und 65-3 parallel auf dem GUI-Bildschirm 60, d. h. dem optische Bild 61, und dann wird wie in 3(c) und 3(d) gezeigt jede der Linearführungslinien 65-2 und 65-3 bewegt und so angepasst, dass sie auf dem GUI-Bildschirm 60, d. h. dem optischen Bild 61, mit dem Probentischbild 62 in Kontakt ist.
Wenn die Verschiebungsanpassung aller der Linearführungslinien 65 (65-1, 65-2 und 65-3) durch den Anwender, damit sie mit dem Probentischbild 62 auf dem GUI-Bildschirm, 60, d. h. dem optischen Bild 61, in Kontakt sind, abgeschlossen ist, ist ein jeweiliger der Kontaktpunkte 66 (66-1, 66-2 und 66-3) mit der Kontur S auf jeder der Linearführungslinien 65 (65-1, 65- 2 und 65-3) auf dem GUI-Bildschirm 60 und dem optischen Bild 61 bereitgestellt. Zusätzlich bildet jede der Linearführungslinien 65 (65-1, 65-2 und 65-3) eine jeweilige Seite des Dreiecks 68, das die Kontaktpunkte 66 (66-1, 66-2 und 66-3) in Bezug auf die kreisförmige Kontur S des Probentischbildes 62 umschreibt.
Wenn das Dreieck 68, das die kreisförmige Kontur S des Probentischbildes 62 umschreibt, auf dem GUI-Bildschirm 60 und dem optischen Bild 61 unter Verwendung jeder der Linearführungslinien 65 (65-1, 65-2 und 65-3) erzeugt ist, befiehlt der Anwender dem Computerkörper 34A des Computerabschnitts 34 durch Bedienen der Bedienungseingabeeinrichtung 34B, die Erkennung der Größe und der Mittenposition des Probentischbildes 62 auf dem optischen Bild 61 des Probentischbildes 62 mit der kreisförmigen Kontur S und die Berechnung der Abbildungsvergrößerung des optischen Bildes 61 durchzuführen.
Nach Empfangen des Befehls berechnet der Computerkörper 34A eine Funktionsformel der drei Linearführungslinien 65 (65-1, 65-2 und 65-3) nach der Verschiebungsanpassung basierend auf der Auswirkung der parallelen Verschiebung auf die Koordinaten des optischen Bildes 61 jeder der drei Linearführungslinien 65 (65-1, 65-2 und 65-3) durch den Anwender aus einer anfänglichen Funktionsformel jeder der bekannten drei Linearführungslinien 65 (65-1, 65- 2 und 65-3), deren Neigungen bei Betrachtung in den Koordinaten der optischen Bilder 61 voneinander verschieden sind. Danach berechnet der Computerkörper 34A die Schnittpunkte 67 (67-1, 67-2, 67-3) zwischen zwei Linearführungslinien von Kombinationen in den drei Linearführungslinien 65 (65-1, 65-2 und 65-3), die sich voneinander unterscheiden, in den Koordinaten des optischen Bildes 61 nach der Verschiebungsanpassung, wodurch die Koordinaten jedes Eckpunkts des Dreiecks 68, das die kreisförmige Kontur S des Probentischbildes 62 umschreibt, in den Koordinaten des optischen Bildes 61 berechnet werden. Der Computerkörper 34A führt eine Erkennung der Größe und der Mittenposition des Probentischbildes 62 auf dem optischen Bild 61 auf der Basis der Koordinaten jeweiliger Eckpunkte als Messreferenzpunkte aus. In diesem Fall wird die Mittenposition des Probentischbildes 62 auf dem optischen Bild 61 nicht direkt durch eine automatische Bildanalyse erkannt, die in Bezug auf die Kontur S des Probentischbildes 62 auf dem optischen Bild 61 kompliziert und mit Schwierigkeiten verbunden ist, sondern kann durch Berechnen eines Inkreismittelpunkts des Dreiecks 68 mit den Koordinaten jeweiliger Eckpunkte des Dreiecks 68 als Messreferenzpunkte aus den Messreferenzpunkten schnell und einfach mit hoher Genauigkeit erhalten werden. Zusätzlich kann dann, wenn die Mittenposition des Probentischbildes 62 spezifiziert ist, die Größe des Probentischbildes 62 auf dem optischen Bild 61 leicht berechnet werden, da die Erfassung einer Größe eines Durchmessers der kreisförmigen Kontur S ebenfalls leicht und eindeutig erfolgt.
Außerdem berechnet der Computerkörper 34A die Abbildungsvergrößerung des optischen Bildes 61, das das Probentischbild 62 enthält und von der Abbildungseinrichtung 40 erfasst wird, aus Basisinformationen wie der Größe des Probentischbildes 62 auf dem optischen Bild 61 und der eigentlichen Probentischgröße und -form, die in Schritt S10 von 2 im Voraus eingegeben werden.
Wie oben beschrieben werden gemäß dem Beispiel in dem optischen Bild 61, das das Probentischbild 62 enthält, die drei Linearführungslinien 65 (65-1, 65-2 und 65-3) verschoben und angepasst und die Koordinaten jedes Eckpunkts des Dreiecks 68, der das Probentischbild 62 umschreibt, können durch die Schnittpunkte 67 (67-1, 67-2 und 67-3) von zwei Linearführungslinien in Kombinationen aus den drei Linearführungslinien 65 (65-1, 65-2 und 65-3), die sich voneinander unterscheiden, nach der Verschiebungsanpassung bestimmt werden. Die Größe und die Mittenposition des Probentischbildes 62 auf dem optischen Bild 61 und die Abbildungsvergrößerung des optischen Bildes 61, das das Probentischbild 62 enthält, können durch einfache Berechnung automatisch und schnell mit hoher Genauigkeit aus den Koordinaten der jeweiligen Schnittpunkte 67 (67-1, 67-2 und 67-3), die jeweils einen Eckpunkt des Dreiecks 68 bilden, als Messreferenzpunkte erhalten werden. Da außerdem die Eckpunkte (Schnittpunkte) 67 (67-1, 67-2 und 67-3) des Dreiecks 68 die Messreferenzpunkte sind, kann der Anwender die korrekten Positionen durch eine Kontaktanzeige der Erzeugung der Kontaktpunkte 66 (66-1, 66-2 und 66-3) der Linearführungslinien 65 (65-1, 65-2 und 65-3) mit der Kontur S jedes Probentischbildes 62 bestätigen, wie es in 3(d) dargestellt ist.
In diesem Fall ist es wie in 3 dargestellt bei den drei Linearführungslinien 65 (65-1, 65-2 und 65-3) bevorzugt, dass die Neigung jeder Linearführungslinie 65 derart bestimmt wird, dass die kreisförmige Kontur S des Probentischbildes 62 im Wesentlichen in dreigeteilt wird. Daher werden unabhängig von dem Anwender die umschriebenen Punkte 66 (66-1, 66-2 und 66-3), die die kreisförmige Kontur S entlang einer Längsrichtung davon dreiteilen, als Kriterien zum Erfassen der Messreferenzpunkte verwendet. Daher ist es möglich, die Abbildungsvergrößerung mit höherer Genauigkeit zu erhalten.
In dem Beispiel werden die drei Linearführungslinien 65 (65-1, 65-2 und 65-3) so verschoben und angepasst, dass sie mit dem Probentischbild 62 auf dem GUI-Bildschirm 60, d. h. auf dem optischen Bild 61, individuell und einzeln in Kontakt sind, aber zwei Linearführungslinien 65 (65-1 und 65-2) der drei Linearführungslinien 65 (65-1, 65-2 und 65-3) auf dem GUI-Bildschirm 60 im Voraus geschnitten werden und ganzheitlich parallel bewegbar sind und ein Paar von Führungslinien, das aus den beiden Linearführungslinien 65 (65-1 und 65-2) gebildet ist, und eine verbleibende Linearführungslinie 65 (65-3) sind jeweils individuell und einzeln so verschoben und angepasst werden, dass sie mit dem Probentischbild 62 auf dem GUI-Bildschirm 60, d. h. dem optischen Bild 61, in Kontakt sind.
<Zweites Beispiel>
4 ist eine erläuternde Ansicht einer Probentischbild-Ausrichtungssequenz gemäß einem zweiten Beispiel.
In dem ersten Beispiel, das in 3 dargestellt ist, werden die drei Linearführungslinien 65 (65-1, 65-2 und 65-3) verschoben und angepasst und die Koordinaten jedes Eckpunktes des Dreiecks 68, das das Probentischbild 62 umschreibt, die die Messreferenzpunkte sind, werden durch die Schnittpunkte von zwei Linearführungslinien in voneinander verschiedenen Kombinationen der drei Linearführungslinien 65 (65-1, 65-2 und 65-3) nach der Verschiebungsanpassung bestimmt. Andererseits werden in diesem Beispiel drei Linearführungslinien 65 (65-1, 65-2 und 65-3) verschoben und angepasst, Koordinaten jedes Eckpunktes eines Dreiecks 68, das ein Probentischbild 62 einbeschreibt sind Messreferenzpunkte und die Koordinaten werden durch Schnittpunkte von zwei Linearführungslinien von voneinander verschiedenen Kombinationen aus den drei Linearführungslinien 65 (65-1, 65-2 und 65-3) nach der Verschiebungsanpassung bestimmt.
In dem Beispiel ist ein anfänglicher GUI-Bildschirm 60, der in 4(a) dargestellt ist, vor der Verschiebungsanpassung der drei Linearführungslinien 65 (65-1, 65-2 und 65-3) der gleiche wie der anfängliche GUI-Bildschirm 60 des ersten Beispiels, der in 3(a) dargestellt ist.
Daraufhin wählt ein Anwender in dem Beispiel beispielsweise die Linearführungslinie 65-1 durch Bedienen einer Bedienungseingabeeinrichtung 34B auf einem GUI-Bildschirm 60 in einem Probentischbild-Ausrichtungsbildschirm aus und verschiebt die Linearführungslinie 65-1 parallel auf dem GUI-Bildschirm 60, d. h. einem optischen Bild 61. Daher wird wie in 4(b) dargestellt die Linearführungslinie 65-1 auf dem GUI-Bildschirm 60, d. h. dem optischen Bild 61, so verschoben und angepasst, dass sie sich mit zwei Schnittpunkten 66-1 und 66-3 mit der Kontur S des Probentischbildes 62 schneidet.
Anschließend wählt der Anwender in ähnlicher Weise und der Reihe nach eine der verbleibenden zwei Linearführungslinien 65-2 und 65-3 eine nach dem anderen aus und verschiebt die Linearführungslinien 65-2 und 65-3 parallel auf dem GUI-Bildschirm 60, dem optischen Bild 61, und dann wird wie in 4(c) und 4(d) gezeigt jede der Linearführungslinien 65-2 und 65-3 so verschoben und angepasst, dass sie sich mit der Linearführungslinie 65-1 an den beiden Schnittpunkten 66-1 und 66-3, die auf der Linearführungslinie 65-1 definiert sind, schneidet.
Daher wird ein Dreieck, dessen Eckpunkte die drei Schnittpunkte 67 (67-1, 67-2 und 67-3) der drei Linearführungslinien 65 (65-1, 65-2 und 65-3) sind, in ähnlicher Weise definiert und wie in 4(d) dargestellt werden in einem Fall, in dem der Schnittpunkt 67-2 der verbleibenden zwei Linearführungslinien 65-2 und 65-3 nicht auf der Kontur S des Probentischbildes 62 positioniert ist (mit anderen Worten sind abgesehen von dem Schnittpunkt 67-2 jeweilige Schnittpunkte 66-2 und 66-2 der verbleibenden zwei Linearführungslinien 65-2 und 65-3 mit der Kontur S des Probentischbildes 62 vorhanden), die drei Schnittpunkte 67 (67-1, 67-2 und 67-3) nicht als Messreferenzpunkte behandelt. In einem solchen Fall verschiebt der Anwender wie in 4(e) für die drei Linearführungslinien 65 (65-1, 65-2 und 65-3) dargestellt die drei Linearführungslinien 65 (65 -1, 65-2 bzw. 65-3) so und passt sie so an, dass die drei Schnittpunkte 67 (67-1, 67-2 und 67-3) jeweils auf der Kontur S des Probentischbildes 62 positioniert sind.
Gemäß dem Beispiel können die Koordinaten jedes Eckpunktes des Dreiecks 68, das das Probentischbild 62 einbeschreibt, als die Messreferenzpunkte durch die Schnittpunkte 67 (67-1, 67-2 und 67-3) der zwei Linearführungslinien der voneinander verschiedenen Kombinationen aus den drei Linearführungslinien 65 (65-1, 65-2 und 65-3) nach der endgültigen Verschiebungsanpassung bestimmt werden. Die Mittenposition des Probentischbildes 62 auf dem optischen Bild 61 wird nicht direkt durch eine automatische Bildanalyse, die in Bezug auf die Kontur S des Probentischbildes 62 auf dem optischen Bild 61 kompliziert und mit Schwierigkeiten behaftet ist, erkannt, sondern die Größe und die Mittenposition des Probentischbildes 62 auf dem optischen Bild 61 und die Abbildungsvergrößerung des optischen Bildes 61, das das Probentischbild 62 enthält, können durch Berechnen eines Umkreismittelpunkts aus den Koordinaten jedes der Schnittpunkte 67 (67 -1, 67-2 und 67-3), die jeweils Eckpunkte des Dreiecks 68 sind, als Messreferenzpunkte automatisch und schnell mit hoher Genauigkeit in einer einfachen Berechnung erhalten werden. Da zudem die Eckpunkte (Schnittpunkte) 67 (67-1, 67-2 und 67-3) des Dreiecks 68 die Messreferenzpunkte sind, kann der Anwender das Zusammenfallen der Schnittpunkte 66 (66-1, 66-2 und 66-3) der jeweiligen Linearführungslinien 65 (65-1, 65-2 und 65-3) mit der Kontur S des Probentischbildes 62 durch Eliminieren des Schnittpunktes 66 wie in 4(e) gezeigt bestätigen.
In diesem Fall ist es wie in 4 dargestellt bei den drei Linearführungslinien 65 (65-1, 65-2 und 65-3) bevorzugt, dass die Neigung jeder Linearführungslinie 65 derart bestimmt wird, dass die kreisförmige Kontur S des Probentischbildes 62 im Wesentlichen dreigeteilt wird. Daher werden unabhängig von dem Anwender die umschriebenen Punkte 66 (66-1, 66-2 und 66-3), die die kreisförmige Kontur S entlang einer Längsrichtung davon dreiteilen, als Kriterien zum Erfassen der Messreferenzpunkte verwendet. Daher ist es möglich, die Abbildungsvergrößerung mit höherer Genauigkeit zu erhalten.
<Drittes Beispiel>
5 ist eine erläuternde Ansicht einer Probentischbild-Ausrichtungssequenz gemäß einem dritten Beispiel.
In dem ersten und zweiten Beispiel sind die Kontaktpunkte oder die Schnittpunkte 66 auf den drei Linearführungslinien 65 (65-1, 65-2 und 65-3) festgelegt. Es ist jedoch klar, dass es auch möglich ist, die Kontaktpunkte oder die Schnittpunkte auf drei oder mehr Linearführungslinien 65 festzulegen. Zum Beispiel werden Linearführungslinien 65 (65-1, 65-2, 65-3 und 65-4), die jeweils parallel zu jeweiligen Seiten eines regulären Polygons 69 mit vier oder mehr Seiten sind, auf einem GUI-Bildschirm 60 angezeigt, die Linearführungslinien 65 werden jeweils verschoben und angepasst und jeder Eckpunkt 67 des regulären Polygons 69, das ein Probentischbild 62 umschreibt, wird als ein Messreferenzpunkt festgelegt.
5 zeigt ein Beispiel, bei dem beispielsweise die Linearführungslinien 65 (65-1, 65-2, 65-3 und 65-4) jeweils parallel zu jeweiligen Seiten des Quadrats (regulären Polygons) 69 auf dem GUI-Bildschirm 60 angezeigt werden und ähnlich wie in dem Fall des ersten Beispiels, das in 3 dargestellt ist, wird jeder Eckpunkt 67 des Quadrats 69, das das Probentischbild 62 umschreibt, als Messreferenzpunkt in einer in 5(a) bis 5(e) dargestellten Prozedur festgelegt.
Gemäß dem Beispiel können die Koordinaten jedes Eckpunkts des regulären Polygons (Quadrates in dem Fall von 5) 69, das das Probentischbild 62 umschreibt, durch die Schnittpunkte 67 (vier von 67-1 bis 67-4 in dem Fall von 5) von zwei Linearführungslinien in voneinander verschiedenen Kombinationen aus mehreren Linearführungslinien 65 (vier von 65-1 bis 65-4 in dem Fall von 5) nach der Verschiebungsanpassung bestimmt werden. Die Mittenposition des Probentischbildes 62 auf dem optischen Bild 61 wird nicht direkt durch eine automatische Bildanalyse, die in Bezug auf die Kontur S des Probentischbildes 62 auf dem optischen Bild 61 kompliziert und mit Schwierigkeiten behaftet ist, erkannt, sondern die Größe und die Mittenposition des Probentischbildes 62 auf dem optischen Bild 61 und die Abbildungsvergrößerung des optischen Bildes 61, das das Probentischbild 62 enthält, können durch Berechnen eines Mittelpunkts (Inkreismittelpunkts in dem Fall von 5) aus den Koordinaten jedes der Schnittpunkte 67 (vier von 67-1 bis 67-4 in dem Fall von 5), d. h. jedes Eckpunkts des regulären Polygons (Quadrates in dem Fall von 5) 69 automatisch und schnell mit hoher Genauigkeit in einer einfachen Berechnung erhalten werden. Darüber hinaus kann dies gemäß dem Beispiel auch für einen Probentisch einer Ellipsenform verwendet werden.
<Viertes Beispiel>
6 ist eine erläuternde Ansicht einer Probentischbild-Ausrichtungssequenz gemäß einem vierten Beispiel.
In dem Beispiel ist eine Kontur S eines Probentischbildes 62 auf dem optischen Bild 61 rechteckig.
Im Fall des Beispiels sind ähnlich wie in dem Fall des dritten Beispiels Koordinaten jedes Eckpunkts eines Rechtecks 69, das dem Probentischbild 62 entspricht, Messreferenzpunkte und können durch die Schnittpunkte 67 (67-1 bis 67-4) von zwei Linearführungslinien in voneinander verschiedenen Kombinationen aus mehreren Linearführungslinien 65 (65-1 bis 65-4) nach der Verschiebungsanpassung bestimmt werden. Die Mittenposition des Probentischbildes 62 auf dem optischen Bild 61 wird nicht direkt durch eine automatische Bildanalyse, die in Bezug auf die Kontur S des Probentischbildes 62 auf dem optischen Bild 61 kompliziert und mit Schwierigkeiten behaftet ist, erkannt, sondern die Größe und die Mittenposition des Probentischbildes 62 auf dem optischen Bild 61 und die Abbildungsvergrößerung des optischen Bildes 61, das das Probentischbild 62 enthält, können durch Berechnen eines Mittelpunkts (Schwerpunkts in dem Fall von 6) aus den Koordinaten jedes der Schnittpunkte 67 (vier von 67-1 bis 67-4 in dem Fall von 6), die jeweils Eckpunkte des Rechtecks 69 des Probentischbildes 62 sind, automatisch und schnell mit hoher Genauigkeit in einer einfachen Berechnung erhalten werden. In dem Beispiel kann der Probentisch eines Quadrats schnell mit hoher Genauigkeit erfasst werden.
<Fünftes Beispiel>
7 ist eine erläuternde Ansicht einer Probentischbild-Ausrichtungssequenz gemäß einem fünften Beispiel.
In dem fünften Beispiel werden im Gegensatz zu den Fällen des ersten bis vierten Beispiels die in den Beispielen verwendeten Linearführungslinien 65 nicht verwendet und anstelle der Linearführungslinien 65 wird ein auf dem GUI-Bildschirm 60 beweglicher Zeiger 70 durch eine Bedienung einer Bedienungseingabeeinrichtung 34B auf dem anfänglichen GUI-Bildschirm 60 angezeigt, der Zeiger 70 wird verschoben und auf einer Konturform S auf dem optischen Bild 61, das das Probentischbild enthält, das beispielsweise eine Kontur S wie etwa einen Kreis, ein Rechteck, ein Parallelogramm und ein normales Polygon aufweist, abgelegt. Daher werden mehrere Punkte direkt als Messreferenzpunkte auf der Kontur des Probentischbildes 62 festgelegt.
Wie in der Zeichnung dargestellt werden in einem Fall, in dem das optische Bild 61, in dem die Kontur S des Probentischbildes 62 auf dem optischen Bild 61 beispielsweise ein Kreis ist, aus einer Abbildungseinrichtung 40, wie in 7 gezeigt erfasst wird, mindestens drei Punkte 71 (71-1, 71-2 und 71-3) auf der Kontur als Messreferenzpunkte festgelegt, indem der Zeiger 70 für jeden Punkt auf dem GUI-Bildschirm 60 verschoben und abgelegt wird. Daher Ist es möglich, ein Dreieck zu definieren, das das Probentischbild 62 mit der Kontur S des Kreises auf dem GUI-Bildschirm 60 auf dem optischen Bild 61 einbeschreibt.
Gemäß dem Beispiel wird die Kontur S des Probentischbildes 62 auf dem optischen Bild 61 nicht direkt durch eine automatische Bildanalyse, die kompliziert und mit Schwierigkeiten behaftet ist, erkannt, sondern die Größe und die Mittenposition des Probentischbildes 62 auf dem optischen Bild 61 und die Abbildungsvergrößerung des optischen Bildes 61, das das Probentischbild 62 enthält, können durch Berechnen eines Umkreismittelpunkts davon aus den Koordinaten jedes der Schnittpunkte 71 (71-1, 71-2 und 71-3), die jeweilige Eckpunkte des Dreiecks 68 sind, das das Probentischbild 62 einbeschreibt, als Messreferenzpunkte schnell mit geringer Arbeitszeit erhalten werden .
<Sechstes Beispiel>
8 ist eine erläuternde Ansicht einer Probentischbild-Ausrichtungssequenz gemäß einem sechsten Beispiel.
In dem Beispiel wird in einem Durchmesser oder einer Diagonale einer Kontur S eines Probentischbildes 62 zuerst ein beliebiger Punkt auf einer Kontur eines optischen Bildes 61, das das Probentischbild 62 enthält, durch den Zeiger 70 als Startpunkt 71 festgelegt und ein Endpunkt 72 eines Liniensegments 73, das sich aus dem Startpunkt 71 erstreckt, wird auf dem optischen Bild 61, das das Probentischbild enthält, durch Ziehen und Ablegen des Zeigers 70 von dem Startpunkt 71 auf einen anderen beliebigen Punkt auf der Kontur des Probentischbildes 62 festgelegt.
Während der Zeiger 70 gezogen wird, wird die Linearführungslinie 65, die aus den verbleibenden zwei Seiten des rechtwinkligen Dreiecks, dessen Hypotenuse das aktuelle Liniensegment 73 ist, oder jeder Seite einer rechteckigen Form, deren Diagonale das aktuelle Liniensegment 73 ist, gebildet ist, wie in 8(a) dargestellt auf dem optischen Bild 61, das das Probentischbild enthält, zusammen mit dem Ziehen des Liniensegments 73 auf dem optischen Bild 61 angezeigt. Daher kann wie in 8(a) dargestellt der Durchmesser oder die Diagonale, der bzw. die sich auf die Kontur S des Probentischbildes 62 bezieht, auf dem optischen Bild 61 durch Ziehen und Ablegen des Liniensegments 73 festgelegt werden, während die Linearführungslinie 65 bestätigt wird. In dem Beispiel sind der Startpunkt 71 und der Endpunkt 72 des Liniensegments 73, das durch Ziehen und Ablegen des Durchmessers oder der Diagonalen, der bzw. die sich auf die Kontur S des Probentischbildes 62 bezieht, erhalten wird, die Messreferenzpunkte. Daher kann die Abbildungsvergrößerung schnell mit geringer Arbeitszeit erhalten werden.
<Siebtes Beispiel>
9 ist eine erläuternde Ansicht einer Probentischbild-Ausrichtungssequenz gemäß einem siebten Beispiel.
In dem ersten und zweiten Beispiel, die in 3 dargestellt sind, wird, um die Koordinaten jedes Eckpunktes des Dreiecks 68, das das Probentischbild 62 umschreibt oder einbeschreibt, die die Messreferenzpunkte sind, durch Schnittpunkte von zwei Linearführungslinien in voneinander verschiedenen Kombinationen aus den drei Linearführungslinien 65 (65-1, 65-2 und 65-3) nach der Verschiebungsanpassung zu bestimmen, jede der drei Linearführungslinien 65 (65-1, 65-2 und 65-3) parallel verschoben und verschoben und angepasst. Jedoch bestehen in dem Beispiel die drei Linearführungslinien 65 (65-1, 65-2 und 65-3) aus zwei Typen von Linearführungslinien 65p und 65r gebildet, die aus parallel verschiebbaren Linearführungslinien 65p (65-1 und 65-3), die parallel verschoben und verschoben und angepasst werden, und einer Linearführungslinie 65r (65-2) mit geneigter Verschiebung, die geneigt (gedreht) und verschoben wird, um verschoben und angepasst zu werden, gebildet sind.
In dem Beispiel ist ein anfänglicher GUI-Bildschirm 60, der in 9(a) dargestellt ist, vor der Verschiebungsanpassung der drei Linearführungslinien 65-1, 65-2 und 65-3 der gleiche wie der anfängliche GUI-Bildschirm 60, der in 3(a) des ersten Beispiels dargestellt ist.
Zusätzlich bedient der Anwender in dem Beispiel die Bedienungseingabeeinrichtung 34B auf dem GUI-Bildschirm 60 auf dem Probentischbild-Ausrichtungsschirm, wählt beispielsweise die parallel verschiebbaren Linearführungslinien 65-1 (65p) aus, verschiebt die parallel verschiebbare Linearführungslinie 65-1(65p) auf dem GUI-Bildschirm 60, d. h. dem optischen Bild 61, parallel und verschiebt dann wie in 9(b) dargestellt die parallel verschiebbare Linearführungslinie 65-1(65p) auf dem GUI-Bildschirm 60, d. h. dem optischen Bild 61, so und passt sie so an, dass sie mit der Kontur S des Probentischbildes 62 an einem Kontaktpunkt 66-1 in Kontakt ist.
Anschließend wählt der Anwender ebenso auch die verbleibende parallel verschiebbare Linearführungslinie 65-3(65p) aus, verschiebt die parallel verschiebbare Linearführungslinie 65-3 (65p) auf dem GUI-Bildschirm 60, d. h. dem optischen Bild 61 parallel und verschiebt die parallel verschiebbare Linearführungslinie 65-3 (65p) auf dem GUI-Bildschirm 60, d. h. dem optischen Bild 61, dann wie in 9(c) dargestellt so und passt sie so an, dass sie in Kontakt mit der Kontur S des Probentischbildes 62 an einem Kontaktpunkt 66-3 ist.
Außerdem wählt der Anwender die verbleibende Linearführungslinie mit geneigter Verschiebung 65-2 (65r) aus, neigt (dreht) und verschiebt die Linearführungslinie mit geneigter Verschiebung 65-2 (65r) auf dem GUI-Bildschirm 60, d. h. dem optischen Bild 61 und verschiebt die Linearführungslinie 65-2 mit geneigter Verschiebung (65r) auf dem GUI-Bildschirm 60, d. h. dem optischen Bild 61, dann wie in 9(d) dargestellt so und passt sie so an, dass sie mit der Kontur S des Probentischbildes 62 an einem Kontaktpunkt 66-2 in Kontakt ist.
Hierbei wird die geneigte (gedrehte) Verschiebung der Linearführungslinie mit geneigter Verschiebung 65-2 (65r) derart durchgeführt, dass ein Mittelpunkt davon ein Schnittpunkt 67-1 oder 67-3 (in 9(C) nicht dargestellt) mit der parallel verschiebbaren Linearführungslinie 65-1 (65p) oder 65-1 (65p) ist, die so verschoben und angepasst wird, dass sie mit der Linearführungslinie mit geneigter Verschiebung 65-2 (65r) und der Kontur S des Probentischbildes 62 an dem Kontaktpunkt 66-1 oder 66-3 in Kontakt ist. In dem dargestellten Beispiel wird die geneigte (gedrehte) Verschiebung mit dem Schnittpunkt 67-1 als Mittelpunkt durchgeführt, aber die geneigte (gedrehte) Verschiebung kann auch mit dem Schnittpunkt 67-3 als Mittelpunkt durchgeführt werden. Ferner wählt der Anwender vor der Verschiebungsanpassung der Linearführungslinie mit geneigter Verschiebung 65-2 (65r) einen der ausgewählten Schnittpunkte 67-1 oder 67-3 aus und kann diesen als Mittelpunkt festlegen.
Zusätzlich wird ein Bedienungsverfahren für die geneigte (gedrehte) Verschiebung der Linearführungslinie mit geneigter Verschiebung 65-2 (65r) durch direktes Bearbeiten der Neigung (Drehung) der Linearführungslinie mit geneigter Verschiebung 65-2 oder Einstellen und Eingeben eines Wertes eines Schnittwinkels θ zwischen der Linearführungslinie mit geneigter Verschiebung 65-2 (65r) und der parallel verschiebbaren Linearführungslinie 65-1 (65p) oder 65-1 (65p), die den Mittelpunkt definieren, durchgeführt.
Daher können die Koordinaten jedes Eckpunkts des Dreiecks 68, das das Probentischbild 62 umschreibt, als Messreferenzpunkte durch die Schnittpunkte 67 (67-1, 67-2 und 67-3) von zwei Linearführungslinien in voneinander verschiedenen Kombinationen aus den drei Linearführungslinien 65 (65-1, 65-2 und 65-3) nach der endgültigen Verschiebungsanpassung bestimmt werden. Die Mittenposition des Probentischbildes 62 auf dem optischen Bild 61 wird nicht direkt durch eine automatische Bildanalyse, die in Bezug auf die Kontur S des Probentischbildes 62 auf dem optischen Bild 61 kompliziert und mit Schwierigkeiten behaftet ist, erkannt, sondern die Größe und die Mittenposition des Probentischbildes 62 auf dem optischen Bild 61 und die Abbildungsvergrößerung des optischen Bildes 61, das das Probentischbild 62 enthält, können durch Berechnen des Inkreismittelpunkts aus den Koordinaten jedes der Schnittpunkte 67 (67-1, 67-2 und 67-3), die jeweilige Eckpunkte des Dreiecks 68 sind, als Messreferenzpunkte automatisch und schnell mit hoher Genauigkeit in einer einfachen Berechnung erhalten werden. Da zudem die Eckpunkte (Schnittpunkte) 67 (67-1, 67-2 und 67-3) des Dreiecks 68 die Messreferenzpunkte sind, kann der Anwender die korrekten Positionen durch die Erzeugung der Kontaktpunkte 66 (66-1, 66-2 und 66-3) mit der Kontur S des Probentischbildes 62 jede der Linearführungslinien 65 (65-1, 65-2 und 65-3) durch die Kontaktanzeige wie in 9(d) dargestellt bestätigen.
Darüber hinaus ist in 9 eine Prozedur dargestellt, bei der die parallel verschiebbaren Linearführungslinien 65-1 (65p) und 65-3 (65p) so verschoben und angepasst werden, dass sie mit der Kontur S des Probentischbildes 62 an den Kontaktpunkten 66-1 und 66-3 in Kontakt sind, und dann die Linearführungslinie mit geneigter Verschiebung 65-2 (65r) verschoben und angepasst wird. Wie in 9(a) dargestellt wird die parallel verschiebbare Linearführungslinie 65-1 (65p) so verschoben und angepasst, dass sie mit der Kontur S des Probentischbildes 62 an dem Kontaktpunkt 66-1 in Kontakt ist und dann wird die Linearführungslinie mit geneigter Verschiebung 65-2 (65r) verschoben und angepasst. Danach ist es selbst dann, wenn die parallel verschiebbare Linearführungslinie 65-3 (65p) wie in 9(d) dargestellt verschoben und angepasst wird, möglich, einen Zustand zu erhalten, in dem die Linearführungslinien 65-1 bis 65-3 jeweils an den Kontaktpunkten 66-1 bis 66-3 mit der Kontur S des Probentischbildes 62 in Kontakt sind.
10 und 11 sind jeweilige erläuternde Ansichten von Abwandlungsbeispielen einer Probentischbild-Ausrichtungssequenz gemäß dem siebten Beispiel, das in 9 dargestellt ist.
In dem in 10 dargestellten Abwandlungsbeispielen bestehen drei Linearführungslinien 65 (65-1, 65-2 und 65-3) aus zwei Typen von Linearführungslinien 65p und 65r, die von parallel verschiebbaren Linearführungslinien 65p (65-1 und 65-3), die parallel verschoben werden, um verschoben und angepasst zu werden, und einer Linearführungslinie mit geneigter Verschiebung 65r (65-2), die geneigt (gedreht) und verschoben wird, um verschoben und angepasst zu werden, gebildet werden. Die Konfiguration ist die gleiche wie in dem siebten Beispiel, das in 9 dargestellt ist. Jedoch sind zwei parallel verschiebbare Linearführungslinien 65-1 (65p) und 65-3 (65p) im Voraus orthogonal zueinander gesetzt.
Zusätzlich bestehen in dem in 11 dargestellten Abwandlungsbeispiel drei Linearführungslinien 65 (65-1, 65-2 und 65-3) aus zwei Typen von Linearführungslinien 65p und 65r. Die Konfiguration ist die gleiche wie die des siebten Beispiels, das in 9 dargestellt ist. Die Anzahl der Konfigurationen von jedem der beiden Typen der Linearführungslinien 65p und 65r, die von einer parallel verschiebbaren Linearführungslinie 65p ( 65-1), die parallel verschoben und angepasst wird, und Linearführungslinienmit geneigter Verschiebung 65r (65-2 und 65-3) gebildet werden, unterscheidet sich von der des siebten Beispiels von 9.
Außerdem wird in dem Beispiel die geneigte (gedrehte) Verschiebung der Linearführungslinie mit geneigter Verschiebung 65r automatisch mit einem Schnittpunkt mit einer vorbestimmten parallel verschiebbaren Linearführungslinie 65p als Mittelpunkt beim Durchführen der geneigten (gedrehten) Verschiebung eingestellt, aber es ist auch möglich, den Mittelpunkt durch eine vorbestimmte Bedienung durch den Anwender zu einem gewünschten Punkt auf der vorbestimmten parallel verschiebbaren Linearführungslinie 65p zu bewegen. Wie in dem zweiten Beispiel, das in 4 dargestellt ist, kann dieser Fall auch auf eine Probentischbild-Ausrichtungssequenz angewendet werden, bei der das Dreieck 68, das durch jede der Linearführungslinien 65-1 bis 65-3 definiert ist, die verschoben und angepasst werden, die Kontur S des Probentischbildes 62 einbeschreibt, und es ist möglich, die Eckpunkte (Schnittpunkte) 67 (67-1, 67-2 und 67-3) des einbeschreibenden Dreiecks 68 mit einer einfacheren Bedienung zu erhalten als in einem Fall, in dem die drei Linearführungslinien 65 (65-1, 65-2 und 65-3) aus parallel verschiebbaren Linearführungslinien 65p bestehen.
Wie oben beschrieben ist das Rasterelektronenmikroskop 1 gemäß den Ausführungsformen ausgebildet, aber die Ladungsträgerstrahlvorrichtung gemäß den Ausführungsformen der Erfindung ist nicht darauf beschränkt und verschiedene Abwandlungen der Ausführungsformen sind inbegriffen.
12 ist eine schematische Konfigurationsansicht eines weiteren Beispiels eines Rasterelektronenmikroskops als Ladungsträgerstrahlvorrichtung gemäß einer weiteren Ausführungsform der Erfindung.
Bei dem in 1 dargestellten Rasterelektronenmikroskop 1 ist die Abbildungseinrichtung 40 außerhalb der Probenkammer 20 des Rasterelektronenmikroskops 1 getrennt von dem Mikroskopeinrichtungskörper 2 vorgesehen, aber bei einem Rasterelektronenmikroskop 1' gemäß der Ausführungsform, wie sie in 12 dargestellt ist, unterscheidet sich eine Abbildungseinrichtung 40 von derjenigen der Ausführungsform von 1 dadurch, dass sie eine Struktur aufweist, die einstückig mit einem Mikroskopeinrichtungskörper 2 ist, wobei eine Abbildungsoberflächenseite einer CCD-Kamera 43 der Abbildungseinrichtung 40 einem Inneren einer Probenkammer 20 zugewandt ist. Demgemäß ist in dem Rasterelektronenmikroskop 1' die Abbildungseinrichtung 40 innerhalb der Probenkammer 20 in dem Probenkammergehäuse 21 vorgesehen oder die Plattform 22 kann einen montierten Abschnitt 23 zwischen einer mit einem Elektronenstrahl 3 bestrahlten Beobachtungsposition und einer Abbildungsposition durch die CCD-Kamera 43 so bewegen und verschieben, dass in der Probenkammer 20 beispielsweise bewegliche Positionen der Beobachtungsposition, die mit dem Elektronenstrahl 3 aus dem Objektivtubus 10 bestrahlt wird, und der Abbildungseinrichtung 40 durch die CCD-Kamera 43 der Abbildungseinrichtung 40 auf der horizontalen Ebene in Bezug auf den montierten Abschnitt 23 der Plattform 22 an der gleichen Position sind und eine Richtung der optischen Achse eines elektronisch-optischen Systems 12 und die Abbildungsrichtung der CCD-Kamera 43 sich auf einer Plazierungsoberfläche 6A eines auf dem montierten Abschnitt 23 der Plattform 22 montierten Probentischs 6 miteinander schneiden können. Daher können die mit dem Elektronstrahl 3 aus einem Objektivtubus 10 bestrahlte Beobachtungsposition und eine bewegliche Position des montierten Abschnitts 23 der Plattform 22, auf der der Probentisch 6 lösbar montiert ist, in der horizontalen Ebene an der gleichen Position sein.
Daher ist es gemäß dem Rasterelektronenmikroskop 1' der Ausführungsform nicht notwendig, eine öffenbare und schließbare Einlass-/Auslassöffnung der Probe 5, die in dem Probenkammergehäuse 21 vorgesehen ist, zwischen der Erfassung des aufgenommenen Bildes und der Erfassung des Beobachtungsbilds zu öffnen. Es ist möglich, ein optisches Bild, das zum Einstellen eines Sichtfeldbereichs verwendet wird, oder ein optisches Bild 61, das ein Probentischbild 62 enthält, für eine Probentischbildausrichtung innerhalb des Probenkammergehäuses 21, das sich für die Probenbeobachtung in einem Unterdruckzustand befindet, zu erfassen. Es ist möglich, die Erfassung des Beobachtungsbildes in Bezug auf einen eingestellten Sichtfeldbereich innerhalb des Probenkammergehäuses 21 wie gehabt fortzusetzen.
Zusätzlich werden bei den Rasterelektronenmikroskopen 1 und 1' der Ausführungsformen in der ersten bis vierten Ausführungsform gemäß dem GUI-Bildschirm 60, auf dem das optische Bild 61, das das Probentischbild 62 enthält, auf dem Probentischbild-Ausrichtungsbildschirm wie in 3 bis 6 dargestellt angezeigt wird, die mehreren Linearführungslinien 65, die sich voneinander unterscheiden, im Voraus angezeigt. Jedoch werden die Linearführungslinien 65 nicht anfänglich auf dem GUI-Bildschirm 60 angezeigt, sondern stattdessen werden mehrere Piktogramme der Linearführungslinien 65 selektiv auf dem Probentischbild-Ausrichtungsbildschirm angezeigt und immer dann, wenn der Anwender ein Piktogramm einer gewünschten Linearführungslinie 65 auswählt, kann die dem ausgewählten Piktogramm entsprechende Linearführung 65 auf dem GUI-Bildschirm 60 angezeigt werden.
Zum Beispiel sind Piktogramme, die jeweils den in 3 dargestellten Linearführungslinien 65-1, 65-2 bzw. 65-3 entsprechen, und Piktogramme, die jeweils den in 5 dargestellten Linearführungslinien 65-1 bzw. 65-2 entsprechen, jeweils auf dem Probentischbild-Ausrichtungsbildschirm vorgesehen und unter diesen kann auch ein Piktogramm einer Linearführungslinie 65-x eines gewünschten Typs, der von dem Anwender verwendet wird, gemäß der Kontur S des Probentischbildes 62 in dem optischen Bild 61 ausgewählt werden. In diesem Fall ist die Anzahl der Piktogramme, d. h. der Typen der Linearführungsleitungen 65, nicht auf die in der ersten bis vierten Ausführungsform dargestellten Linearführungslinien 65 beschränkt und Piktogramme verschiedener Typen der Linearführungslinien 65 können bereitgestellt sein. Zusätzlich kann die Linearführung 65 selbst eine polygonale Linienform aufweisen, die durch Integrieren der mehreren Linearführungslinien 65, die in der dritten Ausführungsform unter Bezugnahme auf 5 oder dergleichen beschrieben sind, ausgebildet sind, und ist nicht auf eine einfache lineare Form beschränkt.
Wie oben beschrieben, ist die Konfiguration der Ladungsträgerstrahlvorrichtung gemäß der Erfindung nicht auf die Ausführungsformen beschränkt und schließt verschiedene abgewandelte Beispiele ein. Die spezifischen Konfigurationen in den oben beschriebenen Ausführungsformen dienen zum Zweck des Verständnisses der vorliegenden Erfindung und sind nicht notwendigerweise auf diejenigen beschränkt, die alle oben beschriebenen spezifischen Konfigurationen aufweisen. Beispielsweise ist es möglich, einen Teil der spezifischen Konfiguration einer Ausführungsform mit einer spezifischen Konfiguration einer anderen Ausführungsform zu ersetzen und die spezielle Konfiguration einer Ausführungsform kann der spezifischen Konfiguration einer anderen Ausführungsform hinzugefügt werden. Zusätzlich ist es möglich, andere Konfigurationen in Bezug auf einen Teil der spezifischen Konfiguration jeder Ausführungsform hinzuzufügen, zu entfernen oder zu ersetzen.
Zusätzlich können die Konfigurationen, die Funktionen, die Verarbeitungsabschnitte, die Verarbeitungseinheiten und dergleichen alle jeweils durch Hardware verwirklicht werden, beispielsweise indem einige oder alle von ihnen mit einer integrierten Schaltung oder dergleichen ausgebildet werden. Zusätzlich können die Konfigurationen, die Funktionen und dergleichen alle jeweils durch Software-Interpretation und Ausführung von Programmen verwirklicht werden, wobei die jeweilige Funktion durch einen Computer umgesetzt wird. Informationen wie Programme, Tabellen, Dateien und dergleichen, die jeweilige Funktionen verwirklichen, können in einem Speicher, einer Festplatte, einem Festkörperlaufwerk (SSD) oder einem Aufzeichnungsmedium wie einer IC-Karte, einer SD-Karte oder einer DVD gespeichert sein.
Bezugszeichenliste

1, 1': Rasterelektronenmikroskop,
2: Mikroskopeinrichtungskörper,
3: Elektronenstrahl,
4: Signalteilchen,
5: Probe,
6: Probentisch,
6A: Platzierungsfläche,
6B: Montageabschnitt,
S: Konturform,
10: Objektivtubus,
11: Elektronenkanone,
12: Elektronisch-optisches System,
13: Anode,
14: Kondensorlinse,
15: Ablenker,
16: Objektivlinse,
17: Detektor,
20: Probenkammer,
21: Probenkammergehäuse,
22: Plattform,
23: Montierter Abschnitt,
24: Bewegungsmechanismus,
30: Steuereinrichtung,
31: Plattformsteuerabschnitt,
32: Signalverarbeitungsabschnitt,
33: Vorrichtungssteuerungsabschnitt,
34: Computerabschnitt,
34A: Computerkörper,
34B: Bedienungseingabeeinrichtung,
34C: Anzeigeeinrichtung,
40: Abbildungseinrichtung,
41: Montagetisch,
42: Ständer,
43: CCD-Kamera,
44: Montierter Abschnitt,
60: GUI-Bildschirm,
61: Optisches Bild einschließlich Probentischbild,
62: Probentischbild,
65: Linearführungslinie,
66: Kontaktpunkt,
67: Schnittpunkt,
68: Dreieck,
69: Quadrat (reguläres Polygon),
70: Zeiger,
71: Startpunkt,
72: Endpunkt,
73: Liniensegment

Alle in dieser Beschreibung zitierten Veröffentlichungen, Patente und Patentanmeldungen werden hier durch Bezugnahme in ihrer Gesamtheit aufgenommen.

Claims

Ladungsträgerstrahlvorrichtung, die umfasst: eine Ladungsträgerquelle (11), die einen Ladungsträgerstrahl (3) emittiert; ein optisches System für Ladungsträger (12), das eine Probe (5) mit dem Ladungsträgerstrahl (3) aus der Ladungsträgerquelle (11) bestrahlt; eine Probenkammer (20), in der ein Probentisch (6), auf dem die Probe (5) angeordnet ist, aufgenommen ist; eine Plattform (22), die den Probentisch (6) innerhalb der Probenkammer (20) hält und die Probe (5) zusammen mit dem Probentisch (6) innerhalb der Probenkammer (20) bewegt, um eine Bestrahlungsposition und/oder eine Bestrahlungsrichtung des Ladungsträgerstrahls (3) aus dem optischen System für Ladungsträger (12) in Bezug auf die Probe (5) zu ändern; einen Detektor (17), der Signalteilchen detektiert, die aus der auf dem Probentisch (6) angeordneten Probe (5) durch Bestrahlung mit dem Ladungsträgerstrahl (3) erzeugt werden; einen Bildverarbeitungsabschnitt, der ein Beobachtungsbild eines Beobachtungsbereichs auf der mit dem Ladungsträgerstrahl (3) bestrahlten Probe (5) auf der Basis der von dem Detektor (17) detektierten Signalteilchen erzeugt; einen Bildanzeigeabschnitt, der ein aufgenommenes Bild, das ein Probentischbild (62) des erfassten Probentisches (6) enthält, von einer Abbildungseinrichtung anzeigt; einen Bedienungseingabeabschnitt, der einen Messreferenzpunkt setzt und eingibt, indem Punkte, die voneinander entfernt positioniert sind, auf einer Kontur des Probentischbildes (62) auf einem aufgenommenen Bild, das auf dem Bildanzeigeabschnitt angezeigt wird, festgelegt werden; einen Probentischbild-Größenberechnungsabschnitt, der eine Größe des Probentischbildes (62) auf dem aufgenommenen Bild auf der Basis eines Abstands auf dem aufgenommenen Bild zwischen mehreren Messreferenzpunkten, die durch eine Bedienung des Bedienungseingabeabschnitts gesetzt und eingegeben werden, berechnet; und einen Abbildungsvergrößerungs-Berechnungsabschnitt, der eine Abbildungsvergrößerung des aufgenommenen Bildes aus einer Größe des Probentischbildes (62), die durch den Probentischbild-Größenberechnungsabschnitt berechnet wird, und einer tatsächlichen Größe des Probentisches (6) berechnet.
Ladungsträgerstrahlvorrichtung nach Anspruch 1, wobei ein Beobachtungsbereich auf der Probe (5) zum Erfassen des Beobachtungsbildes durch Bestrahlen mit dem Ladungsträgerstrahl (3) auf dem aufgenommenen Bild des Probentisches (6), auf dem die Probe (5) angeordnet ist, das mit der gleichen Vergrößerung wie der durch den Abbildungsvergrößerungs-Berechnungsabschnitt berechneten Abbildungsvergrößerung erfasst wird, als ein Sichtfeldbereich gesetzt wird und dann, wenn ein Beobachtungsbild eines Beobachtungsbereichs auf der Probe (5), der dem Betrachtungsfeldbereich entspricht, erfasst wird, die durch den Abbildungsvergrößerungs-Berechnungsabschnitt berechnete Abbildungsvergrößerung bei einer Ausrichtung des optischen Systems für Ladungsträger (12) und/oder der Plattform (22), die sich auf eine Bestrahlungsposition des Ladungsträgerstrahls (3) bezieht, verwendet wird.
Ladungsträgerstrahlvorrichtung nach Anspruch 1, wobei die mehreren Messreferenzpunkte, die durch die Bedienung des Bedienungseingabeabschnitts gesetzt und eingegeben werden, jeweilige Eckpunkte eines Polygons sind, das eine Kontur des Probentischbildes (62) in dem aufgenommenen Bild, das auf dem Bildanzeigeabschnitt angezeigt wird, umschreibt oder einbeschreibt.
Ladungsträgerstrahlvorrichtung nach Anspruch 1, wobei die Messreferenzpunkte zusammen mit dem aufgenommenen Bild auf dem Bildanzeigeabschnitt angezeigt werden und durch Verschieben mehrerer Linearführungslinien (65), deren Erstreckungsrichtungen voneinander verschieden sind, auf einem Anzeigebildschirm des Bildanzeigeabschnitts gemäß der Bedienung des Bedienungseingabeabschnitts und Festlegen eines Kontaktpunkts zwischen jeder Linearführungslinie (65) und einer Kontur des Probentischbildes (62) in dem aufgenommenen Bild oder eines Schnittpunktes zwischen zwei Linearführungslinien (65) mit verschiedener Kombination voneinander und der Kontur des Probentischbildes (62) in dem aufgenommenen Bild gesetzt und eingegeben werden.
Ladungsträgerstrahlvorrichtung nach Anspruch 4, wobei die mehreren Linearführungslinien (65), die voneinander verschiedene Erstreckungsrichtungen aufweisen, mehrere parallel verschiebbare Linearführungslinien (65) sind, die auf dem Anzeigebildschirm des Bildanzeigeabschnitts parallel verschoben werden können, oder eine Kombination aus mindestens einer parallel verschiebbaren Linearführungslinie (65), die auf dem Anzeigebildschirm des Bildanzeigeabschnitts parallel verschoben werden kann, und einer verbleibenden Linearführungslinie (65) mit geneigter Verschiebung, die auf dem Anzeigebildschirm des Bildanzeigeabschnitts geneigt und verschoben werden kann, ist.
Ladungsträgerstrahlvorrichtung nach Anspruch 1, wobei die Messreferenzpunkte gesetzt und eingegeben werden, indem die Bedienung des Bedienungseingabeabschnitts auf der Kontur des Probentischbildes (62) auf dem Anzeigebildschirm des Bildanzeigeabschnitts, auf dem das aufgenommene Bild, das das Probentischbild enthält (62), angezeigt wird, direkt eingezeichnet wird.
Ladungsträgerstrahlvorrichtung nach Anspruch 6, wobei dann, wenn die Messreferenzpunkte, die bereits gesetzt und eingegeben sind, angezeigt werden und ein Paar von Messreferenzpunkten gesetzt ist, verbleibende Eckpunkte eines rechtwinkligen Dreiecks oder eines Rechtecks, in dem eine lineare Linie, die das Paar von Messreferenzpunkten verbindet, als Hypotenuse bzw. Diagonale gesetzt ist, angezeigt werden, um auf dem Anzeigebildschirm des Bildanzeigeabschnitts, auf dem das aufgenommene Bild, das das Probentischbild (62) enthält, angezeigt wird, geführt zu werden.
Ausrichtungsverfahren für eine Ladungsträgerstrahlvorrichtung, wobei das Verfahren umfasst: einen Sichtfeldbereich-Einstellungsschritt zum Einstellen eines Beobachtungsbereichs auf einer Probe (5) zum Erfassen eines Beobachtungsbildes durch eine Ladungsträgerstrahlvorrichtung auf einem aufgenommenen Bild der Probe (5), das von einer Abbildungseinrichtung erfasst wird, als Sichtfeldbereich; einen Ausrichtungsschritt zum Verwenden einer Abbildungsvergrößerung eines aufgenommenen Bildes durch die Abbildungseinrichtung, das bei der Einstellung des Sichtfeldbereichs verwendet wird, für eine Ausrichtung einer Bestrahlungsposition eines Ladungsträgerstrahls (3), wenn das Beobachtungsbild der Probe (5) durch Bestrahlen des Beobachtungsbereichs auf der Probe (5), der dem Sichtfeldbereich entspricht, mit dem Ladungsträgerstrahl durch die Ladungsträgerstrahlvorrichtung erfasst wird; einen Probentischbild-Anzeigeschritt zum Anzeigen des aufgenommenen Bildes auf einem Bildanzeigeabschnitt, das das Probentischbild (62) des Probentisches (6), auf dem die Probe (5) angeordnet ist, enthält und das von der Abbildungseinrichtung erfasst wird; einen Bedienungseinstellungsschritt zum Setzen und Eingeben eines Messreferenzpunktes durch Festlegen von Punkten, die voneinander entfernt positioniert sind, auf einer Kontur des Probentischbildes (62) basierend auf einer Bedienung eines Bedienungseingabeabschnitts auf dem aufgenommenen Bild, das auf dem Bildanzeigeabschnitt durch den Probentischbild-Anzeigeschritt angezeigt wird; einen Probentischbild-Größenberechnungsschritt zum Berechnen einer Größe des Probentischbildes auf dem aufgenommenen Bild auf der Basis eines Abstands auf dem aufgenommenen Bild zwischen mehreren Messreferenzpunkten, die durch den Bedienungseinstellungsschritt gesetzt und eingegeben werden; und einen Abbildungsvergrößerungs-Berechnungsschritt zum Berechnen einer Abbildungsvergrößerung des aufgenommenen Bildes aus einer Größe des Probentischbildes (62), die durch den Probentischbild-Größenberechnungsschritt berechnet wird, und einer tatsächlichen Größe des Probentisches (6).
Ausrichtungsverfahren für eine Ladungsträgerstrahlvorrichtung nach Anspruch 8, wobei in dem Bedienungseinstellungsschritt die mehreren Messreferenzpunkte, die durch die Bedienung eines Bedienungseingabeabschnitts gesetzt und eingegeben werden, jeweils Eckpunkte eines Polygons sind, das eine Kontur des Probentischbildes (62) in dem auf dem Bildanzeigeabschnitt angezeigten aufgenommenen Bild umschreibt oder einbeschreibt.
Ausrichtungsverfahren für eine Ladungsträgerstrahlvorrichtung nach Anspruch 8, wobei in dem BedienungseinstellungssüHTritt die Messreferenzpunkte zusammen mit dem aufgenommenen Bild auf dem Bildanzeigeabschnitt angezeigt werden und gesetzt und eingegeben werden, indem jeweils mehrere Linearführungslinien (65), deren Erstreckungsrichtungen sich voneinander unterscheiden, auf einem Anzeigebildschirm des Bildanzeigeabschnitts gemäß der Bedienung des Bedienungseingabeabschnitts verschoben werden und ein Kontaktpunkt zwischen jeder Linearführungslinie (65) und einer Kontur des Probentischbildes (62) in dem aufgenommenen Bild oder ein Schnittpunkt zwischen zwei Linearführungslinien (65) mit verschiedener Kombination voneinander und der Kontur des Probentischbildes (62) in dem aufgenommenem Bild festgelegt wird.
Ausrichtungsverfahren für eine Ladungsträgerstrahlvorrichtung nach Anspruch 10, wobei die mehreren Linearführungslinien (65), die voneinander verschiedene Erstreckungsrichtungen aufweisen, mehrere parallel verschiebbare Linearführungslinien (65) sind, die auf dem Anzeigebildschirm des Bildanzeigeabschnitts parallel verschoben werden können, oder eine Kombination aus mindestens einer parallel verschiebbaren Linearführungslinie (65), die auf dem Anzeigebildschirm des Bildanzeigeabschnitts parallel verschoben werden kann, und einer verbleibenden Linearführungslinie (65) mit geneigter Verschiebung, die auf dem Anzeigebildschirm des Bildanzeigeabschnitts geneigt und verschoben werden kann, ist.
Ausrichtungsverfahren für eine Ladungsträgerstrahlvorrichtung nach Anspruch 8, wobei in dem Bedienungseinstellungsschritt die Messreferenzpunkte gesetzt und eingegeben werden, indem die Bedienung des Bedienungseingabeabschnitts auf der Kontur des Probentischbildes (62) auf dem Anzeigebildschirm des Bildanzeigeabschnitts, auf dem das aufgenommene Bild, das das Probentischbild (62) enthält, angezeigt wird, direkt eingezeichnet wird.
Ausrichtungsverfahren für eine Ladungsträgerstrahlvorrichtung nach Anspruch 12, wobei dann, wenn die Messreferenzpunkte, die bereits gesetzt und eingegeben sind, angezeigt werden und ein Paar von Messreferenzpunkten gesetzt ist, verbleibende Eckpunkte eines rechtwinkligen Dreiecks oder eines Rechtecks, in dem eine lineare Linie, die das Paar von Messreferenzpunkten verbindet, als Hypotenuse bzw. Diagonale gesetzt ist, angezeigt werden, um auf dem Anzeigebildschirm des Bildanzeigeabschnitts, auf dem das aufgenommene Bild, das das Probentischbild (62) enthält, angezeigt wird, geführt zu werden.
Ausrichtungsprogramm für eine Ladungsträgerstrahlvorrichtung, um zu veranlassen, dass ein Computer Folgendes ausführt: einen Probentischbild-Anzeigeschritt zum Anzeigen eines aufgenommenen Bildes, das von einer Abbildungseinrichtung erfasst wird und ein Probentischbild (62) eines Probentisches (6), auf dem eine Probe (5) angeordnet ist, enthält, auf einem Bildanzeigeabschnitt; einen Bedienungseinstellungsschritt zum Setzen und Eingeben eines Messreferenzpunktes durch Festlegen von Punkten, die voneinander entfernt positioniert sind, auf einer Kontur des Probentischbildes (62) basierend auf einer Bedienung eines Bedienungseingabeabschnitts auf dem aufgenommenen Bild, das auf dem Bildanzeigeabschnitt durch den Probentischbild-Anzeigeschritt angezeigt wird; einen Probentischbild-Größenberechnungsschritt zum Berechnen einer Größe des Probentischbildes (62) auf dem aufgenommenen Bild auf der Basis eines Abstands auf dem aufgenommenen Bild zwischen mehreren Messreferenzpunkten, die durch den Bedienungseinstellungsschritt gesetzt und eingegeben werden; und einen Abbildungsvergrößerungs-Berechnungsschritt zum Berechnen einer Abbildungsvergrößerung des aufgenommenen Bildes aus einer Größe des Probentischbildes (62), die durch den Probentischbild-Größenberechnungsschritt berechnet wird, und einer tatsächlichen Größe des Probentisches (6).
Computerlesbares Aufzeichnungsmedium, auf dem das Ausrichtungsprogramm nach Anspruch 14 aufgezeichnet ist.