JP2010198998A - 走査型電子顕微鏡 - Google Patents
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Abstract
【解決手段】本発明の課題を達成するために、本発明は、電子顕微鏡において、試料ステージ像を取得する撮像装置を備え、当該撮像装置で取得した試料ステージ像を用いて、試料ステージの位置及び移動距離及び/又は移動方向と、前記表示装置上での試料ステージの位置及び移動距離及び/又は移動方向との対応関係の情報を記憶する記憶装置と、当該対応関係の情報を用いて、走査電子顕微鏡で取得した試料像と、当該試料像を取得している試料ステージ上での位置情報を前記表示装置上に表示することを特徴とする走査電子顕微鏡を提供する。
【選択図】 図3
Description
2 アノード
3 コンデンサレンズ
4 電子ビーム
5 偏向器
6 対物レンズ
7 信号電子
8 試料
9 試料ステージ
10 ステージ制御部
11 検出器
12 画像記憶部
13 主制御部
14 コンピュータ部
15 表示部
16 倍率設定器
17 マウス
18 キーボード
19 記憶媒体(データベース格納エリア)
20 操作パネル
21 試料室
22 撮像装置
23 撮像スタンド
24 走査型電子顕微鏡観察位置
25 光学撮像装置撮影位置
26 光学像
27 アライメントガイド枠
28 観察像
29 観察位置指定/表示像
30 観察表示ガイド
Claims (5)
- 電子源と、電子源から放出された一次電子線を試料上に集束する対物レンズと、試料を搭載する試料ステージと、前記一次電子線を試料上で走査する偏向器と、前記一次電子線の照射により試料から発生する信号電子を検出する検出器と、当該検出器で検出された信号電子に基づいて、試料像を生成する制御装置と、当該試料像を表示する表示装置と、
を備えた電子顕微鏡において、
試料ステージ像を取得する撮像装置を備え、
当該撮像装置で取得した試料ステージ像を用いて、試料ステージの位置及び移動距離及び/又は移動方向と、前記表示装置上での試料ステージの位置及び移動距離及び/又は移動方向との対応関係の情報を記憶する記憶装置と、
当該対応関係の情報を用いて、走査電子顕微鏡で取得した試料像と、当該試料像を取得している試料ステージ上での位置情報を前記表示装置上に表示することを特徴とする走査電子顕微鏡。 - 請求項1記載の走査型電子顕微鏡において、
前記表示装置には、前記撮像装置で取得した試料ステージ像と、試料ステージと画像上の位置関係を決める調整ガイドが表示され、
当該調整ガイドを前記試料ステージ像にあわせることにより、試料ステージの位置及び移動距離及び/又は移動方向と、前記表示装置上での試料ステージの位置及び移動距離及び/又は移動方向との対応関係の情報を取得することを特徴とする走査電子顕微鏡。 - 請求項2記載の走査型電子顕微鏡において、調整ガイドは、拡大/縮小/移動が行える機能を有することを特徴とする走査型電子顕微鏡。
- 請求項1記載の走査型電子顕微鏡において、調整ガイド機能の回転が行える機能を有することを特徴とする走査型電子顕微鏡。
- 請求項1記載の走査型電子顕微鏡において、既知のサイズの試料ステージを撮像した画像を用い、画像処理にてサイズ,形状を判別し、自動的にアライメントを行える機能を有することを特徴とする走査型電子顕微鏡。
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