DE112016003308T5

DE112016003308T5 - Gerät mit einem Strahl geladener Partikel und Ausrichtungseinstellungsverfahren einer Probenplattform

Info

Publication number: DE112016003308T5
Application number: DE112016003308.7T
Authority: DE
Inventors: Keisuke Mikami; Toshiaki Nesaki; Hiroyuki Chiba
Original assignee: Hitachi High Technologies Corp
Current assignee: Hitachi High Tech Corp
Priority date: 2015-08-21
Filing date: 2016-07-08
Publication date: 2018-05-03
Anticipated expiration: 2036-07-09
Also published as: DE112016003308B4; CN107924801B; US10720303B2; JPWO2017033591A1; JP6522764B2; CN107924801A; US20180240641A1; WO2017033591A1

Abstract

Eine Aufgabe der Erfindung bezieht sich auf die Tatsache, dass die Ausrichtung des Probentischs und des optischen Bildes mit hoher Genauigkeit, guter Betriebsfähigkeit und hohem Durchsatz unter Verwendung eines optischen Bildes mit geringer Vergrößerung und eines optischen Bildes mit hoher Vergrößerung eingestellt werden kann. Die Erfindung bezieht sich auf die Tatsache, dass eine Ausrichtungseinstellung durch eine Probentischausrichtung unter Verwendung eines ersten verarbeiteten Bildes durchgeführt werden kann, das durch Vergrößern oder Verkleinern oder Ändern eines Blickfeldes des optischen Bildes des Probentischs, der die Probe hält, durch Digitalverarbeitung erhalten wird, und dass eine Ausrichtungseinstellung durch eine Ausrichtungspunktbezeichnung unter Verwendung eines zweiten verarbeiteten optischen Bildes, das vom ersten verarbeiteten optischen Bild verschieden ist, durchgeführt werden kann. Gemäß der Erfindung ist es möglich, die Ausrichtung des Probentischs und des optischen Bildes mit Bezug auf die äußere Form des Probentischs und die Merkmalspunkte an der Probe einzustellen, ohne den Probentisch, der die Probe hält, aus der Probenkammer zu entnehmen.

Description

Technisches Gebiet
Die vorliegende Erfindung bezieht sich auf ein Gerät mit einem Strahl geladener Partikel wie z. B. ein Rasterelektronenmikroskop und insbesondere auf eine Ausrichtungseinstellung einer Probenplattform.
Stand der Technik
In einem Gerät mit einem Strahl geladener Partikel, das mit einer Kameravorrichtung versehen ist, wird ein optisches Bild einer Probe, die auf einem Probentisch angeordnet ist, durch die Kameravorrichtung aufgenommen und eine Position und ein Bereich an der zu beobachtenden Probe kann im optischen Bild der aufgenommenen Probe durch Bestrahlen mit einem Strahl geladener Partikel beobachtet werden. Um die Position und den Bereich mit hoher Genauigkeit auszuwählen, ist es erforderlich, die Ausrichtung des optischen Bildes und einer Probenplattform, die den Probentisch bewegt, mit hoher Genauigkeit einzustellen.
In JP-A-2010-198998 (PTL 1) wird eine Einstellungsführung zum Erkennen des Probentischs mit derselben Form wie der Probentisch, um die Größe des Probentischs im optischen Bild zu identifizieren, auf einem Anzeigebildschirm angezeigt, auf dem das optische Bild des Probentischs oder der Probe, die durch die Kameravorrichtung abgebildet wird, und angezeigt wird, und auf dem Anzeigebildschirm wird die Einstellungsführung vergrößert oder verkleinert oder bewegt, so dass sie mit dem optischen Bild des Probentischs auf dem Anzeigebildschirm zusammenfällt, so dass die Größe und die Mittenposition des Probentischs im optischen Bild erkannt werden. Aus der Entsprechung zwischen der erkannten Größe des optischen Bildes des Probentischs auf dem Anzeigebildschirm und der tatsächlichen Größe des Probentischs, die im Voraus gespeichert wird, werden eine Erweiterungsvergrößerung des optischen Bildes, das durch die Kameravorrichtung aufgenommen wird, und die Mittenposition des Probentischs im optischen Bild berechnet, um die Ausrichtung des Probentischs und des optischen Bildes einzustellen.
Entgegenhaltungsliste
Patentliteratur
PTL 1: JP-A-2010-198998
Zusammenfassung der Erfindung
Technisches Problem
Als Ergebnis von intensiven Studien an der Einstellungsausrichtung einer Probenplattform und eines optischen Bildes mit hoher Genauigkeit, guter Betriebsfähigkeit und hohem Durchsatz hat der Erfinder der Erfindung die folgenden Feststellungen erhalten.
Um eine Ausrichtungseinstellung mit hoher Genauigkeit durchzuführen, ist es erwünscht, nicht nur eine äußere Form eines Probentischs (optisches Bild mit geringer Vergrößerung) als Referenz wie in PTL 1, sondern auch Merkmalspunkte an einer Probe (optisches Bild mit hoher Vergrößerung) als Referenz zu verwenden.
Falls die Ausrichtungseinstellung mit Bezug auf sowohl die äußere Form des Probentischs (optisches Bild mit geringer Vergrößerung) als auch die Merkmalspunkte an der Probe (optisches Bild mit hoher Vergrößerung) unter Verwendung einer Kameravorrichtung mit optischem Zoom durchgeführt wird, wenn die Mittenpositionen des optischen Bildes mit geringer Vergrößerung und des optischen Bildes mit hoher Vergrößerung miteinander übereinstimmen, wenn keine Merkmalspunkte an der Probe nahe der Mitte des optischen Bildes mit geringer Vergrößerung vorhanden sind, kann jedoch die Ausrichtungseinstellung mit Bezug auf die Merkmalspunkte an der Probe (optisches Bild mit hoher Vergrößerung) nicht durchgeführt werden. Da die Merkmalspunkte an der Probe sehr klein sind und es schwierig ist sie mit einem optischen Bild mit geringer Vergrößerung zu bestätigen, ist es schwierig, die Anwesenheit oder Abwesenheit der Merkmalspunkte zu bestätigen, wenn nicht das optische Bild mit hoher Vergrößerung aufgenommen wird. In einem Fall, in dem sich keine Merkmalspunkte an der Probe, die für die Ausrichtungseinstellung geeignet sind, im optischen Bild mit hoher Vergrößerung befinden, ist es daher erforderlich, die Position der Kameravorrichtung, die durch den Ständer oder dergleichen gehalten wird, fein einzustellen oder die Position der Probe auf dem Probentisch fein einzustellen. Wenn der Probentisch, der die Probe hält, sich in einer Probenkammer eines Geräts mit einem Strahl geladener Partikel befindet, ist es erforderlich, die Probenposition fein einzustellen, das optische Bild erneut aufzunehmen, den Probentisch in die Probenkammer zurückzuführen und die Probenkammer nach dem Öffnen der Probenkammer zur Atmosphäre erneut zu evakuieren, um den Probentisch zu entnehmen. Daher ist ein Betriebsprozess kompliziert und der Beobachtungsdurchsatz nimmt ab.
Eine Aufgabe der Erfindung besteht darin, die Ausrichtung der Probenplattform und des optischen Bildes mit hoher Genauigkeit, guter Betriebsfähigkeit und hohem Durchsatz unter Verwendung des optischen Bildes mit geringer Vergrößerung und des optischen Bildes mit hoher Vergrößerung einzustellen.
Lösung für das Problem
Gemäß der Erfindung kann eine Ausrichtungseinstellung durch eine Probentischausrichtung unter Verwendung eines ersten verarbeiteten optischen Bildes, das durch Vergrößern oder Verkleinern oder Ändern eines Blickfeldes des optischen Bildes des Probentischs, der die Probe hält, durch Digitalverarbeitung erhalten wird, durchgeführt werden und eine Ausrichtungseinstellung durch eine Ausrichtungspunktbezeichnung kann unter Verwendung eines zweiten verarbeiteten optischen Bildes, das vom ersten verarbeiteten optischen Bild verschieden ist, durchgeführt werden.
Vorteilhafte Effekte der Erfindung
Gemäß der Erfindung ist es möglich, die Ausrichtung der Probenplattform und des optischen Bildes mit Bezug auf die äußere Form des Probentischs und die Merkmalspunkte an der Probe einzustellen, ohne den Probentisch, der die Probe hält, aus der Probenkammer zu entnehmen.
Figurenliste

[1] 1 ist eine schematische Ansicht einer Gesamtkonfiguration eines Rasterelektronenmikroskops.
[2] 2 ist eine schematische Ansicht einer Kameravorrichtung.
[3] 3 ist eine erläuternde Ansicht der Ausrichtungseinstellung durch die Probentischausrichtung.
[4] 4 ist eine erläuternde Ansicht der Ausrichtungseinstellung durch die Ausrichtungspunktbezeichnung.
[5] Fig, 5 ist eine erläuternde Ansicht in einem Fall, in dem ein optisches Bild ausgeschnitten und auf einem GUI-Bildschirm angezeigt wird.
[6] 6 ist eine erläuternde Ansicht in einem Fall einer Bildverschiebung.
[7] 7 ist ein Ablaufplan, der Mittenkoordinaten nach der Bildverschiebung erhält.
[8] 8 ist eine erläuternde Ansicht einer Aufnahme eines optischen Bildes in einem Fall, in dem eine Probe verschoben wird.
[9] 9 ist eine schematische Ansicht eines Mehrfachhalters mit vier Probentischen.
[10] 10 ist eine erläuternde Ansicht eines GUI-Bildschirms an einem Mehrfachhalter.
[11] 11 ist eine schematische Ansicht eines Mehrfachhalters mit 14 Probentischen.
[12] 12 ist eine erläuternde Ansicht einer Probentischausrichtung, die drei grade Linien bewegt und einstellt.
[13] 13 ist eine erläuternde Ansicht einer Probentischausrichtung, die drei Punkte einer äußeren Form eines Probentischs bezeichnet.

Beschreibung von Ausführungsformen
In dem Beispiel wird ein Gerät mit einem Strahl geladener Partikel mit einer Probenplattform, auf der ein Probentisch, der eine Probe hält, angeordnet ist und die sich zumindest zweidimensional bewegt, einem optischen Bestrahlungssystem, das die Probe mit einem Strahl geladener Partikel bestrahlt, einem Detektor, der ein Informationssignal detektiert, das von der Probe emittiert wird, einer Anzeigevorrichtung, die ein Bild geladener Partikel anzeigt, das auf der Basis des Informationssignals erzeugt wird, einem optischen Mikroskop, das den Probentisch abbildet, und einer Speichereinheit, die ein optisches Bild speichert, das durch das optische Mikroskop abgebildet wird, offenbart, wobei ein verarbeitetes optisches Bild, das durch Vergrößern oder Verkleinern oder Ändern eines Blickfeldes des optischen Bildes, das in der Speichereinheit gespeichert ist, durch Digitalverarbeitung erhalten wird, auf der Anzeigevorrichtung angezeigt wird, und ferner mit einer Ausrichtungseinstelleinheit, in der ein Indikator für die Probentischausrichtung in einem ersten verarbeiteten optischen Bild angezeigt wird, und das erste verarbeitete optische Bild und der Indikator für die Probentischausrichtung über eine Eingabevorrichtung bedient werden, so dass eine Ausrichtungseinstellung durch die Probentischausrichtung durchgeführt wird, und ein Zeiger in einem zweiten verarbeiteten optischen Bild, das vom ersten verarbeiteten optischen Bild verschieden ist, oder im Bild geladener Partikel angezeigt wird, und das zweite verarbeitete optische Bild oder das Bild geladener Partikel oder der Zeiger über die Eingabevorrichtung bedient wird, so dass die Ausrichtungseinstellung durch Ausrichtungspunktbezeichnung durchgeführt wird.
Außerdem wird in dem Beispiel ein Ausrichtungseinstellungsverfahren offenbart, das das Speichern eines optischen Bildes eines Probentischs, der eine Probe hält, die durch ein optisches Mikroskop abgebildet wird, in einer Speichereinheit eines Geräts mit einem Strahl geladener Partikel, das Anzeigen eines ersten verarbeiteten optischen Bildes, das durch Vergrößern oder Verkleinern oder Ändern eines Blickfeldes des in der Speichereinheit gespeicherten optischen Bildes durch Digitalverarbeitung erhalten wird, auf einer Anzeigevorrichtung des Geräts mit einem Strahl geladener Partikel, das Anzeigen eines Indikators für die Probentischausrichtung im ersten verarbeiteten optischen Bild und das Bedienen des ersten verarbeiteten optischen Bildes oder des Indikators für die Probentischausrichtung über eine Eingabevorrichtung, so dass die Ausrichtungseinstellung durch die Probentischausrichtung durchgeführt wird, das Anzeigen eines zweiten verarbeiteten optischen Bildes, das vom ersten verarbeiteten optischen Bild verschieden ist, das durch Vergrößern oder Verkleinern oder Ändern eines Blickfeldes des in der Speichereinheit gespeicherten optischen Bildes durch Digitalverarbeitung erhalten wird, auf der Anzeigevorrichtung, das Bestrahlen der Probe, die durch den Probentisch gehalten wird, der auf einer Probenplattform angeordnet ist, die sich zumindest zweidimensional bewegt, mit einem Strahl geladener Partikel von einem optischen Bestrahlungssystem, das Detektieren eines Informationssignals, das von der Probe emittiert wird, durch einen Detektor und das Anzeigen eines Bildes geladener Partikel, das auf der Basis des Informationssignals erzeugt wird, auf der Anzeigevorrichtung und das Anzeigen eines Zeigers im zweiten verarbeiteten optischen Bild, das vom ersten verarbeiteten optischen Bild verschieden ist, oder im Bild geladener Partikel, das Bedienen des zweiten verarbeiteten optischen Bildes oder des Bildes geladener Partikel oder des Zeigers über die Eingabevorrichtung, so dass die Ausrichtungseinstellung durch Ausrichtungspunktbezeichnung durchgeführt wird, umfasst.
In dem Beispiel wird zusätzlich offenbart, dass das zweite verarbeitete optische Bild, das mehr vergrößert wird als das erste verarbeitete optische Bild, auf der Anzeigevorrichtung angezeigt wird, nachdem die Ausrichtungseinstellung durch die Probentischausrichtung durchgeführt ist, und die Ausrichtungseinstellung durch die Ausrichtungspunktbezeichnung durchgeführt werden kann.
In dem Beispiel wird außerdem offenbart, dass der Indikator für die Probentischausrichtung eine Form aufweist, die durch Imitieren einer Kontur des Probentischs, der auf der Probenplattform angeordnet ist, erhalten wird, oder ein Zeiger ist, der ermöglicht, dass Koordinaten eines Konturpunkts des Probentischs, der im ersten verarbeiteten optischen Bild angezeigt wird, eingegeben werden.
In dem Beispiel wird außerdem offenbart, dass in einem Fall, in dem mehrere Probentische auf der Probenplattform angeordnet sind, die Ausrichtungseinstellungseinheit die Ausrichtungseinstellung durch die Probentischausrichtung und die Ausrichtungseinstellung durch die Ausrichtungspunktbezeichnung für jeden Probentisch durchführen kann.
Außerdem wird in dem Beispiel offenbart, dass in einem Fall, in dem ein vorbestimmter Probentisch unter den mehreren Probentischen über die Eingabevorrichtung ausgewählt wird, die Probenplattform sich zumindest zweidimensional auf der Basis der Ausrichtungseinstellung des Probentischs bewegt.
In dem Beispiel wird außerdem offenbart, dass die Ausrichtungseinstellungseinheit die Ausrichtungseinstellung eines anderen Probentischs auf der Basis der Ausrichtungseinstellung eines bestimmten Probentischs unterstützt.
Nachstehend werden die obigen und andere neue Merkmale und Effekte der Erfindung mit Bezug auf die Zeichnungen beschrieben. In dem Beispiel wird ein Rasterelektronenmikroskop (SEM) als Beispiel des Geräts mit einem Strahl geladener Partikel beschrieben und zusätzlich zum SEM kann die Erfindung auf allgemeine Geräte mit einem Strahl geladener Partikel angewendet werden, die für die Messung, Untersuchung und Verarbeitung verwendbar sind, wie z. B. ein Erscheinungsbilduntersuchungsgerät, ein Gerät mit einem fokussierten lonenstrahl oder ein lonenmikroskop.
Beispiel 1
1 ist ein schematisches Diagramm einer Gesamtkonfiguration eines Rasterelektronenmikroskops (SEM). Das SEM des Beispiels ist ungefähr so konfiguriert, dass es eine Elektronenröhre mit optischer Linse 23, eine Probenkammer 12 und andere Steuersysteme umfasst.
Zuerst wird die Elektronenröhre mit optischer Linse 23 beschrieben. Ein Primärelektronenstrahl 4, der von einer Elektronenkanone 1 emittiert wird, wird durch eine Anode 2 gesteuert und beschleunigt. Eine Probe 8, die auf einer Probenplattform 9 existiert, wird konvergiert und mit den Primärelektronenstrahl 4 durch eine Kondensorlinse 3 und eine Objektivlinse 6 bestrahlt. Eine Ablenkeinrichtung 5 ist auf einem Weg des Primärelektronenstrahls 4 vorgesehen. Zu der Ablenkeinrichtung 5 wird ein vorbestimmter Ablenkstrom von einer Ablenksteuereinheit 10 gemäß einer vorbestimmten festgelegten Vergrößerung geliefert. Folglich wird der Primärelektronenstrahl 4 abgelenkt, um eine vordere Oberfläche der Probe zweidimensional abzutasten. Ein Sekundärelektron 7, das durch Bestrahlen der Probe mit dem Elektronenstrahl erzeugt wird, wird durch einen Sekundärelektronendetektor 13 detektiert und durch einen Verstärker 14 verstärkt. Ein Informationssignal wird in ein digitales Signal umgesetzt und danach als Bilddaten in einer Bildspeichereinheit 15 wie z. B. einem Rahmenarbeitsspeicher gespeichert. Das Bildsignal wird zu dieser Zeit auf einem Monitor 17 wie z. B. einer CRT oder einer LCD angezeigt.
Zusätzlich zum Sekundärelektron können Informationssignale wie z. B. ein reflektiertes Elektron, ein übertragenes Elektron, ein charakteristischer Röntgenstrahl oder Anregungslicht durch einen vorbestimmten Detektor detektiert und abgebildet werden.
Die Probenplattform 9 wird durch fünf Achsen einer dreidimensionalen Bewegung (X·Y·Z), Neigung (T) und Drehung (R) angetrieben. Die Probe 8 wird auf dem Probentisch angeordnet, der in der Probenkammer 12 gelagert ist. Der Probentisch kann innerhalb der XY-Ebene durch die Probenplattform 9 frei bewegt werden. Eine Bewegung eines Blickfeldes des SEM zu einem Ausrichtungspunkt wird durch eine Bewegung der Probenplattform 9 durchgeführt. Die Probenplattform 9 wird durch eine Plattformsteuereinheit 11 gesteuert, so dass die Probenplattform 9 in einer beliebigen Position angeordnet wird.
Verschiedene Betriebsbedingungen der Elektronenröhre mit optischer Linse 23 werden durch eine Hauptsteuereinheit 16 (SEM-Steuereinheit) gesteuert. Außerdem ist ein Computer 18, der eine Rolle einer Managementkonsole des SEM spielt, mit der Hauptsteuereinheit 16 verbunden. Ein GUI-Bildschirm zum Einstellen der Betriebsbedingung der Elektronenröhre mit optischer Linse 23 wird auf dem Monitor 17 angezeigt. Der Vorrichtungsbenutzer bedient eine Eingabevorrichtung wie z. B. eine Maus 20 oder eine Tastatur 21, die mit dem Computer 18 verbunden ist, um die Betriebsbedingung des SEM auf dem GUI-Bildschirm einzustellen. Die Betriebsbedingungseinstellung des SEM kann ohne Verwendung des GUI-Bildschirms unter Verwendung eines exklusiven Bedienfeldes 22 ausgeführt werden.
2 ist ein schematisches Diagramm einer Kameravorrichtung und stellt eine Konfiguration einer Kameravorrichtung 24 dar. Die Kameravorrichtung 24 ist an einem Ständerabschnitt angeordnet, der auf einem Befestigungsabschnitt steht, an dem der Probentisch angeordnet sein kann, so dass die optische Kamera nach unten gewandt ist, so dass sie dem Befestigungsabschnitt zugewandt ist. Die Kameravorrichtung 24 zeigt das optische Bild, das in einen einzelnen Linsenbrennpunkt aufgenommen wird, auf dem Monitor 17 über den Computer 18 an. Ein Speichermedium 19 (Datenbank) ist mit einer Sekundärspeichervorrichtung wie z. B. einem nichtflüchtigen Arbeitsspeicher und einer Festplatte versehen und speichert und managt Informationen über optische Bilddaten und Ausrichtungsdaten, die durch die Kameravorrichtung 24 aufgenommen werden.
Die optische Kamera kann in der Probenkammer 12 angeordnet sein und der Probentisch, der auf der Probenplattform 9 angeordnet ist, kann abgebildet werden.
Für die SEM-Bildbeobachtung besteht ein Bedarf zu erfassen, welche Position für die ganze Probe beobachtet werden soll. Als ein Verfahren zum Erfüllen des Bedarfs gibt es ein Verfahren zum Auswählen der Position und des Bereichs an der Probe zum Beobachten des SEM-Bildes im optischen Bild unter Verwendung der Ausrichtung zwischen dem SEM-Bild und dem optischen Bild. Um das Verfahren durchzuführen, ist es erforderlich, die Probenplattform (SEM-Bild) und die Ausrichtungseinstellung des optischen Bildes (Kalibrierung) einzustellen.
3 ist eine erläuternde Ansicht der Ausrichtungseinstellung durch die Probentischausrichtung. Bei der Probentischausrichtung wird die äußere Form des Probentischs durch die Kameravorrichtung 24 abgebildet, um ein optisches Bild aufzunehmen. Das aufgenommene optische Bild 25 wird auf dem Monitor 17 über den Computer 18 angezeigt. Beim Start der Probentischausrichtung wird ein gestrichelter Kreis 27, der die äußere Form des Probentischs imitiert, auf dem Monitor 17 angezeigt. Die Eingabevorrichtung wird bedient und der gestrichelte Kreis 27 wird vergrößert oder verkleinert oder bewegt und ausgerichtet, um ihn mit der äußeren Form des Probentischs zu überlappen. Folglich erkennt der Computer 18 die Größe (D) und die Mittenposition (C (Cx und Cy)) des Probentischs im optischen Bild 25. Aus der tatsächlichen Größe des Probentischs (beispielsweise Durchmesser 15 mm) und der vertikalen und horizontalen Auflösung (h bzw. w) des Monitors 17, die im Speichermedium 19 als bekannt gespeichert sind, werden eine korrekte Vergrößerung des optischen Bildes 25 und ein Bewegungsausmaß der Probenplattform entsprechend einem Pixel des Monitors 17 erhalten.
Nicht auf den gestrichelten Kreis begrenzt kann eine gestrichelte Linie wie z. B. ein Quadrat oder ein Rechteck gemäß dem Probentisch, der auf der Probenplattform 9 montiert ist, angezeigt werden. Außerdem kann die Ausrichtungseinstellung durch Zoomen des optischen Bildes und Verschieben des Bildes, ohne den gestrichelten Kreis zu bewegen, oder gemäß der Bedienung des gestrichelten Kreises durchgeführt werden.
4 ist eine erläuternde Ansicht der Ausrichtungseinstellung durch die Ausrichtungspunktbezeichnung. Bei der Ausrichtungspunktbezeichnung wird die Probe durch die Kameravorrichtung 24 abgebildet, um das optische Bild aufzunehmen. Danach wird der Probentisch, der die Probe hält, auf der Probenplattform angeordnet, um das SEM-Bild der Probe aufzunehmen. Das aufgenommene optische Bild 25 und das SEM-Bild 28 werden nebeneinander auf dem Monitor 17 über den Computer 18 angezeigt. Ein Vorrichtungsbenutzer verwendet einen charakteristischen Abschnitt an der Probe, der sowohl im aufgenommenen optischen Bild 25 als auch SEM-Bild 28 erkannt werden kann, als Ausrichtungspunkt. Der Zeiger wird bewegt, um einen Ausrichtungspunkt (beispielsweise T1 (T1x und T1y)) im optischen Bild 25 zu bezeichnen, und danach wird ein Ausrichtungspunkt (beispielsweise S (Sx und Sy)) im SEM-Bild 28, der diesem entspricht, bezeichnet und zugeordnet. Drei Ausrichtungspunkte werden beispielsweise bezeichnet ((erster Punkt: T1 (T1x und T1y), zweiter Punkt: T2 (T2x und T2y) und dritter Punkt T3 (T3x und T3y)). Folglich erkennt der Computer 18 den Abstand zwischen den Ausrichtungspunkten im optischen Bild 25 und den Abstand an den Plattformkoordinaten zwischen den Ausrichtungspunkten im SEM-Bild 28, die diesen entsprechen. Aus diesen Beziehungen kann das Bewegungsausmaß der Probenplattform, das einem Pixel entspricht, erhalten werden.
Hier wird das Bild, das durch Zoomen und Bildverschiebung des optischen Bildes 25 erhalten wird, das für die Probentischausrichtung verwendet wird, für die Ausrichtungspunktbezeichnung verwendet, so dass die Ausrichtung mit Bezug auf sowohl die äußere Form des Probentischs als auch die Merkmalspunkte an der Probe eingestellt wird, ohne den Probentisch, der die Probe hält, aus der Probenkammer zu entnehmen. Wenn sowohl die Probentischausrichtung als auch die Ausrichtungspunktbezeichnung vollendet sind, wird, da das Plattformbewegungsausmaß in einem Pixel in jedem des optischen Bildes mit geringer Vergrößerung als auch des optischen Bildes mit hoher Vergrößerung bestimmt ist, ein optisches Bild für die Navigation durch Vergrößern, Verkleinern oder Synthetisieren des optischen Bildes mit geringer Vergrößerung oder des optischen Bildes mit hoher Vergrößerung, die durch die Einstellungsdaten gemäß der Vergrößerung des optischen Bildes für die Navigation, die durch den Vorrichtungsbenutzer bezeichnet wird, erhalten werden, erzeugt, und die Position und der Bereich an der Probe zum Beobachten des SEM-Bildes werden auf der Basis des optischen Bildes ausgewählt, so dass die Plattform bewegt wird. Es ist möglich, die Ausrichtungseinstellung durch selektives Durchführen der Probentischausrichtung und der Ausrichtungspunktbezeichnung durchzuführen.
5 ist eine erläuternde Ansicht in einem Fall, in dem ein optisches Bild ausgeschnitten und auf einem GUI-Bildschirm angezeigt wird, und stellt ein Verfahren zum Zoomen und Verkleinern des durch die Kameravorrichtung 24 aufgenommenen optischen Bildes dar.
Normalerweise wird das durch die Kameravorrichtung 24 aufgenommene optische Bild als eine Vergrößerung von 1 aufweisend behandelt. Die vertikalen und horizontalen Auflösungen des aufgenommenen optischen Bildes werden jeweils als H · W festgelegt. In einem Fall, in dem der Punkt B (Bx und By) das Zoomzentrum ist, wenn die vertikalen und horizontalen Auflösungen nach dem Ausschneiden jeweils h · w sind, kann der Ausschnittstartpunkt (Koordinatenpunkt A am linken Ende nach dem Zoomen (Ax und Ay)) dargestellt werden durch $Ax = Bx - (w/2)$
$Ay = By - (h/2)$
Der Ausschnittbereich, der hier erhalten wird, wird als Navigationsbereich auf dem GUI-Bildschirm angezeigt. In dieser Weise wird ein Zoomen und Verkleinern mit dem Verhältnis zwischen der Auflösung (Referenzbild), die durch die Kameravorrichtung 24 erfasst wird, und dem auf dem GUI-Bildschirm angezeigten Bereich durchgeführt.
Der Zoomschritt ist ein Größenausschnitt, um die vertikalen und horizontalen Auflösungen aufrechtzuerhalten. In einem Fall, in dem beispielsweise ein Seitenverhältnis des Bildanzeigebereichs 4 : 3 ist und die vertikalen und horizontalen Auflösungen 1280 horizontal bzw. 960 vertikal sind, gilt $\begin{array}{l} Horizontale Größe des Ausschnitts = horizontale Auflösung - Ausschnittvieflaches \\ \times 4 \end{array}$
$Vertikale Größe des Ausschnitts = horizontale Größe des Ausschnitts \times 3/4$
In diesem Fall ist das Ausschnittvielfache als 1 in einem Fall des Ausschneidens mit 4 Pixeln horizontal und 3 Pixeln vertikal definiert. Das Ausschnittvielfache ist als 2 in einem Fall des Ausschneidens mit 8 (4 x 2) Pixeln horizontal und 6 (3 x 2) Pixeln vertikal definiert.
Außerdem ist die Zoomvergrößerung zu dieser Zeit
$\begin{array}{l} Vergrößerung = horizontale Auflösung / horizontale Gröbe des Ausschnitts (= ver- \\ tikale Auflösung / vertikale Gröbe des Ausschnitts) . \end{array}$
6 ist eine erläuternde Ansicht in einem Fall einer Bildverschiebung und stellt ein Verfahren zum Bewegen eines Zoomblickfeldes dar. Eine Bewegung des Zoomblickfeldes wird durch Berechnen des Bewegungsabstandes von der Position, in der das Blickfeld im Bildanzeigebereich bewegt werden soll, und den Mittenkoordinaten des ursprünglichen Bildes und Erhalten der Ausschnittstartpunktkoordinaten durchgeführt.
Zuerst wird das Bild des ursprünglichen Bildes W x H um die Mittelpunktkoordinaten (Bx + By) gezoomt. Der Ausschnittbereich wird auf dem Bildanzeigebereich (Navigationsbereich) des GUI-Bildschirms angezeigt. Als nächstes wird die Mittenposition, die als Mitte des Zoomblickfeldes erwünscht ist, auf dem Bildanzeigebereich bezeichnet. Das Bezeichnungsverfahren ist beispielsweise eine Maus oder dergleichen. Die Mittenposition wird als P (Px und Py) festgelegt. Um die bezeichnete Mittenposition in der Mitte des Bildanzeigebereichs anzuzeigen (Bildverschiebung), wird eine Umsetzung in das ursprüngliche Bild einmal durchgeführt. Die Bildverschiebungsverarbeitung ist wie folgt.
7 ist ein Ablaufplan, der Mittenkoordinaten nach der Bildverschiebung erhält. In Schritt 1 wird der Abstand zwischen den Koordinaten der bezeichneten Mittenposition (Mittenkoordinaten nach der Bildverschiebung) und den Mittenkoordinaten des Bildanzeigebereichs erhalten. In Schritt 2 wird, da sich die Zoomvergrößerung nicht ändert, der erhaltene Abstand in den Pixelwert des ursprünglichen Bildes W x H umgesetzt. Als Schritt 3 wird schließlich ein Abstand zu den Mittelpunktkoordinaten des ursprünglichen Bildes W x H aus dem erhaltenen Pixelwert erhalten, die Koordinaten, die durch Addieren des Abstandes zu den Mittelpunkkoordinaten des ursprünglichen Bildes W x H erhalten werden, werden als neue Mittelpunktkoordinaten aktualisiert und die Koordinaten des Ausschnittstartpunkts nach der Bewegung des Zoomblickfeldes werden erhalten. In dieser Weise wird der Verschiebungsabstand (Versatz) am gezoomten Bild zu den Mittelpunktkoordinaten des ursprünglichen Bildes addiert und das Bild wird weiter auf dem Bildanzeigebereich mit der ursprünglichen Zoomvergrößerung angezeigt, so dass das Bild verschoben wird.
Wenn die Bildverschiebung möglich ist, verschiebt sich in einem Fall des Zoomens, um die Ausrichtung genauer einzustellen, das Zoomzentrum vom Ausrichtungspunkt, und selbst wenn sich der Ausrichtungspunkt vom Zoomblickfeld verschiebt, kann der Ausrichtungspunkt auf dem Bildanzeigebereich angezeigt werden und die Einstellung durch die Ausrichtungspunktbezeichnung kann durchgeführt werden.
8 ist eine erläuternde Ansicht der Aufnahme eines optischen Bildes in einem Fall, in dem eine Probe verschoben wird. Die Mitte des optischen Bildes, das durch die Kameravorrichtung aufgenommen wird, kann sich in einigen Fällen von der Mitte der Probe signifikant verschieben. Da der optische Zoom in Bezug auf die Mitte des optischen Bildes vergrößert wird, wenn die Mitte von der Mitte der Probe signifikant verschoben wird, und der optische Zoom durchgeführt wird, verschiebt sich die Mitte der Probe vom Zoomblickfeld. In diesem Zustand kann ein Merkmalspukt in einer Umgebung der Mitte der Probe nicht als Ausrichtungspunkt bezeichnet werden. Durch Verschieben des Bildes ist es, da die Umgebung der Mitte der Probe im Zoomblickfeld angezeigt wird, möglich, einen Merkmalspunkt in der Umgebung der Mitte der Probe als Ausrichtungspunkt zu bezeichnen und weiterhin das SEM-Bild zu beobachten, während es sich in einem Zustand befindet, in dem die Probe in der Probenkammer angeordnet ist.
Gemäß dem Beispiel wird die Zoomverarbeitung durch Ausschneiden eines Bildes in Bezug auf ein optisches Bild durchgeführt, das von der Kameravorrichtung aufgenommen wird, so dass die Betriebsfähigkeit äquivalent zu einer Kameravorrichtung mit einer Zoomfunktion erfüllt wird. Ferner wird die Bildverschiebungsverarbeitung unter Verwendung des Ausschnittabschnitts durchgeführt, so dass die Zoomverarbeitung in Bezug auf die Mitte der Probe durchgeführt wird, selbst wenn eine Positionsverschiebung der Kameravorrichtung auftritt.
Gemäß dem Beispiel werden die Zoomverarbeitung und die Bildverschiebungsverarbeitung auf das optische Bild angewendet, so dass das aufgenommene optische Bild mit einer bestimmten Position als Zoomzentrum vergrößert wird. Daher wird festgestellt, dass das Zoomzentrum nach dem Starten der Beobachtung des Elektronenmikroskops durch Anordnen der Probe in der Probenkammer verschoben wird, und die Beobachtung kann reibungslos durchgeführt werden, ohne die Probe aus der Probenkammer zu entnehmen, selbst in einem Fall, in dem es erwünscht ist, das optische Bild zu überprüfen. Daher ist der Durchsatz in einer Reihe von Operationen zum Beobachten des Elektronenmikroskopbildes verbessert. Insbesondere ist es möglich, die Probentischausrichtung mit Bezug auf die äußere Form des Probentischs in einem optischen Bild mit geringer Vergrößerung und die Ausrichtungspunktbezeichnung mit Bezug auf die Merkmalspunkte an der Probe in einem optischen Bild mit hoher Vergrößerung unter Verwendung desselben optischen Bildes zuverlässig durchzuführen.
Beispiel 2
In dem Beispiel wird in einem Mehrfachhalter mit mehreren Probentischen ein Fall beschrieben, in dem jeweils eine Probentischausrichtung und eine Ausrichtungspunktbezeichnung für jeden Probentisch durchgeführt werden, Ausrichtungsdaten aufgezeichnet werden und die Ausrichtung gemäß einem durch die GUI ausgewählten Probentisch eingestellt wird. Nachstehend werden hauptsächlich Unterschiede von Beispiel 1 beschrieben.
9 stellt eine schematische Ansicht eines Mehrfachhalters mit vier Probentischen dar. In einem kreisförmigen Mehrfachhalter 32 werden vier Probentische 31 in zwei Reihen und zwei Spalten gehalten. Auf jedem der Probentische 31 werden jeweils Proben gehalten. Informationen wie z. B. die Größe des Mehrfachhalters 32, der im Rasterelektronenmikroskop angeordnet ist, die Anzahl von Probentischen, die Mittenposition jedes Probentischs, die Größe jedes Probentischs, die an jedem Probentisch gehaltene Probe und dergleichen werden in der Datenbank des Rasterelektronenmikroskops gespeichert.
10 stellt eine erläuternde Ansicht eines GUI-Bildschirms an einem Mehrfachhalter dar. Ein Anzeigebereich 35 des SEM-Bildes ist auf der linken Seite des GUI-Bildschirms vorgesehen, ein Anzeigebereich 36 des optischen Bildes ist im rechten oberen Abschnitt vorgesehen und ein Bedienungsbereich 37 des Mehrfachhalters ist am rechten unteren Abschnitt vorgesehen. Ein Bedienungsbild, das den Mehrfachhalter imitiert, der am Rasterelektronenmikroskop angeordnet ist, wird auf dem Anzeigebereich 37 des Mehrfachhalters angezeigt und der Modus wird zu einem Modus zum Bedienen des Probentischs durch Klicken auf den Teil, der dem Probentisch entspricht, mit einer Maus verschoben. Ein SEM-Bild und ein optisches Bild am Probentisch werden jeweils auf dem Anzeigebereich 35 des SEM-Bildes und dem Anzeigebereich 36 des optischen Bildes angezeigt.
Die Ausrichtungseinstellung zwischen dem SEM-Bild und dem optischen Bild wird folgendermaßen durchgeführt. Ein optisches Bild des Mehrfachhalters wird durch die Kameravorrichtung aufgenommen, nachdem die Probe auf jedem Probentisch des Mehrfachhalters angeordnet ist. Danach wird der Mehrfachhalter in der Probenkammer angeordnet und auf einen Zustand evakuiert, in dem die SEM-Beobachtung möglich ist. Wenn der Probentisch durch den Bedienungsbereich 37 des Mehrfachhalters ausgewählt wird, wird der Start der Probentischausrichtung ausgewählt und der auf dem Anzeigebereich 36 des optischen Bildes angezeigte gestrichelte Kreis wird vergrößert oder verkleinert oder bewegt und wird mit den optischen Bild des Probentischs in Übereinstimmung gebracht, so dass die Probentischausrichtung durchgeführt wird. Als nächstes wird der Start der Ausrichtungspunktbezeichnung ausgewählt und das auf dem Anzeigebereich 36 des optischen Bildes angezeigte optische Bild wird gezoomt oder verschoben, um einen charakteristischen Abschnitt an der Probe anzuzeigen. Außerdem wird derselbe Abschnitt an der Probe auf dem Anzeigebereich 35 des SEM-Bildes angezeigt. Die Ausrichtungspunktbezeichnung wird durch Anklicken der Merkmalspunkte in jedem Bild mit der Maus durchgeführt. Die Ausrichtungspunktbezeichnung wird eine vorbestimmte Anzahl von Malen (beispielsweise dreimal) durchgeführt und die Ausrichtungspunktbezeichnung wird beendet. Folglich werden die Probentischausrichtung und die Ausrichtungspunktbezeichnung für den ausgewählten Probentisch vollendet und die Einstellungsdaten werden in einer Datenbank in Zusammenhang mit dem ausgewählten Probentisch gespeichert. Das optische Bild und das SEM-Bild, die für die Ausrichtungseinstellung verwendet werden, und die Beobachtungsbedingungen wie z. B. eine Beschleunigungsspannung und Plattformkoordinaten werden einander zugeordnet und in der Datenbank gespeichert. Entweder die Probentischausrichtung oder die Ausrichtungspunktbezeichnung wird durchgeführt, so dass die Ausrichtungseinstellung durchgeführt wird.
Als nächstes wird ein anderer Probentisch durch den Bedienungsbereich 37 des Mehrfachhalters ausgewählt und danach werden die Probentischausrichtung und die Ausrichtungspunktbezeichnung in derselben Weise durchgeführt und die Einstellungsdaten werden in der Datenbank gespeichert. Wenn diese Reihe von Operationen für alle Probentische durchgeführt ist, wird die Ausrichtungseinstellung für den Mehrfachhalter vollendet.
In einem Fall, in dem der Mehrfachhalter, der im Rasterelektronenmikroskop installiert ist, ein bekannter Mehrfachhalter ist, werden das optische Bild und das SEM-Bild des Probentischs, der durch den Bedienungsbereich 37 des Mehrfachhalters ausgewählt wird, auf dem Anzeigebereich 36 des optischen Bildes und dem Anzeigebereich 35 des SEM-Bildes in einem Blickfeld, in dem die Ausrichtung leicht einzustellen ist (Beobachtungsposition und Vergrößerung) auf der Basis von Informationen angezeigt, wie z. B. der Größe des Mehrfachhalters, die in der Datenbank gespeichert ist, der Anzahl von Probentischen, der Mittenposition jedes Probentischs und der Größe jedes Probentischs. Da es möglich ist, Schwierigkeiten der Vergrößerung oder Verkleinerung oder Bewegung des gestrichelten Kreises, des Zoomens und der Bildverschiebung des optischen Bildes, des Suchens des Blickfeldes des SEM-Bildes signifikant zu beseitigen, kann die Ausrichtungseinstellung jedes Probentischs effizient durchgeführt werden. Nachdem die Ausrichtungseinstellung für einen Teil der Probentische vollendet ist, wird ferner das Blickfeld des optischen Bildes und des SEM-Bildes des durch den Bedienungsbereich 37 des Mehrfachhalters ausgewählten Probentischs vorläufig unter Verwendung der Daten festgelegt, so dass die Ausrichtungseinstellung der restlichen Probentische immer effizienter durchgeführt wird, wenn die Ausrichtungseinstellung für einen Teil der Probentische vollendet wird.
Bei der SEM-Beobachtung werden die Einstellungsdaten aus der Datenbank gemäß dem durch den Bedienungsbereich 37 des Mehrfachhalters ausgewählten Probentisch gelesen und das optische Bild und das SEM-Bild werden auf dem Anzeigebereich 36 des optischen Bildes und dem Anzeigebereich 35 des SEM-Bildes angezeigt, nachdem die Ausrichtungseinstellung durchgeführt ist. Das SEM-Bild der Position wird mit hoher Genauigkeit auf dem Anzeigebereich 35 des SEM-Bildes durch Klicken auf eine gewünschte Position im Anzeigebereich 36 des optischen Bildes mit einer Maus oder dergleichen angezeigt.
Der Mehrfachhalter, der der Ausrichtungseinstellung einmal unterzogen wird, kann ohne Einstellung der Ausrichtung durch Lesen der Beobachtungsbedingungen wie z. B. einer Beschleunigungsspannung zur Zeit der Ausrichtungseinstellung zusätzlich zu den Einstellungsdaten aus der Datenbank beobachtet werden. Selbst der Mehrfachhalter, der einmal aus der Probenkammer entnommen wird, kann schnell nach der erneuten Ausrichtung in der Probenkammer beobachtet werden.
Außerdem stellt 11 ein schematisches Diagramm eines Mehrfachhalters mit 14 Probentischen dar. In dem im Wesentlichen rechteckigen Mehrfachhalter 34, werden 14 Probentische 33 in drei Reihen unterteilt gehalten. Es sind fünf Probentische 33 in der ersten und der dritten Reihe und vier Probentische 33 in der zweiten Reihe vorhanden und Nummern sind von oben links nach unten rechts zugewiesen. In dieser Weise können Mehrfachhalter mit verschiedenen Formen als Mehrfachhalter verwendet werden.
Gemäß dem Beispiel wird ein Durchsatz, wenn mehrere Proben, die durch den Mehrfachhalter gehalten werden, mit einem Elektronenmikroskop beobachtet werden, verbessert. Insbesondere können die Probentischausrichtung und die Probenpunktbezeichnung jedes Probentischs effizient durchgeführt werden, ohne das optische Bild außerhalb der Probenkamer erneut aufzunehmen. Außerdem ist es möglich, die Betriebsfähigkeit durch Verriegeln mit einer Navigationsfunktion oder dergleichen, in der der Tisch (Blickfeld des SEM-Bildes) sich in die im optischen Bild bezeichnete Position bewegt, weiter zu verbessern.
Beispiel 3
In dem Beispiel wird die Probentischausrichtung, die drei gerade Linien anstelle des Kreises bewegt und einstellt, beschrieben. Nachstehend werden hauptsächlich Unterschiede von den Beispielen 1 und 2 beschrieben.
12 ist eine erläuternde Ansicht der Probentischausrichtung, die drei gerade Linien bewegt und einstellt. Bei der Probentischausrichtung gemäß dem Beispiel werden drei bekannte lineare Führungslinien 65 (65-1, 65-2 und 65-3) mit unterschiedlichen Neigungen, die an den Koordinaten des optischen Bildes betrachtet werden, überlagert und angezeigt, wie in 12(a) gezeigt. Wenn diese drei linearen Führungslinien 65-1, 65-2 und 65-3 ungefähr parallel auf dem GUI-Bildschirm 60 bewegt werden, können daher mehrere ähnliche geformte Dreiecke 68 mit Schnittpunkten 67 (67-1, 67-2 und 67-3) zwischen zwei verschiedenen linearen Führungslinien von verschiedenen Kombinationen als Scheitelpunkt auf dem GUI-Bildschirm 60, das heißt im optischen Bild 61, gebildet werden.
Die Größe und die Mittenposition eines Probentischbildes 62 im optischen Bild und eine Abbildungsvergrößerung des optischen Bildes 61 mit dem Probentischbild 62 können automatisch mit hoher Genauigkeit und schnell durch eine einfache Berechnung aus den Koordinaten jedes Schnittpunkts 67 (67-1, 67-2 und 67-3), der als jeder Scheitelpunkt des Dreiecks dient, erfasst werden.
Wie in 12 dargestellt, ist es bevorzugt, dass die Neigungjeder linearen Führungslinie 65 so bestimmt wird, dass die drei linearen Führungslinien 65 (65-1, 65-2 und 65-3) Punkte sind, die die kreisförmige Kontur S des Probentischbildes 62 ungefähr dreiteilen. Ungeachtet des Benutzers ist es, da äußere Kontaktpunkte 66 (66-1, 66-2 und 66-3), die die kreisförmige Kontur S entlang der Längenrichtung ungefähr dreiteilen, als Referenz zum Erfassen eines Messreferenzpunkts dienen, folglich möglich, die Abbildungsvergrößerung mit hoher Genauigkeit zu erfassen.
Beispiel 4
In dem Beispiel wird die Probentischausrichtung, die drei Punkte einer äußeren Form eines Probentischs bezeichnet, anstelle der Anpassung des Kreises an die äußere Form des Probentischs beschrieben. Nachstehend werden hauptsächlich Unterschiede von den Beispielen 1 bis 3 beschrieben.
13 ist eine erläuternde Ansicht der Probentischausrichtung, die drei Punkte der äußeren Form des Probentischs bezeichnet. Bei der Probentischausrichtung gemäß dem Beispiel wird ein Zeiger 70, der frei auf dem GUI-Bildschirm beweglich ist, auf dem GUI-Bildschirm durch eine Bedienung einer Maus oder dergleichen angezeigt. Im optischen Bild 61 mit einem Probentischbild mit der Kontur S wie z. B. einem Kreis, einem Rechteck, einem Parallelogramm und einem regelmäßigen Vieleck werden beispielsweise mehrere Punkte direkt als Messreferenzpunkte auf der Kontur des Probentischbildes 62 durch Bewegen des Zeigers 70 auf die Konturform S und Ablegen des Zeigers 70 festgelegt.
Gemäß dem Beispiel können die Größe und die Mittenposition eines Probentischbildes im optischen Bild und eine Abbildungsvergrößerung des optischen Bildes 61 mit dem Probentischbild automatisch mit weniger Arbeitsstunden und schnell durch eine einfache Berechnung durch Berechnen der Mitte aus den Koordinaten jedes Konturpunkts 71 (71-1, 71-2 und 71-3) an einer vorbestimmten Konturform wie z. B. einem Kreis, einem Rechteck, einem Parallelogramm oder einem regelmäßigen Vieleck erfasst werden.
Bezugszeichenliste

1: Elektronenkanone
2: Anode
3: Kondensorlinse
4: Primärelektronenstrahl
5: Ablenkeinrichtung
6: Objektivlinse
7: Sekundärelektron
8: Probe
9: Probenplattform
10: Ablenksteuereinheit
11: Plattformsteuereinheit
12: Probenkammer
13: Sekundärelektronendetektor
14: Verstärker
15: Bildspeichereinheit
16: Hauptsteuereinheit
17: Monitor
18: Computer
19: Speichermedium
20: Maus
21: Tastatur
22: Exklusives Bedienfeld
23: Elektronenröhre mit optischer Linse
24: Kameravorrichtung
25: Optisches Bild
27: Gestrichelter Kreis
28: SEM-Bild
31: Probentisch
32: Mehrfachhalter
33: Probentisch
34: Mehrfachhalter
35: Anzeigebereich des SEM-Bildes
36: Anzeigebereich des optischen Bildes
37: Bedienungsbereich des Mehrfachhalters
60: GUI-Bildschirm
61: Optisches Bild
62: Probentischbild
65: Lineare Führungslinie
66: Kontaktpunkt
67: Schnittpunkt
68: Dreieck
70: Zeiger
71: Konturpunkt

ZITATE ENTHALTEN IN DER BESCHREIBUNG
Diese Liste der vom Anmelder aufgeführten Dokumente wurde automatisiert erzeugt und ist ausschließlich zur besseren Information des Lesers aufgenommen. Die Liste ist nicht Bestandteil der deutschen Patent- bzw. Gebrauchsmusteranmeldung. Das DPMA übernimmt keinerlei Haftung für etwaige Fehler oder Auslassungen.
Zitierte Patentliteratur

JP 2010198998 A [0003, 0004]

Claims

Gerät mit einem Strahl geladener Partikel, das umfasst: eine Probenplattform, auf der ein Probentisch, der eine Probe hält, angeordnet ist und die sich mindestens zweidimensional bewegt; ein optisches Bestrahlungssystem, das die Probe mit einem Strahl geladener Partikel bestrahlt; einen Detektor, der ein Informationssignal detektiert, das von der Probe emittiert wird; eine Anzeigevorrichtung, die ein Bild geladener Partikel anzeigt, das auf der Basis des Informationssignals erzeugt wird; ein optisches Mikroskop, das den Probentisch abbildet; und eine Speichereinheit, die ein optisches Bild speichert, das durch das optische Mikroskop abgebildet wird, wobei ein verarbeitetes optisches Bild, das durch Vergrößern oder Verkleinern oder Ändern des Blickfeldes des optischen Bildes, das in der Speichereinheit gespeichert ist, durch Digitalverarbeitung erhalten wird, auf der Anzeigevorrichtung angezeigt wird, und das Gerät mit einem Strahl geladener Partikel ferner umfasst eine Ausrichtungseinstellungseinheit, in der ein Indikator für die Probentischausrichtung in einem ersten verarbeiteten optischen Bild angezeigt wird und das erste verarbeitete optische Bild oder der Indikator für die Probentischausrichtung über eine Eingabevorrichtung bedient wird, so dass die Ausrichtungseinstellung durch die Probentischausrichtung durchgeführt wird, und ein Zeiger in einem zweiten verarbeiteten optischen Bild, das vom ersten verarbeiteten optischen Bild verschieden ist, oder in dem Bild geladener Partikel angezeigt wird und das zweite verarbeitete optische Bild oder das Bild geladener Partikel oder der Zeiger über die Eingabevorrichtung bedient wird, so dass die Ausrichtungseinstellung durch Ausrichtungspunktbezeichnung durchgeführt wird.
Gerät mit einem Strahl geladener Partikel nach Anspruch 1, wobei das zweite verarbeitete optische Bild, das mehr vergrößert ist als das erste verarbeitete optische Bild, auf der Anzeigevorrichtung angezeigt wird, nachdem die Ausrichtungseinstellung durch die Probentischausrichtung durchgeführt ist, und die Ausrichtungseinstellung durch die Ausrichtungspunktbezeichnung durchgeführt wird.
Gerät mit einem Strahl geladener Partikel nach Anspruch 1, wobei der Indikator für die Probentischausrichtung eine Form aufweist, die durch Imitieren einer Kontur des Probentischs erhalten wird, der auf der Probenplattform angeordnet ist, oder ein Zeiger ist, der ermöglicht, dass Koordinaten eines Konturpunkts des Probentischs, der im ersten verarbeiteten optischen Bild angezeigt wird, eingegeben werden.
Gerät mit einem Strahl geladener Partikel nach Anspruch 1, wobei in einem Fall, in dem mehrere Probentische auf der Probenplattform angeordnet sind, die Ausrichtungseinstellungseinheit die Ausrichtungseinstellung durch die Probentischausrichtung und die Ausrichtungseinstellung durch die Ausrichtungspunktbezeichnung für jeden Probentisch durchführt.
Gerät mit einem Strahl geladener Partikel nach Anspruch 4, wobei in einem Fall, in dem ein vorbestimmter Probentisch unter den mehreren Probentischen über die Eingabevorrichtung ausgewählt wird, die Probenplattform sich mindestens zweidimensional auf der Basis der Ausrichtungseinstellung des Probentischs bewegt.
Gerät mit einem Strahl geladener Partikel nach Anspruch 4, wobei die Ausrichtungseinstellungseinheit die Ausrichtungseinstellung eines anderen Probentischs auf der Basis der Ausrichtungseinstellung eines bestimmten Probentischs unterstützt.
Ausrichtungseinstellungsverfahren, das umfasst: Speichern eines optischen Bildes eines Probentischs, der eine Probe hält, die durch ein optisches Mikroskop abgebildet wird, in einer Speichereinheit eines Geräts mit einem Strahl geladener Partikel; Anzeigen eines ersten verarbeiteten optischen Bildes, das durch Vergrößern oder Verkleinern oder Ändern des Blickfeldes des optischen Bildes, das in der Speichereinheit gespeichert ist, durch Digitalverarbeitung erhalten wird, auf einer Anzeigevorrichtung des Geräts mit einem Strahl geladener Partikel; Anzeigen eines Indikators für die Probentischausrichtung im ersten verarbeiteten optischen Bild und Bedienen des ersten verarbeiteten optischen Bildes oder des Indikators für die Probentischausrichtung über eine Eingabevorrichtung, so dass die Ausrichtungseinstellung durch die Probentischausrichtung durchgeführt wird; Anzeigen eines zweiten verarbeiteten optischen Bildes, das vom ersten verarbeiteten optischen Bild verschieden ist und durch Vergrößern oder Verkleinern oder Ändern des Blickfeldes des optischen Bildes, das in der Speichereinheit gespeichert ist, durch Digitalverarbeitung erhalten wird, auf der Anzeigevorrichtung; Bestrahlen der Probe, die durch den Probentisch gehalten wird, der auf der Probenplattform angeordnet ist, die sich mindestens zweidimensional bewegt, mit einem Strahl geladener Partikel von einem optischen Bestrahlungssystem, Detektieren eines Informationssignals, das von der Probe emittiert wird, durch einen Detektor und Anzeigen eines Bildes geladener Partikel, das auf der Basis des Informationssignals erzeugt wird, auf der Anzeigevorrichtung; und Anzeigen eines Zeigers im zweiten verarbeiteten optischen Bild, das vom ersten verarbeiteten optischen Bild verschieden ist, oder im Bild geladener Partikel, Bedienen des zweiten verarbeiteten optischen Bildes oder des Bildes geladener Partikel oder des Zeigers über die Anzeigevorrichtung, so dass die Ausrichtungseinstellung durch Ausrichtungspunktbezeichnung durchgeführt wird.
Ausrichtungseinstellungsverfahren nach Anspruch 7, wobei das zweite verarbeitete optische Bild, das mehr vergrößert ist als das erste verarbeitete optische Bild, auf der Anzeigevorrichtung angezeigt wird, nachdem die Ausrichtungseinstellung durch die Probentischausrichtung durchgeführt ist, und die Ausrichtungseinstellung durch die Ausrichtungspunktbezeichnung durchgeführt wird.
Ausrichtungseinstellungsverfahren nach Anspruch 7, wobei der Indikator für die Probentischausrichtung eine Form aufweist, die durch Imitieren einer Kontur des Probentischs erhalten wird, der auf der Probenplattform angeordnet ist, oder ein Zeiger ist, der ermöglicht, dass Koordinaten eines Konturpunkts des Probentischs, der im ersten verarbeiteten optischen Bild angezeigt wird, eingegeben werden.
Ausrichtungseinstellungsverfahren nach Anspruch 7, wobei in einem Fall, in dem mehrere Probentische auf der Probenplattform angeordnet sind, die Ausrichtungseinstellung durch die Probentischausrichtung und die Ausrichtungseinstellung durch die Ausrichtungspunktbezeichnung für jeden Probentisch durchgeführt werden.
Ausrichtungseinstellungsverfahren nach Anspruch 10, wobei in einem Fall, in dem ein vorbestimmter Probentisch unter den mehreren Probentischen über die Eingabevorrichtung ausgewählt wird, die Probenplattform sich zumindest zweidimensional auf der Basis der Ausrichtungseinstellung des Probentischs bewegt.
Ausrichtungseinstellungsverfahren nach Anspruch 10, wobei die Ausrichtungseinstellung eines anderen Probentischs auf der Basis der Ausrichtungseinstellung eines bestimmten Probentischs unterstützt wird.