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Die
vorliegende Erfindung betrifft eine Vorrichtung zur zum Abbilden
eines Bereichs einer Probe, insbesondere durch Bestrahlung mit geladenen Teilchen.
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Abtastelektronenmikroskope,
Röntgenstrahl-Mikroanalysegeräte etc.
sind bekannte Vorrichtungen für
die Bestrahlung mit geladenen Teilchen. Bei einem Abtastelektronenmikroskop
wird eine Probe mittels eines vergrößerten Abbildes dieser Probe
beobachtet oder untersucht, wobei das Abbild durch Detektion der
Sekundärelektronen
oder der Reflexionselektronen, die von dem mit einem Elektronenstrahl
bestrahlten Probestück
stammen, erzeugt wird. Andererseits wird eine Probe bei einem Röntgenstrahl-Analysiergerät durch
Messung der Röntgenstrahlen
untersucht, die von dem mit einem Elektronenstrahl bestrahlten Probestück ausgestrahlt werden.
Zur Bestimmung eines Zielbereichs in einer Probe, die durch Bestrahlung
mit einem geladenen Teilchenstrahl beobachtet oder analysiert werden soll,
wird eine Vergrößerung der
Probe auf einem Bildanzeigegerät,
wie einer CRT, einem Beobachtungsmonitor etc., dargestellt, indem
die Vergrößerung der Vorrichtung
zur Bestrahlung mit geladenen Teilchenstrahlen verkleinert wird,
und das Abbild des ausgewählten
Bereichs der Probe wird in die Nähe
des Zentrums des Betrachtungsschirms des Bildanzeigegeräts gebracht.
Anschließend
wird durch schrittweise Erhöhung
der Vergrößerung eine
Ansicht mit der gewünschten
Vergrößerung erzielt.
Da jedoch der vergrößerte Bereich
des untersuchten Probenabschnitts kleiner ist als die Bildauflösung des
Bildanzeigegeräts
bei dieser geringen Vergrößerung,
ist die Feinstruktur der Probe nicht sichtbar, wodurch es schwierig
ist, den zu beobachtenden Punkt in der Probe ausfindig zu machen.
Das Bedienpersonal sucht daher den zu untersuchenden Punkt in dem
angezeigten Bereich durch wiederholtes, abwechselndes Bewegen der
Probe mittels eines Geräts
zur Feinverstellung der Probenposition sowie durch Erhöhung der
Vergrößerung.
Eine andere Möglichkeit ist
die Bewegung der Feinverstellein heit, während die Probe mit einer etwas
stärkeren
Vergrößerung beobachtet
wird.
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In
letzter Zeit gab es ein stärkeres
Bestreben, bei der Herstellung von Halbleiterspeichern diese mit
einem Abtastelektronenmikroskop zu untersuchen. Bei einem solchen
Halbleiterspeicher ist gewöhnlich
eine große
Anzahl von Zellen derselben Struktur in einem gleichmäßigen Gitter
angeordnet. Es ist daher schwierig, eine Zielzelle auf dem Bildschirm
eines Abtastelektronenmikroskops schnell zu finden. Sucht das Bedienpersonal
daher eine Zielzelle in einer Probe wie dem oben erwähnten Halbleiterspeicher,
muss es sich die Zeilen- und
Spaltenkoordinaten der Zielzelle in der Probe merken und dann durch
Abzählen
der Zeilen- und Spaltenzahlen in dem Gittermuster die Zielzelle
auffinden, wobei eine etwas höhere
Vergrößerung beibehalten
wird, so dass das Bedienpersonal jede Zelle unterscheiden kann,
und wobei die Probe schrittweise mit einem Gerät zur Feinverstellung ihrer
Position bewegt wird.
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Wenn
das Bedienpersonal bei einem Abtastelektronenmikroskop, wie es in
JP 4-27908 A offenbart
ist, irgendeine Zielposition bestimmt, die es in einem auf dem Bildschirm
eines Bildanzeigegeräts dargestellten
Bild beobachten will, dann wird eine Einheit zur Feinverstellung
der Probenposition durch einen Motor automatisch derart gesteuert,
dass die vorbestimmte Position in das Zentrum des Bildschirms des
Bildanzeigegeräts
gesetzt wird. Das Bedienpersonal muss jedoch die Zielposition auf
dem Abbild der Probe finden, was eine vergleichsweise schwierige
Aufgabe ist.
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Das
folgende Verfahren, das nach dem genannten Abtastelektronenmikroskop
arbeitet, wurde zu dem Zweck entwickelt, die Arbeitsbelastung des Bedienpersonals
bei der Bestimmung einer Zielposition auf dem Bildschirm des Bildanzeigegeräts zu vermindern.
Hierzu wird bei dem Abtastelektronenmikroskop auf dessen Bildanzeigegerät ein erstes und
ein zweites Fenster dargestellt, um zwei Bilder der Probe zu zeigen,
die mit starker bzw. mit schwacher Vergrößerung erzeugt wurden. Darüber hinaus wird
in dem ersten Fenster für
die Bilderzeugung mit schwacher Vergrößerung ein Cursorbereich angezeigt.
Weiterhin ist es möglich,
den Bezirk innerhalb des Cursorbereichs in dem zweiten Fenster mit
starker Vergrößerung anzuzeigen.
Wenn daher das Bedienpersonal beabsichtigt, eine Zielzelle weit
entfernt von der Stelle der Anschlussseite in einem Halbleiterspeicher,
von der aus die Suche nach der Zielzelle gestartet wird, zu betrachten,
wird das Bild der Probe in dem ersten Fenster mit ausreichend herabgesetzter
Vergrößerung dargestellt,
und die Stelle, an der sich die Zielzelle befindet, wird von dem
Cursorbereich eingeschlossen. Außerdem wird der vom Cursorbereich
eingeschlossene Bezirk in dem zweiten Fenster mit einer entsprechend
erhöhten
Vergrößerung angezeigt.
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Ein ähnliches
Verfahren ist aus
US 4,672,559 bekannt.
Die darin beschriebene Vorrichtung hat die im Oberbegriff des Anspruch
1 angegebenen Merkmale.
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Wenn
jedoch bei dem erwähnten
herkömmlichen
Abtastelektronenmikroskop das Bedienpersonal eine Position sucht,
die um einige zehn Spalten oder Zeilen von der Anschlussseite der
Probe entfernt liegt, und dies innerhalb eines Bildes, mit einer derart
starken Vergrößerung,
dass das Bedienpersonal die zu untersuchende Zellenstruktur unterscheiden
kann, dann muss das Bedienpersonal die Anzahl der Spalten oder Zeilen
ausgehend von der Anschlussseite bis zur Position der Zielzelle
abzählen. Zudem
ist es bei einen Abtastelektronenmikroskop mit der Möglichkeit
der Darstellung von Probenbildern mit unterschiedlichen Vergrößerungen
schwierig, die Anzahl der Spalten oder Zeilen der Zellen abzuzählen, da
das Bild der zu untersuchenden Struktur der Zielzellen auf dem Bildschirm
mit gering vergrößertem Bild
zu klein ist. Auch wenn es bei dem Abtastelektronenmikroskop möglich ist,
die vorbestimmte Position des Abbildes der Zielzelle in der auf dem
Bildschirm dargestellten Probe automatisch in das Zentrum des Bildschirms
zu bewegen, ist es dennoch immer noch notwendig, die Zellen in der
Probe abzuzählen,
während
man die Vergrößerung so
hoch wie notwendig beibehält.
Wenn die Zielzelle meh rere zehn oder hundert Spalten oder Zeilen
von Zellen von der Anschlussseite der Probe entfernt liegt, ist
es darüber
hinaus notwendig, den Vorgang der Probenverschiebung zu wiederholen,
um die Zielzelle zu finden, da dies in einem einzigen Vorgang nicht
möglich ist.
Das Abzählen
von Spalten oder Zeilen und der gleichzeitig hierzu wiederholte
Vorgang der Probenverschiebung verursacht leicht einen Fehler beim
Abzählen
der Spalten oder Zeilen durch das Bedienpersonal, wodurch beispielsweise
einige Spalten oder Zeilen übergangen
werden.
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Aus
US 5,587,833 A ist
eine Vorrichtung bekannt, bei der bestimmte Stellen eines Mikroskopschnitts
computertechnisch mit Markierungen versiehen werden, um sie später leicht
wieder aufzufinden. Eine Unterscheidung zwischen den markierten
Stellen erfolgt dabei über
von einer Bedienperson vergebene Unterindizes. Diese manuelle Eingabe der
Markierungen und Unterindizes ist zeit- und arbeitsaufwendig und
Irrtümern
der Bedienperson ausgesetzt.
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Aufgabe
vorliegender Erfindung ist es, eine weniger fehleranfällige Markierung
und Indizierung bei gleichzeitig geringerer Arbeitsbelastung der
Bedienperson zu erreichen.
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Diese
Aufgabe wird durch eine die erfindungsgemäße Vorrichtung zum Abbilden
eines Bereichs einer Probe gemäß Anspruch
1 gelöst.
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In
der nachfolgenden Figurenbeschreibung zeigen
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1 ein
schematisches Diagramm der Zusammensetzung einer Vorrichtung zur
Bestrahlung mit geladenen Teilchenstrahlen mit einem Abtastelektronenmikroskop
in erfindungsgemäßer Ausgestaltung;
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2 eine
perspektivische Darstellung einer Probe und einen vom Abtastelektronenmikroskop
abgetasteten Bereich;
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die 3A bis 7B Beispiele
der Darstellung des Abbildes einer Probe;
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8 ein
Flußdiagramm,
das die Arbeitsweise der Bestrahlungsvorrichtung für geladene
Teilchenstrahlen und die von dieser Vorrichtung ausgeführten Verarbeitungsschritte
für dieses
Ausführungsbeispiel
darstellt;
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9 ein
Flußdiagramm,
das die in diesem Beispiel von der Bestrahlungsvorrichtung für geladene
Teilchenstrahlen ausgeführten
Verarbeitungsschritte für
den Fall darstellt, in dem die Vergrößerung des Abtastelektronenmikroskops
erhöht
wird;
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10A bis 15B Darstellungsbeispiele für Markierungen,
die an Abbilder der Zielzellen der Probe angebracht sind.
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Im
folgenden werden erfindungsgemäße Ausführungsbeispiele
anhand der Zeichnungen detailliert beschrieben. Auch wenn in diesem
Fall ein Abtastelektronenmikroskop verwendet wird, kann die vorliegende
Erfindung auch bei anderen Arten von geladenen Teilchen-Analysegeräten eingesetzt
werden, wie beispielsweise einem Röntgenstrahl-Feinanalysegerät.
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Die
Arbeitsweise des bei der vorliegenden Erfindung eingesetzten Abtastelektronenmikroskops wird
im folgenden in Bezug auf die 2, 3A und 3B vom
grundsätzlichen
Aufbau her dargestellt. 2 illustriert zum einen eine
perspektivische Darstellung einer Probe 7, zum Beispiel
eines Halbleiterspeichers, bei dem eine große Anzahl von Einheitszellen
(im folgenden einfach Zellen genannt) in einem Gitter angeordnet
sind, zum anderen den Bereich der Probe 7, der vom Abtastelektronenmikroskop
zweidimensional abgetastet wird. Die Probe 7 wird vom Probentisch 8 getragen
und kann durch Bewegung des Probentisches 8 verschoben
werden. Die 3A und 3B zeigen
Beispiele der Darstellung des Abbildes der Probe 7, das
durch Verwendung der Sekundärelektronen
erzeugt wird, die durch das Abtasten mit Elektronen durch das Abtastelektronenmikroskop
erzeugt werden.
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Bei
dem in den 3A und 3B dargestellten,
einfachsten erfindungsgemäßen Ausführungsbeispiel,
wird, sobald das Bild einer Zelle in der Probe 7 (im folgenden
auch Zellenbild genannt) auf dem Bildschirm des Bildanzeigegeräts erscheint, durch
das in 3A dargestellte Eingabemittel
als Zeichensetzung eine Markierung 50 an das Zellenbild
angebracht. Wird anschließend
der Probentisch 8 in die in 2 dargestellte
Pfeilrichtung bewegt, bewegt sich die angebrachte Markierung 50 mit
und folgt der Bewegung der Zelle in der Probe 7. Demzufolgen
muß mittels
einer Detektionseinheit der Betrag der Verschiebung des Probentisches 8 gemessen werden
und aus dem gemessenen Betrag der Probentischverschiebung sowie
aus der Vergrößerung (M)
des dargestellten Bildes der Betrag der Verschiebung des Zellenbildes
abgeleitet werden. Wird der Betrag der Probentischverschiebung durch
die Koordinaten (X0, Y0) im zweidimensionalen, rechtwinkligen Koordinatensystem
ausgedrückt,
so kann der Verschiebungsbetrag des auf dem Bildschirm des Bildanzeigegeräts dargestellten
Zellenbildes durch die folgende Gleichung (1) dargestellt werden: XD = M × X0
YD
= M × Y0 (1)
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Wird
der Probentisch daher in X- und Y Richtung um X0 bzw. Y0 verschoben,
so wird die Markierung 50 zusammen mit dem Zellenbild auf
dem Bildschirm des Bildanzeigegeräts dadurch bewegt, daß die am
Zellenbild angebrachte Markierung 50 durch die entsprechenden,
gemäß Gleichung
(1) berechneten Beträge
XD und YD in X und Y Richtung verschoben wird.
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Da
bei den in 2 und in 3A und 3B gezeigten
Beispielen die X- und Y-Richtung, in die der Probentisch 8 bewegt
werden kann, mit denen des die Probe 7 abtastenden Elektronenstrahls zusammenfällt, kann
der Verschiebungsbetrag der Markierung 50 gemäß Gleichung
(1) berechnet werden. Häufig
sind jedoch die X- und Y-Richtung, in die der Probentisch 8 bewegt
wird, von denen des die Probe 7 abtastenden Elektronenstrahls,
wie in 4 dargestellt, unterschiedlich. In diesem Fall
erhält
man den Verschiebungsbetrag des Zellenbildes durch die folgende
Gleichung (2), wobei der Winkel zwischen dem Koordinatensystem für die Bewegung
des Probentisches 8 und dem für den Elektronenstrahl-Abtastvorgang
durch θ dargestellt
wird.
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Im
Koordinatensystem des zweidimensionalen Elektronenstrahl-Abtastvorgangs
werden die Verschiebungskomponenten XS und YS des Probentisches 8 wie
folgt dargestellt: XS = X0cosθ – Y0sinθ
YS
= X0sinθ +
Y0cosθ (2)
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Weiterhin
können
durch Multiplikation von XS und YS mit der Signifikanz (Vergrößerung)
M gemäß der folgenden
Gleichung (3) die Verschiebungskomponenten XD und YD des auf dem
Bildschirm des Bildanzeigegeräts
dargestellten Zellenbildes erhalten werden. Wird folglich der Probentisch 8 in
X- und Y-Richtung
um X0 bzw. Y0 verschoben, so kann die Markierung 50 zusammen
mit dem Zellenbild, an das diese Markierung 50 angebracht
wurde, auf dem Bildschirm des Bildanzeigegeräts verschoben werden, indem
diese Markierung in X- und Y-Richtung um die entsprechenden Beträge XD und
YD, wie sie aus Gleichung (3) berechnet wurden, verschoben wird. XD = M × XS
YD
= M × YS (3)
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Im
oben beschriebenen Fall wird das Bild einer Zelle in der Probe 7 durch
Bewegung des Probentisches 8 verschoben. Auf der anderen
Seite ist gewöhnlich
eine Elektronenstrahl-Ablenkeinheit
in einem Abtastelektronenmikroskop enthalten, um einen Ausschnitt
auf dem Bildschirm dadurch zu verschieben, daß ein Bereich der mit dem Elektronenstrahl bestrahlten
Probe 7 verschoben wird. Bei einer Änderung des Bildschirmausschnitts
durch die Elektronenstrahl-Ablenkeinheit, muß die Markierung 50 zusammen
mit dem Zellenbild derart verschoben werden, daß sie der Bewegung der Zelle
folgt. Im folgenden wird mit Bezug auf 5 eine Methode
zur Änderung des
Bild schirmausschnitts mittels der Elektronenstrahl-Ablenkeinheit
beschrieben.
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5 zeigt
ein Beispiel eines angezeigten Abbildes der Probe 7 und
stellt den Betrag der Verschiebung dieses dargestellten Bildes dar,
wobei diese Verschiebung von der Elektronenstrahl-Ablenkeinheit
vorgenommen wird. Im folgenden erfolgt die Erklärung zum Betrag der Verschiebung
des angezeigten Bildes unter der Annahme, daß das X-Y-Koordinatensystem
der durch die erste Elektronenstrahl-Ablenkeinhit ausgeführten Elektronenstrahlabtastung
mit demjenigen der zweiten Elektronenstrahl-Ablenkeinheit zusammenfällt. Häufig werden nämlich die
Koordinatensysteme sowohl für
die Elektronenstrahl-Ablenkung sowie für die Elektronenstrahl-Abtastung
miteinander übereinstimmend
gewählt,
indem die beiden Spulen für
die Strahlabtastung sowie für
die Strahlablenkung auf dieselbe Halterung gewickelt werden. Weiterhin
wird angenommen, daß der
maximale Wert einer digitalen Größe zur Steuerung
der Ablenkung des Elektronenstrahls, die an der Elektronenstrahl-Ablenkeinheit
eingegeben wird, "255" beträgt. Dies
läßt sich
dadurch erklären,
daß bisher
ein D/A-Wandler mit 8 oder 12 bits für Steuerschaltungen verwendet
wird, wobei im vorliegenden Fall ein 8 bit D/A-Wandler eingesetzt
wird. Drückt
man den maximalen Ablenkbetrag eines Elektronenstrahls jeweils in
X- und Y-Richtung als Xe–max bzw. Ye–max aus,
dem ein normierter maximaler Eingabewert "+1" entspricht,
was wiederum dem digitalen Eingabesteuerwert "255" entspricht,
können
bei der gewöhnlichen
Umwandlung eines D/A-Wandlers die Ablenkgrößen XSE und YSE gemäß den in
den D/A-Wandler eingegebenen digitalen Steuerwerten Xe und
Ye durch die folgende Gleichung (4) dargestellt
werden. Hierin nehmen Xe und Ye jeweils
Werte von 1 bis 255 an. XSE = (Xe × Xe-max)/256
YSE = (Ye × Ye-max)/256 (4)
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Beachtet
man, daß die
Bewegungsrichtung des Zellenbildes, wie es auf dem Bildschirm des
Bildanzeigegerätes
dargestellt wird, umgekehrt zu derjenigen der Ablenkung des mit
einem Elektronenstrahl abgetasteten Feldes verläuft, werden die obengenannten
Größen XSE
und YSE in die Größen XDE und
YDE gewandelt, die den jeweiligen Verschiebungsbetrag des Zellenbildes,
wie es auf dem Bildschirm gezeigt wird, beschreiben: XDE = –M × XSE
YDE
= –M × YSE (5)
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Wenn
folglich die digitalen Steuerwerte Xe und
Ye in X- bzw.
Y-Richtung in die Elektronenstrahl-Ablenkeinheit eingegeben werden,
wird die Markierung 50 zusammen mit dem Zellenbild auf dem
Bildschirm des Bildanzeigegeräts
verschoben, indem die an das Zellenbild angebrachte Markierung um
die über
die Gleichung (5) berechneten Größen XDE
und YDE in die X- bzw.
Y-Richtung verschoben wird.
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Eine
Bewegung der Markierung 50 aufgrund sich ändernder
Vergrößerung wird
nunmehr mit Bezug auf die 6A und 6B beschrieben.
Diese Figuren zeigen Beispiele einer Bildanzeige einer Probe 7 bei
zwei verschiedenen Stufen von Vergrößerung sowie der Anzeige der
Positionsverschiebung der Markierung 50 auf dem auf dem
Bildschirm dargestellten Abbild.
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Bei
der in 6A dargestellten Vergrößerung M0
wird die Markierung 50 an einer Stelle dargestellt, die
vom Bildschirmzentrum des Bildanzeigegeräts um die Distanz XM0 und YM0 verschoben
ist. Andererseits ist bei der in 6B dargestellten
Vergrößerung M1
die Markierung 50 an einer Stelle dargestellt, die vom
Zentrum des Bildschirms des Bildanzeigegeräts um die Distanz XM1 und YM1 entfernt liegt.
Folglich wird die Beziehung zwischen den Positionen (XM0,
YM0) und (XM1, YM1) durch die folgende Gleichung (6) ausgedrückt. XM1 = (M1/M0) × Xm0
YM1 = (M1/M0) × XM0 (6)
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Wenn
daher die Vergrößerung von
M0 auf M1 verstellt wird, wird die Markierung 50 zusammen mit
dem Zellenbild auf dem Bildschirm des Bildanzeigegeräts verschoben,
indem die an das Zellenbild angeheftete Markierung 50 gemäß Gleichung
(6) in die X- und Y-Richtung verschoben wird.
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Der
grundlegende Erfindungsgedanke wurde oben dargelegt. Im folgenden
soll in Bezug auf die 7A und 7B zusätzlich ein
Verfahren erklärt werden,
mit dem mehrere Markierungen Schritt für Schritt an Bildpositionen
des Objektes 7, wie es auf dem Bildschirm des Bildanzeigegeräts dargestellt wird,
mittels einer vom Bedienpersonal festgelegten Markierungsanzeigeregel
angebracht werden können.
Zunächst
wird an eine erste Bezugsposition des Abbildes der Probe 7 eine
erste Bezugsmarkierung 51, wie in 7A dargestellt,
angebracht. Dann wird, wie in 7B dargestellt,
eine zweite Bezugsmarkierung 52 an eine zweite Bezugsposition
auf dem Bild angebracht, wodurch sowohl die Richtung der schrittweise
angebrachten Markierungsreihe wie auch die Steigung zwischen zwei
aufeinanderfolgenden Markierungen festgelegt wird. Durch diese Methode
kann eine Reihe aufeinanderfolgender Markierungen 51, 52 usw.
automatisch an passende Zellenbilder auf dem Abbild der Probe 7 angebracht
werden. Wenn dann das Bild der Probe 7, wie in 7B dargestellt, nach
links verschoben wird, bewegen sich die Markierungen 51 und 52 zusammen
mit den Positionen, an die sie angebracht sind, nach links, und
wenn die Stelle, an die die Markierung 53 angebracht ist,
auf dem Bildschirm erscheint, wird die Markierung 53 automatisch
an dieser Position dargestellt.
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Darüber hinaus
sind bei den Beispielen der 7A und 7B die
Markierungen 51 und 52 mit den Unterindizes, den
Zahlen 1 und 2 eingegeben und versehen. Bei Eingabe der Unterindizes
1 und 2 werden Markierungen, die auf die Markierung 52 folgen,
automatisch mit Nummern in aufsteigender Folge versehen. Wenn dagegen
die Markierungen 51 und 52 mit den Zahlen 2 bzw.
1 eingegeben und versehen werden, werden alle nachfolgenden Markierungen
mit Zahlen in absteigender Reihenfolge versehen. Die Markierungen
können
auch mit einer Reihe von Buchstaben (z. B. a, b, c ...) oder mit
aus alphanumerischen Paaren zusammengesetzte Unterindizes (z. B.
X1, X2, X3 ...) versehen werden. Durch das Anbringen von Unterindizes
wie Zahlen an die Markierungen, wie oben beschrieben, fällt es leichter, eine
Zielzelle in der Probe 7 zu suchen, da diese Zielzelle
mit Hilfe der Unterindizes lokalisiert werden kann.
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1 zeigt
als schematisches Diagramm den Aufbau einer Vorrichtung zur Bestrahlung
mit geladenen Teilchenstrahlen mit einem Abtastelektronenmikroskop
nach einem erfindungsgemäßen Ausführungsbeispiel.
Ein von einer Elektronenkanone 1 ausgesandter Elektronenstrahl 2 wird
durch eine Sammellinse 6 und eine Objektivlinse 3 auf
die Probe 7 fokussiert. Durch Verwendung einer Ablenkspule 5 wird
die Probe 7 mit dem Elektronenstrahl 2 zweidimensional
abgetastet. Die von der Probe 7 emittierten Sekundärelektronen
werden detektiert und durch einen Sekundärelektronendetektor 16 in
ein Bildsignal umgewandelt. Die Bildsignale werden durch den Verstärker 17 anschließend verstärkt. Dann
werden die verstärkten
Bildsignale zu einem Bildspeicher 18 geleitet. Die zweidimensionale
Abtastung der Probe 7 wird mit Sägezahn-Signalen, die von einem
zweidimensionalen Abtast-Steuerschaltkreis 15 erzeugt werden,
ausgeführt,
wobei die Amplitude des Sägezahn-Signals,
die zur Vergrößerung des
Abtastelektronenmikroskops umgekehrt proportional ist, durch ein
von einem Mikroprozessor (MPU) 19 ausgegebenen Steuersignal
kontrolliert wird. Die Sägezahn-Signale
werden durch den Steuerverstärker 14 in
Stromsignale gewandelt, die der Ablenkspule 5 zugeführt werden.
Die im Bildspeicher 18 gespeicherten Bilddaten der Probe 7 werden
asynchron zum zweidimensionalen Scan des Bildes 7 ausgelesen
und auf dem Bildanzeigegerät 22 als
Abbild der Probe 7 darge stellt. Über ein Steuerpult 33 für Vergrößerungsstufen
wird eine Eingabe zur Veränderung
der Vergrößerung vorgenommen.
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Die
Probe 7 ist am Probehalter 8 befestigt, der durch
einen Antriebsmechanismus 10 für den Probentisch in zwei Dimensionen
verschoben werden kann. Dieser Antriebsmechanismus 10 für den Probentisch
besteht aus den Antriebseinheiten 10X und 10Y die
durch die Schrittmotoren 23X bzw. 23Y angetrieben
werden. Die Schrittmotoren 23X und 23Y werden
weiterhin auf Grundlage der von Steuerkreisen 25X und 25Y für die Probentischverschiebung
erzeugten Steuerpulssignalen durch die Ansteuerkreise 24X und 24Y angetrieben.
Die Steuerkreise 25X und 25Y für die Probentischverschiebung detektieren
ebenfalls die Verschiebungsgrößen in X und
Y Richtung des durch die Probentisch-Antriebseinheiten 10X und 10Y bewegten
Probentisches 8, indem die Anzahl der zu den Ansteuerkreisen 24X und 24Y gesandten
Pulssignale gezählt
wird. Die Eingaben zur Verschiebung des Probeobjekts 7 werden über ein
Steuerpult 31 für
die Probenverschiebung gemacht, und die hierdurch eingegebenen Verschiebungsgrößen in die
X und Y Richtung werden zu der MPU 19 geleitet. Die Bewegung
der Probe 7 wird weiterhin über Steuersignale geregelt,
die die Verschiebungsgrößen der
Bewegung der Probe 7 in X und Y Richtung bestimmen, welche
ihrerseits von der MPU 19 an die Steuerkreise 25X und 25Y für die Probentischverschiebung
geleitet wurden. Zusätzlich kann
durch die Ablenkspule 4 der Bildschirmbereich durch Verschieben
des Abtastgebiets der Probe 7, das mit dem Elektronenstrahl
abgetastet wird, verschoben werden. Die Ablenkspule 4 wird
durch einen Steuerkreis 13 für eine Bereichsverschiebung über einen
Antriebsverstärker 12 gesteuert.
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In
diesem Ausführungsbeispiel
wird eine ausgewählte
Position auf dem auf dem Bildanzeigegerät 22 ausgegebenen
Bild mittels einer Zeigeeinrichtung 27 bestimmt. Die Anzeige
eines Zeigers, beispielsweise eine Pfeilmarkierung, auf dem Bildschirm des
Bildanzeigegeräts 22 erfolgt
anhand von Signalen zur Zeigerausgabe, die von einem Zeigerausgabeschaltkreis 9 erzeugt
und Bildausgabesignalen in einer Bildadditionsschal tung 11 überlagert
werden. Die überlagerten
Signale werden anschließend
am Bildanzeigegerät 22 ausgegeben.
Die Bewegung des Zeigers wird durch Dekodierung der von der Zeigeeinrichtung
gesandten Signale mit einer Empfangsschaltung 28 für Signale
der Zeigeeinrichtung sowie dadurch ausgeführt, daß an die Zeigerausgabeschaltung 9 Signale
zur Lagebestimmung des Zeigers abgegeben werden. Darüber hinaus
können über die Tastatur 29 Zahlen
und/oder Buchstaben für
Unterindizes von Markierungen eingegeben werden, die dann von der
Empfangsschaltung 30 für
Tastatursignale dekodiert werden. Die erfindungsgemäße Vorrichtung
zur Bestrahlung mit geladenen Teilchenstrahlen mit einem Abtastelektronenmikroskop
enthält
außerdem
eine Markierungsanzeigeschaltung 20, die Signale zur Anzeige
von an eine Stelle des Probenbildes angebrachten Markierungen erzeugt, sowie
eine Bildadditionsschaltung 21, die die Ausgangssignale
der Markierungsanzeigeschaltung 20 den Bildsignalen für die Probe 7 überlagert.
Sämtliche
Schaltungen werden über
einen Bus 26 durch die MPU 19 gesteuert, die auch
die für
die Operationen dieser Schaltungen notwendigen Berechnungen ausführt.
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Nachfolgend
wird bezugnehmend auf 8 die Arbeitsweise der Vorrichtung
zur Bestrahlung mit geladenen Teilchenstrahlen unter Verwendung
des Abtastelektronenmikroskops und die hierfür notwendigen Operationen beschrieben.
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8 ist
ein Flußdiagramm,
das die Operationen dieser Vorrichtung und die von ihr ausgeführten Verfahrensschritte
zeigt. Anfangs wird im Schritt S11 die Probe 7 mittels
des Steuerpults 31 für
die Probenverschiebung bewegt. Erscheint die erste Bezugsposition
auf dem Abbild der Probe 7 auf dem Bildschirm, wird im
Schritt S12 mittels der Zeigereinrichtung 27 der Zeiger
zur ersten Bezugsposition bewegt, an die eine Markierung angebracht
werden soll. Dann wird im Schritt S13 durch Knopfdruck an der Zeigereinrichtung 27 die
Position der Markierung bestimmt. Anschließend erzeugt die Markierungsanzeigeschaltung 20,
die das Signal zur Bestimmung der Markierungsposition erhalten hat,
Signale zur Anzeige der Markie rung, die den Bildsignalen der Probe 7 durch die
Bildadditionsschaltung 21 überlagert werden. Die in diesem
Ausführungsbeispiel
als Kreuz-Cursor ausgestaltete Markierung 51 wird dann
durch Anzeige der überlagerten
Signale an der ersten Bezugsposition auf dem auf dem Bildschirm
angezeigten Bild angebracht.
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Anschließend wird
im Schritt S14 eine Zahl, mit der die Markierung 51 als
Unterindex versehen wird, an der Tastatur 29 eingegeben.
Wenn die eingegebene Zahl eine "1" ist, zeigt im Schritt
S15 die Markierungsanzeigeschaltung 20 die Markierung 51 mit dem
an einer Seite dieser Markierung angebrachten Unterindex "1". Als nächstes wird eine zweite Bezugsposition
bestimmt, um Markierungen an aufeinanderfolgende, zu beobachtende
Zielpositionen anzubringen. Häufig
ist die zweite Bezugsposition auf dem Abbild der Probe 7 nicht
zusammen mit der ersten Bezugsposition auf dem Bildschirm dargestellt. Wenn
dies der Fall ist, wird im Schritt S16 der angezeigte Bereich durch
Betätigung
des Probentisch-Antriebsmechanismus 10 in einen anderen
Bereich verschoben. Zur Vereinfachung der Erklärung wird in 7A angenommen,
daß sowohl
die erste als auch die zweite Bezugsposition sich auf dem selben
Bildschirm befinden, und daß die
zweite zur ersten benachbart liegt. Mittels der Zeigereinrichtung 27 wird im
Schritt S17 der Zeiger zur zweiten Bezugsposition bewegt. Im Schritt
S19 wird durch Knopfdruck auf die Zeigereinrichtung 27 die
Markierung 52 an die zweite Bezugsposition gesetzt. Zugleich
wird im Schritt S19 als Unterindex eine Zahl eingegeben, mit der
die Markierung 52 versehen wird. In diesem Beispiel wird als
Unterindex für
die Markierung 52 die Zahl "2" eingegeben.
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Wird
die Eingabe eines Unterindex für
die Markierung 52 festgestellt, schickt die MPU 19 im Schritt
S20 der Markierungsanzeigeschaltung 20 ein Befehlssignal
zur Anzeige der Zahl "2" an der Seite der
Markierung 52 und die Markierungsanzeigeschaltung 20 zeigt
ihrerseits den Unterindex "2" an der Seite der
Markierung 52 an, sobald sie das Befehlssignal empfangen
hat. Im Schritt S21 berechnet die MPU 19 dann die Richtung
und die Steigung, die notwendig sind, um an die anderen Zielpositionen Markierungen
aufeinanderfolgend auszugeben. Außerdem berechnet die MPU 19 im
Schritt S22 automatisch die Größe der Zu-
oder Abnahme in der Reihe von Unterindizes, mit denen die an die
Zielpositionen anzubringenden Markierungen versehen werden, wobei
hierfür
die als Unterindizes eingegebenen Zahlen für die Markierungen 51 und 52 verwendet werden.
Mit anderen Worten wird die Zu- oder Abnahme in der Reihe der Unterindizes
aufgrund des Unterschiedes zwischen den beiden eingegebenen Zahlen
festgestellt. Danach bestimmt die MPU 19 im Schritt S23
in welchem Umfang die Bilder der Zielzellen, an die Markierungen
angebracht worden sind, im vorhandenen Anzeigebereich ausgegeben
werden können,
und sie zeigt aufeinanderfolgend in dem festgelegten Umfang die
an die Abbilder angebrachten Markierungen an.
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Wird
der Probenhalter 8 verschoben, um das Abbild einer anderen
Zielzelle der Probe 7 beobachten zu können, berechnet im Schritt
S24 die MPU 19 den Betrag der Verschiebung des Probenbildes
auf der Grundlage des festgestellten Betrages der Verschiebung des
Probenhalters 8. Im Schritt S25 wird festgelegt, ob eine
an ein Zellenabbild angebrachte Markierung, die im vorangehenden
Bildschirmbereich angezeigt war, im neuerlichen Bildschirmbereich
angezeigt werden soll. Waren einige der im Schritt S25 überprüften Markierungen
im vorhergehenden Bildschirmfeld angezeigt, wird ihre gegenwärtige Position
auf dem Probenabbild im Schritt S26 neu berechnet. Darüber hinaus
wird im Schritt S27 überprüft, ob diese
neu berechneten, gegenwärtigen Positionen
innerhalb des neuerlichen Bildschirmbereichs liegen. Wenn dies der
Fall ist, werden im Schritt S28 die Daten dieser Positionen an die
Markierungsanzeigeschaltung 20 geschickt, die die vorbestimmten
Markierungen an diese Positionen setzt. Andernfalls wird im Schritt
S29 die Anzeige der Markierungen an diesen Positionen durch die
Schaltung 20 nicht ausgeführt und das Verfahren kehrt
zum Schritt S24 zurück.
Wenn jedoch einige der im Schritt S25 bestimmten Markierungen im
vorhergehenden Feld angezeigt wurden, wird ihre gegenwärtige Position
im Schritt S30 für
das Probenabbild berechnet. Dann wird im Schritt S31 überprüft, ob diese
neu berechneten, gegenwärtigen
Positionen innerhalb des erneuerten Bildschirmfeldes liegen. Wenn
dies der Fall ist, werden die vorbestimmten Markierungen im Schritt
S32 an diesen Positionen angezeigt. Andernfalls wird im Schritt
S33 das Verfahren zur Anzeige der Markierungen an diesen Positionen
nicht ausgeführt
und das Verfahren kehrt zum Schritt S24 zurück.
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Wie
im Flußdiagramm
in 8 gezeigt, kann sich jede einem Zellenbild zugeordnete
Markierung zusammen mit der Probe 7 bewegen. Wenn Zellenabbilder
auf dem Bildschirm auftauchen, die sich von denen an der ersten
und der zweiten Bezugsposition unterscheiden, an die die Markierungen 51 und 52 angebracht
sind, wird eine Reihe von Markierungen 53, 54 ...
der Reihe nach an den jeweiligen objektiven Positionen angezeigt,
wobei als Unterindizes Zahlen in einer festgelegten aufsteigenden
oder abfallenden Reihenfolge an den Seiten der jeweiligen Markierungen,
wie in 7B dargestellt, ebenfalls angezeigt
werden. In dem in den 7A und 7B dargestellten
Beispiel sind die Markierungen 51 und 52 an der
ersten und der zweiten Bezugsposition der Zellenbilder zueinander
benachbart dargestellt und weiterhin mit Unterindizes der Zahlen "1" und "2" versehen.
Wenn demgemäß eine Markierung 53 auf
einem Zellenbild angezeigt wird, das benachbart zur zweiten Bezugsposition
mit der Markierung 52 liegt, wird diese Markierung 53 mit
dem Unterindex der Zahl "3" versehen. Wenn die
Markierung 52 um zwei Zellenabbilder weiter entfernt von
der ersten Bezugsposition, an der die Markierung 51 mit
dem Unterindex "1" angezeigt ist, an
einer zweiten Bezugsposition des Zellenabbildes mit dem Unterindex "4" versehen angezeigt wird, wird eine
Reihe von Markierungen an Zellenabbildern ausgegeben, die auf einer
Linie liegen, die die erste und die zweite Bezugsposition jeweils
alle drei Zellenbilder weiter verknüpft, wobei die Reihe der jeweiligen
Markierungen mit einer Serie von Unterindizes "1", "4", "7" .... versehen ist.
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Das
in 1 dargestellte Abtastelektronenmikroskop in der
Vorrichtung zur Bestrahlung mit geladenen Teilchenstrahlen beinhaltet
eine Ablenkspule 4, durch die der Bildschirmbereich mittels
Verschiebung des Abtastbereichs der Probe 7 verschoben
werden kann. Die Ablenkspule 4 wird vom Steuerkreis 13 für die Bereichsverschiebung über den Steuerverstärker 12 gemäß den von
der MPU 19 geschickten Befehlssignalen für die Bereichsverschiebung
gesteuert, nachdem die MPU 19 Stellsignale vom Steuerpult 32 für eine Verschiebung
des Bestrahlungsbereichs erhalten hat. Der Betrag der Verschiebung
eines Zellenabbildes aufgrund der Verschiebung der Bestrahlungsposition
wird gemäß der Gleichungen
(5) durch die MPU 19 berechnet und der berechnete Betrag
der Zellenabbildverschiebung wird an die Markierungsanzeigeschaltung 20 geschickt.
Das von der Vorrichtung zur Bestrahlung mit geladenen Teilchenstrahlen
auszuführende
Gesamtverfahren und die zugehörigen
Arbeitsschritte, die notwendig sind, um den Bereich des Bildschirms
entsprechend der Verschiebung des Bestrahlungsbereichs zu verschieben,
entspricht demjenigen zur Verschiebung des Bildschirmbereichs aufgrund
einer Verschiebung der Probe 7. Eine Erklärung dieses Verfahrens
soll deshalb hier unterbleiben. Auch hier bewegt sich eine an einem
Zellenabbild des Probenbildes angebrachte Markierung zusammen mit
dem Zellenabbild und folgt der Bewegung der entsprechenden Zelle
in der Probe 7, und wenn ein Zellenabbild, das vorher außerhalb
des Bildschirms war, nun auf dem Bildschirm angezeigt wird, wird
auch hier die vorbestimmte Markierung an diesem Zellenabbild ausgegeben.
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Bei
einem Abtastelektronenmikroskop wird dessen Vergrößerung gewöhnlich mit
einer Änderung
des Abtastbereiches der Probe 7, die mit dem Elektronenstrahl
abgetastet wird, geändert.
Im folgenden wird daher ein Verfahren zur Verschiebung einer an
ein Zellenabbild angebrachten Markierung bei einer Vergrößerungsänderung
erklärt. 9 zeigt das
von der Vor richtung zur Bestrahlung mit geladenen Teilchenstrahlen
ausgeführte
Verfahren als Flußdiagramm,
wenn die Vergrößerung des
Abtastelektronenmikroskops erhöht
wird. Bei diesem Flußdiagramm
wurde unterstellt, daß Markierungen
bereits an die zu beobachtenden Abbilder der Zielzellen angebracht
worden sind.
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Im
ersten Schritt S41 in diesem Flußdiagramm wird eine Veränderung
der Vergrößerung über das
Steuerpult 33 für
Vergrößerungsstufen
vorgenommen.
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Nachdem
die MPU 19 die Eingabesignale für eine Änderung der Vergrößerung erhalten
hat, schickt sie ein Befehlssignal zur Änderung der Vergrößerung an
den zweidimensionalen Abtast-Steuerschaltkreis 15, der
die Vergrößerung durch Änderung der
Amplitude der Elektronenstrahlabtastung ändert, die ihrerseits den Abtastbereich
der Probe 7 festlegt. Zugleich stellt die MPU 19 im
Schritt S42 fest, ob irgendeine Markierung auf dem vorangehenden
Bildschirm angezeigt worden ist. Wenn zumindest eine Markierung
angezeigt wurde, wird im Schritt S43 für diese Markierung eine neue
Anzeigeposition errechnet, wie anhand des in 8 dargestellten
Flußdiagramms
erklärt
wurde. Im Schritt S44 wird dann beurteilt, ob die neue Ausgabeposition
für diese
Markierung noch innerhalb des neuerlichen Bildschirmbereichs liegt.
Wenn dies der Fall ist, schickt die MPU 19 die Daten für diese
neue Position an die Markierungsanzeigeschaltung 20, die
dann ihrerseits die vorbestimmte Markierung an der neuen Ausgabeposition
darstellt. Wenn andererseits die neue Ausgabeposition der Markierung
außerhalb
des gegenwärtigen
Bildschirms liegt, wird im Schritt S46 das Ausgabeverfahren für die Markierung
nicht ausgeführt und
das Verfahren kehrt zum Schritt S41 zurück.
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Wenn
andererseits auf dem vorhergehenden Bildschirm eine Markierung nicht
angezeigt worden ist, werden im Schritt S47 die neuen Anzeigepositionen
der vorbestimmten, bereits an Zellenabbildern angebrachten Markierungen
errechnet. Im Schritt S48 wird dann überprüft, ob die neu errechneten
Anzeigepositionen der Markierungen nunmehr auf dem neuerlichen Bildschirmfeld
zu liegen kommen. Ist dies der Fall, wird im Schritt S49 die vorbestimmte Markierung
an der neuen Position dargestellt. Andernfalls wird im Schritt S50
das Verfahren zur Ausgabe einer Markierung nicht ausgeführt.
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Gemäß den oben
beschriebenen und in den 8 und 9 dargestellten
Flußdiagrammen
können
der Reihe nach an Zellenabbildern angebrachte Markierungen zusammen
mit der Probe 7 oder zusammen mit einer Änderung
der Vergrößerung verschoben
werden. Das Verfahren kehrt dann zu Schritt S41 zurück.
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Im
genannten Ausführungsbeispiel
wird zur aufeinanderfolgenden Markierung von Zellenabbildern die
zweite Bezugsposition als eine Stelle im Zellenbild bestimmt, die
benachbart zu der Stelle im Zellenbild liegt, die als erste Bezugsposition
bezeichnet ist. Wenn die Anzahl der Zellenabbilder, die zwischen dem
ersten und dem letzten Zellenabbild liegen, von vornherein bekannt
ist, kann die nachfolgend beschriebene Methode zur aufeinanderfolgenden
Markierung von Zellenabbildern benutzt werden. Die 10A bis 10C illustrieren
diese Methode.
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Zunächst wird
die Probe 7 derart verschoben, daß die erste Bezugsposition
(1) auf dem Bild der Probe 7 auf den Bildschirm des Bildanzeigegeräts 22 kommt,
wie in 10A dargestellt. In diesem Status
wird der Zeiger an die erste Bezugsposition gesetzt, an die eine
Markierung anzubringen ist, wie in 10B dargestellt,
und eine Markierung 55 wird an dieser Position angebracht.
Gleichzeitig wird ein Unterindex (in dem in 10B dargestelltem
Beispiel, eine "1") eingegeben und
die Markierung 55 wird mit diesem Unterindex "1" versehen. Dieses Verfahren ist dasselbe
wie in den obigen Ausführungsbeispielen,
die in den 6A und 6B oder 7A und 7B dargestellt
sind. Dann wird die Probe 7 weiter verschoben, bis die
zweite Bezugsposition (2) auf dem Probenabbild auf den Bildschirm des
Bildanzeigegeräts 22 kommt,
wie in 10A dargestellt. Weiterhin wird,
wie in 10C dargestellt, der Zeiger
an die zweite Bezugsposition, an die die Markierung angebracht werden
soll, bewegt, und diese Position mit der Markierung 56 versehen.
Auch wird ein Unterindex (in dem in 10C dargestellten Beispiel
eine "20") eingegeben, und
die Markierung wird mit dem Unterindex "20" versehen.
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Der
Unterindex "20" stellt die Nummer
des letzten Zellenabbildes dar und die Differenz zwischen der Zahl "20" des letzten Unterindex
und der Zahl "1" des ersten Unterindex
bezeichnet die Teilungszahl des Intervalls zwischen der ersten und
der zweiten (letzten) Bezugsposition. Auf der Grundlage der für die erste
und die letzte Bezugsposition eingegebenen Unterindizes und der
Koordinaten dieser Positionen berechnet die MPU 19 jede
Position zwischen der ersten und der letzten Position, an die eine
Markierung angebracht wird. Dann schickt die MPU 19 an
die Markierungsanzeigeschaltung 20 ein Befehlssignal, um
Markierungspaare und ihre Unterindizes an nur einigen der berechneten
Positionen auf dem Bildschirm anzuzeigen. Auf die Anzeige dieser
Markierungen und ihrer Unterindizes hin können diese zusammen mit den
markierten Zellenbildern verschoben werden, wenn die Probe 7 bewegt
wird oder die Vergrößerung verändert wird,
wobei dies in der gleichen Weise stattfindet, wie bei den vorher
erwähnten Ausführungsbeispielen.
Mittels der obengenannten Methode kann einfach und wirksam nach
jedem einzelnen Zellenabbild zwischen der ersten und der letzten
Bezugsposition gesucht werden.
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Bei
den obigen Beispielen wurde ein Kreuz als Markierung verwendet.
Jedoch können
auch andere Markierungstypen verwendet werden. Die 11 bis 13B zeigen andere Beispiele von Markierungsanzeigen.
Bei dem in 11 dargestellten Beispiel wird
eine Kreuzlinie als Markierung benutzt, deren Erkennbarkeit hervorragend
ist. Daneben können
auch nur eine horizontale oder eine vertikale Linie als Markierung
benutzt werden, je nach dem zu beobachtenden Objekt in der Probe 7.
Die 12A und 12B zeigen
Beispiele der Markierungsanzeige, wo eine vertikale bzw. eine horizontale Linienmarkierung
verwendet wird. Für
diese Markierungsanzeige wird an einer Eingabeeinheit wie der Tastatur 9 die
Auswahl entweder einer vertikalen oder einer horizontalen Linienmarkierung
vorher eingegeben, so daß entweder
nur die vertikale oder nur die horizontale Linienmarkierung an den
angezeigten Positionen der Zellenbilder angebracht wird, wie in den 12A oder 12B gezeigt
ist. Weiterhin ist es auch möglich,
jede Linienmarkierung mit einem Unterindex, wie in den 12A oder 12B dargestellt,
zu versehen.
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Darüber hinaus
ist es, wie in 13A gezeigt, möglich, falls
Markierungen der Reihe nach angezeigt werden sollen, jede dieser
Markierungen als ein Linienpaar darzustellen, das sich an dem zu
markierenden Zellenabbild senkrecht kreuzt. Wie im Zusammenhang
mit den 12A und 12B erklärt wurde,
können
daneben auch Linien mit nur einer Richtung dieser Kreuzlinienmarkierungen
angezeigt werden, wenn die Anzeige einer Einlinienmarkierung für die Objektbeobachtung
in der Probe 7 effektiv ist. 13B zeigt
ein Beispiel, bei dem als Markierungen nur die vertikalen Linien
der Kreuzlinienmarkierungen angezeigt sind.
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Die 14A bis 14C zeigen
Beispiele für
Markierungsanzeigen, bei denen das Verfahren der aufeinanderfolgenden
Ausgabe von vertikalen Linienmarkierungen in eine einzige Richtung,
wie in den 13A und 13B dargestellt,
verwendet wird. Anfangs wird eine erste Bezugsposition 58,
wie in 14A gezeigt, in der gleichen
Weise, wie in den obengenannten Ausführungsbeispielen, bestimmt. Dann
wird die zweite Bezugsposition 59 durch Verschiebung des
Zeigers an die Position 59 gewählt. Daraufhin werden vertikale
Linienmarkierungen 71, 72, 73 und 74 auf
dem Bildschirm des Bildanzeigegeräts 22 angezeigt, die
senkrecht zu der die Positionen 58 und 59 verbindenden
Linie verlaufen. Wird der Abschluß der Eingabevorgänge an der
Tastatur 29 eingegeben, legt die MPU 19 fest,
daß an
der entsprechenden Position als Markierung eine Linie in der jeweils
bestimmten Richtung der Kreuzmarkierung anzubringen ist und zeigt
Linienmarkierungen an, die senkrecht zu der die Positionen 58 und 59 verbindenden
Richtung verlaufen, wie in 14B gezeigt.
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Wenn
darüber
hinaus eine dritte Bezugsposition 60 bestimmt wird (siehe 14C), werden senkrecht zu den bereits angezeigten
Linienmarkierungen 71, 72, 73 und 74 verlaufende
Linienmarkierungen 76, 77 und 78 zusammen
mit einer Steigungsangabe P angezeigt, wie in 14C dargestellt. Mittels der in den 11, 12A und 12B sowie 13A und 13B dargestellten
Linienmarkierungen ist es möglich,
mit dem Abbild der Probe 7 derart zu verfahren, als wären auf
dem Bild Einteilungen eingezeichnet. Die 15A und 15B veranschaulichen die Suche nach einem Zellenbild
durch Gebrauch von Markierungen und durch Eingabe einer Zahl und/oder
eines Buchstabens als Unterindex, der an die Markierung des zu suchenden
Zielzellenabbildes angebracht wird, wodurch die mit diesem Unterindex bezeichnete
Zielzelle auf dem Bildschirm sofort erkannt werden kann. Es sei
angenommen, daß die Markierungen
mit Zahlen als Unterindizes versehen sind.
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Es
wird nunmehr in 15A eine zu der Markierung mit
dem Unterindex "7" benachbarte Zelle
betrachtet. Das Bedienpersonal kann selbstverständlich nur Zellenabbilder innerhalb
des gegebenen Bildschirmfeldes 22a wahrnehmen, nicht hingegen
andere Zellenbilder. Wenn das Bedienpersonal nun ein Zellenabbild
mit einer mit dem Unterindex "8" versehenen Markierung
beobachten möchte,
kann durch schrittweises Verschieben der Probe 7 mit dem Steuerpult 31 für die Probenverschiebung
dieses Zellenabbild innerhalb des Bildschirmfeldes 22a gebracht
werden. In diesem Beispiel hingegen wird an der Tastatur 29 der
Unterindex "8", mit dem die an diese
Zelle angebrachte Markierung versehen ist, eingegeben. Empfangt
die MPU 19 ein Eingabesignal für den Unterindex "8", errechnet sie die Entfernung zwischen
der Position des gegenwärtig
beobachteten Zellenbildes und des Zellenbildes, an das die mit dem
Unterindex "8" versehene Markierung angebracht
ist. Wenn dieser dem berechneten Abstand entsprechende Verschiebungsbetrag
des Zellenbildes innerhalb eines Bereiches liegt, der durch eine
von der Ablenkspule 4 ausgeführte Verschiebung des Bildschirmfeldes
abgedeckt werden kann, dann wird dieser Ver schiebungsbetrag für die Bewegung
des Zellenbildes an den Steuerkreis 13 für eine Bereichsverschiebung
geschickt. Andernfalls wird dieser Verschiebungsbetrag an die Steuerkreise 25X und 25Y für die Probentischverschiebung
geschickt, wodurch das Bildschirmfeld um diesen Betrag mittels Bewegung
des Probenhalters 8 verschoben wird. Somit wird das nächste zu
beobachtende Zellenbild auf den Bildschirm gebracht.
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Um
die obengenannte Markierungssteuerung zu verwirklichen, werden die
an den Zellenbildern angebrachten Markierungen im Hinblick auf die Koordinaten
der Positionen der markierten Zellenbilder bewertet. Bezeichnet
man die Koordinaten des gegenwärtig
beobachteten Zellenbildes und die des als nächstes zu beobachtenden Zellenbildes
mit (X0, Y0) bzw. (X8, Y8), wird der Verschiebungsbetrag des Feldes,
d. h. (X0–X8,
Y0–Y8),
entweder an den Steuerkreis 13 für eine Bereichsverschiebung
oder an die Steuerkreise 25X und 25Y für die Probentischverschiebung
geschickt, wenn die Position des Zellenbildes mit den Koordinaten
(X8, Y8) an die Position (X0, Y0) verschoben werden soll. Folglich
läßt sich
eine Bildausgabe, wie in 15B dargestellt,
schnell erzielen. Die Position (X8, Y8) wird durch Eingabe des Unterindex "8", mit dem die an das Zellenbild mit
der Position (X8, Y8) angebrachte Markierung versehen ist, an der
Tastatur 29 bestimmt.
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Gemäß vorliegender
Erfindung kann das Bedienpersonal leicht das Abbild einer zu beobachtenden
Zelle auffinden, auch wenn in der Probe 7 eine große Anzahl
von Zellen gleichmäßig angeordnet sind,
wobei eine effiziente Verschiebung des Bildschirmfeldes stattfindet,
was den Arbeitsaufwand, die Anzahl der Zellen zu zählen und
sich Bezugspositionen von Zellen sowie die gezählten Zahlen zu merken, stark
vermindert.