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HINTERGRUND DER ERFINDUNG
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1. Gebiet der Erfindung
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Die
vorliegende Erfindung betrifft ein Abtastinstrument mit Ladungsteilchenstrahl,
wie etwa ein Abtastelektronenmikroskop, und insbesondere ein Abtastinstrument
mit Ladungsteilchenstrahl, welches zum Untersuchen einer Probenoberfläche für ein gewünschtes
Sichtfeld geeignet ist, sowie ein Verfahren zum Betrachten von Bildern
einer Probe mit einem solchen Abtastinstrument mit Ladungsteilchenstrahl.
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2. Beschreibung des zugehörigen Fachgebiets
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In
der Abtastelektronenmikroskopie wird ein durch eine Elektronenkanone
ausgesendeter Elektronenstrahl durch Kondensorlinsen und eine Objektivlinse
auf eine Probe fokussiert. Der Elektronenstrahl wird in zwei Dimensionen
abtasten gelassen. Wenn die Probe mit dem Elektronenstrahl angestrahlt
wird, so werden Sekundärelektronen
und andere Elektronen erzeugt. Die erzeugten Elektronen werden mit
einem Detektor detektiert. Das Ausgangssignal von dem Detektor wird
einer mit dem Abtasten des Elektronenstrahls synchronisierten Kathodenstrahlröhre zugeführt. Somit
wird ein abgetastetes Bild der Probe erhalten.
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Wird
ein Bild einer Probe unter Verwendung eines solchen Abtastelektronenmikroskops
betrachtet, so wird der Probentisch mechanisch in X- und Y-Richtungen
verschoben oder gedreht, um dem Nutzer die Betrachtung eines Bildes
eines gewünschten
Gebiets der Probe zu erlauben. Bewegungen und Drehungen des betrachteten
Gebiets sind nicht auf mechanische beschränkt. Sie können auch durch die Bildverschiebungsfunktionen
zum Steuern des Bereichs, in welchem der Elektronenstrahl abgelenkt
wird, und durch die Abtastdrehfunktion zur elektrischen Drehung
der Richtung der zweidimensionalen Abtastung des Elektronenstrahls
erzielt werden.
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Wird
in diesem Abtastelektronenmikroskop eine gewünschte Position auf einer Probe
auf die optische Achse des optischen Strahls gebracht, um eine Betrachtung
der Position aus der Nähe
durchzuführen,
so wird das Gebiet, in welchem der Elektronenstrahl in zwei Dimensionen
abtastet, aufgeweitet und die Betrachtungsvergrößerung wird reduziert. Der
Bediener betrachtet dann das Bild mit der geringen Vergrößerung und
sucht die gewünschte
Probenposition. Der Tisch, auf welchem die Probe platziert ist,
wird dann bewegt, um die gewünschte
Probenposition auf die optische Achse des Elektronenstrahls zu bringen.
Nach dieser Aufeinanderfolge von Bedienschritten wird das Gebiet,
in welchem der Strahl in zwei Dimensionen abtastet, eingeengt und die
Vergrößerung wird
verstärkt.
Der Bediener führt dann
eine Betrachtung eines Bildes der gewünschten Position auf der Probe
aus der Nähe
aus.
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Wenn
die Betrachtungsposition zuvor bestimmt worden ist, so ist die Bildbetrachtung
unter Verwendung der oben beschriebenen Prozessschritte nicht notwendig.
In Bezug auf eine Probe, deren Bild zum ersten Mal betrachtet wird,
sind die oben beschriebenen Bildbetrachtungsschritte jedoch wesentlich.
Wird eine große
Probe behandelt, so können
Betrachtungen an einer Mehrzahl von in Abständen voneinander angeordneten
Positionen durchgeführt werden.
In diesem Fall muss der Bediener jedes Mal dann, wenn der Tisch
mechanisch bewegt wird, bei der Minimalvergrößerung nach einem gewünschten Sichtfeld
suchen. Besonders muss der Tisch dann, wenn eine interessierende
Probenposition nicht in das Sichtfeld eintritt, nachdem der Tisch
bewegt wird und der Suchvorgang bei der Minimalvergrößerung durchgeführt wird,
erneut bewegt werden und der Bediener muss nach einem gewünschten
Sichtfeld suchen.
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Die
US-A-4,808,358 betrifft
ein Abtastelektronenmikroskop, welches mit einem Probentisch ausgestattet
ist, der zur Durchführung
einer horizontalen Bewegung, einer vertikalen Bewegung, einem Drehbetrieb
und einem Neigungsbetrieb in der Lage ist. Ein Rahmenspeicher speichert
ein erstes Bild und nach einer Betätigung wird die Differenz des
Orts eines interessierenden Merkmalspunkts zwischen dem ersten Bild
und einem resultierenden zweiten Bild berechnet. Auf Grundlage der
Berechnung kann eine Steuer-/Regeleinrichtung die Probenposition
so justieren, dass der Merkmalspunkt auf einem Anzeigeschirm bleibt.
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Die
EP-A-0,533,330 betrifft
ein Abtastmikroskop, welches Probenbildsignale erzeugen kann, die zur
Erzeugung eines Anzeigebildes eines abgetasteten Teils einer Probe
verwendet werden. Die Probenbildsignale können in einem Bildspeicher
gespeichert werden und ein Teil dieser Probenbildsignale können zur
Erzeugung des Anzeigebildes gelesen werden. Dies ermöglicht die
Erzielung einer effektiven Vergrößerung,
ohne die Probe mit zu engen Abtastlinien abzutasten.
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ÜBERBLICK ÜBER DIE
ERFINDUNG
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Im
Hinblick auf das Vorstehende ist die vorliegende Erfindung erlangt
worden.
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Es
wäre wünschenswert,
ein Abtastinstrument mit Ladungsteilchenstrahl bereitzustellen,
welches es einem Bediener erlaubt, auf einfache Weise nach einem
gewünschten
Sichtfeld zu suchen.
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Außerdem wäre es wünschenswert,
ein Verfahren zum Betrachten eines Probenbildes mit einem solchen
Abtastinstrument mit Ladungsteilchenstrahl bereitzustellen.
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Dementsprechend
stellt die Erfindung ein Abtastinstrument mit Ladungsteilchenstrahl
bereit, welches aufweist: einen Probentisch, der zu einer Bewegung
in X- und in Y-Richtungen in der Lage ist, ein Ladungsteilchenstrahl- Anstrahlmittel zum
Anstrahlen einer auf dem Probentisch gehaltenen Probe mit einem
Ladungsteilchenstrahl, ein Abtastmittel, um den Ladungsteilchenstrahl
in zwei Dimensionen über
die Probe abtasten zu lassen, einen Detektor zum Detektieren von
Signalen, die von der Probe herrühren,
sowie ein Steuer-/Regelmittel zum Anzeigen eines abgetasteten Bildes
der Probe in Antwort auf ein Ausgabesignal von dem Detektor. Das
Instrument ist dadurch gekennzeichnet, dass es umfasst: ein Speichermittel
zum Speichern von Bildsignalen verschiedener Sichtfelder der Probe
zusammen mit sich auf die Sichtfelder der Probe beziehender Positionsinformation;
ein Mittel, welches dafür
eingerichtet ist, in Antwort auf die gespeicherten Bildsignale der
Mehrzahl von Sichtfeldern eine Mehrzahl von Probenbildern gleichzeitig
anzuzeigen; ein Auswahlmittel, welches es einem erlaubt, ein gewünschtes Bild
der Mehrzahl angezeigter Probenbilder auszuwählen, sowie Bewegungsmittel,
welche dafür
eingerichtet sind, die Probe in Antwort auf die gespeicherte Positionsinformation
in eine dem gewählten
Probenbild entsprechende Position zu bewegen.
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Andere
Aufgaben und Merkmale der Erfindung werden im Verlaufe ihrer Beschreibung,
welche sich nun anschließt,
offensichtlich.
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KURZE BESCHREIBUNG
DER ZEICHNUNGEN
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1 ist
eine Blockdarstellung eines Abtastelektronenmikroskops gemäß einer
Ausführungsform
der vorliegenden Erfindung;
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2 ist
eine Ansicht, welche Bereiche geringer Vergrößerung einer Probe anzeigt,
welche in den Speichern des in 1 gezeigten
Mikroskops gespeichert sind;
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3 ist
eine Ansicht, welche ein Beispiel eines auf dem Sichtschirm der
CRT (Catode Rate Tube = Kathodenstrahlröhre) des in 1 gezeigten
Mikroskops angezeigten Bildes illustriert, und
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4 ist
eine Ansicht, welche ein anderes Beispiel eines auf dem Sichtschirm
des CRT des in 1 gezeigten Mikroskops angezeigten
Bildes illustriert.
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BESCHREIBUNG
DER BEVORZUGTEN AUSFÜHRUNGSFORMEN
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Unter
Bezugnahme auf 1 ist dort ein Abtastelektronenmikroskop
gemäß einer
Ausführungsform
der vorliegenden Erfindung gezeigt. Das Instrument weist eine Elektronenkanone
(nicht gezeigt) auf, welche einen Elektronenstrahl EB aussendet. Dieser
Strahl EB wird beschleunigt und über
Kondensorlinsen (nicht gezeigt) sowie über eine Objektivlinse 1 schart
auf einer Probe 2 fokussiert. Der Elektronenstrahl wird über ein
gewünschtes
Gebiet auf der Probe 2 in zwei Dimensionen durch eine X-Ablenkungsspule 3 und
eine Y-Ablenkungsspule 4 zur
Ablenkung in X- bzw. Y-Richtung abtasten gelassen.
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Wenn
der Elektronenstrahl EB die Probe 2 trifft, so werden Sekundärelektronen
produziert. Diese Elektronen werden durch einen Sekundärelektronendetektor 5 detektiert.
Das Ausgangssignal von dem Detektor wird durch einen A/D-Wandler 6 in
ein digitales Signal umgewandelt. Das Ausgabesignal von dem Wandler 6 wird
in einen Bildspeicher 7 geführt, in welchem das Signal
gespeichert wird. Das in dem Speicher 7 gespeicherte Signal
wird ausgelesen und über
eine graphische Nutzerschnittstelle (GUI) 8 einer Kathodenstrahlröhre (CRT) 9 zugeführt. Im
Ergebnis wird ein abgetastetes Bild der Probe auf der CRT 9 angezeigt.
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Ablenkungssignale
zum Abtasten des Elektronenstrahls werden der X-Ablenkungsspule 3 und der Y-Ablenkungsspule 4 von
einer X-Ablenkungsansteuerungsschaltung 10 bzw.
einer Y-Ablenkungsansteuerungsschaltung 11 zugeführt. Ein
X-Richtungsabtastungssignal
von einer X-Richtungsabtastsignal-Erzeugungsschaltung 12 wird über eine
Abtastdrehschaltung 13 in die X- Ablenkungsansteuerungsschaltung 10 geführt. Ein
durch eine Y-Richtungsabtastungssignal-Erzeugungsschaltung 14 erzeugtes Abtastsignal
wird über
die Abtastdrehschaltung 13 in die Y-Ablenkungsansteuerungsschaltung 11 geführt.
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Die
X-Richtungsabtastungssignal-Erzeugungsschaltung 12 und
die Y-Richtungsabtastsignal-Erzeugungsschaltung 14 werden
entsprechend einer Vergrößerung durch
eine Steuer-/Regeleinheit 15, wie einer CPU, gesteuert/geregelt.
Wird insbesondere die Vergrößerung erhöht, so werden
die Amplituden der Abtastsignale reduziert. Bei einer geringeren
Vergrößerung steigen
die Amplituden der Abtastsignale. Die Abtastdrehschaltung 13 wird
ebenfalls durch die Steuer-/Regeleinheit 15 gesteuert/geregelt.
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Die
Probe 2 wird auf einem Drehprobentisch 16 positioniert,
welcher wiederum auf einem X-Y-Verschiebungstisch 17 getragen
wird. Der Tisch 16 wird auf dem X-Y-Verschiebungstisch 17 durch
eine Drehansteuerungsschaltung 18 gedreht. Ferner kann der
X-Y-Verschiebungstisch 17 in der X- und Y-Richtung durch
eine X-Bewegungsansteuerungsschaltung 19 bzw. eine Y-Bewegungsansteuerungsschaltung 20 verschoben
werden. Die Drehansteuerungsschaltung 18, die X-Bewegungsansteuerungsschaltung 19 und
die Y-Bewegungsansteuerungsschaltung 20 werden durch eine
Tisch-Steuer-/Regeleinheit 21 gesteuert/geregelt,
welche wiederum durch die Steuer-/Regeleinheit 15 gesteuert/geregelt
wird.
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Mit
der Steuer-/Regeleinheit 15 sind manuelle Bedienmittel 22 wie
eine Tastatur und ein Zeigergerät
verbunden. Eine Mehrzahl von Bildspeichern 23–23n sind
mit der Steuer-/Regeleinheit 15 verbunden. In dem Bildspeicher 7 gespeicherte
Bilder werden in geeigneter Weise in die Bildspeicher 23a bis 23n gelesen
und dort unter Steuerung der Steuer-/Regeleinheit 15 gespeichert.
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Informationen
betreffend die Winkelposition des Drehprobentischs 16 beim
Erfassen von Bildern, die X- und Y-Koordinaten des X-Y-Verschiebungstischs 17 und
die Winkelposition von durch die Abtastdrehschaltung 13 gedrehten
Bildern werden von der Steuer-/Regeleinheit 15 an die Bildspeicher 23a–23n gesendet,
ebenso wie auch die Bildsignale, und werden als Positionsinformation über die
Probe gespeichert. Als nächstes
wird die Arbeitsweise der insoweit beschriebenen Struktur beschrieben.
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Bei
der Betrachtung eines Sekundärelektronenbildes
bedient der Bediener die manuellen Bedienmittel 22, um
die Vergrößerung auf
einen gewünschten
Wert einzustellen. Die Steuer-/Regeleinheit 15 steuert
die X-Richtungsabtastsignal-Erzeugungsschaltung 12 und
die Y-Richtungsabtastsignal-Erzeugungsschaltung 14 nach
Maßgabe
der eingestellten Vergrößerung,
um zu bewirken, dass die in Abtastschaltungen X- und Y-Abtastsignale
nach Maßgabe
der Vergrößerung erzeugen.
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Die
durch die X-Richtungsabtastsignal-Erzeugungsschaltung 12 bzw.
die Y-Richtungsabtastsignal-Erzeugungsschaltung 14 produzierten
X- und Y-Abtastsignale
werden an die Abtastdrehschaltung 13 gesendet. Nach Maßgabe der
von der Steuer-/Regeleinheit 15 gesendeten Winkelposition Θ und der zuvor
erwähnten
X- und Y-Abtastsignale erzeugt diese Abtastdrehschaltung 13 Ablenkungssignale
H (= X cos Θ +
Y sin Θ)
und V (= X cos Θ – Y sin Θ), welche den
Ablenkungsspulen 3 bzw. 4 zuzuführen sind.
Die erzeugten Signale werden den Ablenkungsspulen 3 bzw. 4 unter
Verwendung der Ansteuerungsschaltungen 10 bzw. 11 zugeführt.
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Wenn
die zuvor erwähnten
Abtastsignale den Ablenkungsspulen zugeführt werden, so tastet der Elektronenstrahl
EB in zwei Dimensionen innerhalb eines gewünschten Bereichs auf der Probe 2 ab. Das
Auftreffen des Elektronenstrahls EB auf der Probe 2 erzeugt
Sekundärelektronen,
welche durch den Sekundärelektronendetektor 5 detektiert
werden. Das Ausgangssignal von dem Detektor 5 wird durch den
A/D-Wandler 6 in ein digitales Signal umgewandelt und in
Synchronisation mit dem Abtasten des Elektronenstrahls in dem Bildspeicher 7 gespeichert. Die
in dem Bildspeicher 7 gespeicherten Signale werden ausgelesen
und über
die GUI 8 der CRT 9 zugeführt. Dementsprechend wird ein
Sekundärelektronenbild
der Probe auf der CRT 9 angezeigt.
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Wenn
die Probe 2 während
der Betrachtung des Bildes mechanisch gedreht wird, so bedient der Bediener
manuell die manuellen Bedienmittel 22, um Anweisungen bezüglich des
Betrags der Drehung usw. zu geben. In Antwort auf die Anweisungen
steuert/regelt die Steuer-/Regeleinheit 15 die Drehansteuerungsschaltung 18 über die
Tisch-Steuer-/Regeleinheit 21, um den Drehprobentisch 16 um
einen gegebenen Winkel in eine gewünschte Richtung zu drehen.
Als Ergebnis dieser Operationen ist die Probe mechanisch gedreht
und eine Betrachtung des Bildes wird ausgeführt.
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Wird
die Probe mechanisch in X- und Y-Richtung verschoben, so bedient
der Bediener manuell die manuellen Bedienmittel 22, um
Anweisungen zum Betrag der Bewegungen in X- und Y-Richtung zu geben.
In Reaktion auf diese Anweisungen, steuert/regelt die Steuer-/Regeleinheit 15 die
X-Bewegungsansteuerungsschaltung 19 und
die Y-Bewegungsansteuerungsschaltung 20 über die Tisch-Steuer-/Regeleinheit 21 und
verursacht somit eine Bewegung des X-Y-Verschiebungstischs 17 um gegebene
Distanzen und in gegebene Richtungen. Im Ergebnis dieser Operationen
wird die Probe 2 mechanisch bewegt und der Bediener führt eine
Betrachtung des Bildes aus.
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Als
nächstes
wird ein Fall beschrieben, in welchem ein Bild der Probe 2 elektrisch
gedreht und eine Betrachtung durchgeführt wird. Als erstes bedient
der Bediener manuell die manuellen Bedienmittel 22, um
Anweisungen zum elektrischen Betrag der Drehung Θ des Bildes zu geben. In Antwort
auf die Anweisungen sendet die Steuer-/Regeleinheit 15 eine
Information über
den elektrischen Betrag der Drehung Θ an die Abtastdrehschaltung 13,
welche wiederum das X-Ablenkungssignal H und das Y-Ablenkungssignal
V nach Maßgabe
des Betrags der Drehung Θ erzeugt.
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Da
dieses X-Ablenkungssignal H und dieses Y-Ablenkungssignal V über die
Ablenkungsansteuerungsschaltungen 10 bzw. 11 der
X-Ablenkungsspule 3 bzw. der Y-Ablenkungsspule 4 zugeführt werden, wird
die Richtung der zweidimensionalen Abtastung des Elektronenstrahls
EB auf der Probe 2 um Θ gedreht.
Im Ergebnis kann der Bediener auf der CRT 9 das Bild betrachten,
welches um Θ gedreht
worden ist.
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Als
nächstes
wird ein Betrieb zum Suchen nach einem gewünschten Sichtfeld beschrieben.
In dem Suchmodus des Betriebs werden zuvor Bilder mit geringer Vergrößerung von
einer Mehrzahl von Gebieten auf der Probe erhalten. Dabei wird die
Probe 2 in X- und Y-Richtung verschoben. Falls nötig, wird
die Probe 2 mechanisch gedreht oder das Probenbild wird
durch eine Abtastdrehung gedreht.
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Jedes
Mal, wenn aus den verschiedenen Gebieten Bildsignale abgeleitet
werden, werden die Signale unter Steuerung der Steuer-/Regeleinheit 15 von
dem Bildspeicher 7 an einige der Bildspeicher 23a–23n gesendet
und in diesen Speichern gespeichert. Wenn Bilder in den Bildspeichern 23a–23n gespeichert
werden, so werden die X- und Y-Koordinaten der Probe entsprechend
der geringen Vergrößerungen,
bei welchen die Bilder aufgenommen wurden, zusammen mit den Bildern
gespeichert. Werden die Bilder gedreht, so werden gleichzeitig ihre
Winkelpositionen und Richtungen gespeichert.
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Beispielsweise
sind innerhalb der in 2 gezeigten Probe 2 vier
rechteckförmige
Gebiete R1–R4,
gezeigt durch gestrichelte Linien, vorhanden. Der Elektronenstrahl
tastet über
diese vier Gebiete R1–R4.
Die resultierenden Signale werden durch den Detektor 5 detektiert.
Das Ausgangssignal vom Detektor 5 wird den Bildspeichern 23a–23d zugeführt und
darin gespeichert. Dabei werden X- und Y-Koordinaten eines jeden
Gebiets (z.B. die Koordinaten der jeweiligen Zentrumsposition C1–C4 der
Gebiete (jeweils in den Bildspeichern 23a–23d gespeichert.
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In
dem Suchmodus werden die in den Bildspeichern 23a–23d gespeicherten
Bildsignale unter Steuerung der Steuer-/Regeleinheit 15 über die
GUI 8 ausgelesen und der CRT 9 zugeführt. Die
auf den vier Bildsignalen basierenden Probenbilder werden auf separaten
Bereichen auf der CRT 9 angezeigt. 3 zeigt
ein Beispiel der Anzeige, bei welcher Probenbilder D1–D4 niedriger
Vergrößerung auf
Grundlage der vier Bildsignale um die rechte untere Ecke des Sichtschirms
der CRT 9 angezeigt werden.
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Ein
Auswahlbild-Anzeigebereich D0 ist in der Nähe der rechten oberen Ecke
des Anzeigeschirms der CRT 9 gebildet. Ein ausgewähltes Bild
niedriger Vergrößerung,
welches in diesem Auswahlbild-Anzeigebereich D0 angezeigt ist, wird
aus den vier Probenbildern D1–D4
ausgewählt.
Bei der Durchführung dieser
Auswahl bewegt der Bediener unter Verwendung einer in den manuellen
Bedienmitteln enthaltenen Maus den Cursor in ein Gebiet, in welchem
ein Bild (ein beliebiges der Probenbilder D1–D4) angezeigt wird, welches
er oder sie auswählen
möchte. Per
Drag-And-Drop bewegt der Bediener dann das ausgewählte Probenbild
in den Auswahlbild-Anzeigebereich D0, so dass das ausgewählte Bild
in dem Bereich D0 angezeigt wird. Ferner kann das ausgewählte Probenbild
in dem Auswahlbild-Anzeigebereich D0 angezeigt werden, indem der
Cursor in das Gebiet bewegt wird, in welchem sich das Probenbild, das
der Bediener auswählen
möchte,
befindet, und einen Doppelklick an der Maus ausführt.
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Im
Ergebnis der oben beschriebenen Vorgänge wird das ausgewählte Probenbild
in dem Auswahlbild-Anzeigebereich D0 angezeigt. Zur selben Zeit
liest die Steuer-/Regeleinheit 15 eine das ausgewählte Probenbild
betreffende Positionsinformation aus dem Bildspeicher (irgendeinem
der 23a–23n),
in welchem das ausgewählte
Bild gespeichert ist. wenn beispielsweise das ausgewählte Probenbild
D2 ist, so werden aus dem Bildspeicher 23b die Koordinaten der
Zentrumsposition C2 des Probengebiets R2 gelesen.
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Die
Steuer-/Regeleinheit 15 steuert die Tisch-Steuer-/Regeleinheit 21 nach
Maßgabe
der gelesenen Koordinaten und betreibt den X-Y-Verschiebungstisch 17 mittels
der X-Bewegungsansteuerungsschaltung 19 und der Y-Bewegungsansteuerungsschaltung 20.
Der Tisch wird auf eine solche Weise bewegt, dass die Position C2
der Probe 2 auf der optischen Achse des Elektronenstrahls
angeordnet wird.
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Werden
die vier Probenbilder D1–D4
durch den Drehprobentisch 16 gedreht oder werden die vier Probenbilder
durch die Abtastdrehschaltung 13 gedreht, wenn die Probe
in X- und Y-Richtung verschoben wird, so werden Winkelpositionen
in den Bildspeichern 23a–23h als Positionsinformation über die Probe
zusammen mit der X- und Y-Koordinate der Probe gespeichert. Wird
ein Probenbild ausgewählt, so
wird eine Information über
die Drehung zusammen mit den X- und Y-Koordinaten ausgelesen. Nach Maßgabe der
Information über
die Drehung betreibt die Drehansteuerungsschaltung 18 den
Drehprobentisch 16 derart, dass die Probe 2 auf
das selbe Sichtfeld (d.h. den selben Betrachtungszustand) eingestellt
wird wie bei der Aufnahme eines Bildsignals des ausgewählten Probenbildes.
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Nachdem
ein Gebiet, welches der Bediener als ein vergrößertes Bild anzeigen möchte, in
dem Auswahlbild-Anzeigebereich D0 angezeigt ist, wird auf Grundlage
des in dem Bereich D0 angezeigten Bildes eine Betrachtungsposition
auf dem vergrößerten Bild
gewählt.
Die Auswahl dieses vergrößerten Bildes
wird beispielsweise dadurch getroffen, dass der Cursor zu einer
gewünschten
Position innerhalb des in dem Gebiet D0 angezeigten Bildes bewegt wird
und an dieser Stelle ein Klick an der Maus ausgeführt wird.
Als Ergebnis dieser Vorgänge
steuert die Steuer-/Regeleinheit 15 die Tisch-Steuer-/Regeleinheit 21 derart,
dass die ausgewählte
Position auf der Probe in die optische Achse des Elektronenstrahls
gebracht wird.
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Gleichzeitig
mit der Steuerung der Probenposition steuert die Steuer-/Regeleinheit 15 die X-Richtungsabtastungssignal-Erzeugungsschaltung 12 und die
Y-Richtungsabtastungssignal-Erzeugungsschaltung 14 nach
Maßgabe
der Vergrößerung des
vergrößerten Bildes,
welches durch die Bedienung der manuellen Bedienmittel 22 eingestellt
ist. Im Ergebnis wird das vergrößerte Bild
des ausgewählten
Probenabschnitts im Hauptbereich des Sichtschirms der CRT 9 angezeigt.
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4 zeigt
ein Beispiel der Anzeige des vergrößerten Bildes. Der Auswahlbild-Anzeigebereich D0
ist nahe der rechten oberen Ecke des Sichtschirms der CRT 9 angezeigt.
Wenn der Bediener einen beliebigen Punkt innerhalb des in diesem
Bereich D0 angezeigten Probenbilds festlegt, so wird auf dem Sichtschirm
der CRT 9 um den festgelegten Punkt herum ein vergrößertes Bild
bei der festgelegten Vergrößerung angezeigt.
Innerhalb des Bildes geringer Vergrößerung in dem Bereich D0 wird gleichzeitig
ein Rahmen 30 in einem dem vergrößerten Bild entsprechenden
Bereich angezeigt. Dies ermöglicht
es dem Bediener, die Position der momentan betrachteten vergrößerten Ansicht
zu erkennen. Die Vergrößerung des
vergrößerten Bildes
wird um die linke untere Ecke des Anzeigeschirms auf der CRT angezeigt.
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Wenngleich
eine bevorzugte Ausführungsform
der vorliegenden Erfindung im Detail beschrieben worden ist, ist
die Erfindung nicht auf diese beschränkt. Wenn in der oben beschriebenen
Ausführungsform
beispielsweise der Bediener einen beliebigen Punkt innerhalb des
in dem Bereich D0 angezeigten Probenbildes angibt, so wird der Probentisch in
einer solchen Weise bewegt, dass die angegebene Position auf der
Probe auf die optische Achse des Elektronenstrahls gebracht wird.
Alternativ kann ein vergrößertes Bild
bei der angegebenen Vergrößerung auf
dem Sichtschirm der CRT 9 angezeigt werden, indem der Elektronenstrahl
lediglich abgelenkt wird und der Elektronenstrahl über die
angegebene Probenposition nach Maßgabe der angegebenen Vergrößerung abtasten
gelassen wird, ohne den Probentisch zu bewegen.
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In
der oben beschriebenen Ausführungsform wurde
ein Abtastelektronenmikroskop als Beispiel herangezogen. Die Erfindung
ist auch auf ein Instrument anwendbar, in welchem ein Ionenstrahl
abtastet, um ein abgetastetes Bild einer Probe zu erhalten. Anders
als bei der oben beschriebenen Ausführungsform, in welcher Sekundärelektronen
detektiert werden, können
ferner auch reflektierte Elektronen detektiert werden.
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Wie
insoweit beschrieben wurde, werden in Ausführungsformen der Erfindung
Bildsignale unterschiedlicher Sichtfelder einer Probe in einem Speicher
zusammen mit einer Information über
deren Positionen auf der Probe gespeichert. Eine Mehrzahl von Probenbildern
werden gleichzeitig nach Maßgabe
gespeicherter Bildsignale der Mehrzahl von Sichtfeldern angezeigt.
Der Bediener wählt
ein gewünschtes
Bild aus den angezeigten Probenbildern aus. Die Probe wird automatisch
in die dem ausgewählten Probenbild
entsprechende Probenposition bewegt. Der Bediener kann somit auf
einfache Weise die Suche nach Sichtfeldern ausführen.