DE112013001112B4 - Ladungsteilchenstrahlgerät und Probenobservationssystem - Google Patents

Abstract

Ladungsteilchenstrahlgerät (101), umfassend:eine Verarbeitungseinheit, die dazu eingerichtet ist, eine Bildanzeigeeinheit in einer Bildanzeigevorrichtung Beobachtungsziel-Einstellschaltflächen (E141) zum Ändern einer Beobachtungsbedingung für eine Probe (9) anzeigen zu lassen, wobei die Beobachtungsbedingung eine Kombination von Parametereinstellwerten des Ladungsteilchenstrahlgeräts (101) umfasst,wobei die Verarbeitungseinheit die Bildanzeigeeinheit einen Charakteristikenindikator (E144) für die Beobachtungsbedingungen anzeigen lässt, der eine Charakteristik, angezeigt durch drei oder mehr inkompatible Elemente, einer Beobachtungsbedingung für jede der Beobachtungsziel-Einstellschaltflächen (E141), enthält,dadurch gekennzeichnet, dassdie Verarbeitungseinheit während einer Standby-Zeit der Verarbeitung einen Lernbildschirm anzeigen lässt, wobei der Lernbildschirm eine Struktur eines Elektronenmikroskops, einen Betriebsvorgang des Elektronenmikroskops und/oder eine Erklärung eines Betriebselements auf einem Betriebsbildschirm (200) darstellt, unddie Verarbeitungseinheit die Bildanzeigeeinheit einen Betriebsbildschirm (200) anzeigen lässt, der Betriebselemente des Ladungsteilchenstrahlgeräts (101) anzeigt, und die Verarbeitungseinheit ein auf dem Betriebsbildschirm (200) angezeigtes vorgegebenes Betriebselement verstecken oder deaktivieren lässt, wobei das vorgegebene Betriebselement Fokusanpassung, X-Fokusanpassung und/oder Y-Fokusanpassung umfasst.

Description

• TECHNISCHES GEBIET
• Die vorliegende Erfindung betrifft Technologien eines Ladungsteilchenstrahlgeräts, eines Probenbeobachtungssystems (Probenobservationssystems) und eines Betriebsprogramms.
• HINTERGRUNDBILDENDE TECHNIK
• Das Einstellen einer Kombination von Parametereinstellwerten (im Folgenden als eine Beobachtungsbedingung bezeichnet), die Einstellwerte von Parametern im Betrieb eines Rasterelektronenmikroskops (im Folgenden als Elektronenmikroskop bezeichnet) sind, basiert weitgehend auf Erfahrung. Aus diesem Grund hat, wenn ein unerfahrener Benutzer das Elektronenmikroskop betreibt, der Benutzer Schwierigkeiten zu wissen, welchen Einfluss die Elektronenmikroskop-Beobachtungsbedingung auf ein erfasstes Bild hat. Im Ergebnis besteht das Problem, dass ein unerfahrener Benutzer nur mit Schwierigkeiten sein/ihr Können verbessern kann.
• Um diesem Problem entgegenzuwirken, werden, in den Technologien der Patentdokumente 1 und 2, die Erfassungen unter zwei oder mehr Kombinationen einfacher Beobachtungsbedingungen vor der Haupterfassung durchgeführt. Anschließend werden die so erhaltenen Beobachtungsbilder in Listenform auf einer Anzeigeeinheit angezeigt (e-preview). Danach wählt ein Benutzer ein gewünschtes einfaches Beobachtungsbild aus den angezeigten einfachen Beobachtungsbildern aus. Anschließend stellt ein Computer die Beobachtungsbedingung für das ausgewählte einfache Beobachtungsbild ein. Daraufhin nimmt der Benutzer die notwendige manuelle Anpassung des ausgewählten einfachen Beobachtungsbilds vor und anschließend wird die Bilderfassung durchgeführt. Ein als Ergebnis der Erfassung erhaltenes Bild wird auf der Anzeigeeinheit angezeigt.
• STAND DER TECHNIK
• PATENTDOKUMENT
• Patentdokument 1: Japanisches Patent JP 40 14916 B2
• Patentdokument 2: Japanisches Patent JP 40 14917 B2
• ZUSAMMENFASSUNG DER ERFINDUNG DURCH DIE ERFINDUNG ZU LÖSENDES PROBLEM
• Die in den Patentdokumenten 1 und 2 beschriebenen Technologien weisen jedoch die folgenden Probleme auf.
1. (1) Der unerfahrene Benutzer kann nicht erkennen, welches Bild aus den zwei oder mehreren einfachen Beobachtungsbildern gut ist.
2. (2) Nachdem die einfachen Beobachtungsbilder Roherfassungsbilder sind, ist es für den unerfahrenen Benutzer schwierig zu sehen, wie sich die zwei oder mehreren einfachen Beobachtungsbilder voneinander unterscheiden.
3. (3) Es kostet Zeit, die zwei oder mehreren einfachen Beobachtungsbilder zu erhalten. Mit anderen Worten, die Effizienz zum Erhalten eines Zielbildes ist gering.
• Die vorliegende Erfindung wurde in Anbetracht des oben beschriebenen Hintergrunds gemacht. Es ist eine Aufgabe der vorliegenden Erfindung, es selbst einem unerfahrenen Benutzer zu ermöglichen, einen Unterschied zwischen Bildgebungsergebnissen, die auf einen Unterschied zwischen Beobachtungsbedingungen zurückgehen, leicht zu erkennen.
• DE 11 2010 000 687 T5 offenbart ein Ladungsteilchenstrahlgerät gemäß dem Oberbegriff des vorliegenden Anspruchs 1. Ein weiteres herkömmliches Ladungsteilchenstrahlgerät ist in US 2012/0287257 A1 beschrieben.
• MITTEL ZUR LÖSUNG DES PROBLEMS
• Um die oben erwähnten Probleme zu lösen, enthält das Ladungsteilchenstrahlgerät der vorliegenden Erfindung die im Anspruch 1 angegebenen Merkmale. Die Unteransprüche betreffen bevorzugte Ausführungsbeispiele.
• Mittel zum Lösen der Probleme werden im Detail weiter unten beschrieben.
• WIRKUNGEN DER ERFINDUNG
• Die vorliegende Erfindung ermöglicht es, einen Unterschied zwischen Bildgebungsergebnissen, die auf einen Unterschied zwischen Beobachtungsbedingungen zurückgehen, leicht zu erkennen.
• Figurenliste
• 1 ist ein schematisches Konfigurationsdiagramm, das ein Beispiel eines Elektronenmikroskops gemäß der vorliegenden Erfindung zeigt.
• 2 ist ein Ablaufdiagramm, das Betriebsvorgänge des Elektronenmikroskops gemäß einem Ausführungsbeispiel der vorliegenden Erfindung zeigt.
• 3 ist ein Diagramm, das ein Bildschirmbeispiel eines Betriebsbildschirms gemäß dem Ausführungsbeispiel zeigt.
• 4 ist ein Diagramm (Teil 1), das ein Beispiel des Betriebsbildschirms während des Startens zeigt.
• 5 ist ein Diagramm (Teil 2), das ein Beispiel des Betriebsbildschirms während des Startens zeigt.
• 6 ist ein Diagramm, das ein Beispiel des Betriebsbildschirms zeigt, wenn die Bestrahlung eines Primärelektronenstrahls auf eine Probe gestartet wird.
• 7 ist ein Diagramm (Teil 1), das ein Beispiel des Betriebsbildschirms während der Sichtfeldsuche und Vergrößerungsanpassung durch einen Benutzer zeigt.
• 8 ist ein Diagramm (Teil 2), das ein Beispiel des Betriebsbildschirms während der Sichtfeldsuche und der Vergrößerungsanpassung durch den Benutzer zeigt.
• 9 ist ein Diagramm (Teil 1), das ein Beispiel des Betriebsbildschirms während des Bildspeicherns (Erfassens) zeigt.
• 10 ist ein Diagramm (Teil 2), das ein Beispiel des Betriebsbildschirms während des Bildspeicherns (Erfassens) zeigt.
• 11 ist ein Diagramm (Teil 3), das ein Beispiel des Betriebsbildschirms während des Bildspeicherns (Erfassens) zeigt.
• 12 ist ein Diagramm (Teil 4), das ein Beispiel des Betriebsbildschirms während des Bildspeicherns (Erfassens) zeigt.
• 13 ist ein Diagramm (Teil 5), das ein Beispiel des Betriebsbildschirms während des Bildspeicherns (Erfassens) zeigt.
• 14 ist ein Diagramm (Teil 6), das ein Beispiel des Betriebsbildschirms während des Bildspeicherns (Erfassens) zeigt.
• 15 ist ein Diagramm (Teil 1), das ein Beispiel des Betriebsbildschirms während der Bildbestätigung und Anpassung sowie Änderung der Beobachtungsbedingungen durch den Benutzer zeigt.
• 16 ist ein Diagramm (Teil 2), das ein Beispiel des Betriebsbildschirms während der Bildbestätigung und Anpassung sowie Änderung der Beobachtungsbedingungen durch den Benutzer zeigt.
• 17 ist ein Diagramm (Teil 3), das ein Beispiel des Betriebsbildschirms während der Bildbestätigung und Anpassung sowie Änderung der Beobachtungsbedingungen durch den Benutzer zeigt.
• 18 ist ein Diagramm, das eine Beobachtungsbedingungs-einstelltabelle gemäß dem Ausführungsbeispiel zeigt.
• 19 ist ein Diagramm (Teil 4), das ein Beispiel des Betriebsbildschirms während der Bildbestätigung und Anpassung sowie Änderung der Beobachtungsbedingungen durch den Benutzer zeigt.
• 20 ist ein Diagramm (Teil 5), das ein Beispiel des Betriebsbildschirms während der Bildbestätigung und Anpassung sowie Änderung der Beobachtungsbedingungen durch den Benutzer zeigt.
• 21 ist ein Diagramm (Teil 6), das ein Beispiel des Betriebsbildschirms während der Bildbestätigung und Anpassung sowie Änderung der Beobachtungsbedingungen durch den Benutzer zeigt.
• 22 ist ein Diagramm (Teil 7), das ein Beispiel des Betriebsbildschirms während der Bildbestätigung und Anpassung sowie Änderung der Beobachtungsbedingungen durch den Benutzer zeigt.
• 23 ist ein Diagramm, das einen Betriebsbildschirm während der Bildneuspeicherung (Erfassung) durch den Benutzer zeigt.
• 24 ist ein Diagramm (Teil 1), das ein Beispiel des Betriebsbildschirms während einer Bildneubestätigung und Neuanpassung sowie Neuänderung der Beobachtungsbedingungen durch den Benutzer zeigt.
• 25 ist ein Diagramm (Teil 2), das ein Beispiel des Betriebsbildschirms während einer Bildneubestätigung und Neuanpassung sowie Neuänderung der Beobachtungsbedingungen durch den Benutzer zeigt.
• 26 ist ein Diagramm (Teil 3), das ein Beispiel des Betriebsbildschirms während einer Bildneubestätigung und Neuanpassung sowie Neuänderung der Beobachtungsbedingungen durch den Benutzer zeigt.
• 27 ist ein Diagramm (Teil 4), das ein Beispiel des Betriebsbildschirms während einer Bildneubestätigung und Neuanpassung sowie Neuänderung der Beobachtungsbedingungen durch den Benutzer zeigt.
• 28 ist ein Diagramm (Teil 5), das ein Beispiel des Betriebsbildschirms während einer Bildneubestätigung und Neuanpassung sowie Neuänderung der Beobachtungsbedingungen durch den Benutzer zeigt.
• 29 ist ein Diagramm (Teil 6), das ein Beispiel des Betriebsbildschirms während einer Bildneubestätigung und Neuanpassung sowie Neuänderung der Beobachtungsbedingungen durch den Benutzer zeigt.
• 30 ist ein Diagramm (Teil 7), das ein Beispiel des Betriebsbildschirms während einer Bildneubestätigung und Neuanpassung sowie Neuänderung der Beobachtungsbedingungen durch den Benutzer zeigt.
• 31 ist ein Diagramm (Teil 8), das ein Beispiel des Betriebsbildschirms während einer Bildneubestätigung und Neuanpassung sowie Neuänderung der Beobachtungsbedingungen durch den Benutzer zeigt.
• 32 ist ein Diagramm (Teil 9), das ein Beispiel des Betriebsbildschirms während einer Bildneubestätigung und Neuanpassung sowie Neuänderung der Beobachtungsbedingungen durch den Benutzer zeigt.
• 33 ist ein Diagramm (Teil 10), das ein Beispiel des Betriebsbildschirms während einer Bildneubestätigung und Neuanpassung sowie Neuänderung der Beobachtungsbedingungen durch den Benutzer zeigt.
• 34 ist ein Diagramm (Teil 11), das ein Beispiel des Betriebsbildschirms während einer Bildneubestätigung und Neuanpassung sowie Neuänderung der Beobachtungsbedingungen durch den Benutzer zeigt.
• 35 ist ein Diagramm, das einen Betriebsbildschirm während des Bildneuspeicherns (Erfassens) durch den Benutzer zeigt.
• 36 ist ein Diagramm (Teil 12), das ein Beispiel des Betriebsbildschirms während einer Bildneubestätigung und Neuanpassung sowie Neuänderung der Beobachtungsbedingungen durch den Benutzer zeigt.
• 37 zeigt ein modifiziertes Beispiel eines Anwendungshilfsbildschirms gemäß dem Ausführungsbeispiel
• MODI ZUM AUSFÜHREN DER ERFINDUNG
• Als nächstes wird ein Modus zum Ausführen der vorliegenden Erfindung (im Folgenden als „Ausführungsbeispiel“ bezeichnet) im Detail unter Bezugnahme auf die entsprechenden Zeichnungen beschrieben. Es sei bemerkt, dass in den Zeichnungen die gleichen Bestandteilskomponenten durch die gleichen Bezugszeichennummern angegeben wurden und deren Beschreibung weggelassen wurde.
• Es sei bemerkt, dass das Ausführungsbeispiel ein Ladungsteilchenstrahlgerät offenbart, das eine Verarbeitungseinheit enthält, die dazu eingerichtet ist, auf einer Bildanzeigeeinheit in einer Bildanzeigevorrichtung Beobachtungsziel-Einstellschaltflächen zum Ändern einer Beobachtungsbedingung für eine Probe, die eine Kombination von Parametereinstellwerten des Ladungsteilchenstrahlgeräts enthält, anzuzeigen. Die Verarbeitungseinheit ist dazu eingerichtet, ein hervorgehobenes Bild, in dem eine Bildänderung aufgrund einer Änderung der Beobachtungsbedingung hervorgehoben ist, auf oder nahe jeder der Beobachtungsziel-Einstellschaltflächen anzuzeigen.
• Das Ausführungsbeispiel offenbart ebenfalls, dass jeweils eine der Beobachtungsziel-Einstellschaltflächen und eine entsprechende der Beobachtungsbedingungen zueinander gehören und in einer Speichereinheit gespeichert sind und dass die Verarbeitungseinheit, wenn eine der Beobachtungsziel-Einstellschaltflächen mit einer Eingabeeinheit ausgewählt wird, Parametereinstellwerte des Ladungsteilchenstrahlgeräts unter einer Beobachtungsbedingung für die ausgewählte der Beobachtungsziel-Einstellschaltflächen einstellt.
• Außerdem offenbart das Ausführungsbeispiel Folgendes. Insbesondere erhält die Verarbeitungseinheit ein Bild einer Probe unter einer voreingestellten Beobachtungsbedingung und lässt die Beobachtungsziel-Einstellschaltflächen auf der Bildanzeigeeinheit auf der Grundlage der Bildqualität des erhaltenen Bildes und einer gegenwärtigen Beobachtungsbedingung anzeigen. Wenn dann die Beobachtungsbedingung mit der Eingabeeinheit geändert wird, wiederholt die Verarbeitungseinheit die Verarbeitung des Neuerhaltens eines Bildes unter einer geänderten Beobachtungsbedingung und die Anzeige der Beobachtungsziel-Einstellschaltflächen auf der Bildanzeigeeinheit auf der Grundlage der Bildqualität des neu erhaltenen Bildes und der gegenwärtigen Beobachtungsbedingung, bis eine Anweisung zum Beenden der Verarbeitung mit der Eingabeeinheit eingegeben wird.
• Außerdem offenbart das Ausführungsbeispiel, dass die Verarbeitungseinheit dazu eingerichtet ist, Information über Bestätigung von Vorhandensein oder Nichtvorhandensein von Beschichtung auf der Probe oder über Vorbehandlung der Probe vor dem Erhalten eines ersten Bildes der Probe anzuzeigen.
• Ferner offenbart das Ausführungsbeispiel, dass die Verarbeitungseinheit während Standbyzeit der Verarbeitung dazu eingerichtet ist, einen Lernbildschirm anzuzeigen, der mindestens eines einer Struktur einer Elektronenmikroskopstruktur, einer Betriebsprozedur des Elektronenmikroskops und einer Erklärung eines Betriebselements auf dem Betriebsbildschirm darstellt.
• Das Ausführungsbeispiel offenbart, dass die Verarbeitungseinheit dazu eingerichtet ist, auf der Bildanzeigeeinheit einen Betriebsbildschirm anzuzeigen, der Betriebselemente des Ladungsteilchenstrahlgeräts anzeigt, und ein auf dem Betriebsbildschirm angezeigtes vorgegebenes Betriebselement zu verstecken oder zu deaktivieren. Das Ausführungsbeispiel offenbart auch, dass das vorgegebene Betriebselement mindestens eines einer Fokusanpassung, einer X-Fokus-Anpassung und einer Y-Fokus-Anpassung enthält.
• Außerdem offenbart das Ausführungsbeispiel, dass die Verarbeitungseinheit Funktionen des Ladungsteilchenstrahlgeräts gemäß der Beobachtungsbedingung einschränkt. Ferner offenbart das Ausführungsbeispiel, dass die Verarbeitungseinheit die Funktionen des Ladungsteilchenstrahlgeräts gemäß der Beobachtungsbedingung einschränkt, indem Bildverschiebung bedienbar und Tischbewegung nicht-bedienbar gelassen werden, wenn eine Vergrößerung nicht geringer als ein vorgegebener Wert ist, und indem die Tischbewegung bedienbar und die Bildverschiebung nicht-bedienbar gelassen werden, wenn die Vergrößerung geringer als der vorgegebene Wert ist.
• Das Ausführungsbeispiel offenbart ebenfalls, dass die Verarbeitungseinheit dazu eingerichtet ist, eine vorgegebene Beobachtungsziel-Einstellschaltfläche auf der Grundlage eines Betriebsverlaufs zu verstecken.
• Darüber hinaus offenbart das Ausführungsbeispiel, dass die Verarbeitungseinheit dazu eingerichtet ist, auf der Bildanzeigeeinheit einen ein Betriebselement des Ladungsteilchenstrahlgeräts darstellenden Betriebsbildschirm sowie einen gegenwärtigen Betriebsschritt angebende Anzeigeinformation auf dem Betriebsbildschirm anzuzeigen, und dass die den gegenwärtigen Betriebsschritt angebende Information ein Hauptelement, das einen Hauptbetriebsschritt angibt, und ein Unterelement, das einen Unterbetriebsschritt angibt, enthält.
• Ferner offenbart das Ausführungsbeispiel, dass die Verarbeitungseinheit dazu eingerichtet ist, auf der Bildanzeigeeinheit einen ein Betriebselement des Ladungsteilchenstrahlgeräts darstellenden Betriebsbildschirm anzuzeigen, das erhaltene Bild auf dem Betriebsbildschirm anzuzeigen und nahe dem auf der Bildanzeigeeinheit angezeigten Bild mindestens einen Vergrößerungsanpassungsschieber, einen Fokusanpassungsschieber, einen Fokus-X-Anpassungsschieber und/oder einen Fokus-Y-Anpassungsschieber anzuzeigen.
• Das Ausführungsbeispiel offenbart ein Ladungsteilchenstrahlgerät, das eine Verarbeitungseinheit enthält, die dazu eingerichtet ist, auf einer Bildanzeigeeinheit in einer Bildanzeigevorrichtung Beobachtungsziel-Einstellschaltflächen zum Ändern einer Beobachtungsbedingung für eine Probe, die eine Kombination von Parametereinstellwerten des Ladungsteilchenstrahlgeräts enthält, anzuzeigen. Die Verarbeitungseinheit ist dazu eingerichtet, auf der Bildanzeigeeinheit einen Charakteristikenindikator für Beobachtungsbedingungen anzuzeigen, in dem eine Charakteristik einer Beobachtungsbedingung für jede der Beobachtungsziel-Einstellschaltflächen durch drei oder mehr inkompatible Elemente angegeben wird.
• Das Ausführungsbeispiel offenbart auch, dass Elemente im Charakteristikenindikator für Beobachtungsbedingungen hohe Auflösung, Betonung auf Oberflächenstruktur und Betonung auf Materialunterschied beinhalten.
• Das Ausführungsbeispiel offenbart ein Ladungsteilchenstrahlgerät, das eine Verarbeitungseinheit enthält, die dazu ausgerichtet ist, auf einer Bildanzeigeeinheit in einer Bildanzeigevorrichtung Beobachtungsziel-Einstellschaltflächen zum Ändern einer Beobachtungsbedingung für eine Probe, die eine Kombination von Parametereinstellwerten des Ladungsteilchenstrahlgeräts enthält, anzuzeigen. Die Verarbeitungseinheit ist dazu eingerichtet, auf der Bildanzeigeeinheit einen Charakteristikenindikator für Beobachtungsbedingungen, in dem zumindest Größen von hoher Auflösung, Betonung auf Oberflächenstruktur und Betonung auf Materialunterschied als eine Charakteristik von Beobachtungsbedingungen für jede der Beobachtungsziel-Einstellschaltflächen angegeben werden, anzuzeigen.
• Das Ausführungsbeispiel offenbart auch, dass die Elemente im Charakteristikenindikator für Beobachtungsbedingungen Elemente von Aufladungsunterdrückung und/oder Strahlschädenunterdrückung enthalten.
• Das Ausführungsbeispiel offenbart, dass das Gerät als die mehreren Beobachtungsziel-Einstellschaltflächen eine erste Schaltfläche, die zum Ändern einer Beobachtungsbedingung auf eine Beobachtungsbedingung zum Beobachten mit der höchsten Auflösung eingerichtet ist, eine zweite Schaltfläche, die zum Ändern einer Beobachtungsbedingung auf eine Beobachtungsbedingung mit der größten auf eine Oberflächenstruktur gelegten Betonung eingerichtet ist, und eine dritte Schaltfläche, die zum Ändern einer Beobachtungsbedingung auf eine Beobachtungsbedingung mit der höchsten auf den Materialunterschied gelegten Betonung eingerichtet ist, enthält. Das Ausführungsbeispiel offenbart ebenfalls, dass das Gerät ferner als die Beobachtungsziel-Einstellschaltflächen eine vierte Schaltfläche, die zum Ändern einer Beobachtungsbedingung auf eine Beobachtungsbedingung mit einer auf die Oberflächenstruktur und einen Materialunterschied gelegten Betonung eingerichtet ist, und eine fünfte Schaltfläche, die zum Ändern einer Beobachtungsbedingung auf eine Beobachtungsbedingung, die am geeignetsten zur Elementenanalyse ist, enthält.
• Ferner offenbart das Ausführungsbeispiel, dass der Charakteristikenindikator für Beobachtungsbedingungen eine Radarkarte enthält.
• Ferner offenbart das Ausführungsbeispiel, dass die Verarbeitungseinheit dazu eingerichtet ist, auf der Bildanzeigeeinheit ein hervorgehobenes Bild, das bezüglich einer Charakteristik eines unter einer Beobachtungsbedingung erhaltenen Bildes hervorgehoben ist, für jede der Beobachtungsziel-Einstellschaltflächen anzuzeigen. Das Ausführungsbeispiel offenbart ebenfalls, dass das hervorgehobene Bild als ein Bild dient, das drei oder mehr bezüglich Form und/oder Materialqualität unterschiedliche Materialien schematisch darstellt.
• Das Ausführungsbeispiel offenbart, dass die Verarbeitungseinheit nach dem Erhalten eines Bildes einer neuen Probe unter einer Standardbeobachtungsbedingung die Beobachtungsbedingung gemäß jeder der Beobachtungsziel-Einstellschaltflächen ändert. Das Ausführungsbeispiel offenbart auch, dass die Standardbeobachtungsbedingung als eine Beobachtungsbedingung zum Beobachten mit der höchsten Auflösung dient.
• Das Ausführungsbeispiel offenbart ein Probenbeobachtungssystem, das ein Ladungsteilchenstrahlgerät und einen zum Steuern des Ladungsteilchenstrahlgeräts eingerichteten Computer enthält, wobei der Computer eine Verarbeitungseinheit enthält, die dazu eingerichtet ist, auf einer Bildanzeigeeinheit in einer Bildanzeigevorrichtung Beobachtungsziel-Einstellschaltflächen zum Ändern einer Beobachtungsbedingung für eine Probe, die eine Kombination von Parametereinstellwerten des Ladungsteilchenstrahlgeräts enthält, anzuzeigen. Die Verarbeitungseinheit ist dazu eingerichtet, ein hervorgehobenes Bild, auf dem eine Bildänderung aufgrund einer Änderung der Beobachtungsbedingung markiert ist, auf oder nahe jeder der Beobachtungsziel-Einstellschaltflächen anzuzeigen.
• Ferner offenbart das Ausführungsbeispiel ein Betriebsprogramm zum Betreiben eines Ladungsteilchenstrahlgeräts, wobei, wenn das Betriebsprogramm von einem Computer zum Anzeigen, auf einer Bildanzeigeeinheit in einer Bildanzeigevorrichtung, von Beobachtungsziel-Einstellschaltflächen zum Ändern einer Beobachtungsbedingung, die eine Kombination von Parametereinstellwerten des Ladungsteilchenstrahlgeräts enthält, ausgeführt wird, das Betriebsprogramm von einem Computer zum Anzeigen eines hervorgehobenen Bildes, auf dem eine Bildänderung aufgrund einer Änderung der Beobachtungsbedingung hervorgehoben ist, auf oder nahe einer Beobachtungsziel-Einstellschaltfläche ausgeführt wird.
• <Konfiguration des Elektonenmikroskops>
• 1 ist ein schematisches Konfigurationsdiagramm, das ein Beispiel eines Elektronenmikroskops gemäß der vorliegenden Erfindung zeigt.
• In einem Elektronenmikroskop (Ladungsteilchenstrahlgerät und Probenbeobachtungssystem). 101, wird ein Primärelektronenstrahl 2, der aus einer Elektronenkanone 1 emittiert wurde, durch eine Kondensorlinse 3 und eine Objektivlinse 8 konvergiert und dann durch eine obere Ablenkeinheit 6 und eine untere Ablenkeinheit 7 auf eine Probe 9 ausgestrahlt. Von der Probe 9 erzeugte Signalelektronen werden durch einen Detektor 10 erfasst und von einem Computer (Verarbeitungseinheit) 19 durch spätere zu beschreibende Schaltungen 11 bis 17 verarbeitet. Ein so aufgenommenes Signal, dass es einer Abtastposition entspricht, wird auf einer Bildanzeigevorrichtung 18 angezeigt. Um den Primärelektronenstrahl 2 als Punkte auf der Probe 9 zu fokussieren, wird ein X-Richtungs-Stigmator 4 zur Fokus-X-Anpassung und ein Y-Richtungs-Stigmator 5 zur Fokus-Y-Anpassung vorgesehen. Durch Anpassung von deren Steuerbedingungen kann die Fokus-X-Anpassung und die Fokus-Y-Anpassung (Astigmatismuskorrektur) durchgeführt werden. Ferner kann durch Anpassung der Anregungsintensität der Kondensorlinse 3 oder der Objektivlinse 8 eine Fokusanpassung an der Probe 9 durchgeführt werden. Das oben beschriebene elektronenoptische System ist in einer Elektronenmikroskopsäule (Ladungsteilchenstrahlgerät) 100 untergebracht.
• Ferner werden eine Hochspannungssteuerschaltung 11, eine Kondensorlinsensteuerschaltung 12, eine X-Stigmator-Steuerschaltung 12, eine Y-Stigmator-Steuerschaltung 14, eine AblenkungsSteuerschaltung 15, eine Objektivlinsensteuerschaltung 16 und eine Erfassungssignal-Steuerschaltung 17 durch den Computer 19 wie beispielsweise eine CPU (Central Processing Unit) gesteuert. Die jeweiligen Steuerschaltungen 11 bis 17 können getrennt voneinander oder auf einem einzigen Substrat vorgesehen werden, oder können in dem Computer 19 enthalten sein. Die Bildanzeigevorrichtung 18, eine Speichervorrichtung (Speichereinheit) 21 und ein Speicher 22 sind an den Computer 19 angeschlossen. Wie später beschrieben wird, passt ein Benutzer Fokusbedingungen der Objektivlinse 8 und Astigmatismuskorrekturbedingungen des X-Stigmators 4 und des Y-Stigmators 5 durch einen Betriebsbildschirm 200 (3 bis 37) an, der auf der Bildanzeigevorrichtung 18 angezeigt wird. Der Betriebsbildschirm 200 in diesem Ausführungsbeispiel wird zuvor in der Speichervorrichtung 21 so gespeichert, dass er den Betriebsschritten und dergleichen, wie später beschrieben, entspricht. Alternativ kann, falls der Computer 19 an ein nicht dargestelltes Netz angeschlossen ist, der Betriebsbildschirm 200 in einer anderen Speichervorrichtung gespeichert sein, die an das Netz angeschlossen ist.
• Ein Betriebsprogramm 31 ist in dem Speicher 22 angelegt, und das Betriebsprogramm 31 wird durch den Computer 19 ausgeführt. Das Betriebsprogramm 31 ist dazu eingerichtet, den Betriebsbildschirm 200 auf der Bildanzeigevorrichtung 18 anzuzeigen und jede der Komponenten 1 bis 17 basierend auf durch eine Eingabevorrichtung 23 eingegebener Information zu steuern.
• Es sei bemerkt, dass, wie im Detail später beschrieben, der Betriebsbildschirm 200 jeder der Bildschirme ist, die entsprechend Benutzerbetriebsschritten anzuzeigen sind.
• <Betriebsprozeduren>
• 2 ist ein Ablaufdiagramm, das Betriebsprozeduren des Elektronenmikroskops gemäß diesem Ausführungsbeispiel zeigt. Unter geeigneter Bezugnahme auf 1 wird die Beschreibung der Betriebsprozeduren gemäß diesem Ausführungsbeispiel anhand 2 erfolgen.
• Zunächst aktiviert der Benutzer den Betriebsbildschirm 200 (3 bis 37), indem ein nicht dargestelltes Betriebsprogramm abläuft (S101). Es sei bemerkt, dass die Probe 9 vor oder nach der Aktivierung des Betriebsbildschirms 200 eingelegt werden kann.
• Anschließend wird der Computer 19 dazu angeleitet, die Probe 9 unter Standardbeobachtungsbedingungen abzutasten, um ein Abtastbild (im Folgenden als das Bild bezeichnet) zu erhalten (S102). Das Betriebsprogramm 31 wird dazu ausgeführt, das erhaltene Bild auf der Bildanzeigevorrichtung 18 anzuzeigen. Hier ist die Beobachtungsbedingung eine Kombination von Parametereinstellwerten eines Elektronenmikroskops 101.
• Anschließend führt der Benutzer eine visuelle Feldsuche, eine Vergrößerungsanpassung und dergleichen auf dem erhaltenen Bild durch (S103). Es sei bemerkt, dass, wenn das visuelle Feld und die Vergrößerung automatisch eingestellt werden, die Verarbeitung des Schritts S103 auch entfallen kann.
• Der Computer 19 wird dazu angeleitet, die Probe 9 wie erforderlich mit dem visuellen Feld und der Vergrößerung, die in Schritt S103 eingestellt wurden, abzutasten, um ein Bild zu erhalten, und das Bild auf der Bildanzeigevorrichtung 18 anzuzeigen.
• Anschließend weist der Benutzer den Computer 19 an, das auf der Bildanzeigevorrichtung 18 angezeigte Bild in der Speichervorrichtung 21 zu speichern (S104). In diesem Ausführungsbeispiel wird das Speichern des Bildes in der Speichervorrichtung 21 als „Erfassung“ wie erforderlich bezeichnet.
• Anschließend stellt der Benutzer fest, ob das erhaltene Bild OK ist (S105).
• Falls das Bild als ein Ergebnis des Schrittes S105 (S105: Ja) OK ist, beendet der Benutzer die Verarbeitung.
• Falls das Bild als ein Ergebnis des Schritts S105 (S105: Nein) nicht OK ist, d.h. NG, passt der Benutzer die Beobachtungsbedingung an bzw. ändert diese, indem er auf eine Mitteilung und dergleichen Bezug nimmt, die auf einem Anwendungshilfsbildschirm 202 (3) oder dergleichen auf dem Betriebsbildschirm 200 angezeigt wird (S106).
• Der Computer 19 wird dazu angeleitet, die Probe 9 wie erforderlich unter den angepassten oder geänderten Beobachtungsbedingungen abzutasten, um ein Bild zu erhalten, und das Bild auf der Bildanzeigevorrichtung 18 anzuzeigen.
• Anschließend stellt das Betriebsprogramm 31 die Verarbeitungen zurück auf Schritt S103, und der Benutzer weist den Computer 19 an, das Bild, das auf der Bildanzeigevorrichtung 18 angezeigt wird, wiederum in der Speichervorrichtung 21 zu speichern (erfassen).
• Anschließend wiederholt das Elektronenmikroskop 101 die Verarbeitung von Schritt S103 bis Schritt S106.
• <Konfiguration des Betriebsbildschirms>
• 3 ist ein Diagramm, das ein Bildschirmbeispiel eines Betriebsbildschirms gemäß diesem Ausführungsbeispiel zeigt.
• Der Betriebsbildschirm 200 enthält einen Betriebsnavigationsbildschirm 201, den Anwendungshilfsbildschirm 202, einen Bildanzeigeschirm 203 (Bildanzeigeeinheit) und einen Betätigungsfeldbildschirm 204. Die einzelnen Bildschirme 201 bis 204 werden später beschrieben.
• Der Betriebsnavigationsbildschirm 201 ist ein Bildschirm, der die Betriebsschritte zeigt. Auf dem Betriebsnavigationsbildschirm 201 werden ein Hauptelement (Bezugszeichen A1) als der gegenwärtige Betriebsschritt und ein Unterelement (Bezugszeichen A2) des Hauptelements angezeigt. Auf diese Weise kann sogar ein unerfahrener Benutzer den Betriebsschritten leicht folgen.
• Der Anwendungshilfsbildschirm 202 ist ein Bildschirm, der einen Vorschlag zur Änderung oder Anpassung der Erfassungsbedingungen anzeigt.
• Der Bildanzeigeschirm 203 ist ein Bildschirm, der ein Bild (Abtastbild) anzeigt, das durch das Elektronenmikroskop 101 erhalten wurde.
• Der Betätigungsfeldbildschirm 204 ist ein Bildschirm zur Änderung oder Anpassung der Erfassungsbedingungen.
• Es sei bemerkt, dass die auf den Bildschirmen 201 bis 204 angezeigten Inhalte sich mit den Betriebsschritten ändern, die vom Benutzer wie später beschrieben durchgeführt werden.
• Der Betriebsbildschirm 200 gemäß diesem Ausführungsbeispiel basiert auf der Annahme, dass der Benutzer ein unerfahrener Benutzer ist.
• <Betriebsbildschirm bei jedem Betriebsschritt>
• Als nächstes wird unter Bezugnahme auf die 4 bis 37 beschrieben, welche Inhalte auf dem Betriebsbildschirm 200 bei jedem Betriebsschritt angezeigt werden. Es sei bezüglich der auf den Bildschirmen 201 bis 204 in den folgenden Zeichnungen enthaltenen Bestandteile bemerkt, dass nur die notwendigen Bestandteile auf dem zu beschreibenden Bildschirm durch Bezugszeichen belegt sind und Bezugszeichen der übrigen weggelassen wurden. Auch wird die Beschreibung des Betriebsbildschirms 200 der Bildschirme 201 bis 204 in den Zeichnungen weggelassen, obwohl diese in den meisten der 4 bis 37 mit Bezugszeichen belegt sind.
• Außerdem wird auf die 1 soweit erforderlich Bezug genommen, und es werden die gleichen Schrittnummern wie in der 2 verwendet.
• (S101)
• Erstens zeigen die 4 und 5 Beispiele des Betriebsbildschirms während des Startens des Abtastbildschirms (S101).
• 4 ist ein Diagramm, das die angezeigten Inhalte zeigt, wenn der Betriebsbildschirm aktiviert wird.
• Da keine Erfassung der Probe 9 durchgeführt wird, wenn der Betriebsbildschirm 200 aktiviert ist, wird der Anwendungshilfsbildschirm 202 (3) nicht angezeigt. Auch wird keine Information auf dem Bildanzeigeschirm 203 und dem Betätigungsfeldbildschirm 204 angezeigt.
• Der Betriebsnavigationsbildschirm 201 zeigt, dass der gegenwärtige Betriebsschritt „Bestätigung der Probeneingabe“ in „1. Vorbereitung“ ist, und zeigt die Schaltflächen A11 bis A13 zur Bestätigung der Eingabe der Probe 9 an.
• Hier wird angenommen, dass die Probe 9 bereits in das Elektronenmikroskop 101 eingegeben ist und der Benutzer die Schaltfläche A13 „Start der Beobachtung einer eingegebenen Probe“ drückt.
• 5 ist ein Diagramm, das ein Beispiel des Betriebsbildschirms während des Startens zeigt.
• Bei dem in 5 gezeigten Schritt zeigt der Betriebsnavigationsbildschirm 201, dass der gegenwärtige Betriebsschritt „Start (Bestrahlungsstart)“ von „1. Vorbereitung“ ist.
• Eine Start-Schaltfläche D1 wird auf dem Betätigungsfeldbildschirm 204 hervorgehoben. Wenn der Benutzer die Start-Schaltfläche D1 drückt, führt das Elektronenmikroskop 101 die Erfassung durch Bestrahlung eines Elektronenstrahls auf die Probe 9 bei einer vorgegebenen Standardbeobachtungsbedingung durch. Eine solche Hervorhebung von Schaltflächen und dergleichen, die als nächstes zu betreiben sind, ermöglicht es dem Benutzer, den Beobachtungsablauf zu erlernen.
• Ferner ermöglicht eine solche Hervorhebung von Schaltflächen, die als nächstes zu drücken sind, es sogar einem unerfahrenen Benutzer, den Betrieb leicht durchzuführen.
• In diesem Ausführungsbeispiel wird „Beobachtungsziel = Standardbeobachtung, Ablagerungsprobe (Hochvakuum)“ als die Standardbeobachtungsbedingung eingestellt.
• In diesem Ausführungsbeispiel wird ein erstes Bild unter der voreingestellten Beobachtungsbedingung erhalten und eine Parameteranpassung wird durch eine später zu beschreibende Verarbeitung auf Basis des erhaltenen Bildes durchgeführt. Gewöhnlich weiß der unerfahrene Benutzer nicht, wie die Parameter des Elektronenmikroskops einzustellen sind. Nach dem vorliegenden Ausführungsbeispiel wird vom Benutzer jedoch nicht verlangt, die komplizierte Parametereinstellung oder Auswahl der Beobachtungsbedingung vor dem Start durchzuführen. Als ein Ergebnis kann sogar ein unerfahrener Benutzer die Beobachtung leicht durchführen.
• Als Standardbeobachtungsbedingung können eine Durchschnittsbeobachtungsbedingung eingestellt werden oder eine Beobachtungsbedingung, die hervorzuhebende Charakteristiken klarstellt, kann eingestellt werden. Da bekannt ist, dass die Erfassung unter den Standardbeobachtungsbedingungen durchzuführen ist, kann die Verarbeitung bis zur Bilderzeugung automatisch durchgeführt werden, sobald die Probe 9 durch den Benutzer eingegeben ist. Jedoch wird dem Benutzer durch Drücken der Start-Schaltfläche D1 und dergleichen ermöglicht, das Verfahren zu erlernen.
• Es sei bemerkt, dass, wenn eine auf dem Betätigungsfeldbildschirm 204 dargestellte Änderungs-Schaltfläche D2 gedrückt wird, ein Beobachtungsbedingungs-Änderungsbildschirm (zum Beispiel ein Beobachtungsziel-Änderungsbildschirm 304, der später unter Bezugnahme auf 17 zu beschreiben ist) angezeigt wird, um eine Änderung in dem Beobachtungsziel zu ermöglichen (siehe Fig. 17 für die Änderung des Beobachtungsziels). Obwohl der Benutzer die Vergrößerung, das Sichtfeld und dergleichen in dem in 5 gezeigten Betriebsschritt einstellen kann, wird die Beschreibung davon hier weggelassen. Es sei bemerkt, dass der Betätigungsfeldbildschirm 204 ein Bildschirm ist, der sich mit dem Betriebsnavigationsbildschirm 201 ändert.
• Es sei bemerkt, dass bei einem vorbestimmten Schritt das Betriebsprogramm 31 dazu eingerichtet sein kann, auf dem Anwendungshilfsbildschirm 202 eine Information über die Bestätigung des Vorhandenseins oder Nichtvorhandenseins einer Beschichtung auf der Probe 9 anzuzeigen. Auch kann das Betriebsprogramm 31 dazu eingerichtet sein, Information über die Vorbehandlung der Probe 9 wie zum Beispiel Information über Ablagerungen auf der Probe 9 und Information über ein Verfahren zum Beobachten einer unbeschichteten Probe 9 (spezieller ein Betriebsverfahren zum Auswählen eines Vakuumgrades zum Verschieben in die Niedrigvakuumbeobachtung) und einen Vakuumgrad (Ziel und Verfahren der Hochvakuumbeobachtung und Niedrigvakuumbeobachtung) auf dem Anwendungshilfsbildschirm 202 anzuzeigen.
• Auf diese Weise kann der Benutzer das Vorhandensein oder Nichtvorhandensein einer Beschichtung bestätigen und Kenntnis über die Vorbehandlung der Probe erlangen.
• Es sei bemerkt, dass in diesem Ausführungsbeispiel die Information über die Bestätigung des Vorhandenseins oder Nichtvorhandenseins einer Beschichtung und die Vorbehandlung dargestellt wird, bevor die Bestrahlung mit dem Primärelektronenstrahl 2 erfolgt. Jedoch ist die vorliegende Erfindung nicht darauf beschränkt, sondern eine solche Information kann auch an einem anderen Betriebsschritt angezeigt werden.
• (S102)
• Als Nächstes zeigt 6 ein Diagramm mit einem Beispiel des Betriebsbildschirms, wenn die Ausstrahlung des Primärelektronenstrahls auf die Probe gestartet hat (S201: Erhalten des Bildes) .
• Wenn die Bestrahlung des Primärelektronenstrahls 2 auf die Probe 9 gestartet wurde, indem der Benutzer die Start-Schaltfläche D1 gedrückt hat, die in 5 gezeigt ist, wird der Betriebsbildschirm 200 wie in 6 gezeigt inaktiv und ein Bestrahlungsstatusbildschirm 301 wird angezeigt.
• Der Bestrahlungsstatusbildschirm 301 weist einen Schemadiagrammschirm E1 auf, der den gegenwärtigen Bestrahlungsstatus in einem Schemadiagramm zeigt, sowie einen Fortschrittsbildschirm E2, der den gegenwärtigen Bestrahlungsfortschritt zeigt, einen Beobachtungsbedingungsbildschirm E3, der die gegenwärtige Beobachtungsbedingung zeigt, eine Abbruch-Schaltfläche E4 und dergleichen.
• Hier kann für den Lernvorgang des Benutzers statt des Bestrahlungsstatusbildschirm 301 ein Lernbildschirm angezeigt werden, wobei der Lernbildschirm die Grundsätze des Elektronenmikroskops 101, eine Erklärung der Vorbehandlung der Probe 9, die Struktur des Elektronenmikroskops 101, das Betriebsverfahren des Elektronenmikroskops 101, die Grundsätze der hervorgehobenen Bilder bei der Erfassung und dergleichen anzeigt.
• Alternativ kann statt des Bestrahlungsstatusbildschirms 301 ein Lernbildschirm angezeigt werden, wobei der Lernbildschirm eine Erklärung von Elementen in den Bildschirmen 201 bis 204 ( 3) zeigt, wie beispielsweise den Anwendungshilfsbildschirm 202 (3) im Betriebsbildschirm 200, eine Erklärung von verschiedenen Anpassungsparametern des Elektronenmikroskops 101 und dergleichen.
• Insbesondere ist der Anwendungshilfsbildschirm 202 häufig auf dem Betriebsbildschirm 200 im folgenden Prozess anzuzeigen. Daher kann durch die Anzeige des Lernbildschirms auf dem Anwendungshilfsbildschirm 202 erwartet werden, dass der Benutzer sein/ihr Können auf unbewusste Weise verbessert.
• Es sei bemerkt, dass ein solcher Lernbildschirm zusammen mit dem Bestrahlungsstatusbildschirm 301 angezeigt werden kann.
• Selbst wenn der Benutzer einem solchen Lernbildschirm keine große Aufmerksamkeit zukommen lässt, kann von dem Benutzer ein Lerneffekt erwartet werden, indem der Lernbildschirm sogar für eine kurze Zeitspanne während der Ausstrahlung des Primärelektronenstrahls 2 wiederholt angezeigt wird. Alternativ kann das Betriebsprogramm 31 dazu eingerichtet sein, den Lernbildschirm auf der Bildanzeigevorrichtung 18 nicht nur während der noch zu beschreibenden Autofokus-Anpassung sondern auch während einer Standby-Zeit des Benutzers (Verarbeitungs-Standby-Zeit) wiederholt zu anzuzeigen. Hier ist die Standby-Zeit des Benutzers diejenige Zeit, die erzeugt wird, während verschiedene Anpassungen automatisch durch das Elektronenmikroskop 101 vorgenommen werden. Daher können weitere Verbesserungen im Lerneffekt für den Benutzer erwartet werden. Alternativ kann das Betriebsprogramm dazu eingerichtet sein, den Lernbildschirm auf der Bildanzeigevorrichtung 18 in der Standby-Zeit des Benutzers während der Vakuumisierung einer Probenkammer anzuzeigen. Die Vakuumisierung der Probenkammer ist die längste Standby-Zeit für den Benutzer. Daher wird durch die Anzeige des Lernbildschirms während der Vakuumisierung erwartet, dass ein Lerneffekt für den Benutzer erzielt werden kann.
• Der Lernbildschirm wie oben beschrieben unterscheidet sich von einem ATM (Automated-Teller-Machine-Bankautomat) oder einer auf einer Internet-Website angezeigten Werbung darin, dass die Erklärung eines als nächstes durchzuführenden Betriebsverfahrens oder des Konzepts des Elektronenmikroskops 101 zum intuitiven Verständnis visualisiert werden kann. Dieses Ausführungsbeispiel unterscheidet sich von dem ATM oder der auf der Internet-Website angezeigten Werbung darin, dass der Benutzer die Kenntnis über die Grundsätze des Elektronenmikroskops 101 und das Betriebsverfahren erhalten kann, indem die Erklärung des als Nächstes durchzuführenden Betriebsverfahrens oder des Konzepts des Elektronenmikroskops 101 zum intuitiven Verständnis wie oben beschrieben visualisiert werden kann.
• (S103)
• Als Nächstes sind die 7 und 8 Diagramme, die jeweils ein Beispiel des Betriebsbildschirms während der Sichtfeldsuche und Vergrößerungsanpassung durch den Benutzer zeigen (S103).
• 7 ist ein Diagramm, das Inhalte zeigt, die unmittelbar nach Vollendung der Ausstrahlung des Primärelektronenstrahls anzuzeigen sind.
• Hier führt der Benutzer die Vergrößerungsanpassung und die Sichtfeldsuche auf einem Bild durch, das erhalten wurde, nachdem die Ausstrahlung des Primärelektronenstrahls 2 beendet wurde.
• Der Operationsnavigationsbildschirm 201 zeigt, dass der gegenwärtige Betriebsschritt „Vergrößerungsanpassung/Sichtfeldsuche“ in „2. Sichtfeldsuche“ ist.
• Auch wird ein Bild C41, das als ein Ergebnis der Ausstrahlung des Primärelektronenstrahls 2 erhalten wurde, auf dem Bildanzeigeschirm 203 angezeigt.
• Ferner werden verschiedene Schaltflächen zur Anpassung des Elektronenmikroskops 101 auf dem Betätigungsfeldbildschirm 204 angezeigt.
• Zum Beispiel kann der Benutzer, falls er/sie die Vergrößerung erhöhen will, die Vergrößerung manuell anpassen, indem ein Schieber C42 bewegt wird, der auf der Seite des Bilds C41 angebracht ist. Der Benutzer kann beispielsweise den Schieber C42 bewegen, wenn er/sie eine große Änderung in der Vergrößerung erzielen will, und er kann ein Rädchen oder den Trackball einer Maus bedienen, wenn er/sie eine kleine Änderung in der Vergrößerung vornehmen will. Der Computer 19 ändert die Vergrößerung, indem er die Objektivlinsensteuerschaltung 16 veranlasst, die Objektivlinse 8 gemäß einem Bewegungsabstand des Schiebers C42 zu steuern, der durch die Eingabevorrichtung 23 eingegeben wird.
• Zugleich kann der Benutzer, wenn er/sie das Sichtfeld des Bildes C41 bewegen will, das Sichtfeld des Bildes C41 beispielsweise durch Ziehen des Bildes C41 bewegen. Basierend auf der durch die Eingabevorrichtung 23 eingegebenen Information kann der Computer 19 einen Tisch bewegen oder eine Bildverschiebung durchführen, indem die Ablenkungssteuerschaltung 15 veranlasst wird, den oberen Deflektor 6 und den unteren Deflektor 7 zur Ablenkung des Primärelektronenstrahls 2 zu steuern.
• Hier kann bezüglich der Bewegung des Sichtfelds die Bildverschiebung als das Mittel zum Bewegen des Sichtfelds eingesetzt werden, falls die Vergrößerung geringer als eine vorbestimmte Vergrößerung ist, während die Bewegung des Tischs als das Mittel zur Bewegung des Sichtfelds eingesetzt werden kann, falls die Vergrößerung nicht größer als die vorbestimmte Vergrößerung ist. Mit anderen Worten kann der Computer die Bildverschiebung aktivieren und die Tischbewegung deaktivieren, falls die Vergrößerung nicht geringer als ein vorbestimmter Wert ist. Andererseits kann der Computer, falls die Vergrößerung nicht geringer als der vorbestimmte Wert ist, die Funktionen des Elektronenmikroskops 101 einschränken, indem die Bewegung des Tischs aktiviert und die Bildverschiebung deaktiviert wird. Dadurch kann der Benutzer vor einem irrtümlichen Bewegen des Sichtfelds bewahrt werden.
• Wie oben beschrieben werden in diesem Ausführungsbeispiel die Elemente der Parameteranpassung, wie beispielsweise Vergrößerung und Fokus wie später zu beschreiben, und der Schieber C42 in der Nähe des Bildes C41 angezeigt (neben dem Bild C41 in diesem Ausführungsbeispiel). Daher kann die Bewegung des Sichtfelds oder Mauscursors minimiert werden und dadurch eine Feinanpassung während eines Vergleichs mit dem Bild C41 vorgenommen werden. In der konventionellen Technologie wird ein Tabulator auf einer Betriebsvorrichtung betätigt, die in dem Elektronenmikroskop 101 angebracht ist. Andererseits werden in diesem Ausführungsbeispiel die Vergrößerung und dergleichen unter Verwendung des Schiebers C42 und dergleichen angepasst, der in der Nähe des Bilds C41 angezeigt wird. Daher kann die Anpassung leicht erfolgen, während das Bild C41 betrachtet wird. Auch können bei Anzeige von mehreren Bildern C41 Schieber C42 für jedes der Bilder C41 angezeigt werden. Daher kann der Benutzer leicht Anpassungen für jedes der Bilder C41 vornehmen.
• Es sei bemerkt, dass in diesem Fall das Betriebsprogramm 31 dazu eingerichtet sein kann, den Anpassungsbereich der Vergrößerung einzuschränken. Mit anderen Worten kann das Betriebsprogramm 31 dazu eingerichtet sein, den Nutzer daran zu hindern, die Vergrößerung auf mehr als eine vorbestimmte Vergrößerung einzustellen. Demgemäß kann der Benutzer davor bewahrt werden, irrtümlicherweise eine unerwartete Vergrößerung einzustellen und ein Problem in einem zu erhaltenden Bild zu verursachen.
• Es sei bemerkt, dass ein Anzeigemodus für das auf dem Bildanzeigeschirm 203 angezeigte Bild C41 durch das Betriebsprogramm 31 gemäß dem Betriebsschritt geeigneterweise umschaltbar ist. Zum Beispiel wird das Betriebsprogramm 31 angewiesen, bei dem in 7 gezeigten Sichtfeld-Suchschritt oder dem Bildbestätigungsschritt in 8 einen „Sichtfeld-Suchmodus“ einzustellen, der ein Anzeigemodus zum Erhöhen einer Abtastgeschwindigkeit des Elektronenstrahls ist, um eine Bildantwort zu verbessern. Zugleich, da ein hochauflösendes Bild an einem Bildspeicherschritt verlangt ist, wird das Operationsprogramm 31 angewiesen, die Abtastgeschwindigkeit zu verringern und einen „Bildbestätigungsmodus“ zum Anzeigen eines hochauflösenden Bildes einzustellen. Ein Bildschirm D41 im Betätigungsfeldbildschirm 204 zeigt, in welchem Anzeigemodus das Bild C41 gegenwärtig angezeigt wird. In 7 ist der Anzeigemodus auf den „Sichtfeld-Suchmodus“ eingestellt.
• Indem das Betriebsprogramm 31 auf geeignete Weise den Anzeigemodus gemäß dem Betriebsschritt wie oben beschrieben umschaltet, können eine Verringerung der Arbeitseffizienz oder Fehler aufgrund eines Versagens bei der Durchführung des Betriebs vermieden werden.
• Ferner kann der Benutzer durch Anzeigen einer Mitteilung bezüglich des Umschaltens des Anzeigemodus auf den Betriebsnavigationsbildschirm 201 erkennen, welche Art von Verarbeitung durch das Betriebsprogramm 31 durchgeführt wird.
• Es sei bemerkt, dass Voreinstellungs-Schaltflächen D43 (Voreinstellung 1) und D44 (Voreinstellung 2) auf einem Bildschirm D42 im Betätigungsfeldbildschirm 204 in 7 Schaltflächen zum Einstellen der Vergrößerung auf eine voreingestellte Vergrößerung sind, die vorab gespeichert wird. Eine Voreinstellungs-Registrierungsschaltfläche D45 ist eine Schaltfläche zum Registrieren einer neuen voreingestellten Vergrößerung.
• Es sei bemerkt, dass der Anwendungshilfsbildschirm 202 eine Nachricht anzeigt, die Kriterien zum Drücken einer Autohelligkeitsschaltfläche und einer Autofokusschaltfläche betrifft.
• Nachdem eine Reihe von Anpassungen vorgenommen wurden, zeigt der Benutzer den Betriebsbildschirm 200 an, der in 8 zu sehen ist, indem er/sie eine „Nächste“-Schaltfläche A41 drückt, die auf dem Betriebsnavigationsbildschirm 201 angezeigt ist.
• 8 ist ein Diagramm, das Inhalte zeigt, die in der in 7 gezeigten Autoanpassung angezeigt werden.
• In 8 zeigt der Betriebsnavigationsbildschirm 201, dass der gegenwärtige Schritt „Autoanpassung“ in „3. Bildbestätigung“ ist.
• Es sei bemerkt, dass die verschiedenen Schaltflächen, die auf dem Betätigungsfeldbildschirm 204 angezeigt sind, sich nicht von denen der 7 unterscheiden. Jedoch wird ein Bild C51 auf dem Bildanzeigeschirm 203 einer Vergrößerungsanpassung unterzogen und in einer größeren Vergrößerung gezeigt als in 7.
• Hier drückt der Benutzer eine „Autohelligkeits“-Schaltfläche D51 im Betätigungsfeldbildschirm 204, um die Helligkeit und den Kontrast anzupassen.
• Es sei bemerkt, dass in der 8 der Bildschirm D41 im Betätigungsfeldbildschirm 204 zeigt, dass der Anzeigemodus der „Sichtfeld-Suchmodus“ beim vorherigen Betriebsschritt ist.
• Wenn der Benutzer die „Autohelligkeits“-Schaltfläche D51 drückt, wird eine Auto-Anpassung der Helligkeit (Anpassung auf Standardhelligkeit) durchgeführt.
• (S104)
• Als Nächstes sind die 19 bis 14 Diagramme, die jeweils ein Beispiel des Betriebsbildschirms während der Bildspeicherung (Erfassung) zeigen (S104).
• 9 ist ein Diagramm, das Inhalte zeigt, die unmittelbar nach Beendigung der Auto-Anpassung angezeigt werden.
• Der Betriebsnavigationsbildschirm 201 zeigt eine Nachricht an, die angibt, dass „3. Bildbestätigung“ beendet wurde und der Betriebsschritt übergegangen ist auf „Bildspeicherung“ des nächsten Vorgangs „4. Bilderfassung“. Auch wird eine Mitteilung auf einem Bildschirm A61 angezeigt, um das Speichern des Bildes vorzuschlagen. Ferner ändert sich der Bildschirm D41 von „Sichtfeldsuche“ auf „Bildbestätigung“. Abgesehen von den obigen sind die verschiedenen Schaltflächen, die auf dem Betätigungsfeldbildschirm 204 angezeigt wurden, die gleichen wie die in den 7 und 8.
• Wie unter Bezugnahme auf 7 beschrieben, wird das Betriebsprogramm 31 dazu ausgeführt, den Anzeigemodus des Bildes C51 gemäß dem Betriebsschritt umzuschalten. Jedoch wird das Betriebsprogramm 31 angewiesen, im „Bildspeichern“-Schritt in 9 den Anzeigemodus auf einen „Bildbestätigungs“-Modus (Bezugszeichen D61) auf dem Bildschirm D41 in dem Betätigungsfeldbildschirm 204) einzustellen, um ein hochauflösendes Bild zu erhalten.
• Auch zeigt ein Bildschirm B61 auf dem Anwendungshilfsbildschirm 202 eine Mitteilung an, die angibt, dass der Anzeigemodus auf den „Bildbestätigungs“-Modus umgeschaltet wurde.
• In diesem Fall kann der Anwendungshilfsbildschirm 202 eine Nachricht anzeigen, die angibt, welche Charakteristiken für die Erfassung unter einer Beobachtungsbedingung bei der Auto-Anpassung hervorzuheben sind.
• Hier werden die in 10 gezeigten Anzeigeinhalte angezeigt, wenn der Benutzer eine „Spezifiziere Speicherziel“-Schaltfläche D62 drückt, die im Betätigungsfeldbildschirm 204 hervorgehoben ist.
• Es sei bemerkt, dass die Auto-Anpassung hier gerade dadurch beendet wird, dass der Benutzer die Autohelligkeits-Anpassung durchführt. Jedoch kann der Benutzer durch Drücken einer „Autofokus“-Schaltfläche D63 beim Betriebsschritt in 8 oder 9 den Autofokus durch Anpassung des Fokus auf einen Fokuswert durchführen, der durch eine Person als optimal festgelegt wurde, die die Parametereinstellung durchgeführt hat.
• 10 ist ein Diagramm, das die Inhalte zeigt, die bei einem Schritt zur Einstellung des Speicherorts angezeigt werden.
• Wenn der Benutzer die „Spezifiziere Speicherziel“-Schaltfläche D62 auf dem Betätigungsfeldbildschirm 204 in 9 drückt, wird das Betriebsprogramm 31 dazu ausgeführt, den Betriebsbildschirm 200 inaktiv zu machen, wie in 10 gezeigt ist, und einen Ortseinstellschirm 302 vor dem Betriebsbildschirm 200 anzuzeigen.
• Nachdem der Ortseinstellschirm 302 genauso ist wie bei einem allgemeinen Ortseinstellschirm, wird dessen ausführliche Beschreibung hier weggelassen. Wenn der Benutzer den Speicherort auf dem Ortseinstellschirm 302 einstellt und die Registrierungs-Schaltfläche E71 drückt, wird das Betriebsprogramm 31 dazu ausgeführt, die in 11 gezeigten Anzeigeinhalte auf der Bildanzeigevorrichtung 18 anzuzeigen.
• Die 11 und 12 sind Diagramme, die bei dem Bildspeicherschritt angezeigte Inhalte zeigen.
• Die 11 und 12 zeigen den Betriebsbildschirm 200 zum Speichern des angezeigten Bilds C51 in der Speichervorrichtung 21.
• Ein Bildschirm A81 im Betriebsnavigationsbildschirm 201 zeigt eine Nachricht, die zum Drücken einer Bildspeicher-Schaltfläche zum Speichern des Bildes auffordert.
• Auch zeigt ein Bildschirm B81 in dem Anwendungsshilfsbildschirm 202 eine Nachricht, die zur Bestätigung des Bilds auf einem großen Bildschirm auffordert, indem eine Vollschirm-Anzeigeschaltfläche vor der Erfassung gedrückt wird. Wie oben beschrieben, kann das Betriebsprogramm 31 angewiesen werden, Hinweise entsprechend dem auf dem Anwendungshilfsbildschirm 202 angezeigten Betriebsschritt anzuzeigen. Eine solche Anzeige kann vorgesehen werden, wenn Bildschirminformation für jeden der Betriebsschritte in der Speichervorrichtung 21 gespeichert wird, und das Betriebsprogramm 31 dazu ausgeführt wird, den Bildschirm für jeden der Betriebsschritte anzuzeigen.
• In 11 sind das auf dem Bildanzeigeschirm 203 angezeigte Bild C51 und die verschiedenen Schaltflächen in dem Betätigungsfeldbildschirm 204 die gleichen wie die in 9, außer dass eine „Bild speichern“-Schaltfläche D81 im Betätigungsfeldbildschirm 204 hervorgehoben ist.
• Hier wird, wenn der Benutzer eine Vollschirm-Schaltfläche C81 drückt, ein Bild C91 mit erhöhter Vergrößerung und dergleichen wie in 12 gezeigt angezeigt. Nachdem die anderen Bildschirme 201 (11), 202 (11) und 204 in dem Betriebsbildschirm 200 in 12 die gleichen sind wie die in 11, wird deren Beschreibung weggelassen.
• Demgemäß kann der Benutzer das Bild in einem vergrößerten Zustand bestätigen. Es sei bemerkt, dass der Benutzer das Bild mit der Größe des in der 11 gezeigten Bildes und dergleichen bestätigen und speichern kann. Nach der Bestätigung des Bildes drückt der Benutzer die „Bild speichern“-Schaltfläche D81 im Betätigungsfeldbildschirm 204.
• Es sei bemerkt, dass in diesem Fall der Anwendungshilfsbildschirm 202 Punkte der Bildbestätigung anzeigen kann.
• Die 13 und 14 sind Diagramme, die den Betriebsbildschirm 200 während der Bildspeicherung zeigen.
• Obwohl die auf dem Betriebsnavigationsbildschirm 201 und dem Betätigungsfeldbildschirm 204 gezeigten Inhalte die gleichen sind wie die in 11 und 12, wird auf dem Anwendungshilfsbildschirm 202 nichts angezeigt.
• Auch erscheint ein auf dem Bildanzeigeschirm 203 angezeigtes Bild C101 graduell von oben gemäß den gespeicherten Pixeln.
• Ferner wird ein Bildspeicherinformationsbildschirm 303 vor dem Betriebsbildschirm 200 angezeigt, wie in 14 gezeigt. Der Bildspeicherinformationsbildschirm 303 zeigt Bildspeicherbedingungen und Einflüsse der Bedingungen. Ferner wird ein Fortschrittsgrad des Bildspeichervorgangs durch einen Fortschrittsbalken E111 angezeigt.
• Es sei bemerkt, dass während einer Wartezeit für die Bildspeicherungsverarbeitung das Betriebsprogramm 31 dazu ausgeführt werden kann, Information über antizipierte Fehler und Probleme auf dem Anwendungshilfsbildschirm 202 anzuzeigen (13). Als solche Information können beispielsweise mögliche Fehler oder Probleme im Bild unter den gegenwärtigen Erfassungsbedingungen (hier den Parametern zur Standardbeobachtung und Vergrößerung während des Bildspeicherns) angezeigt werden.
• Alternativ kann ein Lernbildschirm zusammen mit dem Bildspeicherinformationsbildschirm 303 angezeigt werden, wobei der Lernbildschirm die Grundsätze des Elektronenmikroskops 101, eine Erklärung der Vorbehandlung der Probe 9, die Struktur des Elektronenmikroskops 101, das Betriebsverfahren des Elektronenmikroskops 101, die Grundzüge hervorgehobener Bilder in der Erfassung und dergleichen zeigt. Ferner kann der Lernbildschirm zusammen mit dem Bildspeicherinformationsbildschirm 303 angezeigt werden, wobei der Lernbildschirm eine Erklärung von Elementen in den Bildschirmen 201 bis 204 zeigt, wie zum Beispiel den Änderungshilfsbildschirm 202 in dem Betriebsbildschirm 200, eine Erklärung von verschiedenen Anpassungsparametern des Elektronenmikroskops 101 und dergleichen. So kann eine Verbesserung im Lerneffekt am Benutzer erwartet werden.
• (S105 und S106)
• Als Nächstes sind die 15 bis 19 Diagramme, die Beispiele des Betriebsbildschirms zeigen, während der Benutzer bestätigt, ob das gegenwärtige Bild OK ist (S105) und während der Anpassung und Änderung der Beobachtungsbedingung durch den Benutzer (S106).
• 15 ist ein Diagramm, das Inhalte zeigt, die angezeigt werden, nachdem das Bild gespeichert wurde.
• Als erstes zeigt der Betriebsnavigationsbildschirm 201 an, dass der gegenwärtige Betriebsschritt „Bild speichern“ in „4. Erfassung“ ist.
• Ein Bildschirm A121 in dem Betriebsnavigationsbildschirm 201 zeigt eine Fortsetzen-Schaltfläche A122 und eine Beenden-Schaltfläche A123 an. Wenn der Benutzer mit dem gegenwärtigen Bild nicht zufrieden ist, wird die Fortsetzen-Schaltfläche A122 gedrückt, um die Beobachtung fortzusetzen, und das Betriebsprogramm 31 setzt die Verarbeitung fort (S105: Nein).
• Wenn der Benutzer mit dem gegenwärtigen Bild zufrieden ist, wird die Beenden-Schaltfläche A123 zum Beenden der Beobachtung gedrückt, und das Betriebsprogramm 31 wird dazu ausgeführt, die Verarbeitung (S105: Ja) zu beenden.
• Der Bildanzeigeschirm 203 zeigt einen Beobachtungsverlauf C121 zusammen mit dem Bild C51 unter der gegenwärtigen Beobachtungsbedingung an. Die bisher gespeicherten Bilder (Beobachtungsverlauf C121) werden zusammen mit Information (Dateinamen und Beobachtungsbedingung) angezeigt, die der Benutzer einzustellen oder zu prüfen wünscht. Zum Beispiel wird in 15 das zuvor gespeicherte Bild als der Beobachtungsverlauf C121 angezeigt. Wenn der Benutzer den Beobachtungsverlauf C121 anklickt, wird das Bild vergrößert.
• Alternativ kann, wenn der Benutzer das angezeigt Bild in dem Beobachtungsverlauf C121 mit einer Mouse berührt, eine detaillierte Beobachtungsbedingung und dergleichen für das Bild angezeigt werden.
• Obwohl Schaltflächen und dergleichen entsprechend dem gegenwärtigen Betriebsschritt in dem Betätigungsfeldbildschirm 204 angezeigt werden, wird deren Beschreibung hier weggelassen.
• Ein Hilfsbildschirm B121 wird im Anwendungshilfsbildschirm 202 angezeigt. Der Hilfsbildschirm B121 ist ein Bildschirm, der mit der Erfassung als einem Trigger angezeigt wird. Der Hilfsbildschirm B121 zeigt Hilfsschaltflächen B122 (B122a und B122b), die einen Hinweis an den Benutzer und den Zustand des Bilds C51 beschreiben. Es sei bemerkt, dass der Hilfsbildschirm B121 ein Bildschirm ist, der im Prinzip immer angezeigt wird, wenn das Bild gespeichert wird.
• Hierbei können die Hilfsschaltflächen B122 (B122a und B122b) nur dann angezeigt werden, wenn der Benutzer bestimmt, dass etwas im Bild C51 von Interesse für ihn/sie ist, anstatt dass sie immer im Anwendungshilfsbildschirm 202 angezeigt werden.
• Alternativ kann eine nicht illustrierte Anzeigeschaltfläche auf dem Anwendungshilfsbildschirm 202 an einer vorgegebenen Stelle im Betriebsbildschirm 200 angezeigt werden, und Anzeige und Nicht-Anzeige des Anwendungshilfsbildschirms 202 können vom Benutzer durch Drücken der Anzeigeschaltfläche umgeschaltet werden.
• Hier kann das Betriebsprogramm 31 dazu ausgeführt werden, Information über die gegenwärtigen Beobachtungsbedingungen auf der Bildanzeigevorrichtung 18 anzuzeigen.
• Die Beobachtungsbedingung ist eine Kombination von verschiedenen Parametereinstellungen des Elektronenmikroskops 101 während der Ausstrahlung des Primärelektronenstrahls 2 wie oben beschrieben. Genauer gesagt umfasst die Beobachtungsbedingung Beschleunigungsspannung, Strom, Arbeitsabstand, Vergrößerung und dergleichen. Solch eine Beobachtungsbedingung enthält Werte, die vor der Erfassung der Probe 9 erhalten werden können. Es sei bemerkt, dass der Arbeitsabstand einen Abstand zwischen einer unteren Oberfläche der Objektivlinse und der Probe bezeichnet.
• Die Bildqualität des Bildes bezeichnet Werte von Helligkeitsverteilung, Schärfe und dergleichen. Die Bildqualität des Bildes schließt Werte ein, die von dem erfassten Bild nach der Erfassung erhalten werden können.
• Die Information über die Betriebsschritte schließt die Inhalte ein, die auf dem Betätigungsfeldbildschirm 204 angezeigt werden, Betriebszeiten jedes Betriebsschritts, Betriebsverläufe und dergleichen. Die Information über die Betriebsschritte ist Information, die verwendet wird, wenn eine Verarbeitung zum Verstecken der Hilfsschaltflächen B122 für den einmal durchgeführten Betrieb durchgeführt wird.
• Genauer wird die Information über die Hilfsschaltflächen B122 in der Speichervorrichtung 21 so gespeichert, dass sie der Bildqualität des Bildes und der Beobachtungsbedingung, die die Kombinationen der Parametereinstellwerte des Elektronenmikroskops 101 ist, entspricht.
• Wie oben beschrieben, kann der Benutzer, indem das Betriebsprogramm 31 die Hilfsschaltflächen B122 auswählt und basierend auf der Information über die Beobachtungsbedingung, die Bildqualität des Bildes und die Betriebsschritte anzeigt, leicht sehen, welche Art von Problem gegenwärtig auftritt.
• Der Computer 19 analysiert die Bildqualität des Bildes C51. Anschließend wird das Betriebsprogramm 31 dazu ausgeführt, basierend auf der Bildqualität des Bildes als ein Ergebnis der Analyse und der gegenwärtigen Beobachtungsbedingungen aus der Speichervorrichtung 21 eine Information über die Hilfsschaltflächen B122 gemäß dem Ergebnis der Analyse zu erhalten. Ferner wird das Betriebsprogramm 31 dazu ausgeführt, die erhaltene Information über die Hilfsschaltflächen B122 an einem vorbestimmten Punkt (hier dem Anwendungshilfsbildschirm 202) auf dem Betriebsbildschirm 200 als die Hilfsschaltflächen B122 anzuzeigen.
• Hierbei kann der Computer 19 dazu angewiesen werden, die Hilfsschaltflächen B122, die von einem Hersteller untersuchte Verbesserungen in der Bildqualität umsetzen können, auf der Grundlage der gegenwärtigen Beobachtungsbedingung anzuzeigen, ohne die Bildqualität des Bildes C51 zu analysieren. Mit anderen Worten kann der Computer 19 die Hilfsschaltflächen B122 so einstellen, dass sie zuvor vom Hersteller angezeigt werden.
• Die in den Hilfsschaltflächen B122 angezeigten Inhalte schließen, abgesehen von den in 15 gezeigten Inhalten, Folgendes ein.
1. (a) Die Unebenheit oder dreidimensionale Erscheinung des Bilds ist verschlechtert im Vergleich mit während der Sichtfeldsuche (Abtastgeschwindigkeit: hoch) erhaltenen Werten. Als eine Ursache für ein solches Problem ist eine Aufladung oder dergleichen denkbar.
2. (b) Das Bild ist im Vergleich zu während der Sichtfeldsuche (Abtastgeschwindigkeit: hoch) deformiert. Als eine Ursache für ein solches Problem sind Aufladung, Beschädigung der Probe oder dergleichen denkbar.
• Ein unerfahrener Benutzer ist häufig zufrieden mit einem Bild, das tatsächlich aber kein optimales Bild ist, weil er/sie ein unter der optimalen Beobachtungsbedingung erhaltenes Bild nicht kennt. Durch Anzeigen der Hilfsschaltflächen B122 wie in diesem Ausführungsbeispiel werden häufig auftretende Probleme mit dem Bild dargestellt und der Benutzer kann solche Probleme erkennen.
• In dem Beispiel in 15 ist als ein Ergebnis der Analyse des Bildes C51 durch das Betriebsprogramm 31 die Verteilung in Richtung hoher Helligkeit in der Helligkeitsverteilung verschoben. Daher wird das Betriebsprogramm 31 dazu ausgeführt, die Hilfsschaltfläche B122 anzuzeigen, die durch das Bezugszeichen B122a angegeben ist. Ferner ist, als ein Ergebnis der Analyse des Bildes C51 durch das Betriebsprogramm 31, der Bildschärfenwert niedrig. Daher wird das Betriebsprogramm 31 dazu ausgeführt, die Hilfsschaltfläche B122 anzuzeigen, die durch das Bezugszeichen B122b angegeben ist. Es sei bemerkt, dass das Betriebsprogramm 31 die Hilfsschaltflächen B122 entsprechend den Kombinationen der Betriebsbedingungen, der Bildqualität des Bildes und der Betriebsschritte in der Speichervorrichtung 21 speichert. Das Betriebsprogramm 31 wird dazu ausgeführt, die Hilfsschaltflächen B122 auf dem Anwendungshilfsbildschirm 202 anzuzeigen, indem die Hilfsschaltflächen B122 gemäß der Information über die Beobachtungsbedingungen, die Bildqualität des Bildes und die Betriebsschritte ausgewählt werden.
• Es sei bemerkt, dass wie in 15 das Betriebsprogramm 31 dazu eingerichtet sein kann, ein hervorgehobenes Bild B123 anzuzeigen, in dem das in jeder Hilfsschaltfläche B122 beschriebene Problem hervorgehoben ist, indem die Betriebsbedingungen hervorgehoben werden. Zum Beispiel kann das Betriebsprogramm 31 dazu eingerichtet sein, auf der Hilfsschaltfläche B122a das hervorgehobene Bild B123 mit der Helligkeitsverteilung, die extrem in Richtung hoher Helligkeit verschoben ist, anzuzeigen. Auf ähnliche Weise wird das Betriebsprogramm 31 dazu ausgeführt, das hervorgehobene Bild B123 mit extrem verringerter Schärfe auf der Hilfsschaltfläche B122b anzuzeigen.
• Das hervorgehobene Bild B123 kann ein Bild sein, das durch Simulation unter einer extremen Beobachtungsbedingung erhalten wurde. Alternativ kann ein Bild erstellt werden, indem solche Simulationen zuvor durchgeführt werden. Hier wird die Simulation unter Extrembedingungen so durchgeführt, dass die auf der Hilfsschaltfläche B122 angezeigten Probleme auftreten.
• Hier wird das Betriebsprogramm 31 dazu ausgeführt, die in 16 gezeigten Anzeigeinhalte anzuzeigen, wenn der Benutzer die Hilfsschaltfläche B122a drückt.
• 16 ist ein Diagramm, das Inhalte zeigt, die während einer Zieländerung angezeigt werden.
• Der Benutzer stellt fest, dass das gesamte Bild grell ist und weiße Linien (helle Linien) aufweist, indem er das in 15 gezeigte Bild C51 anschaut und die Hilfsschaltfläche B122a drückt. Dann, um das in der Hilfsschaltfläche B122a beschriebene Problem zu lösen, wird das Betriebsprogramm 31 dazu ausgeführt, auf dem Anwendungshilfsbildschirm 202 einen Lösungsbildschirm B131 anzuzeigen, der zur Änderung des Beobachtungsziels in „Beobachtung mit Betonung der Oberflächenstruktur“ auffordert. Auf ähnliche Weise wird das Betriebsprogramm 31 zur Änderung des Beobachtungsziels dazu ausgeführt, auf einem Bildschirm A131 im Betriebsnavigationsbildschirm 201 eine Mitteilung anzuzeigen, die zum Drücken einer „Ändern“-Schaltfläche D131 auffordert. Hier wird der Benutzer zum Drücken der „Ändern“-Schaltfläche D131 aufgefordert, statt durch das Betriebsprogramm 31 automatisch zum nächsten Bildschirm weiterzugehen. Demgemäß kann der Benutzer die Position der „Ändern“-Schaltfläche D131 erkennen und so kann der Lerneffekt für den Benutzer verbessert werden.
• Ferner wird den Hilfsschaltflächen B122 in 15 zugeordnete Bildschirminformation vorab in der Speichervorrichtung 21 gespeichert. Wenn die Bildschirminformation entsprechend der gedrückten Hilfsschaltfläche B122 ausgewählt ist, wird das Betriebsprogramm 31 dazu ausgeführt, die in 16 gezeigten Bildschirme A131 und B131 anzuzeigen.
• Es sei bemerkt, dass der Betriebsnavigationsbildschirm 201 in 16 zeigt, dass der gegenwärtige Schritt „Zieländerung“ in „1. Vorbereitung“ ist.
• Das Betriebsprogramm 31 wird dazu ausgeführt, den Betätigungsfeldbildschirm 204 gemäß dem Betriebsnavigationsbildschirm 201 anzuzeigen. Auf dem Betätigungsfeldbildschirm 204 wird die „Ändern“-Schaltfläche D131 hervorgehoben, um den Benutzer zur Änderung des Beobachtungsziels aufzufordern.
• Wenn der Benutzer die „Ändern“-Schaltfläche D131 gemäß den in dem Bildschirm A131 beschriebenen Inhalten drückt, wird das Betriebsprogramm 31 dazu ausgeführt, die in der 17 gezeigten Anzeigeinhalte auf der Bildanzeigevorrichtung 18 anzuzeigen.
• Hierbei können der Lösungsbildschirm B131, der zum Ändern des Beobachtungsziels auf „Beobachtung mit Betonung der Oberflächenstruktur“ auffordert, oder die zum Drücken der „Ändern“-Schaltfläche D131 auffordernde Nachricht in einem anderen Fenster angezeigt werden. Zum Beispiel zeigt dieses andere Fenster einige Lösungsmöglichkeiten für das auf der Hilfsschaltfläche B122 beschriebene Problem an. Für jedes solcher Lösungselemente kann eine nicht illustrierte „Suche“-Schaltfläche vorgesehen werden. Wenn der Benutzer die „Suche“-Schaltfläche drückt, kann notwendige Information über die Lösungen angezeigt werden. Über so einen Vorgang kann der Benutzer Kenntnisse über den Betrieb des Elektronenmikroskops 101 erlangen. Darüberhinaus wird eine „Lösung“-Schaltfläche für jedes der Lösungselemente vorgesehen, und Drücken der Schaltfläche startet die Navigation zum Umsetzen der Lösungen. In diesem Vorgang kann eine Nachricht, die zum Drücken der „Ändern“-Schaltfläche D131 auffordert, auf dem Bildschirm A131 im Betriebsnavigationsbildschirm 201 angezeigt werden.
• Die vom Benutzer beim Betreiben des Elektronenmikroskops 101 eingestellten Parametereinstellwerte enthalten Beschleunigungsspannung, Arbeitsabstand, Kondensorlinsenanregung, Porengröße eines beweglichen Objektivdiaphragmas, Vakuumgrad, Detektionssignal und dergleichen. Für den Benutzer ist es jedoch schwer zu wissen, was für ein Bild durch Einstellen welcher Werte als die Parametereinstellwerte erhalten wird. Zudem hat der Benutzer verschiedene Beobachtungsziele wie etwa den Wunsch der Beobachtung bei maximierter Auflösung, den Wunsch der Beobachtung der Oberfläche und den Wunsch der Beobachtung der Materialverteilung. Die meisten unerfahrenen Benutzer verwenden jedoch die Parametereinstellwerte, ohne zu wissen, dass es entsprechend dem Beobachtungsziel optimale Parametereinstellwerte gibt. Zudem führen die meisten unerfahrenen Benutzer Beobachtung unter Verwendung der gegenwärtig eingestellten Parametereinstellwerte durch, ohne die Parametereinstellwerte zu ändern, selbst wenn sich das Beobachtungsziel ändert. Solche eine Art der Verwendung kann jedoch nicht die volle Leistungsfähigkeit des Geräts nach sich führen.
• Daher werden in diesem Ausführungsbeispiel, anstatt dass der Benutzer die Parametereinstellwerte einstellt, optimale Parametereinstellwerte automatisch entsprechend dem vom Benutzer ausgewählten Beobachtungsziel (Beobachtungszieländerung) eingestellt. Es sei bemerkt, dass Optionen für das Beobachtungsziel die Beobachtungsbedingungen sind, die vom Benutzer oft verwendet werden oder deren Verwendung oft von ihm/ihr gewünscht wird. Vorzugsweise ist die Anzahl von Bedingungen, die auch von einem unerfahrenen Benutzer erkannt und ausgewählt werden können, ungefähr fünf, einschließlich Analyse. In diesem Ausführungsbeispiel sind „Standardbeobachtung“, „Beobachtung mit Betonung auf Oberflächenstruktur“, „Beobachtung mit Betonung auf Oberflächenstruktur und Materialverteilung“, „Beobachtung mit Betonung auf Materialverteilung“ und „Beobachtung mit Elementenanalyse“ als die Beobachtungsziele eingestellt.
• Wenn es sechs oder mehr Optionen gibt, ist es für den unerfahrenen Benutzer schwierig, einen Unterschied zwischen erhaltenen Bildern zu erkennen und ein geeignetes Beobachtungsziel auszuwählen. Es sei bemerkt, dass die zu verwendenden Parametereinstellwerte zwischen Hochvakuum-Beobachtung und Niedrigvakuum-Beobachtung unterscheiden. Daher werden die fünf Beobachtungsziele, aus denen sich ein klarer Unterschied im Bild ergibt, sowohl für die Hochvakuum-Beobachtung als auch für die Niedrigvakuum-Beobachtung bereitgestellt.
• Es sei bemerkt, dass die Anzahl von einzustellenden Beobachtungszielen mit der Anzahl von Detektoren 10 (1) wie etwa einem Sekundärelektronendetektor, einem BSE-Detektor (Back Scattered Electron) und einer EDX-Vorrichtung (Energy Dispersive X-ray) oder der Art des enthaltenen Detektors 10 variieren kann.
• 17 ist ein Diagramm, das Inhalte zeigt, die bei Änderung des Beobachtungsziels angezeigt werden.
• Wenn die „Ändern“-Schaltfläche D131 in 16 gedrückt wird, wird der Beobachtungsziel-Änderungsbildschirm 304 vor dem Betriebsbildschirm 200 angezeigt, wie in 17 gezeigt ist. Hier wird die Beschreibung davon weggelassen, weil die Konfiguration des Betriebsbildschirms 200 die gleiche ist wie die in 16 gezeigte.
• Eine Beobachtungsziel-Einstellschaltfläche E141 wird in dem Beobachtungsziel-Änderungsbildschirm 304 angezeigt. In der Beobachtungsziel-Einstellschaltfläche E141 werden Kandidaten von Beobachtungszieländerungen beschrieben.
• Darüber hinaus werden auf der linken Seite des Beobachtungszieländerungsbildschirms 304 eine Legende E145a einer Radarkarte und ein Schemadiagramm E145b einer simulierten Probe für das hervorgehobene Bild E142 angezeigt. Die Legende E145a der Radarkarte gibt Legenden einer Radarkarte (Charakteristikenindikator für Beobachtungsbedingungen) E144 an, die auf jeder Beobachtungsziel-Einstellschaltfläche E141) angezeigt wird.
• Wie in der Legende E145a der Radarkarte angezeigt sind die Charakteristiken des Bildes so definiert, dass sie drei Achsen, „geeignet für hohe Vergrößerung“, „Betonung auf Oberflächenstruktur“ und „Betonung auf Materialunterschied“ aufweisen. Jede der Achsen ist unter Verwendung einer Dreipunkte-Skala dargestellt. Je weiter zum Außenbereich der Radarkarte E144 hin gelegen, desto signifikanter sind die Charakteristiken auf jeder Achse. Wenn jede der Achsen unter Verwendung einer Skala von vier Punkten oder mehr dargestellt wird, wird eine präzisere Radarkarte verwirklicht.
• „Geeignet für hohe Vergrößerung“ in der Legende E145a der Radarkarte gibt einen Grad einer Hochauflösungsbeobachtungsbedingung an. Wenn zum Beispiel der Benutzer eine Beobachtung bei einer Vergrößerung von einigen Zehntausend oder mehr durchführt, wird das Element von „geeignet für hohe Vergrößerung“ in der Radarkarte E144 desto weiter nach außen markiert, je schärfer das Bild ist. Die Parametereinstellwerte für das Elektronenmikroskop 101 enthalten Beschleunigungsspannung, Arbeitsabstand, Kondensorlinsenanregung, Porengröße eines beweglichen Objektivdiaphragmas, Vakuumgrad, Detektionssignal und dergleichen. Zusätzlich zu diesen Parametereinstellwerten enthalten Bedingungen zur Betrachtung bei hoher Vergrößerung das Erhöhen der Beschleunigungsspannung, das Erhöhen der Kondensorlinsenanregung, das Verringern der Porengröße des beweglichen Objektivdiaphragmas, das Verringern des Arbeitsabstands, das Erhöhen des Vakuumgrads und das Verwenden von Sekundärelektronen als das Detektionssignal.
• „Betonung auf Oberflächenstruktur“ in der Legende E145a der Radarkarte gibt einen Grad von Bedingungen zum Ermöglichen von Beobachtung in drei Dimensionen durch Betonen einer unebenen Struktur auf der Probenoberfläche an. Die Beobachtungsbedingung zum Betonen der unebenen Struktur auf der Probenoberfläche enthält hauptsächlich das Verringern der Beschleunigungsspannung und das Verwenden von sekundären Elektronen als das Detektionssignal.
• „Betonung auf Materialunterschied“ in der Legende E145a der Radarkarte gibt einen Grad von Bedingungen zum Betonen von Materialunterschied in einer Probe mit verschiedenen darin vermischten Materialien an. Die Beobachtungsbedingung zum Betonen des Materialunterschieds enthält hauptsächlich das Verwenden von rückgestreuten Elektronen als das Detektionssignal. In Bezug auf die rückgestreuten Elektronen weist ein Element mit größerer Atomzahl eine höhere Reflektivität auf. Daher führt die Erzeugung vieler Signale zu einem helleren Bild. Der Materialunterschied kann durch eine Differenz im Kontrast dargestellt werden.
• Wie oben beschrieben sind „geeignet für hohe Vergrößerung“, „Betonung auf Oberflächenstruktur“ und „Betonung auf Materialunterschied“ inkompatible Parametereinstellwerte. Daher ist es für ein bestimmtes Beobachtungsziel im Allgemeinen nicht der Fall, dass alle Parametereinstellwerte in der Radarkarte E144 die höchsten Werte aufweisen. Falls insbesondere ein bestimmter Parametereinstellwert gut ist, werden die anderen Parametereinstellwerte relativ schwach. Daher können die Charakteristiken (Vorteile und Nachteile) des Beobachtungsziels visuell leicht erkannt werden, indem die Charakteristiken des Beobachtungsziel wie in diesem Ausführungsbeispiel in der Radarkarte gezeigt werden.
• Es sei bemerkt, dass fünf oder mehr Achsen in der Radarkarte vorgesehen werden können, indem Elemente wie etwa „Aufladungsverringerung (Unterdrückung)“ und „Strahlschädenverringerung (Unterdrückung)“ hinzugefügt werden.
• „Aufladungsverringerung (Unterdrückung)“ gibt eine Beobachtungsbedingung an, unter der Aufladung durch Verengen des Primärelektronenstrahls 2 (1) und damit Verringern des Bestrahlungsstroms verringert werden kann. Die Beobachtungsbedingung zum Verringern (Unterdrücken) der Aufladung enthält hauptsächlich das Verringern der Beschleunigungsspannung, das Erhöhen der Kondensorlinsenanregung, das Verwenden der rückgestreuten Elektronen als das Detektionssignal und das Verringern des Vakuumgrads. Als ein Verfahren von Erhalten von Bildern in diesem Fall werden mehr als ein Bild durch schnelles Abtasten erhalten, und die Zusammensetzung wird durch Überlappen der erhaltenen Bilder zur Bildung eines Bildes durchgeführt.
• „Strahlschädenverringerung (Unterdrückung) gibt eine Beobachtungsbedingung an, unter der Strahlschäden an einer wärmeempfindlichen Probe durch Verengen des Primärelektronenstrahls 2 und Verringern des Bestrahlungsstroms verringert werden können. Die Beobachtungsbedingung zum Verringern (Unterdrücken) der Strahlschäden enthält hauptsächlich das Verringern der Beschleunigungsspannung und das Erhöhen der Kondensorlinsenanregung.
• Hierbei ist der Charakteristikenindikator für Beobachtungsbedingungen nicht auf die Radarkarte beschränkt. Zum Beispiel können die Elemente „geeignet für hohe Vergrößerung“, „Betonung auf Oberflächenstruktur“ und „Betonung auf Materialunterschied“ unter Verwendung von Zahlen wie etwa Prozentzahlen, unter Verwendung von Grafiken wie etwa Balkendiagrammen, unter Verwendung von Wörtern wie etwa „gut“, „moderat“ und „schlecht“ oder unter Verwendung von Symbolen wie etwa ⊚, ○ und Δ ausgedrückt werden.
• Das Schemadiagramm E145b der simulierten Probe ist ein Schemadiagramm einer simulierten Probe, die durch Kombinieren von bezüglich Form und Qualität verschiedenen Materialien erhalten wurde. Das Schemadiagramm ermöglicht die Erkennung von Charakteristiken eines Beobachtungszielbildes in dem später zu beschreibenden hervorgehobenen Bild E142 mit einem Blickpunkt. Obwohl verschiedene Faktoren in einem Beobachtungsbild einer tatsächlichen Probe vermischt sind, ermöglicht die Anzeige des Schemadiagramms E145b der simulierten Probe ein Verständnis der Bedeutung des hervorgehobenen Bildes E142.
• Im Schemadiagramm E145b der simulierten Probe werden zur einfacheren Unterscheidung zwischen Formen drei in ihrer Form verschiedene Materialien verwendet, d.h. ein säulenförmiges Material A und ein prismaförmiges Material B werden auf einem Material C, das ein Substrat ist, platziert. Das Material A kann hier anstelle der säulenförmigen Form eine Halbkugelform aufweisen. Auch das Material B kann eine quadratförmig abgeschnittene Pyramidenform anstelle der Prismaform aufweisen. Darüber hinaus kann eine Substratoberfläche des Materials C eine Unebenheit aufweisen, anstatt dass es flach und glatt ist, so dass bei einer Beobachtung mit Betonung auf der Oberflächenstruktur eine unebene Struktur beobachtet werden kann.
• Wenn in Bezug auf die Materialqualität rückgestreute Elektronen als das Detektionssignal verwendet werden, weisen die drei Materialien verschiedene Elemente auf, um so einen Unterschied im Schwarz-Weiß-Kontrast klarzustellen, und zwei der Elemente sind ein leichtes Element und ein schweres Element. Insbesondere wird in diesem Ausführungsbeispiel angenommen, dass das Material A Gold und damit ein schweres Element ist, das Material B Aluminium ist und das Material C Kohlenstoff oder dergleichen und damit ein leichtes Element ist. Daher kann mit der Beobachtungsziel-Einstellschaltfläche E141 auf „Beobachtung mit Betonung auf Materialverteilung“ ein hervorgehobenes Bild E142 angezeigt werden, in dem die Materialien jeweils in „schwarz“, „Zwischenfarbe, d.h. „grau“ und „weiß“ angezeigt werden. Es sei bemerkt, dass auch bezüglich Anzeigefarben von Materialien im Schemadiagramm E145b der simulierten Probe Materialien A, B und C jeweils in gold, grau und schwarz oder dergleichen angezeigt werden können, so dass die Elemente leicht erkannt werden können.
• Auf dem Beobachtungsziel-Änderungsbildschirm 304 sind fünf Beobachtungsziel-Einstellschaltflächen E141 von oben nach unten angeordnet, d.h. „Standardbeobachtung“, „Beobachtung mit Betonung auf Oberflächenstruktur“, „Beobachtung mit Betonung auf Oberflächenstruktur und Materialverteilung“, „Beobachtung mit Betonung auf Materialverteilung“ und „Beobachtung mit Elementenanalyse“ sind in dieser Reihenfolge von oben angeordnet. Es sei bemerkt, dass das gleiche für das Beobachtungsziel bei Niedrigvakuum-Beobachtung gilt, obwohl 17 das Beobachtungsziel bei Hochvakuum-Beobachtung als ein Beispiel zeigt. Bis zu fünf Beobachtungsziele sind von oben nach unten angeordnet.
• Das oberste Beobachtungsziel „Standardbeobachtung“ ist ein voreingestelltes Beobachtungsziel und weist eine Beobachtungsbedingung auf, unter der eine unebene Struktur auf der Probenoberfläche selbst bei hoher Vergrößerung mit Schärfe erhalten werden kann, was die Grundlage der SEM-Beobachtung (Scanning Electron Microscope) ist. Mit anderen Worten weist die „Standardbeobachtung“ Bedingungen auf, unter denen sogar ein unerfahrener Benutzer, der nicht weiß, welche Bedingungen für eine leitfähige Probe geeignet sind, leicht und unverzüglich zufriedenstellende Daten erhalten kann. Durch die Erfahrung des leichten Erfassens unter Verwendung solch einer Beobachtungsbedingung wird der unerfahrene Benutzer hoch motiviert bei der Verwendung des Geräts, was zu der Erwartung führt, dass im Benutzer größerer Ehrgeiz entfacht wird. Die Beobachtungsbedingung, unter der eine unebene Struktur auf der Probenoberfläche selbst bei hoher Vergrößerung mit Schärfe erhalten werden kann, ist eine Bedingung, die hohe Auflösung erlaubt. Unter Verwendung solch einer Beobachtungsbedingung kann der Benutzer relativ leicht ein Bild mit hoher Vergrößerung erhalten, zum Beispiel ein hundertausendfaches Bild ohne auf die Vergrößerung zu achten. Spezifische Parametereinstellwerte sind beispielsweise wie folgt: die Beschleunigungsspannung beträgt 15 kV, der Arbeitsabstand ist 5 mm, die Kondensorlinsenanregung ist stark, die Porengröße des beweglichen Objektivdiaphragmas ist gering, der Vakuumgrad ist hoch und sekundäre Elektronen werden als das Detektionssignal verwendet. Hierbei sind die Beschleunigungsspannung und das Detektionssignal wichtige Parametereinstellwerte. Theoretisch ist die Auflösung höher, je größer die Beschleunigungsspannung ist.
• Die Sekundärelektronen haben eine schwache Energie von einigen eV und können lediglich von ungefähr 10 nm von der Probenoberfläche aus erzeugt werden. Daher kann durch Verwenden der Sekundärelektronen als das Detektionssignal ein Bild, in dem die unebene Struktur auf der Oberfläche stärker reflektiert ist, erhalten werden. Ein SEM-Mikroskop kann normalerweise Beobachtungen mit einer Beschleunigungsspannung von bis zu 30 kV ausführen. Falls die Beschleunigungsspannung jedoch zu hoch ist, dringt der Primärelektronenstrahl 2 zu tief in eine tatsächliche Probe ein. Im Ergebnis wird interne Information in den durch die Ausstrahlung des Elektronenstrahls emittierten Sekundärelektronen vermischt. Daher wird es schwierig, ein Bild zu erhalten, in dem die unebene Struktur auf der Probenoberfläche reflektiert ist. Aus diesem Grund steht in der Radarkarte E144 von „Standardbeobachtung“ zum Detektieren der Sekundärelektronen bei der Beschleunigungsspannung von 15 kV „geeignet für hohe Vergrößerung“ durch die Beobachtung der Beschleunigungsspannung von 15 kV auf der höchsten Stufe. Zugleich steht „Betonung auf Oberflächenstruktur“ auf der niedrigsten Stufe, da die Beschleunigungsspannung 15 kV beträgt, und „Betonung auf Materialunterschied“ steht in der niedrigsten Stufe, da die Sekundärelektronen als das Detektionssignal verwendet werden. Es sei bemerkt, dass, wenn beispielsweise eine Vierpunktskalen-Radarkarte verwendet wird, „geeignet für hohe Vergrößerung“ auf der höchsten Stufe steht, „Betonung auf Oberflächenstruktur“ in der zweiten Stufe von unten steht und „Betonung auf Materialunterschied“ in der niedrigsten Stufe steht.
• Das zweithöchste Beobachtungsziel „Beobachtung mit Betonung auf Oberflächenstruktur“ weist eine Beobachtungsbedingung auf, unter der kleinste Unebenheit auf der Probenoberfläche, die bei „Standardbeobachtung“ schwierig zu beobachten ist, besser in drei Dimensionen angezeigt werden kann. Spezifische Parametereinstellwerte sind wie folgt, beispielsweise: die Beschleunigungsspannung ist 5 kV, der Arbeitsabstand ist 5 mm, die Kondensorlinsenanregung ist stark, die Porengröße des beweglichen Objektivdiaphragmas ist gering, der Vakuumgrad ist hoch und sekundäre Elektronen werden als das Detektionssignal verwendet. „Beobachtung mit Betonung auf Oberflächenstruktur“ unterscheidet sich von „Standardbeobachtung“ darin, dass die Beschleunigungsspannung von 15 kV auf 5 kV geändert wird. Wenn die Beschleunigungsspannung von 15 kV auf 5 kV geändert wird, wird die Auflösung verringert und die Vergrößerung zum Erhalten eines scharfen Bildes wird auf ungefähr das 50000-fache eingestellt. Daher wird „geeignet für hohe Vergrößerung“ in der Radarkarte E144 (Legende E145a) im Vergleich mit „Standardbeobachtung“ herabgesetzt und kommt in die geringste Stufe.
• Da zudem der Primärelektronenstrahl 2 weniger tief in die Probe eindringt, wird ein Bild mit mehr Betonung auf der unebenen Struktur der Probenoberfläche erhalten. In diesem Fall kommt „Betonung auf Oberflächenstruktur“ in der Radarkarte E144 in die höchste Stufe bei „Beobachtung mit Betonung auf Oberflächenstruktur“. Zugleich bleibt „Betonung auf Materialunterschied“ in der niedrigsten Stufe, da das Detektionssignal das gleiche ist. Es sei bemerkt, dass, wenn beispielsweise eine Vierpunktskalen-Radarkarte verwendet wird, „geeignet für hohe Vergrößerung“ in die zweite Stufe von unten kommt, „Betonung auf Oberflächenstruktur“ in die höchste Stufe kommt und „Betonung auf Materialunterschied“ in die niedrigste Stufe kommt. Zudem wird nur für dieses Beobachtungsziel ein Verfahren eingestellt, bei dem das Auftreten von Aufladung weniger wahrscheinlich ist. Zum Beispiel wird zum Bilden eines Bildes durch Überlappen von durch Schnellabtasten erhaltenen Bildern Integration oder dergleichen verwendet.
• Das Beobachtungsziel „Beobachtung mit Betonung auf Oberflächenstruktur und Materialunterschied“ an der dritten Stelle von oben weist eine Beobachtungsbedingung auf, unter der Materialunterschied durch Kontrast in Helligkeit/Dunkelheit oder dergleichen angezeigt werden kann, obwohl die Auflösung im Vergleich mit dem bei „Beobachtung mit Betonung auf Materialunterschied“ erhaltenen Bild verringert ist. Zudem weist „Beobachtung mit Betonung auf Oberflächenstruktur und Materialunterschied“ eine Beobachtungsbedingung auf, unter der kleinste Unebenheit auf der Probenoberfläche besser in drei Dimensionen angezeigt werden kann. Spezifische Parametereinstellwerte sind beispielsweise wie folgt: Die Beschleunigungsspannung ist 5 kV, der Arbeitsabstand ist 5 mm, die Kondensorlinsenanregung ist im mittleren Bereich, die Porengröße des beweglichen Objektivdiaphragmas ist gering, der Vakuumgrad ist hoch und rückgestreute Elektronen werden als das Detektionssignal verwendet. „Beobachtung mit Betonung auf Oberflächenstruktur und Materialverteilung“ unterscheidet sich von „Standardbeobachtung“ darin, dass die Beschleunigungsspannung von 15 kV auf 5 kV geändert wird, die rückgestreuten Elektronen als das Detektionssignal verwendet werden und die Kondensorlinsenanregung leicht verringert ist. Durch Ändern der Beschleunigungsspannung von 15 kV auf 5 kV wird ein Bild mit mehr Betonung auf der unebenen Struktur der Probenoberfläche erhalten, auch wenn die Auflösung verringert ist.
• Die Beobachtung unter Verwendung der rückgestreuten Elektronen ermöglicht das Ausdrücken eines Materialunterschieds durch eine Kontrastdifferenz. Daher kommt „geeignet für hohe Vergrößerung“ in die geringste Stufe in der Radarkarte E144 für „Beobachtung mit Betonung auf Oberflächenstruktur und Materialverteilung“. Zugleich kommt „Betonung auf Oberflächenstruktur“ in die zweite Stufe von oben, die geringer ist als im Fall bei der Verwendung von Sekundärelektronen aber relativ hoch ist, und „Betonung auf Materialunterschied“ kommt in die höchste Stufe. Es sei bemerkt, dass, wenn beispielsweise eine Vierpunktskalen-Radarkarte verwendet wird „geeignet für hohe Vergrößerung“ in die zweite Stufe von unten kommt, „Betonung auf Oberflächenstruktur“ in die zweite Stufe von oben kommt und „Betonung auf Materialunterschied“ in die höchste Stufe kommt.
• Das Beobachtungsziel „Beobachtung mit Betonung auf Materialverteilung“ an der vierten Stelle von oben weist eine Beobachtungsbedingung auf, unter der Materialunterschied durch Kontrast in Helligkeit/Dunkelheit oder dergleichen bei einer aus verschiedenen Materialien wie etwa einem Verbundmaterial oder einem Fremdmaterial hergestellten Probe angezeigt werden kann. Spezifische Parametereinstellwerte sind beispielsweise wie folgt: die Beschleunigungsspannung ist 15 kV, der Arbeitsabstand ist 5 mm, die Kondensorlinsenanregung ist im mittleren Bereich, die Porengröße des beweglichen Objektivdiaphragmas ist gering, der Vakuumgrad ist hoch und rückgestreute Elektronen werden als das Detektionssignal verwendet. „Beobachtung mit Betonung auf Materialverteilung“ unterscheidet sich von „Standardbeobachtung“ darin, dass die rückgestreuten Elektronen als das Detektionssignal verwendet werden, die Kondensorlinsenanregung leicht verringert ist, um den Bestrahlungsstrom zu erhöhen. Die rückgestreuten Elektronen sind dadurch gekennzeichnet, dass der Materialunterschied durch eine Kontrastdifferenz ausgedrückt werden kann. Je schwerer das Material ist, desto höher ist die Reflektivität. Da mehr Signale erzeugt werden, werden die Bilder heller. Demgemäß kann der Materialunterschied durch den Kontrast in Helligkeit/Dunkelheit oder dergleichen angezeigt werden.
• Da die rückgestreuten Elektronen näherungsweise die gleiche Energie aufweisen wie die einfallenden Elektronen, werden auch innerhalb der Probe erzeugte rückgestreute Elektronen detektiert. Aus diesem Grund wird interne Information im Vergleich zu den Sekundärelektronen vermischt, was zu schlechterer Auflösung führt. Daher kommt in der Radarkarte E144 für „Beobachtung mit Betonung auf Materialverteilung“, „geeignet für hohe Vergrößerung“ in die zweithöchste Stufe, die geringer als „Standardbeobachtung“ ist. Zugleich kommt „Betonung auf Oberflächenstruktur“ in die geringste Stufe und „Betonung auf Materialunterschied“ kommt in die höchste Stufe. Es sei bemerkt, dass, wenn beispielsweise eine Vierpunktskalen-Radarkarte verwendet wird, „geeignet für hohe Vergrößerung“ in die zweite Stufe von oben kommt, „Betonung auf Oberflächenstruktur“ in die niedrigste Stufe kommt und „Betonung auf Materialunterschied“ in die höchste Stufe kommt.
• Das Beobachtungsziel „Beobachtung mit Elementenanalyse“ ganz unten weist eine Beobachtungsbedingung zum Ausführen von EDX-Analyse durch Erhöhen der Größe des Primärelektronenstrahls 2 und Erhöhen des Bestrahlungsstroms auf. Bei „Beobachtung mit Elementenanalyse“ kann Materialunterschied durch den Kontrast in Helligkeit/Dunkelheit oder dergleichen angezeigt werden. Die Elementenanalyse kann durch Ausführen von Betriebsvorgängen auf der Seite des EDX-Geräts nach der Suche nach einer Stelle für die EDX-Analyse und Anpassen des Fokus und dergleichen unter der oben beschriebenen Beobachtungsbedingung ausgeführt werden. Spezifische Parametereinstellwerte sind beispielsweise wie folgt: Die Beschleunigungsspannung ist 15 kV, der Arbeitsabstand ist 10 mm, die Kondensorlinsenanregung ist schwach, die Porengröße des beweglichen Objektivdiaphragmas ist gering, der Vakuumgrad ist hoch und rückgestreute Elektronen werden als das Detektionssignal verwendet. „Beobachtung mit Elementenanalyse“ unterscheidet sich von „Standardbeobachtung“ darin, dass die Anregung der Kondensorlinse so verringert ist, dass sie sehr schwach ist, und der Bestrahlungsstrom erhöht ist, um die Anzahl von von der Probe erzeugten Röntgenstrahlen zu erhöhen. Darüber hinaus werden, da die Elementenanalyse durch Reflektieren von Materialunterschied ausgeführt wird, die rückgestreuten Elektronen als Detektionssignal verwendet, und der Arbeitsabstand ist auf 10 mm geändert, um von der Probe erzeugte Röntgenstrahlen effizient zu empfangen. In dem Fall, dass kein Detektor für rückgestreute Elektronen angebracht ist, können jedoch die Sekundärelektronen als das Detektionssignal verwendet werden. Obwohl 17 lediglich Spektralanzeige zeigt, können eine Radarkarte E144 oder ein hervorgehobenes Bild E142 wie im Fall der anderen Beobachtungsziele angezeigt werden. Im Fall der Anzeige einer Radarkarte wird, obwohl eine Radarkarte E144 der für „Beobachtung mit Betonung auf Materialverteilung“ ähnelt, „geeignet für hohe Vergrößerung“ leicht herabgestuft im Vergleich mit „Beobachtung mit Betonung auf Materialverteilung“.
• Wenn beispielsweise eine Vierpunktskalen-Radarkarte verwendet wird, kommt „geeignet für hohe Vergrößerung“ in die zweite Stufe von unten, „Betonung auf Oberflächenstruktur“ kommt in die niedrigste Stufe und „Betonung auf Materialunterschied“ kommt in die höchste Stufe.
• Es sei bemerkt, dass Schaltflächen zum Anzeigen detaillierter Beobachtungsbedingungen jeweils für fünf Beobachtungsziel-Einstellschaltflächen E141 vorgesehen sind. Wenn eine dieser Schaltflächen gedrückt wird, werden Charakteristiken und spezifische Parametereinstellwerte des entsprechenden Beobachtungsziels angezeigt. Die Parametereinstellwerte in diesem Fall enthalten die Beschleunigungsspannung, den Arbeitsabstand, die Kondensorlinse (Punktintensität), das bewegliche Objektivdiaphragma, das Detektionssignal, den Vakuumgrad, das Bilderfassungsverfahren und dergleichen. Dies erfüllt das Bedürfnis des Benutzers, spezifische Parametereinstellwerte der Beobachtungsbedingung zu kennen.
• Eine solche Information der Beobachtungsziel-Einstellschaltfläche E141 wird in der Speichervorrichtung 21 unter Zuordnung zu den Hilfsschaltflächen B122 in 15 vorab gespeichert. Das Betriebsprogramm 31 wird dazu ausgeführt, die Beobachtungsziel-Einstellschaltfläche E141 entsprechend der gedrückten Hilfsschaltfläche B122 auszuwählen und die ausgewählte Schaltfläche auf der Bildanzeigevorrichtung 18 anzuzeigen.
• Es sei bemerkt, dass das Betriebsprogramm 31 dazu eingerichtet sein kann, auf einen Betriebsverlauf Bezug zu nehmen und eine vorbestimmte Beobachtungsziel-Einstellschaltfläche E141 (beispielsweise die einmal gedrückte Beobachtungsziel-Einstellschaltfläche E141) basierend auf dem Betriebsverlauf zu verbergen.
• Wenn der Benutzer eine der Beobachtungsziel-Einstellschaltflächen E141 drückt, wird die gedrückte Beobachtungsziel-Einstellschaltfläche E141 invertiert dargestellt (Bezugszeichen E141a). Anschließend wird das Betriebsprogramm 31 dazu ausgeführt, die Beobachtungsbedingung gemäß den Inhalten einzustellen, die in der gedrückten Beobachtungsziel-Einstellschaltfläche E141 beschrieben sind. In dem Beispiel des Bezugszeichens E141a ist die Beobachtungsbedingung von „Betonung auf Oberflächenstruktur“ eingestellt. Es sei bemerkt, dass die anzuzeigende Beobachtungsziel-Einstellschaltfläche E141 mit dem Zustand der Probe 9 variieren kann, wie beispielsweise „Beschichtung“ und „Nicht-Beschichtung“. Der Zustand der Probe 9 wird durch den Benutzer beispielsweise in dem in 4 gezeigten Schritt eingegeben.
• Das Betriebsprogramm 31 wird dazu ausgeführt, die Beobachtungsbedingung einzustellen, indem auf eine in der Speichervorrichtung 21 gespeicherte Beobachtungsbedingungs-Einstelltabelle 41 (18) Bezug genommen wird.
• Es sei bemerkt, dass in dem Betriebsschritt in 17 der Beobachtungsziel-Änderungsbildschirm 304 Information über die Probe 9 wie beispielsweise „Beschichtung“ und „Nicht-Beschichtung“ und dergleichen anzeigen kann.
• Außerdem kann das Betriebsprogramm 31 dazu ausgeführt werden, wie in 17 gezeigt, dass auf dem Beobachtungsziel-Änderungsbildschirm 304 Erklärungstabulatoren E143 für „Beschichtungsprobe / Hochvakuummodus“ und „nicht beschichtete Probe / Niedrigvakuummodus“ angezeigt werden. Zum Beispiel wird das Betriebsprogramm 31, wenn der Benutzer den Erklärungstabulator E143a für „nicht beschichtete Probe / Niedrigvakuummodus“ auswählt, dazu ausgeführt, dass auf dem Beobachtungsziel-Änderungsbildschirm 304 Information über eine Erklärung einer nicht beschichteten Probe, eine Erklärung einer Probe, die bevorzugt nicht beschichtet ist, Vorteile und Nachteile einer nicht erfolgten Beschichtung, eine Erklärung eines Verfahrens zum Einstellen eines Niedrigvakuummodus und dergleichen angezeigt werden.
• Ferner können, wie in 17 gezeigt, Parametereinstellwerte unter der Beobachtungsbedingung, die der Beobachtungsziel-Einstellschaltfläche E141 entsprechen, in einer Radarkarte E144 innerhalb der Beobachtungsziel-Einstellschaltfläche E141 angezeigt werden. Auf diese Weise kann der Benutzer leicht die Charakteristiken der Beobachtungsbedingungen in jeder der Beobachtungsziel-Einstellschaltflächen E141 bestätigen. Zudem kann wie in 17 gezeigt bei diesem Ausführungsbeispiel eine Radarkarte E144 für eine andere Beobachtungsziel-Einstellschaltfläche E141 ebenfalls im gleichen Bildschirm betrachtet werden. Auf diese Weise können die Beobachtungsziele leicht visuell verglichen werden und die Charakteristiken (Vorteile und Nachteile) jedes Beobachtungsziels können leicht visuell erfasst werden. Im Ergebnis kann sogar ein unerfahrener Benutzer leicht ein geeignetes Beobachtungsziel auswählen. Zudem wird, wie in 17 gezeigt bei diesem Ausführungsbeispiel die Legende E145a der Radarkarte ebenfalls durch drücken der Zielauswahl-Schaltfläche E142 geändert. Da die Beobachtungsziel-Einstellschaltfläche für „Beobachtung mit Betonung auf Oberflächenstruktur und Materialverteilung“ eingestellt ist, zeigt in 17 die Legende E145a der Radarkarte ebenfalls die Charakteristiken von „Beobachtung mit Betonung auf Oberflächenstruktur und Materialverteilung“ an. Falls eine andere Beobachtungsziel-Einstellschaltfläche E141 eingestellt wird, wird auch die Anzeige der Legende E145a der Radarkarte umgeschaltet. Daher kann der Benutzer visuell und leicht eine Änderung in den Charakteristiken der Beobachtungsbedingung mit einer Änderung im Beobachtungsziel erkennen.
• 18 ist ein Diagramm, das die Beobachtungsbedingungs-Einstelltabelle gemäß diesem Ausführungsbeispiel zeigt.
• Jeder Eintrag in der Beobachtungsbedingungs-Einstelltabelle 41 in 18 entspricht jeder der Beobachtungsziel-Einstellschaltflächen E141 und ist die Kombination von Parametereinstellwerten (Beschleunigungsspannung, Erfassungssignal und Abtastverfahren) für jedes Beobachtungsziel. Wie in 18 gezeigt, werden Beobachtungsziele wie „Unebenheit / klein / Sichtbarkeit“, „Unebenheit / groß / Sichtbarkeit“ und „Zusammensetzungsinformation / Sichtbarkeit“ unter Verwendung von ⊚, ○, Δ, × und dergleichen in der Beobachtungsbedingungs-Einstelltabelle 41 ausgewertet. Es sei bemerkt, dass das Auswertverfahren nicht auf ⊚, ○, Δ, × wie in 18 beschränkt ist, sondern dass Punktzahlen und dergleichen zur Auswertung verwendet werden können. Die Beobachtungsziel-Einstellschaltflächen E141 (17) werden auf Grundlage der Auswertung den Beobachtungszielen zugeordnet. Hier ist die Beobachtungsbedingung, wie oben beschrieben, die Kombination von Parametereinstellwerten, und das Beobachtungsziel ist der Einfluss der Beobachtungsbedingung auf Bilder, wie beispielsweise die Sichtbarkeit von Unebenheit.
• Hierbei gibt es in Fig. 17 fünf Beobachtungsziel-Einstellschaltflächen E141, während in 18 elf Beobachtungsziele eingestellt sind. Jemand, der das Beobachtungsziel einstellt, kann die Beobachtungsziel-Einstellschaltflächen E141 durch Auswählen von fünf für einen unerfahrenen Benutzer geeigneten Beobachtungszielen aus den in 18 eingestellten Beobachtungszielen einstellen.
• Wenn eine der Beobachtungsziel-Einstellschaltflächen E141 in 17 gedrückt wird, wird das Betriebsprogramm 31 dazu ausgeführt, Beobachtungsbedingungen unter Verwendung der Parametereinstellwerte in dem Eintrag in der Beobachtungsbedingungs-Einstelltabelle 41 entsprechend der gedrückten Beobachtungsziel-Einstellschaltfläche E141 einzustellen. Zum Beispiel wird das Betriebsprogramm 31 dazu ausgeführt, Beobachtungsbedingungen unter Verwendung der Parametereinstellwerte im Eintrag Nr. 1 mit guter Sichtbarkeit von kleinen Unebenheiten und großen Unebenheiten einzustellen. Die einzelnen Werte in der Beobachtungsbedingungs-Einstelltabelle 41 in 18 sind diejenigen, die zuvor angepasst werden, so dass ein Minimalniveaubild gemacht werden kann. Es sei bemerkt, dass die Parametereinstellwerte in der Beobachtungsbedingungs-Einstelltabelle 41 Strom, Arbeitsabstand, Vergrößerung und dergleichen neben Beschleunigungsspannung, Erfassungssignal und Abtastverfahren enthalten. Hier bedeutet in 18 SE (Sekundärelektron) Sekundärelektronen und BSE rückgestreute Elektronen. Es sei bemerkt, dass jeder Eintrag in der Beobachtungsbedingungs-Einstelltabelle 41 mit jeder der Beobachtungsbedingungs-Einstellschaltflächen E141 basierend auf vorbestimmter Korrespondenzinformation (Identifikationsinformation und dergleichen) verbunden ist. Die Identifikationsinformation weist beispielsweise Nr. in 18 und dergleichen auf.
• Einer der Einträge in der Beobachtungsziel-Einstelltabelle 41 ist als Standardbeobachtungsbedingung eingestellt. Daher kann eine Beobachtungsbedingung entsprechend einem Anpassungsbild ohne Betätigung durch den Benutzer eingestellt werden. Spezieller kann der Benutzer im Wesentlichen Erfassung durch reinen Automatikbetrieb durchführen und immer leicht ein Bild auf einem bestimmten Niveau erhalten. Daher kann sogar ein unerfahrener Benutzer die Erfassung leicht durchführen. Aufgrund der Erfahrung der leichten Erfassung wird der unerfahrene Benutzer hochmotiviert bei der Verwendung des Geräts, was größeren Ehrgeiz bei ihm/ihr entfacht.
• Außerdem wird ein hervorgehobenes Bild E142 in der Beobachtungsziel-Einstellschaltfläche E141 angezeigt.
• Das hervorgehobene Bild E142 ist ein Bild, in dem der Vergleich mit einem Standardbild, das unter der voreingestellten Beobachtungsbedingung „Standardbeobachtung“ beobachtet werden kann, hervorgehoben ist, und ist ebenfalls ein Bild, in dem in der Radarkarte gezeigte Parameter wiedergegeben werden.
• Das hervorgehobene Bild E142, das der Beobachtungsziel-Einstellschaltfläche E141 zugeordnet ist, wird in der Speichervorrichtung 21 vorab gespeichert. Beim Auswählen oder Anzeigen der Beobachtungsziel-Einstellschaltfläche E141 wird das Betriebsprogramm 31 dazu ausgeführt, das hervorgehobene Bild E142, das der Beobachtungsziel-Einstellschaltfläche E141 zugeordnet ist, zu erhalten oder anzuzeigen, wodurch das hervorgehobene Bild E142 angezeigt wird.
• Durch Anzeigen des hervorgehobenen Bildes E142 wie oben beschrieben, kann der Benutzer visuell erkennen, welche Art von Effekt durch Auswählen der entsprechenden Beobachtungsziel-Einstellschaltfläche E141 erzielt werden kann. In den Patentdokumenten 1 und 2 ist es für einen unerfahrenen Benutzer schwierig, einen Bildunterschied zu erkennen, der durch einen Unterschied zwischen den Beobachtungsbedingungen verursacht ist, weil der Benutzer Rohbilder vergleicht. Demgegenüber kann durch das Anzeigen des hervorgehobenen Bildes E142 wie in diesem Ausführungsbeispiel sogar ein unerfahrener Benutzer leicht den Effekt des Auswählens der Beobachtungsbedingungs-Einstellschaltfläche E141 erkennen.
• Hier wird als ein hervorgehobenes Bild E142a ein Standardbild angezeigt, um zu zeigen, dass die durchgeführte Beobachtung eine Standardbeobachtung ist. In einem hervorgehobenen Bild E142b werden Schattierungen betont, um die Oberflächenstruktur hervorzuheben. In einem hervorgehobenen Bild E142c werden Schattierungen betont, um einen Unterschied zwischen der Oberflächenstruktur und der Materialverteilung zu zeigen, und verschiedene Farben oder dergleichen werden jeweiligen Materialien zugeordnet. In einem hervorgehobenen Bild E142d werden verschiedene Farben und dergleichen jeweiligen Materialien zugeordnet, um einen Unterschied in der Materialverteilung zu zeigen. Ein hervorgehobenes Bild E142e ist ein graphisches Bild, um eine Elementenanalyse darzustellen.
• Es sei bemerkt, dass wie oben beschrieben eine Radarkarte E144 und ein hervorgehobenes Bild E142 bei „Beobachtung mit Elementenanalyse“ wie im Falle der anderen Beobachtungsziele angezeigt werden kann. Zum Beispiel kann eine Grafikanzeige (Spektralanzeige), die Elementenanalyse darstellt, überlappend mit einen hervorgehobenen Bild einer simulierten Probe, die der für die anderen Beobachtungsziele ähnelt, dargestellt werden.
• In dem hervorgehobenen Bild E142 wird der Zustand eines Bildes, das für das entsprechende Beobachtungsziel (Beobachtungsbedingung) genommen wurde, am meisten betont. Genauer gesagt wird als das hervorgehobene Bild E142 ein Bild verwendet, in dem der Zustand des Bildes visuell betont oder deformiert ist. Wie in 17 gezeigt, ist es bevorzugt und effektiv, einen Symbolblock, wie einen Quader und eine Säule, oder einen simplifizierten Graph als das hervorgehobene Bild E142 zu verwenden.
• Es sei bemerkt, dass die oben beschriebenen hervorgehobenen Bilder E142 ein Beispiel sind und andere hervorgehobene Bilder dargestellt werden können. Ferner kann das hervorgehobene Bild E142 in der Nähe der Beobachtungsziel-Einstellschaltfläche E141 statt auf der Beobachtungsziel-Einstellschaltfläche E141 wie in 17 gezeigt, angezeigt werden.
• Ferner kann das Betriebsprogramm 31 dazu eingerichtet sein, Information wie „nach Erfassung“ auf der Beobachtungsziel-Einstellschaltfläche E141, für die die Erfassung bereits erfolgt ist, anzuzeigen, indem auf den Betriebsverlauf zurückgegriffen wird. Daher kann der Benutzer das Beobachtungsziel, für das die Erfassung noch auszuführen ist, leicht auswählen.
• 19 ist ein Diagramm, das Inhalte anzeigt, die unmittelbar nach dem Drücken der Beobachtungsziel-Einstellschaltfläche E141a in 17 angezeigt werden.
• Wenn die Beobachtungsziel-Einstellschaltfläche E141a gedrückt wird, wird eine Mitteilung zur Aufforderung zum Drücken einer „Enter“-Schaltfläche E153 auf einem Bildschirm A151 im Betriebsnavigationsbildschirm 201 angezeigt.
• Dann kann eine spezielle Einstellschaltfläche E151 auf dem Beobachtungsziel-Änderungsbildschirm 304 angezeigt werden, der vor dem Operationsbildschirm 200 angezeigt wird.
• In dem in 19 gezeigten Beispiel wird die spezielle Einstellschaltfläche E151 angezeigt. Die spezielle Einstellschaltfläche E151 ist eine Schaltfläche für eine Einstellung, die nicht essenziell aber speziell ist (spezielle Einstellung).
• Wenn der Benutzer die spezielle Einstellschaltfläche E151 drückt, wird das Betriebsprogramm 31 dazu ausgeführt, auf die Speichervorrichtung 21 zuzugreifen. Dann wird das Betriebsprogramm 31 dazu ausgeführt, die spezielle Einstellinformation zu erhalten, die der speziellen Einstellschaltfläche E151 zugeordnet ist. Das Betriebsprogramm 31 wird auch dazu ausgeführt, auf dem Beobachtungsziel-Änderungsbildschirm 304 die erhaltene spezielle Einstellinformation in einer Spezialinformations-Anzeigeregion E152 anzuzeigen.
• In der Spezialinformations-Anzeigeregion E152 wird Information über die spezielle Einstellung angezeigt. In dem in 19 gezeigten Beispiel werden Inhalte bezüglich einer Beschichtung als die spezielle Einstellung angezeigt. In dem in 19 gezeigten Beispiel gibt es eine Beschriftung auf der speziellen Einstellschaltfläche E151, dass eine Beschichtungseinstellung vorgenommen werden kann. Wenn der Benutzer die spezielle Einstellschaltfläche E151 drückt, wird das Betriebsprogramm 31 dazu ausgeführt, in der Spezialinformations-Anzeigeregion E152 Information über Vorteile und Nachteile der Beobachtung, wenn Beschichtung durchgeführt wird, über Proben 9, die zur Beschichtung geeignet sind, und dergleichen anzuzeigen. Ferner wird das Betriebsprogramm 31 dazu ausgeführt, in der Spezialinformations-Anzeigeregion E152 ein Verfahren zur Beobachtung einer unbeschichteten Probe 9 (genauer einen Betriebsablauf zur Auswahl des Vakuumgrades zur Verschiebung zur Niedrigvakuumbeobachtung) und dergleichen anzuzeigen. Ferner kann zusammen mit der Information über die Beschichtung Information über ein Beschichtungsverfahren wie Ionenplattierung und Vakuumablagerung angezeigt werden.
• Wie oben beschrieben kann der Benutzer durch Anzeigen der speziellen Einstellschaltfläche E141 und der Spezialinformations-Anzeigeregion E152 die Beobachtung in einer Spezialeinstellung erkennen.
• Die spezielle Einstellschaltfläche E151 kann in jedem Beobachtungsziel-Änderungsbildschirm 304 angezeigt werden. Alternativ kann das Betriebsprogramm 31, wenn eine spezifische Beobachtungsziel-Einstellschaltfläche 141 (17) gedrückt wird, dazu ausgeführt werden, die spezielle Einstellschaltfläche E151 anzuzeigen, die in der Speichervorrichtung 21 in Verbindung mit der Beobachtungsziel-Einstellschaltfläche E141 gespeichert ist.
• Dann wird das Betriebsprogramm 31 dazu ausgeführt, auf die Beobachtungsbedingungs-Einstelltabelle 41 Bezug zu nehmen, wenn der Benutzer die „Eingabe“-Schaltfläche E153 auf dem Beobachtungsziel-Änderungsbildschirm 304 gemäß der Nachricht drückt, die auf dem Bildschirm A151 auf dem Operationsnavigationsbildschirm 201 angezeigt wird. Anschließend wird das Betriebsprogramm 31 dazu ausgeführt, in den Schaltungen 11 bis 17 (1) Parametereinstellwerte eines Eintrags entsprechend der gedrückten Beobachtungsziel-Einstellschaltfläche E141 als eine Beobachtungsbedingung einzustellen.
• Es sei bemerkt, dass das Betriebsprogramm 31 dazu ausgeführt wird, den Betriebsverlauf bis dahin in der Speichervorrichtung 21 wie benötigt zu speichern.
• In den folgenden 20 bis 37 werden eine detaillierte Beschreibung der gleichen Betriebsbildschirme 200 wie in den 4 bis 19 geeigneterweise weggelassen und nur Unterschiede zu den 4 bis 19 beschrieben.
• 20 ist ein Diagramm, das Inhalte zeigt, die unmittelbar nach Drücken der „Eingabe“-Schaltfläche E153 in 19 angezeigt werden. Es sei bemerkt, dass, wenn der Benutzer die „Eingabe“-Schaltfläche E153 in 19 drückt, das Betriebsprogramm 31 dazu ausgeführt wird, die Verarbeitung wieder zurück zu der Sichtfeldsuche und Vergrößerungsanpassung (S103 in 2) zu führen, und der Computer 19 erhält ein Bild für das ausgewählte Beobachtungsziel (Beobachtungsbedingung).
• Nachdem 20 die gleiche Bildschirmkonfiguration wie die in 7 hat, wird die Beschreibung jeder Bildschirmkonfiguration weggelassen. 20 unterscheidet sich von 7 darin, dass das in dem Bildanzeigeschirm 203 angezeigte Bild C51 das gleiche bleibt wie das in 16 gezeigte und darin, dass der Beobachtungsverlauf C121 im Bildanzeigeschirm 203 angezeigt wird.
• In Fig. 20 führt der Benutzer die Vergrößerungsanpassung und die Sichtfeldsuche in der gleichen Weise wie in 7 durch.
• Dabei kann das Betriebsprogramm 31, wenn der Benutzer eine Vergrößerung einstellt, die nicht einstellbar ist (eine Vergrößerung nicht geringer als oder nicht mehr als eine vorbestimmte Vergrößerung), dazu ausgeführt werden, eine Warnung auf der Bildanzeigevorrichtung 18 anzuzeigen.
• Zusammen mit dem geänderten Oberservationsziel wird die „gegenwärtiges Beobachtungsziel“-Anzeigeschaltfläche D51 von „Standardbeobachtung“ wie bisher (7) auf „Beobachtung mit Betonung der Oberflächenstruktur“ auf dem Betätigungsfeldbildschirm 204 geändert.
• 21 ist ein Diagramm, das Inhalte zeigt, die unmittelbar nach der Vergrößerungsanpassung und Sichtfeldsuche in 20 angezeigt werden.
• 21 zeigt einen Zustand, in dem die Vergrößerung erhöht ist (beispielsweise auf das 20000-fache) als Ergebnis der Vergrößerungsanpassung und Sichtfeldsuche in 20.
• Der in 21 gezeigte Betriebsbildschirm 200 ist der gleiche wie der in 20, außer dass ein Bild C171 in dem erhöhten Vergrößerungszustand in dem Bildanzeigeschirm 203 angezeigt ist und dass eine „manuelle Anpassung“-Schaltfläche D171 in dem Betätigungsfeldbildschirm 204 angezeigt wird.
• Hier dient die „manuelle Anpassung“ dazu, Helligkeit, Kontrast, Fokus und dergleichen manuell statt automatisch anzupassen, wie später näher erläutert.
• Wenn die „manuelle Anpassung“-Schaltfläche D171 gedrückt wird, werden eine manuelle Helligkeitsanpassungsschaltfläche, eine manuelle Kontrastanpassungschaltfläche, eine Fokusschaltfläche (beispielsweise Bezugszeichen C223 in 27), eine Fokus-X-Schaltfläche (beispielsweise Bezugszeichen C251 in 29), eine Fokus-Y-Schaltfläche (beispielsweise Bezugszeichen C271 in 31) und dergleichen angezeigt. Die „manuelle Anpassung“-Schaltfläche D171, die Fokusschaltfläche, die Fokus-X-Schaltfläche und die Fokus-Y-Schaltfläche sind Schaltflächen, die angezeigt werden können, wenn die Vergrößerung mindestens eine vorbestimmte Vergrößerung erreicht, und daher nicht angezeigt werden können, wenn die Vergrößerung die vorbestimmte Vergrößerung nicht übersteigt. Es sei bemerkt, dass, wenn die „manuelle Anpassung“-Schaltfläche D171 gedrückt wird, die manuelle Helligkeitsanpassungschaltfläche, manuelle Kontrastanpassungsschaltfläche, Fokusschaltfläche, Fokus-X-Schaltfläche, Fokus-Y-Schaltfläche alle angezeigt werden können, wenn die Vergrößerung nicht geringer als die vorbestimmte Vergrößerung ist. Andererseits werden alle diese Schaltflächen versteckt, wenn die Vergrößerung geringer als die vorbestimmte Vergrößerung ist.
• Hier wird die „manuelle Anpassung“-Schaltfläche D171 angezeigt, wenn die Vergrößerung nicht geringer als die vorbestimmte Vergrößerung ist. Unterdessen kann die Bildverschiebung als Mittel zur Bewegung des Sichtfelds angewandt werden, wenn die Vergrößerung nicht geringer als die vorbestimmte Vergrößerung ist. Andererseits, wird die Bewegung des Tisches als das Mittel zur Bewegung des Sichtfelds angewendet, wenn die Vergrößerung nicht über der vorbestimmten Vergrößerung liegt.
• Wie oben beschrieben, können durch Einstellen spezifischer Betriebselemente basierend auf vorbestimmten Bedingungen unnötige Betriebsvorgänge verhindert werden, um Fehler zu reduzieren.
• Es sei bemerkt, dass ein Vergrößerunganpassungsbereich gemäß dem Beobachtungsziel beschränkt werden kann. In einem solchen Fall, d.h., wenn eine gewünschte Vergrößerung für das gegenwärtige Beobachtungsziel nicht erhältlich ist, kann der Benutzer das Beobachtungsziel durch Drücken der Beobachtungsziel-Anderungsschaltfläche D172 auf dem Betätigungsfeldbildschirm 204 ändern.
• 22 ist ein Diagramm, das Inhalte zeigt, die bei der Autoanpassung angezeigt werden.
• 22 ist im wesentlichen gleich der 8, außer dass das Bild C171 mit erhöhter Vergrößerung, der Beobachtungsverlauf C121 und die „manuelle Anpassung“-Schaltfläche D171 (21) im Bildanzeigeschirm 203 angezeigt werden und deren Beschreibung daher weggelassen wurde.
• (S104)
• 23 ist ein Diagramm, das den Betriebsbildschirm während der Bildneuspeicherung (Erfassung) (S104) durch den Nutzer zeigt, nachdem die Autoanpassung beendet wurde.
• 23 ist im wesentlichen gleich der 9, außer dass das Bild C171 mit erhöhter Vergrößerung, der Beobachtungsverlauf C121 und die „manuelle Anpassung“-Schaltfläche D171 (21) im Bildanzeigeschirm 203 angezeigt werden und deren Beschreibung daher weggelassen wurde.
• Indem die gleiche Verarbeitung wie die in den 10 bis 14 gezeigte durchgeführt wird, wird ein unter der gegenwärtigen Beobachtungsbedingung erhaltenes Bild in der Speichervorrichtung 21 gespeichert.
• (S105 und S106)
• Als Nächstes sind die 24 bis 34 Diagramme, die Beispiele des Operationsbildschirms während der Neubestätigung durch den Benutzer, ob das gegenwärtige Bild OK. ist oder nicht (S105), und während der Neuanpassung und Neuänderung der Beobachtungsbedingungen durch den Benutzer (S106) zeigen.
• 24 ist ein Diagramm, das Inhalte zeigt, die nach der Bildspeicherung angezeigt werden.
• 24 zeigt das Bild C171 mit erhöhter Vergrößerung im Bildanzeigeschirm 203 und einen Beobachtungsverlauf C201 mit neuer Hinzufügung des 23 gespeicherten Bildes. Es sei bemerkt, dass obwohl das Bild C171 mit erhöhter Vergrößerung in 23 angezeigt wird, das Bild dann gespeichert wird, nachdem die Vergrößerung auf die ursprüngliche Vergrößerung wiederhergestellt wurde.
• Ferner wurde die Hilfsschaltfläche B122a in dem Anwendungshilfsbildschirm 202 in 15 nicht angezeigt und eine neue Hilfsschaltfläche B122c (B122) stattdessen angezeigt.
• Nachdem 24 im wesentlichen gleich der 15 ist, abgesehen von den oben beschriebenen Unterschieden, wird deren Beschreibung weggelassen.
• Es sei bemerkt, dass die durch das Betriebsprogramm 31 durchgeführte Verarbeitung zur Anzeige der Hilfsschaltflächen B122b und B122c die gleiche ist wie die unter Bezugnahme auf 15 beschriebene und das deren Beschreibung daher weggelassen wurde.
• An diesem Punkt wird die Beobachtung, wenn der Benutzer mit dem Bild zufrieden ist, dadurch beendet, dass der Benutzer die Ende-Schaltfläche A123 auf dem Betriebsnavigationsbildschirm 201 drückt.
• Als die durch die Hilfsschaltfläche B122c angezeigten Inhalte wird die Unebenheit oder dreidimensionale Erscheinung des Bilds verschlechtert im Vergleich zu während der Sichtfeldsuche (Abtastgeschwindigkeit: hoch) oder das Bild ist deformiert im Vergleich zu während der Sichtfeldsuche (Betriebsgeschwindigkeit: hoch) wie oben beschrieben.
• Es sei bemerkt, dass, obwohl die obigen Probleme in einer Niedrig-Auflösungs-Situation nicht auftreten, solche Probleme bei erhöhter Dichte des Bestrahlungsstrahls (Primärelektronenstrahl 2) oder dergleichen in einer Situation hoher Vergrößerung verursacht werden können.
• Der Grund, warum die Hilfsschaltfläche B122a (15) nicht angezeigt wird und stattdessen die neue Hilfsschaltfläche B122c in dem Anwendungshilfsbildschirm 202 angezeigt wird, besteht darin, dass das Betriebsprogramm 31 dazu ausgeführt wird, das Verarbeitungselement (hier die Hilfsschaltfläche B122a) zu verstecken, nachdem es einmal durchgeführt wurde, indem auf den in der Speichervorrichtung 21 gespeicherten Betriebsverlauf wie erforderlich Bezug genommen wird.
• Außerdem wird das Betriebsprogramm 31 dazu ausgeführt, die neue Hilfsschaltfläche B122c anzuzeigen, indem das gegenwärtige Bild C171 analysiert wird. Es sei bemerkt, dass die Verarbeitung die gleiche ist wie in 15.
• Hier drückt der Benutzer die Fortsetzerschaltfläche A122 und drückt ferner die Hilfsschaltfläche B122b.
• 25 ist ein Diagramm, das Inhalte zeigt, die in einer Zieländerung angezeigt werden.
• Der Benutzer stellt fest, dass das Bild etwas verschwommen ist, indem er das in der 24 gezeigte Bild C171 betrachtet und die Hilfsschaltfläche B122b drückt. Anschließend wird das Betriebsprogramm 31 dazu ausgeführt, einen Bildschirm B211 im Anwendungshilfsbildschirm 202 wie in 25 gezeigt anzuzeigen, um das Problem zu lösen, das in der Hilfsschaltfläche B122b beschrieben ist. Der Bildschirm B211 zeigt eine Nachricht, die zur Fokusanpassung in einem manuellen Anpassungsmodus auffordert. Ferner zeigt ein Bildschirm A211 im Betriebsnavigationsbildschirm 201 auch auf ähnliche Weise eine Nachricht, die zur manuellen Fokusanpassung durch Drücken einer „manuelle Anpassung“-Schaltfläche D211 auffordert.
• Nachdem die durch das Betriebsprogramm 31 erfolgte Verarbeitung zur Anzeige dieser Bildschirme A211 und B211 die gleiche ist wie die unter Bezugnahme auf 16 beschriebene, wird die Beschreibung davon weggelassen.
• Wenn der Benutzer die „manuelle Anpassung“-Schaltfläche D211 drückt, die im Betätigungsfeldbildschirm 204 hervorgehoben ist, wird das Betriebsprogramm 31 dazu ausgeführt, die Anzeigeinhalte in 26 auf der Bildanzeigevorrichtung 18 anzuzeigen.
• Es sei bemerkt, dass in den 25 bis 33 Unterelemente des Hauptelements „Bildbestätigung“ auf dem Betriebsnavigationsbildschirm 201 verschieden sind von denen in 8 und dergleichen, und Unterelemente zur manuellen Anpassung angezeigt werden.
• Die 26 bis 28 sind Diagramme, die Inhalte zeigen, die zur Fokusanpassung im manuellen Anpassungsbildschirm angezeigt werden.
• In 26 wird eine manuelle Anpassungsschaltfeldgruppe C222 in der Nähe eines Bildes C221 im Bildanzeigeschirm 203 (neben einer Bildanzeigeregion C224 im Beispiel in 26) angezeigt. Hier entspricht das Bild C221 dem Mittelabschnitt des Bildes C121 in 24 und dergleichen. Der Grund, warum nur der Mittelabschnitt (ein Teil) des Bildes C171 im Bild C221 angezeigt ist, ist der folgende. Um die Bildqualität und die daraus folgende Befähigung, die zur Anpassung des Fokus und dergleichen erforderlich ist, sicherzustellen, wird das Betriebsprogramm 31 dazu ausgeführt, das Bild C171 auf einen Beobachtungsabschnitt wie das Bild C221 zu reduzieren, um dadurch die Zeit zu reduzieren, die erforderlich ist, wenn die Abtastung wiederholt wird, während die Bildqualität bei einer niedrigen Abtastgeschwindigkeit verbessert ist (im Folgenden gilt das Gleiche für die 27 bis 33).
• Es sei bemerkt, dass in den 26 bis 33 die Bilder C221 und C231 reduziert und angezeigt werden. Jedoch ist die vorliegende Erfindung nicht darauf beschränkt, sondern die Bilder können so angezeigt werden, dass sie in das Fenster passen.
• Anschließend zeigt der Betriebsnavigationsbildschirm 201 Information an, die angibt, dass der gegenwärtige Betriebsschritt „Fokusanpassung“ in „3. Bildbestätigung“ ist. Ferner zeigt der Bildschirm A221 in dem Betriebsnavigationsbildschirm 201 eine Nachricht an, die zum Drücken der Fokusschaltfläche C223 auffordert.
• Ferner zeigt der Bildschirm B221 im Anwendungshilfsbildschirm 202 eine Nachricht an, die angibt, dass der Anzeigemodus in den „Bildanpassung“-Modus umgeschaltet wurde. Es sei bemerkt, dass der Bildschirm D41 im Betätigungsfeldbildschirm 204 auch anzeigt, dass der gegenwärtige Anzeigemodus der „Bildanpassung“-Modus ist. Nachdem die durch das Betriebsprogramm 31 durchgeführte Verarbeitung zum Umschalten des Anzeigemodus bereits unter Bezugnahme auf 7 beschrieben ist, wird die Beschreibung davon hier weggelassen.
• Wenn der Benutzer mit dem Mousecursor auch die Fokusschaltfläche C223 gemäß den Befehlen des Bildschirms A221 oder des Bildschirms B221 zeigt, wird die Fokusschaltfläche C223 wie in 26 gezeigt hervorgehoben und das Bild C221 (26) ändert sich zum Bild C231 (27).
• Anschließend wird, wenn der Benutzer die Fokusschaltfläche C223 drückt, die Fokusschaltfläche C223 invertiert wie in 27 gezeigt und ein Fokusschieber C232 zur Fokusanpassnung angezeigt.
• Der Benutzer bestimmt, ob eine Stigma-Anpassung erforderlich ist oder nicht, indem er den Fokusschieber C232 bewegt.
• Danach veranlasst der Computer 19, während der Benutzer den Fokusschieber C232 bewegt, dass die X-Richtungs-Stigmator-Steuerschaltung 13 und die Y-Richtungs-Stigmator-Steuerschaltung 14 den X-Richtungs-Stigmator 4 und den Y-Richtungs-Stigmator 5 gemäß einem Bewegungsabstand des Fokusschiebers C232 steuern, der durch die Eingabevorrichtung 23 eingegeben wurde.
• Das Bild C231 zeigt einen Zustand, in dem der Fokus des Bildes C221 (26) durch den Benutzer durch Bewegen des Fokusschiebers C232 verschoben ist.
• Hier zeigt ein Bildschirm A231 im Betriebsnavigationsbildschirm 201 in 27 ein Maß der Fokusanpassung an. Ferner wird in einem Referenzbild A232 im Bildschirm A231 eine geschätzte Änderung im Bild deformiert und angezeigt, wenn der Fokusschieber C232 bewegt wird.
• Anschließend drückt der Benutzer, wenn er bestätigt, dass das Bild nur in einer vorbestimmten Richtung vergrößert (gestreckt) werden soll, indem der Fokusschieber C232 bewegt wird, eine „Streckung“-Schaltfläche A233 in dem Bildschirm S231. Es sei bemerkt, dass, falls das Bild nicht gestreckt wird, obwohl der Fokusschieber S232 bewegt wird, der Benutzer eine „keine Streckung“-Schaltfläche A234 in dem Bildschirm A231 drückt. Wenn die „keine Streckung“-Schaltfläche A234 gedrückt wird, wird das Betriebsprogramm 31 dazu ausgeführt, die in 34 gezeigten Anzeigeinhalte auf der Bildanzeigevorrichtung 18 anzuzeigen, ohne die in den 28 bis 33 gezeigte Fokus-X-Anpassung und Fokus-Y-Anpassung durchzuführen.
• Es sei bemerkt, dass die Fokus-X-Anpassung in 27 eine Stigma-Anpassung in einer X-Richtung, und die Fokus-Y-Anpassung eine Stigma-Anpassung in einer Y-Richtung ist.
• Anschließend wird das Betriebsprogramm 31 dazu ausgeführt, die in der 28 gezeigten Inhalte auf der Bildanzeigevorrichtung 18 anzuzeigen.
• Es sei bemerkt, dass der Bildschirm A231 auf dem Anwendungshilfsbildschirm 202 angezeigt werden kann. Außerdem kann das Referenzbild A232 ein Standbild oder ein bewegtes Bild sein.
• Der in 28 gezeigte Betriebsbildschirm 200 ist der gleiche wie der in 27 gezeigte, außer dass ein Bildschirm A241 in dem Betriebsnavigationsbildschirm 201 angezeigt wird.
• Der Bildschirm A241 zeigt eine Nachricht an, die den Benutzer auffordert, eine Fokusanpassung durch Bewegung des Fokusschiebers C232 vorzunehmen.
• Der Benutzer rückt den Fokusschieber C232 auf eine Position, in der das Bild C231 nicht gestreckt ist, indem er den Fokusschieber C232 bewegt, und drückt dann eine „Nächste“-Schaltfläche A242 in dem Betriebsnavigationsbildschirm 201.
• Anschließend wird das Betriebsprogramm 31 dazu ausgeführt, die Fokusanpassungsverarbeitung zu beenden und Anzeigeinhalte zur Fokus-X-Anpassung auf der Bildanzeigevorrichtung 18 anzuzeigen.
• Die 29 und 30 sind Diagramme, die die Anzeigeinhalte für die Fokus-X-Anpassung im manuellen Anpassungsbildschirm zeigen.
• In der Fokus-X-Anpassung zeigt zunächst ein Bildschirm A251 für den Betriebsnavigationsbildschirm 201 eine Nachricht an, die zum Drücken der Fokus-X-Schaltfläche C251 wie in 29 gezeigt auffordert.
• Auch ein Bildschirm B251 in dem Anwendungshilfsbildschirm 202 zeigt eine Nachricht dazu an, dass das Bild nicht durch reine Fokus-X-Anpassung geschärft werden kann. Eine solche Anzeige erlaubt es dem Benutzer, mit dem Betrieb geduldig fortzufahren, auch wenn er/sie nach der Fokus-X-Anpassung kein scharfes Bild erhalten kann.
• Wenn der Benutzer mit dem Mousezeiger auf die Fokus-X-Schaltfläche C251 zeigt, die in der Nähe des Bildes C221 (neben der Bildanzeigeregion C224 in dem in 29 gezeigten Beispiel) gemäß der in dem Bildschirm A251 angezeigten Nachricht angezeigt ist, wird die Fokus-X-Schaltfläche C251 wie in 29 gezeigt hervorgehoben.
• Anschließend wird, wenn der Benutzer die hervorgehobene Fokus-X-Schaltfläche C251 drückt, die Fokus-X-Schaltfläche C251 wie in 30 gezeigt invertiert dargestellt und ein Fokus-X-Schieber C221 wird angezeigt.
• Außerdem zeigt ein Bildschirm A261 in dem Betriebsnavigationsbildschirm 201, wie in 30 gezeigt eine Nachricht an, die zur Schärfung des Bildes durch Bewegen des Fokus-X-Schiebers C261 auffordert.
• Es sei bemerkt, dass der Bildschirm A261 ein Bild A262 anzeigt, in dem eine Wirkung der Bewegung des Fokus-X-Schiebers C261 hervorgehoben ist.
• Der Benutzer bewegt den Fokus-X-Schieber C261 gemäß der auf dem Bildschirm A261 angezeigten Nachricht. Anschließend veranlaßt der Computer 29 die X-Richtungs-Stigmator-Steuerschaltung 13, den X-Richtungs-Stigmator 4 gemäß einem Bewegungsabstand des Fokus-X-Schiebers C261 zu steuern, der durch die Eingabevorrichtung 23 eingegeben wurde.
• Anschließend drückt der Benutzer eine „Nächste“-Schaltfläche A263, wenn er/sie denkt, dass das Bild im Groben geschärft ist. Anschließend beendet das Betriebsprogramm 31 die Fokus-X-Anpassung und geht weiter zur nächsten Fokus-Y-Anpassung.
• Die 31 und 32 sind Diagramme, die Anzeigeinhalte für die Fokus-Y-Anpassung im manuellen Anpassungsbildschirm zeigen.
• In der Fokus-Y-Anpassung zeigt ein Bildschirm A271 in dem Betriebsnavigationsbildschirm 201 eine Nachricht, die zum Drücken einer Fokus-Y-Schaltfläche C271 auffordert, wie in 31 gezeigt.
• Auch zeigt ein Bildschirm B271 im Anwendungshilfsbildschirm 202 eine Nachricht dazu an, dass eine Änderung in dem Bild leichter durch Bewegung mit großen Amplituden während der Fokus-Y-Anpassung gesehen werden kann. Eine solche Anzeige kann den Benutzer dazu bringen, eine Bewegung mit größeren Amplituden in der Fokus-Y-Anpassung zu versuchen.
• Wenn der Benutzer den Mouse-Zeiger auf die Fokus-Y-Schaltfläche C271 bewegt, die in der Nähe des Bildes C271 (neben der Bildanzeigeregion C224 in dem in 31 gezeigten Beispiel) gemäß der auf dem Bildschirm A271 angezeigten Nachricht angezeigt wird, wird die Fokus-Y-Schaltfläche C271 hervorgehoben, wie es in 31 gezeigt ist.
• Anschließend wird, wenn der Benutzer die hervorgehobene Fokus-Y-Schaltfläche C271 drückt, die Fokus-Y-Schaltfläche C271 invertiert dargestellt, wie in 32 gezeigt, und ein Fokus-Y-Schieber C281 wird angezeigt.
• Ferner zeigt ein Bildschirm A281 im Betriebsnavigationsbildschirm 201, wie in 32 gezeigt, eine Nachricht, die zum Schärfen des Bildes durch Bewegen des Fokus-Y-Schiebers C281 auffordert.
• Es sei bemerkt, dass der Bildschirm A281 ein Bild A282 anzeigt, in dem eine Wirkung der Bewegung des Fokus-Y-Schiebers C281 hervorgehoben ist.
• Der Benutzer bewegt den Fokus-Y-Schieber C281 gemäß der auf dem Bildschirm A281 angezeigten Nachricht. Anschließend veranlasst der Computer 19 die Y-Richtungs-Stigmatorsteuerschaltung 14 dazu, den Y-Richtungs-Stigmator 5 gemäß einem Bewegungsabstand des Fokus-Y-Schiebers C281 zu steuern, der durch die Eingabevorrichtung 23 eingegeben wurde.
• Anschließend drückt der Benutzer eine „Nächste“-Schaltfläche A283, wenn er/sie denkt, dass das Bild im Groben geschärft ist. Daraufhin wird das Betriebsprogramm 31 dazu ausgeführt, die Fokus-Y-Anpassung zu beenden und Anzeigeinhalte für den nächsten Schiebeanpassungsbildschirm auf der Bildanzeigevorrichtung 18 anzuzeigen.
• Wie oben beschrieben kann der Benutzer die Fokusanpassung unter Verwendung des Fokusschiebers C232 (27), des Fokus-Y-Schiebers C261 (30), des Fokus-Y-Schiebers C281 (32) und dergleichen vornehmen, die in der Nähe der Bilder C221 ( 26 und dergleichen) und C231 (27 und dergleichen) angezeigt werden. Auf diese Weise kann ein Benutzer leicht Anpassungen vornehmen, während er die Bilder C221 und C231 betrachtet. Ferner können, wenn die mehreren Bilder C221 und C231 angezeigt werden, der Fokusschieber C232, der Fokus-X-Schieber C261, der Fokus-Y-Schieber C281 und dergleichen für jedes der Bilder C221 und C231 angezeigt werden. Auf diese Weise kann der Benutzer leicht Anpassungen für jedes der Bilder C221 und C231 vornehmen.
• 33 ist ein Diagramm, das Anzeigeinhalte für die Fokusbestätigung im manuellen Anpassungsbildschirm zeigt.
• 33 hat die gleiche Konfiguration wie die in 26, außer dass ein Bildschirm A291 im Betriebsnavigationsbildschirm 201 vorgesehen ist (jedoch wird der Anzeigemodus auf „Sichtfeld-Suchmodus“ eingestellt).
• Der Bildschirm A291 im Betriebsnavigationsbildschirm 201 zeigt eine Nachricht an, die dazu auffordert, zu bestätigen, ob die Fokusanpassung gemacht wird oder nicht (auch ob die Fokusanpassung erforderlich ist), ebenso wie in 27.
• Der Benutzer führt die Fokusanpassung in gleicher Weise wie in den 26 bis 28 durch und bestätigt, ob die Fokusneuanpassung erforderlich ist oder nicht.
• Als ein Ergebnis drückt der Benutzer, wenn von ihm/ihr festgestellt wird, dass die Fokusneuanpassung erforderlich ist, eine „Anpassen“-Schaltfläche A292, um die Fokusanpassung durch erneutes Ausführen der in den 29 bis 32 gezeigten Verarbeitung durchzuführen.
• Andererseite drückt der Benutzer, wenn von ihm/ihr festgestellt wird, dass die Fokusneuanpassung nicht erforderlich ist, eine „nächste“-Schaltfläche A293 und das Betriebsprogramm 31 wird dazu ausgeführt, die manuelle Anpassungsverarbeitung zu beenden und die in 34 gezeigten Anzeigeinhalten für die Autoanpassung auf der Bildanzeigevorrichtung 18 anzuzeigen. Genauer gesagt, wird das Betriebsprogramm 31 dazu ausgeführt, einen in 34 gezeigten Helligkeits-Autoanpassungsbildschirm auf der Bildanzeigevorrichtung 18 anzuzeigen.
• Es sei bemerkt, dass die Betriebsbildschirme 200 entsprechend den manuellen Anpassungsschritten in der Speichervorrichtung 21 voreingestellt sind und dass das Betriebsprogramm 31 dazu ausgeführt wird, den Betriebsbildschirm 200 entsprechend dem gegenwärtigen Schritt auf der Bildanzeigevorrichtung 18 anzuzeigen. So werden die Betriebsbildschirme 200 angezeigt, die in den 26 bis 33 gezeigt sind.
• 34 ist ein Diagramm, das Anzeigeinhalte bei der Autoanpassung anzeigt.
• 34 zeigt den Betriebsbildschirm 200 für den Benutzer zum automatischen Anpassen der Helligkeit des Bildes. Nachdem der Betriebsbildschirm der gleiche ist wie in der 22, abgesehen von einem Beobachtungsverlauf C201 mit den zwei darin registrierten Bildern, wird die Beschreibung davon weggelassen.
• Hier führt der Benutzer die Autoanpassung des Bildes durch, das in den 26 bis 33 der Fokusanpassung durch die manuelle Anpassung unterzogen wurde.
• Es sei bemerkt, dass die gleichen Betriebsbildschirme 200 wie die in 20 und 21 gezeigten vor dem Betriebsbildschirm 200 in 34 gezeigt werden können und der Benutzer die Sichtfeldsuche und Vergrößerungsanpassung durchführen kann.
• (S104)
• 35 ist ein Diagramm, das den Betriebsbildschirm während der Bildneuspeicherung (Erfassung) (S104) durch den Benutzer zeigt, nachdem die Autoanpassung beendet ist.
• 35 ist die gleiche wie 23, außer dass der Beobachtungsverlauf C201 mit zwei darin registrierten Bildern angezeigt wird, und daher wird die Beschreibung davon weggelassen.
• Indem die gleiche Verarbeitung wie die in den 10 bis 14 gezeigte durchgeführt wird, wird ein Bild in der Speichervorrichtung 21 gespeichert, das der Fokusanpassung durch die Autoanpassung unterzogen wurde.
• (S105 und S106)
• 36 ist ein Diagramm, das ein Beispiel des Betriebsbildschirms während der Neubestätigung durch den Benutzer, ob das gegenwärtige Bild OK ist oder nicht (S105), und während der Neuanpassung und Neuänderung der Beobachtungsbedingungen durch den Benutzer (S106) zeigt.
• 36 zeigt einen Beobachtungsverlauf (321) mit neuer Hinzufügung des in 35 gespeicherten Bildes. Es sei bemerkt, dass, obwohl das Bild mit erhöhter Vergrößerung in 35 angezeigt wird, das Bild dann nach Wiederherstellung der Vergrößerung auf seine Originalvergrößerung gespeichert wird.
• Indem das Betriebsprogramm 31 dazu ausgeführt wird, auf den Verarbeitungsverlauf Bezug zu nehmen, wird ferner die Hilfsschaltfläche B122b im Anwendungshilfsbildschirm 202 in 24 nicht angezeigt und stattdessen eine neue Hilfsschaltfläche B122d (B122) angezeigt.
• Nachdem 36 abgesehen von den oben beschriebenen Unterschieden mit der 24 übereinstimmt, wird die Beschreibung davon weggelassen.
• Nachdem ferner die durch das Betriebsprogramm 31 durchgeführte Verarbeitung zur Anzeige der Hilfsschaltflächen B122c und B122d mit der Beschreibung zur 15 übereinstimmt, wird die Beschreibung davon hier weggelassen.
• Wie die durch die Hilfsschaltflächen B122c und B122d angezeigten Inhalte wird die Unebenheit oder dreidimensionale Erscheinung des Bilds verschlechtert im Vergleich zu während der Sichtfeldsuche (Abtastgeschwindigkeit: hoch) oder das Bild ist deformiert im Vergleich zu während der Sichtfeldsuche (Abtastgeschwindigkeit: hoch), wie oben beschrieben.
• Ferner können, obwohl die obigen Probleme nicht in einer Niedrigvergrößerungssituation auftreten, solche Probleme durch erhöhte Dichte des Bestrahlungsstrahls (Primärelektronenstrahl 2) oder dergleichen in einer Hochvergrößerungssituation verursacht werden.
• An diesem Punkt wird, wenn der Benutzer mit dem Bild zufrieden ist, die Beobachtung beendet, indem der Benutzer die Ende-Schaltfläche A123 auf dem Betriebsnavigationsbildschirm 201 drückt.
• Andererseits wird, wenn der Benutzer mit dem Bild nicht zufrieden ist, die Fortsetzen-Schaltfläche A122 auf dem Betriebsnavigationsbildschirm 201 gedrückt.
• Indem die oben beschriebene Verfahrensweise wiederholt wird, bis die Ende-Schaltfläche A123 gedrückt wird, kann der Benutzer ein Bild guter Qualität erhalten, während er das Verfahren erlernt.
• (S106)
• 37 zeigt ein modifiziertes Beispiel des Anwendungshilfsbildschirms gemäß diesem Ausführungsbeispiel. 37 zeigt einen Bildschirm in „Anpassung und Änderung“ im Schritt S106.
• In 37 wird ein Lösungsbildschirm 305 vor dem Betriebsbildschirm 200 in 15 angezeigt. Wenn der Benutzer die Hilfsschaltfläche B122 drückt, wird das Betriebsprogramm 31 dazu ausgeführt, den Lösungsbildschirm 305 entsprechend der gedrückten Hilfsschaltfläche B122 anzuzeigen. Insbesondere wird für jede Hilfsschaltfläche B122 der entsprechende Lösungsbildschirm 305 in der Speichervorrichtung 21 gespeichert. Wenn die Hilfsschaltfläche B122 gedrückt wird, wird das Betriebsprogramm 31 dazu ausgeführt, den zu der gedrückten Hilfsschaltfläche B122 entsprechenden Lösungsbildschirm 305 aus der Speichervorrichtung 21 zu erhalten. Dann wird das Betriebsprogramm 31 dazu ausgeführt, den erhaltenen Lösungsbildschirm 305 auf der Bildanzeigevorrichtung 18 anzuzeigen.
• Im Lösungsbildschirm 305 werden Lösungen zu den in der Hilfsschaltfläche B122 beschriebenen Problemen in Listenform gemäß der Schwierigkeit der Betriebsvorgänge angezeigt. Hier besteht die Lösung spezieller darin, das Beobachtungsziel auf ein geeignetes Beobachtungsziel zu ändern. Eine solche Liste kann dadurch realisiert sein, dass die Schwierigkeit jeder Lösung in der Speichervorrichtung 21 gespeichert wird.
• Wenn eine Detail-Schaltfläche E131 im Lösungsbildschirm 305 gedrückt wird, werden die Grundzüge der entsprechenden Lösung und dergleichen angezeigt. Anschließend wird, wenn eine Ausführungsschaltfläche E332 gedrückt wird, ein Betriebsbildschirm 200 zur Änderung des Beobachtungsziels auf ein geeignetes Beobachtungsziel angezeigt.
• Eine Lösung in einer nicht ausführbaren Region E333 zeigt an, dass der Benutzer die Lösung nicht ausführen kann. Dadurch wird dem Benutzer mitgeteilt, dass er eine solche Lösung nicht ausführen kann, weil er/sie ein unerfahrener Benutzer ist. Es sei bemerkt, dass wie oben beschrieben der Betriebsbildschirm 200 gemäß diesem Ausführungsbeispiel auf der Annahme basiert, dass der Benutzer ein unerfahrener Benutzer ist. Auf diese Weise kann der Benutzer realisieren, dass es Lösungen gibt, die er/sie nicht ausführen können, solange er/sie kein fortgeschrittener Benutzer ist.
• Durch Anzeigen der Beobachtungsziele in Listenform wie in dem Lösungsbildschirm 305 kann der Benutzer leicht bestätigen, welche Betriebsvorgänge er/sie bisher durchgeführt hat und welche Betriebsvorgänge noch durchzuführen sind.
• Es sei bemerkt, dass, wenn das auf dem Bildanzeigeschirm 203 angezeigte Bild mit hoher Vergrößerung angezeigt wird (z.B. 20000-fach oder mehr), die manuelle Anpassungsschaltflächengruppe C222 (oder wenigstens eine davon in der Gruppe), die in 26 gezeigt ist, versteckt sein kann.
• Ferner kann die manuelle Anpassungsschaltflächengruppe C222 nur angezeigt werden, wenn die gegenwärtige Vergrößerung mindestens eine vorbestimmte Vergrößerung beträgt. Wie oben beschrieben können durch Anzeigen/Verstecken der Betriebselemente (Schaltflächen) oder Einstellen spezifischer Betriebselemente basierend auf vorbestimmten Bedingungen unnötige Betriebsvorgänge zur Reduzierung von Fehlern verhindert werden.
• Es erfordert Zeit oder ist fast unmöglich, ein geeignetes Bild aufzunehmen, während unzählige Einstellkombinationen für Parameter durch Versuch und Irrtum ausgewählt werden. Da ein solcher Vorgang sehr schwierig ist und besonders von einem unerfahrenen Benutzer viel Zeit erfordert, gibt der Benutzer das Aufnehmen eines guten Bildes schließlich auf. Ferner verliert der Benutzer den Überblick darüber, wie ein geeignetes Bild erhalten werden kann. So kommt es zu einem Teufelskreis, wenn ein unerfahrener Benutzer das Elektronenmikroskop 101 bedient.
• Gemäß diesem Ausführungsbeispiel wird zunächst ein Bild unter einer Standardbeobachtungsbedingung erhalten und dann die Richtung für die Anpassung des erhaltenen Bildes angelegt. Daher kann der Benutzer auf effiziente Weise ein Zielbild erhalten, selbst wenn er/sie ein unerfahrener Benutzer ist, und ein Lerneffekt für den Benutzer kann erwartet werden.
• Darüberhinaus werden die Charakteristiken der Beobachtungsbedingungen im Charakteristikenindikator für Beobachtungsbedingungen (Radarkarte) durch Kontrastieren von Achsen wie „geeignet für hohe Vergrößerung“, „Betonung auf Oberflächenstruktur“ und „Betonung auf Materialunterschied“ visuell dargestellt. Bei Verwendung solch einer Radarkarte kann sogar ein unerfahrener Benutzer ein optimales Beobachtungsziel auswählen.
• Ferner wird ein durch die Änderung des Beobachtungsziels auf ein geeignetes Ziel erhaltenes Ergebnis als ein schematisch hervorgehobenes Bild angezeigt, wie beispielsweise das hervorgehobene Bild E142 in 17. Daher kann selbst ein unerfahrener Benutzer leicht bildlich erfassen, welche Art von Ergebnis durch Änderung des Beobachtungsziels erhalten werden kann.
• Gemäß diesem Ausführungsbeispiel wird das Betriebsprogramm 31 dazu ausgeführt, zuerst ein Bild unter einer voreingestellten Beobachtungsbedingung zu erhalten. Anschließend wird das Betriebsprogramm 31 dazu ausgeführt, auf dem Anwendungshilfsbildschirm 202 einen Hinweis zu dem erhaltenen Bild für den Benutzer anzuzeigen. Danach wird das Betriebsprogramm 31 dazu ausgeführt, die Beobachtungsbedingung zu ändern und ein Bild zu speichern, auf dem die Änderung in der Beobachtungsbedingung wiedergegeben ist. Daraufhin wird das Betriebsprogramm 31 dazu ausgeführt, erneut einen Hinweis für den Benutzer auf dem Anwendungshilfsbildschirm 202 bezüglich des erhaltenen Bildes als Ergebnis der Wiedergabe der Änderung in der Beobachtungsbedingung anzuzeigen, und dann ein Bild zu speichern, auf dem die Änderung in der Beobachtungsbedingung wiedergegeben wird. Durch Wiederholung dieser Betriebsvorgänge kann der unerfahrene Benutzer die Beobachtungsbedingung zum Erhalten eines Zielbildes einstellen und Charakteristiken des unter den eingestellten Beobachtungsbedingungen erfassten Bildes erhalten. Auf diese Weise kann das Können des Benutzers verbessert werden.
• Es sei bemerkt, dass dieses Ausführungsbeispiel auf der Annahme der Verwendung eines Rasterelektronenmikroskops (insbesondere eines Allgemeinzweck-Betriebselektronenmikroskops) basiert. Jedoch ist die vorliegende Erfindung nicht darauf beschränkt und kann auf ein Ladungsteilchenstrahlgerät, wie z.B. ein Transmissionselektronenmikroskop und ein Ionenmikroskop, angewendet werden.
• Ferner wird das Betriebsprogramm 31, obwohl in diesem Ausführungsbeispiel ein erstes Bild unter einer voreingestellten Beobachtungsbedingung erhalten wird, dazu ausgeführt, ein erstes Bild mit einer Konfiguration zu erhalten, die durch den Benutzer eingestellt wird, und der Benutzer kann daher die Beobachtungsbedingung gemäß einer Nachricht auf dem Anwendungshilfsbildschirm 202 oder dergleichen anpassen. Auf diese Weise kann der Benutzer die Beobachtungsbedingung, die er/sie im Kopf hat, mit der Beobachtungsbedingung vergleichen, um ein gewünschtes Bild zu erhalten.
• Es sei bemerkt, dass der Betriebsnavigationsbildschirm 201 abhängig von dem Können des Benutzers versteckt sein kann. In einem solchen Fall werden alle zu verwendenden Schaltflächen auf dem Betätigungsfeldbildschirm 204 angezeigt.
• Alternativ kann ein Ausdruckswörterbuch in der Speichervorrichtung 21 gespeichert sein und, wenn der Benutzer auf eine spezifische Markierung klickt, eine Wörterbuchmarkierung oder ein Satz in dem Betriebsbildschirm 200 angezeigt werden, wobei das Betriebsprogramm 31 dann dazu ausgeführt wird, eine Beschreibung des Satzes auf der Bildanzeigevorrichtung 18 durch Bezugnahme auf das Ausdruckswörterbuch anzuzeigen.
• Ferner kann, obwohl das schematisch hervorgehobene Bild E142 auf der Beobachtungsziel-Einstellschaltfläche E141 in 17 in diesem Ausführungsbeispiel angezeigt wird, das Bild B123 auf der Hilfsschaltfläche B122 in 15 zum Beispiel als ein ähnliches schematisches hervorgehobenes Bild verwendet werden.
• Ferner kann, obwohl in diesem Ausführungsbeispiel eine Konfiguration verwendet wird, die annimmt, dass die Betriebsvorgänge von Anfang an von einem unerfahrenen Benutzer durchgeführt werden, ein Bildschirm zur Auswahl aus einem unerfahrenen Benutzer, einem mittelmäßigen Benutzer und einem fortgeschrittenen Benutzer auf der Bildanzeigevorrichtung 18 angezeigt werden, beispielsweise nach der Aktivierung in Schritt S101 in 2. Wenn der unerfahrene Benutzer ausgewählt wird, kann der Computer 19 die Verarbeitung gemäß diesem Ausführungsbeispiel ausführen.
• Es sei bemerkt, dass die vorliegende Erfindung nicht auf das oben beschriebene Ausführungsbeispiel beschränkt ist, sondern verschiedene Modifikationsbeispiele einschließt. Zum Beispiel wurde das obige Ausführungsbeispiel im Detail zur Erleichterung des Verständnisses der vorliegenden Erfindung beschrieben und ist nicht notwendigerweise auf eines mit all den beschriebenen Konfigurationen eingeschränkt. Ferner können einige der Konfigurationen in dem Ausführungsbeispiel entfernt oder durch andere Konfigurationen ergänzt oder ersetzt werden.
• Ferner können einige oder alle der Konfigurationen, Funktionen, Schaltungen 11 bis 17, Bildanzeigevorrichtung 18, Speichervorrichtung 21, Betriebsprogramm 31 und dergleichen durch Hardware realisiert sein, indem zum Beispiel integrierte Schaltungen oder dergleichen entworfen werden. Ebenso können die Konfigurationen, Funktionen und dergleichen, die oben beschrieben wurden, wie in 1 gezeigt, durch Software auf solche Weise realisiert sein, dass ein Prozessor, wie beispielsweise eine CPU Programme zur Realisierung all der Funktionen übersetzt und ausführt. Auf diese Weise können Informationen, wie beispielsweise Programme, Tabellen und Dateien zur Realisierung der Funktionen in einem Speicher, in einer Aufzeichnungsvorrichtung wie einem SSD (Festspeicherlaufwerk) oder einem Aufzeichnungsmedium wie einer IC-Karte (integrierter Schaltkreis), einer SD-Karte (Secure Digital) und einer DVD (Digital Versatile Disc) gespeichert werden, statt in der Speichervorrichtung 21 wie in 1 gezeigt.
• Ferner wurde im obigen Ausführungsbeispiel der Beschreibung von Steuerleitungen und Informationsleitungen in dem obigen Ausführungsbeispiel beschrieben, die für Veranschaulichungszwecke notwendig erscheinen. Daher sind nicht alle Steuerleitungen oder Informationsleitungen, die für ein Produkt erforderlich sind, beschrieben. Es ist in der Tat davon auszugehen, dass nahezu alle der Konfigurationen miteinander verbunden sind.
• Bezugszeichenliste

1

Elektronenkanone

2

Primärelektronenstrahl

3

Kondensorlinse

4

X-Richtungs-Stigmator

5

Y-Richtungs-Stigmator

6

obere Ablenkeinheit

7

untere Ablenkeinheit

8

Objektivlinse

9

Proben

10

Detektor

11

Hochspannungssteuerschaltung

12

Kondensorlinsen-Steuerschaltung

13

X-Richtungs-Stigmatorsteuerschaltung

14

Y-Richtungs-Stigmatorsteuerschaltung

15

Ablenkungssteuerschaltung

16

Objektivlinsensteuerschaltung

17

Erfassungssignalsteuerschaltung

18

Bildanzeigevorrichtung

19

Computer (Verarbeitungseinheit)

21

Speichervorrichtung (Speichereinheit)

22

Speicher

23

Eingabevorrichtung

31

Betriebsprogramm

41

Beobachtungsbedingungs-Einstelltabelle

100

Elektronenmikroskopsäule (Ladungsteilchenstrahlgerät)

101

Elektronenmikroskop (Ladungsteilchenstrahlgerät, Ladungsteilchenstrahlgerätsystem)

200

Betriebsbildschirm

201

Betriebsnavigationsbildschirm

202

Anwendungshilfsbildschirm

203

Bildanzeigeschirm (Bildanzeigeeinheit)

204

Betätigungsfeldbildschirm

304

Beobachtungsziel-Einstellschirm

B122, B122a bis B122d

Hilfsschaltfläche

B123

hervorgehobenes Bild

E141, E141a

Beobachtungsziel-Einstellschaltfläche

E143, E143a bis E143d

hervorgehobenes Bild

E144

Radarkarte (Charakteristikenindikator für Beobachtungsbedingungen)

Claims (21)

1. Ladungsteilchenstrahlgerät (101), umfassend: eine Verarbeitungseinheit, die dazu eingerichtet ist, eine Bildanzeigeeinheit in einer Bildanzeigevorrichtung Beobachtungsziel-Einstellschaltflächen (E141) zum Ändern einer Beobachtungsbedingung für eine Probe (9) anzeigen zu lassen, wobei die Beobachtungsbedingung eine Kombination von Parametereinstellwerten des Ladungsteilchenstrahlgeräts (101) umfasst, wobei die Verarbeitungseinheit die Bildanzeigeeinheit einen Charakteristikenindikator (E144) für die Beobachtungsbedingungen anzeigen lässt, der eine Charakteristik, angezeigt durch drei oder mehr inkompatible Elemente, einer Beobachtungsbedingung für jede der Beobachtungsziel-Einstellschaltflächen (E141), enthält, dadurch gekennzeichnet, dass die Verarbeitungseinheit während einer Standby-Zeit der Verarbeitung einen Lernbildschirm anzeigen lässt, wobei der Lernbildschirm eine Struktur eines Elektronenmikroskops, einen Betriebsvorgang des Elektronenmikroskops und/oder eine Erklärung eines Betriebselements auf einem Betriebsbildschirm (200) darstellt, und die Verarbeitungseinheit die Bildanzeigeeinheit einen Betriebsbildschirm (200) anzeigen lässt, der Betriebselemente des Ladungsteilchenstrahlgeräts (101) anzeigt, und die Verarbeitungseinheit ein auf dem Betriebsbildschirm (200) angezeigtes vorgegebenes Betriebselement verstecken oder deaktivieren lässt, wobei das vorgegebene Betriebselement Fokusanpassung, X-Fokusanpassung und/oder Y-Fokusanpassung umfasst.
2. Ladungsteilchenstrahlgerät (101) nach Anspruch 1, wobei der Charakteristikenindikator (E144) zumindest Elemente von hoher Auflösung, Betonung auf Oberflächenstruktur und Betonung auf Materialunterschied enthält, die als eine Charakteristik einer Beobachtungsbedingung für jede der Beobachtungsziel-Einstellschaltflächen (E141) angegeben sind.
3. Ladungsteilchenstrahlgerät (101) nach Anspruch 1, wobei die Elemente im Charakteristikenindikator (E144) hohe Auflösung, Betonung auf Oberflächenstruktur und Betonung auf Materialunterschied enthalten.
4. Ladungsteilchenstrahlgerät (101) nach einem der Ansprüche 1 bis 3, wobei die Elemente im Charakteristikenindikator (E144) Elemente von Aufladungsunterdrückung und/oder Strahlschädenunterdrückung enthalten.
5. Ladungsteilchenstrahlgerät (101) nach Anspruch 1 oder 2, wobei die Beobachtungsziel-Einstellschaltflächen (E141) umfassen: eine erste Schaltfläche, die dazu eingerichtet ist, eine Beobachtungsbedingung auf eine Beobachtungsbedingung zum Beobachten mit der höchsten Auflösung zu ändern; eine zweite Schaltfläche, die dazu eingerichtet ist, eine Beobachtungsbedingung auf eine Beobachtungsbedingung mit der größten auf Oberflächenstruktur gelegten Betonung zu ändern, und eine dritte Schaltfläche, die dazu eingerichtet ist, eine Beobachtungsbedingung auf eine Beobachtungsbedingung mit der größten auf Materialunterschied gelegten Betonung zu ändern.
6. Ladungsteilchenstrahlgerät (101) nach Anspruch 5, wobei die Beobachtungsziel-Einstellschaltflächen (E141) ferner umfassen: eine vierte Schaltfläche, die dazu eingerichtet ist, eine Beobachtungsbedingung auf eine Beobachtungsbedingung mit auf Oberflächenstruktur und Materialunterschied gelegter Betonung zu ändern, und eine fünfte Schaltfläche, die dazu eingerichtet ist, eine Beobachtungsbedingung auf eine Beobachtungsbedingung zu ändern, die für Elementenanalyse am geeignetsten ist.
7. Ladungsteilchenstrahlgerät (101) nach Anspruch 1 oder 2, wobei der Charakteristikenindikator (E144) eine Radarkarte umfasst.
8. Ladungsteilchenstrahlgerät (101) nach Anspruch 1 oder 2, wobei die Verarbeitungseinheit die Bildanzeigeeinheit ein hervorgehobenes Bild (B123) anzeigen lässt, das in Bezug auf eine Charakteristik eines unter der Beobachtungsbedingung erhaltenen Bildes für jede der Beobachtungsziel-Einstellschaltflächen (E141) hervorgehoben ist.
9. Ladungsteilchenstrahlgerät (101) nach Anspruch 8, wobei das hervorgehobene Bild (B123) als ein Bild dient, das schematisch drei oder mehrere in Form und/oder Materialqualität verschiedene Materialien darstellt.
10. Ladungsteilchenstrahlgerät (101) nach Anspruch 1 oder 2, wobei die Verarbeitungseinheit nach dem Erhalten eines Bildes einer neuen Probe (9) unter einer Standardbeobachtungsbedingung die Beobachtungsbedingung gemäß jeder der Beobachtungsziel-Einstellschaltflächen (E141) ändert.
11. Ladungsteilchenstrahlgerät (101) nach Anspruch 10, wobei die Standardbeobachtungsbedingung als eine Beobachtungsbedingung zum Beobachten mit der höchsten Auflösung dient.
12. Probenbeobachtungssystem umfassend: das Ladungsteilchenstrahlgerät (101) nach Anspruch 1 und einen zum Steuern des Ladungsteilchenstrahlgeräts (101) eingerichteten Computer (19), der die Verarbeitungseinheit umfasst, wobei die Verarbeitungseinheit ein hervorgehobenes Bild (B123) auf oder nahe der Bobachtungsziel-Einstellschaltfläche (E141) anzeigen lässt, wobei das hervorgehobene Bild (B123) bezüglich einer Bildänderung aufgrund einer Änderung der Beobachtungsbedingung hervorgehoben ist.
13. Ladungsteilchenstrahlgerät (101) nach Anspruch 1, wobei die Verarbeitungseinheit ein hervorgehobenes Bild (B123) auf oder nahe jeder der Beobachtungsziel-Einstellschaltflächen (E141) anzeigen lässt, wobei das hervorgehobene Bild (B123) bezüglich einer Bildänderung aufgrund einer Änderung der Beobachtungsbedingung hervorgehoben ist.
14. Ladungsteilchenstrahlgerät (101) nach Anspruch 13, wobei jeweils eine der Beobachtungsziel-Einstellschaltflächen (E141) und eine entsprechende der Beobachtungsbedingungen zueinander gehören und in einer Speichereinheit (21) gespeichert sind, und die Verarbeitungseinheit, wenn eine der Beobachtungsziel-Einstellschaltflächen (E141) mit einer Eingabeeinheit (23) ausgewählt wird, Parametereinstellwerte des Ladungsteilchenstrahlgeräts (101) unter einer Beobachtungsbedingung für die ausgewählte der Beobachtungsziel-Einstellschaltflächen (E141) einstellt.
15. Ladungsteilchenstrahlgerät (101) nach Anspruch 13, wobei die Verarbeitungseinheit ein Bild der Probe (9) unter einer voreingestellten Beobachtungsbedingung erhält und die Beobachtungsziel-Einstellschaltflächen (E141) auf der Bildanzeigeeinheit auf der Grundlage von Bildqualität des erhaltenen Bildes und einer gegenwärtigen Beobachtungsbedingung anzeigen lässt, und die Beobachtungsbedingung mit einer Eingabeeinheit (23) geändert wird, die Verarbeitungseinheit Verarbeitung eines Neuerhaltens eines Bildes unter einer geänderten Beobachtungsbedingung und Anzeigen der Beobachtungsziel-Einstellschaltflächen (E141) auf der Bildanzeigeeinheit auf der Grundlage von Bildqualität des neu erhaltenen Bildes und der gegenwärtigen Beobachtungsbedingung wiederholt, bis eine Anweisung zum Beenden der Verarbeitung mit der Eingabeeinheit (23) eingegeben wird.
16. Ladungsteilchenstrahlgerät (101) nach Anspruch 13, wobei die Verarbeitungseinheit Information anzeigen lässt, wobei die Information Bestätigung von Vorhandensein oder Nichtvorhandensein von Beschichtung auf der Probe (9) oder Vorbehandlung der Probe (9) vor Erhalten eines ersten Bildes der Probe (9) betrifft.
17. Ladungsteilchenstrahlgerät (101) nach Anspruch 13, wobei die Verarbeitungseinheit Funktionen des Ladungsteilchenstrahlgeräts (101) gemäß der Beobachtungsbedingung einschränkt.
18. Ladungsteilchenstrahlgerät (101) nach Anspruch 17, wobei die Verarbeitungseinheit eine Bildverschiebung bedienbar und eine Tischbewegung nicht bedienbar hält, wenn eine Vergrößerung einen vorgegebenen Wert oder mehr beträgt, und die Verarbeitungseinheit die Tischbewegung bedienbar und die Bildverschiebung nicht bedienbar hält, wenn die Vergrößerung geringer als der vorgegebene Wert ist, wodurch die Funktionen des Ladungsteilchenstrahlgeräts (101) gemäß der Beobachtungsbedingung eingeschränkt sind.
19. Ladungsteilchenstrahlgerät (101) nach Anspruch 13, wobei die Verarbeitungseinheit eine vorgegebene Beobachtungsziel-Einstellschaltfläche (E141) auf der Grundlage eines Betriebsverlaufs verstecken lässt.
20. Ladungsteilchenstrahlgerät (101) nach Anspruch 13, wobei die Verarbeitungseinheit die Bildanzeigeeinheit einen Betriebsbildschirm (200) anzeigen lässt, der ein Betriebselement des Ladungsteilchenstrahlgeräts (101) darstellt, die Verarbeitungseinheit Information, die einen gegenwärtigen Betriebsschritt angibt, auf dem Betriebsbildschirm (200) anzeigen lässt, und die den gegenwärtigen Betriebsschritt angebende Information ein einen Hauptschritt angebendes Hauptelement und ein einen Unterbetriebsschritt angebendes Unterelement enthält.
21. Ladungsteilchenstrahlgerät (101) nach Anspruch 13, wobei die Verarbeitungseinheit die Bildanzeigeeinheit einen Betriebsbildschirm (200) anzeigen lässt, der ein Betriebselement des Ladungsteilchenstrahlgeräts (101) darstellt, die Verarbeitungseinheit das erhaltene Bild auf dem Betriebsbildschirm (200) anzeigen lässt, und die Verarbeitungseinheit einen Vergrößerungsanpassungsschieber, einen Fokusanpassungsschieber, einen Fokus-X-Anpassungsschieber und/oder einen Fokus-Y-Anpassungsschieber nahe dem auf der Bildanzeigeeinheit angezeigten Bild anzeigen lässt.

Images