JP5002251B2 - 試料検査方法及び試料検査装置 - Google Patents
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Description
Claims (22)
- 膜を介して試料に一次線を照射し、これに応じて該試料から発生する二次的信号を検出して該試料の検査を行う試料検査方法において、該一次線の照射に応じて得られる該膜の情報を検出し、これにより検出された該膜の情報又は該膜の情報の変化量をモニタするとともに、モニタ対象としての該膜の情報又は該膜の情報の変化量に対する基準値を設定し、該モニタ対象が該基準値に到達するか否かをモニタすることを特徴とする試料検査方法。
- 前記膜の情報は、該膜で生じた反射電子又は二次電子もしくは吸収電流に基づく情報であることを特徴とする請求項1記載の試料検査方法。
- 膜を介して試料に一次線を照射し、これに応じて該試料から発生する二次的信号を検出して該試料の検査を行う試料検査方法において、該膜への該一次線の照射量をモニタするとともに、モニタ対象としての該一次線の照射量に対する基準値を設定し、該モニタ対象が該基準値に到達するか否かをモニタすることを特徴とする試料検査方法。
- 前記一次線が電子線であり、前記膜の厚さをD[m]、該膜において該一次線が照射される領域の面積をS[m2]としたときに、2・D/S[C/m2]〜10・D/S[C/m2]の範囲に設定された基準値に該一次線の照射量が到達するか否かをモニタすることを特徴とする請求項3記載の試料検査方法。
- 前記膜の情報又はその変化量もしくは前記一次線の照射量を、該膜での面内分布としてモニタすることを特徴とする請求項1乃至4何れか記載の試料検査方法。
- 前記モニタの結果に基づいて、該モニタ結果の表示、警報の発信、もしくは前記一次線の前記膜への照射の停止のうちの少なくとも何れか一つを行うことを特徴とする請求項1乃至5何れか記載の試料検査方法。
- 前記試料から発生した前記二次的信号に基づく画像に、前記膜の情報又はその変化量もしくは前記一次線の照射量の面内分布を重ね合わせて表示することを特徴とする請求項1乃至6何れか記載の試料検査方法。
- 前記膜は、ポリマー、ポリエチレン、ポリイミド、ポリプロピレン、カーボン、酸化シリコン、窒化シリコン、もしくは窒化ボロンのうちの少なくとも一つを含み、該膜の厚さが10[nm]〜1000[nm]であることを特徴とする請求項1乃至7何れか記載の試料検査方法。
- 前記一次線は電子線であり、前記二次的信号は、反射電子、二次電子、吸収電流、X線、もしくは光のうちの少なくとも一つであることを特徴とする請求項1乃至8何れか記載の試料検査方法。
- 膜を介して試料に一次線を照射する手段と、該一次線の照射に応じて該試料から発生する二次的信号を検出する信号検出手段とを有する試料検査装置において、該一次線の照射に応じて得られる該膜の情報を検出する情報検出手段と、これにより検出された該膜の情報又は該膜の情報の変化量をモニタするモニタ手段とを備えており、モニタ対象としての該膜の情報又は該膜の情報の変化量に対する基準値を設定し、該モニタ対象が該基準値に到達するか否かを該モニタ手段がモニタすることを特徴とする試料検査装置。
- 第1の面に試料が保持される膜と、該膜の第2の面に接する雰囲気を減圧する真空室と、該真空室に接続され、該膜を介して該試料に一次線を照射する一次線照射手段と、該一次線の照射に応じて該試料から発生する二次的信号を検出する信号検出手段とを有する試料検査装置において、該一次線の照射に応じて得られる該膜の情報を検出する情報検出手段と、これにより検出された該膜の情報又は該膜の情報の変化量をモニタするモニタ手段とを備え備えており、モニタ対象としての該膜の情報又は該膜の情報の変化量に対する基準値を設定し、該モニタ対象が該基準値に到達するか否かを該モニタ手段がモニタすることを特徴とする試料検査装置。
- 相対向して配置され、その対向面の間に試料が保持される二つの膜と、これら二つの膜の該対向面の反対側に位置する面に接する雰囲気を減圧する真空室と、該真空室に接続され、該二つの膜のうちの一方の膜を介して該試料に一次線を照射する一次線照射手段と、該一次線の照射に応じて試料から発生する二次的信号を検出する信号検出手段とを有する試料検査装置において、該一次線の照射に応じて得られる該一方の膜の情報を検出する情報検出手段と、これにより検出された該膜の情報又は該膜の情報の変化量をモニタするモニタ手段とを備えており、モニタ対象としての該膜の情報又は該膜の情報の変化量に対する基準値を設定し、該モニタ対象が該基準値に到達するか否かを該モニタ手段がモニタすることを特徴とする試料検査装置。
- 前記膜の情報は、該膜で生じた反射電子又は二次電子もしくは吸収電流に基づく情報であることを特徴とする請求項10乃至12何れか記載の試料検査装置。
- 膜を介して試料に一次線を照射する手段と、該一次線の照射に応じて該試料から発生する二次的信号を検出する信号検出手段とを有する試料検査装置において、該膜への該一次線の照射量をモニタするモニタ手段を備えており、モニタ対象としての該一次線の照射量に対する基準値を設定し、該モニタ対象が該基準値に到達するか否かを該モニタ手段がモニタすることを特徴とする試料検査装置。
- 第1の面に試料が保持される膜と、該膜の第2の面に接する雰囲気を減圧する真空室と、該真空室に接続され、該膜を介して該試料に一次線を照射する一次線照射手段と、該一次線の照射に応じて該試料から発生する二次的信号を検出する信号検出手段とを有する試料検査装置において、該膜への該一次線の照射量をモニタするモニタ手段を備えており、モニタ対象としての該一次線の照射量に対する基準値を設定し、該モニタ対象が該基準値に到達するか否かを該モニタ手段がモニタすることを特徴とする試料検査装置。
- 相対向して配置され、その対向面の間に試料が保持される二つの膜と、これら二つの膜の該対向面の反対側に位置する面に接する雰囲気を減圧する真空室と、該真空室に接続され、該二つの膜のうちの一方の膜を介して該試料に一次線を照射する一次線照射手段と、該一次線の照射に応じて試料から発生する二次的信号を検出する信号検出手段とを有する試料検査装置において、該一方の膜への該一次線の照射量をモニタするモニタ手段を備えており、モニタ対象としての該一次線の照射量に対する基準値を設定し、該モニタ対象が該基準値に到達するか否かを該モニタ手段がモニタすることを特徴とする試料検査装置。
- 前記一次線が電子線であり、前記膜の厚さをD[m]、該膜において該一次線が照射される領域の面積をS[m2]としたときに、2・D/S[C/m2]〜10・D/S[C/m2]の範囲に設定された基準値に該一次線の照射量が到達するか否かを前記モニタ手段がモニタすることを特徴とする請求項14乃至16何れか記載の試料検査装置。
- 前記膜の情報又はその変化量もしくは前記一次線の照射量を、該膜での面内分布として前記モニタ手段がモニタすることを特徴とする請求項10乃至17何れか記載の試料検査装置。
- 前記モニタ手段によるモニタの結果に基づいて、該モニタ結果の表示を行う手段、警報の発信を行う手段、もしくは前記一次線の前記膜への照射の停止を行う手段のうちの少なくとも一つを備えることを特徴とする請求項10乃至18何れか記載の試料検査装置。
- 前記試料から発生した前記二次的信号に基づく画像に、前記膜の情報又はその変化量もしくは前記一次線の照射量の面内分布を重ね合わせて表示する手段を備えることを特徴とする請求項10乃至19何れか記載の試料検査装置。
- 前記膜は、ポリマー、ポリエチレン、ポリイミド、ポリプロピレン、カーボン、酸化シリコン、窒化シリコン、もしくは窒化ボロンのうちの少なくとも一つを含み、該膜の厚さが10[nm]〜1000[nm]であることを特徴とする請求項10乃至20何れか記載の試料検査装置。
- 前記一次線は電子線であり、前記二次的信号は、反射電子、二次電子、吸収電流、X線、もしくは光のうちの少なくとも一つであることを特徴とする請求項10乃至21何れか記載の試料検査装置。
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