JP6716026B2 - 荷電粒子線装置および荷電粒子線装置における条件設定方法 - Google Patents
荷電粒子線装置および荷電粒子線装置における条件設定方法 Download PDFInfo
- Publication number
- JP6716026B2 JP6716026B2 JP2019513184A JP2019513184A JP6716026B2 JP 6716026 B2 JP6716026 B2 JP 6716026B2 JP 2019513184 A JP2019513184 A JP 2019513184A JP 2019513184 A JP2019513184 A JP 2019513184A JP 6716026 B2 JP6716026 B2 JP 6716026B2
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- observation
- image
- charged particle
- particle beam
- condition
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Active
Links
Images
Classifications
-
- H—ELECTRICITY
- H01—ELECTRIC ELEMENTS
- H01J—ELECTRIC DISCHARGE TUBES OR DISCHARGE LAMPS
- H01J37/00—Discharge tubes with provision for introducing objects or material to be exposed to the discharge, e.g. for the purpose of examination or processing thereof
- H01J37/26—Electron or ion microscopes; Electron or ion diffraction tubes
- H01J37/28—Electron or ion microscopes; Electron or ion diffraction tubes with scanning beams
-
- H—ELECTRICITY
- H01—ELECTRIC ELEMENTS
- H01J—ELECTRIC DISCHARGE TUBES OR DISCHARGE LAMPS
- H01J37/00—Discharge tubes with provision for introducing objects or material to be exposed to the discharge, e.g. for the purpose of examination or processing thereof
- H01J37/02—Details
- H01J37/22—Optical or photographic arrangements associated with the tube
-
- H—ELECTRICITY
- H01—ELECTRIC ELEMENTS
- H01J—ELECTRIC DISCHARGE TUBES OR DISCHARGE LAMPS
- H01J37/00—Discharge tubes with provision for introducing objects or material to be exposed to the discharge, e.g. for the purpose of examination or processing thereof
- H01J37/26—Electron or ion microscopes; Electron or ion diffraction tubes
- H01J37/261—Details
- H01J37/265—Controlling the tube; circuit arrangements adapted to a particular application not otherwise provided, e.g. bright-field-dark-field illumination
-
- H—ELECTRICITY
- H01—ELECTRIC ELEMENTS
- H01J—ELECTRIC DISCHARGE TUBES OR DISCHARGE LAMPS
- H01J2237/00—Discharge tubes exposing object to beam, e.g. for analysis treatment, etching, imaging
- H01J2237/248—Components associated with the control of the tube
- H01J2237/2485—Electric or electronic means
Landscapes
- Chemical & Material Sciences (AREA)
- Analytical Chemistry (AREA)
- Analysing Materials By The Use Of Radiation (AREA)
- Testing Or Measuring Of Semiconductors Or The Like (AREA)
Description
Claims (12)
- 試料を載置するステージと、
荷電粒子ビームを前記試料に照射する荷電粒子光学系と、
前記荷電粒子ビームと前記試料との相互作用により発生する電子を検出する検出器と、
操作者により設定される観察条件にしたがって前記ステージ及び前記荷電粒子光学系を制御し、前記検出器からの検出信号に基づき画像を形成する制御部と、
前記観察条件を設定するための観察アシスト画面を表示するディスプレイとを有し、
前記制御部は、前記観察条件において前記荷電粒子光学系により前記試料に照射される1画素あたりの照射電子量に関する情報を、前記観察アシスト画面に表示する荷電粒子線装置。 - 請求項1において、
前記制御部は、前記1画素あたりの照射電子量に関する情報として、1画素あたりの照射電子数、単位長あたりの走査における照射電子数、単位面積あたりの照射電子数のいずれか少なくとも1つを前記観察アシスト画面に表示する荷電粒子線装置。 - 請求項1において、
前記制御部は、前記観察アシスト画面に前記画像の画質に影響する関連パラメータをあわせて表示する荷電粒子線装置。 - 請求項3において、
操作者の入力を受ける操作部を有し、
前記制御部は、前記観察アシスト画面上で、前記操作部により編集された関連パラメータが適用された場合の観察条件において、前記荷電粒子光学系により前記試料に照射される1画素あたりの照射電子量に関する情報を、前記観察アシスト画面に表示する荷電粒子線装置。 - 請求項4において、
前記制御部は、前記操作部からの指示を受け、前記操作部により編集された関連パラメータを適用した観察条件にしたがって前記ステージ及び前記荷電粒子光学系を制御する荷電粒子線装置。 - 請求項4において、
前記制御部は、あらかじめ定められたスキャンモードを記憶するスキャンモード記憶部を有し、
前記制御部は、前記操作部により編集された関連パラメータが適用されるスキャンモードをオリジナルスキャンモードとして前記スキャンモード記憶部に記憶し、前記観察条件を設定する際に、前記あらかじめ定められたスキャンモードまたは前記オリジナルスキャンモードを読み出し可能とする荷電粒子線装置。 - 請求項1において、
前記制御部は、電子ファイルとして保存された画像に紐づけられた付帯情報に含まれる観察条件を読み出し、前記付帯情報に含まれる観察条件において前記荷電粒子光学系により前記試料に照射される1画素あたりの照射電子量に関する情報を、前記観察アシスト画面に表示する荷電粒子線装置。 - 荷電粒子線装置の観察条件を設定する条件設定部と前記荷電粒子線装置による観察像を表示する画像表示部とを含むユーザインターフェース画面をディスプレイに表示し、
前記観察像の観察条件での1画素あたりの照射電子量に関する情報を含む観察アシスト画面を前記ディスプレイに表示し、
操作部からの指示を受け、前記観察像をキャプチャする画像キャプチャ条件での1画素あたりの照射電子量に関する情報を前記観察アシスト画面に表示する、荷電粒子線装置における条件設定方法。 - 請求項8において、
前記1画素あたりの照射電子量に関する情報として、1画素あたりの照射電子数、単位長あたりの走査における照射電子数、単位面積あたりの照射電子数のいずれか少なくとも1つを前記観察アシスト画面に表示する、荷電粒子線装置における条件設定方法。 - 請求項8において、
前記観察アシスト画面に、前記観察像または前記観察像をキャプチャして取得されるキャプチャ画像の画質に影響する関連パラメータをあわせて表示し、
前記観察アシスト画面上に表示された関連パラメータに対して、前記操作部より編集を受け、
前記操作部により編集された関連パラメータが適用された場合の観察条件における1画素あたりの照射電子量に関する情報を前記観察アシスト画面に表示する、荷電粒子線装置における条件設定方法。 - 請求項10において、
前記操作部からの指示を受け、前記操作部により編集された関連パラメータを適用した観察条件での前記観察像の表示または前記キャプチャ画像の取得を行う、荷電粒子線装置における条件設定方法。 - 請求項10において、
前記操作部により編集された関連パラメータが適用されるスキャンモードをオリジナルスキャンモードとして記憶する、荷電粒子線装置における条件設定方法。
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
PCT/JP2017/015961 WO2018193605A1 (ja) | 2017-04-21 | 2017-04-21 | 荷電粒子線装置および荷電粒子線装置における条件設定方法 |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JPWO2018193605A1 JPWO2018193605A1 (ja) | 2020-02-27 |
JP6716026B2 true JP6716026B2 (ja) | 2020-07-01 |
Family
ID=63856655
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2019513184A Active JP6716026B2 (ja) | 2017-04-21 | 2017-04-21 | 荷電粒子線装置および荷電粒子線装置における条件設定方法 |
Country Status (5)
Country | Link |
---|---|
US (1) | US11404242B2 (ja) |
JP (1) | JP6716026B2 (ja) |
CN (2) | CN114709120A (ja) |
DE (1) | DE112017007270B4 (ja) |
WO (1) | WO2018193605A1 (ja) |
Families Citing this family (2)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
WO2021250879A1 (ja) * | 2020-06-12 | 2021-12-16 | 株式会社日立ハイテク | 荷電粒子線装置および試料観察方法 |
JP7160871B2 (ja) | 2020-07-21 | 2022-10-25 | 日本電子株式会社 | 荷電粒子線装置及び設定支援方法 |
Family Cites Families (21)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP4014916B2 (ja) * | 2002-04-11 | 2007-11-28 | 株式会社キーエンス | 電子顕微鏡、電子顕微鏡の操作方法、電子顕微鏡操作プログラムおよびコンピュータで読み取り可能な記録媒体 |
JP2004134300A (ja) * | 2002-10-11 | 2004-04-30 | Shimadzu Corp | ビーム電流安定化装置及び荷電粒子ビーム装置 |
JP4611755B2 (ja) * | 2005-01-13 | 2011-01-12 | 株式会社日立ハイテクノロジーズ | 走査電子顕微鏡及びその撮像方法 |
JP4445893B2 (ja) | 2005-04-06 | 2010-04-07 | 株式会社日立ハイテクノロジーズ | 走査形電子顕微鏡 |
JP2010087070A (ja) * | 2008-09-30 | 2010-04-15 | Hitachi High-Technologies Corp | 走査電子顕微鏡に用いられるレシピの診断装置 |
US8947520B2 (en) * | 2009-01-22 | 2015-02-03 | Hitachi High-Technologies Corporation | Electron microscope |
JP5189058B2 (ja) | 2009-10-19 | 2013-04-24 | 株式会社日立ハイテクノロジーズ | 走査形電子顕微鏡 |
JP5506345B2 (ja) * | 2009-11-26 | 2014-05-28 | 株式会社日立ハイテクノロジーズ | 荷電粒子線顕微鏡および当該荷電粒子顕微鏡の制御方法 |
JP5335827B2 (ja) * | 2011-01-04 | 2013-11-06 | 株式会社日立ハイテクノロジーズ | 荷電粒子線装置及びその検出信号の補正方法 |
JP5744629B2 (ja) * | 2011-06-03 | 2015-07-08 | 株式会社日立ハイテクノロジーズ | 電子顕微鏡及び電子線を用いた撮像方法 |
JP5698157B2 (ja) * | 2012-01-06 | 2015-04-08 | 株式会社日立ハイテクノロジーズ | 荷電粒子線装置および傾斜観察画像表示方法 |
JP5852474B2 (ja) * | 2012-03-01 | 2016-02-03 | 株式会社日立ハイテクノロジーズ | 荷電粒子線装置 |
WO2013137466A1 (ja) * | 2012-03-16 | 2013-09-19 | 株式会社日立ハイテクノロジーズ | 荷電粒子線装置、試料観察システムおよび操作プログラム |
JP5814855B2 (ja) * | 2012-04-27 | 2015-11-17 | 株式会社日立ハイテクノロジーズ | 荷電粒子線調整支援装置および方法 |
JP5743955B2 (ja) * | 2012-05-28 | 2015-07-01 | 株式会社日立ハイテクノロジーズ | パターン検査装置およびパターン検査方法 |
DE112013002826B4 (de) * | 2012-06-08 | 2021-10-07 | Hitachi High-Tech Corporation | Mit einem Strahl geladener Teilchen arbeitende Vorrichtung |
JP6216515B2 (ja) * | 2013-01-30 | 2017-10-18 | 株式会社日立ハイテクノロジーズ | 電子ビーム装置、及び電子ビーム観察方法 |
CN104956461B (zh) * | 2013-01-31 | 2016-10-19 | 株式会社日立高新技术 | 复合带电粒子检测器、带电粒子束装置以及带电粒子检测器 |
JP6138948B2 (ja) * | 2013-09-06 | 2017-05-31 | 株式会社日立ハイテクノロジーズ | 荷電粒子線装置及び試料画像取得方法 |
JP6169451B2 (ja) * | 2013-09-13 | 2017-07-26 | 株式会社日立ハイテクノロジーズ | 荷電粒子線装置および荷電粒子線の計測方法 |
JP6047508B2 (ja) * | 2014-01-27 | 2016-12-21 | 株式会社日立ハイテクノロジーズ | 荷電粒子線装置、試料画像取得方法、およびプログラム記録媒体 |
-
2017
- 2017-04-21 US US16/604,876 patent/US11404242B2/en active Active
- 2017-04-21 WO PCT/JP2017/015961 patent/WO2018193605A1/ja active Application Filing
- 2017-04-21 CN CN202210355239.5A patent/CN114709120A/zh active Pending
- 2017-04-21 CN CN201780089056.0A patent/CN110770875B/zh active Active
- 2017-04-21 DE DE112017007270.0T patent/DE112017007270B4/de active Active
- 2017-04-21 JP JP2019513184A patent/JP6716026B2/ja active Active
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
DE112017007270B4 (de) | 2023-03-30 |
WO2018193605A1 (ja) | 2018-10-25 |
CN114709120A (zh) | 2022-07-05 |
CN110770875B (zh) | 2022-04-12 |
US11404242B2 (en) | 2022-08-02 |
CN110770875A (zh) | 2020-02-07 |
US20200126754A1 (en) | 2020-04-23 |
JPWO2018193605A1 (ja) | 2020-02-27 |
DE112017007270T5 (de) | 2019-12-05 |
Similar Documents
Publication | Publication Date | Title |
---|---|---|
US8993961B2 (en) | Electric charged particle beam microscope and electric charged particle beam microscopy | |
JP3813798B2 (ja) | 電子顕微鏡 | |
WO2016017561A1 (ja) | 荷電粒子線装置 | |
JP6716026B2 (ja) | 荷電粒子線装置および荷電粒子線装置における条件設定方法 | |
JP6901460B2 (ja) | 走査電子顕微鏡および画像処理方法 | |
WO2010089960A1 (ja) | 電子線の影響を考慮した半導体検査方法及び装置 | |
JP4668807B2 (ja) | 荷電粒子線装置及び荷電粒子線画像生成方法 | |
JP4083193B2 (ja) | 電子顕微鏡 | |
US9859092B2 (en) | Particle beam microscope and method for operating a particle beam microscope | |
KR102608709B1 (ko) | 하전 입자선 장치 | |
JP5490333B1 (ja) | 荷電粒子線装置、荷電粒子線装置の試料観察方法および荷電粒子線装置の表示制御プログラム | |
JP6121704B2 (ja) | 荷電粒子線装置 | |
JP4456962B2 (ja) | 試料表示装置、試料表示装置の操作方法、試料表示装置操作プログラムおよびコンピュータで読み取り可能な記録媒体又は記録した機器 | |
KR20220040466A (ko) | 하전 입자선 장치 | |
JP6159273B2 (ja) | 荷電粒子線装置、荷電粒子線装置の試料観察方法および荷電粒子線装置の表示制御プログラム | |
JP4512514B2 (ja) | 電子線分光器を備えた透過型電子顕微鏡 | |
WO2021044544A1 (ja) | 試料画像表示システムおよび荷電粒子線装置 | |
JPH07254387A (ja) | 走査型荷電粒子線顕微鏡 | |
JP2014149923A (ja) | 荷電粒子線装置 | |
JPH10302704A (ja) | 荷電粒子ビーム装置 | |
JPH02291649A (ja) | 荷電粒子線装置 | |
JP2017199452A (ja) | 荷電粒子線装置 | |
JPH06273118A (ja) | 寸法測定方法および画像調整方法 | |
JP2008112684A (ja) | 荷電粒子ビーム装置における非点補正・フォーカスの自動調整方法及び装置 | |
JPS5816591B2 (ja) | 走査電子顕微鏡 |
Legal Events
Date | Code | Title | Description |
---|---|---|---|
A521 | Request for written amendment filed |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523 Effective date: 20191016 |
|
A621 | Written request for application examination |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A621 Effective date: 20191016 |
|
TRDD | Decision of grant or rejection written | ||
A01 | Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A01 Effective date: 20200512 |
|
A61 | First payment of annual fees (during grant procedure) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A61 Effective date: 20200609 |
|
R150 | Certificate of patent or registration of utility model |
Ref document number: 6716026 Country of ref document: JP Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R150 |