CN114709120A - 电荷粒子线装置和电荷粒子线装置的条件设定方法 - Google Patents

Abstract

本发明提供一种电荷粒子线装置和电荷粒子线装置的条件设定方法，对操作者的观察条件设定进行辅助，使得能够不局限于基于操作者的经验的试错地，通过电荷粒子线装置获取希望的画质的图像。电荷粒子线装置具备：试料台，其载置试料；电荷粒子光学系统，其向试料照射电荷粒子束；检测器，其检测由于电荷粒子束与试料的相互作用而产生的电子；控制部，其根据由操作者设定的观察条件控制试料台和电荷粒子光学系统，根据来自检测器的检测信号形成图像；显示器，其显示用于设定观察条件的观察辅助画面，其中，控制部将与在观察条件下通过电荷粒子光学系统照射到试料的每个像素的照射电子量有关的信息显示到观察辅助画面。

Description

电荷粒子线装置和电荷粒子线装置的条件设定方法

本申请为2017年4月21日递交的、申请号为201780089056.0、发明名称为“电荷粒子线装置和电荷粒子线装置的条件设定方法”的专利申请的分案申请。

技术领域

本发明涉及电荷粒子线装置和电荷粒子线装置的条件设定方法。

背景技术

电荷粒子线装置通过向对象试料照射电荷粒子线，来进行对象试料的观察、分析等。例如，扫描电子显微镜是以下的装置，其使用电子线作为电荷粒子线，将电子线汇聚得较细地以各种速度一边在试料上扫描一边照射，对由此产生的二次电子和反射电子等检测信号进行成像，从而形成图像。

扫描电子显微镜不只用于高倍率地观察试料上的细微的凹凸的用途，还广泛地用于以由于试料内部的组分的不同而形成的组分对比度像、由于试料表面的微小的电位差而形成的电压对比度像为代表的试料分析、检测通过电子线照射产生的X射线而进行的组分分析的用途。为了获取S/N较好且清晰的对比度图像，除了将通过高电压加速后的电子线汇聚得较细地进行照射以外，重要的是适当地设定电子线的照射量和照射时间而扫描电子束。

在扫描电子显微镜中，以各种速度扫描电子线，对从试料上产生的二次电子、反射电子等检测出的信号进行成像而形成图像，因此每个区域的电子照射量和照射时间对获取对比度产生很大影响。操作者一边调整它们的组合和显示倍率一边进行像观察。为了形成一张图像而设定的电子照射时间的动态范围宽，是数十毫秒～数百秒。一般，为了高精细地获取清晰的图像，而减慢照射电子的扫描速度，长时间地照射电子，获取S/N优良的图像。另一方面，在由于试料的特征而存在充电、污染的问题的情况下，必须通过将总的照射时间设定得较短、缩短每个区域的照射时间并对获取的图像进行累计，从而获取希望的图像。

另外，操作者在观察中，一边改变视野一边在数十倍到数百万倍之间操作观察倍率，因此不只是电子的照射量和照射时间变化，根据倍率操作，照射到试料表面的每个区域的每个时间的电子密度也变化，获取的扫描电子显微镜的对比度也变化。

这样通过扫描电子显微镜观察的像质量根据上述的条件选择而变化，因此，对操作者要求对电子照射对试料的影响、获取像的对比度变化的知识、对扫描电子显微镜的用户界面的熟悉度。

现有技术文献

专利文献

专利文献1：日本特开2010-16002号公报

发明内容

为了获取适当的电子显微镜像，如上述那样，重要的是正确地设定照射到观察区域的照射电子的状态。但是，作为应该考虑到的照射电子状态，有总的照射电子数、照射电子在每个像素的停留时间等，影响照射电子状态的关联参数有获取图像的分辨率、扫描速度、照射电流量等很多，因此操作者大多通过基于经验的试错，与观察试料、目的对应地导出最优的设定。例如，在专利文献1中，说明了必须根据观察用途变更像素数，并公开了通过与相当于一个像素的视野范围对应地改变电子束开角而得到最好的分辨率，但没有在视觉上确认参数对获取图像的意义的办法，操作者难以识别电子照射条件的不同而进行条件设定。

因此，存在以下的问题，即为了获取希望的像对比度的图像，因试错而需要多于设想的操作时间，或者对于经验少的操作者来说，因充电、污染而无法获取希望的高精细并且清晰度优良的图像。因此，必须对操作者的观察条件设定进行辅助，以便能够适当地设定电子的照射量和照射时间、以及扫描方式。

作为第一发明，是一种电荷粒子线装置，其具备：试料台，其载置试料；电荷粒子光学系统，其向试料照射电荷粒子束；检测器，其检测因电荷粒子束与试料的相互作用而产生的电子；控制部，其根据由操作者设定的观察条件来控制试料台和电荷粒子光学系统，并根据来自检测器的检测信号来形成图像；以及显示器，其显示用于设定观察条件的观察辅助画面，控制部将与在观察条件下通过电荷粒子光学系统照射到试料的每个像素的照射电子量有关的信息显示到观察辅助画面。

另外，作为第二发明，是一种电荷粒子线装置的条件设定方法，将包含设定电荷粒子线装置的观察条件的条件设定部和显示电荷粒子线装置的观察像的图像显示部的用户界面画面显示于显示器，将包含与观察像的观察条件下的每个像素的照射电子量有关的信息的观察辅助画面显示于显示器，接受来自操作部的指示，将与捕获观察像的图像捕获条件下的每个像素的照射电子量有关的信息显示于观察辅助画面。

发明效果

通过显示与每个像素的照射电子量有关的信息，操作者能够容易地进行电荷粒子线装置的条件设定。

附图说明

图1是表示扫描电子显微镜的概要的图。

图2是表示扫描电子显微镜的用户界面的图。

图3是电子显微镜像的影像图。

图4是表示观察辅助画面的显示例的图。

图5是表示观察辅助画面的详情的图。

图6是表示电子束影像变化的显示例的图。

图7是表示观察辅助画面的其他显示例的图。

图8是表示观察辅助画面的其他显示例的图。

图9是表示观察辅助画面的其他显示例的图。

图10是使用观察辅助画面设定观察条件的流程图。

具体实施方式

说明将本发明应用于扫描电子显微镜的实施例。扫描电子显微镜使照射电子在作为观察对象的试料上扫描，检测所产生的电子而形成像，操作者通过所形成的图像观察试料。图1是表示扫描电子显微镜的概要的图。扫描电子显微镜具备镜体101、试料室102、控制部103、显示器104、以及操作部105。镜体101和试料室102通过真空泵106被保持真空。镜体101的内部维持为高真空，通过使电子枪111制作的电子束朝向载置在试料室102的试料台115的试料116照射，在该过程中，电子束通过汇聚透镜112、物镜113这样的电磁透镜而汇聚得较细。通过向偏向线圈114施加扫描信号，电子束在试料表面扫描(scan)。将这些控制电子束的各机构统称为电子光学系统。通过向试料表面照射电子束，而通过电子与试料的相互作用产生电子。从试料表面产生的电子包括因产生机制而能量不同的电子。因此，为了高效地检测能量不同的各个电子，也有时设置多个检测器。在图1的例子中，设置有主要检测二次电子的二次电子检测器121、主要检测能量比二次电子高的反射电子的反射电子检测器122。另外，不只是为了形成图像，还为了根据通过向试料照射电子束而产生的特性X射线进行元素分析，也可以设置EDX(能量色散X射线光谱法：Energy dispersive X-rayspectrometry)检测器123那样的检测器。通过二次电子检测器121、反射电子检测器122检测出的产生电子信息被积存在控制部103的图像存储器124中，形成图像并显示到显示器104。控制部103根据操作者通过操作部105设定的观察条件，控制扫描电子显微镜的各机构，并且根据通过检测器检测出的产生电子信息形成图像。另外，为了使操作者对观察条件的设定容易，在控制部103中设置有扫描模式存储部125。在扫描模式存储部125中，存储有多个预先确定的扫描模式，操作者能够读出它而设定观察条件。控制部103根据所设定的观察条件，控制扫描电子显微镜的电子光学系统的动作。用个人计算机(PC)那样的信息控制设备来实现控制部103。

在图2中，表示显示在扫描电子显微镜的显示器104的用户界面画面200的一个例子。操作者一边调整观察条件一边进行试料观察，因此，用户界面画面200包含用于显示、设定扫描电子显微镜的观察条件的条件设定部、显示观察像的图像显示部。在图2的例子中，作为条件设定部，设置有加速电压设定部201、倍率设定部202、扫描速度设定部203、捕获条件设定部204、电子光学条件设定部205。电子光学条件设定部205包含探头电流模式设定部206和射束状态设定部207。另外，在图像显示部中，显示通过信号选择部215选择的通过设置在扫描电子显微镜的检测器形成的图像(实况像)211～214。能够根据能量不同的每个电子的检测信号或它们的组合形成图像，例如实况像211是根据二次电子(SE)的检测信号形成的图像，实况像213是根据反射电子(BSE)的检测信号形成的图像。操作者能够根据观察目的，通过信号选择部215选择所显示的实况像的个数、显示实况像的检测信号的种类。

操作者从加速电压设定部201、扫描速度设定部203、探头电流模式设定部206等设定扫描电子显微镜的观察条件。为了使扫描电子显微镜的观察条件的设定容易，针对扫描速度预先设定有多个模式，操作者能够选择预先设定的模式之一。例如，在图2的例子中，将被显示为“R1”、“S1”的按键显示到扫描速度设定部203，各个按键与电子束扫描试料表面的扫描速度不同的模式对应。例如，操作者在搜索希望的视野区域的情况下选择R1模式(TV扫描模式)，在找到了希望的视野区域时，切换到不同的扫描速度模式，或调整其他参数，将实况像调整为希望的对比度。另外，也可以通过倍率设定部202调整观察像的倍率。在最终希望获取的图像显示到显示器上时，进行图像捕获或保存，获取最终图像。从捕获条件设定部204选择设定捕获图像时的像分辨率和扫描速度。要求最终图像的分辨率比显示到显示器的实况图像的分辨率高。因此，与希望的像分辨率对应地，预先设定与用于搜索视野区域时的观察扫描模式不同的捕获扫描模式。将如以上说明的那样的预先设定的观察扫描、捕获扫描的各模式存储在控制部103的扫描模式存储部125中(参照图1)。

但是，在预先设定的扫描模式下无法得到适当的画质的图像的情况下，操作者必须进行观察条件的调整。在这样的情况下，观察条件的调整容易局限于基于操作者的经验的试错。为了调整图像的对比度等，必须设定照射电子的条件，但关联参数多而难以理解是一个因素。进而，也有时没有向操作者公开调整照射电子的条件所需要的参数。

以获取包含组分A和组分B的试料的组分对比度像的情况为例子进行说明。对于组分对比度像，根据由于试料的原子序号效应而产生的反射电子的检出个数的差异而形成对比度。为了对在不同的观察条件、例如不同的倍率下摄像的组分对比度像之间进行相对比较，理想的是以X倍摄影时的组分A区域与组分B区域的对比度和以Y倍摄影时的组分A区域与组分B区域的对比度相同。但是，即使该比例关系对于每个像素的输入电子数和产生电子的个数大致成立，与输入电子数关联的参数也多，变更倍率的操作自身也会改变每个像素的输入电子数。因此，为了在以Y倍摄像时重现以X倍摄像时的对比度，必须施加使伴随着倍率变更而产生的输入电子数的变化抵消的任意的观察条件的变更。

作为其他例子，列举观察绝缘材料等静电电容大的试料的情况。假设要从规定的观察扫描模式切换到捕获扫描模式，而在高倍率条件下获取高分辨率的捕获图像。其结果是，也有时作为向静电电容大的试料的微小区域照射很多电子的结果而产生充电现象，在观察扫描模式下观察到的对比度从捕获图像中消失了。

在图3中表示无法得到适当的观察结果(捕获图像)的具体例子。原图像301是显示到显示器上的原始的图像(实况像、TV像)的影像图，图像302～305是在规定的捕获扫描模式下获取原图像301所得的电子显微镜像的影像图(捕获图像)。在对多个帧的图像进行累计而生成图像时，受到因射束照射的影响而产生的像偏移的影响，而产生在轮廓处产生了平滑的亮度等级的图像302。对于轮廓失真(漂移)的图像303，在由于比较长时间地照射电子束而产生的充电的影响下，在获取1帧图像的画面的后半产生了像漂移。对于对比度消失图像304，由于照射电子束而产生的充电等现象的原因，对比度消失了。对于强度变化了的图像305，由于观察条件变化而检出电子的S/N的比例变化，由此浓淡的强度变化了。这些都是因为从获取原图像301时的观察条件切换到其他观察条件，从而每个观察区域的照射电子数变化，由此产生了像漂移、充电。另一方面，在调整光学条件的参数中，存在对每个观察区域的照射电子数产生影响的多种参数。因此，在本实施例的扫描电子显微镜中，设置以每个观察区域的照射电子数为指标调整观察条件的辅助画面，以便能够设定观察条件。

在图10中表示使用观察辅助画面设定观察条件的流程。一边参照图10和显示在显示器104上的操作画面的画面例子，一边说明操作者调整、设定观察条件的流程。首先，操作者使观察辅助画面显示(S1001)。在图4中，表示以不同的窗口的形式将观察辅助画面显示到显示器104的例子。如果从扫描电子显微镜的用户界面画面200按下了电子光学条件设定部205的射束状态按键207，则显示表示SEM射束状态的观察辅助画面401。在显示观察辅助画面401时，也可以使得用户界面画面200能够不将电子显微镜像显示到图像显示部。这是为了在不需要确认实况像的情况下，避免由于持续显示实况像而向试料照射不必要的电子束。

在图5中表示观察辅助画面401的详情。在观察辅助画面中，为了使操作者容易理解，而显示出表示获取图像的观察区域的观察区域影像图501、表示照射到观察区域的电子束的电子束影像图508。

观察区域影像图501将1个像素图示为1块，将1帧的视野表现为俯视图。无法表示出1帧中的全部像素，因此省略像素的重复的一部分，使得能够同时确认1帧和1个像素的大小。观察区域影像显示并不限于图5。例如，也可以不用图那样的虚线，而用省略波浪线等表现一部分像素的省略。或者，也可以考虑与帧影像分离地，用圆框等围住地表现1～少量的像素影像。进而，还可以通过变更该影像图的配色、线种，而表现大小的变化。在观察区域影像图501中，配合地显示出1帧的大小502、每帧的扫描时间503、每帧的扫描时间504、1个像素的大小505、每个像素的扫描时间(像素时间＝Dwell Time)506，对观察区域影像图501的识别性进行辅助。对于与扫描时间相关的值，不只是数值，为了容易直观地理解扫描范围，理想的是如图5那样进行附加箭头显示等的工作。另外，特别地扫描时间、像素大小、累计数这样的值是对照射电子数产生直接影响的数值，因此理想的是统一显示在区域507中。

在电子束影像图508中模拟地显示电子束的照射电子的数量、照射电流，进而显示出照射电流值509。对于照射电流值509，如果在电子显微镜的镜体设置有法拉第筒等测定器则根据实测值，或者根据预先获取的校正值，计算并显示该观察条件下的照射电流值。在图6中表示电子束影像图508的显示例子。电子束影像图与照射电子的数量、照射电流对应地改变颜色、形状，对操作者进行辅助使其能够对电子束的状态有印象。在相对于原图601增加了照射电子的情况下，如影像图602那样，使模拟照射电子的白圈的个数增加。与此相对地，在提高照射电流的情况下，如影像图603那样将背景的颜色设为深红色等地使其变化，使得操作者容易在视觉上对电子束有印象。作为在成为高倍率时照射电子密度变高的弊端，有产生因射束照射造成的试料的损坏和局部产生的污染。通过如图602、603那样改变照射电子的影像，能够不对试料施加因射束照射造成的损坏地，在实际获取图像之前在视觉上进行确认。理想的是能够在每次观察时设定成为基准的原图601的观察条件，使得操作者容易调整电子束的条件。

在影像图的附近显示放射剂量510。操作者能够在每次调整、设定观察条件时参照该值。作为放射剂量510，在图5的例子中，显示出每个像素的照射电子数、每单位长度的扫描的照射电子数(线密度)、每单位面积的照射电子数(面密度)。也可以代替它们而显示与它们相当的物理量，但在至少改变了观察条件的情况下，重要的是操作者能够识别使得能够定量地比较每个像素的照射电子量的变化。此外，根据(照射电流(pA)×像素时间(μs))/e(e：基本电荷量)来求出每个像素的照射电子数。另外，根据每个像素的照射电子数/像素大小来求出线密度。

另外，在观察辅助画面401中，读取在用户界面画面200的条件设定部中对扫描电子显微镜设定的关联的参数，而显示为关联参数520。具体地说，在关联参数520中，显示出在加速电压设定部201、倍率设定部202、扫描速度设定部203、电子光学条件设定部205中设定的值。

如以上说明的那样，扫描电子显微镜的控制部103计算实况像的照射电子量，并和与照射电子量关联的参数一起显示到观察辅助画面401(S1002：图10)。由此，操作者能够针对显示在图像显示部中的实况像，在观察辅助画面401中统一地确认决定射束状态的参数和作为其结果的照射电子量。

在观察辅助画面401中配置有扫描/捕获的选择按键523，因此操作者选择任意一个(S1003)。操作者继续进行观察视野的搜索，在调整普通扫描条件的情况下选择“扫描”，在确定观察视野而进行捕获扫描条件的确认、调整的情况下选择“捕获”。在选择了“捕获”的情况下，显示在捕获条件设定部204中设定的捕获扫描模式的关联参数和根据该关联参数计算出的照射电子量(S1004)。

操作者在开始观察后，在观察扫描模式下，一边改变试料位置和观察倍率，一边搜索试料上的观察对象视野。在该阶段中，粗略地调整观察像的亮度对比度，在能够进行视野搜索的程度的S/N下以尽量快的扫描速度照射电子而进行视野搜索。与此相对地，在用于获取捕获图像的捕获扫描中，操作者为了获取充分的S/N的图像，而将每个像素的电子照射时间设定得长，或对多帧的图像进行累计。因此，与前段的观察扫描的设定分别地进行捕获扫描的设定。但是，由于该切换，如上述那样，有时对比度的设置错误，或由于在视野搜索中发现的充电等的影响而出现像偏移、光晕。通过在扫描/捕获的选择按键523中选择任意一个，针对普通扫描、捕获扫描的任意一个扫描模式，都能够通过观察辅助画面401确认每个像素的照射电子量。

说明在观察扫描中调整观察条件的情况。如果在启动了观察辅助画面401的状态下更新加速电压设定部201、倍率设定部202、扫描速度设定部203、探头电流模式设定部206的值(S1005)，则与之对应地，更新观察辅助画面401的关联参数520，并更新与射束状态有关的信息501～514(S1006)。在图5的例子中，表示出读取按键521、计算按键522。既可以通过变更用户界面画面200的条件设定部的设定值而自动地更新观察辅助画面401，也可以与操作者的指示对应地更新观察辅助画面401。例如，在由操作者按下了读取按键521时新关联参数520，并根据在按下了计算按键522时更新的关联参数520更新信息501～514。只在按下了计算按键522时进行更新，由此能够减轻计算照射电子量的控制部的负荷。

另外，在观察辅助画面401上，也能够编辑关联参数。能够编辑观察辅助画面401的关联参数520，在更新关联参数520而按下了计算按键522时，使用编辑后的关联参数的内容，更新信息501～514。在图5的例子中，是以下的例子，即能够通过下拉菜单编辑像素数、扫描模式，能够向照射电流输入框511数值输入照射电流量。如果使用该功能，则操作者能够在实际变更扫描电子显微镜的扫描模式之前，确认与每个像素的照射电子量关联的信息，根据计算出的每个像素的照射电子量，设定观察条件。在确定了观察条件后，操作者通过从操作部进行指示使得应用在观察辅助画面中设定的观察条件，而继续进行观察。

如果无法而得到希望的实况像，则再次更新关联参数，如果得到希望的实况像，则进行图像捕获的条件设定，因此通过选择按键523选择捕获(S1007、S1003)。由此，显示在捕获条件设定部204中设定的捕获扫描模式的关联参数、根据该关联参数计算出的照射电子量(S1004)。操作者确认显示在观察辅助画面401中的捕获扫描模式下的每个像素的照射电子量与观察扫描下的每个像素的照射电子量的背离(S1008)。在背离小的情况下，不需要调整条件，而进行图像捕获(S1011)。在背离大的情况下，如果调整了捕获条件设定部204等的与捕获扫描有关的观察条件(S1009)，则与之对应地，更新观察辅助画面401的关联参数520，更新与射束状态有关的信息501～514(S1010)。步骤S1009和步骤S1010的处理分别与步骤S1005和步骤S1006的处理相同，因此省略说明。由此，如果与观察扫描下的照射电子量的背离小，则执行图像捕获(S1011)。

此外，在图5的例子中，作为关联参数520，显示照片倍率、画面倍率、FOV(Field ofView：观察视野大小)的至少任意一个。对于扫描电子显微镜的照片倍率，以前按照将像照片显示为127mm×95mm(4×5照片大小)的照片的大小而规定了倍率，但现在，按照显示在显示器104中的大小进行倍率显示，或根据利用了图像视野的尺寸的FOV显示而规定了观察视野的尺寸，画面倍率变得复杂。如图5所示，通过在观察辅助画面401上与1个像素的大小505等配合地进行显示，操作者容易地识别不同。

在图7中表示观察辅助画面的变形例子。在将通过扫描电子显微镜获取的电子显微镜像保存为电子文件的情况下，有时与电子显微镜像的电子文件关联地，以文本文件数据的形式将获取电子显微镜像时的观察条件的设定内容保存为附带信息。通过按下设置在观察辅助画面402中的附带信息获取按键701，选择附带信息或获取的电子显微镜像，从选择出的附带信息获取必要的参数，将获取的附带信息反映到观察辅助画面上的关联参数520，并且计算照射电子量，显示信息501～514。由此，操作者能够针对过去获取的电子显微镜像，在以后在显示器104中在视觉上确认获取时的电子射束状态、扫描条件。此外，如果能够使控制部103以外的信息处理装置执行相同的程序，则也能够通过控制部103以外的信息处理装置来实现。

另外，在从附带信息获取按键701选择附带信息并获取后，能够通过发送按键702在用户界面画面200的条件设定部中发送观察条件。由此，能够重现与过去的电子显微镜像获取时相同的观察条件。

在图8、图9中表示观察辅助画面的其他变形例子。在图8所示的观察辅助画面403中，针对显示的与行扫描有关的参数504、与帧扫描有关的参数503、与像素时间有关的参数506、像素数502，能够从观察辅助画面403编辑参数，能够直接变更扫描电子显微镜的设定。操作者能够通过观察辅助画面403中的保存按键801，起名字地保存编辑后的参数的扫描模式。将保存的扫描模式的信息作为原始扫描模式，存储在控制部103的扫描模式存储部125中。在用户界面画面200中与标准的扫描速度设定部203同样地配置原始扫描模式设定部802，使得操作者能够调用所保存的扫描模式作为原始的扫描模式。在图9中表示配置了原始扫描模式设定部802的用户界面的一个例子。

在图9中，其特征在于：能够将操作者编辑生成的扫描模式和频繁使用的标准的扫描模式显示为扫描模式列表901。由此，如果一次确定了扫描模式列表，则能够容易地与观察对象、目的对应地设定预先保存的扫描模式。进而，在常规观察时，操作者也不需要重复地编辑扫描设定，而能够吞吐量良好地进行观察。也可以在扫描模式列表中，设置用于向观察辅助画面403转移的观察辅助按键902(例如射束状态按键)。

以上，说明了将本发明应用于扫描电子显微镜的例子。应用对象并不限于此，也能够应用于照射电子线而观察试料的普通显微镜、例如透射电子显微镜、扫描型透射电子显微镜，还能够应用于向试料照射离子束的汇聚离子束装置(FIB：Focused Ion Beam)。

另外，操作画面向显示器的显示方法也不限于实施方式记载的内容，能够进行各种变形。例如，通过与用户界面画面200不同的窗口的形式显示观察辅助画面，但也可以以同一窗口的形式显示为用户界面画面的一部分。另外，例如也可以在观察辅助画面上更新了关联参数的情况下，或在切换了扫描和捕获时等，打开多个观察辅助画面，或在观察辅助画面上残留地显示更新前的信息，使得能够容易地比较新旧的观察辅助画面的信息。

附图标记说明

101：镜体；102：试料室；103：控制部；104：显示器；105：操作部；106：真空泵；111：电子枪；112：汇聚透镜；113：物镜；114：偏向线圈；115：试料台；116：试料；121：二次电子检测器；122：反射电子检测器；123：EDX检测器；124：图像存储器；125：扫描模式存储部。

Claims (10)

1.一种电荷粒子线装置，其特征在于，

上述电荷粒子线装置具备：

试料台，其载置试料；

电荷粒子光学系统，其向上述试料照射电荷粒子束；

检测器，其检测因上述电荷粒子束与上述试料的相互作用而产生的电子；

控制部，其根据由操作者设定的观察条件来控制上述试料台和上述电荷粒子光学系统，并根据来自上述检测器的检测信号来形成图像；以及

显示器，其显示用于设定上述观察条件的观察辅助画面，

上述控制部将与在上述观察条件下通过上述电荷粒子光学系统照射到上述试料的每个像素的照射电子量有关的信息显示于上述观察辅助画面。

2.根据权利要求1所述的电荷粒子线装置，其特征在于，

上述控制部还将对上述图像的画质有影响的关联参数一并显示于上述观察辅助画面。

3.根据权利要求2所述的电荷粒子线装置，其特征在于，

上述电荷粒子线装置具备接受操作者的输入的操作部，

上述控制部在上述观察辅助画面上，将与在应用了由上述操作部编辑后的关联参数的情况下的观察条件下由上述电荷粒子光学系统照射到上述试料的每个像素的照射电子量有关的信息显示于上述观察辅助画面。

4.根据权利要求3所述的电荷粒子线装置，其特征在于，

上述控制部接受来自上述操作部的指示，根据应用了由上述操作部编辑后的关联参数的观察条件来控制上述试料台和上述电荷粒子光学系统。

5.根据权利要求3所述的电荷粒子线装置，其特征在于，

上述控制部具备存储预先确定的扫描模式的扫描模式存储部，

上述控制部将应用了由上述操作部编辑后的关联参数的扫描模式作为原始扫描模式而存储于上述扫描模式存储部，在设定上述观察条件时，能够读出上述预先确定的扫描模式或上述原始扫描模式。

6.根据权利要求1所述的电荷粒子线装置，其特征在于，

上述控制部读出与保存为电子文件的图像关联的附带信息所包含的观察条件，将与在上述附带信息所包含的观察条件下由上述电荷粒子光学系统照射到上述试料的每个像素的照射电子量有关的信息显示于上述观察辅助画面。

7.一种电荷粒子线装置的条件设定方法，其特征在于，

将包含设定电荷粒子线装置的观察条件的条件设定部和显示上述电荷粒子线装置的观察像的图像显示部的用户界面画面显示于显示器，

将包含与上述观察像的观察条件下的每个像素的照射电子量有关的信息的观察辅助画面显示于上述显示器，

接受来自操作部的指示，将与捕获上述观察像的图像捕获条件下的每个像素的照射电子量有关的信息显示于上述观察辅助画面。

8.根据权利要求7所述的电荷粒子线装置的条件设定方法，其特征在于，

在上述观察辅助画面中，一并显示对上述观察像或捕获上述观察像而获取的捕获图像的画质有影响的关联参数，

针对显示在上述观察辅助画面上的关联参数，通过上述操作部接受编辑，

将与应用了由上述操作部编辑后的关联参数的情况下的观察条件下的每个像素的照射电子量有关的信息显示于上述观察辅助画面。

9.根据权利要求8所述的电荷粒子线装置的条件设定方法，其特征在于，

接受来自上述操作部的指示，进行应用了由上述操作部编辑后的关联参数的观察条件下的上述观察像的显示或上述捕获图像的获取。

10.根据权利要求8所述的电荷粒子线装置的条件设定方法，其特征在于，

将应用了由上述操作部编辑后的关联参数的扫描模式存储为原始扫描模式。

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