JP5189058B2 - 走査形電子顕微鏡 - Google Patents
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図1は、本発明が適用される走査形電子顕微鏡の構成例を示す図である。陰極1と第1陽極2の間には、マイクロプロセッサ(CPU)22で制御される高圧制御電源15により電圧が印加され、所定のエミッション電流で一次電子線4が陰極1から引き出される。陰極1と第2陽極3の間には、CPU22で制御される高圧制御電源15により加速電圧が印加されるため、陰極1から放出された一次電子線4は加速されて後段のレンズ系に進行する。
電子ビーム開き角と分解能及び焦点深度の関係について、図4に示す。試料上での電子ビーム径のみを考慮した場合の走査電子像の分解能は、図4の点線のような関係となる。このとき、開き角がα0において最小の分解能を得る。走査電子像の分解能は通常最適分解能を得てかつ深い焦点深度を得るため、グラフの左半分のα<α0以下の領域にて使用している。この開き角と分解能の関係は、電子軌道シミュレーションや実験により導出しておき、記憶装置に記憶させる。
Claims (4)
- 試料における一画面分の視野領域に対して一次電子線を照射することにより得られる信号を前記視野領域に含まれる画素数を規定するサンプリングレートにてアナログ−デジタル変換し、前記画素数で取得したデジタル画像情報を画像として表示する走査形電子顕微鏡であって、
前記一次電子線を発生する電子線源と、
前記一次電子線を前記試料上に収束させる対物レンズと、
前記対物レンズよりも前記電子線源側に設けられ、前記一次電子線の光路上に像点を形成する集束レンズと、
前記画像の倍率および前記画素数をそれぞれ入力する倍率入力欄および画素数入力欄とが表示されるディスプレイと、
前記倍率入力欄および画素数入力欄に入力された値をもとに前記一次電子線の開き角を計算する演算手段とを備え、
当該計算された開き角にもとづき前記一次電子線の開き角を制御することを特徴とする走査形電子顕微鏡。 - 請求項1に記載の走査形電子顕微鏡において、
前記演算手段が、前記倍率入力欄および画素数入力欄へ入力された値をもとに、画像分解能および焦点深度を更に計算することを特徴とする走査形電子顕微鏡。 - 請求項2に記載の走査形電子顕微鏡において、
前記計算された、開き角、画像分解能および焦点深度が前記ディスプレイ上に表示されることを特徴とする走査形電子顕微鏡。 - 請求項1から3のいずれか1項に記載の走査形電子顕微鏡において、
前記信号を検出する検出器と、
当該検出器による検出信号をアナログ−デジタル変換するアナログ−デジタル変換器とを備え、
前記アナログ−デジタル変換器は、前記倍率入力欄および画素数入力欄へ入力された値をもとにサンプリングレートを切り替えることを特徴とする走査形電子顕微鏡。
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