JP2011238635A - 走査荷電粒子線装置 - Google Patents
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Abstract
【解決手段】本発明の走査荷電粒子線装置によると、試料の観察時に、倍率の高低に応じて試料の表面の凹凸の全てが焦点深度領域内となるように試料が配置される。
【選択図】図1
Description
h=R(1−cosθ) 式2
S=h/cosθ=R(1−cosθ)/cosθ 式3
g(r)=ar2 式4
f(r)=ar2−Dof 式5
Fov(2)=2√(Dof/a) 式6
図6を参照して焦点深度Dofの測定方法を説明する。焦点深度Dofを測定するには、例えば、焦点が合ったときから再び焦点がぼけるまでの距離を測定すればよい。焦点が合った状態から焦点がぼける状態まで変化させるには、対物レンズの励磁電流を制御するか、又は、試料ステージ16を移動させればよい。ここでは、対物レンズの励磁電流を制御する場合を説明する。図6(a)は、対物レンズの励磁電流と像のボケの関係を示し、横軸は対物レンズの励磁電流、縦軸は像ボケの相対値である。相対値は、像ボケが無い状態を基準として、像ボケの大きさを数値で表わしたものである。相対値が小さいほど、像ボケがない鮮明な像を表わし、相対値が1のとき、像ボケが無い状態を表わす。例えば、像ボケの相対値の許容値を例えば1.1とする。対物レンズの励磁電流を徐々に増加させ、最初に相対値が1.1より小さくなったときの励磁電流の値Iaを記憶する。励磁電流の値Iaは、焦点が合っていない状態から焦点が合った状態に変化したことを表わす。更に、対物レンズの励磁電流を徐々に増加させ、相対値が1.1より大きくなったときの励磁電流の値Ibを記憶する。励磁電流の値Ibは、焦点が合っている状態から再び焦点ボケが生じたことを示す。尚、像ボケの相対値は、画像処理部31が演算する。
Do2=Dof(a2)−Dof(b2) 式7
Do3=Dof(a3)−Dof(b3)
Do=(1/3)(Do1+Do2+Do3) 式8
Do2=Y(a2)−Y(b2) 式9
Do3=Y(a3)−Y(b3)
Do=(1/3)(Y1+Y2+Y3) 式10
g(r)=ar2 式11
h(r)=ar2−y1 式12
40:一次荷電粒子線、41:クロスオーバ、42:情報信号、44:焦点、45:光軸、46:合焦領域、47:像面湾曲曲線、201、210:走査領域
Claims (4)
- 荷電粒子線を発生させる荷電粒子線源と、上記荷電粒子線を、表面に凹凸がある試料上に集束させる対物レンズを含むレンズ手段と、上記荷電粒子線を試料上で走査させるための偏向手段と、上記荷電粒子線の照射によって試料から発生する情報信号を検出する検出器と、上記情報信号から得た画像信号によって試料の画像を生成する画像処理部と、試料を移動させる試料ステージと、を有し、
上記試料を観察するとき、倍率の高低に応じて上記試料の表面の凹凸の全てが焦点深度の合焦点領域内となるように上記試料が配置されることを特徴とする走査荷電粒子線装置。 - 上記試料を観察するとき、上記合焦点領域内となる有効視野が上記試料の表面において最大となるように上記試料が配置されることを特徴とする請求項1記載の走査荷電粒子線装置。
- 荷電粒子線を試料上に照射する照射ステップと、
上記荷電粒子線を試料上で走査させるための走査ステップと、
上記荷電粒子線を試料上に集束させる集束ステップと、
上記試料の表面に対して上記荷電粒子線の焦点の位置を相対的に移動させる焦点調整ステップと、を有し、
上記試料を観察するとき、上記焦点調整ステップにて、倍率の高低に応じて上記試料の表面の凹凸の全てが焦点深度の合焦点領域内となるように、上記荷電粒子線の焦点の位置を相対的に移動させることを特徴とする焦点調整方法。 - 上記試料を観察するとき、上記焦点調整ステップにて、上記合焦点領域内となる有効視野が上記試料の表面において最大となるように上記荷電粒子線の焦点の位置を相対的に移動させることを特徴とする請求項3記載の焦点調整方法。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
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CN114113185A (zh) * | 2020-08-31 | 2022-03-01 | 中国科学院生物物理研究所 | 实现扫描电子显微镜变焦扫描的成像方法 |
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