JP4928971B2 - 走査形電子顕微鏡 - Google Patents
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(例えば、特許文献2参照)。しかし、試料が上下振動すると、電子ビームの照射位置が水平方向に変化するため、試料の振動にあわせて二次元像の揺れが現れる。
「l=d×tanθ 」。仮に、垂直方向から10度傾斜した電子ビームにより二次元像の2ナノメートルの分解能を得るためには、像揺れ量を2ナノメートル以下に抑えなければならないので、l=2ナノメートルを上記式へ代入すると、2ナノメートルの二次元像の揺れに相当する試料の上下方向の振動量はd=11.3 ナノメートルとなる。試料保持部を常にこの程度の振動に抑えるのは大変困難である。
6 第2収束レンズ
7 対物レンズ
10 ビーム偏向コイル
11 試料
17 第2収束レンズ制御電源
19 ビーム偏向コイル電源
21 対物レンズ制御電源
22 マイクロプロセッサ
23 試料ステージ
25 コンピュータ
32 試料ステージ振動測定器
Claims (4)
- 試料の垂直方向に対して傾斜した光軸を有する電子ビームを該試料へ照射して二次元像を取得する走査形電子顕微鏡において、
前記試料を載置した試料ステージの上下方向の振動量を測定する振動量測定手段と、測定された該振動量と前記電子ビームの傾斜角とから前記二次元像の揺れを無くすよう該電子ビームの前記試料に対する照射位置の変位量を算出し、該算出結果に基づいた前記電子ビームの制御信号を送信するマイクロプロセッサと、該マイクロプロセッサからの前記制御信号に基づいて、前記電子ビームの照射位置を補正するビーム位置補正手段とを備えたことを特徴とする走査形電子顕微鏡。 - 請求項1の記載において、前記マイクロプロセッサは、測定された前記振動量のうちの大きい振動量の周波数の振幅と前記傾斜角とから前記変位量を算出することを特徴とする走査形電子顕微鏡。
- 請求項1の記載において、前記振動量測定手段は、前記試料ステージに設けられていることを特徴とする走査形電子顕微鏡。
- 請求項1の記載において、前記ビーム位置補正手段は、前記試料ステージの移動時に前記試料ステージの振動が収束するまで前記電子ビームの照射位置を補正することを特徴とする走査形電子顕微鏡。
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