JP2006147592A - ビーム位置補正装置およびビーム条件とビーム位置補正量との関係を求める方法 - Google Patents
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Abstract
【解決手段】ビーム位置補正装置1は、ビームの補正を行うために、ビーム位置を偏位させるビーム偏位手段23と、ビーム偏位手段23のビーム偏位量を調整してビーム位置の補正を行う補正手段10とを備えた構成とし、補正手段10は、ビーム条件とビーム位置補正量との関係に基づいて、ビーム条件に対応してビーム偏位量を定めることによって、あらかじめ求めておいたビーム条件とビーム位置補正量との関係に基づいてビームを偏位させ、ビーム条件の変更によるビーム位置の補正を行う。
【選択図】図1
Description
前記ビーム偏位手段のビーム偏位量を調整してビーム位置の補正を行う補正手段とを備えるビーム位置補正装置において、ビーム条件とビーム位置補正量との関係を求める方法として2つの態様を備える。
Claims (4)
- ビーム位置を偏位させるビーム偏位手段と、
前記ビーム偏位手段のビーム偏位量を調整してビーム位置の補正を行う補正手段とを備え、
前記補正手段は、ビーム条件とビーム位置補正量との関係に基づいて、ビーム条件に対応してビーム偏位量を定め、
前記ビーム条件は、荷電粒子ビーム源に供給する加速電圧及びビーム電流であり、当該ビーム電流は荷電粒子ビームを収束させる収束レンズに供給するパワーにより定めることができることを特徴とするビーム位置補正装置。 - 前記補正手段は、前記加速電圧と収束レンズに供給するパワー比の2つのビーム条件に対するビーム位置補正量を格納し、ビーム条件に応じて読み出すことを特徴とする、請求項1に記載のビーム位置補正装置。
- ビーム位置を偏位させるビーム偏位手段と、
前記ビーム偏位手段のビーム偏位量を調整してビーム位置の補正を行う補正手段とを備えるビーム位置補正装置においてビーム条件とビーム位置補正量との関係を求める方法であって、
所定ビーム条件における走査像をモニター上に表示し、
前記ビーム偏位手段により当該走査像が所定位置となるように調整し、
当該調整量をビーム位置補正量とすることによってビーム条件とビーム位置補正量との関係を求めることを特徴とする、ビーム条件とビーム位置補正量との関係を求める方法。 - ビーム位置を偏位させるビーム偏位手段と、
前記ビーム偏位手段のビーム偏位量を調整してビーム位置の補正を行う補正手段とを備えるビーム位置補正装置においてビーム条件とビーム位置補正量との関係を求める方法であって、
所定ビーム条件における走査像をモニター上に表示し、
当該走査像の指定位置における走査信号とモニター上の所定位置における走査信号とからビーム偏位量を求め、
当該ビーム偏位量からビーム位置補正量を求めることによってビーム条件とビーム位置補正量との関係を求めることを特徴とする、ビーム条件とビーム位置補正量との関係を求める方法。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
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Cited By (2)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2007317508A (ja) * | 2006-05-26 | 2007-12-06 | Hitachi High-Technologies Corp | 座標補正方法および観察装置 |
EP2988315A3 (en) * | 2014-08-01 | 2016-06-15 | Carl Zeiss Microscopy GmbH | Method for analyzing and/or processing an object as well as a particle beam device for carrying out the method |
-
2005
- 2005-12-28 JP JP2005380467A patent/JP2006147592A/ja active Pending
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EP2988315A3 (en) * | 2014-08-01 | 2016-06-15 | Carl Zeiss Microscopy GmbH | Method for analyzing and/or processing an object as well as a particle beam device for carrying out the method |
US9558911B2 (en) | 2014-08-01 | 2017-01-31 | Carl Zeiss Microscopy Gmbh | Method for analyzing and/or processing an object as well as a particle beam device for carrying out the method |
EP4033515A1 (en) * | 2014-08-01 | 2022-07-27 | Carl Zeiss Microscopy GmbH | Method for analyzing and/or processing an object as well as a particle beam device for carrying out the method |
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