JP5244003B2 - Sem−fib複合装置におけるビーム照射位置の補正方法及び装置 - Google Patents
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従来のこの種の装置としては、走査型電子顕微鏡(SEM)において、2次電子検出器のコレクタの電界強度の変化に応じて電子線(又は粒子線)の偏向量を変えるようにする技術が知られている(例えば特許文献1参照)。
(1)請求項1記載の発明は、走査型電子顕微鏡のSEM鏡筒と、集束イオンビーム装置のFIB鏡筒とが同じ試料室に取り付けられたSEM−FIB複合装置におけるビーム照射位置の補正方法であって、装置全体の動作を制御するための制御装置を設け、2次電子検出器の先端に設けられたコレクタ電極へ印加する電圧をオンにした状態とオフにした状態との違いで生じるSEM鏡筒からの電子ビームと、FIB鏡筒からのイオンビームの照射位置のずれを補正するためのイメージシフト量を記憶した補正テーブルを予め前記制御装置内に記憶しておき、導電体が前記試料室に挿入された時に、前記コレクタ電極へ印加する電圧をオフし、前記SEM鏡筒とFIB鏡筒に所定の加速電圧が印加された状態における前記補正テーブルに記憶されているイメージシフト補正量を読み出してSEM鏡筒からのイメージシフト信号及びFIB鏡筒からのイメージシフト信号に重畳し、この状態で得られた2次電子像を表示手段に表示する、ように構成されたことを特徴とする。
(3)請求項3記載の発明によれば、メタルデポジション銃やナノマニピュレータ等の導電体が挿入されても試料観察位置がずれてしまうことのないSEM−FIB複合装置におけるビーム照射位置の補正装置を提供することができる。
(5)請求項5記載の発明によれば、前記導電体は、メタルデポジション銃,ナノマニピュレータ,リトラクト式反射電子検出器の少なくとも何れかが試料室に挿入されても試料観察位置がずれないようにすることができる。
図1は本発明の一実施の形態を示す構成図である。図において、1はその内部に試料が載置される試料室、2は該試料室1に取り付けられたSEM鏡筒、3は同じく試料室1に取り付けられたFIB鏡筒、4は同じく試料室1に取り付けられた、試料に保護膜生成を行なうためのメタルデポジション銃、5は同じく試料室1に取り付けられた2次電子検出器である。
2 SEM鏡筒
3 FIB鏡筒
4 メタルデポジション銃
5 2次電子検出器
6 試料
7 コレクタ電極
8 コレクタ電源
15 イオンポンプ
20 制御装置
21 補正テーブル
22 表示装置
23 操作部
Claims (5)
- 走査型電子顕微鏡のSEM鏡筒と、集束イオンビーム装置のFIB鏡筒とが同じ試料室に取り付けられたSEM−FIB複合装置におけるビーム照射位置の補正方法であって、
装置全体の動作を制御するための制御装置を設け、
2次電子検出器の先端に設けられたコレクタ電極へ印加する電圧をオンにした状態とオフにした状態との違いで生じるSEM鏡筒からの電子ビームと、FIB鏡筒からのイオンビームの照射位置のずれを補正するためのイメージシフト量を記憶した補正テーブルを予め前記制御装置内に記憶しておき、
導電体が前記試料室に挿入された時に、前記コレクタ電極へ印加する電圧をオフし、前記SEM鏡筒とFIB鏡筒に所定の加速電圧が印加された状態における前記補正テーブルに記憶されているイメージシフト補正量を読み出してSEM鏡筒からのイメージシフト信号及びFIB鏡筒からのイメージシフト信号に重畳し、
この状態で得られた2次電子像を表示手段に表示する、
ように構成されたことを特徴とするSEM−FIB複合装置におけるビーム照射位置の補正方法。 - 前記補正テーブルに、コレクタ電極へ印加する電圧をオフにした状態で像のコントラストが最適になる2次電子検出器のコントラスト補正量を更に前記補正テーブルに追加記憶させておき、
この状態で、ビーム位置補正及びコントラスト補正された2次電子像を表示手段に表示する、
ように構成されたことを特徴とする請求項1記載のSEM−FIB複合装置におけるビーム照射位置の補正方法。 - 走査型電子顕微鏡のSEM鏡筒と、集束イオンビーム装置のFIB鏡筒とが同じ試料室に取り付けられたSEM−FIB複合装置におけるビーム照射位置の補正装置であって、
装置全体の動作を制御するための制御装置と、
2次電子検出器の先端に設けられたコレクタ電極へ印加する電圧をオンにした状態とオフにした状態との違いで生じるSEM鏡筒からの電子ビームと、FIB鏡筒からのイオンビームの照射位置のずれを補正するためのイメージシフト量を記憶する補正テーブルと、
SEM像又はFIB装置像を表示する表示手段と、
を具備し、
導電体が前記試料室に挿入された時に、前記コレクタ電極へ印加する電圧をオフし、前記SEM鏡筒とFIB鏡筒に所定の加速電圧が印加された状態における、前記補正テーブルに記憶されているイメージシフト補正量を読み出してSEM鏡筒からのイメージシフト信号及びFIB鏡筒からのイメージシフト信号に重畳し、
この状態で得られた2次電子像を前記表示手段に表示する、
ように構成されたことを特徴とするSEM−FIB複合装置におけるビーム照射位置の補正装置。 - 前記補正テーブルに、コレクタ電極へ印加する電圧をオフにした状態で、像のコントラストが最適になる2次電子検出器のコントラスト補正量を更に前記補正テーブルに追加記憶させておき、
この状態で、ビーム位置補正及びコントラスト補正された2次電子像を表示手段に表示する、
ように構成されたことを特徴とする請求項3記載のSEM−FIB複合装置におけるビーム照射位置の補正装置。 - 前記導電体は、メタルデポジション銃,ナノマニピュレータ,リトラクト式反射電子検出器の少なくとも何れかであることを特徴とする請求項3記載のSEM−FIB複合装置におけるビーム照射位置の補正装置。
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