JP2010015731A - 走査型電子顕微鏡、および走査型電子顕微鏡における画像の改良方法 - Google Patents
走査型電子顕微鏡、および走査型電子顕微鏡における画像の改良方法 Download PDFInfo
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Abstract
取得画像の像質や分解能の劣化を防ぐことができる走査型電子顕微鏡、および走査型電子顕微鏡の画像の改良方法を提供する。
【解決手段】
試料に電子ビームを照射し該試料から発生する二次信号の情報を画像化する走査型電子顕微鏡において、前記電子ビームを前記試料で走査する走査信号を補正する補正データを格納する記憶部と、該記憶部へ格納された補正データを用いて前記走査信号を補正する補正回路と、該補正回路で補正された走査信号を用いて得られた画像を表示するディスプレイとを備え、該ディスプレイには、さらに、前記補正データに基づいて生成された補正データ波形が表示される。
【選択図】図8
Description
106 制御部
108,206 アライメントレンズ
109 ディスプレイ
110,207 偏向レンズ
111 反射電子検出器
112,208 対物レンズ
113 反射板
114 電圧印加磁路
116 試料
201 GUI
202 CPU
203 D/A変換器
204 メモリ
205 電圧電流変換回路
301 電子ビーム補正用データ記憶装置
302 環境測定器
801 設定ウィンドウ
802 補正データ表示エリア
803 取得画像表示エリア
804 ゲイン調整バー
805 位相調整バー
806 画像取得ボタン
807 自動設定ボタン
808 補正データ選択ボタン
809 環境測定データ取得ボタン
810 補正データ読込ボタン
811 補正データ格納ボタン
812 補正データ波形
813 補正データ表示選択部
814 補正データ表示領域
Claims (9)
- 試料に電子ビームを照射し該試料から発生する二次信号の情報を画像化する走査型電子顕微鏡において、
前記電子ビームを前記試料で走査する走査信号を補正する補正データを格納する記憶部と、
該記憶部へ格納された補正データを用いて前記走査信号を補正する補正回路と、
該補正回路で補正された走査信号を用いて得られた画像を表示するディスプレイとを備え、
該ディスプレイには、さらに、前記補正データに基づいて生成された補正データ波形が表示されることを特徴とする走査型電子顕微鏡。 - 試料に電子ビームを走査して発生する二次信号から画像を生成しディスプレイへ表示する走査型電子顕微鏡において、
前記画像の形状に関して予め定められた基準と異なる形状のデータを格納する記憶装置と、
該記憶装置に格納された前記データを前記ディスプレイに表示させるとともに、前記データの形状変更指令の入力に基づいて前記データを変更し、該変更されたデータを用いて前記電子ビームを走査する走査信号波形を補正する制御部とを備えたことを特徴とする走査型電子顕微鏡。 - 請求項2の記載において、前記ディスプレイには、前記記憶装置に格納された前記データとともに、前記画像が表示されることを特徴とする走査型電子顕微鏡。
- 請求項2の記載において、前記電子ビームを偏向させる偏向器の電源の電流または磁場の少なくともひとつを測定する環境測定器を備え、
前記制御部は、該環境測定器で測定された電流または磁場の値に基づいて、前記電子ビームを走査する走査信号波形を補正することを特徴とする走査型電子顕微鏡。 - 請求項2の記載において、前記記憶装置に格納されたデータは複数であり、前記ディスプレイに表示された選択メニューを用いてひとつのデータが選択されることを特徴とする走査型電子顕微鏡。
- 請求項2の記載において、前記記憶装置に格納されたデータを編集加工できるメニューが前記ディスプレイに表示されることを特徴とする走査型電子顕微鏡。
- 試料に電子ビームを照射し該試料から発生する二次信号の情報を画像化する走査型電子顕微鏡における画像の改良方法において、
記憶部に予め格納された補正データをディスプレイへ表示させ、
表示された補正データから選択された補正データを用いて、前記試料上での前記電子ビームの走査を制御する走査信号波形を補正し、
該補正された走査信号波形で前記試料を走査して得られた画像を前記ディスプレイへ表示させることを特徴とする走査型電子顕微鏡における画像の改良方法。 - 請求項7の記載において、前記補正データは、前記ディスプレイに表示された編集加工メニューにより加工可能であることを特徴とする走査型電子顕微鏡における画像の改良方法。
- 請求項7の記載において、前記補正データは、前記電子ビームを偏向させる偏向器の電源の電流または磁場の少なくともひとつの値を含むことを特徴とする走査型電子顕微鏡における画像の改良方法。
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Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
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2008
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