JP4111908B2 - 走査電子顕微鏡 - Google Patents

Description

本発明は、微細パターンを観察し、その寸法を計測する走査電子顕微鏡に関し、特に電子線を照射することによって形状が変化する試料を測定対象とする走査電子顕微鏡に関する。

半導体素子や薄膜磁気ヘッドなど、表面の微細加工により製作される機能素子製品の製造・検査工程では、加工されたパターン幅の測定（以下「測長」と呼ぶ）及び外観検査に、走査電子顕微鏡が広く用いられている。走査電子顕微鏡は、電子源から放出され、磁場あるいは電場と電子線の相互作用を利用した収束レンズ及び対物レンズにより細く絞られた電子線を、偏向器を用いて試料上で一次元あるいは二次元的に走査し、電子線照射によって試料から発生する二次信号（二次電子や反射電子）を光電効果等を利用した検出器により検出し、その検出信号を電子線の走査と同期した輝度信号等の可視化可能な信号に変換・処理することで試料像を形成する装置である。

走査電子顕微鏡では、観察・測長する試料表面の形状と高い精度で対応した試料像が得られるように努力が払われている。すなわち、試料表面を観察する際、像信号の可視化位置は該走査領域内各点の位置と正確に相似の位置に配列される。この配列を実現するためには、走査領域と像領域共に矩形とし、それぞれ矩形の一辺を長さとする同一本数の走査線で構成する。走査領域と像領域では走査線長と走査線間距離の比を一致させることが一般的に行われている。こうすることにより、試料表面の任意の２点間の距離は、対応する試料像の２点間の距離と常に一定の比を持つ。この比が走査電子顕微鏡の倍率となる。このような技術は走査電子顕微鏡を構成する基本技術として広く実現されており、例えばL. Reimer, ”SCANNING ELECTRON MICROSCOPY”, Springer-Verlag Berlin and Heidelberg GmbH & Co. KG, 1985, ２項などに記述されている。更に、こうして得た試料像からは、試料表面の任意の２点間の距離を容易に演算することができる。この演算は一般に「測長」と呼ばれ、かかる演算機能を持つ走査電子顕微鏡は「測長電子顕微鏡」と呼ばれている。

また一方、試料表面上の走査領域と試料像とが相似でない例として、特開２００１−１４７１１２号公報に記載されたものがある。この例では、微小な素子であるにも関わらず離間しているために倍率を低くして寸法測定を行わざるを得ないパターンをもつ試料を測定するために、試料上の２点を結ぶ直線に対して垂直な方向に前記試料像を伸ばして二次電子像を形成し、寸法の測定精度を向上している。

このような走査電子顕微鏡では、当然のことながら観察する試料表面に数百エレクトロンボルトの到達エネルギーをもつ電子線を照射することになる。

L. Reimer, "SCANNING ELECTRON MICROSCOPY", Springer-Verlag Berlin and Heidelberg GmbH & Co. KG, 1985, ２項 特開２００１−１４７１１２号公報

近年、半導体の表面の微細加工は一層の微細化が進み、フォトリソグラフィーの感光材料として、フッ化アルゴン(ＡｒＦ)エキシマレーザ光に反応するフォトレジスト（以下「ＡｒＦレジスト」と呼ぶ）が使われ始めている。ＡｒＦレーザ光は波長が１９３ｎｍと短いため、ＡｒＦレジストはより微細な回路パターンの露光に適しているとされている。しかし、最近の検討の結果、電子線照射に対して大変脆弱で、形成されたパターンを走査電子顕微鏡で観察あるいは測長すると、収束電子線の走査により基材のアクリル樹脂等が縮合反応をおこし体積が減少（以下「シュリンク」と呼ぶ）して、回路パターンの形状が変化してしまうことが判明した。

半導体素子ではその設計性能を実現するために、回路パターンの形状・寸法を厳しく管理することが必要であり、そのため、検査工程では微細な寸法を測長できる測長電子顕微鏡が使われている。しかるに、ＡｒＦレジストのように、観察・測定過程において、測長のための電子線照射でパターンの形状が変化してしまう場合、回路パターン寸法として所望の設計値を得られず、素子の特性劣化や破壊を引き起こすという問題がある。更に、線幅が変化することから同一寸法を測定しても、測定都度測定値がばらついてしまい、測定精度が上がらないといった問題がある。現時点では、測長電子顕微鏡に代わって微細な寸法を所望の精度で測長できる装置はなく、パターンのシュリンクはＡｒＦレジストを使用した半導体製造の大きな障害となっている。このように、従来の走査電子顕微鏡では電子線照射時の試料のシュリンクについては配慮されておらず、パターンの寸法の測定値に問題があった。また、前出の特開２００１−１４７１１２号公報の例でも、試料上で離れた２点間の寸法測定の測定精度については考慮されているが、電子線照射時の試料のシュリンクについては考慮されていなかった。

本発明は、ＡｒＦレジストのように電子線照射によってシュリンクする試料に形成されたパターンを高精度に測定できる走査電子顕微鏡を提供することを目的とする。

ＡｒＦレジストパターンのシュリンクはレジストに入射する収束電子線のエネルギーによる化学反応であると考えられ、ＡｒＦレジストの電子線照射後の体積は次式（１）に従って変化すると考えられる。

ここで、Ｖ_ｓ：電子線照射後のＡｒＦレジストの体積、Ｖ：電子線照射前のＡｒＦレジストの体積、τ：ＡｒＦレジストにおける化学反応の時定数、ｔ：経過時間である。

式（１）から分かるように、ＡｒＦレジストに電子線が照射されてから反応によってシュリンクが生じるまでにタイムラグがある。これとは別に、走査電子顕微鏡にて測長する場合は、１度の走査（１フレーム）のみで形成した画像はＳ／Ｎ比が悪い為、通常、フレームを複数枚重ね、平均化することで画像のＳ／Ｎ比を改善し、測長精度を高めている。本発明では、このように、（１）ＡｒＦレジストに電子線が照射されてから反応するまでにタイムラグがあること、（２）通常、測長に当たっては複数のフレームを重ね合わせて対象画像を形成する、という２点に着目し、前記問題の解決策を検討した。

試料上で電子線走査を１度行ってから再び試料上の同位置に次の走査の電子線が来るまでの時間をＴｉとし、ＡｒＦレジストの化学反応の時定数を式（１）に従ってτとする。６０Ｈｚ時におけるインタレース走査ではＴｉは３３ｍｓかかり、発明者の実験ではτは５ｍｓであった。この時、Ｔｉ＞τであり、ＡｒＦレジストのシュリンクがかなり進行した後に、２回目の電子線走査を行うことになる（図１（a）参照）。それに対して本発明では、Ｔｉ＜＜τとする（図１（b）参照）。走査時間を短縮することにより、シュリンク量の少ない精度の良い測長を行うことができる。

つまり、ＡｒＦレジストのような電子線照射によって収縮するレジストに対し、走査線の走査順序を変化させて試料上の同一場所に対する１度目と２度目の走査間の時間を短縮することで、シュリンク量の少ない時に連続して走査を行い、精度の高い測長を行うものである。また、走査線数を減らしたり、走査幅を短くしたりすることで走査間の時間を短縮することも可能である。更に、走査順序、走査線数、走査幅、フレーム積算数等のパラメータを固定値として予め登録しておき、測定時にユーザがそれらの組み合わせを選択可能とすることで、ユーザに使い易い環境を提供する。

すなわち、本発明は、電子線源と、電子線源より放出された電子線を試料上に収束して走査する電子線走査部と、電子線照射によって試料から発生した二次信号を検出する検出器と、検出器によって検出された二次信号をもとに複数の画像信号を積算して試料画像を形成する描画部とを備える走査電子顕微鏡において、電子線走査部によって試料上に走査される電子線の走査パターンが選択可能に複数用意され、複数の走査パターンは、試料上の走査領域中の各電子線照射位置が一度電子線照射を受けてから次に電子線照射を受けるまでの時間がそれぞれ異なる走査パターンであることを特徴とする。典型的な走査パターンの一つは、１つの走査線について積算に用いる複数回の走査を反復してから次の走査線の走査に移る走査パターンである。また、描画部は複数のフレームの画像信号を積算して試料画像を形成してもよい。

本発明によれば、フッ化アルゴン（ＡｒＦ）エキシマレーザ用のフォトレジスト等、照射する電子線によって形状が変化してしまうような試料に対して、高精度の法測定が可能になる。また、本発明ではビームの走査速度は変更しておらず装置構造の大幅な変更を必要としないため、ソフトのみで対応可能であり、従来装置への導入も容易である。

図２は、本発明による走査顕微鏡の一例を示す模式図である。陰極１０１と第一陽極１０２の間には、制御演算部１１９で制御される高電圧制御電源１０４により加速電圧が印加され、所定のエミッション電流が陰極１０１から引き出される。陰極１０１と第二陽極１０３の間には制御演算部１１９で制御される高電圧制御電源１０４により加速電圧が印加される為、陰極１０１から放出された一次電子線１１０は、収束レンズ制御電源１０６で制御された収束レンズ１０５で収束され、絞り板１０７で一次電子線１１０の不要な領域が除去される。

その後、対物レンズ制御電源１１２で制御された対物レンズ１１１により微小スポットとして収束され、偏向コイル１０８で試料１１３上を二次元的に走査される。偏向コイル１０８の走査信号は、観察倍率に応じて偏向コイル制御電源１０９により制御される。また、試料１１３は、試料ステージ１１４上に固定されて二次元的に移動可能である。試料ステージ１１４はステージ制御部１１５により移動が制御される。

一次電子線１１０の照射によって試料１１３から発生した二次電子１１６は、二次電子検出器１１７により検出され、二次電子信号アンプで増幅される。描画部１２０は、検出された二次信号を可視信号に変換して別の平面上に適宜配列するように制御を行うことで、試料像表示部１２１に試料の表面形状に対応した画像を試料像として表示する。入力部１２２は、オペレータと制御演算部１１９のインターフェースを行うものである。オペレータは、入力部１２２を介して上述の各ユニットの制御を行う他に、測定点の指定や寸法測定の指令を行う。

なお、図２では、制御演算部が走査電子顕微鏡と一体、或いはそれに準ずるものとして説明したが、無論それに限られることは無く、走査電子顕微鏡鏡体とは別に設けられた制御演算部で以下に説明するような処理を行っても良い。その際には、二次電子検出器１１７で検出される検出信号を制御演算部に伝達したり、制御演算部から走査電子顕微鏡のレンズや偏向器等に信号を伝達する伝達媒体と、当該伝達媒体経由で伝達される信号を入出力する入出力端子が必要となる。また、以下に説明する処理を行うプログラムを記憶部１２３に登録しておき、画像メモリを有し走査電子顕微鏡に必要な信号を供給する制御演算部１１９で、当該プログラムを実行しても良い。

パターンの寸法測定に当たっては、例えば、試料像表示部１２１に試料像と共に２本の垂直または水平カーソル線を表示させ、入力部１２２を操作してその２本のカーソルをパターンエッジに合わせる。制御演算部１１９は、２本のカーソル間の距離の情報をもとにパターンの寸法値として測定値を算出する。

記憶部１２３には、走査パターンに関し、走査順を決定する複数の制御データ、走査線数を決定する複数の制御データ、走査幅を決定する複数の制御データ、フレーム積算数の値のいくつかが記憶されている。測定時にオペレータが走査方法選択画面に表示された走査方法の中から、被測定対象の試料に適した走査順、走査線数、走査幅、フレーム積算数等の条件を選択・指定すると、制御演算部１１９は、記憶部１２３から選択された条件に対応する制御データを取得し、その制御データを用いて偏向コイル制御電源１０９を制御することで試料上に所望の走査パターンで電子線走査を行う。このようにユーザが指定した走査方法に従って測定を開始することで、変更された走査方法による画像を取得し、取得した画像に基づいて測定を行う。

図３は、走査方法選択画面の例を示す図である。ユーザは、この走査方法選択画面によって試料画像を取得するときの電子線走査方法を選択的に指定することができる。本例の走査方法選択画面には、選択項目として、走査順、走査線数、走査幅、フレーム積算数がある。図３は、走査順として連続走査を、走査線数として通常の５１２本を、走査幅として１／１を、フレーム積算数として８を選択した状態を示している。

最初に、「走査順」について説明する。走査順の選択枝として示されている通常（インタレース走査）は従来の走査電子顕微鏡において通常用いられているインタレース走査であり、連続走査が本発明による走査である。従来の通常走査（インタレース走査）の走査順と本発明による連続走査の走査順の違いについて、図４及び図５を用いて説明する。

図４は、通常走査（インタレース走査）の走査順を示す説明図である。図４（ａ）のモニタ画面の図に示すように、通常走査はＴＶと同じ方式のインタレース走査である。走査線数が５１２本の場合を例にとって説明すると、画面の左上隅から右上隅に向けて水平方向に１本目の走査を行い、垂直方向下方に走査の起点を順次移動しながら２５６本目まで走査を行う。その次に、走査起点を垂直方向上方に移動し、第１走査線と第２走査線の間に２５７番目の走査を行い、第２走査線と第３走査線の間に２５８番目の走査を行う。このような走査を繰り返して、５１２本の走査で１フレームの画像を形成する。ここではモニタ画面上で走査順を説明したが、試料上でもこの順序で電子線照射による走査が行われる。この走査法によると、６０ＨｚのＴＶ走査では１フレーム当たり３３ｍｓの時間を要する。例えば８フレームの画像信号を積算して画像を形成する場合には、このインタレース走査を８回反復することになる。

図４（ｂ）及び（ｃ）に、通常走査（インタレース走査）の場合の垂直同期信号と水平同期信号を模式的に示した。垂直同期信号も水平同期信号も基本的に鋸歯状波であり、垂直同期信号が鋸歯状波を１回描く間に水平同期信号は鋸歯状波を２５６回描く。それを２セット繰り返すことで１フレームの画像を形成する。

しかし、この電子線の走査法で複数回の走査を行うと、電子線の照射によって物理的・化学的な変化を引き起こすような試料、例えばＡｒＦレジストのように収縮をする試料の場合、電子線の照射によってパターンに寸法変化が生じ、寸法値を精度良く安定して測定することができない問題がある。従来、電子線の照射によるレジストのシュリンクを小さくするには、照射電子線量を小さくしたり、測定倍率を下げるしかなかったが、二次電子信号のＳ／Ｎが悪くなったり、倍率を下げたことによる測定精度や再現精度の劣化の問題があった。この問題を回避できる走査法の一つが、本発明で採用した連続走査である。

図５を参照して、本発明の連続走査について説明する。図５（ａ）は、連続走査の場合の、モニタ画面上での走査線の順番を説明する図である。また、図５（ｂ）及び（ｃ）は、連続走査を実現する垂直同期信号と水平同期信号の説明図である。ここでは、１フレームの走査線数が５１２本であり、８フレームの画像信号を積算して測定画像を得る場合の例について説明する。

連続走査においては、図５（ａ）に示すように、偏向コイル制御電源１０９で偏向コイル１０８の走査信号を制御し、走査本数５１２本はそのままで、従来とは走査順を変更し重ねるフレーム枚数分を１本目から連続して走査する。すなわち、モニタ画面上でみると、最初に一番上の走査線を８フレーム分連続して走査する。次に、２番目の走査線に移り、２番目の走査線も８フレーム分連続して走査する。このように、各走査線をフレーム数の分だけ連続して走査し、最後に、一番下の走査線を８フレーム分連続して走査する。試料画像は、各走査線上の画素信号を８フレーム分積算することによって形成される。ここではモニタ画面上で走査順を説明したが、試料上でもこの順序で電子線照射による走査が行われる。また、当然ながら、フレーム積算数を変更すると、各走査線を連続して走査する回数が変わる。例えば、フレーム積算数を４に設定すると、各走査線を４回ずつ連続して走査し、得られた画像信号から試料画像を形成することになる。

この連続走査によると、従来方法と比較して、倍率はそのままであり、試料上の同一箇所に１度目から２度目の走査が来るまでの時間が５１２分の１に短縮される。仮に６０Ｈｚ時の走査を考えれば、従来の通常のインタレース走査では、試料上のある領域が一度走査されて（電子線照射を受けてから）から次の走査（電子線照射）が来るまでの時間Ｔｉが３３ｍｓであるが、連続走査にすればＴｉは約０．０６４ｍｓとなる。その結果、ＴｉはＡｒＦレジストの化学反応の時定数τ=５ｍｓと比較して十分短くなり、目的のＴｉ＜＜τを達成することができる。よって、フレームを複数重ねる走査において、シュリンク量の少ないときに走査して画像信号を取得できるため、従来のインタレース走査で試料を電子線走査して得た試料画像を用いて測長する場合より測長精度を上げることができる。

連続走査の場合の水平同期信号は、図５（ｃ）に示すように、従来のインタレース走査のときの水平同期信号と同様である。しかし、垂直同期信号はインタレース走査の場合とは異なり、図５（ｂ）に示すように、ステップ状の波形をしており、１ステップの垂直同期信号の間に積算フレーム数分（フレーム積算数が８の場合、８個）の水平同期信号が発生される。

図３の走査方法選択画面に戻り、走査線数の設定について説明する。図３の例では、１画面を構成する走査線の数を、通常（５１２本）、１／２（２１６本）、１／４（１２８本）、１／８（６４本）の中から選択できるようになっている。偏向コイル制御電源１０９で偏向コイル１０８の走査信号を制御し、１画面を構成する走査線の数を減らすことで、１フレーム分の画像信号を取得する時間が短縮される。従って、あるフレームで画像信号を取得したのち次のフレームの画像信号取得のために試料上の同一箇所に電子線を照射するまでの時間間隔を短くすることができる。この走査線数を減らす方法は、ラインパターン等の線幅を測長するような場合に有効である。

図６は、走査線数として通常の８分の１である６４本を選択したときの走査線数変更走査の様子を説明する模式図である。ここでは、他の選択項目は、走査順としては通常（インタレース走査）を、走査幅としては１／１を選択したものとして説明する。図６（ａ）は、モニタ画面上に表示される画像の範囲、及び走査の順番を示す図である。モニタ画面は、走査線数を５１２本としたとき、画面全体に画像が表示されるように設定されている。そのため、走査線数をその８分の１の６４本とすると、表される画像の垂直方向の寸法はモニタ画面の１／８の大きさになる。ここではモニタ画面上で走査順及び走査範囲を説明したが、試料上でも副走査方向に狭められた走査範囲に対して電子線照射による走査が行われる。また、当然ながら、走査線数を変更すると、副走査方向の走査領域幅が変わる。例えば、走査線数を１／２に設定すると、モニタ画面上に表示される画像の垂直方向の寸法はモニタ画面の大きさの１／２になる。

図６（ｂ）は、このときの垂直同期信号を模式的に表し、図６（ｃ）は水平同期信号を模式的に表す図である。垂直同期信号の振幅は、走査線数を通常の５１２本に対してその８分の１の６４本としたことに伴い、通常（５１２本）の時の振幅の８分の１になっている。水平同期信号の振幅は、従来の走査法のときと同じである。垂直同期信号の振幅を通常時より小さく設定することで垂直同期信号の周期が短くなり、１フレームの取得時間が短縮される。

再度、図３の走査方法選択画面に戻り、走査幅の選択について説明する。図３の例では、走査幅を１／１（通常）、１／２、１／４の中から選択できるようになっている。偏向コイル制御電源１０９で偏向コイル１０８の走査信号を制御し走査幅を変更すると、水平同期信号の周期が短くなる。従って、１フレーム分の画像信号を取得する時間が短縮され、あるフレームで画像信号を取得したのち次のフレームの画像信号取得のために試料上の同一箇所に電子線を照射する時間間隔を短くすることができる。

図７は、走査幅として通常の１／２の走査幅を選択したときの走査幅変更走査の様子を説明する模式図である。ここでは、他の選択項目は、走査順としては通常（インタレース走査）を、走査線数としては通常（５１２本）を選択したものとして説明する。図７（ａ）は、モニタ画面上に表示される画像の範囲、及び走査の順番を示す図である。モニタ画面は、走査幅を１／１（通常）としたとき、画面全体に画像が表示されるように設定されている。そのため、走査幅をその２分の１に設定すると、表される画像の水平方向の幅はモニタ画面の幅の半分の大きさになる。ここではモニタ画面上で走査順及び走査範囲を説明したが、試料上でも主走査方向に狭められた走査範囲に対して電子線照射による走査が行われる。

図７（ｂ）は、このときの垂直同期信号を模式的に表し、図７（ｃ）は水平同期信号を模式的に表す図である。水平同期信号の振幅は、走査幅を通常の１／２としたことに伴って、通常（１／１）の時の半分になっている。それに付随して水平同期信号の周期も、通常のときの半分になっている。一方、垂直同期信号は、振幅は従来の走査法のときと同じであるが、水平同期信号の周期が通常走査時の半分になったため周期が通常走査時の周期の半分になっている。このように、走査幅を通常走査時より小さく設定することで垂直同期信号及び水平同期信号の周期が早まり、１フレームの取得時間が短くなる。

また、前述した走査線数を減らす方法と走査幅を狭くする方法を併せることで、１フレームの取得時間を短縮する効果が大きくなる。図８は、図３に示した選択画面にて、走査線数を通常より減らすとともに走査幅を通常より狭くする選択を行った走査線・走査幅変更走査法の様子を説明する模式図である。ここでは、走査順として通常（インタレース走査）を、走査線数として１／８（６４本）を、走査幅として１／２を選択したものとして説明する。

図８（ａ）は、モニタ画面上に表示される画像の範囲、及び走査の順番を示す図である。モニタ画面は、走査線数を通常（５１２本）とし、走査幅を１／１（通常）としたとき、画面全体に画像が表示されるように設定されている。そのため、走査線数を１／８、走査幅をその１／２に設定すると、表される画像の垂直方向の寸法はモニタ画面の寸法の１／８、水平方向の幅はモニタ画面の幅の半分の大きさになる。ここではモニタ画面上で走査順及び走査範囲を説明したが、試料上でも主走査方向及び副走査方向に狭められた走査範囲に対して電子線照射による走査が行われる。

図８（ｂ）は、このときの垂直同期信号を模式的に表し、図８（ｃ）は水平同期信号を模式的に表している。また、水平同期信号は、走査幅を通常の１／２としたことに伴って、振幅が通常（１／１）の時の半分になり、それに付随して周期も通常のときの半分になっている。一方、垂直同期信号の振幅は、走査線数を１／８としたことによって、通常（５１２本）の時の振幅の１／８となる。また、振幅が１／８となったこと、及び水平同期信号の周期が通常走査時の半分になったことにより、垂直同期信号の周期は通常走査時の周期の１／１６になる。このように、走査線数及び走査幅を通常走査時より小さく設定することで垂直同期信号及び水平同期信号の周期が通常のときより早まり、１フレームの取得時間が短くなる。

更に、この一応用例として、測長時にその走査を行うことが考えられる。図９に示すホールパターンの底部径を測長する例によって説明する。例えば、走査順として通常（インタレース走査）を、走査線数として通常（５１２本）を、走査幅として１／１を、フレーム積算数として１を選択し、１度の走査で測長対象の画像を任意の倍率・場所にて取得し、モニタ画面に表示する。フレーム積算数が１であるため、粗い画像ではあるが、図９（ａ）に示すように通常走査領域の画像がモニタ画面上に表示され、測定対象であるホールパターンを認識することができる。その粗い画像上に、図３の選択画面で選択したパラメータによって指定される走査線数・走査幅を狭めたエリア１２５をカーソル等で画面上に表示し、測長したいエリアを指定する。その後、選択画面にて指定した所望のフレーム枚数の走査を行い走査したフレーム数の画像信号を積算してＳ／Ｎの向上した画像をモニタ画面に標示し、図９（ｂ）に示すように垂直カーソル線１２６を測長したい箇所に合わせて測長を行う。

走査法とシュリンク量の関係を説明する図。 本発明による走査顕微鏡の一例を示す模式図。 走査方法選択画面の例を示す図。 通常走査（インタレース走査）の走査順を示す説明図。 連続走査の走査順を示す説明図。 走査線数変更走査の様子を説明する模式図。 走査幅変更走査の様子を説明する模式図。 走査線・走査幅変更走査法の様子を説明する模式図。 ホールパターン測長例の説明図。

符号の説明

101…陰極、102…第一陽極、103…第二陽極、
104…高電圧制御電源、105…収束レンズ、
106…収束レンズ制御電源、107…絞り板、108…偏向コイル、
109…偏向コイル制御電源、110…一次電子線、
111…対物レンズ、112…対物レンズ制御電源、
113…試料、114…試料ステージ、115…ステージ制御部、
116…二次電子、117…二次電子検出器、
118…二次電子信号アンプ、119…制御演算部、
120…描画部、121…試料像表示部、122…入力部、
123…記憶部、124…通常走査領域、
125…本発明における走査領域、126…垂直カーソル線

Claims (12)

1. 電子線源と、該電子線源より放出された電子線を試料上に収束して走査する電子線走査部と、電子線照射によって試料から発生した二次信号を検出する検出器と、前記検出器によって検出された二次信号をもとに複数の画像信号を積算して試料画像を形成する描画部とを備える走査電子顕微鏡において、
   前記電子線走査部によって試料上に走査される電子線の走査パターンは、１つの走査線位置について前記積算に用いる複数回の走査を反復してから次の走査線の走査に移るものであることを特徴とする走査電子顕微鏡。
2. 請求項１記載の走査電子顕微鏡において、前記描画部は複数のフレームの画像信号を積算して試料画像を形成するものであり、前記試料上の走査領域は互いに平行な複数の走査線の集合として形成されることを特徴とする走査電子顕微鏡。
3. 請求項２記載の走査電子顕微鏡において、前記複数の走査パターンが予め設定され、当該複数の走査パターンのうちの一つを選択する選択部を有することを特徴とする走査電子顕微鏡。
4. 請求項１記載の走査電子顕微鏡において、前記１つの走査線位置について、一度走査されてから次の走査が来るまでの時間は、ＡｒＦレジストの化学反応の時定数より短いことを特徴とする走査電子顕微鏡。
5. 請求項１記載の走査電子顕微鏡において、前記試料画像の形成に用いる画像信号の積算数が予め複数設定され、当該複数の積算数のうちの一つを選択する選択部を有することを特徴とする走査電子顕微鏡。
6. 請求項１記載の走査電子顕微鏡において、前記描画部は複数のフレームの画像信号を積算して試料画像を形成するものであり、前記電子線走査部による走査線の数が選択可能に複数用意されていることを特徴とする走査電子顕微鏡。
7. 請求項６記載の走査電子顕微鏡において、前記複数の走査線の数が予め設定され、当該複数の走査線の数のうちの一つを選択する選択部を有することを特徴とする走査電子顕微鏡。
8. 請求項６項記載の走査電子顕微鏡において、前記フレームの数が選択可能であることを特徴とする走査電子顕微鏡。
9. 請求項１記載の走査電子顕微鏡において、前記描画部は複数のフレームの画像信号を積算して試料画像を形成するものであり、前記電子線走査部による走査線の走査幅が選択可能に複数用意されていることを特徴とする走査電子顕微鏡。
10. 請求項９記載の走査電子顕微鏡において、前記複数の走査幅が予め設定され、当該複数の走査幅のうちの一つを選択する選択部を有することを特徴とする走査電子顕微鏡。
11. 請求項１０項記載の走査電子顕微鏡において、前記フレームの数が選択可能であることを特徴とする走査電子顕微鏡。
12. 電子線源と、
    該電子線源より放出された電子線を試料上に収束して走査する電子線走査部と、
    電子線照射によって試料から発生した二次信号を検出する検出器と、
    前記検出器によって検出された二次信号をもとに複数の画像信号を積算して試料画像を形成する描画部とを備える走査電子顕微鏡において、
    前記画像信号の積算数を選択する選択部を備え、
    前記電子線走査部は、当該選択部での積算数分、１つの走査線位置における走査を反復してから次の走査線の走査に移るように前記電子線を走査することを特徴とする走査電子顕微鏡。

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