JP4504946B2 - 荷電粒子線装置 - Google Patents
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Description
A(dspc1x, dspc1y)=(0, dspc1) …(1)
B(dspc2x, dspc2y)=(dspc1, 0) …(2)
dspc1=W(ピクセル)×{L(nm/ピクセル)/d(nm)}×M(倍)/M0(倍) …(3)
ここで、WはFFT処理領域サイズ(ピクセル)、Lは単位ピクセル当りの長さ(nm)、dは周期構造試料の面間隔(nm)、Mは単位ピクセル当りの長さを決める基準倍率(倍)、M0は撮像倍率である。
mx=[(dspc1)2/{(dxA)2 + (dxB)2}]1/2 …(4)
my=[(dspc1)2/{(dyA)2 + (dyB)2}]1/2 …(5)
εx=mx−1 …(6)
εy=my−1 …(7)
補正値Lcal(nm)=測長値L1(nm)×(1/(1+εx)) …(8)
として補正し、D107の如く出力する。出力データは、本荷電粒子線装置が持つ表示装置に表示される。
補正値Vcal=走査コイルDAC値Vscan×(1/(1+εx)) …(9)
Claims (12)
- 荷電粒子線をX方向及びY方向に走査しながら観察試料に照射して、その観察試料の像を取得する荷電粒子線装置であって、
FFT空間座標領域における座標変換を実行することによりX方向及びY方向の倍率誤差値を算出する倍率誤差値算出手段と、
前記観察試料から補正対象情報を取得し、前記倍率誤差値を用いて前記補正対象情報を補正する演算処理手段と、
を備え、
前記FFT空間座標領域における座標変換は、周期構造パターンの方向と電子画像上におけるX方向またはY方向が一致しており、倍率誤差が無いとした場合の周期ピッチが既知の周期構造を有する寸法基準試料画像に対してFFT変換を施した理想座標系に対し、回転角θによる回転変換後、倍率(mx, my)による拡大縮小変換を適用することで導かれる座標変換式を用いて行われ、
前記倍率誤差値は、前記寸法基準試料を撮像して得られた画像に対してFFT変換を施し、FFT空間領域における該画像の座標系から周期情報を抽出して前記座標変換式に代入することで算出されることを特徴とする荷電粒子線装置。 - 前記演算処理手段は、前記観察試料を任意の倍率で撮影する手段と、撮影により得られた画像の少なくとも一部の寸法を測定する手段と、前記任意の倍率に対応する倍率誤差値を用いて前記寸法の測定結果を補正する手段と、を備えることを特徴とする請求項1に記載の荷電粒子線装置。
- 前記演算処理手段は、前記観察試料を任意の倍率で撮影する手段と、前記任意の倍率に対応する倍率誤差値を用いて撮影により得られた画像を拡大或いは縮小処理を実行する手段と、を備えることを特徴とする請求項1に記載の荷電粒子線装置。
- 電子線をX方向及びY方向に走査しながら観察試料に照射して、その観察試料の像を取得する荷電粒子線装置であって、
FFT空間座標領域における座標変換を実行することによりX方向及びY方向の倍率誤差値を算出する倍率誤差値算出手段と、
前記観察試料を走査するための走査コイルから出力される走査波形を取得し、前記倍率誤差値を用いて前記走査波形を補正する演算処理手段と、
を備え、
前記FFT空間座標領域における座標変換は、周期構造パターンの方向と電子画像上におけるX方向またはY方向が一致しており、倍率誤差が無いとした場合の周期ピッチが既知の周期構造を有する寸法基準試料画像に対してFFT変換を施した理想座標系に対し、回転角θによる回転変換後、倍率(mx, my)による拡大縮小変換を適用することで導かれる座標変換式を用いて行われ、
前記倍率誤差値は、前記寸法基準試料を撮像して得られた画像に対してFFT変換を施し、FFT空間領域における該画像の座標系から周期情報を抽出して前記座標変換式に代入することで算出されることを特徴とする荷電粒子線装置。 - 前記演算手段は、X方向の走査波形とY方向の走査波形を独立に制御して補正することを特徴とする請求項4に記載の荷電粒子線装置。
- 前記寸法基準試料は、結晶構造が既知の単結晶薄膜試料であることを特徴とする請求項1乃至5の何れか1項に記載の荷電粒子線装置。
- 前記寸法基準試料は、人工的に2次元若しくは3次元的に材料を寸法が均一になるように繰返しパターンを加工した試料であって、そのパターンの寸法が既知の試料であることを特徴とする請求項1乃至6の何れか1項に記載の荷電粒子線装置。
- 電子線をX方向及びY方向に走査しながら観察試料に照射して、その観察試料の像を取得する荷電粒子線装置を制御するためのプログラムであって、
前記観察試料から補正対象情報を取得する情報取得工程を実行するプログラムコードと、
FFT空間座標領域における座標変換を実行することによりX方向及びY方向の倍率誤差値を算出する倍率誤差値算出工程を実行するプログラムコードと、
前記倍率誤差値を用いて前記補正対象情報を補正する演算処理工程を実行するプログラムコードと、
を備え、
前記FFT空間座標領域における座標変換は、周期構造パターンの方向と電子画像上におけるX方向またはY方向が一致しており、倍率誤差が無いとした場合の周期ピッチが既知の周期構造を有する寸法基準試料画像に対してFFT変換を施した理想座標系に対し、回転角θによる回転変換後、倍率(mx, my)による拡大縮小変換を適用することで導かれる座標変換式を用いて行われ、
前記倍率誤差値は、前記寸法基準試料を撮像して得られた画像に対してFFT変換を施し、FFT空間領域における該画像の座標系から周期情報を抽出して前記座標変換式に代入することで算出されることを特徴とするプログラム。 - 前記演算処理工程は、前記観察試料を任意の倍率で撮影する工程と、撮影により得られた画像の少なくとも一部の寸法を測定する工程と、前記任意の倍率に対応する倍率誤差値を用いて前記寸法の測定結果を補正する工程と、を備えることを特徴とする請求項8に記載のプログラム。
- 前記演算処理工程は、前記観察試料を任意の倍率で撮影する工程と、前記任意の倍率に対応する倍率誤差値を用いて撮影により得られた画像を拡大或いは縮小処理を実行する工程と、を備えることを特徴とする請求項8に記載のプログラム。
- 電子線をX方向及びY方向に走査しながら観察試料に照射して、その観察試料の像を取得する荷電粒子線装置を制御するプログラムであって、
前記観察試料を走査するための走査コイルから出力される走査波形を取得する情報取得工程を実行するためのプログラムコードと、
FFT空間座標領域における座標変換を実行することによりX方向及びY方向の倍率誤差値を算出する倍率誤差値算出工程を実行するプログラムコードと、
前記倍率誤差値を用いて前記補正対象情報を補正する演算処理工程を実行するプログラムコードと、
を備え、
前記FFT空間座標領域における座標変換は、周期構造パターンの方向と電子画像上におけるX方向またはY方向が一致しており、倍率誤差が無いとした場合の周期ピッチが既知の周期構造を有する寸法基準試料画像に対してFFT変換を施した理想座標系に対し、回転角θによる回転変換後、倍率(mx, my)による拡大縮小変換を適用することで導かれる座標変換式を用いて行われ、
前記倍率誤差値は、前記寸法基準試料を撮像して得られた画像に対してFFT変換を施し、FFT空間領域における該画像の座標系から周期情報を抽出して前記座標変換式に代入することで算出されることを特徴とするプログラム。 - 前記演算処理工程は、X方向の走査波形とY方向の走査波形を独立に制御して補正することを特徴とする請求項11に記載のプログラム。
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