JP2007200718A - 走査型電子顕微鏡 - Google Patents

Abstract

【課題】試料に微小な凹凸があっても明瞭に検出することができる電子顕微鏡を提供する。る
【解決手段】走査型電子顕微鏡装置によると、１対の反射電子検出器からの輝度信号をそれぞれＬ、Ｒ、２次電子検出器からの輝度信号をＳとするとき、それぞれＬ、Ｒ及びＳの１次同次式を用いてＬの調整値Ｌｃ及びＲの調整値Ｒｃを演算する。
【選択図】図１

Description

本発明は走査型電子顕微鏡に関し、特に、陰影を有する画像を表示する走査型電子顕微鏡に関する。

半導体の製造工程では、歩留まりを改善するために、欠陥を検査し、その発生の原因を究明する必要がある。欠陥の検査では、走査型電子顕微鏡、光学顕微鏡等の観察装置が用いられる。

走査型電子顕微鏡では、試料に１次電子線を照射することよって２次電子と反射電子を発生させ、２次電子像と反射電子像を得る。

２次電子像は、照明光を観察方向と同方向から照射して観察した場合に相当する。従って、鋭いパターンエッジや材質の変化等の表示するが、微小な凹凸を明確に表示することはできない。反射電子像は、照明光を観察方向に対し傾斜した方向から照射して観察した場合に相当する。従って、陰影のついた輪郭像を得ることができるため、微小な凹凸を明瞭に表示することができる。

半導体の欠陥には、様々な態様がある。代表的なものとして、薬品の残滓による異物や汚染、パターン欠け、研磨工程で発生する引っかき傷、前工程における凹凸等が挙げられる。

引っかき傷のような微小な凹凸は一般にＳ／Ｎが小さく、２次電子像よりも反射電子像によって撮像が可能である。しかしながら、極めて微小な引っかき傷では、反射電子像を用いてもＳ／Ｎが十分でなく、明確な像を得ることができない場合がある。

このように微小な凹凸を明瞭に撮像する方法が以下の特許文献に記載されている。これらの方法では、複数の検出器を用いる。

特開２００２−１１６１６１号公報 米国特許４９４１９８０号 特開２０００−１７３５２６号公報

上述の特許文献に記載された例では、複数の検出器を用いるが、試料の凹凸が微小である場合には、各検出器によって検出される信号のＳ／Ｎは低くなる。従って、複数の検出器を用いても、微小な凹凸を明瞭に検出することはできない。

本発明の目的は、試料に微小な凹凸があっても明瞭に検出することができる電子顕微鏡を提供することにある。

本発明の走査型電子顕微鏡装置によると、１対の反射電子検出器からの輝度信号をそれぞれＬ、Ｒとするとき、それぞれＬ及びＲの１次同次式を用いてＬの調整値Ｌｃ及びＲの調整値Ｒｃを演算する。

本発明の走査型電子顕微鏡装置によると、２次電子検出器からの輝度信号をＳとするとき、それぞれＬ、Ｒ及びＳの１次同次式を用いてＬの調整値Ｌｃ及びＲの調整値Ｒｃを演算する。

本発明によれば、試料に微小な凹凸があっても明瞭に検出することができる。

図１を参照して本発明による走査型電子顕微鏡の例を説明する。本例の走査型電子顕微鏡は、電子銃１０１、電子レンズ１０２、偏向器１０３、対物レンズ１０４、２次電子検出器１２２、１対の反射電子検出器１２３ａ、１２３ｂ、及び、試料１０５を保持する試料台１０６を有する。これらの構成要素は真空のカラムに収容されているが、その図示は省略されている。反射電子検出器１２３ａ、１２３ｂは双対な陰影像を撮像するために光軸の両側に対称的な位置に配置されている。

本例の走査型電子顕微鏡は、更に、電子レンズ１０２を制御するレンズ制御回路１１０、偏向器１０３を制御する偏向制御回路１１１、対物レンズ１０４を制御する対物レンズ制御回路１１２、２次電子検出器１２２及び反射電子検出器１２３ａ、１２３ｂからのアナログ画像信号をデジタル画像信号に変換するアナログ／デジタル変換器１１３、走査信号に同期したアドレスを生成するアドレス制御回路１１４、アドレス制御回路１１４からのアドレスにしたがってデジタル画像信号を記憶する画像メモリ１１５、走査型電子顕微鏡全体を制御する制御手段１１６、画像を表示するディスプレイ１１７、画像処理手段１１９を備えたコンピュータ１１８、キーボード１２０、マウス１２１、制御手段１１６からの制御信号により試料台１０６を２次元的に移動させる移動ステージ１２４を有する。

電子銃１０１から放射された電子ビーム１０７は電子レンズ１０２によって収束され、偏向器１０３によって２次元的に走査され、対物レンズ１０４によって収束されて、試料１０５に照射される。

試料１０５に電子ビーム１０７が照射されると、試料１０５から二次電子１０８及び反射電子１０９が発生する。二次電子１０８は２次電子検出器１２２によって検出され、反射電子１０９は反射電子検出器１２３ａ、１２３ｂによって検出される。

２次電子検出器１２２及び反射電子検出器１２３ａ、１２３ｂからのアナログ画像信号は、アナログ／デジタル変換器１１３によってデジタル画像信号に変換される。デジタル画像信号は画像メモリ１１５に送られる。画像メモリ１１５は、アドレス制御回路１１４から与えられたアドレスに基づいてデジタル画像信号を記憶する。画像メモリ１１５は、画像データを随時、画像処理手段１１９に転送する。画像処理手段１１９は、画像データを演算し、試料の画像を調整する。ディスプレイ１１７には、調整された試料の画像がリアルタイムで表示される。画像処理手段１１９は複数の機能を備えていてもよいが、少なくとも画像データを加減算する機能と、画像データに一定値を乗算する機能を有する必要がある。

反射電子検出器１２３ａ、１２３ｂからの画像信号によって、陰影像であるＬ像およびＲ像が得られる。即ち、左側の反射電子検出器１２３ａによって、試料表面より左方向に放射した電子が検出される。左側の反射電子検出器１２３ａの検出信号から、Ｌ像が得られる。Ｌ像は、試料に対して斜め左側から照明光を照射することにより得られる光学像に相当する。右側の反射電子検出器１２３ｂによって、試料表面より右方向に放射した電子が検出される。右側の反射電子検出器１２３ｂの検出信号より、Ｒ像が得られる。Ｒ像は、試料に対して斜め右側から照明光を照射することにより得られる光学像に相当する。

試料からの反射電子は放射方向の指向性を有するから、試料の表面の凹凸像を得るのに適している。

２次電子検出器１２２からの画像信号によって、２次電子像であるＳ像が得られる。試料からの２次電子は放射方向の指向性を有さないから、試料の表面の凹凸像を得るのに適していない。Ｓ像によって試料表面の材質の変化等を調べることができる。

図２及び図３を参照して、本発明の画像処理手段１１９による試料の画像の調整方法を説明する。Ｌ像、Ｒ像、及び、Ｓ像の輝度信号を、以下では、単に、Ｌ、Ｒ、Ｓと表記する。

図２Ａは、試料の概略を示す図である。試料２０１は平坦な表面に埋め込まれた材質が周囲と異なる帯状部分２０２と円形の凸部２０３を有する。図２Ｂは、試料２０１のＬ像、図２Ｃは、試料２０１のＲ像を示す。図２Ｄは、図２ＢのＬ像の線Ａ−Ａ´に沿った輝度プロファイルを示す。図２Ｅは、図２ＣのＲ像の線Ａ−Ａ´に沿った輝度プロファイルを示す。図２Ｄと図２Ｅを比較すると判るように、帯状部分２０２の像の輝度プロファイル２０４は同一であるが、凸部２０３の像の輝度プロファイル２０５、２０６は、鏡像の関係にある。即ち、マテリアルコントラストは同一であるが、凹凸コントラストは鏡像の関係にある。

図２Ｆに示すように、図２ＤのＬ像の輝度と図２ＥのＲ像の輝度を加算し、２で割ると、帯状部分２０２の像の輝度のみが残り、凸部の像の輝度は、キャンセルされてゼロとなる。図２Ｆは次の式を演算した場合である。
Ｐ＝（Ｌ＋Ｒ）／２ 式１

図２Ｇに示すように、図２ＤのＬ像の輝度から図２ＥのＲ像の輝度を減算すると、帯状部分２０２の像の輝度が消去され、凸部２０３の像の輝度が増幅したＬ像が得られる。図２Ｇは次の式を演算した場合である。
Ｌ_１＝（Ｌ−Ｒ） 式２

図２Ｈに示すように、図２ＥのＲ像の輝度から図２ＤのＬ像の輝度を減算すると、帯状部分２０２の像の輝度が消去され、凸部２０３の像の輝度が増幅したＲ像が得られる。図２Ｈは次の式を演算した場合である。
Ｒ_１＝（Ｒ−Ｌ） 式３

図２Ｉに示すように、図２Ｆの帯状部分２０２の像の輝度と図２Ｇの凸部２０３の像の輝度が増幅したＬ像を加算すると、帯状部分２０２の像の輝度と凸部２０３の像の輝度が増幅したＬ像を合成した輝度プロファイルが得られる。図２Ｉは次の式を演算した場合である。
Ｌ_２＝Ｐ＋Ｌ_１＝（Ｌ＋Ｒ）／２＋（Ｌ−Ｒ）＝１．５Ｌ−０．５Ｒ 式４

尚、式４において、Ｌ像の凸部２０３の像の輝度の増幅度を変化させる場合には、Ｌ_１に係数αを乗算すればよい。但し、０≦α≦１である。
Ｌ_３＝Ｐ＋αＬ_１＝（Ｌ＋Ｒ）／２＋α（Ｌ−Ｒ）＝（α＋０．５）Ｌ＋（−α＋０．５）Ｒ 式５

図２Ｊに示すように、図２Ｆの帯状部分２０２の像の輝度と図２Ｈの凸部２０３の像の輝度が増幅したＲ像の輝度を加算すると、帯状部分２０２の像の輝度と凸部２０３の像の輝度が増幅したＲ像を合成した輝度プロファイルが得られる。図２Ｊは次の式を演算した場合である。
Ｒ_２＝Ｐ＋Ｒ_１＝（Ｌ＋Ｒ）／２＋（Ｒ−Ｌ）＝１．５Ｒ−０．５Ｌ 式６

尚、式６において、Ｒ像の凸部２０３の像の輝度の増幅度を変化させる場合には、Ｒ_１に係数αを乗算すればよい。
Ｒ_３＝Ｐ＋αＲ_１＝（Ｌ＋Ｒ）／２＋α（Ｒ−Ｌ）＝（α＋０．５）Ｒ＋（−α＋０．５）Ｌ 式７

こうして本例では、輝度信号Ｌの調整値Ｌ_１、Ｌ_２、Ｌ_３及び輝度信号Ｒの調整値Ｒ_１、Ｒ_２、Ｒ_３は、それぞれ輝度信号Ｌ及びＲの１次同次式によって表わされる。

図３Ａは、試料の概略を示す図である。試料２０１は平坦な表面に埋め込まれた材質が周囲と異なる帯状部分２０２と円形の凸部２０３を有する。図３Ｂは、試料２０１のＳ像、図３Ｃは、試料２０１のＬ像、図３Ｄは、試料２０１のＲ像を示す。図３Ｅは、図３ＢのＳ像の線Ａ−Ａ´に沿った輝度プロファイルを示す。図３Ｆは、図３ＣのＬ像の線Ａ−Ａ´に沿った輝度プロファイルを示す。図３Ｇは、図３ＤのＲ像の線Ａ−Ａ´に沿った輝度プロファイルを示す。図３Ｅと図３Ｆ又は図３Ｇを比較すると判るように、Ｓ像では、Ｌ像又はＲ像と比較して、マテリアルコントラストが大きいが、凹凸コントラストが小さい。

図３Ｈに示すように、図３ＥのＳ像の輝度と図２Ｇの凸部２０３の像の輝度が増幅したＬ像を加算すると、帯状部分２０２の像の輝度及びＬ像の凸部２０３の像の輝度が増幅して得られる。図３Ｈは次の式を演算した場合である。
Ｌ_Ｓ１＝Ｓ＋Ｌ_１＝Ｓ＋（Ｌ−Ｒ） 式８

尚、式８において、Ｓ像の輝度とＬ像の凸部２０３の像の輝度の相対的な強度を変化させる場合には、Ｓに係数α、Ｌ_１に係数（１−α）を乗算すればよい。
Ｌ_Ｓ２＝αＳ＋（１−α）Ｌ_１＝αＳ＋（１−α）（Ｌ−Ｒ） 式９

図３Ｉに示すように、図３ＥのＳ像の輝度と図２Ｈの凸部２０３の像の輝度が増幅したＲ像を加算すると、帯状部分２０２の像の輝度及びＲ像の凸部２０３の像の輝度が増幅して得られる。図３Ｉは次の式を演算した場合である。
Ｒ_Ｓ１＝Ｓ＋Ｒ_１＝Ｓ＋（Ｒ−Ｌ） 式１０

尚、式１０において、Ｓ像の輝度とＬ像の凸部２０３の像の輝度の相対的な強度を変化させる場合には、Ｓに係数α、Ｒ_１に係数（１−α）を乗算すればよい。
Ｒ_Ｓ２＝αＳ＋（１−α）Ｒ_１＝αＳ＋（１−α）（Ｒ−Ｌ） 式１１

図４を参照して、本発明の画像処理手段１１９による試料の画像の調整方法の他の例を説明する。但し、０≦α≦１である。先ず、図４Ａの例について説明する。第１の加算器４０１は、係数器４０５を経由した検出器１２３ａからの出力と検出器１２３ｂからの出力を加算し、Ｒ−Ｌを出力する。第２の加算器４０２は、係数器４０６を経由した第１の加算器４０１からの出力と検出器１２３ｂからの出力を加算する。従って、次の式によって表される画像信号が生成される。
Ｒ_４＝α（Ｒ−Ｌ）＋Ｒ 式１２

第３の加算器４０３は、係数器４０７を経由した検出器１２３ｂからの出力と検出器１２３ａからの出力を加算し、Ｌ−Ｒを出力する。第４の加算器４０４は、係数器４０８を経由した第３の加算器４０３からの出力と検出器１２３ａからの出力を加算する。従って、次の式によって表される画像信号が生成される。
Ｌ_４＝α（Ｌ−Ｒ）＋Ｌ 式１３

図４Ｂの例について説明する。第１の加算器４０１は、係数器４０５を経由した検出器１２３ａからの出力と検出器１２３ｂからの出力を加算し、Ｒ−Ｌを出力する。第２の加算器４０２は、係数器４０６を経由した第１の加算器４０１からの出力と係数器４０９を経由した検出器１２２からの出力を加算する。従って、次の式によって表される画像信号が生成される。
Ｒ_５＝（１−α）Ｓ＋α（Ｒ−Ｌ） 式１４

第３の加算器４０３は、係数器４０７を経由した検出器１２３ｂからの出力と検出器１２３ａからの出力を加算し、Ｌ−Ｒを出力する。第４の加算器４０４は、係数器４０８を経由した第３の加算器４０３からの出力と係数器４１０を経由した検出器１２２からの出力を加算する。従って、次の式によって表される画像信号が生成される。
Ｌ_５＝（１−α）Ｓ＋α（Ｌ−Ｒ） 式１５

こうして本例では、輝度信号Ｌの調整値Ｌ_Ｓ１、Ｌ_Ｓ２、Ｌ_４、Ｌ_５及び輝度信号Ｒの調整値Ｒ_Ｓ１、Ｒ_Ｓ２、Ｒ_４、Ｒ_５は、それぞれ輝度信号Ｓ、Ｌ及びＲの１次同次式によって表わされる。

図５を参照して本発明による画像処理方法を説明する。ステップＳ５０１にて、ユーザはＬ像、Ｒ像、及び、Ｓ像の混合割合を示す係数αの値を設定する。ステップＳ５０２にて、画像の撮像を開始する。ステップＳ５０３にて、反射電子検出器１２３ａ、１２３ｂからの画像信号を取得し、それを画像メモリ１１５に保存する。電子顕微鏡の画像は一般にＳ／Ｎが悪く、複数枚の画像を積算して１枚の画像として表示する場合が多い。ここでは、この段階でＬ像、Ｒ像、Ｓ像について各々複数枚画像を積算したものをメモリに保存する。しかしながら、この積算は、次のステップＳ５０５の演算の後に行ってもよい。ステップＳ５０４にて、係数αの値を読み込み、ステップＳ５０５にて、係数αを用いて画像データの演算を行う。即ち、画像処理手段１１９は、式５〜式１５のいずれかの演算を行い、演算結果を画像メモリ１１５に保存する。ステップＳ５０６にて、画像メモリ１１５から画像を呼び出し、ディスプレイ１１７に出力する。画像表示をそのまま続ける場合はステップＳ５０１に戻り処理を続けるが、ユーザの意図により、あるいは装置の設定として表示を中断することができる。その場合ステップＳ５０７に進み、画像の出力を停止する。

図６を参照してディスプレイ１１７に表示する画面の例を説明する。画面６００はＬ像６０１とＲ像６０２を同時に表示する。画面６００は、開始釦６０３、停止釦６０４、及び、α設定部６０５を含む。開始釦６０３をクリックすると、ステップＳ５０２による撮像が開始される。停止釦６０４をクリックすると、ステップＳ５０７による画像の出力が停止される。

α設定部６０５は、スライドバー６０５ａと数値欄６０５ｂを有する。αの値を設定するには、スライドバー６０５ａを移動させてもよいが、数値欄６０５ｂの数字を入力又は選択してもよい。スライドバーと数値欄は連動している。スライドバー６０５ａを移動させることにより、数値欄６０５ｂの数字も自動的に変わる。数値欄の数字を変化させることによりスライドバーの位置も自動的に変わる。

図６Ｂ、図６Ｃ及び図６Ｄは、α設定部６０５の他の例を示す。図６Ｂに示す例では、数値欄に予め数字０．２５、０．５、０．７５、１．０等が与えられている。ユーザは、数値欄において、これらの数字の１つの選択する。図６Ｃに示す例では、数値欄に予め文字None、Low、Normal、High等が与えられている。ユーザは、数値欄において、これらの文字の１つの選択する。図６Ｄに示す例では、数値欄に予め文字Shade 1、Shade 2、Shade 3等が与えられている。ユーザは、数値欄において、これらの文字の１つの選択する。

図７はディスプレイ１１７に表示する画面の他の例を説明する。図７Ａの例では、画面７０４にＬ像７０１、及び、Ｒ像７０２を表示し、画面７０５にＳ像７０３を表示する。図７Ｂの例では、画面６００に調整前のＬ像７０６と調整後のＬ像７０７を表示する。
尚、Ｌ像７０７は、α設定部６０５にて設定された係数αを用い、上述の式のＬ像の調整値を求める式を用いて演算を行った結果である。

尚、ここまでは、走査型電子顕微鏡を例に説明したが、本発明は荷電粒子線装置にも適用可能である。本発明による試料の画像の調整方法は、試料の法線に対して両側に対称的に配置された１対の斜方照明を備えた光学式の顕微鏡にも適用できる。観察方向に対し傾斜した方向から照明光を照射した場合に反射電子像に相当する像が得られる。観察方向と同方向から照明光を照射した場合に２次電子像に相当する像が得られる。従って、観察方向に対し傾斜した方向から照明光を照射して得た光学像の輝度信号をＬ_ＯＰ、Ｒ_ＯＰ、観察方向と同方向から照明光を照射して得た光学像の輝度信号をＳ_ＯＰ、とするとき、上述の式をそのまま利用することができる。

以上本発明の例を説明したが本発明は上述の例に限定されるものではなく、特許請求の範囲に記載された発明の範囲にて様々な変更が可能であることは当業者に容易に理解されよう。

本発明による走査型電子顕微鏡の構成を示す図である。 本発明による画像データの合成方法を説明する説明図である。 本発明による画像データの合成方法を説明する説明図である。 本発明による画像データの合成方法を説明する説明図である。 本発明の画像データの合成方法の手順を説明する説明図である。 本発明の走査型電子顕微鏡のディスプレイの表示画面の例を示す図である。 本発明の走査型電子顕微鏡のディスプレイの表示画面の例を示す図である。

符号の説明

１０１…電子銃、１０２…電子レンズ、１０３…偏向器、１０４…対物レンズ、１０５…試料、１０６…試料台、１０７…電子ビーム、１０８…二次電子、１０９…反射電子、１１０…レンズ制御回路、１１１…偏向制御回路、１１２…対物レンズ制御回路、１１３…アナログ／デジタル変換器、１１４…アドレス制御回路、１１５…画像メモリ、１１６…制御手段、１１７…ディスプレイ、１１８…コンピュータ、１１９…画像処理手段、１２０…キーボード、１２１…マウス、１２２…２次電子検出器、１２３…反射電子検出器、１２４…移動ステージ

Claims (19)

1. 試料に電子線を照射する電子線照射系と、上記試料からの反射電子を検出する１対の反射電子検出器と、該１対の反射電子検出器からの画像データを処理する画像処理手段と、を有し、上記画像処理手段は、上記１対の反射電子検出器からの輝度信号をそれぞれＬ、Ｒとするとき、それぞれＬ及びＲの１次同次式を用いてＬの調整値Ｌｃ及びＲの調整値Ｒｃを演算することを特徴とする走査型電子顕微鏡装置。
2. 請求項１記載の走査型電子顕微鏡装置において、
   上記試料からの２次電子を検出する２次電子検出器を有し、上記画像処理手段は、上記２次電子検出器からの輝度信号をＳとするとき、それぞれＬ、Ｒ及びＳの１次同次式を用いてＬの調整値Ｌｃ及びＲの調整値Ｒｃを演算することを特徴とする走査型電子顕微鏡装置。
3. 請求項１記載の走査型電子顕微鏡装置において、
   上記Ｌ及びＲの１次同次式は、次の式によって表されることを特徴とする走査型電子顕微鏡装置。
   Ｌｃ＝（Ｌ−Ｒ）
   Ｒｃ＝（Ｒ−Ｌ）
4. 請求項１記載の走査型電子顕微鏡装置において、
   上記Ｌ及びＲの１次同次式は、次の式によって表されることを特徴とする走査型電子顕微鏡装置。
   Ｌｃ＝（Ｌ＋Ｒ）／２＋（Ｌ−Ｒ）
   Ｒｃ＝（Ｌ＋Ｒ）／２＋（Ｒ−Ｌ）
5. 請求項１記載の走査型電子顕微鏡装置において、
   上記Ｌ及びＲの１次同次式は、任意の係数α（０≦α≦１）を用いて次の式によって表されることを特徴とする走査型電子顕微鏡装置。
   Ｌｃ＝（Ｌ＋Ｒ）／２＋α・（Ｌ−Ｒ）
   Ｒｃ＝（Ｌ＋Ｒ）／２＋α・（Ｒ−Ｌ）
6. 請求項１記載の走査型電子顕微鏡装置において、
   上記Ｌ及びＲの１次同次式は、任意の係数α（０≦α≦１）を用いて次の式によって表されることを特徴とする走査型電子顕微鏡装置。
   Ｒｃ＝α（Ｒ−Ｌ）＋Ｒ
   Ｌｃ＝α（Ｌ−Ｒ）＋Ｌ
7. 請求項２記載の走査型電子顕微鏡装置において、
   上記Ｌ及びＲの１次同次式は、次の式によって表されることを特徴とする走査型電子顕微鏡装置。
   Ｌｃ＝Ｓ＋（Ｌ−Ｒ）
   Ｒｃ＝Ｓ＋（Ｒ−Ｌ）
8. 請求項２記載の走査型電子顕微鏡装置において、
   上記Ｌ及びＲの１次同次式は、任意の係数α（０≦α≦１）を用いて次の式によって表されることを特徴とする走査型電子顕微鏡装置。
   Ｌｃ＝α・Ｓ＋（１−α）・（Ｌ−Ｒ）
   Ｒｃ＝α・Ｓ＋（１−α）・（Ｒ−Ｌ）
9. 請求項１又は２記載の走査型電子顕微鏡装置において、上記画像データを入力して電子顕微鏡像を表示するディスプレイを有し、該ディスプレイは上記Ｌの調整値Ｌｃ及びＲの調整値Ｒｃによって生成された画像を１つの画面に同時に表示することを特徴とする走査型電子顕微鏡装置。
10. 請求項９記載の走査型電子顕微鏡装置において、上記ディスプレイは上記１次同次式の係数αを設定するためのＧＵＩを備えた画面を表示することを特徴とする走査型電子顕微鏡装置。
11. 試料に電子線を照射することと、上記試料からの反射電子を１対の反射電子検出器によって検出することと、上記１対の反射電子検出器からの輝度信号をそれぞれＬ、Ｒとするとき、それぞれＬ及びＲの１次同次式を用いてＬの調整値Ｌｃ及びＲの調整値Ｒｃを演算することと、を有する走査型電子顕微鏡装置を用いた画像生成方法。
12. 請求項１１記載の走査型電子顕微鏡装置を用いた画像生成方法において、
    上記試料からの２次電子を２次電子検出器によって検出することと、上記２次電子検出器からの輝度信号をＳとするとき、それぞれＬ、Ｒ及びＳの１次同次式を用いてＬの調整値Ｌｃ及びＲの調整値Ｒｃを演算することと、を有することを特徴とする走査型電子顕微鏡装置を用いた画像生成方法。
13. 請求項１１記載の走査型電子顕微鏡装置を用いた画像生成方法において、
    上記Ｌ及びＲの１次同次式は、任意の係数α（０≦α≦１）を用いて次の式によって表されることを特徴とする走査型電子顕微鏡装置を用いた画像生成方法。
    Ｌｃ＝（Ｌ＋Ｒ）／２＋α・（Ｌ−Ｒ）
    Ｒｃ＝（Ｌ＋Ｒ）／２＋α・（Ｒ−Ｌ）
14. 請求項１２記載の走査型電子顕微鏡装置を用いた画像生成方法において、
    上記Ｌ及びＲの１次同次式は、任意の係数α（０≦α≦１）を用いて次の式によって表されることを特徴とする走査型電子顕微鏡装置を用いた画像生成方法。
    Ｌｃ＝α・Ｓ＋（１−α）・（Ｌ−Ｒ）
    Ｒｃ＝α・Ｓ＋（１−α）・（Ｒ−Ｌ）
15. 請求項１１又は１２記載の走査型電子顕微鏡装置を用いた画像生成方法において、上記Ｌの調整値Ｌｃ及びＲの調整値Ｒｃによって生成された画像を１つの画面に同時に表示することと、を有することを特徴とする走査型電子顕微鏡装置を用いた画像生成方法。
16. 請求項１１又は１２記載の走査型電子顕微鏡装置を用いた画像生成方法において、上記１次同次式の係数αを設定するためのＧＵＩを備えた画面を表示することと、を有することを特徴とする走査型電子顕微鏡装置を用いた画像生成方法。
17. 観察方向に対して傾斜した方向から試料に照明光を照射する１対の斜方照明装置と、試料の光学像を撮像する撮像装置と、該撮像装置からの画像データを処理する画像処理手段と、上記画像データを入力して光学像を表示するディスプレイと、を有し、上記画像処理手段は、上記１対の斜方照明装置によって照明された試料の像の輝度信号をそれぞれＬ、Ｒとするとき、それぞれＬ及びＲの１次同次式を用いてＬの調整値Ｌｃ及びＲの調整値Ｒｃを演算することを特徴とする光学式顕微鏡装置。
18. 請求項１７記載の光学式顕微鏡装置において、観察方向と同一方向から試料に照明光を照射する垂直照明装置を設け、上記画像処理手段は、上記垂直照明装置によって照明された試料の像の輝度信号をＳとするとき、それぞれＬ、Ｒ及びＳの１次同次式を用いてＬの調整値Ｌｃ及びＲの調整値Ｒｃを演算することを特徴とする光学式顕微鏡装置。
19. 試料に荷電粒子線を照射する荷電粒子線照射系と、上記試料からの情報信号を検出する１対の検出器と、該１対の検出器からの画像データを処理する画像処理手段と、を有し、上記画像処理手段は、上記１対の検出器からの輝度信号をそれぞれＬ、Ｒとするとき、それぞれＬ及びＲの１次同次式を用いてＬの調整値Ｌｃ及びＲの調整値Ｒｃを演算することを特徴とする荷電粒子線装置。

Images