JP4851960B2 - 異物検査方法、および異物検査装置 - Google Patents
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- 被検査物に照射する検査光が被検査物上を走査するように被検査物を動かし、
前記被検査物から発生する反射光又は散乱光を検出して画像を取得し、
前記画像としきい値とを用いて前記検査光が走査される被検査物の検査領域に存在する異物の有無を判定する異物検査方法において、
取得した複数の前記画像を重ね合わせて前記複数の画像のばらつきと前記しきい値を算出し、
前記しきい値を前記被検査物の座標と対応づけて表すしきい値画像を表示し、
前記しきい値画像に分解能と前記しきい値との関係、及び反射強度もしくは
散乱光強度と異物サイズとの関係を付与して変換した検出感度画像を表示することを特徴とする異物検査方法。 - 前記被検査物である半導体ウェーハ全体の検査領域をウェーハパターンの有無に関らず1回の走査にて検査することを特徴とする請求項1に記載の異物検査方法。
- 前記被検査物である半導体ウェーハ上に形成されたチップの有無、或いはチップの種類により検査領域を複数の領域に分割することを特徴とする請求項1に記載の異物検査方法。
- 異物検査装置において、
検査光を被検査物の検査領域へ照射する照射手段と、
前記検査光の照射により前記検査領域から発生した反射光又は散乱光の強度を画像の取
得のために検出する検出手段と、
前記画像としきい値とを比べて前記検査領域に存在する異物の有無を判定する判定手段
と、
取得した複数の画像を重ね合わせて前記複数の画像のばらつきと前記しきい値を算出し
、前記しきい値を前記被検査物の座標と対応づけて表すしきい値画像を作成し、前記しき
い値画像に分解能と前記しきい値との関係、及び反射強度もしくは散乱光強度と異物サイ
ズとの関係を付与して検出感度画像へ変換する処理手段と、
前記しきい値画像と前記検出感度画像とが表示できる表示手段を有することを特徴とす
る異物検査装置。 - 被検査物である半導体ウェーハ全体の検査領域をチップの有無、或いはチップの種類に
より複数に分割することを特徴とする請求項4に記載の異物検査装置。
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