JP2010182549A - 走査形電子顕微鏡及びその画像保存フォーマットと画像再編集方法 - Google Patents
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Abstract
【解決手段】本発明は、電子源と、電子源から放出された一次電子線を収束レンズで収束して試料に照射し、前記照射によって得られる電子を検出する検出器と、当該検出器からの出力に基づいて試料像を形成する走査電子顕微鏡において、前記電子線の照射位置ごとに、前記検出器で検出された信号情報を取得し、前記信号情報を走査位置情報,走査回数情報と関連付けて保存し、当該保存された信号情報を演算して、試料像を作成することを特徴とする。
【選択図】 図2
Description
2 第一陽極
3 一次電子線
4 第二陰極
5 第一集束レンズ
6 対物レンズ絞り
7 電子線中心軸調整用アライナー
8 電子線中心調整用偏向器
9 第二収束レンズ
10 対物レンズ
11 試料
12 上段偏向コイル
13 下段偏向コイル
14 信号電子
15 直交電磁界(EXB)装置
16 検出器
17,21 増幅器
18 試料台
19 透過電子
20 CCD検出器
22 CCDコントローラ
30 高電圧制御回路
31 アライナー制御回路
32 第一集束レンズ制御回路
33 第二集束レンズ制御回路
34 偏向制御回路
35 対物レンズ制御回路
36 検出信号制御回路
37 試料微動制御回路
38 表示装置
39 画像取得手段
40 画像処理手段
41 計算手段
42 内部メモリ
43 入力手段
44 コンピュータ
50,52 画像加算領域
51,53 再編集出力画像
Claims (5)
- 電子源と、電子源から放出された一次電子線を収束レンズで収束して試料に照射し、前記照射によって得られる電子を検出する検出器と、
当該検出器からの出力に基づいて試料像を形成する走査電子顕微鏡において、
前記電子線の照射位置ごとに、前記検出器で検出された信号情報を取得し、
前記信号情報を走査位置情報,走査回数情報と関連付けて保存し、当該保存された信号情報を演算して、試料像を作成することを特徴とした走査電子顕微鏡。 - 請求項1において、
同一の走査回数を有する複数の信号情報を用いて、走査回数ごとの試料像を作成し、当該試料像を比較して試料の時間変化の情報を取得することを特徴とする走査電子顕微鏡。 - 請求項1において、
同一の走査位置情報を有する複数の信号を加算して、走査位置ごとに加算された信号を用いて試料像を作成することを特徴とする走査電子顕微鏡。 - 請求項3において、
前記信号情報のうち、走査位置ごとに変化の大きい領域を選択して加算することを特徴とする走査電子顕微鏡。 - 一次電子線を試料に照射し、当該照射位置から放出される電子を用いて試料像を作成する試料像作成方法において、
前記電子線の照射位置ごとに、前記検出器で検出された信号情報を取得し、
前記信号情報を走査位置情報,走査回数情報と関連付けて保存し、当該保存された信号情報を演算して、試料像を作成することを特徴とした試料像作成方法。
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