JP2014211313A - パターン検査方法及びパターン検査装置 - Google Patents
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Abstract
Description
以下、フォトマスク基板の上に、形成したパターン及び欠陥についてパターン検査装置100でパターンの検査を行った例について説明する。
Claims (7)
- 1次電子ビームの光軸の周囲に複数の電子検出器が配置された走査型電子顕微鏡を用いたパターン検査方法であって、
欠陥を有する観察対象パターンを含む欠陥観察領域を設定するステップと、
前記欠陥観察領域で前記1次電子ビームを走査させ、前記複数の電子検出器のそれぞれのSEM画像を取得するステップと、
前記観察対象パターンのエッジが延在する方向と同一方向に配置された前記電子検出器のSEM画像の差分をとった第1の差分画像を取得するステップと、
前記観察対象パターンと同じ形状の参照パターンを含む参照観察領域を設定するステップと、
前記参照観察領域で前記1次電子ビームを走査させ、前記複数の電子検出器のそれぞれのSEM画像を取得するステップと、
前記参照パターンのエッジの延在する方向と直交する方向に配置された前記電子検出器のSEM画像の差分をとって第2の差分画像を取得するステップと、
前記第1の差分画像と前記第2の差分画像とに基づいて、前記観察対象パターンの3次元形状を再現するステップと、
を有することを特徴とするパターン検査方法。 - 前記3次元形状を再現するステップは、
前記第1の差分画像を前記観察対象パターンのエッジが延在する方向に積分処理して前記欠陥の3次元形状を生成するステップと、
前記第2の差分画像を前記参照パターンのエッジの延在する方向と直交する方向に積分処理して前記参照パターンの3次元形状を生成するステップと、
前記第1の差分画像の積分処理結果と前記第2の差分画像の積分処理結果とを加算するステップと、
を有することを特徴とする請求項1に記載のパターン検査方法。 - 前記欠陥観察領域は、欠陥の位置を表す欠陥位置座標データにおいて欠陥があるとされた部分に設定され、前記参照観察領域は前記欠陥位置座標データにおいて欠陥がないとされた部分に設定されることを特徴とする請求項1又は請求項2に記載のパターン検査方法。
- 試料の表面において、欠陥を有する観察対象パターンが存在する部分に欠陥観察領域を設定するとともに、前記観察対象パターンと同一の形状の参照パターンを有し且つ欠陥のない部分に参照観察領域を設定する観察領域設定部と、
前記欠陥観察領域及び参照観察領域で1次電子ビームを走査させる電子走査部と、
前記1次電子ビームの光軸の周りに配置され、前記1次電子ビームの照射によって前記試料の表面から放出される電子を検出する複数の電子検出器と、
前記複数の電子検出器の各々の検出信号に基づく複数のSEM画像を生成する信号処理部と、
前記複数のSEM画像に基づいて前記観察対象パターンの三次元形状を算出する解析部とを有するパターン検査装置であって、
前記解析部は、
前記欠陥観察領域について、前記観察対象パターンのエッジが延在する方向と同一方向に配置された前記電子検出器のSEM画像の差分をとった第1の差分画像に基づいて前記欠陥の3次元形状を生成するステップと、
前記参照観察領域について前記参照パターンのエッジが延在する方向と直交する方向に配置された前記電子検出器のSEM画像の差分をとった第2の差分画像に基づいて前記参照パターンの3次元形状を生成するステップと、
前記欠陥の3次元形状と前記参照パターンの3次元形状とを合成するステップと、
により前記観察対象パターンの3次元形状を再現することを特徴とするパターン検査装置。 - 前記解析部は、前記第1の差分画像を前記観察対象パターンのエッジが延在する方向に積分処理して前記欠陥の3次元形状を生成するとともに、前記第2の差分画像を前記参照パターンのエッジの延在する方向と直交する方向に積分処理して前記参照パターンの3次元形状を生成することを特徴とする請求項4に記載のパターン検査方法。
- 前記解析部は、前記第1の差分画像の積分処理結果と、前記第2の差分画像の積分処理結果とを加算することにより前記観察対象パターンの3次元形状を再現することを特徴とする請求項5に記載のパターン検査方法。
- 前記観察領域設定部は、欠陥の位置を示す欠陥座標データを参照して欠陥が有ると判定された部分に前記欠陥観察領域を設定し、欠陥が無いと判定された部分に前記参照観察領域を設定することを特徴とする請求項4乃至請求項6の何れか1項に記載のパターン検査装置。
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